KR101773948B1 - 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 복수개의 기판들을 트레이에 적재 및 이송하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이에 관한 것이다.
본 발명은 복수개의 기판들이 직사각형의 트레이에 적재되어 이송되고 상기 트레이가 안착되는 트레이지지부를 포함하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서, 상기 트레이는 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재와; 상기 판상부재를 지지하도록 설치된 하나 이상의 프레임을 포함하며, 상기 판상부재는 기판이 상기 적재면에 로딩 또는 언로딩될 때 기판 및 적재면 사이와 그 외부 사이의 공기흐름을 형성하는 에어패스부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이를 개시한다.

Description

기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이 {Substrate processing system and Tray therefor}
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 복수개의 기판들을 트레이에 적재 및 이송하여 기판처리를 수행하는 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이에 관한 것이다.
기판처리장치란 밀폐된 처리공간을 형성하는 공정챔버와, 공정챔버 내에 설치되어 기판이 안착되는 기판지지부를 포함하며, 처리공간에 처리가스를 주입하면서 전원을 인가하여 기판의 표면을 식각하거나 증착하는 등 기판처리를 수행하는 장치를 말한다.
여기서 상기 기판처리장치에 의하여 처리되는 기판은 반도체용 웨이퍼, LCD패널용 유리기판, 태양전지용 기판 등이 있다.
그리고 종래의 기판처리시스템은 복수개의 기판들을 트레이에 적재하여 이송하여 트레이지지부 상에 안착시킨 후에 기판에 대한 증착공정 등을 수행함으로써 더욱 많은 수의 기판들을 처리하도록 구성된 기판처리시스템이 있다.
상기 트레이는 복수개의 기판들을 적재하여 이송하기 위한 구성으로서, 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 예로서 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 그레파이트 재질의 판상부재와, 판상부재의 가장자리를 지지하도록 설치되는 외곽프레임으로 구성될 수 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 트레이는 기판적재모듈에서 트레이 상에 기판처리를 마친 기판이 기판처리될 기판으로 교환된 후 기판처리가 수행될 수 있도록 공정모듈로 이송된다.
한편 종래의 트레이는 기판의 로딩 및 언로딩시 다음과 같은 문제점이 있다.
기판처리대상인 기판은 원형, 다각형 등의 플레이트 형상을 가지는데 기판 로딩시 트레이의 판상부재 상에서 기판이 슬라이딩되어 미리 정해진 안착위치에서 어긋나게 안착(이웃하는 기판과의 간섭 등으로 인한 기판처리의 불균일 발생)되거나, 기판적재를 위한 가이드핀에 얹혀져 비스듬하게 적재되는 등 기판이 트레이 상에 불안정하게 적재될 수 있다.
특히 기판이 트레이 상에 불안정하게 적재되는 경우 기판처리가 균일하게 이루어지지 않으며, 그 결과로서 기판처리 후의 기판의 표면에서 색차가 형성되는 문제점이 있다.
또한 기판의 언로딩시 기판과 트레이의 적재면은 서로 밀착되어 기판의 언로딩이 원활하지 않은 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 트레이 상에서 안정적인 기판의 로딩 및 언로딩이 가능한 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 복수개의 기판들이 직사각형의 트레이에 적재되어 이송되고 상기 트레이가 안착되는 트레이지지부를 포함하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서, 상기 트레이는 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재와; 상기 판상부재를 지지하도록 설치된 하나 이상의 프레임을 포함하며, 상기 판상부재는 기판이 상기 적재면에 로딩 또는 언로딩될 때 기판 및 적재면 사이와 그 외부 사이의 공기흐름을 형성하는 에어패스부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이를 개시한다.
상기 에어패스부는 상기 판상부재의 적재면에 형성된 하나 이상의 홈을 포함할 수 있다.
상기 판상부재의 적재면은 각 기판이 안착되는 복수개의 안착위치들이 설정되며, 상기 홈은 상기 안착위치의 가장자리로 밖으로 연장될 수 있다.
상기 에어패스부는 상기 판상부재의 적재면에 형성된 하나 이상의 홈과; 상기 홈으로부터 상기 판상부재의 저면으로 관통 형성된 하나 이상의 관통공을 포함할 수 있다.
상기 판상부재의 적재면은 각 기판이 안착되는 복수개의 안착위치들이 설정되며, 상기 홈은 상기 안착위치 내에 형성될 수 있다.
상기 안착위치의 정중앙에 기판이 안착되었을 때, 기판의 가장자리로부터 상기 안착위치의 가장자리 사이의 거리를 오차간격이라고 할 때, 상기 홈은 상기 안착위치의 가장자리로부터 내측으로 상기 오차간격의 두 배의 거리 이내에 형성될 수 있다.
상기 홈은 복수개로 구성되며, 상기 관통공은 상기 복수개의 홈들이 서로 교차하는 부분에서 형성될 수 있다.
상기 홈은 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 홈들은 적어도 일부가 서로 연결되며, 상기 관통공은 서로 연결된 홈들에 적어도 하나가 형성되고 나머지 연결되지 않은 홈들에 적어도 하나가 형성될 수 있다.
상기 홈은 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 홈들은 격자형태로 형성될 수 있다.
상기 판상부재의 적재면은 상기 안착위치의 가장자리를 따라서 복수개의 가이드부재가 배치될 수 있다.
상기 가이드부재는 상기 판상부재에 설치된 가이드핀 또는 상기 판상부재로부터 돌출형성된 돌기로 구성될 수 있다.
상기 프레임은 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임과; 상기 한 쌍의 메인프레임들의 끝단을 연결하여 설치되는 연결프레임을 포함하며, 상기 판상부재는 상기 메인프레임 및 상기 연결프레임 상에 설치될 수 있다.
본 발명은 또한 기판처리를 수행하는 공정모듈과, 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 수행될 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 외부로부터 공급받아 공정모듈로 전달하는 로드락모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 완료된 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈을 포함하며, 상기 트레이가 사용되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.
상기 로드락모듈, 상기 공정모듈 및 언로드락모듈은 인라인으로 배치될 수 있다.
또한 상기 로드락모듈 및 상기 언로드락모듈은 상기 공정모듈의 일측에 상하로 배치될 수 있다.
이때 상기 공정모듈은 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 트레이지지부에 안착시키고 기판처리 후 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 트레이핸들링부가 설치될 수 있다.
또한 상기 트레이핸들링부는 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 트레이지지부에 전달하는 제1트레이이송부와, 상기 트레이지지부로부터 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 제2트레이이송부를 포함하며, 상기 트레이지지부는 상기 제1트레이이송부와 상기 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
또한 상기 로드락모듈과 언로드락모듈은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어질 수 있다. 여기서 상기 로드락모듈 및 언로드락모듈은 독립적으로 진공제어될 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리시스템에 사용되는 트레이는 기판이 적재되는 판상부재의 적재면에 하나 이상의 홈들을 포함하는 에어패스부가 형성됨으로써 기판의 로딩 및 언로딩시 기판의 슬라이딩을 방지할 수 있어 기판의 안정적인 로딩 및 언로딩이 가능하다.
특히 본 발명에 따른 기판처리시스템에 사용되는 트레이는 판상부재에서 기판이 안착되는 안착위치 내에만 하나 이상이 홈이 형성되고 그 홈으로부터 판상부재의 저면으로 연결되는 관통공이 형성됨으로써 기판의 안정적인 로딩 및 언로딩이 이루어질 수 있다.
즉, 기판이 판상부재의 적재면 상에 로딩될 때 홈 및 이와 연결된 관통공을 통하여 공기가 배출됨으로써 기판이 안정적으로 로딩되며, 기판이 적재면으로부터 언로딩될 때 홈 및 이와 연결된 관통공을 통하여 공기가 흡입됨으로써 기판이 안정적으로 언로딩될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 구성 일부를 보여주는 단면도이다.
도 2a 및 도 2b는 도 1의 기판처리시스템의 공정챔버에 대한 각각 기판 이송방향의 단면도 및 기판 이송방향과 수직인 방향의 단면도이다.
도 3은 도 1의 기판처리시스템에 사용되는 트레이의 분해사시도이다.
도 4는 도 3의 트레이를 보여주는 사시도이다.
도 5a는 도 4의 트레이에서 적재면의 일부를 보여주는 일부 평면도이다.
도 5b는 도 5a에서 Ⅵ-Ⅵ방향의 일부단면도이다.
이하 본 발명에 따른 기판처리시스템 및 그에 사용되는 트레이를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리시스템의 구성 일부를 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1의 기판처리시스템의 공정챔버에 대한 각각 기판 이송방향의 단면도 및 기판 이송방향과 수직인 방향의 단면도이다.
본 발명에 따른 기판처리시스템은 기판의 이송, 모듈의 배치 및 구조에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판처리를 수행하는 공정모듈(100)과, 공정모듈(100)과 결합되어 기판처리가 수행될 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 외부로부터 공급받아 공정모듈(100)로 전달하는 로드락모듈(200)과; 공정모듈(100)과 결합되어 기판처리가 완료된 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈(300)을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서 본 발명에 따른 기판처리시스템은 각 모듈들이 순차적으로 배치된 인라인(inline) 타입에 적용됨이 바람직하나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.
그리고 기판처리의 대상인 기판(10)은 실리콘 재질 등의 태양전지용 기판 등의 기판으로서 어떠한 재질도 가능하며, 그 형상은 직사각형, 원형 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
한편 상기 로드락모듈(200)의 일측에는 트레이(600) 상에 다수개의 기판(10)들을 적재하는 기판적재모듈(400)이 추가로 설치될 수 있다.
상기 기판적재모듈(400)은 트레이(600)를 지지하는 적재트레이지지부(미도시) 및 다수개의 기판(10)들이 적재된 카세트(미도시)로부터 기판(10)을 인출하여 트레이(600) 상에 기판(10)을 적재하기 위하여 설치된 기판적재장치(420)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 적재트레이지지부는 후술하는 트레이(600)의 이송을 위하여 트레이(600)를 승하강시키기 위한 구성이 추가될 수 있다.
상기 언로드락모듈(300)의 일측에는 기판처리를 마친 기판(10)들이 적재되는 트레이(600)를 전달받기 위한 구성으로서, 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 지지하기 위한 트레이지지부(510)를 포함하는 트레이회수모듈(500)이 추가로 설치될 수 있다.
상기 트레이회수모듈(500)은 기판적재모듈(400)과 유사하게 구성될 수 있으며, 트레이지지부(510)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판적재모듈(400)로 귀환시키는 트레이이송부(520)로 트레이(600)를 전달할 수 있도록 승강 가능하게 구성될 수 있다.
여기서 상기 트레이이송부(520)는 트레이(600)를 이송할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며 컨베이어, 롤러, 레일 등 다양한 구성이 가능하다.
상기 공정모듈(100)은 기판처리에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 밀폐된 처리공간(S)을 형성하는 공정챔버(110)와; 공정챔버(S) 내부에 설치되어 하나 이상의 기판(10)이 적재되는 트레이(600)를 지지하는 트레이지지부(130)와; 공정챔버(110)의 상부에 설치되어 처리공간(S)으로 가스를 분사하는 가스공급부(140)를 포함하여 구성될 수 있다. 상기 공정모듈(100)은 증착, 식각 등의 기판처리를 수행할 수 있으며, 바람직하게는 PECVD, LPCVD 등의 증착공정을 수행할 수 있다.
상기 공정챔버(110)는 기판처리를 수행하기 위한 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 상측이 개방된 챔버본체(112)와 챔버본체(112)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(111)를 포함하여 구성될 수 있다.
상기 챔버본체(112)는 상측이 개방된 그릇 형태를 가지며, 기판(10)이 입출될 수 있는 게이트(101)가 하나 이상 형성된다. 본 실시예에서는 장방형의 챔버본체(112)에서 한 쌍의 게이트(101)들이 서로 대향되도록 형성된다.
상기 상부리드(111)는 챔버본체(112)의 상측에 실링부재(미도시)가 개재되어 결합되어 밀폐된 처리공간(S)을 형성하기 위한 구성으로서, 플레이트 또는 하측이 개방된 그릇 형태를 가질 수 있다.
상기 트레이지지부(130)는 기판처리가 원활하게 수행될 수 있도록 트레이(600)를 지지하기 위한 구성으로서, 설계조건 및 공정조건에 따라서 다양한 구성이 가능하다. 여기서 상기 트레이지지부(130)는 트레이(600)의 안착을 위하여 도 2에 도시된 바와 같이 상하로 이동될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템은 복수개의 기판(10)들을 트레이(600)에 적재하여 이송하면서 기판처리를 수행하는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 기판처리시스템에 있어서 트레이(600)는 각 모듈들 및 각 모듈들을 지지하는 프레임 등에 설치된 롤러, 벨트 등 다양한 방법에 의하여 이송될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 기판처리시스템은 로드락모듈(200), 공정모듈(100) 및 언로드락모듈(300)은 인라인으로 배치되는 것 이외에 다양한 형태로 배치될 수 있다.
즉, 상기 로드락모듈(200) 및 언로드락모듈(300)은 공정모듈(100)의 일측에 상하로 배치될 수 있다.
이때 상기 공정모듈(100)은 로드락모듈(200)로부터 트레이(600)를 전달받아 트레이지지부(130)에 안착시키고 기판처리 후 언로드락모듈(300)로 트레이(600)를 전달하는 트레이핸들링부가 설치될 수 있다.
상기 트레이핸들링부는 로드락모듈(300)로부터 트레이(600)를 전달받아 트레이지지부(130)에 전달하는 제1트레이이송부와, 트레이지지부로부터 언로드락모듈(300)로 트레이(600)를 전달하는 제2트레이이송부를 포함할 수 있다. 이때 상기 트레이지지부(130)는 트레이(600)의 전달을 위하여 제1트레이이송부와 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치될 수 있다.
한편 상기 로드락모듈(200)과 언로드락모듈(300)은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어질 수 있다. 또한 상기 로드락모듈(200) 및 언로드락모듈(300)은 독립적으로 진공제어될 수 있다.
도면에서 설명하지 않은 도면부호 210, 220, 310 및 320은 게이트밸브를, 190, 290, 390, 490 및 590은 각 모듈, 기판적재모듈, 트레이회수모듈의 지지를 위한 프레임을 가리킨다.
이하 기판처리시스템에 사용되는 트레이에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 도 1의 기판처리시스템에 사용되는 트레이의 분해사시도이고, 도 4는 도 3의 트레이를 보여주는 사시도이고, 도 5a는 도 4의 트레이에서 적재면의 일부를 보여주는 일부 평면도이고, 도 5b는 도 5a에서 Ⅵ-Ⅵ방향의 일부단면도이다.
본 발명에 따른 기판처리시스템에 사용되는 트레이(600)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임(610)과; 한 쌍의 메인프레임(610)들의 끝단을 연결하여 설치되는 연결프레임(620)과; 메인프레임(610) 및 연결프레임(620) 상에 설치되어 복수개의 기판(10)들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재(630)와; 판상부재(630)의 가장자리를 복개하도록 설치된 하나 이상의 커버부재(640)들을 포함한다.
상기 메인프레임(610) 및 연결프레임(620)은 볼트 등과 같은 체결부재에 의하여 결합되어 직사각형의 트레이(600)의 골격을 형성하기 위한 구성으로 다양한 구성이 가능하며, 메인프레임(610) 및 연결프레임(620) 중 적어도 어느 하나는 알루미늄, 알루미늄합금 및 스테인레스 중 어느 하나의 재질을 포함할 수 있다.
그리고 상기 메인프레임(610) 및 연결프레임(620)은 트레이의 이송방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 도 2에 도시된 바와 같이, 메인프레임(610)이 다수개의 이송롤러(121, 122)들에 의하여 지지됨으로써 트레이(600)가 이송될 수 있다.
이때 상기 트레이(600)를 이송하는 이송롤러(121, 122)들은 메인프레임(610)들의 저면을 지지한 상태에서 회전에 의하여 트레이(600)를 이송할 수 있도록 구성될 수 있으며, 각 이송롤러(121, 122)들 중 일부는 벨트, 체인, 종동롤러 등에 의하여 회전구동장치(미도시)에 의하여 연결되어 회전구동될 수 있다.
그리고 한 쌍의 메인프레임(610)들 중 어느 하나를 지지하는 이송롤러(121)들은 트레이(600)의 Y축방향 거동을 방지하기 위하여, 메인프레임(610)의 일부가 삽입되는 가이드홈(121a)이 형성될 수 있다. 여기서 Y축방향은 트레이(600)의 이동방향을 X축이라고 할 때 X축과 수직인 방향을 의미한다.
또한 상기 메인프레임(610)은 하나 이상의 부재들로 구성될 수 있으며, 연결프레임(620)의 설치를 위하여 결합되는 부분에서 단차(611)가 형성될 수 있다.
상기 연결프레임(620)은 한 쌍의 메인프레임(610)들을 연결하여 직사각형의 트레이(600)의 골격을 형성하는 구성으로서 하나 이상의 부재들로 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다. 여기서 상기 연결프레임(620)은 이송롤러(121, 122)들에 메인프레임(610) 만이 지지되어 이동되는 것이 바람직하므로 메인프레임(610)의 상부에 설치됨이 바람직하다.
상기 연결프레임(620)은 메인프레임(610)과 동일한 재질이 사용되거나, 기판처리과정에서 판상부재(630)의 열변형을 고려하여 판상부재(630)와 열변형이 동일하거나 유사한 동일재질 또는 세라믹 재질의 부재가 사용될 수 있다.
한편 상기 연결프레임(620)은 판상부재(630)를 지지하는 부분에서 단차(621)가 형성될 수 있으며, 후술하는 커버부재(640)의 끼움부(641)가 삽입되는 끼움홀(622)이 형성될 수 있다.
상기 판상부재(630)는 복수개의 기판(10)들이 적재되는 적재면을 형성하기 위한 구성으로서 기판처리에 따라서 다양한 구성 및 재질을 가질 수 있다.
일예로서, 상기 판상부재(630)는 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트와 같은 열에 강하면서 전도성이 높은 재질이 사용되는 것이 바람직하다.
또한 상기 판상부재(630), 특히 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 재질의 판상부재(630)는 기판처리 과정에서의 표면 보호를 위하나 Al2O3로 용사코팅 등에 의하여 코팅될 수 있다.
그리고 상기 판상부재(630)는 하나의 적재면을 이루도록 2개 이상의 서브판상부재(631)들이 결합되어 형성될 수 있다.
상기 씨씨컴퍼지트(CC Composite) 또는 그래파이트의 재질로는 트레이(600)를 대형으로 제작이 어려우나 판상부재(630)가 2개 이상의 서브판상부재(631)들에 의하여 구성되는 경우 대형 트레이(600)의 제작이 가능하다.
상기 서브판상부재(631)들은 도 4에 도시된 바와 같이, 직사각형 형상을 가지며, 이웃하는 서브판상부재(631)들과 접하는 경계면이 메인프레임(610)과 평행하게 배치되는 등 다양하게 배치될 수 있다.
한편 상기 기판처리의 대상인 기판(10)이 태양전지기판, 특히 결정계 실리콘 기판인 경우, 판상부재(630)의 적재면은 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 각 기판(10)에 대응되어 각 기판이 안착되는 복수개의 안착위치(632)들이 설정될 수 있다.
상기 안착위치(632)는 적재면 상에서 기판(10)이 안착되는 위치를 설정한 것으로서, 물리적으로 설정되는 것보다는 기판적재모듈(400)에서 트레이(600)의 적재면에 기판(10)을 안착시킬 때 제어되는 위치가 설정된다.
한편 상기 기판(10)의 원활한 안착을 위하여, 안착위치(632)가 설정되는 판상부재(630)의 적재면에는 도 5a에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 형상에 대응되어 안착위치(632)의 가장자리를 따라서 복수개의 가이드부재가 설치될 수 있다.
상기 가이드부재는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 형상에 대응되어 판상부재(630)의 적재면에 배치된 복수개의 가이드핀(633)들로 구성되거나, 형성된 돌기(미도시)들로 구성될 수 있다.
이때 상기 복수개의 가이드핀(633)들 또는 돌기들에 의하여 설정되는 안착위치(632)는 기판 안착시 간섭되는 것을 방지하기 위하여, 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 그 가장자리가 기판(10)의 외곽선과는 어느 정도의 간격을 두고 형성됨이 바람직하다.
상기와 같이 상기 판상부재(630)의 적재면에 복수개의 가이드핀(633)들 또는 돌기들이 설치된 경우 트레이(600)가 이송될 때 흔들림에 의하여 기판(10)의 이동을 방지할 수 있다.
한편 상기 적재면 상에서 기판(10)의 로딩 및 언로딩시 슬라이딩이 발생될 수 있는데 이를 방지하기 위하여, 상기 판상부재(630)는 기판(10)이 적재면에 로딩 또는 언로딩될 때 기판(10) 및 적재면 사이와 그 외부 사이의 공기흐름을 형성하는 에어패스부가 형성됨이 바람직하다.
그리고 상기 에어패스부는 각 안착위치(632)에서 슬라이딩을 방지하기 위하여 적재면에 형성된 하나 이상의 홈(635, 636)들을 포함할 수 있다.
상기 홈(635, 636)은 판상부재(630)의 적재면 상에 수평방향으로 형성되는 홈들로서, 안착위치(632) 내에서 격자형태로 형성되는 등 기판(10)의 로딩 및 언로딩시 기판(10) 및 판상부재(630)의 적재면 사이에서 공기가 유동하도록 함으로써 기판(10)의 슬라이딩을 방지할 수 있는 것이다.
한편 상기 홈(635, 636)은 기판(10)의 슬라이딩을 방지하기 위해서는 판상부재(630)에 안착된 기판(10)의 가장자리보다 더 연장될 필요가 있다.
그런데 상기 홈(635, 636)이 판상부재(630)에 안착된 기판(10)의 가장자리보다 더 연장된 경우 홈(635, 636)을 통하여 기판(10)의 저면에도 기판처리가 이루어지는 등 원치 않는 부위에서 기판처리가 이루어지는 문제점이 있다.
따라서 상기 판상부재(630)는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 안착되는 안착위치(632) 내에서 홈(635, 636)이 형성되고 홈(635, 636)으로부터 판상부재(630)의 저면으로 관통 형성된 하나 이상의 관통공(637)이 형성될 수 있다.
특히 상기 안착위치(632)의 정중앙에 기판(10)이 안착되었을 때, 기판(10)의 가장자리로부터 안착위치(632)의 가장자리 사이의 거리를 오차간격이라고 할 때, 홈(635, 636)은 안착위치(632)의 가장자리로부터 내측으로 오차간격의 두 배의 거리 이내에 형성됨이 바람직하다.
한편 상기 관통공(637)은 적재면 및 기판(10)의 저면 사이에서 공기의 유동이 가능하게 함으로써 보다 안정적인 기판(10) 로딩 및 언로딩을 가능하게 하는 구성이다.
즉, 상기 기판(10)이 적재면 상에 로딩될 때 홈(635, 636) 및 이와 연결된 관통공(637)을 통하여 공기가 배출됨으로써 기판(10)이 안정적으로 로딩될 수 있다.
또한 상기 기판(10)이 적재면으로부터 언로딩될 때 홈(635, 636) 및 이와 연결된 관통공(637)을 통하여 공기가 흡입됨으로써 기판(10)이 안정적으로 언로딩될 수 있다.
한편 상기 관통공(637)은 복수개의 홈(635, 636)들이 서로 교차하는 부분에서 형성될 수 있다. 또한 상기 복수개의 홈(635, 636)들은 적어도 일부가 서로 연결되며, 관통공(637)은 서로 연결된 홈(635, 636)들에 적어도 하나가 형성되고 나머지 연결되지 않은 홈(635, 636)들에 적어도 하나가 형성될 수 있다.
그리고 상기 판상부재(630)의 적재면은 각 기판(10)이 안착되는 복수개의 안착위치(632)들이 설정되고, 안착위치(632)는 기판(10)의 외곽선과 실질적으로 동일한 크기를 가질 때, 홈(635, 636)은 안착위치(632) 내에 형성되는 것이 바람직하다.
상기와 같이 상기 판상부재(630)의 적재면에서 홈(635, 636)을 안착위치(632) 내에 형성하고, 홈(635, 636)으로부터 판상부재(630)의 저면으로 관통 형성된 하나 이상의 관통공(637)을 형성하게 되면 기판(10)의 안정적인 로딩 및 언로딩이 가능하며, 홈(635, 636)을 통한 기판(10) 저면에 대한 기판처리를 방지할 수 있다.
한편 상기 판상부재(630)는 하나 이상의 클램핑부재(650)에 의하여 메인프레임(610)에 고정될 수 있다.
상기 클램핑부재(650)는 판상부재(630)를 메인프레임(610)에 고정할 수 있는 구성이면 어떠한 구성도 가능하며, 판상부재(630)의 가장자리 일부를 복개함과 아울러 볼트(미도시)와 같은 체결부재에 의하여 메인프레임(610)과 결합되어 판상부재(630)를 메인프레임(610)에 고정하도록 구성될 수 있다.
이때 상기 판상부재(630)는 클램핑부재(650)가 상측으로 돌출되는 것을 방지하기 위하여 클램핑부재(650)와 접하는 부분에서 단차(634)가 형성될 수 있다.
상기 커버부재(640)는 균일한 기판처리가 수행될 수 있도록 판상부재(630)의 가장자리를 복개하도록 설치되는 부재로서, 플라즈마에 강한 Al2O3 등과 같은 세라믹 재질이 사용될 수 있다.
그리고 상기 커버부재(640)는 적재면 상에서의 거동을 방지하기 위하여 그 저면에 끼움부(641)가 돌출 형성되어 연결프레임(620)에 형성된 끼움홀(622), 메인프레임(610) 또는 판상부재(630)에 형성된 끼움부(635)에 끼워져 고정될 수 있다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
10 : 기판
100 : 공정모듈 130 : 트레이지지부
150 : 가스공급부
600 : 트레이

Claims (19)

  1. 복수개의 기판들이 직사각형의 트레이에 적재되어 이송되고 상기 트레이가 안착되는 트레이지지부를 포함하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이로서,
    상기 트레이는 복수개의 기판들이 적재되는 적재면을 형성하는 판상부재를 포함하며,
    상기 판상부재의 적재면에는 기판이 상기 적재면에 로딩 또는 언로딩될 때 기판 및 적재면 사이에 공기흐름을 형성하는 에어패스부가 형성되며,
    상기 에어패스부는, 상기 기판 및 적재면 사이에 공기흐름을 형성하기 위하여, 상기 적재면에 수평방향으로 형성된 하나 이상의 홈을 포함하며,
    상기 판상부재의 적재면은 각 기판이 안착되는 복수개의 안착위치들이 설정되며, 상기 홈은 상기 안착위치의 가장자리로 밖으로 연장된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 에어패스부는
    상기 홈으로부터 상기 판상부재의 저면으로 관통 형성된 하나 이상의 관통공을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 홈은 복수개로 구성되며,
    상기 관통공은 상기 복수개의 홈들이 서로 교차하는 부분에서 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 홈은 복수개로 구성되며,
    상기 복수개의 홈들은 적어도 일부가 서로 연결되며, 상기 관통공은 서로 연결된 홈들에 적어도 하나가 형성되고 나머지 연결되지 않은 홈들에 적어도 하나가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  9. 청구항 4에 있어서,
    상기 홈은 복수개로 구성되며, 상기 복수개의 홈들은 격자형태로 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 판상부재의 적재면은 상기 안착위치의 가장자리를 따라서 복수개의 가이드부재가 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 가이드부재는 상기 판상부재에 설치된 가이드핀 또는 상기 판상부재로부터 돌출형성된 돌기인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 트레이는 상기 판상부재를 지지하도록 설치된 하나 이상의 프레임을 포함하고,
    상기 프레임은 평행하게 배치되는 한 쌍의 메인프레임과, 상기 한 쌍의 메인프레임들의 끝단을 연결하여 설치되는 연결프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템에 사용되는 트레이.
  13. 기판처리를 수행하는 공정모듈과, 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 수행될 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 외부로부터 공급받아 공정모듈로 전달하는 로드락모듈과; 상기 공정모듈과 결합되어 기판처리가 완료된 복수개의 기판들이 적재된 트레이를 전달받아 외부로 배출하기 위한 언로드락모듈을 포함하며,
    청구항 1, 청구항 4 및 청구항 7 내지 청구항 12 중 어느 하나의 항에 따른 트레이가 사용되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 로드락모듈, 상기 공정모듈 및 언로드락모듈은 인라인으로 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  15. 청구항 13항에 있어서,
    상기 로드락모듈 및 상기 언로드락모듈은 상기 공정모듈의 일측에 상하로 배치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  16. 청구항 15에 있어서,
    상기 공정모듈은 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 트레이지지부에 안착시키고 기판처리 후 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 트레이핸들링부가 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 트레이핸들링부는 상기 로드락모듈로부터 트레이를 전달받아 상기 트레이지지부에 전달하는 제1트레이이송부와, 상기 트레이지지부로부터 상기 언로드락모듈로 트레이를 전달하는 제2트레이이송부를 포함하며,
    상기 트레이지지부는 상기 제1트레이이송부와 상기 제2트레이이송부 사이에서 상하로 이동이 가능하도록 설치된 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  18. 청구항 15항에 있어서,
    상기 로드락모듈과 언로드락모듈은 하나의 챔버 또는 별도의 챔버로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  19. 청구항 18에 있어서,
    상기 로드락모듈 및 언로드락모듈은 독립적으로 진공제어되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
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