KR101640531B1 - 기판이송중개장치 및 이를 포함하는 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판이송중개장치 및 이의 챔버에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 기판을 적재하는 프레임부; 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 소정의 각도만큼 회전시켜주는 로테이션(rotation)부; 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 수평으로 위치이동 시켜주는 이송부; 및 상기 프레임부에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판을 상기 프레임부 내에서 위치정렬 시키는 정렬부;를 포함하기 때문에 기판의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 공정챔버로 기판이 인입되기 전에 기판의 위치를 정렬시킬 수 있기에 이송과정에서 발생할 수 있는 기판의 손상 등을 예방할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있는 기술이 개시된다.

Description

기판이송중개장치 및 이를 포함하는 챔버{Substrate Transfer Apparatus and Chamber Thereof}
본 발명은 반도체 또는 디스플레이장치의 제조공정에 사용되는 기판이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 또는 디스플레이장치의 제조공정 중에 기판의 이송에 걸리는 시간을 단축시키면서 기판의 위치(자세)를 정렬시킬 수 있는 기판이송중계장치 및 이를 구비한 챔버에 관한 것이다.
글라스 기판과 같은 대면적 기판에 유기물을 증착하는 등의 디스플레이 장치 또는 제품을 제조하는 공정에 있어서, 단위시간 동안에 생산해내는 양을 증대시킴으로서 생산효율을 증대시키는 것은 중요하다.
이는 생산설비를 증설 또는 신설하는데에는 많은 투자비용이 소요되기 때문이며, 따라서 한정된 생산설비를 이용하여 최대한의 생산효율을 증대시키기 위하여 많은 기술과 아이디어 등이 제안되고, 채택되어서 생산효율을 증진시키는데 이용되고 있다.
이러한 생산효율 증진을 위한 기술 중에는 다수개의 공정챔버를 거치면서 완성된 디스플레이제품이 나오기까지 소요되는 시간을 조금이라도 더 단축시키기 위해 기판이 정확한 위치를 가지도록 하면서 이송시간을 단축시키는 문제 또한 연구되고 개선된 기술이 제안되어 왔다.
즉, 종래에는 글라스 기판의 위치(자세)를 정렬시키기 위하여 글라스 기판이 탑재되는 스테이지를 회전시키거나 수평방향으로 이동시켰으므로, 스테이지를 구동시키기 위한 구성이 복잡하다는 문제점과, 글라스 기판의 위치를 정렬하는 과정과 글라스기판을 이송시키는 과정을 별개로 수행하였기 때문에 공정의 효율이 저하되고, 구성이 복잡하다는 문제점이 있었다. 따라서 이러한 문제를 해결하기 위하여 여러 기술이 소개되었다.
이러한 기술들 중에는 대한민국 공개특허공보 제 10-2011-0104995호 (발명의 명칭 : 전자소자 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법. 이하 선행기술 1) 와 대한민국 등록특허 제10-0661299호 (발명의 명칭 : 다층박막제작장치) 등이 있다.
이러한 선행기술 1 내지 2에 따르면 다음과 같은 문제점이 있었다.
선행기술 1에 따르면 기판을 이송시키기 위하여 로봇암에 대한 기술이 개시되어 있다. 선행기술 1의 로봇암은 글라스기판을 수평으로 이동시키거나 글라스기판의 이동진행방향을 바꿀 수 있게 되어 있으나, 대면적의 글라스기판에서는 그 하중이 크기 때문에 로봇암을 이용한 글라스 기판의 이송에는 한계가 있었다.
선행기술 2에 따르면, 기판이송용 챔버 내에 로봇암과는 다른 형태의 이송장치가 구비되어 있으나, 이송챔버에서 공정챔버로 기판을 인출하거나 인입할 때 기판의 위치(자세)를 정렬시키기 어렵다는 문제점이 있었다. 즉, 기판을 싣고 회전하는 과정에서 관성력으로 인해 기판의 위치(자세)가 틀어질 수 있는데 이를 공정챔버측으로 인출하기 전에 정렬시키기 어려운 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점들을 위한 것으로, 글라스 기판의 회전과 수평이동 및 기판의 정렬을 함께 할 수 있는 기판이송중개장치 및 이의 챔버를 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판이송중개장치는 기판을 적재하는 프레임부; 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 소정의 각도만큼 회전시켜주는 로테이션(rotation)부; 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 수평으로 위치이동 시켜주는 이송부; 및 상기 프레임부에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판을 상기 프레임부 내에서 위치정렬 시키는 정렬부;를 포함하는 것을 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 이송부는, 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부가 수평으로 위치이동 되도록 가이드 하는 이송가이더; 상기 프레임부와 상기 이송가이더 사이에 위치하며, 상기 이송가이더의 가이드에 따라 이동하는 이송트레이; 상기 이송가이더의 일측에 마련되며, 상기 이송트레이가 이동할 수 있도록 이동력을 제공하는 이동모터; 및 상기 이동모터로부터 이동력을 전달받아서 상기 이송트레이 측으로 이동력을 전달하는 이동력전달수단;을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 로테이션부는, 상기 이송트레이에 장착되고, 상기 프레임부를 회전시키는 회전력을 제공하는 로테이션모터; 상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 프레임부를 회전시키는 로테이션암(rotation arm); 상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션암에 의한 상기 프레임부의 회전을 보조하는 로테이션서브암(rotation sub arm) ; 및 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 로테이션암으로 회전력을 전달하는 회전력전달수단;을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 정렬부는, 일측이 상기 프레임부에 체결된 정렬바디; 상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판의 한 변의 일부분에 접하는 패드; 상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 기판을 정렬시키기 위해 상기 패드를 밀어주는 푸셔; 및 상기 정렬바디의 타측에 장착되고, 상기 푸셔가 상기 패드를 밀어줄 수 있도록 상기 푸셔에 척력을 가하는 프레서;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 프레서의 일측단에 제1자성체가 마련되고, 상기 푸셔의 타측단에는 제2자성체가 마련되되, 자기반발력으로 상기 프레서가 상기 푸셔에 척력을 가할 수 있도록 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 같은 극(pole)으로서 대면하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판은 4개의 변을 가지며, 상기 기판의 위치정렬을 위하여 힘을 가하는 상기 정렬부가 상기 프레임부에 다수개가 장착되되, 상기 기판의 제1변과 상기 기판의 제1변에 수직인 제2변 각각에 대응하여 상기 프레임부에 장착된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 챔버는 기판이 거쳐가는 중개공간을 형성하되, 일측에 기판이 인입되는 인입구가 마련되고, 타측에 기판이 인출되는 인출구가 마련된 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 장착되고, 상기 인입구를 통해 인입된 상기 기판을 상기 중개공간 내에서 상기 인출구로 이송하는 기판이송중개장치;를 포함하되, 상기 기판이송중개장치는, 상기 기판을 소정의 각도만큼 회전시키며, 상기 기판을 상기 인출구로 인출시키기 위하여 상기 기판의 위치를 정렬시키는 것을 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 기판이송중개장치는, 상기 기판을 적재하는 프레임부; 상기 프레임부의 하측에 결합되며, 상기 프레임부를 소정의 각도만큼 회전시켜주는 로테이션(Rotation)부; 상기 로테이션부의 일부분과 체결되며, 상기 로테이션부 또는 상기 프레임부를 위치이동시켜주는 이송부; 및 상기 프레임부에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판을 상기 프레임부 내에서 위치정렬 시키는 정렬부;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 이송부는, 상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부가 수평으로 위치이동 되도록 가이드 하는 이송가이더; 상기 프레임부와 상기 이송가이더 사이에 위치하며, 상기 이송가이더의 가이드에 따라 이동하는 이송트레이; 상기 이송가이더의 일측에 마련되며, 상기 이송트레이가 이동할 수 있도록 이동력을 제공하는 이동모터; 및 상기 이동모터로부터 이동력을 전달받아서 상기 이송트레이 측으로 이동력을 전달하는 이동력전달수단;을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 로테이션부는, 상기 이송트레이에 장착되고, 상기 프레임부를 회전시키는 회전력을 제공하는 로테이션모터; 상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 프레임부를 회전시키는 로테이션암(rotation arm); 상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션암에 의한 상기 프레임부의 회전을 보조하는 로테이션서브암(rotation sub arm) ; 및 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 로테이션암으로 회전력을 전달하는 회전력전달수단;을 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 정렬부는, 일측이 상기 프레임부에 체결된 정렬바디; 상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판의 한 변의 일부분에 접하는 패드; 상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 기판을 정렬시키기 위해 상기 패드를 밀어주는 푸셔; 및 상기 정렬바디의 타측에 장착되고, 상기 푸셔가 상기 패드를 밀어줄 수 있도록 상기 푸셔에 척력을 가하는 프레서;를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
나아가, 상기 프레서의 일측단에 제1자성체가 마련되고, 상기 푸셔의 타측단에는 제2자성체가 마련되되, 자기반발력으로 상기 프레서가 상기 푸셔에 척력을 가할 수 있도록 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 같은 극(pole)으로서 대면하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
여기서, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판은 4개의 변을 가지며, 상기 기판의 위치정렬을 위하여 힘을 가하는 상기 정렬부가 상기 프레임부에 다수개가 장착되되, 상기 기판의 제1변과 상기 기판의 제1변에 수직인 제2변 각각에 대응하여 상기 프레임부에 장착된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판이송중계장치 및 이의 챔버는 기판에 대한 수평이동 및 기판의 회전을 동시에 할 수 있으므로 기판의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있으며, 공정챔버로 기판이 인입되기 전에 기판의 위치를 정렬시킬 수 있기 때문에 이송과정에서 발생할 수 있는 기판의 손상 등을 예방할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치 및 이의 챔버를 개략적으로 나타낸 부분단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치를 상측에서 개략적으로 나타낸 제1사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치를 하측에서 개략적으로 나타낸 제2사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치의 정렬부를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치 및 이의 챔버를 개략적으로 나타낸 부분단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치를 상측에서 개략적으로 나타낸 제1사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치를 하측에서 개략적으로 나타낸 제2사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치의 정렬부를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중개장치를 구비한 챔버는 하우징 및 기판이송중개장치를 포함하여 이루어진다.
하우징(20)은 챔버에서 기판이 거쳐가는 중개공간을 형성한다. 하우징(20)의 일측에는 기판(미도시)이 인입되는 인입구가 마련되어 있다. 그리고, 하우징(20)의 타측에는 기판이 인출되는 인출구가 마련되어 있다. 여기서, 인입구 또는 인출구의 개수는 주변에 연결될 공정챔버의 개수에 따라 변경(증감)될 수도 있다.
이러한 챔버의 하우징(20)은 보통 진공이 설정되어 있어서 진공의 환경속에서 기판의 이송이 이루어질 수 있게 외부로부터 격리된 공간을 제공한다.
기판이 진공이 설정된 환경속에서 챔버 간을 이송이 이루어지면, 기판의 인입 또는 인출을 위해 공정챔버-증착, 식각 등의 공정이 이루어지는 챔버를 말한다.- 내의 진공을 설정하고 해제하는 시간을 단축시킬 수 있다는 점에서 바람직하다.
기판이송중개장치(10)는 하우징(20)의 내부에 장착되고, 인입구를 통해 인입된 기판을 하우징(20) 내 중개공간 속에서 인출구로 이송시킨다.
이와 같이 하우징(20)의 내부에 장착되며, 본 발명의 실시 예에 따른 이송중개장치에 대해서 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 이송중개장치(10)는 프레임부(100), 로테이션(rotation)부(200), 이송부(300) 및 정렬부(400)를 포함하여 이루어진다.
프레임부(100)는 기판을 적재한다. 여기서 기판은 특정기판에 한정되지 않으나, 통상, 디스플레이제조공정에 사용되는 직사각형 형태의 글라스기판일 수 있다.
프레임부(100)는 도 2에 도시된 바와 같이 내측으로 기판이 프레임부(100)에 얹혀지는 형태로 적재될 수 있도록 기판의 크기에 맞게 마련되는 것이 바람직하다.
이를 위해 도면에 도시된 바와 같이 프레임부(100)는 글라스 기판의 외형에 대응하여 4변을 가지고 있으며, 각 변은 글라스 기판의 변 부분이 얹혀질 수 있도록 단차지게 형성된 것이 바람직하다. 즉, 프레임부(100)의 각 변에 단차진 부분의 내측 공간에 글라스기판이 얹혀지는 것이 바람직하며, 글라스기판의 크기에 맞게 프레임부(100)의 크기 또한 정해질 수 있다.
이송부(300)는 로테이션부(200)의 하측에 마련된다. 그리고, 이송부(300)는 수평이동한다. 따라서, 이송부(300)에 체결된 로테이션부(200) 또는 프레임부(100)를 수평으로 위치이동 시켜줄 수 있게 된다.
이러한 이송부(300)는 이송가이더(310), 이송트레이(320), 이동모터(330) 및 이동력전달수단(340)을 포함하여 이루어진다.
이송부(300)의 이송가이더(310)는 프레임부(100)의 하측에 마련된다. 그리고 이송가이더(310)는 프레임부(100)가 수평으로 위치이동 되도록 가이드한다. 이러한 이송가이더(310)의 바람직한 예로 레일(rail)을 들을 수 있다.
레일과 같은 형태의 이송가이더(310)의 가이드를 받으며 이송부(300)가 이동되며, 따라서 로테이션부(200) 또는 기판이 적재된 프레임부(100)가 위치이동될 수 있게 된다.
그리고 이송트레이(320)는 프레임부(100)와 이송가이더(310) 사이에 위치한다. 그리고 이송가이더(310)의 가이드에 따라 이동한다.
이송가이더(310)에 따라 이동하는 형태의 일 예로서, 도면에 도시된 바와 같이 이송가이더(310)가 레일로 된 경우, 이송트레이(320)는 레일에 대응되는 바퀴(미도시)를 구비하고 레일을 따라서 이송트레이(320)가 이동할 수 있다.
또한, 이송트레이(320)는 후술할 로테이션부(200)의 로테이션서브암(230)과 체결되는데, 이송트레이(320)에 로테이션서브암(230)이 고정되도록 체결되는 것이 아니라 이송트레이(320) 상에서 회전운동을 할 수 있도록 체결된다.
좀 더 자세히 설명하면, 도면에 도시된 바와 같이 이송트레이(320)의 상측면에는 원형의 레일홈이 형성되어 있다. 그리고 이 레일홈에 대응되어 바퀴(미도시)가 삽입되는 로테이션서브암(230)이 이송트레이(320) 상에 위치하며, 원형으로 형성된 레일홈을 따라 로테이션서브암(230)이 움직인다.
이동모터(330)는 이송가이더(310)의 일측에 마련된다. 이동모터(330)가 이송가이더(310)의 일측에 구비된 예시적 형태가 도면에 도시되어 있다. 그리고, 이동모터(330)는 이송트레이(320)가 이동할 수 있도록 이동력을 제공한다. 여기서 이동모터(330)가 마련되는 위치는 크게 중요한 것은 아니다. 다만, 이송가이더(310)의 근처에 위치하여 이송트레이(320)에 이동력을 제공할 수 있으면 족하다.
이동력전달수단(340)은 이동모터(330)로부터 이동력을 전달받아서 이송트레이(320) 측으로 이동력을 전달한다. 이러한 이동력전달수단(340)으로는 벨트나 기어 등을 이용하는 형태가 있을 수 있다. 도면에서는 이동모터(330)의 모터축이 길게 연장되고, 이 모터축에 기어가 맞물려서 이송트레이(320)가 이동될 수 있는 것을 예시적으로 도시하였다.
로테이션부(200)는 프레임부(100)의 하측에 마련된다. 그리고, 로테이션부(200)는 프레임부(100)를 소정의 각도만큼 회전시켜준다. 디스플레이용 글라스기판의 경우 통상 그 형태가 직사각형이며, 다수의 챔버들 사이를 이송되는 과정에서 기판을 회전시켜서 인출 또는 인입시켜야할 때가 많다.
따라서 로테이션부(200)는 프레임부(100)를 소정의 각도 만큼 회전시킴으로써 챔버 간의 기판이송이 원활하게 이루어지도록 기판을 회전시키는 것이다. 프레임부(100) 내에 기판이 적재되어 있기 때문에 프레임부(100)를 소정의 각도 만큼 회전시킴으로써 기판을 소정의 각도 만큼 회전시키게 된다.
여기서 로테이션부(200)에 의해 회전되는 소정의 각도는 인입구 또는 인출구에 연통될 수 있게 결합된 챔버의 개수 등에 맞추어서 정해지게 된다.
이러한 로테이션부(200)는 로테이션모터(220), 로테이션암(rotation arm)(210), 로테이션서브암(rotation sub-arm)(230) 및 회전력전달수단(240)을 포함하여 이루어진다.
로테이션모터(220)는 이송트레이(320)에 장착된다. 그리고, 로테이션모터(220)는 프레임부(100)를 회전시키는 회전력을 제공한다. 즉, 외부로부터 전력을 공급받고, 이 전력을 이용하여 로테이션모터(220)는 모터축을 회전시킬 수 있다. 로테이션모터(220)축이 회전력에 의해 회전되면서 로테이션모터(220)의 회전력으로 프레임부(100)를 회전시키게 되는 것이다.
로테이션암(210)은 프레임부(100)의 하측에 체결되어 프레임부(100)를 지지한다. 그리고 로테이션모터(220) 측으로부터 회전력을 전달받아서 프레임부(100)를 회전시키게 된다.
즉, 로테이션모터(220)에서 발생된 회전력은 회전력전달수단(240)에 전달된다. 그리고, 회전력전달수단(240)은 회전력을 로테이션암(210)으로 회전력을 전달한다.
로테이션모터(220)의 모터축이 회전력에 의해 회전되면서 모터축에 장착된 모터축기어가 회전된다. 그리고 이 모터축기어에 맞물려있는 회전기어가 회전을 하게 되면서 로테이션암(210)에 회전력이 전달되고, 이 회전력에 의해 로테이션암(210)과 로테이션암(210)에 체결된 프레임부(100)가 회전하게 된다.
이러한 회전력전달수단(240)의 예로서 도면에 도시된 바와 같은 기어집합체를 들을 수 있다. 여기서 회전력전달수단(240)은 기어집합체에 국한되지 않는다. 즉, 벨트부재를 이용하여 축과 축 사이에 회전력을 전달하는 형태 또한 가능하다는 것이다.
여기서 좀 더 바람직하게는 로테이션서브암(230)을 더 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다. 로테이션서브암(230)은 프레임부(100)의 하측에 체결되어 프레임부(100)를 지지한다. 그리고, 로테이션서브암(230)은 로테이션암(210)에 의한 프레임부(100)의 회전을 보조한다.
도면에 도시된 바와 같이 로테이션암(210)을 사이에 두고 두 개의 로테이션서브암(230)이 체결되어 있다. 프레임부(100)에 체결되어 지지한다는 점에서는 로테이션암(210)과 같으나, 로테이션서브암(230)은 로테이션암(210)에의해 프레임부(100)가 회전하는 것을 가이드한다.
그리고, 로테이션서브암(230)은 앞서 설명한 바와 같이 이송트레이(320) 상에서 회전운동을 할 수 있도록 체결된다.
즉, 도면에 도시된 바와 같이 이송트레이(320)의 상측면에는 원형의 레일홈이 형성되어 있다. 그리고 이 레일홈에 대응되어 바퀴가 삽입되는 로테이션서브암(230)이 이송트레이(320) 상에 위치하며, 원형으로 형성된 레일홈을 따라 로테이션서브암(230)이 움직인다. 이를 위해 로테이션서브암(230)의 하측에는 이송트레이(320)의 상측면에 형성된 원형의 레일홈을 따라 움직일 수 있는 바퀴가 다수 구비되어 있는 것이 바람직하다.
이와 같이 로테이션서브암(230)은 로테이션암(210)에 대하여 보조적인 역할을 한다.
정렬부(400)는 프레임부(100)에 장착된다. 그리고, 프레임부(100)에 적재된 기판을 프레임부(100) 내에서 위치정렬 시킨다. 이러한 정렬부(400)는 패드(410), 푸셔(420), 프레서(430), 정렬바디(440)를 포함하여 이루어진다.
정렬바디(440)는 일측이 프레임부(100)에 체결된다. 그리고 정렬부(400)의 몸체역할을 한다.
정렬부(400)의 패드(410)는 정렬바디(440)의 상측에 장착된다. 그리고, 프레임부(100)에 적재된 기판의 한 변의 일부분에 접한다.
패드(410)는 도면에 도시된 바와 같이 기판의 한 변의 일부분에 접하는 부분이 단차지게 형성되어 있는 것이 바람직하다. 패드(410)가 단차지게 형성되면 단차진 부위에 기판의 일부분이 안정적으로 접할 수 있게 된다. 그리고, 푸셔(420)를 통해 힘을 전달받아서 기판을 밀게된다.
푸셔(420)는 정렬바디(440)의 상측에 장착된다. 바람직하게는 도면에 도시된 바와 같이 패드(410)와 함께 일직선상에 놓이도록 장착된다. 그리고, 푸셔(420)는 타측에서 프레서(430)로부터 힘을 받아서 일측으로 패드(410)를 밀게 된다.
이러한 프레서(430)는 정렬바디(440)의 타측에 장착된다. 프레서(430)는 푸셔(420)가 패드(410)를 밀어줄 수 있도록 푸셔(420)에 척력을 가한다.
프레서(430)가 푸셔(420)에 척력을 가하는 예로서, 프레서(430)의 일측단에 제1자성체(435)가 마련되고, 푸셔(420)의 타측단에는 제2자성체(425)가 마련되는 형태가 있을 수 있다.
여기서, 자기반발력으로 프레서(430)가 푸셔(420)에 척력을 가할 수 있도록 제1자성체(435)와 제2자성체(425)는 같은 극(pole)으로서 서로 대면하도록 배치된 것이 바람직하다. 도시된 바와 같이 제1자성체(435)와 제2자성체(425)가 같은 극을 가지며 서로 대면하는 거리가 짧아질수록 척력의 크기는 강해진다.
그리고, 푸셔(420)와 프레서(430)는 일직선상에 놓이는 형태도 있을 수 있겠으나,
공간절약의 측면에서 볼 때 푸셔(420)에 대하여 프레서(430)는 소정의 각도만큼 하측에 마련되는 것이 바람직하며 도면에 도시된 바와 같이 프레서(430)와 푸셔(420)가 직각을 이루도록 하측에 구비된 형태도 바람직하다.
프레서(430)가 상측으로 밀고 올라가면, 프레서(430)의 일측단에 있는 제1자성체(435)가 푸셔(420)의 타측단에 구비된 제2자성체(425)에 근접하게 된다. 같은 자극(magnetic pole)끼리는 척력이 작용하므로 푸셔(420)는 패드(410)를 밀게 되며, 이로 인해 기판이 프레임부(100) 내에서 위치조정될 수 있게 된다.
따라서, 이를 위해 프레서(430)는 공압 또는 유압실린더를 이용하거나 전기모터를 이용하에 제1자성체(435)가 제2자성체(425)에 근접 또는 멀어지도록 움직일 수 있다.
이와 같은 정렬부(400)는 다수개가 마련되는 것이 바람직하다. 즉, 프레임부(100)에 적재된 기판이 글라스기판으로서 통상 직사각형 형태이므로 4개의 변을 가지면 프래임부(100)에 적재된 기판의 위치정렬을 위하여 힘을 가하는 정렬부(400)가 프레임부(100)에 다수개가 장착되는 것이 바람직하다. 그리고, 기판의 한 변을 제1변이라고 하면, 제1변과 기판의 제1변에 수직인 제2변 각각에 대응되도록 프레임부(100)에 장착된 것이 바람직하다.
도면에 도시된 것처럼 제1변에 정렬부(400)가 2개, 제2변에 2개가 마련되면 기판의 위치(자세)를 정렬시키기가 수월해지므로 이러한 형태 또한 바람직하다고 할 수 있다.
이와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 기판이송중계장치 및 이의 챔버는 기판에 대한 수평이동 및 기판의 회전을 동시에 할 수 있으므로 기판의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다는 장점이 있으며, 공정챔버로 기판이 인입되기 전에 기판의 위치를 정렬시킬 수 있기 때문에 이송과정에서 발생할 수 있는 기판의 손상 등을 예방할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
100 : 프레임부
200 : 로테이션부
210 : 로테이션암 220 : 로테이션모터
230 : 로테이션서브암 240 : 회전력전달수단
300 : 이송부
310 : 이송가이더 320 : 이송트레이
330 : 이동모터 340 : 이동력전달수단
400 : 정렬부
410 : 패드 420 : 푸셔
430 : 프레서 440 : 정렬바디
435 : 제1자성체 425 : 제2자성체

Claims (13)

  1. 기판을 적재하는 프레임부;
    상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 소정의 각도만큼 회전시켜주는 로테이션(rotation)부;
    상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부를 수평으로 위치이동 시켜주는 이송부; 및
    상기 프레임부에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판을 상기 프레임부 내에서 위치정렬 시키는 정렬부;를 포함하고,
    상기 이송부는,
    상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부가 수평으로 위치이동 되도록 가이드 하는 이송가이더;
    상기 프레임부와 상기 이송가이더 사이에 위치하며, 상기 이송가이더의 가이드에 따라 이동하는 이송트레이;
    상기 이송가이더의 일측에 마련되며, 상기 이송트레이가 이동할 수 있도록 이동력을 제공하는 이동모터; 및
    상기 이동모터로부터 이동력을 전달받아서 상기 이송트레이 측으로 이동력을 전달하는 이동력전달수단;을 포함하며,
    상기 로테이션부는,
    상기 이송트레이에 장착되고, 상기 프레임부를 회전시키는 회전력을 제공하는 로테이션모터;
    상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 프레임부를 회전시키는 로테이션암(rotation arm);
    상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션암에 의한 상기 프레임부의 회전을 보조하는 로테이션서브암(rotation sub arm) ; 및
    상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 로테이션암으로 회전력을 전달하는 회전력전달수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송중개장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 정렬부는,
    일측이 상기 프레임부에 체결된 정렬바디;
    상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판의 한 변의 일부분에 접하는 패드;
    상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 기판을 정렬시키기 위해 상기 패드를 밀어주는 푸셔; 및
    상기 정렬바디의 타측에 장착되고, 상기 푸셔가 상기 패드를 밀어줄 수 있도록 상기 푸셔에 척력을 가하는 프레서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송중개장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 프레서의 일측단에 제1자성체가 마련되고, 상기 푸셔의 타측단에는 제2자성체가 마련되되,
    자기반발력으로 상기 프레서가 상기 푸셔에 척력을 가할 수 있도록 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 같은 극(pole)으로서 대면하는 것을 특징으로 하는 기판이송중개장치.
  6. 제 1, 제 4항 및 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임부에 적재된 상기 기판은 4개의 변을 가지며,
    상기 기판의 위치정렬을 위하여 힘을 가하는 상기 정렬부가 상기 프레임부에 다수개가 장착되되, 상기 기판의 제1변과 상기 기판의 제1변에 수직인 제2변 각각에 대응하여 상기 프레임부에 장착된 것을 특징으로 하는 기판이송중개장치.
  7. 기판이 거쳐가는 중개공간을 형성하되, 일측에 기판이 인입되는 인입구가 마련되고, 타측에 기판이 인출되는 인출구가 마련된 하우징; 및
    상기 하우징의 내부에 장착되고, 상기 인입구를 통해 인입된 상기 기판을 상기 중개공간 내에서 상기 인출구로 이송하는 기판이송중개장치;를 포함하되,
    상기 기판이송중개장치는,
    상기 기판을 소정의 각도만큼 회전시키며, 상기 기판을 상기 인출구로 인출시키기 위하여 상기 기판의 위치를 정렬시키는 것이며,
    상기 기판이송중개장치는,
    상기 기판을 적재하는 프레임부;
    상기 프레임부의 하측에 결합되며, 상기 프레임부를 소정의 각도만큼 회전시켜주는 로테이션(Rotation)부;
    상기 로테이션부의 일부분과 체결되며, 상기 로테이션부 또는 상기 프레임부를 위치이동시켜주는 이송부; 및
    상기 프레임부에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판을 상기 프레임부 내에서 위치정렬 시키는 정렬부;를 포함하고,
    상기 이송부는,
    상기 프레임부의 하측에 마련되며, 상기 프레임부가 수평으로 위치이동 되도록 가이드 하는 이송가이더;
    상기 프레임부와 상기 이송가이더 사이에 위치하며, 상기 이송가이더의 가이드에 따라 이동하는 이송트레이;
    상기 이송가이더의 일측에 마련되며, 상기 이송트레이가 이동할 수 있도록 이동력을 제공하는 이동모터; 및
    상기 이동모터로부터 이동력을 전달받아서 상기 이송트레이 측으로 이동력을 전달하는 이동력전달수단;을 포함하며,
    상기 로테이션부는,
    상기 이송트레이에 장착되고, 상기 프레임부를 회전시키는 회전력을 제공하는 로테이션모터;
    상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 프레임부를 회전시키는 로테이션암(rotation arm);
    상기 프레임부의 하측에 체결되어 상기 프레임부를 지지하며, 상기 로테이션암에 의한 상기 프레임부의 회전을 보조하는 로테이션서브암(rotation sub arm) ; 및
    상기 로테이션모터 측으로부터 회전력을 전달받아서 상기 로테이션암으로 회전력을 전달하는 회전력전달수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 7항에 있어서,
    상기 정렬부는,
    일측이 상기 프레임부에 체결된 정렬바디;
    상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 프레임부에 적재된 상기 기판의 한 변의 일부분에 접하는 패드;
    상기 정렬바디의 상측에 장착되고, 상기 기판을 정렬시키기 위해 상기 패드를 밀어주는 푸셔; 및
    상기 정렬바디의 타측에 장착되고, 상기 푸셔가 상기 패드를 밀어줄 수 있도록 상기 푸셔에 척력을 가하는 프레서;를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 프레서의 일측단에 제1자성체가 마련되고, 상기 푸셔의 타측단에는 제2자성체가 마련되되,
    자기반발력으로 상기 프레서가 상기 푸셔에 척력을 가할 수 있도록 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 같은 극(pole)으로서 대면하는 것을 특징으로 하는 챔버.
  13. 제 7항, 제 11항 및 제 12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임부에 적재된 상기 기판은 4개의 변을 가지며,
    상기 기판의 위치정렬을 위하여 힘을 가하는 상기 정렬부가 상기 프레임부에 다수개가 장착되되, 상기 기판의 제1변과 상기 기판의 제1변에 수직인 제2변 각각에 대응하여 상기 프레임부에 장착된 것을 특징으로 하는 챔버.
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