KR101669081B1 - 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 복수개의 기판들을 트레이에 적재 및 이송하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 기판처리시스템에 사용되는 트레이에 관한 것이다.
본 발명은 직사각형의 트레이에 복수개의 기판들이 적재되어 공정챔버로 이송되고 상기 트레이가 상기 공정챔버의 트레이지지부에 안착된 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서, 상기 트레이는 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임과; 상기 한 쌍의 메인프레임들의 끝단을 연결하는 한 쌍의 연결프레임를 포함하는 외곽프레임과; 상기 외곽프레임 상에 설치되어 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재와; 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 상기 외곽프레임에 결합되어 상기 판상부재를 상기 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑부와; 외력을 가하여 이동시켜 상기 판상부재를 정렬할 수 있도록 상기 판상부재의 일부를 복개함과 아울러 결합되는 상기 외곽프레임의 길이방향과 수직을 이루는 정렬방향으로 상기 판상부재가 이동가능하게 상기 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이를 개시한다.

Description

기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이 {Substrate processing system and tray therefor}
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 복수개의 기판들을 트레이에 적재 및 이송하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 기판처리시스템에 사용되는 트레이에 관한 것이다.
기판처리장치란 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와, 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지부를 포함하며, 처리공간에 처리가스를 주입하면서 전원을 인가하여 기판의 표면을 식각하거나 증착하는 등 기판처리를 수행하는 장치를 말한다.
여기서 상기 기판처리장치에 의하여 처리되는 기판은 반도체용 웨이퍼, LCD패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 있다.
그리고 종래의 기판처리시스템은 복수개의 기판들을 트레이에 적재하여 이송하여 트레이지지부 상에 안착시킨 후에 기판에 대한 증착공정 등을 수행함으로써 더욱 많은 수의 기판들을 처리하도록 구성된 기판처리시스템이 있다.
상기 트레이는 복수개의 기판들을 적재하여 이송하기 위한 구성으로서, 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 그래파이트 재질의 판상부재와, 판상부재의 가장자리를 지지하도록 설치되는 외곽프레임으로 구성될 수 있다.
그런데 종래의 트레이는 기판이 적재되는 판상부재 및 외곽프레임의 재질이 서로 달라 열팽창률의 차이(씨씨컴퍼지트(CC Composite)와 스테인레스(SUS440)의 경우 열팽창률이 약 10배의 차이가 있음)로 외곽프레임 내의 판상부재의 휨, X-Y축방향 변이, 비틀림 등의 열변형이 발생하는 문제점이 있다.
보다 구체적으로 설명하면, 종래의 트레이는 공정수행과정에서 가열되는데 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 재질의 판상부재와 이를 지지하는 스테인레스 재질의 외곽프레임의 열팽창률의 차이로 인하여 외곽프레임 내의 판상부재의 휨, X-Y축방향 변이, 비틀림 등의 열변형이 발생된다.
그리고 상기 외곽프레임 내의 판상부재의 열변형은 설계된 안착위치로부터 판상부재 상의 기판에 대한 안착위치의 변동을 야기하여 기판이 적재될 때 설계된 안착위치에 안착시키지 못하는 문제점이 있다.
특히 종래의 트레이에는 기판의 안착을 가이드하는 가이드핀들이 설치되는데 안착위치의 변동에 따라서 기판이 가이드핀에 걸쳐진 상태로 적재되어 색차(Discolor)가 발생하는 등 불균일한 기판처리를 야기하는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 트레이를 구성하는 부재들간의 열팽창계수의 차이에 따른 트레이의 변형을 교정함으로써 기판 안착을 원활하게 함으로써 양호한 기판처리를 수행할 수 있는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이를 제공하는 데 있다..
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 직사각형의 트레이에 복수개의 기판들이 적재되어 공정챔버로 이송되고 상기 트레이가 상기 공정챔버의 트레이지지부에 안착된 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서, 상기 트레이는 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임과; 상기 한 쌍의 메인프레임들의 끝단을 연결하는 한 쌍의 연결프레임를 포함하는 외곽프레임과; 상기 외곽프레임 상에 설치되어 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재와; 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 상기 외곽프레임에 결합되어 상기 판상부재를 상기 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑부와; 외력을 가하여 이동시켜 상기 판상부재를 정렬할 수 있도록 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 결합되는 상기 외곽프레임의 길이방향과 수직을 이루는 정렬방향으로 상기 판상부재가 이동가능하게 상기 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이를 개시한다.
상기 클램핑부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 적어도 어느 하나에 설치되고, 상기 클램핑정렬부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 어느 하나에 설치될 수 있다.
상기 클램핑부 및 상기 클램핑정렬부는 상기 메인프레임의 길이방향을 따라서 설치될 수 있다.
상기 클램핑정렬부는 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 상기 외곽프레임과 결합되는 클램핑부재와, 상기 클램핑부재에 형성된 관통공에 삽입되어 상기 클램핑부재를 상기 외곽프레임과 결합시키는 볼트부재를 포함하는 볼팅부를 포함하며, 상기 관통공은 상기 클램핑부재가 상기 정렬방향으로 이동가능하도록 슬롯형상을 가질 수 있다.
상기 클램핑부재는 상기 볼트부재의 나사머리가 상기 클램핑부재의 외부로 돌출되지 않도록 요홈부가 형성될 수 있다.
상기 볼트부재는 상기 볼트부재의 나사머리가 상기 외곽프레임과 간격을 이루도록 상기 볼트부재의 나사머리 및 상기 외곽프레임 사이에 위치되어 상기 볼트부재의 외경 쪽으로 더 돌출된 스페이싱부가 추가로 설치될 수 있다.
상기 스페이싱부는 상기 볼트부재와 일체로 형성되거나, 별도로 설치될 수 있다.
상기 클램핑부재는 상기 판상부재의 가장자리 일부가 끼워지도록 상기 외곽프레임과 간격을 두고 설치되는 복개부와, 상기 복개부와 상기 외곽프레임이 간격을 이루도록 상기 복개부의 저면 및 상기 외곽프레임 사이에 위치되는 이격부를 포함할 수 있다.
상기 복개부와 상기 이격부는 일체로 형성되거나, 별도로 형성될 수 있다.
상기 판상부재는 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트의 재질을 가지며, 상기 메인프레임 및 상기 연결프레임 중 적어도 어느 하나는 알루미늄, 알루미늄합금 및 스테인레스 중 어느 하나의 재질을 가질 수 있다.
본 발명은 또한 상기 트레이를 사용하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템으로서, 기판처리를 수행하는 공정모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 수행될 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 외부로부터 공급받아 공정모듈로 전달하는 로드락모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 완료된 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈과; 상기 로드락모듈과 결합되어 트레이 상에 기판처리될 기판과 기판처리를 마친 기판을 교환하는 기판교환모듈을 포함하며, 상기 기판교환모듈에는 직사각형의 상기 트레이에서 상기 클램핑정렬부가 설치된 제1변 및 상기 제1변과 마주보는 제2변을 가압하여 상기 판상부재를 정렬하는 하나 이상의 판상부재정렬부가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
상기 기판교환모듈은 상기 트레이의 상기 메인프레임의 저면을 지지하여 회전에 의하여 상기 트레이를 이동시키는 복수개의 이송롤러들이 설치되며, 상기 클램핑부는 상기 한 쌍의 메인프레임에 설치되고, 상기 클램핑정렬부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 어느 하나에 설치되며, 상기 한 쌍의 메인프레임들 중 상기 클램핑정렬부가 설치된 메인프레임의 반대 쪽 메인프레임을 지지하는 이송롤러는 상기 연결프레임의 길이방향으로 상기 메인프레임이 이동하는 것을 방지하도록 설치된 이동방지부를 더 포함할 수 있다.
상기 이동방지부는 상기 메인프레임의 일부가 삽입되는 가이드홈이 형성될 수 있다.
상기 복수개의 이송롤러들은 상기 한 쌍의 메인프레임을 지지한 상태로 상하로 승강가능하게 설치될 수 있다.
상기 판상부재정렬부는 상기 제1변을 가압하는 제1가압부 및 상기 제2변을 가압하는 제2가압부를 포함하며, 상기 제1가압부는 상기 클램핑정렬부 만을 가압하며, 상기 제2가압부는 상기 클램핑부 및 상기 외곽프레임을 가압할 수 있다.
상기 로드락모듈, 상기 공정모듈 및 언로드락모듈은 인라인으로 배치될 수 있다.
또한 상기 로드락모듈 및 상기 언로드락모듈은 상기 공정모듈의 일측에 상하로 배치될 수 있다.
이때 상기 공정모듈은 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 트레이지지부에 안착시키고 기판처리 후 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 트레이핸들링부가 설치될 수 있다.
또한 상기 트레이핸들링부는 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 트레이지지부에 전달하는 제1트레이이송부와, 상기 트레이지지부로부터 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 제2트레이이송부를 포함하며, 상기 트레이지지부는 상기 제1트레이이송부와 상기 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
또한 상기 로드락모듈과 언로드락모듈은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어질 수 있다. 여기서 상기 로드락모듈 및 언로드락모듈은 독립적으로 진공제어될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이는 판상부재 및 판상부재를 지지하는 외곽프레임 사이의 열팽창률들의 차이로 인하여 발생하는 판상부재의 위치변동을 정렬할 수 있도록 구성됨으로써 판상부재 상에 기판을 정확하게 안착시킴으로써 양호한 기판처리의 수행이 가능한 이점이 있다.
특히 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이는 기판처리가 양호하게 수행됨에 따라서 안정적인 기판처리의 결과로서, 기판처리 후의 기판에 대한 색차를 최소화할 수 있다.
특히 본 발명에 따른 기판처리시스템은 트레이를 외곽프레임 상에 설치된 판상부재의 위치를 정렬할 수 있도록 구성하고, 트레이의 판상부재의 위치를 정렬할 수 있는 판상부재정렬부를 포함함으로써 판상부재 상에 기판을 정확하게 안착시킴으로써 양호한 기판처리의 수행이 가능한 이점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 구성 일부를 보여주는 단면도이다.
도 2는 기판 이송방향과 수직인 도 1의 기판처리시스템의 공정챔버의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판처리시스템에 사용되는 트레이의 분해사시도이다.
도 4는 도 3의 트레이를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 1의 기판처리시스템의 기판교환모듈에 설치된 판상부재정렬부를 보여주는 개념도이다.
도 6a 및 도 6b는 도 5의 판상부재정렬부에 의하여 정렬되는 과정을 보여주는 개념도들이다.
도 7은 도 6a에서 B부분을 확대한 단면도이고, 도 8은 도 6a에서 A부분을 확대한 단면도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 구성 일부를 보여주는 단면도이고, 도 2는 기판 이송방향과 수직인 도 1의 기판처리시스템의 공정챔버의 단면도이다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판의 이송, 모듈의 배치 및 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리를 수행하는 공정모듈(100)과, 공정모듈(100)과 결합되어 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 외부로부터 공급받아 공정모듈(100)로 전달하는 로드락모듈(200)과; 공정모듈(100)과 결합되어 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈(300)을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리시스템은 각 모듈들이 순차적으로 배치된 인라인(inline) 타입에 적용됨이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 기판처리의 대상인 기판(10)은 실리콘 재질 등의 태양전지용 기판 등의 기판으로서 어떠한 재질도 가능하며, 그 형상은 직사각형, 원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
한편 상기 로드락모듈(200)의 일측에는 트레이(600) 상에 다수개의 기판(10)들을 적재하는 기판교환모듈(400)이 추가로 설치될 수 있다.
상기 기판교환모듈(400)은 트레이(600)를 지지하는 적재트레이지지부(미도시) 및 다수개의 기판(10)들이 적재된 카세트(미도시)로부터 기판(10)을 인출하여 트레이(600) 상에 기판(10)을 적재하기 위하여 설치된 기판적재장치(420)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 적재트레이지지부는 후술하는 트레이(600)의 이송을 위하여 트레이(600)를 승하강시키기 위한 구성이 추가될 수 있다.
상기 언로드락모듈(300)의 일측에는 기판처리를 마친 기판(10)들이 적재되는 트레이(600)를 전달받기 위한 구성으로서, 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 지지하기 위한 트레이지지부(510)를 포함하는 트레이회수모듈(500)이 추가로 설치될 수 있다.
상기 트레이회수모듈(500)은 기판교환모듈(400)과 유사하게 구성될 수 있으며, 트레이지지부(510)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판교환모듈(400)로 귀환시키는 트레이이송부(520)로 트레이(600)를 전달할 수 있도록 승강 가능하게 구성될 수 있다.
여기서 상기 트레이이송부(520)는 트레이(600)를 이송할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 컨베이어, 롤러, 레일 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 공정모듈(100)은 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(110)와; 공정챔버(S) 내부에 설치되어 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 지지하는 트레이지지부(130)와; 공정챔버(110)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스공급부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 공정모듈(100)은 증착, 식각 등의 기판처리를 수행할 수 있으며, 바람직하게는 PECVD, LPCVD 등의 증착공정을 수행할 수 있다.
상기 공정챔버(110)는 기판처리를 수행하기 위한 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상측이 개방된 챔버본체(112)와 챔버본체(112)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(111)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 챔버본체(112)는 상측이 개방된 그릇 형태를 가지며, 기판(10)이 입출될 수 있는 게이트(101)가 하나 이상 형성된다. 본 실시예에서는 장방형의 챔버본체(112)에서 한 쌍의 게이트(101)들이 서로 대향되도록 형성된다.
상기 상부리드(111)는 챔버본체(112)의 상측에 실링부재(미도시)가 개재되어 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 플레이트 또는 하측이 개방된 그릇 형태를 가질 수 있다.
상기 트레이지지부(130)는 기판처리가 원활하게 수행될 수 있도록 트레이(600)를 지지하기 위한 구성으로서, 설계조건 및 공정조건에 따라서 다양한 구성이 가능하다. 여기서 상기 트레이지지부(130)는 트레이(600)의 안착을 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 상하로 이동될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템은 복수개의 기판(10)들을 트레이(600)에 적재하여 이송하면서 기판처리를 수행하는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 기판처리시스템에 있어서 트레이(600)는 각 모듈들 및 각 모듈들을 지지하는 프레임 등에 설치된 롤러, 벨트 등 다양한 방법에 의하여 이송될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템은 로드락모듈(200), 공정모듈(100) 및 언로드락모듈(300)은 인라인으로 배치되는 것 이외에 다양한 형태로 배치될 수 있다.
즉, 상기 로드락모듈(200) 및 언로드락모듈(300)은 공정모듈(100)의 일측에 상하로 배치될 수 있다.
이때 상기 공정모듈(100)은 로드락모듈(200)로부터 트레이(600)를 전달받아 트레이지지부(130)에 안착시키고 기판처리 후 언로드락모듈(300)로 트레이(600)를 전달하는 트레이핸들링부가 설치될 수 있다.
상기 트레이핸들링부는 로드락모듈(300)로부터 트레이(600)를 전달받아 트레이지지부(130)에 전달하는 제1트레이이송부와, 트레이지지부로부터 언로드락모듈(300)로 트레이(600)를 전달하는 제2트레이이송부를 포함할 수 있다. 이때 상기 트레이지지부(130)는 트레이(600)의 전달을 위하여 제1트레이이송부와 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
한편 상기 로드락모듈(200)과 언로드락모듈(300)은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어질 수 있다. 또한 상기 로드락모듈(200) 및 언로드락모듈(300)은 독립적으로 진공제어될 수 있다.
도면에서 설명하지 않은 도면부호 210, 220, 310 및 320은 게이트밸브를, 190, 290, 390, 490 및 590은 각 모듈, 기판교환모듈, 트레이회수모듈의 지지를 위한 프레임을 가리킨다.
이하 기판처리시스템에 사용되는 트레이에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 도 1의 기판처리시스템에 사용되는 트레이의 분해사시도이고, 도 4는 도 3의 트레이를 보여주는 사시도이고, 도 5는 도 1의 기판처리시스템의 기판교환모듈에 설치된 판상부재정렬부를 보여주는 개념도이고, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 판상부재정렬부에 의하여 정렬되는 과정을 보여주는 개념도들이고, 도 7은 도 6a에서 B부분을 확대한 단면도이고, 도 8은 도 6a에서 A부분을 확대한 단면도이다.
본 발명에 따른 기판처리시스템에 사용되는 트레이(600)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임(610)과, 한 쌍의 메인프레임(610)들의 끝단을 연결하는 한 쌍의 연결프레임(620)을 포함하는 외곽프레임과; 외곽프레임 상에 설치되어 복수개의 기판(10)들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재(630)와; 판상부재(630)의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 외곽프레임에 결합되어 판상부재(630)를 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑부(650)와; 판상부재(630)를 이동가능하게 외곽프레임에 결합시키는 클램핑정렬부(700)를 포함한다.
상기 메인프레임(610) 및 연결프레임(620)은 볼트 등과 같은 체결부재에 의하여 결합되어 직사각형의 트레이(600)의 골격을 형성하기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 메인프레임(610) 및 연결프레임(620) 중 적어도 어느 하나는 알루미늄, 알루미늄합금 및 스테인레스 중 어느 하나의 재질을 포함할 수 있다.
그리고 상기 메인프레임(610) 및 연결프레임(620)은 트레이의 이송방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 메인프레임(610)이 다수개의 이송롤러(121, 122, 731, 732)들에 의하여 지지됨으로써 트레이(600)가 이송될 수 있다.
또한 상기 이송롤러(121)들은 트레이(600)의 Y축방향 거동을 방지하기 위하여, 메인프레임(610)의 일부가 삽입되는 가이드홈(121a)이 형성될 수 있다. 여기서 Y축방향은 트레이(600)의 이동방향을 X축이라고 할 때 X축과 수직인 방향을 의미한다.
또한 상기 메인프레임(610)은 하나 이상의 부재들로 구성될 수 있으며, 연결프레임(620)의 설치를 위하여 결합되는 부분에서 단차(611)가 형성될 수 있다.
상기 연결프레임(620)은 한 쌍의 메인프레임(610)들을 연결하여 직사각형의 트레이(600)의 골격을 형성하는 구성으로서 하나 이상의 부재들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다. 여기서 상기 연결프레임(620)은 이송롤러(121, 122, 731, 732)들에 메인프레임(610) 만이 지지되어 이동되는 것이 바람직하므로 메인프레임(610)의 상부에 설치됨이 바람직하다.
상기 연결프레임(620)은 메인프레임(610)과 동일한 재질이 사용되거나, 기판처리과정에서 판상부재(630)의 열변형을 고려하여 판상부재(630)와 열변형이 동일하거나 유사한 동일재질 또는 세라믹 재질의 부재가 사용될 수 있다.
한편 상기 연결프레임(620)은 판상부재(630)를 지지하는 부분에서 단차(621)가 형성될 수 있으며, 후술하는 커버부재(640)의 끼움부(641)가 삽입되는 끼움홀(622)이 형성될 수 있다.
상기 판상부재(630)는 복수개의 기판(10)들이 적재되는 적재면을 형성하기 위한 구성으로서 기판처리에 따라서 다양한 구성 및 재질을 가질 수 있다.
일예로서, 상기 판상부재(630)는 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트와 같은 열에 강하면서 전도성이 높은 재질이 사용되는 것이 바람직하다.
또한 상기 판상부재(630), 특히 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 재질의 판상부재(630)는 기판처리 과정에서의 표면 보호를 위하나 Al2O3로 용사코팅 등에 의하여 코팅될 수 있다.
그리고 상기 판상부재(630)는 하나의 적재면을 이루도록 2개 이상의 서브판상부재(631)들이 결합되어 형성될 수 있다.
상기 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트의 재질로는 트레이(600)를 대형으로 제작이 어려우나 판상부재(630)가 2개 이상의 서브판상부재(631)들에 의하여 구성되는 경우 대형 트레이(600)의 제작이 가능하다.
상기 서브판상부재(631)들은 도 4에 도시된 바와 같이, 직사각형 형상을 가지며, 이웃하는 서브판상부재(631)들과 접하는 경계면이 메인프레임(610)과 평행하게 배치되는 등 다양하게 배치될 수 있다.
상기 클램핑부(650)는 판상부재(630)를 외곽프레임에 고정할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하다. 이때 상기 판상부재(630)는 클램핑부(650)가 상측으로 돌출되는 것을 방지하기 위하여 클램핑부재(650)와 접하는 부분에서 단차(634)가 형성될 수 있다.
상기 클램핑부(650)는 일예로서, 도 3 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 판상부재(630)의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 외곽프레임과 결합되는 클램핑부재(651)와; 클램핑부재(651)에 형성된 관통공(652)에 삽입되어 클램핑부재(651)를 외곽프레임과 결합시키는 볼트부재(653)를 포함하는 볼팅부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑부재(651)는 판상부재(630)의 가장자리를 복개하여 판상부재(630)를 외곽프레임에 고정하는 부재로서, 다양한 구성이 가능하다.
예를 들면, 상기 클램핑부재(651)는 판상부재(630)의 가장자리 일부가 끼워지도록 'ㄱ'자 형상, 즉 외곽프레임(본 실시예에서는 메인프레임(610))과 간격을 두고 설치되는 복개부와; 복개부와 외곽프레임과 간격을 이루도록 복개부의 저면 및 외곽프레임 사이에 위치되는 이격부를 포함할 수 있다. 여기서 상기 클램핑부재(651)는 Al2O3 등과 같은 세라믹 재질이 사용될 수 있으며, 상기 복개부와 이격부는 일체로 형성되거나, 별도로 형성되는 등 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 클램핑부(650), 즉 클램핑부재(651)는 볼트부재(653)의 나사머리(또는 너트부재)가 클램핑부재(651)의 외부로 돌출되지 않도록 요홈부(654)가 형성될 수 있다.
상기 볼팅부는 클램핑부재(651)를 외곽프레임에 결합시키기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
특히 상기 볼팅부는 외곽프레임과의 결합태양에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 일례로서, 볼트부재(653)는 수나사부가 형성되며, 외곽프레임이 형성된 암나사부(미도시)에 나사결합될 수 있다.
또한 상기 볼팅부는 볼트부재(653)와 볼트부재(653)와 나사결합되는 너트부재(미도시)를 포함할 수 있으며, 볼트부재(653)는 외곽프레임의 위쪽 또는 아래쪽에서 결합될 수 있다.
한편 상기 클램핑부(650)는 외곽프레임인 메인프레임(610) 및 외곽프레임(620)들 중 적어도 어느 하나에 설치될 수 있으며, 예를 들면 메인프레임(610)에만 설치될 수 있다.
또한 상기 클램핑부(650)는 외곽프레임의 길이방향, 예를 들면 메인프레임(610)의 길이방향을 따라서 복수개로 설치될 수 있다.
한편 앞서 설명한 바와 같이, 종래의 트레이(600)에서 발생하는 외곽프레임 상의 판상부재(630)의 휨, X-Y축방향 변이, 비틀림 등의 열변형을 교정하기 위하여, 상기 트레이(600)는 도 3 내지 도 5b 및 도 8에 도시된 바와 같이, 외력을 가하여 이동시켜 판상부재(630)를 정렬할 수 있도록 판상부재(630)의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 결합되는 외곽프레임의 길이방향과 수직을 이루는 정렬방향으로 판상부재(630)가 이동가능하게 외곽프레임에 결합시키는 클램핑정렬부(700)를 포함한다.
상기 클램핑정렬부(700)는 판상부재(630)를 외곽프레임, 본 실시예에서는 메인프레임(610)에 결합시킨다는 점에서 클램핑부(650)와 유사한 구성을 가지며, 설치위치에 따라서 다양한 구성이 가능하다.
여기서 상기 클램핑정렬부(700)는 결합되는 외곽프레임, 본 실시예의 경우에는 메인프레임(610)의 길이방향과 수직인 방향으로 이동가능하도록 한 구성이라는 점에서 클램핑부(650)과 차이가 있다.
일례로서, 상기 클램핑정렬부(700)는 클램핑부(650)와 유사한 구성으로서, 도 8에 도시된 바와 같이, 판상부재(630)의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 외곽프레임과 결합되는 클램핑부재(711)와; 클램핑부재(711)에 형성된 관통공(712)에 삽입되어 클램핑부재(711)를 외곽프레임과 결합시키는 볼트부재(713)를 포함하는 볼팅부를 포함할 수 있다.
상기 클램핑부재(711) 및 볼트부재(713)의 구성은 앞서 설명한 클램핑부(650)와 유사한바 자세한 설명은 생략한다.
다만, 상기 관통공(712)은 도 3 내지 도 6b 및 도 8에 도시된 바와 같이, 클램핑부재(711)가 결합되는 외곽프레임, 즉 메인프레임(610)과 수직을 이루는 정렬방향, 예를 들면 Y축방향으로 이동가능하도록 슬롯형상으로 형성될 수 있다.
그리고 상기 볼트부재(713)는 판상부재(630)의 이동이 원활하도록 도 8에 도시된 바와 같이, 볼트부재(713)의 나사머리(714)와 외곽프레임 사이에 위치되어 볼트부재(713)의 외경 쪽으로 더 돌출된 스페이싱부(716)가 추가로 설치되어 클램핑부재(711)의 저면 및 외곽프레임과 간격을 일정하게 유지할 수 있다.
상기 스페이싱부(716)는 볼트부재(713)와 일체로 형성되거나, 별도로 설치되는 등 다양한 구성이 가능하다.
또한 상기 클램핑정렬부(700), 즉 클램핑부재(711)는 볼트부재(713)의 나사머리(또는 너트부재)가 클램핑부재(711)의 외부로 돌출되지 않도록 요홈부(715)가 형성될 수 있다.
한편 상기와 같이 상기 클램핑부(650) 및 클램핑정렬부(700)에 의하여 판상부재(630)를 외곽프레임, 예를 들면 메인프레임(610)에 결합시키는 경우 클램핑정렬부(700)에 의한 판상부재(630)의 정렬 및 클램핑부(650)에 의한 판상부재(630)의 고정이 모두 가능하게 된다.
이때 상기 클램핑부(650)가 외곽프레임 중 한 쌍의 메인프레임(610)에 설치될 때, 클램핑정렬부(700)는 한 쌍의 메인프레임(610) 중 어느 하나에 설치될 수 있다.
또한 상기 클램핑정렬부(700)는 메인프레임(610)의 길이방향을 따라서 클램핑부(650)와 함께 설치될 수 있다.
이때 상기 클램핑부(650)은 메인프레임(610)의 중앙부분에 설치되고, 클램핑부(650)를 중심으로 그 전후에 1, 2 개 등 서로 같은 수의 클램핑정렬부(700)가 설치될 수 있다.
상기와 같이 하나의 메인프레임(610)에 클램핑부(650)를 중심에 설치하고 그 전후에 같은 수의 클램핑정렬부(700)를 설치하게 되면 중심에 위치한 클램핑부(650)에 의하여 메인프레임(610)에 대한 판상부재(630)의 견고한 클램핑 효과와 클램핑정렬부(700)에 의하여 메인프레임(610) 상의 판상부재(630)의 정렬이 모두 이루어질 수 있는 이점이 있다.
한편 상기 트레이(600)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 판상부재(630)의 가장자리를 복개하도록 설치된 하나 이상의 커버부재(640)들을 추가로 포함할 수 있다.
상기 커버부재(640)는 균일한 기판처리가 수행될 수 있도록 판상부재(630)의 가장자리를 복개하는 부재로서, 플라즈마에 강한 Al2O3 등과 같은 세라믹 재질이 사용될 수 있다.
그리고 상기 커버부재(640)는 적재면 상에서의 거동을 방지하기 위하여 그 저면에 끼움부(641)가 돌출 형성되어 연결프레임(620)에 형성된 끼움홀(622), 메인프레임(610) 및 판상부재(630)에 형성된 끼움부(635)에 끼워져 고정될 수 있다.
또한 상기 기판처리의 대상인 기판(10)이 태양전지기판, 특히 결정계 실리콘 기판인 경우, 판상부재(630)의 적재면은 도 3에 도시된 바와 같이, 각 기판(10)에 대응되어 각 기판이 안착되는 복수개의 안착위치(632)들이 설정될 수 있다.
한편 상기와 같은 구성을 가지는 트레이(600)의 정렬과정에 관하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
먼저 앞서 설명한 트레이전달부 또는 기판교환모듈(400)은 트레이(600)에서 클램핑정렬부(700)가 설치된 제1변 및 제1변과 마주보는 제2변들을 가압하여 판상부재(630)를 정렬하는 하나 이상의 판상부재정렬부가 추가로 설치된다.
상기 판상부재정렬부는 상기와 같은 구성을 가지는 트레이(600)의 판상부재(630)를 정렬하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하다.
일예로서, 상기 판상부재정렬부는 클램핑정렬부(700)가 설치된 제1변을 가압하는 제1가압부(722) 및 제2변을 가압하는 제2가압부(721)를 포함할 수 있다.
상기 제1가압부(722) 및 제2가압부(721)는 각각 제1변 및 제1변을 마주보는 제2변을 가압하기 위한 구성으로서, 도 5 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 다양한 구성이 가능하며, 특히 제1가압부(722)는 구동부(724)의 구동에 의하여 클램핑정렬부(700) 만을 가압하며, 제2가압부(721)는 구동부(723)의 구동에 의하여 클램핑부(650) 및 외곽프레임을 가압하도록 구성될 수 있다.
특히 상기 트레이(600)의 일례로서, 클램핑정렬부(700)가 하나의 메인프레임(610)에만 설치되고 나머지 하나의 메인프레임(610)에는 클램핑부(650)에 의하여 판상부재(630)가 고정될 때, 판상부재정렬부에 의하여 가압되어 클램핑정렬부(700)가 설치되지 않은 메인프레임(610) 쪽으로 판상부재(630)가 정렬된다.
한편 상기 판상부재정렬부에 의한 판상부재(630)의 정렬은 기판교환모듈(400) 내에서 이루어질 때, 트레이(600)는 기판교환모듈(400)에 설치된 복수의 이송롤러(731, 732)들에 의하여 지지될 수 있다.
또한 상기 이송롤러(731, 732)들은 상하로 트레이(600), 즉 한 쌍의 메인프레임(610)들을 지지한 상태에서 상하로 승강가능하게 설치됨으로써 트레이(600)를 상하로 이동시키기 위한 트레이승강부로서 기능을 수행할 수 있다.
그리고 상기 이송롤러(731, 732)들은 한 쌍의 메인프레임(610)들 중 클램핑정렬부(700)가 설치된 메인프레임(610)의 반대 쪽 메인프레임(610)을 지지하는 이송롤러(731)는 연결프레임(620)의 길이방향으로 메인프레임(610)이 이동하는 것을 방지하도록 설치된 이동방지부를 더 포함할 수 있다.
상기 이동방지부는 메인프레임(610)의 이동을 방지하기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 일예로서, 도 5 내지 도 6b에 도시된 바와 같이, 이송롤러(731)에 형성된 가이드홈(731a)으로 구성될 수 있다.
이하 상기와 같은 구성을 가지는 기판처리시스템에서의 트레이의 정렬과정을 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판교환모듈(400)에서 트레이(600) 상에 복수개의 기판(10)들을 로딩하고, 로드락모듈(200), 공정모듈(100) 및 언로드락모듈(300), 최종적으로 기판교환모듈(400)에서 기판처리 후의 기판(10)을 기판처리될 기판(10)들로 교체하면서 기판처리 공정을 수행한다.
그리고 로드락모듈(200) 및 공정모듈(100)을 거치면서 예열, 기판처리공정 등의 영향으로 트레이(600)가 가열되어 트레이(600)를 구성하는 판상부재(630) 및 외곽프레임에 열변형이 발생한다.
특히 트레이(600)를 구성하는 메인프레임(610) 및 연결프레임(620)는 금속재질을 가지고 판상부재(630)는 그래파이트 또는 CC컴퍼지트 재질을 가지는데 트레이(600)는 도 6a에 도시된 바와 같이, 각 부재의 열팽창률의 차이로 뒤틀림 등이 발생하게 된다.
따라서 이러한 트레이(600)의 열변형을 교정할 필요가 있으며 본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판교환모듈(400)에 설치된 판상부재정렬부에 의하여 트레이(600)를 다음과 같이 정렬한다.
먼저 트레이(600)는 롤러 등의 이송장치에 의하여 로드락모듈(200), 공정모듈(100) 및 언로드락모듈(300)를 거친 후 도 6a에 도시된 바와 같이, 최종적으로 기판교환모듈(400)의 이송롤러(731, 732)들에 위치된다. 여기서 이송롤러(731, 732)들은 트레이(600)를 전달받을 수 있는 적절한 위치, 예를 들면 로드락모듈(200)의 게이트(210)보다 낮게 하강한다.
한편 트레이(600)가 이송롤러(731, 732)들 상에 위치되고 판상부재정렬부에 대응되는 위치로 이동되면, 제1가압부(721) 및 제2가압부(722)는 각각 제1변 및 제2변을 가압한다. 여기서 제2변에는 클램핑정렬부(700)에 설치되어 있다.
구체적으로 상기 제1가압부(722)는 제1변에서 구동부(724)의 구동에 의하여 클램핑정렬부(700) 만을 가압하며, 제2가압부(721)는 제2변에서 구동부(723)의 구동에 의하여 클램핑부(650) 및 외곽프레임을 가압하게 되며, 이로써 도 6b에 도시된 바와 같이, 판상부재(630)가 정렬된다.
특히 상기 제2가압부(721)가 판상부재(630)를 고정하는 클램핑부(650) 및 외곽프레임, 즉 메인프레임(610)을 가압한 상태에서, 제1가압부(722)가 이동하여 클램핑정렬부(700)를 가압하게 되면, 제1가압부(722)에 의하여 클램핑정렬부(700)가 대향되는 메인프레임(610) 쪽으로 밀리게 되고 최종적으로 판상부재(630) 또한 대향되는 메인프레임(610) 쪽으로 밀려 이동됨으로써 트레이(600)가 정렬되는 것이다.
한편 판상부재(630)의 정렬을 마친 트레이(600)는 트레이승강부 또는 이송롤러(731, 732)의 승강에 의하여 상측으로 이동되게 되며, 기판처리된 기판(10)을 기판처리될 기판(10)으로 교체되고, 교체 후 기판처리를 위하여 로드락모듈(200)로 이송된다.
여기서 기판(10)이 적재되는 판상부재(630)가 정렬되어 있기 때문에 판상부재(630) 상에 기판(10)을 정확하게 안착시킴으로써 양호한 기판처리의 수행이 가능한 이점이 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10 : 기판
100 : 공정모듈 130 : 트레이지지부
150 : 가스공급부
600 : 트레이

Claims (19)

  1. 직사각형의 트레이에 복수개의 기판들이 적재되어 공정챔버로 이송되고 상기 트레이가 상기 공정챔버의 트레이지지부에 안착된 후 기판처리를 수행하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서,
    상기 트레이는
    평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임과; 상기 한 쌍의 메인프레임들의 끝단을 연결하는 한 쌍의 연결프레임를 포함하는 외곽프레임과;
    상기 외곽프레임 상에 설치되어 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재와;
    상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 상기 외곽프레임에 고정결합되어 상기 판상부재를 상기 외곽프레임에 결합시키는 하나 이상의 클램핑부와;
    상기 클램핑부와 대향되어 설치되며, 외력을 가하여 이동시켜 상기 판상부재를 정렬할 수 있도록 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 결합되는 상기 외곽프레임의 길이방향과 수직을 이루는 정렬방향으로 상기 판상부재가 이동가능하게 상기 외곽프레임에 상기 판상부재를 결합시키는 하나 이상의 클램핑정렬부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 클램핑부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 적어도 어느 하나에 설치되고,
    상기 클램핑정렬부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 어느 하나에 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 클램핑부 및 상기 클램핑정렬부는 상기 메인프레임의 길이방향을 따라서 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 클램핑정렬부는 상기 판상부재의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 상기 외곽프레임과 결합되는 클램핑부재와, 상기 클램핑부재에 형성된 관통공에 삽입되어 상기 클램핑부재를 상기 외곽프레임과 결합시키는 볼트부재를 포함하는 볼팅부를 포함하며,
    상기 관통공은 상기 클램핑부재가 상기 정렬방향으로 이동가능하도록 슬롯형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 클램핑부재는 상기 볼트부재의 나사머리가 상기 클램핑부재의 외부로 돌출되지 않도록 요홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 볼트부재는 상기 볼트부재의 나사머리가 상기 외곽프레임과 간격을 이루도록 상기 볼트부재의 나사머리 및 상기 외곽프레임 사이에 위치되어 상기 볼트부재의 외경 쪽으로 더 돌출된 스페이싱부가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 클램핑부재는 상기 판상부재의 가장자리 일부가 끼워지도록 상기 외곽프레임과 간격을 두고 설치되는 복개부와, 상기 복개부와 상기 외곽프레임이 간격을 이루도록 상기 복개부의 저면 및 상기 외곽프레임 사이에 위치되는 이격부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 판상부재는 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트의 재질을 가지며,
    상기 메인프레임 및 상기 연결프레임 중 적어도 어느 하나는 알루미늄, 알루미늄합금 및 스테인레스 중 어느 하나의 재질을 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 따른 트레이를 사용하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템으로서,
    기판처리를 수행하는 공정모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 수행될 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 외부로부터 공급받아 공정모듈로 전달하는 로드락모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 완료된 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈과; 상기 로드락모듈과 결합되어 트레이 상에 기판처리될 기판과 기판처리를 마친 기판을 교환하는 기판교환모듈을 포함하며,
    상기 기판교환모듈에는 직사각형의 상기 트레이에서 상기 클램핑정렬부가 설치된 제1변 및 상기 제1변과 마주보는 제2변을 가압하여 상기 판상부재를 정렬하는 하나 이상의 판상부재정렬부가 추가로 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 기판교환모듈은 상기 트레이의 상기 메인프레임의 저면을 지지하여 회전에 의하여 상기 트레이를 이동시키는 복수개의 이송롤러들이 설치되며,
    상기 클램핑부는 상기 한 쌍의 메인프레임에 설치되고, 상기 클램핑정렬부는 상기 한 쌍의 메인프레임 중 어느 하나에 설치되며,
    상기 한 쌍의 메인프레임들 중 상기 클램핑정렬부가 설치된 메인프레임의 반대 쪽 메인프레임을 지지하는 이송롤러는 상기 연결프레임의 길이방향으로 상기 메인프레임이 이동하는 것을 방지하도록 설치된 이동방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 이동방지부는 상기 메인프레임의 일부가 삽입되도록 상기 이송롤러에 형성된 가이드홈인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  12. 청구항 10에 있어서,
    상기 복수개의 이송롤러들은 상기 한 쌍의 메인프레임을 지지한 상태로 상하로 승강가능하게 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  13. 청구항 10에 있어서,
    상기 판상부재정렬부는
    상기 제1변을 가압하는 제1가압부 및 상기 제2변을 가압하는 제2가압부를 포함하며,
    상기 제1가압부는 상기 클램핑정렬부 만을 가압하며, 상기 제2가압부는 상기 클램핑부 및 상기 외곽프레임을 가압하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  14. 청구항 10에 있어서,
    상기 로드락모듈, 상기 공정모듈 및 언로드락모듈은 인라인으로 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  15. 청구항 10항에 있어서,
    상기 로드락모듈 및 상기 언로드락모듈은 상기 공정모듈의 일측에 상하로 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 공정모듈은 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 트레이지지부에 안착시키고 기판처리 후 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 트레이핸들링부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 트레이핸들링부는 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 트레이지지부에 전달하는 제1트레이이송부와, 상기 트레이지지부로부터 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 제2트레이이송부를 포함하며,
    상기 트레이지지부는 상기 제1트레이이송부와 상기 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  18. 청구항 15항에 있어서,
    상기 로드락모듈과 언로드락모듈은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 로드락모듈 및 언로드락모듈은 독립적으로 진공제어되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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