KR100706381B1 - 기판반송장치 - Google Patents

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KR100706381B1
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다테야마기요히사
오타요시하루
아라키신이치로
이와쓰하루오
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동경 엘렉트론 주식회사
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Abstract

기판의 보유·유지부재가, 대향하는 측벽부의 폭이 기판 장변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽부들의 대향방향으로 장변방향을 맞춘 상태에서 보유·유지할 수 있는 넓은 폭의 제 1의 보유·유지부와, 대향하는 측벽{단차부} 사이의 폭이 기판의 단변방향의 길이에 상당하는 길이를 갖추고, 이 단차부들의 대향방향으로 단변방향을 맞춘 상태에서 보유·유지부를 갖춘다. 따라서, 반입반출대상인 처리장치가 장변을 쥐는 경우에는, 기판방향 조정수단에 의해, 이 보유·유지부재보다도 상방으로 유리기판을 위치시킨 후, 당해 기판의 장변이 당해 처리장치의 반입반출부를 향하여 마주보도록 회전시켜 하강시킨다. 이에 의해, 제 1의 보유·유지부에 기판이 재치되어, 장변을 쥐는 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다. 마찬가지의 조작에 의해 제 2의 보유·유지부 상에 기판을 재치하면, 단변을 쥐는 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다.

Description

기판반송장치{SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS}
도 1은, 본 발명의 기판반송장치가 사용되는 도포·현상처리시스템의 사시도이다.
도 2는, 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은, 제 1의 실시형태의 정면도이다.
도 4는, 유리기판을 단변(短邊) 쥐기에 의해 보유·유지한 경우의 제 1 실시형태의 평면도이다.
도 5는, 유리기판을 장변(長邊) 쥐기에 의해 보유·유지한 경우의 제 1 실시형태의 평면도이다.
도 6은, 제 1 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은, 제 2 실시형태와 관련된 기판처리장치의 요부(要部)를 나타내는 사시도이다.
도 8은, 제 2 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는, 제 3 실시형태를 설명하기 위한 평면도이다.
도 10은, 제 3 실시형태를 설명하기 위한 측면도이다.
도 11은, 제 3 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 12는, 제 3 실시형태의 다른 양태(樣態)를 설명하기 위한 도면이다.
도 13은, 유리기판을 장변쥐기에 의해 보유 및 유지한 상태의 제 4 실시형태의 평면도이다.
도 14는, 우리기판을 단변쥐기에 의해 보유 및 유지한 상태의 제 4 실시형태의 평면도이다.
도 15는, 제 5 실시형태에 관련된 기판반송장치를 나타내는 평면도이다.
도 16은, 제 5 실시형태에 관련된 기판반송장치에 설치된 회전기구의 개략 사시도이다.
도 17은, 제 5 실시형태의 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 18은, 제 6 실시형태에 관련된 기판처리장치를 나타내는 측면도이다.
도 19는, 제 6 실시형태에 관련된 기판처리장치를 나타내는 평면도이다.
도 20은, 제 7 실시형태에 관련된 기판반송장치의 동작을 설명하는 도면이다.
도 21은, 제 8 실시형태에 작용을 설명하기 위한 도면이다.
도 22는, 제 9 실시형태에 관련된 도포·현상처리시스템의 사시도이다.
도 23은, 제 9 실시형태에 관련된 기판반송장치의 측면도이다.
도 24는, 제 9 실시형태에 관련된 기판수취부에 배치된 수용대의 측면도이다.
도 25는, 제 10 실시형태와 관련된 세정장치의 단면도이다.
도 26은, 도 25의 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
16 : 세정장치 40 : 기판반송장치
47 : 제 2의 회전축 48 : 승강부재
52 : 기대부(基臺部) 53,54 : 아암(arm)
53a,54a :단차부(段差部) 55,56 : 제 1의 보유·유지부
55a,56a : 측벽(側壁) 57,58 : 제 2의 보유·유지부
59,60,63,64 : 얼라인먼트핀(alignment pin)
61,62,65,66 : 고정핀
70 : 지지편(支持片) 72,73 : 배큠공(vacuum孔)
80 : 기판처리장치 81 : 대좌부(臺座部)
82 : 수용대(收容臺) 82a : 수용카세트
82b : 스핀척(spin chuck) 83 : 아암 지지대
84,85 : 다관절아암 86,87 : 주고받음부재
140 : 기판반송장치 153,154 : 아암
155,156 : 제 1의 보유·유지부 55a,56a : 측벽
157,158 : 제 2의 보유·유지부
159,160,163,164,167,169,172,174 : 얼라인먼트핀
161,162,165,166,168,170,171,173 : 고정핀
240 : 기판반송장치 259∼274 : 회전기구
376 : 로울러 440 : 기판반송장치
451,452 : 기대부 453,454 : 아암
453a,454 : 단차부 455,456 : 제 1의 보유·유지부
455a,456a : 측벽 457,458 : 제 2의 보유·유지부
459,460,463,464 : 얼라인먼트핀 461,462,465,466 : 고정핀
580 : 기판반송장치 582a : 수용카세트
582b : 스핀척 670 : 주고받음부
680 : 기판반송장치 681 : 대좌부
682 : 수용대 682a : 수용카세트
682b : 스핀척 683 : 아암지지대
700 : 노즐 752 : 스핀척
754 : 구동모터 G : 유리기판
본 발명은, 예를들어 액정디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD)에 사용되는 유리기판등의 피처리기판 상에 도포·현상처리를 행하는 도포·현상장치등의 기판처리장치에 대하여, 피처리기판을 반입반출하기 위해 사용되는 기판반송장치에 관한 것이다.
LCD의 제조공정에 있어서는, LCD용의 유리기판 상에 ITO(Indium Tin Oxide) 박막(薄膜)이라든가 전극패턴을 형성하기 위하여, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 것과 마찬가지의 포토리소그래피(photo-lithography) 기술이 사용된다. 포토리소그래피 기술에서는, 포토레지스트를 세정하여 기판을 도포하고, 이것을 노광(露光, exposure)하고, 그 위에 현상을 행한다.
피처리기판인 유리기판은, 기판반송장치에 보유·유지되어 반송로 상을 이동하여, 목적으로 하는 처리장치, 예를들어 기판반송장치가 배치되어 있는 위치로까지 왔을 경우에 정지하여, 이 기판세정장치의 반입반출구를 통하여 유리기판을 반입한다. 세정처리가 종료되면, 당해 반입반출구를 통하여 기판반송장치가 다시 유리기판을 수취하고, 다음의 처리장치, 예를들어 현상장치가 배치되어 있는 위치로까지 반송로 상을 이동한다. 그리고, 현상장치 내에 유리기판을 반입하고, 현상처리 후 다시 유리기판을 수취하여 다음의 처리장치가 배치되어 있는 위치로까지 반송로 상을 이동하여 마찬가지의 동작을 반복한다.
여기서, 기판반송장치는 통상적으로 핀셋형태로 배치된 2개의 아암편(arm片)을 갖춘 보유·유지부재와, 이 보유·유지부재를 지지하는 지지체를 갖추고 있다. 각종 처리장치 사이에 위치하는 반송로 상에 설치된 레일부재를 따라 지지체가 이동하여, 목적으로 하는 처리장치가 배치되어 있는 장소에 도달하면 이 지지체가 정 지하여 수평방향으로 소정 각도로 회동하여, 당해 처리장치의 기판반입반출구에 대면하게 되었을 때 보유·유지부재가 전진한다. 그리고, 당해 처리장치 내에서 건네받기 위해 상승하고 있는 리프트핀(lift pin)이라든가 스핀척(spin chuck) 사이에서 유리기판의 주고받기를 행한다.
이때, 수취부로서의 리프트핀은 소정의 레이아웃(lay out)으로 설치되어 있다. 또, 스핀척이 유리기판을 보유·유지하면서 하강시켜, 처리위치에 도달하면, 소정 형상의 처리프레임 내에 유리기판이 수용된다. 기판반송장치의 보유·유지부재에 의한 유리기판의 보유·유지의 자세가 이 수취부의 레이아웃이나 처리자세에 합치하고 있을 경우에는, 주고받기에 있어서 지장을 발생시키는 일이 없다. 예를들어, 처리라인 상에 차례로 설치되어 있는 각종 처리장치의 설계사양이 공통일 경우에는 문제가 없지만, 제조라인이 다른 경우등의, 사양이 다른 경우가 있다. 구체적으로는, 유리기판은 장방형으로 형성되어 있기 때문에, 처리장치에 반입하거나 반출할 때, 반입반출방향에 장변측을 맞출 필요가 있는 타입(이른바, 단변쥐기)라든가, 단변측을 맞출 필요가 있는 타입(이른바, 장변쥐기)이 있다.
그런데, 종래의 기판반송장치에서는, 일단 유리기판을 보유·유지하였을 경우, 보유·유지부재 상에 있어서의 보유·유지자세는 일정하다. 이 때문에, 종래, 상기와 다른 사양의 처리장치가 설치되었을 경우, 미리 각종 처리장치에 있어서의 리프트핀의 레이아웃을 조정하거나, 처리프레임의 형상을 변경하여 조정할 필요가 있었다. 그러나, 이와 같은 조정을 현장에서 행하는 것은 불편하다. 특히, 근년에 들어 처리라인에 설치되는 각종 처리장치로서 다른 제조업자가 만든 것을 사용하는 경우가 늘어나고 있어, 상기와 같은 리프트핀의 설계변경작업을 행하지 않아도 되는 수단의 제공이 요망되고 있었다.
본 발명은 상기한 사정을 감안한 것으로서, 처리장치가 이른바 장변쥐기 또는 단변쥐기의 어느 것이라도 대응이 가능하고, 처리장치에 있어서의 수취부 및 처리프레임의 수정작업을 없앨 수 있는 기판반송장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판장치로서, 기판의 보유·유지부재와, 상하로 움직임이 가능함과 동시에, 축심(軸心)을 중심으로 하여 수평으로 회전이 가능하도록 설치되어, 상기 보유·유지부재보다도 상방위치에서 기판을 소정 각도로 회전시켜 소정의 방향으로 조정하고, 하강할 때에, 상기 보유·유지부재에 상기 기판을 소정의 방향으로 보유·유지시키는 기판방향 조정수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 상하로 움직임이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평으로 회전이 가능하도록 설치된 기판방향 조정수단을 설치함으로써, 기판의 주고받기에 있어서의 방향으로 변경할 수 있어, 각 처리장치에 대하여 기판을 소정 방향으로 반입 또는 반출할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에 이른바 장변쥐기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재(混在)되어 설치되어 있어도, 이 기판반송장치에 의하면, 처리장치와의 사이에서 확실하게 기판의 주고받기를 행할 수 있다.
본 발명의 타 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서, 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와, 상기 대좌부 상의 한쪽에 설치됨과 동시에, 기판의 수용방향을 변경시킬 수 있는 수용카세트를 갖춘 수용대와, 상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과, 당해 다관절아암의 선단측에 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치되는 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 기판의 반입반출을 행하는 처리장치 부근에 도달하여 정지한 때에, 대좌부의 다른쪽에 설치되는 아암지지대가 처리장치에 향하여져 있지 않을 때에, 대좌부가 회전한다. 즉, 각 처리장치는 반송로를 사이에 두고 대향하여 설치되어 있기 때문에, 목적으로 하는 처리장치의 반입반출구에 아암지지대가 마주보고 있지 않은 경우에, 대좌부가 180도 반전한다. 다음, 수용카세트 내에 수용된 기판의 방향이 목적으로 하는 처리장치의 주고받음방향에 합치하도록 기판의 방향을 조정한다. 다음, 다관절아암을 동작시켜 주고받음부재가 수용대를 마주보도록 하여, 주고받음부재에 의해 수용카세트 내에 기판을 보유·유지한다. 기판을 보유·유지했을 경우에, 다관절아암을 동작시켜 목적으로 하는 당해 처리장치의 반입반출구로부터 소정의 자세를 유지한 채로 반입한다. 처리종료후에 반출할 때에는, 상기와는 완전히 반대방향으로 동작시킨다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 기판이 어느 방향을 향하고 있더라도, 하나의 주고받기부재에 의해 기판을 보유·유지할 수 있다.
또, 본 발명의 타 기판반송장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 당해 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서, 회전이 가능하도록 설치된 대좌부와, 상기 대좌부 상의 한쪽에 설치되어 기판을 수용하는 수용대와, 상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와, 기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과, 당해 다관절아암의 선단측에 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치되는 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 다관절아암 및 회동이 가능하도록 설치된 주고받기부재에 의해, 수용대에 수용된 기판에 대하여 원하는 가장자리쪽으로부터 주고받음부재를 집어넣을 수 있다. 따라서, 기판회전기구를 새로 설치할 필요없이, 기판을 회전시킬 수가 있다.
또, 본 발명의 처리장치는, 처리대상으로서의 기판을 보유·유지하는 기판보유·유지부재와, 상기 기판을 회전시키는 회전수단과, 상기 피처리 기판의 표면에 처리액을 공급하는 처리액 토출수단과, 상기 회전수단에 의해 회전하는 상기 기판이 소정의 위치에 정지하도록 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 이와 같은 구성에 의하면, 처리장치 외에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략시킬 수 있어, 스루풋이 향상한다.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.
먼저, 본 발명의 기판반송장치가 사용되는 도포·현상처리시스템의 전체구성에 관하여 도 1에 의거하여 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 이 도포·현상처리시스템(1)의 전방에는, 유리기판(G)을 도포·현상처리시스템(1)에 대하여 반입반출하는 로더·언로더부가 설치되어 있다. 이 로더·언로더부에는, 유리기판(G)을 예를들어 25매씩 수납한 카세트 (C)를 소정 위치에 정렬시켜 재치(載置)하는 카세트 재치대(3)와, 각 카세트(C)로부터 처리예정의 유리기판(G)을 꺼내고, 또 도포·현상처리시스템(1)에 있어서 처리가 종료된 유리기판(G)을 각 카세트(C)에 돌려 보내는 로더·언로더(4)가 설치되어 있다. 도시하는 로더·언로더(4)는, 본체(5)의 주행에 의해 카세트(C)의 배열방향으로 이동하여, 본체(5)에 탑재된 판형상의 핀셋(6)에 의해 각 카세트 (C)로부터 유리기판(G)을 꺼내고, 또 카세트(C)로 유리기판(G)을 돌려보내도록 되어 있다. 또 핀셋(6)의 양측에는, 유리기판(G)의 4꼭지점을 보유·유지하여 위치맞춤을 행하는 위치맞춤부재(7)가 설치되어 있다.
도포·현상처리시스템(1)의 중앙부에는, 시스템 자체의 길이방향으로 배치된 복도형태의 반송로(10,11)가 제 1의 주고받음부(12)를 매개로 하여 일직선상으로 설치되어 있고, 이 반송로(10,11)의 양측에는, 유리기판(G)에 대하여 각 처리를 행하기 위한 각종 처리장치가 배치되어 있다.
도시한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서는, 반송로(10)의 한쪽에, 유리기 판(G)을 브러쉬로 세정함과 동시에 고압의 젯트수(jet水)에 의해 세정을 행하기 위한 세정장치(16)가, 예를들어 2대가 병설(倂設)되어 있다. 또 반송로(10)를 사이에 둔 반대측에는, 2대의 현상장치(17)가 병설되고, 그 옆에는 2대의 가열장치(18)가 적층되어 설치되어 있다.
또, 반송로(11)의 한쪽에, 유리기판(G)에 레지스트액을 도포하기 전에 유리기판(G)을 소수화처리(疏水化處理)하는 어드히젼(adhesion)장치(20)가 설치되고, 이 어드히젼장치(20)의 하방에는 냉각용의 쿨링장치(21)가 배치되어 있다. 또, 이들 어드히젼장치(20)와 쿨링장치(21)의 옆에는 가열장치(22)가 2열로 2개씩 적층되어 배치되어 있다. 또, 반송로(11)를 사이에 둔 반대측에, 유리기판(G) 표면에 레지스트액을 도포함으로써 유리기판(G)의 표면에 레지스트막을 형성하는 레지스트 도포장치(23)가 배치되어 있다. 도시되지는 않았지만 이들 도포장치(23)의 측부에는, 제 2의 주고받기부(28)를 매개로 하여, 유리기판(G) 상에 형성된 레지스트막에 소정의 미세패턴을 노광하기 위한 노광장치가 설치되어 있다. 제 2의 주고받음부 (28)는, 유리기판(G)을 반입 및 반출하기 위한 반입반출핀셋(29) 및 주고받음대 (30)를 갖추고 있다.
이상의 각 처리장치(16∼18 및 20∼23)는, 어느쪽도, 반송로(10,11)의 양측에 있어 유리기판(G)의 반입반출구를 내측으로 향하게 하여 배설(配設)되어 있다. 제 1의 반송장치(25)가 로더·언로더부(2), 각 처리장치(16∼18) 및 제 1의 주고받기부(12)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(10) 상을 이동하고, 제 2의 반송장치(26)가 제 1의 주고받기부(12), 제 2의 주고받기부(28) 및 각 처리 장치(20∼23)와의 사이에서 유리기판(G)을 반송하기 위하여 반송로(11) 상을 이동하도록 되어 있다.
다음, 상기한 도포·현상처리시스템(1)에 있어서, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26)로서 채용이 가능한 본 발명의 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)의 구조를 설명한다. 도 2는 이 기판반송장치(40)의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 3은 그 일부를 단면으로 나타낸 정면도, 도 4 및 도 5는 평면도이다.
이 기판반송장치(40)는 반송로(10,11)를 따라서 설치된 레일(35) 상을 Y방향으로 이동이 가능한 Y방향 이동체(41)를 갖추고 있다. 이 Y방향 이동체(41)는, 본 실시형태에서는 레일(35)을 타고넘도록 설치되어, 내부에 배설된 구동모터(도시않됨)의 구동에 의해 이동한다. 이 Y방향 이동체(41)의 상부에는 모터(42)가 설치되고, 이 모터(42)에 의해 θ방향으로 회전이 가능하도록 되어 있는 제 1의 회전축 (43)이 설치되어 있다. 이 제 1의 회전축(43)은, Y방향 이동체(41) 내에 배설된 승강부(도시않됨)에 의해 상하방향(Z방향)으로 동작되도록 설치되어 있다.
이 제 1의 회전체(43) 상부에는, 지지판(44)이 설치되어 있고, 이 지지판 (44)의 대략 중앙부에는, 상하로 움직임이 가능한 회전축(47)을 갖춘 승강부재(48)가 지지되어 있다. 이 제 2의 회전축(47)을 갖춘 승강부재(48)가 본 실시형태에 있어서 기판방향 조정수단을 구성한다.
지지판(44)의 승강부재(48) 주변부에는, 지지핀(49)이 복수로 배설되어 있어, 이 지지핀(49)에 의해 판상(板狀)의 기대부용(基臺部用) 보유·유지대(50)가 수평으로 지지되어 있다. 이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(51)이 형성되어 있고, 이 가이드홈(51)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(52)가 배설되어 있다.
이 기대부(52) 내부에는, 당해 기대부(52)를 전후로 움직이게 하기 위한 구동부재(도시않됨)가 배치되어 있음과 동시에, 그 양측으로부터 일단 옆방향으로 뻗친 후 거의 직각방향의 전방으로 뻗쳐, 기대부(52)를 중심으로 한 핀셋형태로 배치된 한쌍의 아암(53,54)이 설치되어 있다. 아암(53,54)은, 각각 도 3에 나타낸 바와 같이, 정면으로부터 보아 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부 (53a,54a)가 형성되어 있고, 이 단차부(53a,54a)를 사이에 둔 상단이 제 1의 보유·유지부(55,56)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(57,58)로 된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52)와, 각 보유·유지부(55∼58)을 포함하는 아암(53 ,54)에 의해 보유·유지부재를 구성한다.
제 1의 보유·유지부(55,56) 외측에는, 각각 대향하는 측벽(55a,56a)이 세워져 있고, 당해 측벽(55a,56a) 사이의 간격은, 보유·유지 대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 약간 긴 간격으로 되어 있다. 따라서, 측벽(55a,56a)들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.
한편, 제 2의 보유·유지부(57,58)에 대향하는 측벽{단차부(53a,54a)가 이것에 상당함} 간의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 약간 길고, 장변의 길이보다 짧은 간격으로 되어 있다. 따라서, 이 단차부(53a,54a)들의 대향방향으로 유리기판 (G)의 단변을 맞춘상태로 보유 및 유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경 우에 대처할 수 있다.
제 1의 보유·유지부(55,56)의 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(59,60)이 각각 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되어 있다. 또, 당해 제 1의 보유·유지부(55,56)의 선단 근처의 부분인 이 얼라인먼트핀(59,60)에 대치하는 위치에도, 고정핀(61,62)이 돌출 형성되어 있다. 유리기판 (G)이 제 1의 보유·유지부(55,56) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(59, 60)이 X방향을 따라 동작됨으로써, 유리기판(G)의 전단위치(前端位置)가 가지런히 맞추어진다.
마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(57,58)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에도, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(63,64)이 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 제 2의 보유·유지부(57,58)의 선단 근처의 부분이고 이 얼라인먼트핀(63,64)에 대치하는 위치에는, 고정핀(65,66)이 돌출형성되어 있다. 따라서, 유리기판(G)이 제 2의 보유·유지부(57,58) 상에 재치되어 있을 경우에는, 이 얼라인먼트핀(63,64)이 X방향을 따라 전후로 이동하여, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 맞추어진다.
또, 제 1의 보유·유지부(55,56)와 제 2의 보유·유지부(57,58)를 각각 형성하고 있는 아암(53,54)은, Y방향으로 대향거리가 늘어나거나 줄어들도록 기대부 (52)에 설치되어 있다. 따라서, 제 1의 보유·유지부(55,56) 또는 제 2의 보유·유지부(57,58)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 아암(53,54) 자체에 있어서의 대향거리의 확장 또는 축소동작에 의해, Y방향을 따라 옆방향으로 위치가 가지런히 맞추 어지게 된다.
기대부 보유·유지대(50)의 대략 중앙위치에는, 상하로 관통하는 관통공이 설치되어 있고, 이 관통공에, 상기 기판방향 조정수단을 구성하는 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)이 끼워넣어지고, 그 헤드부(47a)가 기대부용 보유·유지대(50) 상에 항상 돌출되어 있다. 헤드부(47a)는, 제 1의 보유·유지부(55,56), 제 2의 보유·유지부(57,58)에 각각 유리기판(G)을 보유·유지하였을 때, 유리기판(G)의 중심부에 위치되도록 배치된다.
본 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)에 의하면, 예를들어, 이것을 상기 도포·현상처리시스템(1)의 제 1의 반송장치(25)로서 채용하였을 경우, 먼저, 로더·언로우더(4)로부터 기판을 수취한다. 다음, 반송로(10) 상에 설치된 레일(35)을 따라, Y방향으로 이동하여, 목적으로 하는 처리장치에 있어서의 반입반출구 정면으로까지 이동한다. 다음, 제 1의 회전축(43)을 모터(42)에 의해 θ방향으로 소정 각도로 회전시켜, 아암(53,54)과 당해 처리장치의 반입반출구를 대면시킨다.
여기서, 이 기판반송장치(40)가, 도 4에 나타낸 바와 같이, 처리대상으로서의 유리기판(G)이, 상기한 로더·언로더(4)로부터 아암(53,54)의 대향방향으로 당해 유리기판(G)의 단변이 맞추어지도록 제 2의 보유·유지부(57,58)에 의해 보유·유지되어 있다고 할 때, 목적으로 하는 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 기대부(52)를 그대로 X방향으로 전진시켜 건네받도록 할 수 있지만, 장변쥐기일 경우에는, 기판방향조정수단을 동작시켜 유리기판(G)의 방향을 변경한다.
즉, 도 6(a)에 나타낸 상태로부터, (b)에 나타낸 바와 같이, 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)을 상승시켜 감으로써, 상승 도중에 헤드(47a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하고, 보유·유지부재인 아암(53,54)의 상방위치까지 상승시켜, 당해 제 2의 회전축(47)을 θ방향으로 약 90도 수평회전시킨다. 이에 의해, 유리기판(G)의 장변이 처리장치에 대향된다. 다음, 제 2의 회전축(47)을 하강시켜 감으로써, 도 6(c) 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 하강 도중에 유리기판(G)의 단변측 가장자리가 제 1의 보유·유지부(55,56) 상에 보유·유지되게 된다. 그리고, 기대부(52)를 기대부용 보유·유지대(50)의 가이드홈(51)을 따라 X방향으로 전진시키면, 수취부가 장변쥐기로 되어 있는 처리장치에 유리기판(G)을 건네줄 수 있게 된다.
덧붙여 설명하면, 이 기판처리장치(40)의 로더·언로더(4)로부터 유리기판 (G)을 수취하는 방향이 상기에 대한 반대로 장변측이 정면으로 되는 방향으로, 제 1의 보유·유지부(55,56)로 재치되고, 또 반입반출대상으로서의 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 도 6(c)의 상태로부터 도 6(a)의 상태로 되도록 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)이 동작된다.
본 실시형태에 의하면, 상기한 바와 같이, 승강부재(48)의 제 2의 회전축 (47)을 상승시켜 회전시킴으로써, 유리기판(G)의 보유·유지방향을 장변과 단변의 어느 쪽도 정면이 되도록 조정할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에 스핀척 및 리프트핀등의 수취부가 이른바 장변쥐기 전용일 경우, 또는 반대로 단변쥐기 전용일 경우에도, 어느쪽 처리장치에 대하여 본 실시형태에 관련된 기판처리장치(40)를 사용하여 유리기판의 주고받기를 행할 수 있다. 이와 같이, 상하로 이동이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평으로 이동이 가능하도록 설치된 기판방향조정수단에 의해, 기판의 주고받기방향을 변경할 수 있어, 각 처리장치에 대하여 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출할 수 있다. 따라서, 처리라인 상에, 이른바 장변쥐기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재하여 설치되어 있어도, 이 기판처리장치에 의하면, 처리장치 사이에서 확실하게 기판의 주고받기를 행할 수 있다.
또, 제 1 보유·유지부재 및 제 2의 보유·유지부재를 설치함에 의해, 제 1의 보유·유지부재에 기판이 재치됨으로써 장변쥐기의 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 되고, 제 2의 보유·유지부재에 기판이 재치됨으로써 단변쥐기의 당해 처리장치와의 사이에서 기판의 반입반출이 가능하게 된다.
다음, 도 7 및 도 8에 의거하여, 본 발명의 제 2의 실시형태와 관련된 기판반송장치(40)에 관하여 설명한다. 이 기판반송장치(40)는, Y방향 이동체(41), 제 1의 회전축(43), 지지판(44) 및 지지핀(49)을 갖추고 있는 점에 있어서는, 도시되지는 않았지만 상술한 제 1의 실시형태에 관련된 기판반송장치(40)와 완전히 동일하다. 단지 본 실시형태에서는, 지지핀(49)에 지지되는 기대부용 보유·유지대(50)에 의해 보유·유지되는 보유·유지부재의 구성이 다르다.
즉, 이 보유·유지부재는, 기대부(52)와, 이 기대부(52)의 양측으로부터 한끝단 바깥쪽으로 뻗친 후, 대략 직각으로 구부러져 전방으로 돌출되어 있는 한쌍의 지지편(70,71)을 갖춘 구성으로 되어 있다. 이 한쌍의 지지편(70,71)은, 양쪽 모두가 평탄한 긴판 형태로 되어 있고, 양자 사이의 간격이 보유·유지대상인 유리기판 (G)의 긴변사이의 간격보다도 짧게 설정되어 있다. 즉, 유리기판(G)의 방향이 어느쪽을 향하고 있더라도, 이 지지편(70,71) 상에 보유·유지할 수 있는 구성이다.
지지편(70,71)에는, 그 표면에 개구(開口)되어 있는 기판의 흡착부로서의 배큠공(72,73)이 각각 복수로 형성되어 있다. 이 배큠공(72,73)은, 지지편(70,71)의 하면(下面)을 따라 배설된 배관(도시않됨)을 매개로 하여 배큠원(vacuum源)(도시않됨)으로 접속되어 있다.
본 실시형태에 의하면, 도 8(a)에 나타낸 바와 같이, 예를들어 로더·언로더 (4)로부터 장변을 정면으로 하여 유리기판(G)을 수취한 때에 있어서, 반입반출대상으로서의 처리장치의 수취부가 이른바 단변쥐기일 경우에는, 도 8(b)에 나타낸 바와 같이 승강부재(48)의 제 2 회전축(47)을 상승시켜, 그 도중에 당해 제 2의 회전축(47)의 헤드(47a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하여, 보유·유지부재인 지지편 (70,71)의 상방위치로까지 상승시킨다. 다음, 제 2의 회전축(47)을 약 90도 수평으로 회전시켜, 처리장치에 대하여 유리기판(G) 단변측을 대향시킨 후, 당해 제 2의 회전축(47)을 하강시킨다. 지지편(70,71) 사이의 간격은 유리기판(G)의 긴변 사이의 간격보다 좁도록 배치되어 있기 때문에, 유리기판(G)이 이와 같은 방향에서도 지지편(70,71) 상에 보유·유지된다. 지지편(70,71)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 배큠공(72,73)을 통하여 흡인되어, 지지편(70,71)의 상면(上面)에 확실하게 흡착되어 보유·유지된다. 그 후, 기대부(52)가 가이드홈(51)을 따라 X방향으로 전진하여, 원하는 방향으로 유리기판(G)이 처리장치로 건네어진다.
덧붙여 설명하면, 도 7에 있어서, 부호(70a,70b 및 71a,71b)는, 각각 지지편 (70,71) 상에 돌출됨과 동시에, X방향으로 동작이 가능하도록 설치된 얼라인먼트핀이다. 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52) 근처에 배설된 얼라인먼트핀(70b,71b) 이 X방향으로 동작되도록 설정되어 있는 한편, 선단부 근처에 배치된 얼라인먼트핀 (70b,71b)은 고정되어 있다. 지지편(70,71) 상에 보유·유지된 유리기판(G)은, 어느방향을 향하여 보유·유지되어 있어도, 기대부(52) 근처에 배설된 얼라인먼트핀 (70a,71a)의 동작에 의해, 선단 근처에 배치된 얼라인먼트(70b,71b)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 지지편(70,71) 상의 유리기판(G)의 X방향에 있어서의 위치가 소정 위치로 수정된다.
또, 도시되지 않았지만, 기대부용 지지대(50)의 상면이면서 지지편(70,71) 외측에 해당하는 부분에는, Y방향으로 동작이 가능한 얼라인먼트핀을 설치하여 두는 것이 바람직하다. 이에 의해, 유리기판(G)의 Y방향에 있어서의 위치를 수정할 수 있다. 이 경우, 어느쪽의 얼라인먼트핀도 Y방향으로 동작이 가능하도록 하여 두면, 유리기판(G)이 어느방향으로 향하고 있어도, 지지편(70,71) 상에 있어서 어느쪽으로 기울리는 일없이 보유·유지할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 보유·유지부재가, 처리대상 기판의 단변의 길이보다 짧은 간격을 두고 설치된 한쌍의 지지편을 갖추고 있고, 이 지지편에 기판을 흡착하여 보유·유지하는 흡착부가 설치되어 있다. 지지편사이의 간격이 기판의 긴변 사이의 길이보다 짧기 때문에, 기판방향 조정수단에 의해 기판을 상승시켜 회전시킴으로써 방향을 변경하여 하강시키면, 어느쪽의 방향이어도 흡착부 상에 보유·유지할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 의하면, 하나의 보유·유지부재에 의해 처리대상인 기판의 방향이 다르더라도 보유·유지할 수 있다.
도 9는, 본 발명의 제 3의 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)를 나타내는 개략 평면도이고, 도 10은 이 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)의 개략 측면도이다.
본 실시형태에 관련된 기판반송장치(80)는, 대좌부(81)의 하부에 상기 도포·현상처리시스템(1)의 반송로(10,11) 상에 설치된 레일(36,37)을 따라 이동이 가능한 Y방향 이동체(182)가 설치되어 있다. 이 대좌부(81)는 또, θ방향으로 수평회전이 가능하도록 설치되어 있다.
대좌부(81)의 한쪽에는, 유리기판(G)의 수용대(81)가 설치되어 있다. 이 수용대(82)는, 소정 높이의 위치에 복수단의 수용카세트(82a)가 설치되어 있고, 각 수용카세트(82a) 내에는, 회전이 가능하도록 배설된 스핀척(82b)이 각각 위치하고 있다.
대좌부(81)의 다른쪽에는, 소정 높이로 아암지지대(83)가 배치되어 있다. 이 아암지지대(83)는, 본 실시형태에서는 회전이 가능하도록 설치되어 있고, 또 그 상면에는, 다관절아암(84,85)의 기부(基部)가 상호 간격을 두고 회동이 자유롭도록 설치되어 있다. 본 실시형태에 있어서는 2개의 다관절아암(84,85)을 설치하고 있지만, 이것은 한쪽이 처리장치에 대하여 진입하고 있을 때에, 다른쪽이 수용카세트 (82a)로 진입할 수 있도록 한 것으로, 이에 의해 유리기판(G)의 처리장치와의 사이에서의 주고받기를 끊임없이 연속적으로 행할 수 있다. 물론 다관절아암의 설치수를 한 개로 하는 것도 가능하다.
다관절아암(84,85)은, 어느쪽에 있어서도 축부재(84a,85a)를 매개로 하여 서 로 회동이 자유롭도록 연결된 복수의 아암편(84b,85b)에 의해 구성되고, 그 중에서 제일 선단측에 가깝게 배설된 아암편(84b,85b)에, 주고받음부재(86,87)가 축부재 (88,89)를 매개로 하여 당해 선단측의 아암편(84b,85b)에 대하여 회동이 자유롭도록 연결되어 있다.
주고받음부재(86,87)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 각각 대향하도록 배설된 2개의 보유·유지편(86a,86a와 87a,87a)을 갖추고, 평면으로부터 보아 핀셋형상으로 설치되어 있다. 이 한쌍의 보유·유지편(86a,86a와 87a,87a) 상에 유리기판(G)을 보유·유지하고, 처리장치와의 사이에서 주고받기를 행한다. 보유·유지편(86a, 87a)의 구체적인 구성은 유리기판(G)을 보유·유지할 수 있기만 하면 되기 때문에 어떠한 것에 한정되는 것은 아니고, 상기한 제 1의 실시형태와 같이, 유리기판을 그 사이에 끼울 수 있는 측벽을 갖추는 구조이어도 좋고, 제 2의 실시형태의 지지편과 같이, 배큠공을 갖춘 평판상의 부재에 의해 구성되어도 좋다. 또, 각 한쌍의 보유·유지편(86a,86a)들 또는 보유·유지편(87a,87a)들의 각각의 대향 간격이 제 1의 실시형태와 같이 넓어지거나 좁아지도록 설치하여도 좋고, 나아가서는, 전후방향 또는 옆방향으로 이동하는 얼라인먼트핀을 상면에 돌출형성하여, 보유·유지되는 유리기판(G)의 위치맞춤을 행할 수 있도록 한 구성으로 하는 것도 물론 가능하다.
본 실시형태에 의하면 로더·언로더(4)와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받기를 행할 경우, 당해 유리기판(G)은 수용대(82)의 수용카세트(82a) 내의 스핀척 (82b) 상에 보유·유지되어 있다. 이때, 로더·언로더(4)에 대하여, 대좌부(81), 아암지지부(83), 다관절아암(84,85) 또는 주고받기부재(86,87)가 각각 필요에 따라 소정 각도로 회전하고, 주고받음부재(86,87)와 로더·언로더(4)가 서로 마주보도록 조정되고, 로더·언로더(4)로부터 유리기판(G)을 수취하고, 또 이들 수용카세트(C)와 주고받기부재(86,87)가 서로 마주보도록 동작되어 당해 수용카세트(C)의 스핀척 (82b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시키고 있다.
관련된 상태에서, 목적지로서의 처리장치부근으로까지 Y방향(도 10에 있어서 지면의 앞쪽에서 뒤끝으로의 방향)으로 이동하였을 경우, 이 처리장치의 주고받기부재에 합치하도록 수용카세트(82a) 내의 스핀척(82b)을 회전시켜, 당해 유리기판 (G)의 장변 또는 단변을 대향시켜 둔다.
다음, 유리기판(G)을 주고받음부재(86,87)가 수용카세트(82a) 내의 유리기판 (G)을 수취하러 가고 또 처리장치에 반입하게 되지만, 그때의 대좌부(81), 아암지지대(83), 다관절아암(84,85) 또는 주고받음부재(86,87)의 움직임은, 관련된 동작을 달성하기만 하면 되기 때문에 어떠한 것에 한정되지 않고, 여러 가지의 동작을 행할 수 있다.
예를들어, 먼저, 최초에 처리장치에 대하여 한쪽의 주고받음부재(86)가 마주 본 상태에서, 이 주고받음부재(86)가 수용카세트(82a)로 유리기판을 꺼내러 갈 때에는, 이 주고받음부재(86)를 다관절아암(84)에 대하여 180도 회전시키고 또 이 다관절아암(84)을 그 기부로부터 아암지지대(83)에 대하여 소정 각도로 회전시키고 또 각 아암편(84a)의 각도를 조정한 후, 꺼내러 가는 것이 가능하다. 그리고, 주고받음부재(86) 상에 유리기판(G)을 들어돌리도록 재치하였을 경우, 다시 아암편 (84b) 사이의 인접각도를 줄여 수용카세트(82a) 내로부터 이탈한 후, 주고받음부재 (86) 만을 180도 회전시켜 처리장치의 반입반출구에 유리기판(G)을 대향시킨 다음, 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀 당해 반송장치에 삽입한다. 계속하여 다른쪽의 다관절아암(85)에 관하여도 마찬가지로 동작시킨다.
또, 도 11에 나타낸 바와 같이 동작을 행하도록 하는 것도 가능하다. 즉, 먼저 최초에 상기와 마찬가지로 처리장치에 대하여 한쪽의 주고받음부재(86)가 서로 마주보고 있는 상태로 있다고 하였을 때, 도 11(a)에 나타낸 바와 같이, 아암지지대(83)를 180도 회전시켜, 수용카세트(82a)에 주고받음부재(86)가 향하도록 한다. 다음, 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀, 수용카세트(82a) 내에 당해 주고받음부재(86)를 삽입한다. 이 때, 수용카세트(82a) 내에는, 스핀척(82b)이 소정 각도로 회전하여, 처리장치의 주고받음부에 맞춘 자세로 유리기판(G)이 미리 조정되어 있음은 물론이다.
다음, 도 11(b)에 나타내는 바와 같이, 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 좁혀, 수용카세트(82a)로부터 주고받음부재(86)를 탈출시킨다. 다음 도 11(c)에 나타낸 바와 같이, 아암지지대(83)를 상기에 대한 역방향으로 180도 회전시켜, 주고받음부재(86)를 처리장치에 향하도록 하고, 또 인접하는 아암편(84b) 사이의 인접각도를 넓혀, 당해 처리장치의 반입반출구를 통하여 진입한다. 이에 의해, 수용카세트(82a) 내에 소정의 방향으로 조정된 유리기판(G)의 자세를 무너뜨리는 일 없이, 처리장치에 반입하는 것이 가능하다. 처리장치에서 처리한 유리기판(G)을 반출하는 경우에는 상기의 역으로 동작시킨다.
또, 상술한 한쪽의 다관절아암(84)이 처리장치와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행하고 있을 때에 다른쪽의 다관절아암(85)이 수용카세트(82a)에 대하여 진입하고 있으면 유리기판(G)을 연속적으로 처리장치와의 사이에서 반입반출하는 것이 가능하다.
덧붙여 설명하면, 반송로(10,11)를 사이에 두고 반대측에 배설되어 있는 처리장치에 진입할 경우에는, 본 실시형태에 있어서는, 대좌부(81)를 180도 회전시킴에 의해 행하는 것이 가능하다.
본 실시형태에 의해, 수용카세트(82a) 내에 스핀척(82b)을 소정 각도로 회전시킴으로써, 주고받음부재(86,87)에 의한 유리기판(G)의 보유·유지자세에 대하여, 장변쥐기 또는 단변쥐기의 어느쪽에 있어서도 조정이 가능하기 때문에, 사양이 다른 여러가지의 처리장치가 병설되어 있는 처리라인에서 사용함에 알맞도록 되어 있다.
또, 상기 주고받음부재(86,87)의 형상은, 2개의 보유·유지편(86a,87a)이 핀셋모양으로 배치된 형상이지만, 도 12에 나타낸 바와 같이, 축부재(88,89)를 사이에 둔 반대측에, 예를들어 3개 이상의 보유·유지편(86b)을 갖추는 형상이어도 좋다. 즉, 주고받음부재(86,87)에 있어, 축부재(88,89)를 사이에 둔 전방부(前方部)와 후방부(後方部)의 형상을 다르도록 하는 것이 가능하다. 이에 의해, 예를들어 도 12(a)와 같이 2개의 보유·유지편(86a) 상에서 유리기판을 보유·유지시켰을 경우에는, 처리장치의 주고받음부가 스핀척일 때에 주고받음을 행하기 쉽고, 반대로 도 12(b)와 같이 3개 이상의 보유·유지편(86b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시 켰을 경우에는, 처리장치의 주고받음부가 리프트핀일 경우에 기판의 휘어짐을 경감시킴으로써 주고받음을 행하기 쉽다고 하는 이점을 가진다. 즉, 처리장치의 주고받음부의 형상 및 구조에 대응하여 주고받음이 행하기 쉬운 쪽을 선택하여 유리기판 (G)을 주고받을 수 있다.
또, 상기 설명에서는, 수용대(82) 자체는 회전이 가능하도록 설치되어 있지 않다. 이 때문에, 로더·언로더(4)와의 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행할 때에도, 다관절아암(84,85) 및 주고받음부재(86,87)를 동작시키는 것이 필요로 되지만, 수용대(82) 자체를 회전가능하도록 설치하여 두면, 로더·언로더(4)와의 주고받음을 행할 때에 이 수용대(82)를 소정 각도로 회전시켜, 수용카세트(82a)의 입구를 로더·언로더(4)에 대치시키면, 다관절아암(84,85)등을 이동시키는 일 없이 로더·언로더(4)의 동작만으로 수용카세트(82a) 내의 유리기판을 수용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 실시형태에 있어서의 기판반송장치에서는, 기판의 반입반출을 행하는 처리장치 부근에 도달하여 정지한 때에, 대좌부의 다른쪽에 설치되는 아암지지대가 처리장치를 향하고 있지 않을 경우에는, 대좌부가 회전한다. 즉, 각 처리장치는 반송로를 사이에 두고 대향하여 설치되어 있기 때문에, 목적으로 하는 처리장치의 반입반출구에 아암지지대가 향하고 있지 않을 경우에는, 대좌부가 약 180도 반전한다. 다음, 수용카세트 내에 수용된 기판의 방향이 목적으로 하는 처리장치의 주고받음방향과 합치하도록 기판의 방향을 조정한다. 다음, 다관절아암을 동작시켜, 주고받음부재가 수용대를 향하게 하여, 주고받음부재에 의해 수용카세트 내의 기판을 보유·유지하면, 다관절아암을 동작시켜 목적으로 하는 당 해 처리장치의 반입반출구로부터 소정의 자세를 유지시킨 채로 반입시킨다. 처리종료후에 반출할 때에는, 상기와는 완전히 반대로 동작시킨다. 본 실시형태에 의하면, 기판이 어느쪽의 방향을 향하고 있어도 하나의 주고받음부재에 의해 기판을 보유·유지하는 것이 가능하다.
또, 본 실시형태에서는, 아암지지대가 회전이 가능하기 때문에, 주고받음부재로 기판으로 진입할 때에 이 아암지지대를 회전시킴으로써, 다관절아암의 동작을 간단한 것으로 할 수 있다.
또, 본 실시형태에서는 다관절아암과 주고받음부재가 복수의 쌍으로 설치되어 있기 때문에, 한쪽의 주고받음부재가 목적으로 하는 처리장치와의 사이에서 기판의 주고받음을 하고 있을 때에, 다른쪽의 주고받음부재가 수용대에 진입하여 다음에 처리하는 기판을 수취하러 가거나, 처리후의 기판을 수용대에 건네주러 가도록 제어할 수 있다. 따라서, 기판의 연속처리에 적합하다.
다음, 도 13 및 도 14를 사용하여, 본 발명의 제 4의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 13 및 도 14는 기판반송장치의 평면도이다. 제 1 실시형태의 기판반송장치(40)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 기판의 위치결정방법이 다른 점에서만 상이하기 때문에, 이하 제 1 실시형태와 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 기판반송장치(40)와 동일한 구조에 관하여는 동일한 부호를 사용하고 있다.
본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(140)는 수평으로 지지된 기대부용 보유·유지대(50)를 갖추고 있다. 이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(51)이 형성되어 있고, 이 가이드홈(51)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(52)가 배설되어 있다.
기대부(52) 내부에는, 당해 기대부(52)를 전후로 이동시키기 위한 구동부재(도시않됨)가 배치되어 있음과 동시에, 그 양측으로부터 일단 옆방향으로 뻗친 후 거의 직각방향의 전방으로 뻗쳐, 기대부(52)를 중심으로 한 핀셋형태로 배치된 한쌍의 아암(153,154)이 설치되어 있다. 아암(153,154)은, 각각 제 1의 실시형태와 마찬가지로, 정면으로부터 보아 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부가 형성되어 있고, 이 단차부를 사이에 둔 상단이 제 1의 보유·유지부(155,156)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(157,158)로 된다. 따라서, 본 실시형태에 있어서는, 기대부(52)와, 각 보유·유지부(155∼158)를 포함하는 아암(153,154)에 의해 보유·유지부재를 구성한다.
제 1의 보유·유지부(155,156) 외측에는, 각각 대향하는 한쌍의 측벽이 세워져 있고, 당해 측벽사이의 간격은, 보유·유지대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 길고 제 1의 실시형태에 있어서의 측벽사이(55a,56a)보다도 긴 간격으로 되어 있다. 그리고, 도 13에 나타낸 바와 같이, 이 측벽들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.
한편, 제 2의 보유·유지부(157,158)에 대향하는 측벽사이의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 길고 제 1 실시형태에 있어서의 측벽사이(53a,54a)보다 긴 간격으로 되어 있고, 또 장변의 길이보다 짧은 간격을 되어 있다. 그리고, 도 14에 나타낸 바와 같이, 이 단차부들의 대향방향으로 유리기판(G)의 단변을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경우에 대처할 수 있다.
제 1의 보유·유지부(155)의 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(159)이 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 또 고정핀(170)이 돌출되어 설치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트린(159)에 대향시킨 고정핀(162)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부 (155)의 선단 근처의 부분에는, 고정핀(168)이 설치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(156)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(170)에 대치시킨 Y방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(169)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)에 있어서 기대부(52) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(160)이 설치되어 있다.
제 1 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀 (160)에 대치시킨 고정핀(161)이 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(168)에 대치시킨 얼라인먼트핀(167)이 설치되어 있다.
유리기판(G)은, 제 1의 보유·유지부(155,156) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(159,160)의 X방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(162,161)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 얼라인먼트핀(169,167)의 Y방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(170,168)이 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.
마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(157)에 있어서의 기대부(52)쪽 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(163)이 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되고, 또 고정핀(171)이 돌출되어 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지하였을 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀(163)에 대치시킨 고정핀(165)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(157)의 선단쪽 부분에는, 고정핀(173)이 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지하였을 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(171)에 대향한 방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(172)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52)쪽 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(164)이 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부에 보유·유지하였을 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 얼라인먼트핀(164)에 대치시킨 고정핀(166)이 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158) 의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 고정핀(173)에 대치된 얼라인먼트핀(174)이 설치되어 있다.
유리기판(G)은, 제 2의 보유·유지부(157,158) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀(163,164)의 X방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(165,166)에 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 얼라인먼트핀(172,174)의 Y방향을 따른 동작에 의해, 고정핀(171,173)이 맞닿을 때까지 눌리어져, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 기판의 X방향, Y방향의 각 위치결정을, 위치결정수단으로서의 얼라인먼트핀 및 고정핀을 사용하여 행하는 것이 가능하다.
다음, 도 15∼도 17을 사용하여, 본 발명의 제 5 실시형태와 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 15는 기판반송장치의 평면도이고, 도 16은 위치결정수단으로서의 회전기구의 사시도이고, 도 17은 위치결정시의 로울러의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 본 실시형태에 기판반송장치는, 제 4 실시형태의 기판반송장치(140)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 위치결정수단의 구조가 다른점에 있어서만 상이하기 때문에, 이하 제 4의 실시형태와 동일한 구조에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 기판반송장치(140)와 동일한 구성에 관하여는 동일한 부호를 사용하고 있다.
본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(240)에는, 얼라인먼트핀 및 고정핀을 대신하여 회전기구(259∼274)이 설치되어 있다.
회전기구(259∼274)는 각각 동일한 구조를 갖추고 있고, 도 16의 회전기구 (259)는, 기대(275)와, 기대(275)에 설치되어 기대(275)의 길이방향으로 회전이 가능한 로울러(276)에 의해 구성된다. 또, 기대(275)는, 보유·유지부에 고정배치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(155)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(259)가 설치되고, 또 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(270)가 설치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(259)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록, 회전기구(262)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(155)의 선단 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(268)가 설치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(156)에 있어서 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판 (G)을 제 1의 보유·유지부(155,156)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(270)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (269)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(260)가 설치되어 있다.
제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(260)에 대향하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(261)가 설치되어 있다. 또, 제 1의 보유·유지부(156)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(268)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (267)가 설치되어 있다.
마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(157)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(263)가 설치되어 있다. 또, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(271)가 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(263)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(265)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(157)의 선단 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(273)가 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(158)에 있어서의 기대부(52) 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 1의 보유·유지부(157,158)에 보유·유지한 때에, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(271)에 대치하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구(272)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)의 기대부(52) 근처의 부분에는, 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(264)가 설치되어 있다.
제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, 유리기판(G)을 제 2의 보유·유지부에 보유·유지한 때에, X방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(264)에 대치하는 기대의 길이방향이 X방향을 따르도록 회전기구(266)가 설치되어 있다. 또, 제 2의 보유·유지부(158)의 선단 근처의 부분에는, Y방향을 따라 기판을 끼우도록 회전기구(273)에 대향하는 기대의 길이방향이 Y방향을 따르도록 회전기구 (274)가 설치되어 있다.
대치하는 한쌍의 회전기구의 거리는, 유리기판(G)의 장변 또는 단변과 거의 같은 길이로 되도록 배치된다.
유리기판(G)은 제 1의 보유·유지부(155,156) 상에 보유·유지된 경우에, 각 회전기구(259,260,261,262)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 각 회전기구(267,268,269,270)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.
유리기판(G)은, 제 2의 보유·유지부(157,158) 상에 보유·유지된 경우에, 각 회전기구(263,264,265,266)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 X방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다. 또, 각 회전기구(271,272,273,274)에 설치된 로울러에 의해, 유리기판(G)에 있어서의 Y방향의 위치가 소정의 위치로 수정된다.
도 17을 사용하여, 로울러를 사용한 기판의 위치결정방법에 관하여 설명한다. 상술한 바와 같이 대치하는 한쌍의 회전기구의 거리는, 유리기판(G)의 장변 또는 단변과 거의 동일한 길이가 되도록 배치되기 때문에, 유리기판(G)이 소정의 위치에 없을 경우에, 로울러 상에 유리기판(G)의 한변이 타고 있는 상태(점선부)로 되어 있다. 이와 같은 상태에 있어서, 로울러가 회전함에 의해 유리기판(G)은 소정의 위치(실선부)에 배치된다.
이상의 본 실시형태와 같이, 기판의 위치결정수단으로서 로울러를 사용할 수 있다.
다음, 도 18 및 도 19를 사용하여, 본 발명의 제 6의 실시형태를 설명한다. 도 18은 기판반송장치의 측면도이고, 도 19는 기판반송장치의 평면도이다. 본 실시형태의 기판반송장치(440)는, 제 1의 실시형태의 기판반송장치(40)와 거의 동일한 구조를 갖추고 있고, 기대부와 보유·유지부를 포함하는 아암에 의해 구성되는 보유·유지부재가 복수로, 여기서는 2개가 설치되어 있는 점에서만 상이하기 때문에, 이하 제 1의 실시형태와 동일한 구조에 대하여는 설명을 생략한다.
본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(440)는, 제 1의 실시형태에 있어서의 기판반송장치(40)의 보유·유지부재의 상부에 또 보유·유지부재가 배치되어 있다. 이 보유·유지부재는, 기대부(451,452)와 각 보유·유지부(455∼458)를 포함하는 아암(453,454)에 의해 구성된다.
이 기대부용 보유·유지대(50)의 표면에는 X방향을 따라 가이드홈(447,448)이 형성되어 있고, 각 가이드홈(447,448)을 따라 X방향(전후방향)으로 이동이 가능한 기대부(451,452)가 배설되어 있다.
기대부(451,452) 내부에는, 각 기대부(451,452)를 전후로 이동시키기 위한 구동부재(도시않됨)가 배설되어 있다. 각 기대부(451,452)는, 각각 지지부재(449, 450)를 매개로 하여 아암(453,454)과 접속되어 있다. 아암(453,454)은, 각각 도 18에 나타낸 바와 같이, 정면으로부터 보다 외측으로 향하여 올라가는 계단형태로 되도록 단차부(453a,454a)가 형성되어 있고, 이 단차부(453a,454a)를 사이에 둔 상단 이 제 1의 보유·유지부(455,456)로 되고, 하단이 제 2의 보유·유지부(457,458)로 된다.
제 1의 보유·유지부(455,456) 외측에는, 각각 대향하는 한쌍의 측벽(455a, 456a)이 세워져 있고, 당해 측벽(455a,456a) 사이의 간격은, 보유·유지대상인 유리기판(G) 장변의 길이보다 약간 긴 간격을 갖추고 있다. 따라서, 이 측벽(455a, 456a)들의 대향방향으로 유리기판(G)의 장변방향을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 장변쥐기인 경우에 대처할 수 있다.
한편, 제 2의 보유·유지부(457,458)에 대향하는 측벽{단차부(453a,454a)에 상당함} 간의 간격은, 유리기판(G)의 단변길이보다 약간 길고 장변의 길이보다 짧은 간격으로 되어 있다. 따라서, 이 단차부(453a,454a)들의 대향방향으로 유리기판 (G)의 단변을 맞춘 상태로 보유·유지함으로써, 처리장치가 이른바 단변쥐기일 경우에 대처할 수 있다.
제 1의 보유·유지부(455,456)의 기대부(452,451) 근처의 부분에는, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트(459,460)가 각각 하방으로부터 상방으로 돌출되도록 있다. 또, 당해 제 1의 보유·유지부(455,456)의 선단측 부분이고 이 얼라인먼트핀 (459,460)에 대치하는 위치에도, 고정핀(461,462)가 돌출되어 형성되어 있다. 유리기판(G)이 제 1의 보유·유지부(455,456) 상에 보유·유지된 경우에, 얼라인먼트핀 (459,460)이 X방향을 따라 움직임으로써, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 된다.
마찬가지로, 제 2의 보유·유지부(457,458)에 있어서의 기대부(452,451) 근 처의 부분에도, X방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀(463,464)이 상방으로 돌출되도록 설치되어 있고, 제 2의 보유·유지부(457,458) 선단 근처의 부분이고 이 얼라인먼트핀(463,464)에 대치하는 위치에는, 고정핀(465,466)이 돌출형성되어 있다. 따라서 유리기판(G)이 제 2의 보유·유지부(457,458) 상에 재치되어 있는 경우에는, 이 얼라인먼트핀(463,464)이 X방향을 따라 전후로 움직여, 유리기판(G)의 전단위치가 가지런히 된다.
또, 제 1의 보유·유지부(455,456)와 제 2의 보유·유지부(457,458)를 각각 형성하고 있는 아암(453,454)은, Y방향으로 대향거리가 커지거나 줄어들도록 기대부(451,452)에 설치되어 있다. 따라서, 제 1의 보유·유지부(455,456) 또는 제 2의 보유·유지부(457,458)에 보유·유지된 유리기판(G)은, 아암(453,454) 자체의 대향거리의 확장 또는 축소동작에 의해 Y방향을 따라 옆방향으로 위치가 가지런히 되어진다.
덧붙여 설명하면, 2개의 보유·유지부재는, 승강부재(48)를 공유하고 있다.
이상에서 설명한 본 실시형태와 같이 보유·유지부재를 복수로 배치함으로써, 처리장치에 대하여 유리기판(G)을 반입하는 보유·유지부재와, 처리장치에서 처리된 유리기판(G)을 수취하는 보유·유지부재를 따로따로 하는 것이 가능하여, 스루풋(throughput)을 향상시킬 수 있다.
다음, 도 20을 사용하여, 본 발명의 제 7의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 20은 기판반송장치의 제어부를 설명하기 위한 도면이다. 본 실시형태는, 유리기판(G)의 회전 타이밍을 제어하는 기구를 더 부가시킨 구성으 로 되어 있고, 여러 가지 기판반송장치에 적용이 가능하다.
제어부는, 반송의 순서, 각 처리장치로 반입할 때에 유리기판(G)의 회전이 필요한가 그렇지 않은가, 각 처리장치간의 반송시간, 유리기판(G)의 회전시간, 각 처리장치에 있어서의 처리시간등의 정보가 미리 입력되어 있다.
제어부에서는, 기판반송장치가 유리기판(G)을 수취하면, 다음에 반송되는 처리장치로의 유리기판(G)의 반입에 있어서, 유리기판을 회전하여 방향을 바꿀 필요가 있는가 그렇지 않은가가 먼저 판단된다.
유리기판(G)의 회전이 필요가 없을 경우(NO의 경우), 기판반송장치는 유리기판(G)을 회전시키는 일 없이 유리기판(G)을 반송한다.
한편, 여기서 유리기판(G)의 회전이 필요한 경우(YES의 경우), 다음에 유리기판(G)이 반입되는 처리장치 내에서 먼저 처리되고 있는 유리기판(G)의 남은 처리시간(그림중, 남은 시간)과, 다음의 처리장치까지의 반송시간과 회전에 필요한 시간의 합이 제어부에서 비교된다. 그리고, 반송시간과 회전시간의 합이 남은 시간보다도 길다고 판단(NO)되면, 제어부는 반송중에 유리기판(G)을 회전시키도록 지시하여, 유리기판(G)은 이동중에 회전하게 된다. 이 때문에, 유리기판(G)은 다음의 처리장치 내로 순조롭게 반입되게 되어, 유리기판(G)의 반송후에 회전하는 경우와 비교하여, 회전시간만큼 전체적으로 처리시간을 짧게 할 수 있기 때문에 스루풋을 향상시킬 수 있다. 한편, 반송시간과 회전시간의 합이 남은 시간보다도 짧다고 판단 (YES의 경우)되면, 제어부는 반송후에 유리기판(G)을 회전시키도록 지시하여, 유리기판(G)은 이동후에 회전되게 된다. 이 경우에, 이동후에 유리기판(G)을 회전시켜 도 남은 시간이 충분히 있기 때문에 스루풋에 영향이 없다.
이상과 같이, 본 실시형태에 있어서는, 필요에 따라 유리기판(G)의 이동중에 유리기판(G)의 회전을 행하기 때문에, 스루풋을 향상시키는 것이 가능하다.
다음, 도 21을 사용하여, 본 발명의 제 8의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 21은 본 실시형태에 관련된 기판반송장치(580)에 개략 평면도이다. 본 실시형태의 기판반송장치(580)는, 제 3 실시형태의 기판반송장치(80)와 거의 동일한 구조를 갖추고, 수용카세트 내에 수용된 유리기판(G)이 회전할 수 없는 점, 유리기판(G)의 수취방법이 다른 점에서 상이하다. 이하, 제 3 실시형태와 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다. 또, 동일한 구성에 관하여 동일한 부호를 사용하고 있다.
본 실시형태에 있어서는, 수용카세트(582a) 내에 수용되는 유리기판(G)의 방향이 항상 일정하게 수용된다. 수용카세트(582a) 내에는, 유리기판(G)을 흡착하여 고정시키는 스핀척(582b)이 각각 배설되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 수용카세트(82a)에 수용된 유리기판(G)을 꺼낼 때에 있어서, 반송하는 처리장치에 따라 주고받음부재(86)가 유리기판(G)을 꺼내는 방법이 다르다. 즉, 도 21(a)에 나타내는 바와 같이, 유리기판(G)을 처리장치에 대하여 장변측으로부터 반입하는 경우에는, 주고받음부재(86)는 장변측으로부터 유리기판(G)을 수취한다. 한편, 유리기판 (G)을 처리장치에 대하여 단변측으로부터 반입하는 경우에는, 도 21(b)에 나타내는 바와 같이, 주고받음부재(86)는 단변측으로부터 유리기판(G)을 수취한다.
이상과 같이, 유리기판(G)에 대하여 주고받음부재가 들어가는 방향에 따라, 유리기판(G)의 방향을 바꿀 수도 있다.
다음, 도 22∼도 24를 사용하여, 본 발명의 제 9의 실시형태에 관련된 기판반송장치에 관하여 설명한다. 도 22는 도포·현상처리시스템의 사시도이고, 도 1에 있어서 도포·현상처리시스템과 거의 동일한 구조를 갖추고 있고, 제 1의 주고받음부(12)의 구조가 다르다고 하는 점만이 상이하다. 도 23은 본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(680)의 개략 측면도이고, 도 24는 제 1의 주고받음부(670)의 개략 측면도이다. 제 3 실시형태에서는, 기판반송장치(80)로서 동일 대좌부(81)에 수용대 (82)와 아암지지대(83)가 배치되어, 대좌부(81)의 이동에 의해 수용대(82) 및 아암지지대(83)가 이동하는 구성으로 되어 있었지만, 본 실시형태에서는 아암지지대 (83)만이 이동하고, 수용대는 고정배치되어 제 1의 주고받음부(670)에 설치되어 있고, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26) 사이에서 유리기판(G)의 주고받음에 사용된다. 이하, 상술한 구성에 관하여 동일한 개소(箇所)에는 같은 부호를 사용하고, 동일한 구조 및 동작에 관하여는 설명을 일부 생략한다.
본 실시형태에 있어서의 기판반송장치(680)는, 대좌부(681)의 하부에 상기 도포·현상처리시스템(1)의 반송로(10,11) 상에 설치된 레일(36,37)을 따라 이동이 가능한 Y방향 이동체(782)가 설치되어 있다. 이 대좌부(681)는, 또 θ방향으로 수평이동이 가능하도록 설치되어 있다.
대좌부(681)에는, 소정의 높이로 아암지지대(683)에 설치되어 있다. 이 아암지지대(683)는, 본 실시형태에서는 회전이 가능하도록 설치되어 있고, 또 그 상면에는 제 3의 실시형태와 마찬가지로 다관절아암(84)의 기부가 상호로 간격을 두 고 회동이 자유롭도록 설치되어 있다. 다관절아암(84)은, 축부재(84a)를 매개로 하여 상호 회동이 자유롭도록 연결된 복수의 아암편(84b)에 의해 구성되고, 그 중에서 제일 선단측에 가깝게 배설된 아암편(84b)에, 주고받음부재(86)가 축부재를 매개로 하여 당해 선단측의 아암편(84b)에 대하여 회동이 자유롭도록 연결되어 있다.
주고받음부(670)는, 유리기판(G)을 수용하는 수용대(682)가 제 1의 반송장치 (25) 및 제 2의 반송장치(26)에 진입될 수 있도록 설치되어 있다. 이 수용대(682)는, 소정 높이의 위치에 복수단의 수용카세트(682a)가 설치되어 있고, 각 수용카세트(682a) 내에는 회전이 가능하도록 배설된 스핀척(682b)이 각각 배설되어, 유리기판(G)의 주고받음시에 유리기판의 방향이 적절하게 되도록 회전이 가능하도록 되어 있다.
본 실시형태에 의하면, 제 1의 반송장치(25) 및 제 2의 반송장치(26) 사이에서 유리기판(G)의 주고받음을 행할 경우, 유리기판(G)은 수용대(682)의 수용카세트 (682a) 내의 스핀척(682b) 상에 보유·유지된다. 또, 반송로(10)를 따라 배치된 처리장치간의 반송시에 유리기판(G)의 회전이 필요한 경우에, 유리기판(G)은 수용대 (682)의 수용카세트(682a) 내의 스핀척(682b) 상에 보유·유지된다. 그리고, 주고받음부(670)에서, 스핀척(682b) 상에 유리기판(G)을 보유·유지시켜, 필요에 따라 유리기판(G)을 소정 각도로 회전시킨다.
이상의 본 실시형태와 같이, 유리기판(G)의 주고받음부에 유리기판(G)의 회전기구를 덧붙인 구성으로 하여도 좋고, 이와 같은 구성으로 함으로써, 반송로에 필요한 면적을 작게 할 수 있어 시스템 전체를 소형화할 수 있다.
다음, 도 25, 도 26을 사용하여, 본 발명의 제 10의 실시형태에 관련된 처리장치에 관하여 설명한다. 도 25는 처리장치의 단면도이고, 도 26은 평면도이다. 본 실시형태는, 스핀 코우팅법이 사용되는 처리장치에 유리기판의 방향을 원하는 위치에 설정하는 회전기구를 설치하고 있는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 처리장치는, 예를들어 도포·현상처리시스템에 있어서의 세정장치 (16)에 적용할 수 있고, 스핀 코우팅법을 사용한 처리장치로부터 다음 처리장치 내에 반송할 때에, 유리기판의 방향을 변경할 필요가 있는 경우에 사용할 수 있다. 이에 의해, 예를들어 상술한 각 실시형태에서 설명한 기판반송장치에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략할 수 있다.
이하, 세정장치(16)에 적용시킨 예를, 도면을 이용하여 설명한다.
세정장치(16)의 중앙부에는 고리형상의 컵(CP)이 배설되고, 컵(CP) 내부에는 스핀척(752)이 배설되어 있다. 스핀척(752)은 진공흡착에 의해 유리기판(G)을 고정시켜 보유·유지한 상태로 구동모터(754)에 의해 회전구동된다. 구동모터(754)는, 유니트 바닥판(750)에 설치된 개구(750a)에 승강이동이 가능하도록 배치되어, 예를들어 알루미늄에 의해 구성되는 캡 형상의 플랜지부재(758)를 매개로 하여, 예를들어 에어실린더에 의해 구성되는 승강구동수단(760) 및 승강가이드수단(762)에 결합되어 있다. 구동모터(754)는, 제어부(701)에 의해 제어되고 있다. 제어부(701)에는, 세정장치(16) 내에 반입될 때의 기판반입방향 및 다음의 처리장치 내로의 기판반입방향의 정보가 미리 입력되어 있다. 그리고, 이들 정보에 따라, 회전 후, 다음의 처리장치 내로의 기판의 반입방향으로 되도록, 유리기판(G)이 정지하도록 제어 부(701)에 의해 기판의 회전이 제어되고 있다. 또, 세정장치(16)에는 개구부(DR)가 설치되어 있고, 이 개구부(DR)를 매개로 하여 기판보유·유지부(748) 상에 보유·유지된 유리기판(G)의 반입반출이 행하여진다.
유리기판(G)의 표면에, 세정액으로서의 순수(純水)를 공급하기 위한 토출수단으로서의 노즐(700)은, 노즐스캔아암(nozzle scan arm)(792)의 선단부에 부착되어 있다. 노즐(700)은, 유리기판(G)의 장변부보다 긴 직방체(直方體) 형상을 이루고, 길이방향을 따라 복수의 토출구(786)가 설치되어 있다. 그리고, 노즐(700)에 접속된 세정액 공급관(788)으로부터 노즐(700)에 대하여 세정액으로서의 순수가 공급되어, 토출구(786)로부터 순수가 유리기판(G)에 대하여 공급된다. 노즐스캔아암 (792)은, 유니트 바닥판(750) 상에 하나의 방향(Y방향)으로 깔려져 설치된 가이드레일(794) 상에서 수평이동이 가능한 수직지지부재(796)의 상단부에 설치되어 있고, Y방향 구동기구(도시않됨)에 의해 수직지지부재(796)와 일체로 되어 Y방향으로 이동하도록 되어 있다. 그리고, 유리기판(G)을 세정할 때에는, 유리기판(G)을 회전시키며, 세정액을 토출하면서 노즐(700)을 Y방향으로 이동시킨다.
이상과 같이, 스핀 코우팅법을 사용한 처리장치에, 회전후에 소정의 위치로 유리기판이 위치되도록 기구를 설치함으로써, 상술한 각 실시형태에서 설명한 기판반송장치에 있어서의 유리기판(G)의 회전동작을 생략시킬 수 있어, 스루풋이 향상한다.
이상의 각 실시형태에 있어서, CVD, 앳셔(asher), 엣쳐(etcher)등이 혼재되어 있고 각각에 반입반출되는 기판의 처리자세가 상이한 라인에 있어서도 적용이 가능하고, 반입반출되는 기판의 처리자세가 다른 라인에 있어서도 유효하다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판반송장치 또는 처리장치에 기판의 방향을 조정하는 수단을 설치함으로써, 처리라인 상에 이른바 장변주기의 처리장치 및 단변쥐기의 처리장치가 혼재하여 배치되어 있어도, 처리장치 간의 기판의 주고받음을 확실하게 행할 수 있다.

Claims (17)

  1. 처리대상의 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,
    적어도 중앙부 부근에 개구를 가지며, 기판을 보유·유지하는 제 1 보유·유지부재와,
    상기 제 1 보유·유지부재의 상방으로 겹치도록 배치되어, 적어도 중앙부 부근에 개구를 가지며, 기판을 보유·유지하는 제 2 보유·유지부재와,
    상기 제 1 및 제 2 보유·유지부재의 상기 개구를 관통하도록 상하로 움직이는 것이 가능함과 동시에, 축심을 중심으로 하여 수평회전이 가능하도록 설치되어, 상기 제 1 보유·유지부재에 의해 보유·유지된 기판을 제 1 보유·유지부재보다 상방 또한 상기 제 2 보유·유지부재보다 하방위치로 들어올려 기판을 소정 각도로 회전시켜 소정의 방향으로 조정하고, 하강할 때에, 상기 제 1 보유·유지부재에 상기 기판을 소정의 방향으로 보유·유지시키고, 상기 제 2 보유·유지부재에 의해 보유·유지된 기판을 상기 제 2 보유·유지부재보다도 상방위치로 들어 올려 기판을 소정각도 회전시켜 소정의 방향으로 조정하며, 하강할 때, 상기 제 2 보유·유지부재에 상기 기판을 소정의 방향으로 보유·유지시키는 기판방향조정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판반송장치가 하나의 처리장치로부터 다른 처리장치로 기판을 반송하는 반송시간과 상기 기판방향조정수단에 의한 기판의 방향 조정에 필요한 시간과의 합이 다른 처리장치에서 먼저 처리되고 있는 기판의 남은 처리시간보다 길 때에, 상기 기판반송장치에 의한 기판의 반송 중에 상기 기판방향조정수단에 의해 기판의 방향을 조정하고, 상기 반송시간과 상기 기판방향조정수단에 의한 기판의 방향조정에 필요한 시간과의 합이 다른 처리장치에서 먼저 처리되고 있는 기판의 남은 처리시간보다 짧을 때에, 상기 기판반송장치에 의한 기판의 반송 후에 상기 기판방향조정수단에 의해 기판의 방향을 조정시키는 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 조정수단의 축심은, 상기 기판의 중심부에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 직교하는 장변과 단변을 가지는 장방형상을 이루며,
    상기 제 2 보유·유지부재가,
    대향하는 한쌍의 제 1 측벽의 대향방향으로 상기 기판의 장변방향을 맞춘 상태로 상기 기판을 상기 제 1 측벽 사이에서 보유·유지할 수 있는 제 1의 보유·유지부와,
    대향하는 한쌍의 제 2 측벽의 대향방향으로 상기 기판의 단변방향을 맞춘 상태로 상기 기판을 상기 제 2 측벽 사이에서 보유·유지할 수 있는 제 2의 보유·유지부와,
    상기 제 1 및 제 2의 보유·유지부를 지지함과 동시에, 전후로 움직일 수 있도록 설치된 기대부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1의 보유·유지부재 및 제 2의 보유·유지부는, 각각 장변방향 및 단변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 직교하는 장변과 단변을 가지는 장방형상을 이루며,
    상기 제 1 보유·유지부재가, 대향하는 측벽사이의 폭이 상기 기판의 장변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽들의 대향방향으로 장변방향을 맞춘 상태에서 상기 기판을 보유·유지할 수 있는 넓은 폭을 갖추는 제 1의 보유·유지부와,
    대향하는 측벽사이의 폭이 상기 기판의 단변의 길이에 상당하는 길이를 가지고, 이 측벽들의 대향방향으로 단변방향을 맞춘 상태에서 상기 기판을 보유·유지할 수 있는, 상기 제 1의 보유·유지부보다 좁은 폭을 갖추는 제 2의 보유·유지부와,
    상기 제 1 및 제 2의 보유·유지부를 지지함과 동시에, 전후로 움직일 수 있도록 설치된 기대부를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1의 보유·유지부는, 단변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하고,
    상기 제 2의 보유·유지부는, 장변방향으로 상기 기판의 위치를 결정하는 위치결정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 위치결정수단은, 상기 기판을 끼우도록 상기 기판의 일변방향을 따라 배치된 상기 일변방향으로 이동이 가능한 얼라인먼트핀과 고정된 고정핀을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 위치결정수단은, 상기 기판을 끼우도록 상기 기판의 한변방향을 따라 배치된 한쌍의 상기 한변방향으로 회전이 가능한 로울러를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  10. 제 1 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판은 직교하는 장변과 단변을 가지는 장방형상을 이루며,
    상기 보유·유지부재가, 처리대상 기판의 단변의 길이보다 짧은 간격을 두고 설치된 한쌍의 지지편을 가지고, 각 지지편에 기판을 흡착하여 보유·유지하는 흡착부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  11. 처리대상 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,
    회전이 가능하도록 설치된 대좌부와,
    상기 대좌부의 한쪽에 설치됨과 동시에, 기판의 수용방향을 변경시킬 수 있는 수용카세트를 갖춘 수용대와,
    상기 대좌부 상의 한쪽에 설치되는 아암지지대와,
    기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과,
    당해 다관절아암의 선단측에, 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치된 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 아암지지대가, 상기 대좌부에 대하여 상대적으로 회전할 수 있도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 다관절아암과 주고받음부재가 복수의 쌍으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  14. 제 11 항 내지 제 13 항중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 주고받음부재의 형상이 전방부와 후방부가 다른 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  15. 제 11 항 내지 제 13 항중의 어느 한 항에 있어서,
    상기 수용대가 대좌부에 대하여 회전이 가능하도록 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  16. 처리대상 기판을 보유·유지하여 이동이 가능함과 동시에, 각 처리장치에 대하여 당해 기판을 소정의 방향으로 반입 또는 반출하는 기판반송장치로서,
    회전이 가능하도록 설치된 대좌부와,
    상기 대좌부의 한쪽에 설치되어, 기판을 수용하는 수용대와,
    상기 대좌부 상의 다른쪽에 설치되는 아암지지대와,
    기부가 당해 아암지지대에 대하여 회동이 가능하도록 지지되는 다관절아암과,
    당해 다관절아암의 선단측에, 당해 다관절아암에 대하여 회동이 가능하도록 설치된 기판의 주고받음부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판반송장치.
  17. 삭제
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