4 6 65 50 A7 ___B7 五、發明説明（1 ) 【發明之背景】 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係關於基板運送裝置，譬如使用於液晶顯示器 (Liquid Crystal Display : L C D )在玻璃基板等之被處理 基板上實施塗布.現象處理對塗布.現象裝置等之基板處 理，爲了用以搬出入被處理基板所使用。 在L CD之製造工程中，在L CD用之玻璃基板上爲 了用以形成I T 0 ( Indium Tin Oxide )之薄膜或電極模式 ，與使用於半導體裝置被使用同樣之照像石版印刷術（ photo-lithographic )。以照像石版印刷技術，係在用以洗淨 光敏電阻之基板進行塗布，並將此曝光，進而進行顯像。 經滴部智慧財產局員工消费合作社印製 在被處理基扳之玻璃基板，係被保持於基板運送裝置 並用以移動運送路上，做爲目的之處理裝置，譬如，來到 被配置基板洗淨裝置位置爲止則停止，並通過該基板洗淨 裝置之搬出入口用以搬入玻璃基板。若終了洗淨處理，則 通過該搬入出口使基板運送裝置再度收取玻璃基板，其次 之處理裝置，譬如，到顯像裝置之被配置位置爲止用以移 動運送路上。而且，用以搬入玻璃基板在顯像裝置內|顯 像處理後，由再度取得玻璃基板到下次之處理裝置之被配 置位置爲止用以移動運送路上進行重複同樣之動作。 於此，基板運送裝置，通常，係具有：保持構件，具 備配置成鑷子狀之2片的柄片：及支持體，用以支持該保 持構件。使支持體移動沿著設於定位在各種之處理裝置間 的f送路上之導軌構件，做爲目的使處理裝置若到達被配 置之場所則使該支持體停止並在水平方向進行預定角度轉 本紙張尺度適用中國國家標準（CMS ) A4規格< 210X297公釐） -4- 〇 〇5 5Ο Α7 ___Β7_ 五、發明説明（2 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 動，若面對於該處理裝置之基板搬出入口，則使保持構件 進行前進。而且，在該處理裝置爲了交接在上昇之昇降銷 或旋轉卡盤之間進行玻璃基板之交接。 此時，成爲收取部之昇降銷係設在預定之配置上。又 ，使旋轉卡盤用以保持玻璃基板並進行下降，到達處理位 置則使玻璃基板被收容於預定形狀之處理框架內。藉由基 板運送裝置之保持構件使玻璃基板之保持姿勢若合致於該 收取部的配置或處理姿勢則不會產生交接之障礙。譬如， 在處理線上使依順序被設置之各種處理裝置的設計規格具 有共通時係無問題，但製造廠商不同時，會有規格不同的 情形。具體而言，因爲玻璃基板係被形成爲長方形，所以 在處理裝置搬入或搬出時，在搬出入方向必要沿著長邊側 之型式（所謂取短邊），或必要沿著短邊側之型式（所謂 取長邊）。 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印製 但是，習知技術之基板運送裝置，係若一旦用以保持 玻璃基板，則在保持構件上之保持姿勢係固定。因此，先 前，如上述使不同規格之處理裝置被設置時，係預先，用 以調整各種處理裝置中之昇降銷的配置，或必要變更處理 框架之形狀並進行調整。可是，將如此調整在現場進行係 非常麻煩。特別是，近年來做爲被設置於處理線上之各種 處理裝置使用不同廠商之裝置的情形係有增無減，期待如 上述提供不進行昇降銷等之設計變更作業而完成的裝置。 【發明之槪要】 本纸張尺度適用肀國國家標準（CNS )A4说格（210X297公釐） -5- -G ο 5 δ Ο A7 __B7___ 五、發明説明（3 ) 本發明係有鑑於上述之情事而發明，係提供一種基板 運送裝置，可對應於處理裝置不管係所謂取長邊或取短邊 ，可不用在處理裝置中之收取部或處理框之修正作業。 爲了解決上述問題，本發明之基板運送裝置，係用以 保持成爲處理對象之基板可移動，同時對各處理裝置，將 該基板以預定之方向進行搬入或搬出，其特徵在於具有： 基板之保持構件；及基板朝向調整裝置，可上下移動，同 時以軸心爲中心設置成可水平轉動，在比前述保持構件更 上方位置中使基板旋轉預定角度調整成預定朝向，進行下 降時，在前述保持構件，使前述基板以預定朝向被保持。 若依據本發明如此構成，則可上下移動，同時藉由設 置基板朝向調整裝置以軸心爲中心設置成可水平旋轉，可 用以變更基板之交接方向，對各處理裝置將基板以預定方 向可進行搬入或搬出。因此，在處理線上，即使混合被設 置有所謂取長邊之處理裝置或取短邊之處理裝置，但若依 據本基板運送裝置，則在與處理裝置之間確實可進行基板 之交接。 本發明之其他基板運送裝置，係用以保持成爲處理對 象之基板並可移動’同時對各處理裝置，將該基板以預定 方向可進行搬入或搬出，其特徵在於具有：台座部，被設 置成可旋轉：收容台，被設置於前述台座部上之一方側， 同時具備收容卡匣可變更基板之收容方向：柄支持台，被 設辱於前述台座部上之他方側；多關節柄，使基部對該柄 支持台被支持成可轉動；及基板之交接構件，在該多關節 本紙银尺度適用中國國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐） (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) •f
、1T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6 - 466550 A7 B7 五、發明説明（4 ) 柄之前端側’對該多關節柄被設置成可轉動。 若依據本發明如此之構成，則進行基板之搬出入到處 理裝置附近停止時’使被設置於台座部之他方側的柄支持 台未對置於處理裝置時，則使台座部進行旋轉。即，各處 理裝置係因爲挾持運送路進行對置被設置，所以做爲目的 在處理裝置之搬出入口使柄支持台在未對置時，則使台座 部約旋轉1 8 0度。其次，使被收容於收容卡匣內之基板 方向其目的係用以調整基板方向能合對於處理裝置之交接 方向。接著，使多關節柄動作，使交接構件與收容台對置 ，藉由交接構件用以保持收容卡匣內之基板。若保持了基 板，則使多關節柄動作其目的係由該處理裝置之搬出入口 在保持預定之姿勢下1進行搬入。在處理終了後進行搬出 時，則與上述進行完全相反的動作。若依據如此之本發明 ，則不管基板朝任何方向，以一個之交接構件可用以保持 基板。 又，本發明之其他基板運送裝置，係用以保持成爲處 理對象之基板可移動，同時對各處理裝置，將該基板以預 定之方向進行搬入或搬出中，其特徵在於具備有：台座部 ，設置成可旋轉；收容台，設置於前述台座部上之一方側 ，用以收容基板；柄支持台，設置於前述台座部上的他方 側；多關節柄*使基部對該柄支持台被支持成可轉動；及 基板之交接構件，在該多關節柄之前端側，對該多關節柄 被置成可轉動。 若依據本發明之如此構成，則藉由多關節柄及被設置 本纸張尺度適用中國國家標準（〇奶）戍4規(格（2丨0乂297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 線 經濟部智慧財是局員工消費合作社印製 A7 4 6 6 5 5 0 _B7 五、發明説明（5 ) {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 成可轉動之交接構件，對被收容於收容台之基板由所要之 邊側可使交接構件進入。因此，不用新設基板旋轉機構， 可使基板旋轉。 又，本發明之處理裝置，其特徵係具備有：基板保持 構件，用以保持成爲處理對象之基板；旋轉裝備，用以旋 轉前述基板；處理液吐出裝備，用以供給處理液到前述被 處理基板的表面；及控制部，藉由前述旋轉裝備使進行旋 轉之前述基板能控制在停止於預定之位置。 若依據本發明之如此構成，則可略處理裝置外之玻璃 基板G之旋轉動作，可提高生產效率。 【發明之實施形態】 以下，將本發明之實施形態根據圖式加以說明。 首先，使用本發明之基板運送裝置對於塗布.顯像處 理系統之全體構造根據圖1加以說明。 經濟部智慧財產局®工消費合作社印製 如圖1所示，在該塗布.顯像處理系統1之前方，係 設有裝卸機部將玻璃基板G，對塗布.顯像處理系統1進 行搬出入。該裝卸機部，係設有：卡匣載置台3，將玻璃 基板G譬如各收容2 5片之卡匣C使整列並載置於預定位 置；裝卸機4 1由各卡匣C將應處理之玻璃基板G取出， 又在塗布·顯像處理系統1中將處理終了後之玻璃基板G 返回到各卡匣C。圖示之裝卸機4，係藉由本體5之行走 移f到卡匣C之配列方向，藉由搭載於本體5之板片狀的 鑷子6由各卡匣C將玻璃基板G取出，又能形成返回玻璃 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） a 經濟部智慧財產局W工消费合作社印製 6 65 5 0 A7 _______B7 五、發明説明（6 ) 基板G到各卡匣C。又，在鑷子6之兩側，係設有基板位 置合對構件7 ，用以保持玻璃基板G之四隅並進行位置合 對。 在塗布·顯像處理系統1之中央部，係使配置於長度 方向之走廊狀的運送路1 0、1 1通過第1交接部1 2設 置成一直線上，在該運送路1 0、1 1之兩側，配置著各 種處理裝置對玻璃基板G爲了進行各處理。 在圖示之塗布.顯像處理系統1中*係在運送路1 〇 之一側方，譬如並設有2台洗淨裝置1 6 ，將玻璃基板G 進行刷子洗淨同時藉由高壓噴水爲了實施洗淨。又，在挾 持運送路1 0之反對側，並設二部之顯像裝置1 7，並在 其傍邊重疊設有二部之加熱裝置1 8。 又，在運送路1 1之一側方，設有附著裝置2 0在玻 璃基板G用以塗布抗蝕液之前用以排水處理玻璃基扳G， 在該附著裝置2 0之下方係配置有冷卻用之冷卻裝置2 1 。在此等附著裝置2 0及冷卻裝置2 1之傍邊係各二列二 個重疊配置著加熱裝置2 2。又，在挾持運送路1 1之相 反側，配置有保護層塗布裝置2 3在玻璃基板G之表面藉 由用以塗布抗蝕液在玻璃基板G之表面用以形成保護層膜 。未圖示，但在此等塗布裝置2 3之側部，係設有曝光裝 置等，通過第2交接部2 8 |在形成於玻璃基板G上之保 護層膜爲了用以曝光預定之微細模式。第2交接部2 8， 係f備搬出入鑷子2 9及交接台3 0，爲了用以搬入及搬 出玻璃基板G。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -9- ---------1------ΐτ—^-----0 , (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6 65 50 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) 以上之各處理裝置16〜18及2 0〜2 3 ,係皆在 運送路1 0 ' 1 1之兩側，將玻璃基板G之搬出入口朝向 內側被配置。使第1運送裝置2 5在裝卸機部2，各處理 裝置1 6〜1 8及第1交接部1 2之間爲了用以運送玻璃 基板G移動運送路1 〇上，使第2運送裝置2 6在第1交 接部1 2 ，第2交接部2 8及各處理裝置2 0〜及2 3之 間爲了用以運送玻璃基板G形成用以移動運送路11上。 其次，將有關本發明第1實施形態之基板運送裝置 4 0的構造加以說明，係在上述之塗布.顯像處理系統1 中可採用第1運送裝置2 5及第2運送裝置2 6。圖2係 顯示本基板運送裝置4 0之構成斜視圖，圖3係顯示其一 部分剖面前視圖，圖4及圖5係平面圖。 該基板運送裝置4 0，係具有Y方向移動體4 1 ，沿 著運送路1 0、1 1將被設置之導軌3 5上可移動到Y方 向。該Y方向移動體41 ，以本實施形態係能跨越導軌 3 5被設置，藉由被配設於內部之未圖示驅動馬達之驅動 進行移動。在該Y方向移動體4 1之上部，係設有第1旋 轉軸4 3，設有馬達4 2，藉由該馬達4 2形成可旋轉成 Θ方向。該第1旋轉軸4 3 ，進而藉由配設於Y方向移動 體4 1內的昇降部（未圖示）被設置成可動作於上下方向 (Z方向）》 在第1旋轉軸43之上部，係固定有支持板44，在 該考持板4 4之大致中央部，係被支持著昇降構件4 8具 有第2旋轉軸4 7可上下移動。具有該第2旋轉軸4 7之 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ·" -訂 經濟部智慧財凌局員工消贽合作社印製 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) 格（2丨0 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 466550 A7 B7 五、發明説明（8 ) 昇降構件4 8在本實施形態中係用以構成基板朝調整裝置 〇 在支持板4 4中之昇降構件4 8的周邊部，係配設著 複數支持銷4 9 1藉由該支持銷4 9使板狀之基台部用保 持台5 0被支持成水平。在該基台部用保持台5 0之表面 係沿著X方向刻設著導溝5 1 _，沿著該導溝5 1配設著基 台部5 2可移動於X方向（前後方向）。 在基台部5 2之內部*係被配設有驅動構件（未圖示 )爲了使該基台部5 2前後移動，同時由其兩側，一旦延 伸於橫方向之後，大致以垂直延伸於前方，將基台部5 2 做爲中心設有一對之柄5 3、54被配置成鑷子狀。柄 5 3、5 4 ，係分別如圖3所示，由正面觀看朝向外側成 爲上昇階梯狀形成著段差部5 3 a ' 5 4 a ，挾持該段差 部53a、54a之上段係形成第1保持部55、56， 下段係形成第2保持部57、58。因此，本實施形態中 ，係藉由基台部5 2，及含有各保持部5 5〜5 8之柄 53、54用以構成保持構件。 在第1保持部5 5、5 6之外側，係分別對置形成著 立起側壁5 5 a、5 6 a ，該側壁5 5 a、5 6 a間之間 隔，係具有比保持對象之玻璃基板G之長邊的長度稍長的 間隔。因此，在該側壁5 5 a 、5 6 a彼此之對置方向藉 由使保持在沿著玻璃基板G之長邊方向的狀態下，使處理 裝f可處理所謂取長邊的情形。 另外，第2保持部5 7、5 8之對置的側壁（相當段 本紙伕尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----------f-------、ul^-----.^:- (請先閱讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) -11 - A7 466550 _B7_ 五'發明説明（9 ) 差部5 3 a 、5 4 a )間之間隔，係比玻璃基板G之短邊 的長度稍長，具有比長邊之長度稍短的間隔。因此，在該 段差部5 3 a 、5 4 a彼此之對置方向藉由使保持在沿著 玻璃基板G之短邊方向的狀態下，使處理裝置可處理所謂 取短邊的情形。 在第1保持部5 5、5 6中靠近基台部5 2的部分， 係設有可移動於X方向之調整銷5 9、60分別由下方能 突出到上方。又，在靠近該第1保持部5 5、56之前端 的部分在對峙於該調整銷5 9、6 0之位置，也被突出形 成著固定銷6 1、6 2。使玻璃基板G被保持於第1保持 部55、56上時，則使調整銷59、60沿著X方向進 行動作，使玻璃基板G之前端位置被一致。 同樣，在第2保持部57、58中靠近基台部52的 部分，也設有可移動於X方向之調整銷6 3 、6 4分別能 突出到上方，在靠近該第2保持部5 7、5 8之前端的部 分在對峙於該調整銷6 3、6 4之位置，係被突設著固定 銷6 5、6 6。因此，使玻璃基板G被載置於第2保持部 57 ' 58上時，則使調整銷63、64沿著X方向進行 前後移動，使玻璃基板G之前端位置被一致。 又，分別形成有第1保持部5 5、5 6及第2保持部 57 ' 58之柄53、54，係使對置距離於Y方向能擴 大或縮小安裝在基台部5 2。因此，保持於第1保持部
、56或第2保持部57、58之玻璃基板G，係藉 由柄5 3、5 4自體之對置距離的擴縮動作，使在沿著Y ---------Γ------1Τ—^-----.a- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4说格（210X：297公羞） -12- 4 6 65 50 A7 ____B7__ 五、發明説明（1〇 ) 方向之橫方向位置被形成一致。 在基台部用保持台5 0之大致中央位置，係被設有貫 通孔用以貫通於上下’在該貫通孔，被插通著昇降構件 4 8之第2旋轉軸4 7用以構成上述之基板朝向調整裝置 ，並使其頭部4 7 a經常突出於基台部用保持台5 0上。 頭部47a ’係在第1保持部55 ' 56，第2保持部 5 7、5 8分別用以保持玻璃基板G時，被配置成能定位 於玻璃基板G之中心部。 若依據有關本實施形態之基板運送裝置4 0 ，則譬如 ，將此做爲上述之塗布.顯像處理系統1之第1運送裝置 2 5採用時，首先，由裝卸機4收取玻璃基板G。其次， 沿著被設於運送路1 0上之導軌3 5 ，移動到Y方向，其 目的係移動到處理裝置之搬出入口正面爲止=接著，將第 1旋轉軸4 3藉由馬達4 2使旋轉預定角度成Θ方向，使 柄5 3、5 4及該處理裝置之搬出入口成對置。 於此，該基板運送裝置4 0，如圖4所示，將處理對 象之玻璃基板G，由上述裝卸機4 *在柄5 3、54之對 置方向沿著該玻璃基板G之短邊用以保持於第2保持部 5 7、5 8。此時，其目的係使處理裝置之收取部在所謂 取短邊時，則使基台部5 2直接前進於X方向可交接，但 在取長邊時，則使基板朝向調整裝置動作並用以變更玻璃 基板G之方向。 _即，由圖6 ( a )所示之狀態，到（b )所示，使昇 降構件4 8之第2旋轉軸4 7上昇上去，在上昇途中用以 ---------广-------訂1^-------線、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財/t局sk工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4说格（210X297公釐） -13- b 6550 A7 B7 經濟部智葸財產局員1-|消費合作钍印^ 五、發明説明（n) 保持玻璃基板G於頭部4 7 a ，並使上昇到保持構件之柄 53、54之上方位置爲止，使該第2旋轉軸47在0方 向約水平旋轉9 0度。藉此，使玻璃基板G之長度形成能 對置於處理裝置。其次，使第2旋轉軸4 7下降下去，則 如圖6 ( c )及圖5所示，在下降途中，使玻璃基板G之 短邊側的側緣形成被保持於第1保持部5 5、56。而且 ，使基台部5 2沿著基台部用保持台5 0之導溝5 1並前 進於X方向，則使收取部形成取長邊在處理裝置可交接玻 璃壓板G。 尙有，由該基板運送裝置4 0之裝卸機4使收取玻璃 基板G方向與上述相反使長邊側成爲正面方向，被載置於 第1保持部5 5、5 6 ，且使搬出入對象之處理裝置的收 取部在所謂取短邊時，則由圖6 ( c )之狀態成爲如圖6 (a )之狀態使昇降構件4 8之第2旋轉軸4 7進行動作 0 若依據本實施形態，則如上述，藉由使昇降構件4 8 之第3旋轉軸4 7上昇並使旋轉，將玻璃基板G之保持方 向不管長邊及短邊皆可調整成正面。因此，在處理線上， 使旋轉卡盤或昇降銷等之收取部即使所謂取長邊專用，或 相反即使取短邊專用，但皆對處理裝置，使用有關本發明 基板運送裝置4 0可進行玻璃基板G之交接。如此，可上 下移動，同時藉由設置基板朝向調整裝置以軸爲中心設置 成$水平旋轉，可用以變更基板之交接方向，對各處理裝 置將基板以預定方向可進行搬入或搬出。因此，在處理線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
•V '訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14- 466550 A7 B7 五.、發明説明（12 ) (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上，即使被設置混合所謂取長邊之處理裝置或取短邊之處 理裝置，但若依據本基板運送裝置，則在與處理裝置之間 確實可進行基板之交接。 又，藉由設置第1保持部及第2保持部，在第1保持 部由於使基板被載置在與取長邊之該處理裝置之間形成基 板可搬出入，而在第2保持部由於使基板被載置在與取短 邊之該處理裝置之間形成基板可搬出入。 其次，根據圖7及圖8，對於有關本發明第2實施形 態之基板運送裝置4 0加以說明。該基板運送裝置4 0， 係具有Y方向移動體41 ，第1旋轉軸43 ，支持板44 及支持銷4 9之點，係未圖式，但與上述有關第1實施形 態之基扳運送裝置4 0完全相同。本實施形態，係被支持 於支持銷4 9藉由基台部用保持台5 0被支持之保持構件 的構成係形成不同。 經濟部智慧財產局®工消費合作社印製 即1該保持構件’其構成具有：基台部5 2 :及一對 之支持片7 0、7 1 ，由該基台部5 2之兩側延伸到一端 外側後，大致彎曲成垂直並突出到前方。該—對之支持片 70、71 ’係皆爲平坦之長板狀’使兩者間之間隔比保 持對象之玻璃基板G的短邊之間隔設定更短。即，玻璃基 板G之方向不管如何，皆可保持於該支持片7 〇、了 1± 之構成。 在支持片70，71 ，係分別形成複數真空孔72、 7 具有開口於其表面之基板的吸著部。該真空孔了 2、 7 3 ’係沿著支持片7 0、7 1之下面通過被配設之配管 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4坑格（210X297公釐） -15- ^ 6550 A7 __B7 五、發明説明（13 ) (未圖示）被連接於未圖示之真空源。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 若依據本實施形態，則如圖8 ( a )所示，譬如，由 裝卸機4將長邊做爲正面收取玻璃基板G時，使成爲搬出 入對象之處理裝置的收取部在所謂取短邊時，則如圖8 ( b)所示，使昇降構件48之第2旋轉軸47上昇，在其 途中，用以保持玻璃基板G在該第2旋轉軸4 7之頭部 4 7 a上，並使上昇到保持構件之支持片7 0、7 1之上 方位置爲止。接著，使第2旋轉軸4 7旋轉成約9 0度水 平，對處理裝置使玻璃基板G之短邊側對置之後，使該第 2旋轉軸4 7下降。支持片7 0、7 1間之間隔係因爲被 配置成比玻璃基板G之短邊間之間隔更狹窄，所以使玻璃 基板G即使以如此方向也被保支於支持片70、7 1上。 被保持於支持片7 0、7 1之玻璃基板G，係通過真空孔 7 2、7 3被吸引，並確實被吸著保持於支持片7 0、 7 1上面。之後，係使基台部5 2沿著導溝5 1並前進到 X方向，以所要之方向使玻璃基板G被交接到處理裝置。 尙有，圖7中，編號70a、70b及71a ' 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 71b，係調整銷分別突出於支持片70、71上，同時 設置成可動作於X方向。本實施形態中，配設於靠近基台 部5 2之調整銷7 0 a 、7 1 a係被設定可動作於X方向 1另外配設於靠近前端部之調整銷7 0 b、7 1 b係被固 定。被保持於支持片70、7 1上之玻璃基板G，即使被 保if於任何方向，但藉由配置於靠近基台部5 2之調整銷 7 0 a · 7 1 a的動作，擋接於被配置在靠近前端之調整 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） -16- 經濟部智慧財產局S工消費合作社印製 ^ ο 65 5 0 A7 ___B7 五、發明説明（14 ) 銷70b、71b爲止被壓著，使支持片70、71上之 玻璃基板G的X方向中的位置被修正成所定之位置。 又，未圖示，但在基台部用支持台5 0之上面，在支 持片7 0、7 1之外側，係在Y方向設有可動作之調整銷 爲佳。藉此，可修正玻璃基板G之Y方向中的位置。該情 形，若任何之調整銷可動作於Y方向，則使玻璃基板G在 任何方向，在支持片7 0、7 1上，皆可保持不會有任何 偏差。 以上，本實施形態中，係使保持構件，具有一對之支 持片設置成比成爲處理對象之基板的短邊長度更短的間隔 ，而在該支持片設有吸著部用以保持吸著基板。因爲使支 持片間之間隔比基板之短邊間的長度更短，所以藉由基板 朝向調整裝置使基板上昇並旋轉用以變更方向，若使下降 *則在任何方向也可保持於吸著部上。因此，若依據本實 施形態，以一個之保.持構件也可使成爲處理對象之基板保 持不同方向。 圖9係顯示有關本發明之第3實施形態的基板運送裝 置8 0之槪略平面圖，圖1 0係有關同實施形態之基板運 送裝置8 0的槪略側視圖。 有關本實施形態之基板運送裝置8 0，係在台座部 8 1之下部設有Y方向移動體1 8 2沿著設於上述之塗布 顯像處理系統1的運送路1 0、1 1上的導軌3 6、 3 γ可移動。該台座部8 1 ，係進而在Θ方向設置成可水 平旋轉。 ---------^------ir—;-----^ . (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4说格（2丨0X297公釐） -17- 4 b 6 5 5 0 A7 B7 經濟部智慧財/1局員工消资合作社印製 五、發明説明（15) 在台座部8 1之一方側，係被設有玻璃基板G之收容 台8 2。該收容台8 2，係在預定之高度的位置被設有複 數段之收容卡匣8 2 a ，在各收容卡匣8 2 a內，係分別 配設有旋轉卡盤8 2 b被配置成可旋轉。 在台座部8 1之他方側，係以預定之高度被設置著柄 支持台8 3。該柄支持台8 3，以本實施形態係被設置成 可旋轉，進而，在其上面，係使多關節柄8 4、8 5之基 部在相互間隔中被設置成自由旋轉。本實施形態中係設有 2個之多關節柄8 4、8 5 ，但此係使一方對處理裝置進 行存取之間，使他方可進行存取於收容卡匣8 2 a ，藉此 使玻璃基板G與處理裝置之間的交接不會間斷可連續進行 。當然，將多關節柄之設置數也可設置一個。 多關節柄84、85，係由複數之柄片84b、 85b所構成皆通過軸構件84a、85a並相互連結成 自由轉動，其中，在配設於最前端之柄片84b、85b ，使交接構件86、87通過軸構件88、89並對該前 端側之柄片84b、85b被連接成自由轉動。 交接構件86、87，係如圖9所示，具有2片之保 持片86a 、86a及87a、87a分別被配設成對置 ，由平面觀看被設置成鑷子狀。在該一對之保持片8 6 a 、86 a及87a 、87a上用以保持玻璃基板G，並在 與處理裝置間進行交接。保持片86a 、87a之具體的 構$係只限於得用以保持玻璃基板G而無任何限定，如上 述第1實施形態，具有可挾持玻璃基板G之側壁的構造也 ---------r II (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 線 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -18- •65 50 A7 B7 經濟部智慧財產局β工消費合作社印製 五 、發明説明（16 ) 1 I 可 > 如 第 2實施形態之支持片由具 備 真空孔之平板 狀 的 構 1 1 件 所 構 成 也可。又，使各一對之保 持 片 8 6 a、8 6 a 彼 1 1 此 或 保 持 片87a 、87a彼此之 分 別的對置間隔 ， 與 第 請 1 1 實 施 形 態同樣設置成擴大或縮小 也 可，進而，將 移 動 於 先 閲 讀 1 1 前 後 方 向 或橫方向之調整銷突設於 上 面，進行被保 持 玻 璃 背 1 1 基 板 之 位 置合對所構成當然也可。 注 意 重 ! | 若 依 據本實施形態，則在與裝 卸 機4之間，進 行 玻 璃 Ψ 項 再 1 填 1 基 板 G 之 交接時，該玻璃基板G， 係 被保持於收容 台 8 2 寫 本 之 收 容 卡 匣8 2 a內的旋轉卡盤8 2 b上。此時， 對 裝 卸 頁 1 1 機 4 > 使台座部8 1，柄支持台8 : 3 ，多關節柄8 4 1 1 8 5 或 交 接構件8 6 ' 8 7分別根 據 必要旋轉預定 角 度 > 1 I 並 使 交 接 構件8 6、8 7及裝卸機 4 被調整成對置 由 裝 訂 I 卸 機 4 收 取玻璃基板G，進而，使 此 等與收容卡匣 8 2 A 1 及 交 接 構 件8 6、8 7被動作成對置並在該收容卡匣 I 1 8 2 a 之 旋轉卡盤8 2 b上使玻璃基板G被保持。 1 1 如 此 狀態下，其目的係若移動 到 處理裝置附近 爲 止 Y 線 方 向 ( 圖 1 0中紙面進深方向）， 則 能吻合於該處 理 裝 置 i I 之 交 接 部 ，使收容卡匣8 2 a內之 旋 轉卡盤8 2 b 旋 轉 > 1 1 並 使 該 玻 璃基板G之長邊或短邊對置放著。 1 其 次 ，使交接構件8 6、8 7進行到收取收容卡 匣 1 I 8 2 a 內 之玻璃基板G，將玻璃基 板 G搬入到處理 裝 置 > 1 I 但 此 時 之 台座部8 1 ，柄支持台8〔 Ϊ 多關節柄8 4 1 1 8 5 或 交 接構件86 、87之動向 > 只要可達成如 此 動 作 1 1 並 無 其 他 限定，可進行種種之動作。 1 1 用 適 度 尺 張 紙 ^ 準 樣 家 國 國 4 6 6550 A7 _____B7_ 五、發明説明（】7 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 譬如’首先在最初，對處理裝置使一方之交接構件 8 6在對置之狀態下，使該交接構件8 6進行到收容卡厘 8 2 a收取玻璃基板g時，則將該交接構件8 6對多關節 柄8 4使旋轉1 8 0度，進而，將該多關節柄8 4由其基 板對柄支持台8 3使旋轉預定角度，進而用以調整各柄片 8 4 a之角度可進行收取。而且，在交接構件8 6上若能 撈起玻璃基板G進行載置，則再度，縮小柄片8 4 b間之 鄰接角度並由收容卡匣8 2 a內脫離，之後，僅使交接構 件8 6旋轉1 8 0度，在處理裝置之搬出入口使玻璃基板 G對置之後，將柄片8 4 b間之鄰接角度擴大用以插入到 該運送裝置。接著，對於他方之多關節柄8 5也使同樣動 作。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又’也可進行如圖1 1所示之動作。即，首先在最切 ，與上述同樣，對處理裝置使一方之交接構件8 6在對置 之狀態下，如圖1 1 ( a )所示，使柄支持台8 3旋轉 1 8 0度，使交接構件8 6對置於收容卡匣8 2 a。其次 ，擴大鄰接之柄片8 4間的鄰接角度，用以插入該交接構 件8 6到收容卡匣8 2 a內。此時，在收容卡匣8 2 a內 ，係使旋轉卡盤8 2 b旋轉預定角度，並使吻合於處理裝 置之交接部的姿勢下使玻璃基板G預先被調整係理所當然 ύ 接著，如圖11(b)所示，縮小鄰接之柄片84b 間；^鄰接角度，由收容卡匣8 2 a使交接構件8 6被脫出 。其次，如圖11 (c)所示，將柄支持台83與上述相 本纸張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2IOX297公釐） -20- 4 6 65 5 0 A7 B7 五.、發明説明（18 ) (請先閎讀背面之注意事項再填寫本頁) 反方向使旋轉1 8 0度，使交接構件8 6對置於處理裝置 ，進而擴大鄰接之柄片8 4間的鄰接角度’並通過該處理 裝置之搬出入口進行存取。藉此，在收容卡匣8 2 a內不 要破壞被調整成預定方向之玻璃基板G的姿勢，可用以搬 入到處理裝置。在處理裝置要用以搬出處理後之玻璃基板 時係與上述進行相反的動作。 又，使上述之一方的多關節柄8 4在與處理裝置之間 進行坡璃基板G的交接之間若使他方之多關節柄8 5存取 於收容卡匣82a ，則將坡璃基板G在與處理裝置之間可 連續進行搬出入。 尙有*挾持運送路1 0、1 1在配設於相反側之處理 裝置進行存取時，則本實施形態，係藉由使台座部8 1反 轉1 8 0度可進行。 根據本實施形態，也在收容卡匣8 2 a內使旋轉卡盤 8 2 b藉由旋轉預定角度，由於交接構件8 6、9 7將玻 璃基板G之保持姿勢不管取長邊或取短邊因爲皆可調整， 所以適用於被倂設不同規格之種種處理裝置的處理線上。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，上述之交接構件86、87之形狀，係使2片之 保持片86a、87a被配置成鑷子狀的形狀，但如圖 1 2所示，在挾持軸構件8 8、8 9之相反側，譬如，做 爲具有3片以上之保持片8 6 b之形狀也可。即，在交接 構件86、87中|挾持軸構件88、89之前方部使與 後方部之形狀不同也可。藉此，譬如，如圖12 (a)所 示在2片之保持片8 6 a上使玻璃基板G被保持時，則使 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規总（2丨OX297公釐} -21 - 4 6 65 50 A7 _B7_ 五、發明説明（19 ) 處理裝置之交接部在有旋轉卡盤時容易交接，相反，如圖 1 2 ( b )在3片以上之保持片8 6 b上使玻璃基板G被 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 保持時，則使處理裝置之交接部在有昇降銷時由於減輕基 板之撓性具有容易交接之優點。即，對應於處理裝置之交 接部的形狀或構造用以選擇較容易交接而可交接玻璃基板 〇 ·· 進而，上述之說明，係使收容台8 2本身未設置成可 旋轉。因此，在與裝卸機4之間交接玻璃基板時，也形成 必要使多關節柄84、85及交接構件86、87動作， 但將收容台8 2本身若設置成可旋轉|則與裝卸機4之交 接時，則使該收容台8 2旋轉預定角度，若使收容卡匣 8 2 a之入口對峙於裝卸機4，則不用使多關節柄8 4 ' 8 5等動作，僅藉由裝卸機4之動作可用以收容玻璃基板 G到收容卡匣8 2 a內。 經濟部智楚財—苟員工消費合作杜印製 以上，本實施形態中之基板運送裝置，係進行基板之 搬出入到處理裝置附近停止時，使被設置於台座部之他方 側的柄支持台未對置於處理裝置時，則使台座部進行旋轉 。即，各處理裝置係因爲挾持運送路進行對置被設置，所 以其目的係使柄支持台未對置於處理裝置之搬出入口時， 則使台座部進行約1 8 0度反轉。其次，使被收容於收容 卡匣內之基板朝向其目的係用以調整基板朝向能與處理裝 置之交接方向吻合。接著，使多關節柄動作，使交接構件 與巧容台對置，藉由交接構件用以保持收容卡匣內之基板 。若已保持基板，則使多關節柄動作其目的係由該處理裝 本紙汝尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 〇〇 466550 A7 Β7 五、發明説明（2〇 ) 置之搬出入口保持預定之姿勢的狀態下，進行搬入。在處 理終了後進行搬出時1則進行與上述完全相反之動作。若 依據本實施形態，則使基板不管在任何方向，以一個之交 接構件可用以保持基板》 又，以本實施形態，係因爲使柄支持台可旋轉，所以 以交接構件進行存取時藉由使該柄支持台旋轉，可簡易用 以多關節柄之動作。 又，以本實施形態，係因爲使多關節柄及交接構件設 有複數組，所以使一方之交接構件其目的係與處理裝置之 間在進行基板的交接之間，使他方之交接構件進行存取於 收容台接著收取處理之基板，或可用以控制將處理後之基 板交接到收容台。因此，適合於基板之連續處理。 其次，使用圖13及圖14，對於有關本發明第4實 施形態之基板運送裝置加以說明。圖1 3及圖1 4，係基 板運送裝置之平面圖。與第1實施形態之基板運送裝置 4 〇具有大致同樣的構造，僅有基板之定位方法不同而已 ，以下對於與第1實施形態同樣之構造及動作省略一部分 說明。又，對於與基板運送裝置4 0同樣構成則賦予相同 編號ε 本實施形態中之基板運送裝置1 4 0 ’係具有基台部 用保持台5 0。在該基台部用保持台5 〇之表面係沿者X 方向被刻設有導溝51’沿著該導溝51配設著基台部 5 2_可移動於X方向。 在基台部5 2之內部’係被配設著驅動構件（未圖示 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐）_ 23 _ ---------^-- (请先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 經濟部智*財|局肖4消費合作社印製 466550 A7 B7 五、發明説明（21 ) )爲了使該基台部5 2移動於前後，同時由其兩側，一旦 延伸於橫方向之後’大致以垂直延伸於前方，以基台部 5 2爲中心設有一對之柄1 5 3、1 5 4被配置成鑷子狀 。柄1 5 3、1 5 4 ’係分別與第1實施形態同樣，被形 成著段差部由正面觀看朝上成爲上昇階梯狀，挾持該段差 部之上段係形成第1保持部1 5 5、1 5 6 ，下段係形成 第2保持部157、158。因此，本實施形態中，係藉 由基台部5 2，及含有各保持部1 5 5〜1 5 8之柄 153、154用以構成保持構件。 在第1保持部1 5 5、1 5 6之外側，係被形成立起 一對之側壁分別成爲對置，該側壁間之間隔，係比保持對 象之玻璃基板G之長邊的長度更長，並具有比第1實施形 態中之側壁間5 5 a、5 6 a更長的間隔。而且，如圖 1 3所示，在該側壁彼此的對置方向使沿著玻璃基板G之 長邊方向的狀態下藉由進行保持，使處理裝置可處理所謂 取長邊的情形。 在第2保持部1 5 7、1 5 8之對置的側壁間之間隔 ，係比玻璃基板G之短邊的長度更長’並具有比第1實施 形態中之側壁間5 3 a 、5 4 a更長的間隔。而且，如圖 1 4所示，在該段差部彼此的對置方向使沿著玻璃基板G 之短邊方向的狀態下藉由進行保持’使處理裝置可處理所 謂取短邊的情形。 在第1保持部1 5 5中之靠近基台部5 2的部分’係 使可移動於X方向之調整銷1 5 9設置成由下方能突出於 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 24 - ---------r------ΐτ—；-----0 V (請先閲讀背面之注土$項再填寫本買) 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 b 65 5 0 A7 _B7_ 五、發明説明（22 ) 上方，又使固定銷1 7 0被設置成突出。 在由第1保持部1 5 5之則端的部分’係設有固定銷 162用以保持玻璃基板G於第1保持部155、156 時，沿著X方向能挾持基板對峙於調整銷1 5 9。又，在 由第1保持部1 5 5之前端的部分，係被設有固定銷 16 8° 在第1保持部1 5 6中靠近基台部5 2的部分I係設 有調整銷1 6 9用以保持玻璃基板G於第1保持部1 5 5 、1 5 6時，沿著Y方向能挾持基板可移於對峙在固定銷 1 7 0之Y方向。又，在第1保持部1 5 6中靠近基台部 5 2之部分，係設有調整銷1 6 0可移動於X方向。 在由第1保持部1 5 6之前端的部分，係設有固定銷 1 6 1用以保持玻璃基板G於第1保持部時，沿著X方向 能挾持基板對峙於調整銷1 6 0。又，在由第1保持部 1 5 6之前端的部分，係設有調整銷1 6 7沿著Y方向能 挾持基板對峙於固定銷1 6 8。 玻璃基板G，係被保持於第1保持部1 55、1 56 上時，藉由沿著調整銷1 5 9、1 6 0之X方向的動作， 擋接於固定銷1 6 2，1 6 1爲止被壓著，並使X方向之 玻璃基板G中之位置被修正成預定位置。進而，藉由沿著 調整銷1 6 9、1 6 7之Y方向的動作，擋接於固定銷 1 7 0、1 6 8爲止被壓著，並使Y方向之玻璃基板G中 之ί马置被修正成預定位置。 同樣，在第2保持部1 5 7中之靠近基台部5 2的部 本紙張尺度適用中國國家標牟（[阳）六4胡潘（210父297公釐）_ nc . ---------r-------訂-----^ V (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6 65 5 0 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __B7_五、發明説明（23 ) 分，係使可移動於X方向之調整銷1 6 3設置成由下方能 突出於上方，又使固定銷1 7 1被設置成突出。 在由第2保持部1 5 7之前端的部分，係設有固定銷 1 6 5用以保持玻璃基板G於第2保持部1 5 7、1 58 時，沿著X方向能挾持基板對峙於調整銷1 6 3。又，在 由第2保持部1 5 7之前端的部分，係被設有固定銷 17 3。 在第2保持部I 5 8中靠近基台部5 2的部分，係設 有調整銷1 7 2用以保持玻璃基板G於第2保持部1 5 7 、1 5 8時，沿著Y方向挾持基板可移於對峙在固定銷 1 7 1之Y方向。又，在第2保持部1 5 8中靠近基台部 5 2之部分，係設有調整銷1 6 4可移動於X方向。 在由第2保持部1 5 8之前端的部分，係設有固定銷 1 6 6用以保持玻璃基板G於第2保持部時，沿著X方向 能挾持基板對峙於調整銷1 6 4。又，在由第2保持部 1 5 8之前端的部分，係設有調整銷1 7 4沿著Y方向能 挾持基板對峙於固定銷1 7 3。 玻璃基板G，係被保持於第2保持部157、158 上時，藉由沿著調整銷163、164之X方向的動作’ 擋接於固定銷1 6 5、1 6 6爲止被壓著，並使X方向之 玻璃基板G中之位置被修正成預定位置。進而，藉由沿著 調整銷1 7 2、1 7 4之Y方向的動作，擋接於固定銷 1 7 1 ' 1 7 3爲止被壓著*並使Y方向之玻璃基板0中 之位置被修正成預定位置。 "訂 線 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） -26- 4 6 6 5 5 0 經濟部智慧財產局員工消費合作社印髮 A7 £7____五、發明説明（24 ) 以上，如本實施形態’分別將基板之X方向’ γ方向 的定位，做爲定位裝置可進行使用調整銷及固定銷。 其次，使用圖15〜圖17，對於有關本發明第5實 施形態之基板運送裝置加以說明°圖1 5係基板運送裝置 之平面圖，圖1 6係做爲定位裝置之旋轉機構的斜視圖’ 圖1 7係爲了說明定位時之滾筒的動作圖。本實施形態之 基板運送裝置，與第4實施形態之基板運送裝置1.4 0具 有大致同樣的構造，僅有定位裝置之構造不同而已’以下 對於與第4實施形態同樣之構造省略一部分說明。又’對 於與基板運送裝置1 4 0同樣構成則賦予相同編號。 本實施形態中之基板運送裝置2 4 0，係取代調整銷 及固定銷設有旋轉機構2 5 9〜2 7 4。 旋轉機構2 5 9〜2 7 4係分別具有相同構造，圖 16旋轉機構259 ，其構成具有：基台275 ;及滾筒 276 ，被設於基台275並可旋轉於長度方向又，基 台2 7 5，係被固定配置於保持部。 在第1保持部1 5 5中靠近基台5 2之部分，係被設 有旋轉機構2 5 9能使基台之長度方向沿著X方向，又被 設有旋轉機構2 7 0能使基台之長度方向沿著Υ方向。 在由第1保持部1 5 5之前端的部分，係設有旋轉機 構2 6 2用以保持玻璃基板G於第1保持部1 5 5 ' 1 5 6時，沿著X方向能挾持基板對峙於旋轉機構2 5 9 。琴，在由第1保持部1 5 5之前端的部分，係設有旋轉 機構2 6 8使基板之長度方向能沿著Υ方向- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4说格（210X297公釐） -27- 466550 A7 經濟部智慧財產局員工消黃合作社印製 _B7五、發明説明（25 ) 在第1保持部1 5 6中靠近基台部5 2的部分，係設 有旋轉機構2 6 9用以保持玻璃基板G於第1保持部 1 5 5、1 5 6時，沿著Y方向能挾持基板對峙在旋轉機 構270，使基台之長度方向能沿著Y方向。又，在第1 保持部1 5 6中靠近基台部5 2之部分，係設有旋轉機構 260使基板之長度方向能沿著X方向。 在由第1保持部1 5 6之前端的部分，係設有旋轉機 構2 6 1用以保持玻璃基板G於第1保持部時，沿著X方 向能挾持基板對峙於旋轉機構2 6 0使基台之長度方向能 沿著X方向。又，在由第1保持部1 5 6之前端的部分， 係設有旋轉機構2 6 7沿著Y方向能挾持基板對峙於旋轉 機構2 6 8使基台之長度方向能沿著Y方向。 同樣，在第2保持部1 5 7中靠近基台5 2之部分， 係被設有旋轉機構2 6 3能使基台之長度方向沿著X方向 。又，被設有旋轉機構2 7 1能使基台之長度方向沿著Y 方向。 在由第2保持部1 5 7之前端的部分，係設有旋轉機 構2 6 5用以保持玻璃基板G於第2保持部1 5 7、 1 5 8時，沿著X方向能挾持基板對峙於旋轉機構2 6 3 使基台之長度方向能沒著X方向。又，在由第2保持部 1 5 7之前端的部分，係設有旋轉機構2 7 3使基板之長 度方向能沿著Y方向。 _在第2保持部1 5 8中靠近基台部5 2的部分，係設 有旋轉機構2 7 2用以保持玻璃基板G於第1保持部 ϋ I - - I - n tt I ^ I !! I 丁 I : i n ! I 良 (請先閲讀背面之注意事項再填寫表頁) 本紙張尺度適用中固圉家標準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） -28- 經濟部智慧財產苟員工消骨合作社印製 4 6 65 50 A7 __B7五、發明説明（26 ) 1 5 7、1 5 8時，沿著Y方向能挾持基板對峙在旋轉機 構2 7 1 ，使基台之長度方向能沿著Y方向。又，在第2 保持部1 5 8中靠近基台部5 2之部分，係設有旋轉機構 2 6 4使基板之長度方向能沿著X方向。 在由第2保持部1 5 8之前端的部分，係設有旋轉機 構2 6 6用以保持玻璃基板G於第2保持部時*沿著X方 向能挾持基板對峙於旋轉機構2 6 4使基台之長度方向能 沿著X方向。又，在由第2保持部1 5 8之前端的部分， 係設有旋轉機構2 7 4沿著Y方向能挾持基板對峙於旋轉 機構2 7 3使基台之長度方向能沿著Y方向。 對峙之一對的旋轉機構之距離，係被配置成大致與玻 璃基板G之長邊或短邊同樣的長度》 玻璃基板G，係被保持於第1保持部1 55、1 56 上時，分別藉由旋轉機構259、260、26 1、 2 6 2被設置之浪筒，使X方向之玻璃基板G中之位置被 修正成預定位置。進而，分別藉由旋轉機構2 6 7、 268、269、270被設置之滾筒，使γ方向之玻璃 基板G中之位置被修正成預定位置。 玻璃基板G ’係被保持於第2保持部1 5 7、1 5 8 上時，分別藉由旋轉機構263 1 264、265、 2 6 6被設置之滾筒，使X方向之玻璃基板G中之位置被 修正成預定位置。進而，分別藉由旋轉機構2 7 1、 2 7_2，273、274被設置之滾筒，使γ方向之玻璃 基板G中之位置被修正成預定位置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) /11 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） -29- 4 6 6550 A7 經濟部智慈財產局負工消費合作社印製 _B7_ _五、發明説明（27 ) 使用圖1 7 ，對於使用滾筒之基板的定位方法加以說 明。如上述，對峙之一對的旋轉機構之距離，係被配置成 大致與玻璃基板G之長邊或短邊同樣的長度，所以使玻璃 基板G未在預定位置時，所以在滾筒上使玻璃基板G之一 邊形成乘坐之狀態。在如此之狀態下（虛線部），使滾筒 藉由旋轉玻璃基板G係成爲被配置於預定之位置（實線部 )0 以上，如本實施形態，做爲基板之定位裝置也可使用 滾筒。 其次，使用圖1 8及圖1 9 ，對於有關本發明第6實 施形態之基板運送裝置加以說明。圖1 8係基板運送裝置 之側視圖，圖1 9係基板運送裝置之平面圖。本實施形態 之基板運送裝置4 4 0 ，係與第1實施形態之基板運送裝 置4 0具有大致同樣的構造，由含有基台部及保持部所構 成之保持構件係複數，於此僅設置2個之點不同，以下對 於與第1實施形態同樣之構造係省略一部分說明。又1對 於與基板運送裝置4 0相同構成則賦予同樣編號。 本實施形態中之基扳運送裝置440，係在第1實施 形態中之基板運送裝置4 0之保持構件的上部進而被設置 有保持構件。該保持構件，係藉由基台部451 、452 ，及含有各保持部455〜458之柄453、454所 構成。 1在該基台部用保持台5 0之表面係沿著x方向進而刻 設著導溝4 4 7、4 4 8，而分別沿著該導溝4 4 7、 ---------V ^-------,nl.-----^ . {請先閱讀背面之注意事項再填寫本f ) 本紙浪尺度適用中國國家標準（cns M4現格（210X297公釐} -30- 4 6 65 50 經濟部智慈財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（28 ) 448配設著基台部452、45 1可移動於X方向（前 後方向）。 在基台部451、452之內部，係配設著驅動構件 (未圖示）爲了使各基台部451 、452前後移動。各 基台部451、452，係分別通過支持構件449 ' 450 被連接於柄 453、454。柄 453、454， 係分別如圖1 8所示，形成著段差部4 5 3 a 、4 5 4 a 由正面觀看朝向外側形成上昇階梯狀，使挾持該段差部 453a、454a之上段形成第1保持部455、 456，使下段形成第2保持部457、458。 在第1保持部455、456之外側，係被立起形成 著側壁4 5 5 a、4 5 6 a分別形成對置，該側壁 4 5 5 a 、4 5 6 a間之間隔，係具有比保持對象之玻璃 基板G之長邊的長度稍長之間隔。因此，在該側壁 4 5 5 a 、4 5 6 a彼此之對置方向在沿著玻璃基板G之 長邊方向的狀態下藉由進行保持，使處理裝置可處理所謂 取長邊之情形。 另外，第2保持部457、458之對置的側壁（相 當段差部4 5 3 a、4 5 4 a )間之間隔’係比玻璃基板 G之短邊的長度稍長，具有比長邊之長度稍短的間隔。因 此，在該段差部453a 、454a彼此之對置方向藉由 使保持在沿著玻璃基扳G之短邊方向的狀態下，使處理裝 置$處理所謂取短邊的情形。 在第1保持部455、456中靠近基台部452、 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4洗格（210X297公釐）_ y _ j 55 50 A7 B7 五、發明説明（29 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 4 5 1 的部 分，係設有可移 動 於 X 方 向 之調整銷4 5 9 4 6 0 分別 由下方能突出到 上 方 0 又 > 在靠近該第 1 保 持 部 4 5 5、 4 5 6之前端的 部 分 在 對 峙 於該調整銷 4 5 9 、 4 6 0之 位置，也被突出 形 成 著 固 定 銷 4 6 1、 4 6 2 0 使 玻 璃基 板G被保持於第 1 保 持 部 4 5 5、4 5 6 上 時 ♦ 則 使 調整 銷 4 5 9 ' 4 6 0 沿 著 X 方 向進行動作 9 使 玻 璃 基 板 G之 前端位置被一致 0 同 樣， 在第2保持部4 5 7 、4 5 8中靠近基台 '部 4 5 2 、4 5 1的部分，也 設 有 可 移 動 於X方向之 調 整 銷 4 6 3 、4 6 4分別能突出 到 上 方 1 在 靠近該第2 保 持 部 4 5 7 、4 5 8之前端的部 分 在 對 峙 於 該調整銷4 6 3 > 4 6 4 之位 置，係被突設著 固 定 銷 4 6 5、4 6 6 0 因 此 j 使 玻 璃基 板G被載置於第 2 保 持 部 4 5 7、4 5 8 上 時 t 則 使 調整 銷 4 6 3、4 6 4 沿 著 X 方 向進行前後 移 動 i 使玻 璃 基板 G之前端位置被- -致’ 3 又 ，分 別形成有第1保 持 部 4 5 5 、4 5 6 及 第 2 保 持 部 4 5 7 、4 5 8之柄4 5 3 4 5 4，係使對 置 距 離 於 Y 方 向能 擴大或縮小安裝 在 基 台 部 4 5 2 ' 4 5 1 0 因 此 t 保 持於 第1保持部4 5丨 5 、4 ί 丨或第2保持部 4 5 7 、4 5 8之玻璃基板 G > 係 藉 由 柄 4 5 3、 4 5 4 白 體 之 對置 距離的擴縮動作 y 使 在 沿 著 Υ方向之橫 方 向 位 置 被形成一 致。 尙 有， 2個之保持構件 ，係共有昇降構件4 8。 以 上， 如本實施形態， 藉 由 用 以 配 置複數保持 構 件 > 本纸伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4見格（210X 297公釐） (諳先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 46 65 50 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作钍印製 B7五、發明説明（30 ) 可將保持構件對處理裝置用以搬入坡璃基板G，及保持構 件以處理裝置收取被處理之玻璃基板G分別設置，可提高 生產效率。 其次，使用圖2 0，對於有關本發明第7實施形態之 基板運送裝置加以說明。圖2 0係爲了說明基板運送裝置 之控制部的圖。本實施形態，係將用以控制玻璃基板G之 旋轉時序的機構進而形成附加之構成，可適用於所有基板 運送裝置。 在控制部，係依運送順序，在搬入到各處理裝置時是 否有必要使玻璃基板G之旋轉，使各處理裝置間之運送時 間，玻璃基板G之旋轉時間，各處理裝置中之處理時間等 之資訊預先被輸入。 在控制部，係使基板運送裝置收取玻璃基板G，則接 著在搬入玻璃基板G被運送到處理裝置中，將玻璃基板G 是否有必要變更旋轉方向係首先被判斷。 玻璃基板G不必要旋轉時（NO之情形），基板運送 裝置係不使玻璃基板G旋轉，用以運送玻璃基板G。 另外，於此，有必要使玻璃基板G旋轉時（YE S之 情形），接著使玻璃基板G被搬入在處理裝置內首先被處 理之玻璃基板G的剩餘之處理時間（圖中，剩餘時間）， 及到下次處理時間爲止之運送時間及旋轉所要時間的和以 控制部做比較。而且，使運送時間及旋轉時間之和比剩餘 時間更長被判斷（N 0之情形），則控制部係指示在運送 中要進行旋轉玻璃基板G，而玻璃基板G係在移動中形成 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -33 經濟部智慧財凌局員工消費合作社印製 4 6 65 5 0 A7 __B7_五、發明説明（31 ) 進行旋轉。因此，玻璃基板G係到下次之處理裝置內成爲 順利被搬入，玻璃基板G搬入後與進行旋轉時做比較則將 旋轉時間分，全體的處理時間可縮短，可提高生產效率。 另外*運送時間及旋轉時間之和比剩餘時間更短被判斷（ Y E S之情形），則控制部係指示在運送後用以旋轉玻璃 基板G，而玻璃基板G係在移動後形成進行旋轉。該情彤 ，在移動後用以旋轉玻璃基板G但因爲剩餘時間非常充裕 所以不會影響生產性。 如以上，在本實施形態中，根據必要，在玻璃基板G 之移動中進行玻璃基板G之旋轉，所以可提高生產效率。 接著，使用圖2 1 ，對於有關本發明第8實施形態之 基板運送裝置加以說明。圖2 1係有關本實施形態基板運 送裝置5 8 0之槪略平面圖。本實施形態之基板運送裝置 5 8 0 *係與第3實施形態之基板運送裝置8 0具有大致 相同構造，使被收容於收容卡匣內之玻璃基板G不能旋轉 之點，使玻璃基板G之收取方法不同點係有差異。以下對 於與第3實施形態同樣構造及動作省略一部分說明。又， 對於同樣構成則賦予相同編號。 本實施形態中，係使被收容於收容卡匣5 8 2 a內之 玻璃基扳G之朝向經常成爲固定朝向被收容。在收容卡匣 5 8 2 a內，係分別被配設有旋轉卡盤5 8 2 b用以吸著 固定玻璃基板G。本實施形態中，係用以取出被收容於收 容卞匣5 8 2 a之玻璃基板G時’根據運送之處理裝置使 交接構件8 6用以取出玻璃基板G之方法不同。即，如圖 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐）_ 34 - 46 6550 A7 B7 經濟部智恶財產局員工消費合作社印焚 五、發明説明（32 ) 2 1 ( a )所示，將玻璃基板G對處理裝置由長邊側進行 搬入時，則交接構件8 6係由長邊側用以收取玻璃基板G 。另外，將玻璃基板G對處理裝置由短邊側進行搬入時， 如圖2 1 ( b )所示，則交接構件8 6係由短邊側用以收 取玻璃基板G。 如上述，對玻璃基板G使交接構件藉由進入方向，也 可變更玻璃基板G之方向。 其次，使用圖22〜圖24，對於有關本發明第9實 施形態之基板運送裝置加以說明。圖2 2係塗布.顯像處 理系統之斜視圖，與圖1中之塗布.顯像處理系統具有大 致同樣之構造，僅有第1交接部1 2之構造不同點係相異 。圖2 3係本實施形態中之基板運送裝置6 8 0的槪略側 視圖，圖2 4係第1交接部6 7 0之槪略側視圖。在第3 實施形態，係做爲基板運送裝置8 0在同一之台座部8 1 設置著收容台8 2及柄支持台8 3 ，並藉由台座部8 1之 移動形成使收容台8 2及柄支持台8 3進行移動之構成， 但在本實施形態係僅使柄支持台8 3進行移動，而收容台 係被固定配置並被設置於第1交接部6 7 0 ’在第1運送 裝置2 5及第2運送裝置2 6間使用於玻璃基板G之交接 。以下，對於上述構成在同樣部位附上相同編號，對於同 樣構造及動作則省略一部分說明。 本實施形態中之基板運送裝置6 8 0 ’係在台座部 6 § 1之下部被設有Y方向移動體7 8 2沿著設於上述之 塗布·顯像處理系統1之運送路10、1 1的導軌36、 (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS > A4規格< 210Χ297公釐）.35- 4 6 6550 A7 B7 經濟部智慧財4局員工消賫合作社印製
五、發明説明（33 ) 3 7可移動。該台座部6 8 1，係進而’被設置成可水平 旋轉於Θ方向。 在台座部681，係以預定高度設置著柄支持台. 6 8 3。該柄支持台6 8 3 ，在本實施形態係被設置成可 旋轉，進而，在其上面，係與第3實施形態同樣使多關節 柄8 4之基部在相互間隔中被設置成自由轉動。多關節柄 8 4，係由複數之柄片8 4 b所構成通過軸構件8 4 a相 互被連結成自由轉動，其中，在被配設於最前端側之柄片 8 4 b，使交接構件8 6通過軸構件並對該前端側之柄片 8 4 b被連結成自由轉動。 在交接部6 7 0，係用以收容玻璃基板G之收容台 6 8 2與第1運送裝置2 5及第2運送裝置2 6被設置成 可存取。該收容台6 8 2，係在預定之高度位置被設有複 數段之收容卡匣6 8 2 a ，在各收容卡匣6 8 2 a內係分 別被配設著旋轉卡盤6 8 2 b被配設成可旋轉，並在玻璃 基板G之交接時使玻璃基板之朝向形成可適當之旋轉。 若依據本實施形態，則在第1運送裝置2 5及第2運 送裝置2 6之間，進行玻璃基板G之交接時，則玻璃基板 G，係被保持於收容台6 8 2之收容卡匣6 8 2 a內的旋 轉卡盤6 8 2 b上。進而，沿著運送路1 〇在被配置之處 理裝置間的運送時必要使玻璃基板G之旋轉時，則玻璃基 板G，係被保持於收容台6 8 2之收容卡匣6 8 2 a內的 旋$f卡盤682b上。而且，以交接部67 ◦，使玻璃基 板G保持於旋轉卡盤6 8 2 B上，根據必要將玻璃基板G ---------户-------.玎—.-----0 . (請先閱讀背面之注意事項再填寫本夏) 本紙張尺度適用中國國家標率（CMS ) A4規格（210X297公釐） 466550 A7 __B7 五、發明説明（34 ) 進行預定角度之旋轉。 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 以上，如本實施形態，在玻璃基板G之交接部做爲力口 上玻璃基板G之旋轉機構的構成也可，藉由如此之構成做 爲運送路可將必要之面積縮小而可將系統全體小型化。 其次，使用圖25、圖26 ，對於有關本發明第1〇 實施形態之處理裝置加以說明。圖2 5係處理裝置之剖面 圖，圖2 6係平面圖本實施形態，其特徵係設有旋轉機 構使用旋轉塗布法在處理裝置將玻璃基板之朝向設定成所 要之位置。 如此之處理裝置，係譬如可適用以圖1所示之塗布· 顯像處理系統中的洗淨裝置1 6，由使用旋轉塗布法之處 理裝置搬送到下次之處理裝置內時，可使用於有必要變更 玻璃基板之朝向的情形。藉此，譬如以上述各實施形態說 明之基板運送裝置中可使玻璃基板G之旋轉動作省略。 以下，將適用於洗淨裝置1 6時使用圖面舉例加以說 明。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在洗淨裝置1 6之中央部係配設著環狀之蓋筒CP， 在蓋筒C P之內側係配置有旋轉卡盤7 5 2。旋轉卡盤 7 5 2係藉由真空吸著在用以固定保持玻璃基板G之狀態 下藉由驅動馬達被旋轉驅動。驅動馬達7 5 4，係在設於 單元底板7 5 0之開口 7 5 0 a被配設成可昇降移動，譬 如通過由鋁所構成之蓋筒狀的凸緣構件7 5 8譬如被結合 於电氣缸所構成之昇降驅動裝置7 6 0及昇降引導裝置 762。驅動馬達754，係藉由控制部701被控制。 本纸張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4規格（210X297公釐} . 37 - 466550 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 _B7__五、發明説明（35 ) 在控制部7 0 1 ，係預先被搬入到洗淨裝置1 6內時預先 輸入基板搬入朝向之資訊到基板搬入朝向及下次之處理裝 置內。而且，根據此等資訊，旋轉後，藉由控制部7 0 1 對下次之處理裝置內能形成基板之搬入朝向使玻璃基板G 停止運作，基板之旋轉係被控制。又，在洗淨裝置1 6係 被設有開口部DR，通過該開口部DR，使被保持於基板 保持部7 4 8上之玻璃基板G被進行搬出入。 在玻璃基板G之表面，做爲洗淨液爲了用以供給純水 做爲吐出裝置之噴嘴7 0 0，係固定於噴嘴掃掠柄7 9 2 之前端部。噴嘴7 0 0，係具有比玻璃基板G之長邊部更 長的長方體形狀，沿著長度方向設有複數之吐出口 7 8 6 。而且，由連接於噴嘴7 0 0之洗淨液供給管7 8 8對噴 嘴7 0 0做爲洗淨液被供給純水，並由吐出口 7 8 6使純 水對玻璃基板G被供給。噴嘴掃掠柄7 9 2，係在單元底 板7 5 0之上在被敷設於一方向（Y方向）之導軌7 9 4 上固定於可水平移動的垂直支持構件7 9 6之上端部，藉 由未圖示Y方向驅動構件與垂直支持構件7 9 6以一體形 成移動於Y方向。而且*在用以洗淨玻璃基板時，係使玻 璃基板G旋轉，並用以吐出洗淨液同時使噴嘴7 0 0移動 到Y方向。 以上，在使用旋轉塗布法之處理裝置，藉由設有機構 在旋轉後使玻璃基板G定位於預定位置，以上述之各實施 形_說明之基板運送裝置中可使玻璃基板G之旋轉動作省 略，使生產效率提高" (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4规格（210X297公釐） 4b 6550五、發明説明（36 ) A7 B7 以上，各實施形態中，混合著C V D，化驗，蝕刻等 ，分別使被搬出入之基板的處理姿勢在不同的線上也可適 用，使被搬出入基板之處理姿勢在不同線上係有效。 如以上之說明，若依據本發明，則在基板運送裝置或 處理裝置，藉由設有裝置用以調整基板方向，在處理線上 即使混在被設置有所謂取長邊之處理裝置或取短邊之處理 裝置，也可確實進行處理裝置間之基板的交接。 「圖式之簡單說明」 圖1係使用本發明之基板運送裝置的塗布.顯像處理 系統之斜視圖。 圖2係顯示有關第1實施形態基板運送裝置之斜視圖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖3係第1實施形態之前視圖。 圖4係將玻璃基板以取短邊保持時之第1實施形態的 平面圖。 圖5係將玻璃基板以取長邊保持時之第1實施形態的 平面1 圖綠明第1實施形態之作用圖。 圖7係顯示^關第2實施形態基板運送裝置之重要部 分的If:観屬f 圖說明第2實施形態之作用圖。 _圖9係爲了說明第3實施形態之平面圖。 圖1 0係爲了說明第3實施形態之側視圖。 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) A4规格（210 X 297公釐）-39 - ---------广------;,玎—------^ , (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4 6 65 50 A7 B7 五、發明説轉(37 ) 圖1 說明第3實施形態之作用圖 eMhl - 圖1 了說明第3實施形態之其他態樣圖 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本莧) 圖13係將玻璃基板以取長邊保持時之第4實施形態 的平面圖。 圖14係將玻璃基板以取短邊保持時之第4實施形態 的平面圖。 圖15係顯示有關第5實施形態基板運送裝置之平面 圖。 圖16係設於有關第5實施形態基板運送裝置之旋轉 機構的槪略斜視圖。 圖1 7係爲了說明第5實施形態之作用圖。 圖1 8係顯示有關第6實施形態基板運送裝置之側視 圖。 圖19係顯示有關第6實施形態基板運送裝置之平面 圖。 圖2 p係說明有關第7實施形態基板運送裝置之動作 圖° 經濟部智慧財產局員工消贲合作社印製 圖2 說明第8實施形態之作用圖。 圖2 2係第9實施形態之塗布·顯像處理系統的 斜視圖。 圖2 3係有關第9實施形態基板運送裝置之側視圖。 圖2 4係有關第9實施形態配置於基板收取部之收容 台p側視圖。 圖2 5係有關第1 0實施形態之洗淨裝置的剖面圖。 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 40 - 4 6 65 5 0 A7 B7 五、發明説明（38 圖2 6係圖2 5之平面圖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 【元件編號之說明】 1 6…洗淨裝置， 4 0…基板運送裝置， 4 7…第2旋轉軸* 4 8…昇降構件， 5 2…基台部， 5 3、5 4…柄， 5 3 a、5 4 a…段差部 55、56…第1保持部 5 5 a、5 6 a…側壁， 57、58…第2保持部 59、60、63、64 6 1、6 2、6 5、6 6 7 0、7 1…支持片， 7 2 ' 7 3…真空孔， 8 0…基扳運送裝置， 8 1…台座部1 8 2…收容台， 8 2 a…收容卡匣， 8 2 b…旋轉卡盤， _ 8 3…柄支持台， 8 4、8 5…多關節柄， 調整銷 固定銷 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐）_以_ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 466550五、發明説明（39 )
7J /J 剖，" 持壁持 ， 1 保側保 件置， 1 : 2 構裝柄第 a 第 接送； ；6 ; 六乂 4 6 5 8 ; 板 5 5 1 5 7— r—I r—ί 、 IX 00 : 、 、 3 、 、 0 3 5 5 7 6 4 5 5 5 5 00 IX ΊΧ IX ΊΧ IX
3 6 一—I 、 ο 6 τ—I ' 9 5 IX 7 6 IX ' 4 6
46 銷板 7 筒板 5545 71 定基 2 滾基 44 、 4 1—| ' 固" 一 : : , 、 a 、 ' 1 一 09601335 26345745555 71722344444 1± TX 肯 0 整 周 ο 7 I—ί 6 6 _—ί 5 6 τ—I 、 2 TJ- 7 t—i (請先閲讀背面之注意事項再填寫木瓦) 構 ’ 機 置轉 裝旋 送 ： 、、又 *°8一 | -- 運 4 經濟部智慧財產局R工消費合作社印製 4 5 6 6 板收 、 4 4 4 基 ； 3 、 ' 、 〗 3 5 7 9 1 0 2 5 5 5 6 8 8 4 4 4 4 5 5 7>J 7\J 7VJ 咅剖 * 剖 , 差持壁持、、 ， 部 段保側保 35, 置台， i 1 ; 2 6 6 置， 裝基柄 a 第 a 第 44 裝匣 送： i 4 j 6 f > 、送卡 運 245650002 運容 4 6 4 6 6 4 銷銷 整定 調固 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 42 - ^66550 A7 B7五、發明説明（40 ) 5 8 2 b…旋轉卡盤， 6 7 0…交接部， 6 8 0…基板運送裝置， 6 8 1…台座部， 6 8 2…收容台， 6 8 2 a…收容卡匣， 6 8 2 b…旋轉卡盤， 6 8 3…柄支持台， 7 0 0…噴嘴， 7 5 2…旋轉卡盤， 7 5 4…驅動馬達， G…玻璃基板。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -* 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本纸浪尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐）_奶_