KR20120140079A - 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법에 관한 것으로, 대면적 글라스(Glass)와 마스크(Mask)를 수직상태에서 얼라인(Align)할 수 있는 것으로 쿨 플레이트측에 형성되어 글라스를 파지하는 클램핑부에 의해 글라스의 처짐현상을 방지할 수 있어 글라스와 마스크간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 진공공간부에서 증착공정을 수행하는 글라스의 상면에 자성력을 갖는 마그네틱를 부착시키고 자석에서 발생되는 자력을 이용하여 글라스를 고정시켜 글라스의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치는, 대면적 글라스를 수직형 얼라이너에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 진공공간부; 및 상기 진공공간부에서 수직형 얼라이너 전면으로 소정이격되어 위치하는 자성이 있는 금속계열의 물질로 이루어진 마스크와; 상기 진공공간부 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너를 구동하는 구동수단들로 구성된 대기공간부; 로 마련되어, 직사각 형태로 대면적 글라스를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부 등으로 고정하여 이송하도록하는 대면적 글라스 이송용 트레이와; 상기 트레이에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스가 안착하도록 진공공간부에 있는 수직형 얼라이너 전면에 수직상태로 마련된 쿨 플레이트와; 상기 글라스를 수직형 얼라이너에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 클램핑부와; 상기 진공공간부 분할벽에 위치하여 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 이미지 촬영수단에 의해 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생하는 CCD카메라와; 상기 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 대기공간부에 위치한 UVW 구동축과; 진공공간부에 위치한 쿨 플레이트를 Z축으로 이동시켜 글라스가 마스크에 밀착되도록 구동하는 쿨 플레이트 구동부; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
이를 위한 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치는, 대면적 글라스를 수직형 얼라이너에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 진공공간부; 및 상기 진공공간부에서 수직형 얼라이너 전면으로 소정이격되어 위치하는 자성이 있는 금속계열의 물질로 이루어진 마스크와; 상기 진공공간부 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너를 구동하는 구동수단들로 구성된 대기공간부; 로 마련되어, 직사각 형태로 대면적 글라스를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부 등으로 고정하여 이송하도록하는 대면적 글라스 이송용 트레이와; 상기 트레이에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스가 안착하도록 진공공간부에 있는 수직형 얼라이너 전면에 수직상태로 마련된 쿨 플레이트와; 상기 글라스를 수직형 얼라이너에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 클램핑부와; 상기 진공공간부 분할벽에 위치하여 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 이미지 촬영수단에 의해 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생하는 CCD카메라와; 상기 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 대기공간부에 위치한 UVW 구동축과; 진공공간부에 위치한 쿨 플레이트를 Z축으로 이동시켜 글라스가 마스크에 밀착되도록 구동하는 쿨 플레이트 구동부; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
Description
본 발명은 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 대면적 글라스(Glass)와 마스크(Mask)를 수직상태에서 얼라인(Align)할 수 있는 것으로 쿨 플레이트측에 형성되어 글라스를 파지하는 클램핑부에 의해 글라스의 처짐현상을 방지할 수 있어 글라스와 마스크간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 진공공간부에서 증착공정을 수행하는 글라스의 상면에 자성력을 갖는 마그네틱를 부착시키고 자석에서 발생되는 자력을 이용하여 글라스를 고정시켜 글라스의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법에 관한 것이다.
대면적 유리 기판을 사용하는 경우 마스크와 글라스의 정렬이 정밀하지 못하게 되면 패턴이 불량하게 되고 이에 따라 전체 패널의 불량을 초래하게 된다.
심한 경우, 유리 기판에 전혀 증착되지 않은 불량 발생하기도 하는데, 이러한 불량은 정상적으로 증착된 정상 유리 기판에 비하여 증착 두께가 얇아 수명 단축이나 색순도 차이를 가지므로 수율을 저하시킨다.
상기 마스크와 유리 기판간 얼라인먼트의 정밀도를 높이기 위하여, 상기 마스크를 더욱 얇은 두께로 만들 경우, 대형화 추세에 따라 자체적으로 처짐현상 없이 상기 마스크의 평탄도를 유지하기가 점점 어려워진다.
그러므로, 상기 마스크와 유리 기판 간 정렬의 정밀도를 향상시키기 위해, 상기 마스크에 인장력을 인가한 후 상기 인장력을 유지시킨 상태에서 상기 마스크보다 더 큰 형태의 프레임에 상기 마스크를 레이저 등에 의해 고정시킴으로써 마스크에 적절한 인장력을 인가하는 방식을 채택하고 있다.
이와 같이 인장력이 유지된 마스크는 프레임과 함께 고정된 상태로 일정 횟수 반복적으로 사용된다.
그러나, 상기 유리 기판은 두꺼운 두께를 가질 경우, 상기 유리 기판 자체의 하중이 매우 증가하므로 상기 유리 기판의 처짐현상은 더욱 큰 문제점으로 인식되고 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법은, 대면적 글라스(Glass)와 마스크(Mask)를 수직상태에서 얼라인(Align)할 수 있는 것으로 쿨 플레이트측에 형성되어 글라스를 파지하는 클램핑부에 의해 글라스의 처짐현상을 방지할 수 있어 글라스와 마스크간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 진공공간부에서 증착공정을 수행하는 글라스의 상면에 자성력을 갖는 마그네틱를 부착시키고 자석에서 발생되는 자력을 이용하여 평탄도 관리가 된 글라스 고정부(Coolplate)를 기준으로 글라스와 마스크를 밀착시켜 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치 및 방법을 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치는, 대면적 글라스를 수직형 얼라이너에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 진공공간부; 및 상기 진공공간부에서 수직형 얼라이너 전면으로 소정이격되어 위치하는 자성체 금속계열의 물질로 이루어진 마스크와; 상기 진공공간부 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너를 구동하는 구동수단들로 구성된 대기공간부; 로 마련되어, 직사각 형태로 대면적 글라스를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부 등으로 고정하여 이송하도록하는 대면적 글라스 이송용 트레이와; 상기 트레이에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스가 안착하도록 진공공간부에 있는 수직형 얼라이너 전면에 수직상태로 마련된 쿨 플레이트와; 상기 글라스를 수직형 얼라이너에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 클램핑부와; 상기 진공공간부 분할벽에 위치하여 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 이미지 촬영수단에 의해 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생하는 CCD카메라와; 상기 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 대기공간부에 위치한 UVW 구동축과; 진공공간부에 위치한 쿨 플레이트를 Z축으로 이동시켜 글라스가 마스크에 밀착되도록 구동하는 쿨 플레이트 구동부; 로 이루어진 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 마스크와 글라스 및 쿨 플레이트가 순서대로 적층 밀착하며, 상기 쿨 플레이트 후측으로 마그네틱이 접촉되면서 마스크의 자력이 전이되어 밀착시키는 전이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 진공공간부 상에서 순차적으로 적층된 마스크와 글라스 및 쿨 플레이트, 마그네틱의 진공증착으로 글라스 표면에 얇은 막으로 일정한 기능을 부여하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 쿨 플레이트는, 진공증착에 의해 고온에 의한 글라스 변형을 방지하도록 알루미늄를 사용하여 이루어지면서 냉각수통로를 내부에 구비한 것을 더 포함함을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 클램핑부는, 실린더의 동작으로 글라스을 클램핑 시키고, 실린더의 압유에 의해 쿨 플레이트에서 분리시키는 것을 더 포함함을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 마그네틱은, 쿨 플레이트와 접촉 및 이격하는 왕복운동의 간격조정이 설정된 스트로크에 의해 조정되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다.
한편, 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동 방법은, 대면적 글라스가 이송용 트레이에 이송되어 진공공간부의 쿨 플레이트 전면에 안착되는 단계와; 상기 쿨 플레이트 일면에 안착과 동시에 글라스를 클램핑부에 의해 파지 고정하는 단계와; 상기 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 CCD카메라에 의해 틀어진 정도를 파악하는 단계와; 측정된 정보에 따라 전방의 마스크와 글라스가 수평,수직이 일치되도록 조정하는 단계와; 상기 글라스를 고정하는 쿨 플레이트의 전방이동으로 글라스를 마스크에 밀착시키는 단계와; 상기 쿨 플레이트의 후면으로 마그네틱이 접촉되며 마스크의 자력을 전이해서 밀착하는 단계와; 상기 증착과정을 시행하는 단계와; 상기 증착과정 종료 후 마그네틱이 쿨 플레이트에서 이탈되는 단계와; 상기 쿨 플레이트가 글라스와 함께 마스크에서 이탈되는 단계와; 상기 글라스를 트레이에 의해 지지되어 배출되는 단계; 로 이루어진 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같은 본 발명은, 대면적 글라스(Glass)와 마스크(Mask)를 수직상태에서 얼라인(Align)할 수 있는 효과가 있다.
아울러, 쿨 플레이트측에 형성되어 글라스를 파지하는 클램핑부에 의해 글라스의 처짐현상을 방지할 수 있어 글라스와 마스크간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 진공공간부에서 증착공정을 수행하는 글라스의 상면에 자성력을 갖는 마그네틱를 부착시키고 자석에서 발생되는 자력을 이용하여 글라스를 고정시켜 글라스의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 전체 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치에 글라스를 공급하는 트레이.
도 3은 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 일측 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 적층 밀착을 나타낸 도면.
도 2는 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치에 글라스를 공급하는 트레이.
도 3은 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 일측 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 적층 밀착을 나타낸 도면.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
대면적 글라스를 수직형 얼라이너에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 진공공간부; 및
상기 진공공간부에서 수직형 얼라이너 전면으로 소정이격되어 위치하는 자성체 금속계열의 물질로 이루어진 마스크와;
상기 진공공간부 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너를 구동하는 구동수단들로 구성된 대기공간부; 로 마련되어,
직사각 형태로 대면적 글라스를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부 등으로 고정하여 이송하도록하는 대면적 글라스 이송용 트레이와;
상기 트레이에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스가 안착하도록 진공공간부에 있는 수직형 얼라이너 전면에 수직상태로 마련된 쿨 플레이트와;
상기 글라스를 수직형 얼라이너에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 클램핑부와;
상기 진공공간부 분할벽에 위치하여 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 이미지 촬영수단에 의해 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생하는 CCD카메라와;
상기 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 대기공간부에 위치한 UVW 구동축과;
진공공간부에 위치한 쿨 플레이트를 Z축을 이동시켜 글라스가 마스크에 밀착되도록 구동하는 쿨 플레이트 구동부; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치를 제공함으로써 달성하였다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면에 의하여 상세하게 설명한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 하나의 실시 예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 전체 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치의 일측 단면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치는 대면적 글라스(Glass)(102)와 마스크(Mask)(120)를 수직상태에서 얼라인(Align)할 수 있는 것으로 쿨 플레이트(150) 측에 형성되어 글라스(102)를 파지하는 클램핑부(160)에 의해 글라스(102)의 처짐현상을 방지할 수 있어 글라스(102)와 마스크(120) 간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수 있으며, 진공공간부(110)에서 증착공정을 수행하는 글라스(10)의 상면에 자성력을 갖는 마그네틱(210)를 부착시키고 자석에서 발생되는 자력을 이용하여 글라스(102)를 고정시켜 글라스(102)의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있는 것이다.
아울러, 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치는 크게 진공공간부(110)와 대기공간부(130)로 작업 환경이 구분된다.
상기 진공공간부(110)는 대면적 글라스(102)를 수직형 얼라이너(100)에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 것이다.
상기 진공공간부(110)와 분할벽(112)에 의해 마련된 대기공간부(130)는 진공공간부(110) 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너(100)를 구동하는 구동수단들로 구성된다.
이때, 상기 진공공간부(110)에 존재하는 수직형 얼라이너(100) 전면으로 마스크(120)가 소정이격되어 위치한다.
상기 마스크(120)는 자성체 금속계열의 물질로 이루어진다.
이러한, 작업환경으로 구성된 수직형 얼라이너(100)에 대면적 글라스(102)를 투입하여 증착과정을 시행하기 위함이다.
상기 글라스(102)는 이송용 트레이(140)에 의해 이송되며, 수직형 얼라이너(100)에 제공한다.
상기 트레이(140)는 도 2에 도시한 바와 같이 직사각 형태로 대면적 글라스(102)를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부(142) 등으로 고정하여 이송하도록 한다.
이렇게, 상기 트레이(140)에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스(102)를 안착하는 쿨 플레이트(150)는 진공공간부(110)에서 마련되며, 상기 글라스(102)를 수직형 얼라이너(100) 전면에 수직상태로 고정한다.
상기 쿨 플레이트(150)는 진공증착에 의해 고온에 의한 글라스(102) 변형을 방지하도록 알루미늄를 사용하여 이루어지면서 냉각수통로를 내부에 구비한 것이다.
상기 쿨 플레이트(150)는 글라스(102)가 부착된 면을 균일하게 냉각시키기 위해 구성된다.
아울러, 상기 쿨 플레이트(150)에 안착된 글라스(102)를 고정하는 클램핑부(160)를 쿨 플레이드(150)에 구성한다.
상기 클램핑부(150)는 수직형 얼라이너(100)에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트(150)에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스(102)를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 것이다.
상기 클램핑부(160)는 실린더의 동작으로 글라스(102)을 클램핑 시키고, 실린더의 압유에 의해 쿨 플레이트에서 분리시키는 것이다.
상기 클램핑부(160)는 글라스(102)를 정렬시키는 수직형 얼라이너(100)에서 수직으로 투입된 글라스(102)를 수직형 얼라이너(100)에 로딩 및 고정할 할 수 있는 구조의 스윙타입의 클램핑부(160)로 수직형 얼라이너(100)에 상하좌우 서로 대향되는 위치에 각각 다수개로 설치하여 얼라이너(100)에 글라스(102)를 안정적으로 수직 고정되도록 파지하는 것이다.
여기서, 상기 글라스(102)를 수직하게 고정하되 안정적으로 파지하게 되는 클램핑부(160)는 탄성지지부(161)와 클램프 푸셔(162), 조절너트부(163), 회동체(164), 클램프(165)로 구성된다.
먼저, 상기 탄성지지부(161)는 클램핑부(160)에서 탄력성을 부여하기 위하여 사용되는 스프링을 하우징(166)에 수납하여 샤프트에 나선형으로 권취로 압축되어 지지력을 유지하는 구조를 가진다.
상기 탄성지지부(161) 내부에 구성된 스프링은 조절너트부(163)의 조절에 따라 샤프트의 길이방향으로 슬라이딩되는 간격이 조절되어 스프링의 압축량이 조절된다.
그리고, 상기 탄성지지부(161)의 후방에는 클램프 푸셔(162)가 존재하면서 링크와 결합되어 직선왕복운동 가압으로 스프링에 구동력을 전달하는 것이다.
한편, 상기 탄성지지부(161)의 스프링을 압축하는 압축 길이 조절이 용이하도록 하우징(166)의 전후 측에 각각 조절너트부(163)가 조절 가능하게 나사결합되어 인장 및 압축거리를 조절한다.
아울러, 상기 하우징(166) 전방에 위치한 조절너트부(163)와 쿨 플레이트(150) 사이에 회동체(164)가 링크로 연결되어 회동력을 전달하도록 한다.
또한, 상기 회동체(164)로부터 회동력을 전달받아 링크가 축을 중심으로 회동가능하게 결합되어 록킹수단을 동작시키는 클램프(165)에 의해 글라스(102)를 수직하게 고정하게 된다.
상기 회동체(164)의 일단에 결합되는 클램프(165)는 회동체(164)의 끝단에 회전 가능하게 결합되며, 탄성지지부(161)에서 전당되는 구동력으로 글라스(102)의 가장자리 부분을 잡거나 놓기 위하여 회동체(164)와 결합된 링크를 중심으로 회동된다.
여기서, 상기 탄성지지부(161)의 스프링은 클램프의 지지력을 유지하기 위해서 스프링을 압축 및 인장이 조절되는 것이다.
이때, 상기 클램프(165)에는 글라스(102)의 손상을 방지하기 위한 충격흡수부재가 마련된다.
상기 클램프(165)는 글라스(102)를 밀착 지지하므로 쿨 플레이트(150)에 고정상태가 안정하게 유지된다.
한편, 상기 글라스(102)가 클램핑부(160)에 안착될 때 진공공간부(110)의 분할벽(112)에 위치한 CCD카메라(170)가 이미지 촬영수단에 의해 글라스(102)의 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생한다.
상기 CCD카메라(170)는 상부측 모서리 부분과 대각선 방향으로 하부측 모서리측에 각각 2개를 구성하여 촬영한다.
상기 CCD카메라(170)는 글라스(102)가 부착시 정확하게 배치되는 것에 대한 정보를 채취한다.
이에, 상기 CCD카메라(170)에 의해 측정된 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너(100)를 X, Y, θ 방향으로 이동시켜 마스크(120)와 일치되도록 한다.
이때, 상기 CCD카메라(170)는 글라스(102)가 마스크(120)와 정확하게 일치되도록 수정할 때까지 진행한다.
상기 글라스(102)가 정렬되도록 대기공간부(130)에 위치한 UVW 구동축(180)에 의해 구동력을 전달하여 보정한다.
상기 UVW 구동축(180)은 위치조정수단에 의한 것으로 분할벽(112) 후측에 결합하여 진공공간부(110)의 수직형 얼라이너(100)가 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달한다.
이때, 상기 UVW 구동축(180)은 수직형 얼라이너(100)가 진공상태의 기밀이 유지된 상태로 CCD카메라(170)의 수정정보에 따라 비틀림 량만큼 회동한다.
이렇게, 진공공간부(110)에서 정렬된 글라스(102)를 고정하는 쿨 플레이트(150)를 구동시키는 쿨 플레이트 구동부(190)에 의해 Z축으로 이동시켜게 되며, 이동으로 글라스(102)가 마스크(120)에 밀착된다.
이때, 도 4에 도시한 바와 같이 상기 마스크(120)와 글라스(102) 및 쿨 플레이트(150)가 순서대로 적층 밀착하며, 상기 쿨 플레이트(150) 후측으로 마그네틱(210)이 접촉되면서 마스크(120)의 자력이 전이되어 밀착시키는 전이 수단을 더 포함된다.
상기 마그네틱(210)은 쿨 플레이트(150)와 접촉 및 이격하는 왕복운동의 조정간격(S)이 설정된 스트로크(stroke)에 의해 조정된다.
이같이, 상기 진공공간부(110) 상에서 순차적으로 적층된 마스크(120)와 글라스(102) 및 쿨 플레이트(150), 마그네틱(210)의 진공증착으로 글라스(102) 표면에 얇은 막으로 일정한 기능을 부여한다.
아울러, 상기 글라스(102)의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 대면적 글라스의 얼라이너 구동 방법을 설명한다.
먼저, 대면적 글라스(102)가 이송용 트레이(140)에 의래 이송되어 진공공간부(110)의 쿨 플레이트(150) 전면에 안착된다.(S110)
상기 글라스(102)는 이송용 트레이(140)에 의해 이송되며, 상기 트레이(140)는 수직형 얼라이너(100)에 공급한다.
그리고, 상기 쿨 플레이트(150) 일면에 안착과 동시에 글라스(102)를 클램핑부(160)에 의해 파지 고정한다.(S120)
트레이(140)에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스(102)를 안착하는 쿨 플레이트(150)는 진공공간부(110)에서 마련되며, 상기 글라스(102)를 수직형 얼라이너 (100)전면에 수직상태로 고정한다.
이때, 상기 클램핑부(150)는 글라스(102)가 수직형 얼라이너(100)에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트(150)에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스(102)를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 것이다.
상기 글라스(102)가 쿨 플레이트(150)에 안착될 때 CCD카메라(170)에 의해 틀어진 정도를 파악한다.(S130)
그리고, 측정된 정보에 따라 전방의 마스크(120)와 글라스(102)가 수평,수직이 일치되도록 조정한다.(S140)
즉, 상기 CCD카메라(170)는 글라스(102)가 부착시 정확하게 배치되는 것에 대한 정보를 채취하여 측정된 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너(100)를 UVW 구동축(180)에 의해 X, Y, θ 방향으로 이동시켜 마스크(120)와 일치되도록 한다.
이때, 상기 CCD카메라(170)는 글라스(102)가 마스크(120)와 정확하게 일치되도록 수정할 때까지 진행한다.
아울러, 상기 글라스(102)의 처짐현상을 최소화할 수 있고, 상기 글라스(102)와 마스크(120) 간의 얼라인먼트 정밀도를 향상시킬 수가 있다.
이렇게, 상기 글라스(102)를 고정하는 쿨 플레이트(150)의 전방이동으로 글라스(102)를 마스크(120)에 밀착시킨다.(S150)
상기 쿨 플레이트(150)의 후면으로 마그네틱(210)이 접촉되며 마스크(120)의 자력을 전이해서 밀착하게 된다.(S160)
아울러, 상기 증착과정을 시행한다.(S170)
진공공간부(110) 상에서 순차적으로 적층된 마스크(120)와 글라스(102) 및 쿨 플레이트(150), 마그네틱(210)의 진공증착으로 글라스(102) 표면에 얇은 막으로 일정한 기능을 부여한다.
상기 글라스(102)의 평판도가 균일하게 유지된 상태로 증착공정을 수행하게 되므로 제품의 불량을 방지할 수 있다.
이같이, 글라스(102)에 증착과정으로 작업이 종료되면, 처음 시작 단계로 되돌아가 다음 공정이 이루어지도록 한다.
즉, 상기 증착과정 종료 후 마그네틱(210)이 쿨 플레이트(150)에서 이탈된다.(S180)
그리고, 상기 쿨 플레이트(150)가 글라스(102)와 함께 마스크(120)에서 이탈된다.(S190)
상기 글라스(102)를 트레이(140)에 의해 지지되어 배출된다.(S200)
정리하면, 수직형 얼라이너(100)는 대기공간부(130)에 형성된 구동수단에 의해 글라스(102)와 마스크(120)가 평행하게 배치되도록 하고, 수직형 얼라이너(100)는 CCD카메라(170)와 UVW 구동축(180)의 위치조정수단을 적용함으로써 정확한 정렬이 가능하며, 정렬 후에는 마그네틱(210)을 이용하여 글라스(102)와 마스크(120)를 밀착시킨 후 진공공간부(110) 내에서 증착공정을 수행하도록 한다.
따라서, 정확한 정렬 및 우수한 증착효율을 동시에 달성할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
100:수직형 얼라이너 102:글라스
110:진공공간부 112:분할벽
120:마스크 130:대기공간부
140:트레이 142:고정부
150:쿨 플레이트 160:클램핑부
161:탄성지지부 162:클램프 푸셔
163:조절너트부 164:회동체
165:클램프 166:하우징
170:CCD카메라 180:UVW 구동축
190:쿨 플레이트 구동축 210:마그네틱
S:스트로크 조정간격
110:진공공간부 112:분할벽
120:마스크 130:대기공간부
140:트레이 142:고정부
150:쿨 플레이트 160:클램핑부
161:탄성지지부 162:클램프 푸셔
163:조절너트부 164:회동체
165:클램프 166:하우징
170:CCD카메라 180:UVW 구동축
190:쿨 플레이트 구동축 210:마그네틱
S:스트로크 조정간격
Claims (7)
- 대면적 글라스를 수직형 얼라이너에 고정 지지하면서 진공증착하기 위해 마련된 진공공간부; 및
상기 진공공간부에서 수직형 얼라이너 전면으로 소정 이격되어 위치하는 자성체 금속계열의 물질로 이루어진 마스크와;
상기 진공공간부 타측에 분할된 공간으로 수직형 얼라이너를 구동하는 구동수단들로 구성된 대기공간부; 로 마련되어,
직사각 형태로 대면적 글라스를 내부프레임에 안착하면서 가장자리를 전용 고정부 등으로 고정하여 이송하도록하는 대면적 글라스 이송용 트레이와;
상기 트레이에 의해 수직 상태로 이송되는 글라스가 안착하도록 진공공간부에 있는 수직형 얼라이너 전면에 수직상태로 마련된 쿨 플레이트와;
상기 글라스를 수직형 얼라이너에 로딩 및 고정할 수 있도록 쿨 플레이트에 상하좌우 서로 대향 형성되어 글라스를 수직으로 고정되도록 파지하기 위한 클램핑부와;
상기 진공공간부 분할벽에 위치하여 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 이미지 촬영수단에 의해 틀어진 정도를 파악하여 이에 대응하는 정보를 발생하는 CCD카메라와;
상기 틀어진 정보에 따라 수직형 얼라이너를 X, Y, θ 방향으로 이동할 수 있도록 구동력을 전달하는 대기공간부에 위치한 UVW 구동축과;
진공공간부에 위치한 쿨 플레이트를 Z축으로 이동시켜 글라스가 마스크에 밀착되도록 구동하는 쿨 플레이트 구동부; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 제1항에 있어서,
상기 마스크와 글라스 및 쿨 플레이트가 순서대로 적층 밀착하며, 상기 쿨 플레이트 후측으로 마그네틱이 접촉되면서 마스크의 자력이 전이되어 밀착시키는 전이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 제1항에 있어서,
상기 진공공간부 상에서 순차적으로 적층된 마스크와 글라스 및 쿨 플레이트, 마그네틱의 진공증착으로 글라스 표면에 얇은 막으로 일정한 기능을 부여하는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 제1항에 있어서,
상기 쿨 플레이트는,
진공증착에 의해 고온에 의한 글라스 변형을 방지하도록 알루미늄를 사용하여 이루어지면서 냉각수통로를 내부에 구비한 것을 더 포함함을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 제1항에 있어서,
상기 클램핑부는,
실린더의 동작으로 글라스을 클램핑 시키고, 실린더의 압유에 의해 쿨 플레이트에서 분리시키는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 제2항에 있어서,
상기 마그네틱은,
쿨 플레이트와 접촉 및 이격하는 왕복운동의 간격조정이 설정된 스트로크에 의해 조정되는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동장치.
- 대면적 글라스가 이송용 트레이에 이송되어 진공공간부의 쿨 플레이트 전면에 안착되는 단계와;
상기 쿨 플레이트 일면에 안착과 동시에 글라스를 클램핑부에 의해 파지 고정하는 단계와;
상기 글라스가 쿨 플레이트에 안착될 때 CCD카메라에 의해 틀어진 정도를 파악하는 단계와;
측정된 정보에 따라 전방의 마스크와 글라스가 수평,수직이 일치되도록 조정하는 단계와;
상기 글라스를 고정하는 쿨 플레이트의 전방이동으로 글라스를 마스크에 밀착시키는 단계와;
상기 쿨 플레이트의 후면으로 마그네틱이 접촉되며 마스크의 자력을 전이해서 밀착하는 단계와;
상기 증착과정을 시행하는 단계와;
상기 증착과정 종료 후 마그네틱이 쿨 플레이트에서 이탈되는 단계와;
상기 쿨 플레이트가 글라스와 함께 마스크에서 이탈되는 단계와;
상기 글라스를 트레이에 의해 지지되어 배출되는 단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 대면적 글라스의 얼라이너 구동방법.
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