KR101532588B1 - 웨이퍼 프레임 이송 장치 - Google Patents

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KR101532588B1
KR101532588B1 KR1020130159537A KR20130159537A KR101532588B1 KR 101532588 B1 KR101532588 B1 KR 101532588B1 KR 1020130159537 A KR1020130159537 A KR 1020130159537A KR 20130159537 A KR20130159537 A KR 20130159537A KR 101532588 B1 KR101532588 B1 KR 101532588B1
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Abstract

본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는, 본체부의 장착 위치로부터 제1 방향을 따라 인입 및 인출가능하게 장착된 픽업 유닛; 웨이퍼 프레임을 거치할 수 있도록 상기 본체부의 상판에 형성된 프레임 거치대; 상기 본체부, 픽업 유닛, 프레임 거치대의 구동을 제어하여 웨이퍼 프레임을 얼라인시키는 제어 모듈; 을 구비한다. 상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임을 카세트로부터 픽업하거나 카세트에 적재시킬 때, 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 카세트의 후면에 밀착될 때까지 픽업 모듈의 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임에 제1 방향을 따라 토크를 인가함으로써, 웨이퍼 프레임을 제1 방향에 대해 얼라인시킨다. 또한, 상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 상기 가이드 이동 모듈을 구동시켜 웨이퍼 프레임을 제2 방향을 따라 이동시켜 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 하여, 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향에 대해 얼라인시킨다.

Description

웨이퍼 프레임 이송 장치{Wafer frame loader}
본 발명은 웨이퍼 프레임 이송 장치에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는, 웨이퍼 프레임을 얼라인시키면서 이송시킬 수 있는 웨이퍼 프레임 이송 장치에 관한 것이다.
웨이퍼 프레임 이송 장치는 LED 소자들이 형성된 웨이퍼 프레임을 카세트로부터 다음 공정의 스테이지로 이송하거나 공정이 완료된 스테이지로부터 카세트로 이송하는 장비이다.
웨이퍼 프레임 이송 장치가 웨이퍼 프레임을 스테이지로 이송하기 전이나 이송한 후에, 또는 카세트에 적재하기 전에 웨이퍼 프레임을 얼라인(align)시킴으로써, 다른 기구부의 간섭없이 웨이퍼 프레임이 스테이지나 카세트의 정확한 위치로 이송될 수 있도록 한다.
이와 같이 웨이퍼 프레임을 얼라인시키기 위하여, 종래에는 웨이퍼 프레임 이송 장치와는 별도로 웨이퍼 프레임을 얼라인(align)하는 얼라인 장비를 구비한다. 이와 같이, 종래에는 웨이퍼 프레임 이송 장치외에 별도의 얼라인 장비를 구비함에 따라, 얼라인 장비를 설치하기 위한 추가의 장소가 더 필요해지는 문제점이 있을 뿐만 아니라 해당 장비로의 이송 및 반송을 위한 공정 처리 시간이 더 많이 소요되는 문제점이 발생한다.
한국등록특허공보 제 10-0969533호 한국공개특허공보 제 10-2007-0078437호
전술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 별도의 얼라인 장비없이 웨이퍼 프레임을 이송하는 과정에서 얼라인시킬 수 있는 웨이퍼 프레임 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는, 임의의 위치로의 이동이 가능하도록 구성된 본체부; 상기 본체부의 장착 위치로부터 제1 방향을 따라 인입 및 인출가능하게 장착된 픽업 유닛; 웨이퍼 프레임을 거치할 수 있도록 상기 본체부의 상판에 형성된 프레임 거치대; 상기 본체부, 픽업 유닛, 프레임 거치대의 구동을 제어하여 웨이퍼 프레임을 얼라인시키는 제어 모듈; 을 구비하고,
상기 프레임 거치대는, 웨이퍼 프레임의 제1 모서리가 배치될 수 있도록 구성된 제1 가이드 모듈; 상기 제1 가이드 모듈과 대향되도록 배치되되, 웨이퍼 프레임의 상기 제1 모서리에 대향되는 제2 모서리가 배치될 수 있도록 구성되고, 측면에 관통홈이 형성된 제2 가이드 모듈; 상기 제2 가이드 모듈의 관통홈에 대응되는 위치에 배치되고, 상기 제2 방향을 따라 제2 가이드 모듈에 안착된 웨이퍼 프레임의 모서리로 힘을 인가하여 웨이퍼 프레임을 이동시키도록 구성된 가이드 이동 모듈;을 구비하고,
상기 픽업 유닛은, 본체부의 장착 위치로부터 인입 및 인출 가능하게 구성된 픽업 암; 상기 픽업 암의 선단부에 배치된 트위저; 및 상기 트위저의 내부에 부착되어 형성된 스톱퍼;를 구비한다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임을 카세트로부터 픽업하거나 카세트에 적재시킬 때, 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 카세트의 후면에 밀착될 때까지 픽업 모듈의 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임에 제1 방향을 따라 토크를 인가함으로써, 웨이퍼 프레임을 제1 방향에 대해 얼라인시키는 것이 바람직하다.
전술한 특징에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 상기 가이드 이동 모듈을 구동시켜 웨이퍼 프레임을 제2 방향을 따라 이동시켜 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 하여, 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향에 대해 얼라인시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는 별도의 얼라인 모듈이나 장비가 없기 때문에, 얼라인 장비를 설치하기 위한 장소를 절약할 수 있게 된다. 또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는 얼라인 모듈이나 얼라인 장비로의 이송 시간이 소요되지 아니하므로, 전체 공정 시간을 감소시킬 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛이 제1 방향을 따라 인출된 상태를 예시적으로 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛 및 제2 픽업 유닛이 모두 제1 방향을 따라 인출된 상태를 예시적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치의 제어 모듈의 동작의 일 실시형태를 순차적으로 도시한 흐름도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛의 트위저가 카세트에 적재된 웨이퍼 프레임을 잡은 상태를 도시한 사시도이며, 도 6은 도 5에서 카세트를 생략하여 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛이 인입되어 제1 프레임 거치대에 웨이퍼 프레임이 거치되어 있으며, 제2 픽업 유닛의 트위저가 이송할 다른 웨이퍼 프레임을 잡은 상태를 도시한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 및 제2 프레임 거치대에 각각 웨이퍼 프레임이 거치된 상태에서, 제1 및 제2 프레임 거치대의 가이드 이동 모듈이 구동되어 웨이퍼 프레임들에 힘을 인가한 상태를 도시한 사시도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 가이드 이동 모듈의 동작을 설명하기 위하여 도시한 확대 사시도로서, 도 9는 가이드 이동 모듈이 구동되기 전의 상태를 도시한 것이며, 도 10은 가이드 이동 모듈이 구동되어 웨이퍼 프레임의 일측 모서리에 힘을 인가하고 있는 상태를 도시한 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는 별도의 얼라인 모듈없이 웨이퍼 프레임을 얼라인(align)한 후 다음 공정의 스테이지나 카세트로 이송하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치의 구성 및 동작에 대하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치를 개략적으로 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛이 제1 방향을 따라 인출된 상태를 예시적으로 도시한 사시도이다. 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛 및 제2 픽업 유닛이 모두 제1 방향을 따라 인출된 상태를 예시적으로 도시한 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치(10)는 본체부(100), 제1 및 제2 픽업 유닛(110, 111), 제1 및 제2 프레임 거치대(120, 121) 및 제어 모듈(도시되지 않음)을 구비한다. 본 실시예는 2개의 픽업유닛과 2개의 프레임 거치대를 구비한 것을 설명하나, 설비의 목적에 따라 단일의 픽업 유닛과 단일의 프레임 거치대를 구비하도록 구성할 수 있다.
웨이퍼 프레임은 다이싱된 상태의 LED 소자들이 놓인 웨이퍼를 고정하기 위한 프레임으로서, 적어도 서로 대향되는 제1 및 제2 모서리와 이들과 수직되어 서로 대향되는 제3 및 제4 모서리를 구비한다.
상기 본체부(100)는 X 방향으로의 이동이 가능한 X 스테이지(도시되지 않음)와 수직 방향으로의 이동이 가능한 Z 스테이지(도시되지 않음)를 구비하여 상하좌우 이동이 가능하도록 구성되며, 회전축(도시되지 않음)과 회전모터(도시되지 않음)를 구비하여 회전 이동이 가능하도록 구성되며, 제어 모듈의 제어에 의하여 임의의 위치로 이동된다. 상기 본체부는 제1 및 제2 픽업 유닛, 제1 및 제2 프레임 거치대가 고정 장착되어 있으며, 본체부의 이동에 의해 상기 제1 및 제2 픽업 유닛과 제1 및 제2 프레임 거치대가 이동된다.
상기 제1 및 제2 픽업 유닛(110, 111)은 상기 본체부에 일정 높이가 이격된적층 구조로 장착되어 있으며, 서로 독립적으로 구동된다. 상기 제1 및 제2 픽업 유닛(110, 111)은 각각 본체부의 장착 위치로부터 인입되거나 인출될 수 있는 암(112), 상기 암의 선단부에 고정 장착된 트위저(tweezer; 114), 상기 트위저의 내부에 부착되어 형성된 스톱퍼(도시되지 않음)를 구비한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 암(112)은 화살표 표시 방향인 제1 방향을 따라 이동가능하며, 상기 본체부의 장착 위치로부터 제1 방향을 따라 인출되거나 인입될 수 있다. 상기 트위저(114)는 상기 암의 선단부에 고정 장착되며, 웨이퍼 프레임의 일측 모서리를 잡을 수 있도록 집게 형태로 구성된다. 상기 스톱퍼는 트위저의 내부에 부착되어 형성되며 탄성체로 구성되어 토크를 가하는 웨이퍼 프레임에 손상을 주지 않도록 하는 것이 바람직하다.
상기 제1 및 제2 프레임 거치대(120, 121)는 상기 제1 및 제2 픽업 유닛에 의해 이송된 웨이퍼 프레임을 거치할 수 있도록 상기 본체부의 상판에 적층 구조로 형성된다. 상기 제1 및 제2 프레임 거치대의 각각은, 제1 가이드 모듈(122), 제2 가이드 모듈(124) 및 가이드 이동 모듈(126)을 구비한다.
상기 제1 가이드 모듈(122)과 제2 가이드 모듈(124)은 서로 대향되도록 배치되며 웨이퍼 프레임의 서로 대향되는 제1 및 제2 모서리가 각각 안착되도록 구성된다. 제2 가이드 모듈(124)은 측면에 상기 가이드 이동 모듈에 대응되는 위치에 관통홈(125)이 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 가이드 이동 모듈(126)은 상기 관통홈을 통해 제1 방향과 수직인 제2 방향을 따라 이동가능하게 구성된다. 상기 가이드 이동 모듈(126)은 유압 또는 공압 실린더로 구성될 수 있으며, 상기 제2 가이드 모듈의 측면에 부착되어 제2 가이드 모듈에 안착된 웨이퍼 프레임의 일측 모서리로 힘을 인가하여, 상기 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향을 따라 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 가이드 이동 모듈은 적어도 둘 이상의 실린더로 구성되되, 웨이퍼 프레임의 모서리로 균일한 힘을 인가하기 위하여 둘 이상의 실린더가 제2 가이드 모듈의 측면에 균일한 간격으로 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.
상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임을 카세트로부터 픽업하거나 카세트에 적재시킬 때, 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 카세트의 후면에 밀착될 때까지 픽업 모듈의 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임에 제1 방향을 따라 토크를 인가함으로써, 웨이퍼 프레임을 제1 방향에 대해 얼라인시킨다.
또한, 상기 제어 모듈은, 웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 상기 가이드 이동 모듈을 구동시켜 제2 가이드 모듈의 관통홈을 통해, 웨이퍼 프레임을 제2 방향을 따라 이동시켜 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 하여, 웨이퍼 프레임을 상기 제1 방향과 수직인 제2 방향에 대해 얼라인시킨다.
따라서, 전술한 구성을 갖는 본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는, 픽업 유닛이 웨이퍼 프레임을 픽업하는 동안 웨이퍼 프레임을 1차 얼라인시키며, 프레임 거치대에 웨이퍼 프레임을 거치시키면서 웨이퍼 프레임을 2차 얼라인시키는 것을 특징으로 한다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치의 제어 모듈의 동작을 순차적으로 도시한 흐름도이다. 도 4를 참조하여, 본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치의 제어 모듈의 동작을 구체적으로 설명한다. 이하, 본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치의 제어 모듈이 웨이퍼 프레임을 얼라인시키면서 카세트로부터 다음 공정의 스테이지로 이송시키는 과정을 구체적으로 설명한다.
도 4를 참조하면, 먼저 본체부를 이송할 웨이퍼 프레임이 적재된 카세트의 전면으로 이동시킨다(단계 900). 본체부가 카세트의 전면으로 이동되면, 도 및 도 3에 도시된 바와 같이, 픽업 유닛의 암을 본체부로부터 제1 방향을 따라 인출시켜 카세트 전면의 사전 설정된 웨이퍼 프레임의 인출 위치에 배치한다(단계 910). 이 때, 픽업 유닛의 암의 선단부에 장착된 트위저가 인출 위치에 배치되도록 하는 것이 바람직하다.
다음, 픽업 유닛의 모터를 토크 모드로 변환시키고, 상기 트위저의 내부에 부착되어 형성된 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임의 일측 모서리에 상기 제1 방향을 따라 사전 설정된 크기의 토크를 인가하여, 상기 웨이퍼 프레임을 1차 얼라인시킨다(단계 920). 이 때, 상기 픽업 유닛의 트위저의 위치가 초기 설정된 인출 위치보다 더 나아갔고, 픽업 유닛의 모터의 토크가 사전 설정된 값보다 크거나 같고, 픽업 유닛의 모터의 속도가 Zero 인 경우, 웨이퍼 프레임에 대한 1차 얼라인을 종료한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛(110)의 트위저가 카세트(20)에 적재된 웨이퍼 프레임(30)을 잡은 상태를 도시한 사시도이며, 도 6은 도 5에서 카세트를 생략하여 도시한 사시도이다. 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 픽업 유닛(110)이 인입되어 제1 프레임 거치대(120)에 웨이퍼 프레임(30)이 거치되어 있으며, 제2 픽업 유닛(111)의 트위저가 이송할 다른 웨이퍼 프레임(31)을 잡은 상태를 도시한 사시도이다.
다음, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 트위저를 작동시켜 트위저로 웨이퍼 프레임의 일측 모서리를 잡은 후, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 암을 본체부로 인입시켜 웨이퍼 프레임을 프레임 거치대로 이송시키고 트위저를 해제시킨다(단계 930).
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제1 및 제2 프레임 거치대(120, 121)에 각각 웨이퍼 프레임(30, 31)이 거치된 상태에서, 제1 및 제2 프레임 거치대의 가이드 이동 모듈(126)이 구동되어 웨이퍼 프레임들에 화살표 방향인 제2 방향을 따라 힘을 인가한 상태를 도시한 사시도이다. 도 9 및 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 가이드 이동 모듈의 동작을 설명하기 위하여 도시한 확대 사시도로서, 도 9는 가이드 이동 모듈이 구동되기 전의 상태를 도시한 것이며, 도 10은 가이드 이동 모듈이 구동되어 웨이퍼 프레임에 힘을 인가하고 있는 상태를 도시한 것이다.
도 8 및 도 10을 참조하면, 웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 가이드 이동 모듈을 구동시켜 가이드 이동 모듈의 피스톤이 제2 가이드 모듈의 관통홈(125)을 통과시켜 화살표 방향과 같이 제1 가이드 모듈을 향하는 제2 방향을 따라 움직이게 된다. 이로써, 제1 및 제2 가이드 모듈에 거치된 웨이퍼 프레임은 가이드 이동 모듈로부터 인가되는 힘에 의해 그 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 배치됨으로써, 웨이퍼 프레임은 2차 얼라인된다(단계 940).
프레임 거치대에서 웨이퍼 프레임이 2차 얼라인된 후, 웨이퍼 프레임은 다음 공정의 스테이지로 이송된다(단계 950).
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서, 제어 모듈이 웨이퍼 프레임을 얼라인시키면서 스테이지로부터 카세트로 이송하는 과정을 설명한다. 웨이퍼 프레임을 스테이지로부터 카세트로 이송하는 과정은 도 4의 이송 과정과는 반대로 수행된다.
먼저, 본체부를 웨이퍼 프레임이 거치된 스테이지의 주변으로 이동시킨 후, 픽업 유닛의 암을 본체부의 장착 위치로부터 제1 방향을 따라 인출시켜 사전 설정된 인출 위치에 배치시킨다. 다음, 픽업 유닛의 트위저를 이용하여 웨이퍼 프레임을 잡은 후, 프레임 거치대에 거치한다.
웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 가이드 이동 모듈을 구동시켜,제1 및 제2 가이드 모듈에 거치된 웨이퍼 프레임의 일측 모서리에 힘을 가하고, 상기 인가되는 힘에 의해 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 배치됨으로써, 웨이퍼 프레임은 1차 얼라인된다.
다음, 1차 얼라인된 웨이퍼 프레임을 트위저가 잡고 카세트로 이송시킨다. 카세트에 웨이퍼 프레임을 적재시킨 후, 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임의 일측 모서리에 토크를 인가하여 웨이퍼 프레임의 모서리가 카세트의 후면에 밀착되도록 함으로써, 2차 얼라인시킨다.
이상에서 본 발명에 대하여 그 바람직한 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 프레임 이송 장치는 웨이퍼 프레임을 이송하여야 되는 반도체 제조 장비에 널리 사용될 수 있다.
10 : 웨이퍼 프레임 이송 장치
100 : 본체부
110 : 제1 픽업 유닛
111 : 제2 픽업 유닛
120 : 제1 프레임 거치대
121 : 제2 프레임 거치대
112 : 픽업 암
114 : 트위저
122 : 제1 가이드 모듈
124 : 제2 가이드 모듈
125 : 관통홈
126 : 가이드 이동 모듈

Claims (8)

  1. 웨이퍼 프레임 이송 장치에 있어서,
    임의의 위치로의 이동이 가능하도록 구성된 본체부;
    상기 본체부의 장착 위치로부터 제1 방향을 따라 인입 및 인출가능하게 장착된 픽업 유닛;
    웨이퍼 프레임을 거치할 수 있도록 상기 본체부의 상판에 형성된 프레임 거치대;
    상기 본체부, 픽업 유닛, 프레임 거치대의 구동을 제어하여 웨이퍼 프레임을 얼라인시키는 제어 모듈;
    을 구비하고, 상기 프레임 거치대는,
    웨이퍼 프레임의 제1 모서리가 배치될 수 있도록 구성된 제1 가이드 모듈;
    상기 제1 가이드 모듈과 대향되도록 배치되되, 웨이퍼 프레임의 상기 제1 모서리에 대향되는 제2 모서리가 배치될 수 있도록 구성되고, 측면에 관통홈이 형성된 제2 가이드 모듈;
    상기 제2 가이드 모듈의 관통홈에 대응되는 위치에 배치되고, 제2 방향을 따라 제2 가이드 모듈에 안착된 웨이퍼 프레임의 모서리로 힘을 인가하여 웨이퍼 프레임을 이동시키도록 구성된 가이드 이동 모듈;을 구비하고,
    상기 픽업 유닛은
    본체부의 장착 위치로부터 인입 및 인출 가능하게 구성된 픽업 암;
    상기 픽업 암의 선단부에 배치된 트위저; 및
    상기 트위저의 내부에 부착되어 형성된 스톱퍼;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 모듈은,
    웨이퍼 프레임을 카세트로부터 픽업하거나 카세트에 적재시킬 때, 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 카세트의 후면에 밀착될 때까지 픽업 모듈의 스톱퍼를 이용하여 웨이퍼 프레임에 제1 방향을 따라 토크를 인가함으로써, 웨이퍼 프레임을 제1 방향에 대해 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어 모듈은,
    웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 거치되면, 상기 가이드 이동 모듈을 구동시켜 웨이퍼 프레임을 제2 방향을 따라 이동시켜 웨이퍼 프레임의 일측 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 하여, 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향에 대해 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제어 모듈은,
    카세트로부터 웨이퍼 프레임을 픽업할 수 있는 위치로 상기 본체부를 이동시키고,
    픽업 유닛의 픽업암을 제1 방향을 따라 본체부의 장착위치로부터 인출시켜 카세트 전면의 사전 설정된 인출위치에 트위저를 위치시키고,
    픽업 유닛의 스톱퍼를 이용하여 카세트에 위치한 웨이퍼 프레임에 토크를 인가하여 상기 웨이퍼 프레임을 상기 제1 방향에 대해 1차 얼라인시키고,
    픽업 유닛의 트위저를 이용하여 상기 웨이퍼 프레임을 잡은 상태에서 픽업암을 인입시켜 웨이퍼 프레임을 프레임 거치대에 배치시키고,
    상기 가이드 이동 모듈을 이용하여 상기 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향에 대해 2차 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 웨이퍼 프레임을 제1 방향에 대해 1차 얼라인시키기 위하여,
    상기 픽업 유닛의 픽업암을 카세트의 전면에 배치시키고 상기 픽업 유닛을 토크 모드로 변환시켜 스톱퍼를 이용하여 카세트에 위치한 웨이퍼 프레임에 사전 설정된 크기의 토크를 인가하되, 픽업 유닛이 정지할 때까지 웨이퍼 프레임으로 토크를 인가시켜, 웨이퍼 프레임의 제1 모서리와 수직인 제3 모서리가 카세트의 후면에 밀착되도록 하여, 상기 웨이퍼 프레임을 상기 제1 방향에 대해 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 웨이퍼 프레임을 프레임 거치대에 배치시키기 위하여,
    픽업 유닛의 트위저를 구동시켜 트위저가 웨이퍼 프레임을 잡도록 하고,
    픽업 유닛의 픽업암을 위치 모드로 변환시켜 제1 방향을 따라 본체부의 장착 위치로 인입시킨 후 트위저를 해제시켜 상기 웨이퍼 프레임이 프레임 거치대에 배치되도록 하는 것을 특징으로 하며,
    상기 웨이퍼 프레임의 제1 및 제2 모서리는 프레임 거치대의 제1 및 제2 가이드 모듈에 각각 안착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  7. 제4항에 있어서, 상기 제어 모듈은 상기 웨이퍼 프레임을 제2 방향에 대해 2차 얼라인시키기 위하여,
    상기 가이드 이동 모듈을 구동시켜 웨이퍼 프레임의 제1 모서리가 제1 가이드 모듈에 밀착되도록 하여, 웨이퍼 프레임을 상기 제2 방향에 대해 얼라인시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 프레임 이송 장치는 둘 이상의 픽업 유닛이 일정 높이가 이격되어 적층 구조로 형성된 것을 특징으로 하며,
    둘 이상의 픽업 유닛에 대응되는 둘 이상의 프레임 거치대를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프레임 이송 장치.


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