TW201308482A - 基板加工設備中的基板傳輸模組、載入和卸載系統、以及基板傳輸方法 - Google Patents

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Abstract

本發明涉及一種基板加工設備的基板傳輸模組，其中該基板傳輸模組具有一處於承載板和/或承載框架形式的承載裝置並且被構成為用於水平地接收和水平地傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸目標。本發明還涉及一種具有此類基板傳輸模組的基板加工設備的載入和卸載系統。此外，本發明涉及一種用於在具有至少一個基板傳輸模組的基板加工設備中傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸目標的方法，該基板傳輸模組具有處於承載板和/或承載框架形式的一承載裝置。因此，本發明的目的係提供在基板加工設備中的一種基板傳輸模組、一載入和卸載系統、以及一傳輸基板的方法，從而能夠避免在連續式基板加工設備中從一設備區段到下一設備區段的污染並且允許有效地運行一基板加工設備。在此該基板傳輸模組和對應的載入和卸載系統應盡可能廉價地構成。這個目的一方面係藉由上述類別的基板加工設備的一基板傳輸模組實現的，其中具有水平取向的放置區段的多個承載元件從該等承載裝置向該承載裝置下方的一區域延伸，該等放置區段構成了用於該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體的一放置部，並且其中該承載裝置與一用於在該基板加工設備中傳輸該基板傳輸模組的傳輸系統係可聯接的。該目的還藉由一使用根據本發明的基板傳輸模組的載入和卸載系統以及一對應的方法而實現。

Description

基板加工設備中的基板傳輸模組、載入和卸載系統、以及基板傳輸方法
本發明涉及一種基板加工設備的基板傳輸模組，其中該基板傳輸模組具有一處於承載板和/或承載框架形式的承載裝置並且被構成為用於水平地接收和水平地傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體(Substrattransportobjekt)。本發明還涉及一種具有此類基板傳輸模組的基板加工設備的載入和卸載系統。此外，本發明涉及一種用於在具有至少一個基板傳輸模組的基板加工設備中傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體的方法，該基板傳輸模組具有處於承載板和/或承載框架形式的一承載裝置。
從習知技術中已知的是，在基板加工設備中，例如像用於生產太陽能電廠的設備中，以所謂的基板承載物或基板載體的形式來應用基板傳輸模組。這種基板承載物用於擺放有待加工的基板，該等基板典型地是成行或成列地放置在基板承載物上的。基板承載物為此被構成為是平板式或網格式的。另外，該基板承載物的構成方式為，使得它在穿過該基板加工設備的至少一個傳輸方向上與安排在該基板承載物上的該等基板一起進行傳輸。由此，有可能使該等基板放置在基板承載物上通過基板加工設備的多個區域，並且由此連續地在基板加工設備中進行加工。
在穿過基板加工設備時，以基板承載物形式被構成的基板傳輸模組水平地取向，這樣使得典型地被構成為平面的基板同樣以水平取向的方式穿過該基板加工設備。
如果基板承載物被構成為是平面式的，則該等基板平面式地放置在基板承載物的表面上。如果基板承載物被構成為是網格式的，則該等基板安排在構成於該基板承載物中的、所謂的承載凹座(Trägernestern)中。在該等承載凹座中，該等基板典型地僅在其邊緣處放置在承載凹座的、對應的固定區域中。於是，在兩種基板承載物變體中均可能特別地加工各基板的表面。
在基板加工設備中，例如在基板上進行塗覆加工、擴散加工、蝕刻加工、燃燒加工或淨化加工。在每個加工過程中，不僅該等基板還有相應使用的基板傳輸模組也處於該等過程的相應條件下。於是例如在塗覆基板時，在相應的設備區段中還同時將基板傳輸模組一起塗覆。在所謂的連續式或線內式(Durchlauf-bzw.Inline)基板加工設備中，該基板傳輸模組與放置在其上的基板一起連續地移動通過該基板加工設備，並且其中通過不同的設備區域，該等區域的特徵部分地在於其完全不同的邊界條件。由此通過基板傳輸模組而部分地、逐設備區段地將對過程不利的外來原子和/或分子傳輸向下一設備區段。由此可能造成對下一設備區段的污染，這會對該處的加工造成不利影響。
因為例如在習知技術的基板加工設備中的沉積過程中 該基板傳輸模組被塗覆，所以該基板傳輸模組在一定時間後具有對於進一步使用而言不利的塗層，這種塗層必須在對應的時間間隔後除去。為此，必須將用作基板傳輸模組的基板承載物以規則的間隔從該基板加工設備上拆下並進行清潔。例如在此藉由蝕刻該基板承載物來去除塗層。對應的勞動耗費與從基板加工設備上拆下基板承載物相關。另外在清潔的過程中基板承載物無法在基板加工設備中使用，從而使得必須準備好替換的基板承載物，否則在清潔時間內就無法使用對應的基板加工設備。此外，必須在清潔之後將清潔的基板承載物預調節。也就是說，必須在清潔之後用一確定的底層厚度將其重新塗覆，因為不然就會在相應的處理流程中產生問題。該預調節同樣與對應的時間和勞動耗費相關。
另外，在習知技術中使用的基板承載物必須由耐高溫的材料構成，這樣使得它能夠無損地承受在設備區段中局部使用的高溫。因此只有有限數量的材料適合於這種基板承載物，該等材料部分地是非常昂貴的且難以加工。
習知技術中所使用的基板承載物的另一問題係，用於載入和卸載基板承載物的相應方法和裝置尚未成熟。於是例如使用了機器人處理系統，該等系統將相應的基板在其基板表面上抽吸起來並且隨後放置到相應的基板承載物上。藉由在基板表面抽吸可能造成在該等區域中對基板的損傷，其中該等基板表面正係尤其在太陽能電池的情況下絕對不允許損傷的。
因此，本發明的目的係提供在基板加工設備中的一基板傳輸模組、一載入和卸載系統、以及一傳輸基板的方法，從而能夠避免在連續式基板加工設備中從一設備區段到下一設備區段的污染並且允許有效地運行一基板加工設備。在此該基板傳輸模組和對應的載入和卸載系統應盡可能廉價地構成。
這個目的一方面係藉由基板加工設備的一基板傳輸模組實現的，其中該基板傳輸模組被構成為用於水平地接收並水平地傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體，其中該基板傳輸模組具有一處於承載板承載框架形式的承載裝置，多個具有水平取向的放置區段的承載元件從該等承載裝置起向該承載裝置下方的一區域延伸，該等放置區段構成了用於該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體的一放置部，並且其中該承載裝置與一用於在該基板加工設備中傳輸該基板傳輸模組的傳輸系統是可聯接的。
在本說明書中，“在一承載裝置下方”或者“在放置區段上方”或者下文中使用的類似的方位指示，總是從對於基板加工設備的典型用法而言基板加工設備的元件所採用的定向出發，其中處於水平取向的該基板傳輸模組通過該基板加工設備移動並且“下方”意味著在基板加工設備的底部的方向上，而“上方”意味著在基板加工裝置頂部的方向 上。
根據本發明的途徑在於，作為基板承載物使用的基板傳輸模組一方面具有一承載裝置，且另一方面具有至少一個基板放置區域。該承載裝置具有多個元件，該等元件與該基板加工設備的傳輸系統相匹配，這樣使得基板傳輸模組能夠借助于該處於水平取向的承載裝置而傳輸通過該基板加工設備。至少一個基板放置區域使得該等基板在基板傳輸模組上的水平放置成為可能，從而使該等基板能夠放置在基板傳輸模組上而傳輸通過該基板加工設備。在承載裝置與該至少一個基板放置區域之間的連接係藉由固定在承載裝置上或與承載裝置相連接的承載元件進行的。在此，該承載元件具有多個水平取向的放置區段。在該等放置區段上可以放置該等基板自身、或者在該等放置區段上放置至少一個平面式基板傳輸物體，在該傳輸物體上可以進而放置至少一個基板。
藉由產生根據本發明的兩個平面，也就是說通過該承載裝置而獲得的承載層與通過放置區段而獲得的放置層，得到了在承載裝置與該等放置區段之間的一空間區域，在該空間區域中可以將該至少一個平面式基板或者該至少一個平面式基板傳輸物體提升，其中該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體在升高後的位置上不再放置在該等放置區段中。在這個升高的位置上，該基板傳輸模組可以在不與該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體碰撞的情況下從其移開。
於是有可能在根據本發明的基板傳輸模組的說明下，將基板或基板傳輸物體運送到基板加工設備的一基板加工區域中、將該基板或基板傳輸物體在一適合的位置上從該等放置區段上升起、並且此後將該基板傳輸模組再次運送出基板加工設備的這個基板加工區域。這進而使得有可能使用作基板承載物的基板傳輸模組在的基板加工過程中不需要停留在相應的基板加工區域中，並且在基板加工過程中僅使該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體留在該基板加工區域中。相應地，在該基板或基板傳輸物體上作用的處理條件並不同時作用在基板傳輸模組上，該基板傳輸模組可以定位在基板加工區域之外。在所進行的基板加工之後，可以將該基板傳輸模組再次運送到該基板加工區域中並且再次接收該等基板或基板傳輸物體，以便傳輸到下一設備區段中或者從基板加工色環保中傳輸出來。
由此根據本發明能夠避免對基板傳輸模組的污染、塗覆或其他影響。此外，對於在根據本發明的基板傳輸模組中可使用的材料而言，產生了更寬廣的選擇可能性，因為這種材料並不一定必須具有迄今為止的習知技術中的基板承載物的溫度耐受性。
因為根據本發明的基板傳輸模組在基板加工中有可能從相應的基板加工區域中移除，所以藉由去除對基板傳輸模組的對應的塗覆，也免除了用於清潔並後續預調節清潔後的基板傳輸模組的花費。
在本發明的一有利的實施方式中，該承載裝置具有至少一個傳輸系統適配器。該承載裝置可以具有一被構成為平面的承載板，在該承載板上可以放置例如多個基板。該承載板可以配合在一承載框架中，該承載框架進而能夠放置在該基板加工設備的傳輸系統的多個元件上或者與該等元件相聯接。然而，在該承載框架的內部還可以配備有被網格狀安排的多個承載梁(Tragebalken)。其中在該等被網格狀安排的承載梁之間構成有多個對應的開口，該等開口較佳的是至少對應於有待加工的基板的基板表面的尺寸。可以使用各種不同的技術構造作為傳輸系統適配器。於是例如可以將多個傳輸系統適配器相應地設置在該基板傳輸模組的、平行於該基板傳輸方向而延伸的相對兩側上。
該等傳輸系統適配器例如可以是滑軌，配備該等滑軌用來使基板加工設備的被構成為輪式傳輸系統的一傳輸系統在輪子上移動。在本發明的另一變體中，該等傳輸系統適配器有可能是輪式安排，配備該等輪式安排來在基板加工設備的傳輸系統的固定滑軌上滾動。還有可能將磁性安排用作傳輸系統適配器，配備該等安排以在基板加工設備的傳輸系統內部構成一線性電動機。
如果該承載裝置具有一帶有被網格狀安排的承載梁的承載框架，那麼特別有利的是，至少在一個方向上取向的該等承載梁具有用於接收相應地在另一個方向上延伸的承載梁的多個凹槽，並且接收在該等承載梁的凹槽中的那些 承載梁係藉由多個連接夾件來制動的。以此方式，構成了一可簡單地插接到一起並可再次拆卸的承載裝置，其中能夠不費力地用新的承載梁來替換磨損的承載梁。另外能夠藉由自由選擇凹槽的安排方式來實現能夠與不同基板尺寸相匹配的承載裝置。
該承載元件有利地設置在該等傳輸系統適配器與該承載裝置之間。於是，該等承載系統適配器典型地位於該承載裝置的外部區域中，而該承載元件典型地位於該基板傳輸模組的內部區域中。於是該基板傳輸模組可以在與基板傳輸模組的承載裝置平行設置的其外部區域中適當地進行支撐並且與該基板加工設備的傳輸系統相聯接，而在同樣設置在該基板加工設備的內部區域中的、該基板傳輸模組的內部區域中可以進行基板的接收及其穿過基板加工設備的傳輸。
較佳的是該基板傳輸模組係如下構成的，即它具有一豎直通道，通過該豎直通道可以使該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體移動到該放置部上或從該放置部上移開。豎直通道在此應理解為一自由的區域，其中該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體可以自由地在豎直方向上移動。因為該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體在豎直通道中的移動不受阻礙，所以該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體能夠在該豎直通道之內成為一水平的平面，在該平面中有可能不受阻擋地傳輸該基板傳輸模組，而不會在基板傳輸模組與該至少一個基板或至少一個基板 傳輸物體之間產生碰撞。相反地，在該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體處於這個在放置部上方的水平的平面中時，該基板傳輸模組可以在該基板或該基板傳輸物體的方向上移動，以便以後能夠再次被接收到該放置部上。
在本發明的一非常有利的實施方式中，該基板傳輸模組具有至少一個向下部分開放的水平通道，該水平通道處於該承載裝置與該放置部之間並且當該至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體處於該至少一個水平通道中的升高位置時該水平通道允許在該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體與該基板傳輸模組之間的一水平相對運動，其中該水平通道的構成方式為，使得該等承載元件設置在該水平通道的封閉側面上並且在水平通道內部沒有設置任何承載元件。該水平通道可以例如處於上述豎直通道的內部。根據本發明，水平通道應理解為一自由區域，該至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體在該水平通道內部可以在水平方向上不受阻擋地移動，以及當基板傳輸模組相對於該至少一個基板或至少一個基板傳輸物體進行水平相對移動時該至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體可以被固定在該水平通道中。藉由基板傳輸模組相對於該基板或該基板傳輸物體的這種不受阻擋的可相對移動性，可以使該基板傳輸模組朝向基板或基板傳輸物體移動，以便能夠將該基板或基板傳輸物體接收到該基板傳輸模組上。此外該基板傳輸模組還可以從該基板或基板傳輸物體移開，從而使其在加工基板時不會 被同時加工。
在此有可能在一水平的平面中設置至少兩個彼此相鄰的水平通道。也就是說，在該等水平通道中可以例如接收多個基板或基板傳輸物體，其中該等水平通道雖然在同一水平的平面中，但彼此分離地設置。
另一方面，還有利的是，在本發明的一實施方式中在彼此上下安排的水平的平面中構成有至少兩個水平通道，其中在該至少兩個彼此上下構成的水平通道中設置有該等承載元件的放置區段。以此方式，可以形成多個彼此上下安排的基板放置區域，這樣借助單一的基板傳輸模組可以將非常多的基板帶入基板加工區域中並且可以將基板傳輸模組順序地卸載，其中該基板傳輸模組在卸載基板之後可以再次從該基板加工設備的基板加工區域移動出來。在完成基板加工之後可以使該多級的基板傳輸模組再次進入基板加工區域中並且該基板或帶有基板的基板傳輸物體可以再次被該基板傳輸模組接收並傳輸到基板加工設備的另一區段中。
根據本發明例如可以將一基板放置板或一基板接收框架用作基板傳輸物體，該基板傳輸物體例如可以構成為網格狀。
在本發明的一非常有利的實施方式中，該基板傳輸模組具有多個在該承載裝置下方的區域中延伸的校準元件，該等校準元件相應地具有在該至少一個放置在該承載元件上的基板或基板傳輸物體的方向上定向的傾斜部，其中該 等校準元件設置為用於放置在該承載元件上、該基板傳輸模組的至少一個接收區域中的基板或基板傳輸物體的止動件(Anschläge)。根據本發明的基板模組的這個構造使得相應的、放置在基板傳輸模組上的該基板或基板傳輸物體準確地定位在所設置的放置位置上，因為該等校準元件限定了這個位置並且通過在校準元件上設置的傾斜部將該基板或基板傳輸物體引導到這個位置上。
特別實用的是，該等承載元件和/或該等校準元件係可夾持在該承載裝置上的。因為所設想的是該等承載元件以及該等校準元件會經受特別大的磨損，所以於是該等承載元件還有該等校準元件能夠以簡單的方式進行替換或更新。
如果該承載裝置具有一帶有被網格狀安排的承載梁的承載框架，那麼有利的是：該等承載梁係承載縱梁和承載橫樑，其中承載縱梁在一傳輸方向上(該基板傳輸模組可以在該方向上在基板加工設備中移動)取向；並且該等承載元件和/或上述校準元件相應地具有U形的、可分別安置在一承載縱梁上的一安裝區段，該安裝區段具有從其側面突出的多個固定鉤(Haltehaken)；並且設置有多個彈簧元件，借助該等彈簧元件該等固定鉤可以從後方接合，以便將該等承載元件和/或該等校準元件在承載縱梁上制動。於是構成了一穩定的、但仍能簡單安裝且拆卸的、具有較小重量的承載裝置，其中該等承載元件和/或校準元件在不同的位置中能夠固定在承載梁上，以便由此保證對 不同的基板大小和基板形狀的匹配。
在本發明的一有利的實施方式中，該等彈簧元件係H形的、可平坦地放置在承載縱梁上並且其長度被構成為使得它們相應地從後方接合了安置在同一承載縱梁上的一承載元件和一校準元件的安裝區段的U形固定鉤。於是可以借助一彈簧元件不僅將該承載元件還將該校準元件(安置在同一承載縱梁上)固定。
在本發明的一較佳的設計中，基板傳輸模組至少部分地由纖維複合材料和/或鋁構成。由此能夠特別容易地形成該基板傳輸模組。
當如下地構成該承載裝置時，根據本發明的基板傳輸模組的功能性還可以進一步提高，即：至少一個平面式基板或基板傳輸物體可放置在該承載裝置的一表面上，該表面處於該承載裝置的、與放置區段相對的一側上。於是可以將由此放置在該承載裝置上基板平行於下側(也就是說在該承載裝置下方放置在放置區段中的基板)接收在該承載裝置上，並且運輸通過該基板加工設備並進行加工，該承載裝置的表面可以用作至少一個基板或至少一個基板傳輸物體的承載平面。由此根據本發明的基板傳輸模組的這個實施方式可以例如用於基板的雙面加工，其中例如該等基板在通過承載裝置而獲得的傳輸平面的上方“面向上”放置，也就是說將有待加工的基板側朝向上方，而該等基板在通過承載裝置而獲得的傳輸平面的下方“面向下”放置，也就是說有待加工的基板側朝向下方。基板傳輸模組 在此例如可以連續地傳輸通過該基板加工設備的一加工區域，其中同時從上方和下方對基板進行加工，或者在傳輸方向上還彼此相繼地從上方然後從下方進行加工、反之亦然。由此有可能使基板加工的效率倍增，而不會提高基板加工設備的工序時間(Taktzeit)。承載裝置在此較佳的是形成為，能夠使放置在上方和下方的基板的加工過程嚴格分離。於是該承載裝置例如可以構成為在其中安置有多個基板承載凹座的放置板。
此外，本發明的目的係藉由基板加工設備的一具有基板傳輸模組的載入和/或卸載系統實現的，其中該基板傳輸模組被構成為用於水平地接收並水平地傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體，並且其中該基板傳輸模組具有一處於承載板和/或承載框架形式的承載裝置，多個具有水平取向的放置區段的承載元件從該承載裝置向該承載裝置下方的一區域中延伸，該等承載元件構成了用於該至少一個平面式基板或該至少一個平面式基板傳輸物體的放置部，並且其中該承載裝置可以與一用於在該基板加工設備中傳輸該基板傳輸模組的傳輸系統相聯接，並且其中該載入和/或卸載系統具有一安排在基板傳輸模組下方的升降裝置，該升降裝置具有用於該至少一個基板或基板傳輸物體的多個可升降的提升元件，其中該等提升元件可帶入到一升高位置上，在該升高位置上在該等提升元件上設置有該至少一個基板或基板傳輸物體的一存儲部(Ablage)，並且其中該至少一個基板或基板傳輸物 體在該升高位置上處在該承載裝置與由該等承載元件構成的、該基板傳輸模組的放置部之間的一位置處，在該位置上該基板傳輸模組能夠在不帶有該至少一個基板或基板傳輸物體的情況下且不受阻擋地從該至少一個放置在該等提升元件上的基板或基板傳輸物體移開。
如以上已經描述的，根據本發明的基板傳輸模組使得能夠將該至少一個平面式基板或基板傳輸物體帶入到一水平的平面中，在該平面中該基板傳輸模組能夠相對於該基板或基板傳輸物體進行不受阻擋地往復移動。該至少一個平面式基板或基板傳輸物體能夠藉由根據本發明的載入和卸載系統的該升降裝置引入到該位置中。為此，該升降裝置的提升元件在該至少一個基板或基板傳輸物體的方向上移動(也就是向上)或者遠離其移動(也就是向下)。如果該等提升元件在該至少一個基板或基板傳輸物體的方向上移動，那麼藉由該等提升元件可以將該至少一個基板或基板傳輸物體從其放置位置提升到該等承載元件的放置區段上並且然後能夠處於該等提升元件上的一存儲位置中。在這個存儲位置上，該至少一個基板或基板傳輸物體可以在一水平位置上被帶入該基板傳輸物體的一豎直通道內部，在該豎直通道中該基板傳輸模組和該至少一個基板或基板傳輸物體並不相互阻礙，從而使得該基板傳輸模組可以從該至少一個基板或基板傳輸物體移開。
在基板加工設備中，可以在其在該等提升元件上的儲存位置上或在一其他位置上加工該至少一個基板，在該其 他位置上該至少一個基板或基板傳輸物體隨後可以通過提升元件被帶入。在基板加工過程中，基板傳輸模組可以處於一位置上，例如在處理室外部，在該位置上該模組可以保持不受相應的加工過程影響並且自身不影響該過程(例如像電漿過程)。在完成基板加工之後，該基板傳輸模組可以再次在該至少一個基板或基板傳輸物體的方向上移動，以便能夠將其再次接收並後續地帶入到基板處理設備的另一區段中或從基板處理設備中帶出。相應地，根據本發明對承載物設計和基板傳輸模組材料產生了極少的過程工藝要求。此外，從此降低了藉由例如氣體分子從過程到過程的滯延而造成的相鄰過程(例如電漿過程)的相互影響。
另外，由此取消了將基板傳輸模組帶入到相應的設備區段及在此前使其達到處理溫度的必要性，由此節省了加熱元件。在基板加工設備的相應處理模組中，相應地僅要求將該等基板而非該基板傳輸模組加熱，由此可以節省能量。
因為能夠由此減少根據本發明的基板傳輸模組相對於迄今為止的基板承載物而言的熱負載，所以能夠使用替代的基板承載材料來構成根據本發明的基板傳輸模組。這可以造成成本降低。
藉由在基板加工過程中不需要將基板傳輸模組保留在處理室內，可以將該模組以其他方式用作基板承載物，由此能夠總體上節省基板承載物。這尤其造成了在靜止的塗 覆方法中更高的生產量。
當該基板傳輸模組在基板加工過程中不處於處理室中時，它不會被塗覆或弄髒。因此不需要對基板傳輸模組的任何後續的清潔和預調節。此外，這提高了基板傳輸模組的壽命。
例如可以將多個銷用作提升元件。該等銷具有的優點係，可以為它們提供具有用於基板的點式放置區域，從而使得提升元件與該至少一個基板或基板傳輸物體之間的接觸能夠最小化。
這種銷提升機構可以設置在一真空室之內。在此，通過該銷提升機構的中央式操縱，可以省略套管(Durchführungen)和/或密封件。此外，在此可以省略致動器並避免洩漏的可能性。
較佳的是將該升降裝置的形成方式為使得它允許同時載入和卸載基板。
在根據本發明的載入和卸載系統的一有利的變體中，該等提升元件可以完全下降到一平行於該等承載元件的水平的放置區段而設置的加工台中並且可以從中移動出來，其中該加工台具有用於該等提升元件的多個豎直引導件。於是該等提升元件可以進入一位置中，在該位置中它們可以將該至少一個基板或基板傳輸物體從該放置位置抬升。當基板傳輸模組從該至少一個基板或基板傳輸物體移開時，然後該等提升元件能夠與其上放置的至少一個基板或基板傳輸物體一起再次在加工台的方向上向下移動並且下 降到該加工台中，這樣該至少一個基板或基板傳輸物體能夠放置在該加工臺上以便進行基板加工。由此為該至少一個基板或基板傳輸物體以及加工台提供了一適合的襯底以便進行基板加工。該等提升元件自身不會由於可下降到加工台中而被基板加工所影響。
在此特別有利的是，該等提升元件在至少一個下降到該加工台中的位置上從加工台突出，並且在該加工台之下且平行於該加工台而設置有一豎直地可移動的提升板，用於豎直地移動該提升元件。借助這個提升板能夠使所有提升元件一起豎直移動。相應地，僅需要單一的驅動器，即用於提升板的驅動器，即可豎直地移動所有提升元件並由此豎直地移動所有放置在提升元件上的基板或基板傳輸物體。
在此還有利的是，該加工台與一在加工台下方一段距離處設置的承載板牢固聯接、在該加工台與該承載板之間的一間隙中設置該提升板、並且該承載板通過一驅動器是可升降的。藉由將承載板與加工台相聯接，藉由升高承載板，同時也升高了加工台。於是該加工台可以進入基板加工設備內部的一對於基板加工而言有利的位置。
在本發明的一同樣有利的改進方案中，在該提升板上設置有穿過該承載板伸出的多個止動銷，然後該等止動銷當提升板不處於承載板上時停靠在多個止動彈簧上，其中在升高位置上該提升板通過該等止動彈簧和該等止動銷擠壓該加工台。在這個設計中，該提升板可以例如是僅當加 工該至少一個基板時才放置在該承載板上。如果該承載板與該加工台一起再次從一基板加工區域出來(也就是說向下)而進入一位置，那麼該提升板藉由由止動銷和止動彈簧組成的系統保持在該承載板上方的一位置上，直到提升板再次能夠使該提升元件穿過加工台向上移動。
根據本發明的一較佳實施方式變體，該升降裝置處於一基板加工室內部，該基板加工室設置在該基板加工設備內部並且是可關閉的。由此可以在這個基板加工室中造成一分離的基板加工區域，該區域例如可以被抽真空以實現最佳的處理結果。然而，基本上還有可能的是，該升降裝置所在的區域係不關閉的。
本發明的目的還是藉由一用於借助至少一個基板傳輸模組來傳輸至少一個平面式基板或至少一個平面式基板傳輸物體的方法而實現的，該基板傳輸模組具有一處於承載板和/或承載框架形式的承載裝置，其中在該方法中，該至少一個平面式基板或基板傳輸物體放置在多個承載元件的多個水平取向的放置區段上，該等承載元件從該基板傳輸模組的一承載裝置向該承載裝置下方的一區域中延伸；將載入有該至少一個基板或基板傳輸物體的該基板傳輸模組向該基板加工設備的一基板加工區域中傳輸；通過一升降裝置將載入的基板傳輸模組在該基板加工區域中的傳輸停止；使該升降裝置的多個提升元件進入一升高位置，其中該等提升元件接收了此前放置在該等承載元件上的至少一個基板或基板傳輸物體，其中該至少一個基板或基板傳 輸物體在該升高位置上放置在該等提升元件上，並且其中至少一個基板或基板傳輸物體在該升高位置上處於一在該承載裝置與在該基板傳輸模組的一水平通道內部的、通過該等承載元件構成的放置部之間的位置處，在該位置處該基板傳輸模組可以在不帶有該至少一個基板或基板傳輸物體的情況下且不受放置在該等提升元件上的該至少一個基板或基板傳輸物體阻擋地從該基板加工區域移動出來；並且在該基板傳輸模組從該基板加工區域移動出來的同時，該至少一個基板或基板傳輸物體保留在該等提升元件上並且不從該基板加工區域移動出來。
根據本發明的方法開放了以下的可能性，借助於一基板傳輸物體將多個基板和/或基板傳輸物體安全快速地傳輸通過一基板加工設備，並且然後當該基板加工設備為連續式或線內式基板加工設備時，將該等基板或基板傳輸物體供應到該基板加工設備的、彼此相繼的不同區域中。在傳輸到基板傳輸模組的過程中，該至少一基板或基板傳輸物體處於該基板傳輸模組的承載裝置下方的一區域中、在承載元件的放置區段上。也就是說，用於該等基板的放置平面處於由承載裝置所限定的承載平面下方。在該放置平面與該承載平面之間設置有一自由區域或通道，可以使該至少一個基板或基板傳輸物體進入該區域或通道中，並且該至少一個基板或基板傳輸物體在其中不妨礙基板傳輸系統的往復傳輸。
該至少一個基板或基板傳輸物體可以借助於在該方法 中使用的升降裝置而進入這個位置。在此，該至少一個基板或基板傳輸物體位於該升降裝置的該等提升元件上。由此有可能將該基板傳輸模組從基板加工區域中移動出來或者移動到基板加工區域中，而該至少一個基板或基板傳輸物體保留在該升降裝置的提升元件上並且不從基板加工區域移動出來。在沒有設置基板加工過程而是設置了某些其他措施的位置，自然也可以進行同樣的操作。
根據本發明方法的一改進方案，在該方法中，使該等提升元件和放置在該等提升元件上的該至少一個基板或基板傳輸物體進入該升高位置，而該基板傳輸模組位於該基板加工範圍之外；將該基板傳輸模組向該基板加工區域中移動，直到放置在該等提升元件上的該至少一個基板或基板傳輸物體位於該承載裝置與該基板傳輸模組的、通過該等承載元件構成的該放置部之間；將該升降裝置的該等提升元件從該升高位置下降，其中將首先放置在該等提升元件上的該至少一個基板或基板傳輸物體放置在該等承載元件的、水平取向的放置區段上，並且該等提升元件隨後在與該至少一個基板或基板傳輸物體構成一間距的情況下進一步下降；並且將載入有該至少一個基板或基板傳輸物體的基板傳輸模組從該基板加工區域中傳輸出來。藉由該等步驟，該基板傳輸模組可以再次接收加工過的基板或基板傳輸物體並將其進一步傳輸。
特別有利的是，根據本發明方面的一實施方式，該至少一個基板或基板傳輸物體設置有一基板傳輸模組，朝向 該至少一個基板傳輸物體的方向上的至少一個具有傾斜部的校準元件向該基板傳輸模組的至少一個接收區域中的放置區段進行中心對準，其方式為由該至少一個傾斜部將該至少一個基板或基板傳輸物體向下朝向該接收區域中由該等承載元件的放置區段形成的放置部引導。藉由這種方式可以實現將基板或基板傳輸物體準確地儲存在基板傳輸模組上。
已經表明特別有利的是，將先前放置在該等承載元件上的至少一個基板或基板傳輸物體接收在至少三個銷狀提升元件的末端處。通過至少三個提升元件，能夠可靠地放置該至少一個基板或基板傳輸物體。因為在這個實施方式中的該等提升元件被構成為銷狀的，所以在該等提升元件與該至少一個基板或基板傳輸物體之間僅存在一很小的接觸面，這樣該等提升元件施加到該至少一個基板或基板傳輸物體上的不利影響係非常小的。
在根據本發明方法的一有利的實施方式中，該等提升元件在多個豎直引導件中移動，該等豎直引導件設置在一與承載裝置平行設置的加工台中，其中該等提升元件在被構成用於該至少一個基板或基板傳輸物體的一儲存部的情況下從加工台移動出來並且完全下降到該加工台中以便加工該至少一個基板或基板傳輸物體。由此可以在該基板加工設備中進行基板加工時將該至少一個基板或基板傳輸物體可靠地放置在加工臺上。
在此有利的是，完全下降到加工台中、並且在下方從 加工台突出的該等提升元件通過一在下方並且平行於該加工台設置的提升板、在該等豎直引導件的引導下、通過該加工台向上移動。通過該提升板，能夠將所有提升元件一起豎直移動。
在根據本發明方法的一改進方案中，與一承載板牢固聯接的該加工台借助一與該承載板相聯接的驅動器而升高或下降，其中該承載板設置在該加工台下方的一段距離處並構成一間隙，在其中可豎直移動的提升板處於該間隙中。於是還有可能的是，借助於與加工台相聯接的承載板，該加工台例如提升到一用於基板的加工位置中。
在此已經證明有利的是，在提升該加工台時，首先由藉由該承載板而伸出的多個止動銷和與該等止動銷相對擠壓的多個止動彈簧來將該提升板相對加工台進行擠壓，其中由該提升板將該等提升元件壓向升高位置，並且然後升高該加工台，同時該提升板在該等止動銷和止動彈簧上保持不動，直到提升板被承載板接收，並且進而該等止動銷與一止動件分離。由此一方面有可能在該提升板的幫助下將該等提升元件壓向該升高位置，而另一方面該提升板能夠可靠地被該承載板接收。
特別有利的是，根據本發明的方法係如下構成的：在將基板傳輸模組從一基板加工區域傳輸之後，至少在加工該至少一個基板的過程中將一基板加工室關閉，在該基板加工室中設置有該升降裝置和該基板加工區域，並且在完成加工之後將該基板加工室打開以便將基板傳輸模組導入 到基板加工室中。於是該基板加工室例如適合於抽真空或者以適當的處理氣體填充，而不會由此影響基板加工設備的周圍的區域。然而，當該基板加工室不可關閉時，基本上根據本發明的方法也係可實施的。
圖1示意地展示了藉由根據本發明的基板傳輸模組3的一實施方式的截面圖。在所展示的實施方式中，該基板傳輸模組3具有處於承載框架5形式的一承載裝置。該承載裝置為基板傳輸模組3賦予了其機械穩定性並且該承載裝置具有多個元件，該等元件允許在一基板加工設備內部傳輸這個基板傳輸模組3。在所展示的實施方式中，該等元件存在於基板傳輸模組3左側和右側的末端中，設置了該等元件以便放置在未展示的輪子上。承載元件6固定在承載框架5上，該等承載元件向該承載裝置下方的區域中延伸。基板輸送模組3的底部不是任意的，而是按所展示的底部設置的。在此多個水平取向的放置區段32從該等承載元件6延伸出來，該等放置區段在所展示的實施方式中形成一用於基板放置板42的放置部，基板4放置在該基板放置板上。
在圖2中示以俯視圖意性地展示了圖1的基板傳輸模組3。承載框架5在此僅示意性地藉由其輪廓示出。在承載框架5之下，存在固定到承載框架5上的、具有放置區段32的承載元件6。在放置區段32上放置這個基板放置 板42，並且在其上放置基板4。
圖3示意性展示了根據本發明的、具有放置後的基板4的基板傳輸模組3‘的另一變體的橫截面圖。基板傳輸模組3‘與基板傳輸模組3不同地直接構成為傳輸基板4，該等基板直接放置在基板放置區段32、32‘上。在此在每個基板4附近設置有多個承載元件6，該等承載元件形成了一水平通道41的側面，該水平通道在垂直於紙面突出的方向上是開放的。在所展示的實施方式中，基板傳輸模組3‘具有多個滑軌35作為傳輸系統適配器。該傳輸系統除其他未示出的部件之外還具有多個輪子36，通過該等輪子可以在滑軌35上移動。
根據本發明的基板傳輸模組3、3‘、3“、3```、3````、3`````的單獨元件(也參見下面的附圖)可以是單獨的、固定在彼此上的部件，或者也可以是有複雜形體的部件區域。然而，該基板傳輸模組3、3‘、3“、3```、3````、3`````較佳的是由多個元件組成的，該等元件相應地具有對於對應的元件所存在的要求而言最優的特性。
例如承載框架5較佳的是由一輕的、形狀穩定的纖維塑膠複合物構成，並且滑軌35能夠由一耐磨損的金屬、例如由鋁或鋁合金構成。具有放置區段32、32‘的該等承載元件6在所示的實施方式中是由纖維塑膠複合物組成的成型件，該等成型件與承載框架5相粘合。在另一未示出的實施方式中，承載元件6夾持、鉚接、螺紋聯接或以其他方式與承載裝置相連。為了生產基板傳輸模組3、3‘、 3“、3```、3````、3`````，所使用的材料依賴於特定的要求而進行選擇。重要的特性有機械穩定性、形狀穩定性、耐磨損性、對基板的化學和電相容性、對基板加工設備中和/或在所使用的基板傳輸模組3、3‘、3“、3```、3````、3`````的清潔工序中的化學負載的化學耐受性。
圖5示意性地展示了根據本發明的、具有放置後的基板4的基板傳輸模組3的另一可能的設計的橫截面圖。在基板傳輸模組3“中由一承載板44形成了該承載裝置，而該承載裝置通過一增強框架43而加強。承載板44為基板4提供了針對下落顆粒的保護。承載板44還可以由一熱導能力良好的材料(例如由鋁)構成，其中通過在承載板44中導熱，實現了在傳輸過程中使所有基板4上的溫度均勻。通過這個增強框架43避免了基板傳輸模組3“的彈性或塑性形變。在所展示的這個實施方式中多個圓盤用於放置基板4，其中該等圓盤的正圓形區段設置為用於單個基板4的放置區段32“。
圖6展示了基板傳輸模組3“的一俯視圖，其中增強框架43和承載板44係可見的，並且圓形的放置盤展示為虛線。
圖7在截面中示意性展示了根據本發明的基板傳輸模組3```的另一實施方式。借助這個實施方式表明，根據本發明的基板傳輸模組3```不止可以具有一個、而還可以具有多個傳輸平面。在所展示的實施方式中，該等承載元件6“具有處於兩個彼此上下放置的平面中的多個放置區段 32。對應地構成了兩個彼此上下放置的水平通道41、41‘。基板傳輸模組3```的上部區域類似於已經說明過的基板傳輸模組3‘。在基板傳輸模組3```中的水平通道41‘被構成為用於接收一基板放置板42，然後例如當需要加工的基板4‘具有與標準基板4不同的尺寸時，可以使用該基板放置板。基板傳輸模組3```例如可以靈活地用於傳輸基板4或傳輸基板4‘，或者它還可以同時傳輸基板4、4‘，其中基板4、4‘例如卸載到彼此相繼地安排的基板加工區域中。
圖8展示了藉由根據本發明的基板傳輸模組3````的另一實施方式的橫截面圖。基板傳輸模組3````使用一處於輪子安排37形式的傳輸系統適配器中。輪子安排37對應於該基板傳輸系統的固定的滑軌38。在所展示的實施方式中，基板傳輸模組3````藉由線性電動機40驅動，為了構成該電動機，在基板傳輸模組3````上設置有多個磁性安排39。通過線性電動機40有可能摩擦特別低地傳輸基板傳輸模組3````，其中用於基板傳輸模組3````的驅動力不是機械式地而是藉由磁場傳遞的。在本發明的另一設計中，驅動力還機械地通過輪子或者以其他方式傳遞到根據本發明的基板傳輸模組上3、3‘、3“、3```、3````、3`````。
圖9係一較佳的、根據本發明的基板傳輸模組3`````的透視圖。在這個基板傳輸模組3`````中，該承載裝置具有一承載框架5，該承載框架由多個承載縱梁21和承 載橫樑22組成。此外該承載裝置具有多個滑軌35。該等承載縱梁和承載橫樑係簡單的並且因此成本低廉的、能夠以高精度製造的構造元件。該等承載縱梁和承載橫樑的橫截面的尺寸確定為，使得該等梁在預先設置的負載下比可允許的狀況更少地彎曲。
在所展示的實施方式中，該等承載縱梁和承載橫樑被安排為網格形式，其中在正方形基板4、4‘之間相應地設置有一承載橫樑或一承載縱梁。由此實現了承載框架5的均勻負載。在這個構造中，在兩個承載縱梁21與同這兩個承載縱梁21相交的承載橫樑22之間相應地具有一接收區域31，在該接收區域中設置有一基板4、4‘的接收部。在另一未示出的、根據本發明的基板傳輸模組的變體中，還可以使用承載梁之間另一種、與基板尺寸不匹配的間距。
該等承載縱梁和承載橫樑較佳的是由輕質、形狀穩定且成本低廉的纖維塑膠複合物製造的。在基板傳輸模組3`````的有些應用情況下，承載縱梁和承載橫樑塗覆有鋁，以便改進表面的化學耐受性。為了進一步描述基板傳輸模組3`````，在圖10中放大地展示了細部D。
在圖10中所展示的細部D中一方面展示了在承載縱梁21與承載橫樑22之間的連接點，另一方面展示了用於基板4、4‘的放置部的詳細構造。在承載縱梁21與承載橫樑22之間的穩定連接係藉由承載橫樑22中的凹陷而實現的，該等凹陷被構成為與承載縱梁21的橫截面相匹配。 此外，承載縱梁21與承載橫樑22的交叉點藉由承載梁夾件30止動。承載元件6固定在承載縱梁21上，在這個實施方式中該等承載元件係在圖10和11中所示的、具有較小深度的物體。藉由承載元件6的較小的體積，實現了基板傳輸模組3`````的較小的質量，由此最終實現了高傳送速率、高傳輸系統能量效率、以及很少的磨損。
承載元件6與承載縱梁21不是剛性地相連接，而是僅藉由一U形區段夾持。承載元件6的可靠固定係藉由在承載元件6上的固定鉤29實現的，該等固定鉤包括在彈簧元件28之內。藉由夾持作用和彈性懸掛作用，由於不同材料的不同熱膨脹造成的問題得以避免。另外，可以快速、成本低廉、不用工具地安裝承載元件6，並且彈簧元件28額外地用作機械保護裝置，在緊急狀況下該機械保護裝置會造成承載元件6的分離(Abfallen)，其中基板傳輸模組3`````不會受損。
在所展示的實施方式中，除了用於將基板4、4‘放置到放置區段32上的承載元件6之外，還設置有多個校準元件24，該等校準元件與承載元件6類似地固定在承載縱梁21上、都是不具有放置區段32。取而代之地，該等校準元件24具有傾斜部25。設置傾斜部25的目的係，使沒有準確存放在為其設置的接收區域31中的基板4、4‘位於傾斜部25上並且從此被導向接收區域31。當基板4、4‘如所設置地處於其接收區域31中時，對準元件24額外地用作基板4、4‘的止動件，該止動件防止在將基板傳輸 模組3`````傳輸通過基板加工設備的過程中基板4的滑動。在所展示的實施方式中，除了每個承載元件6之外還設置有一校準元件24，並且這兩個元件、也就是說承載元件6和校準元件24一起被一H形的彈簧元件28夾持。
圖12以橫截面圖展示了具有以基板4載入的基板傳輸模組3的一根據本發明的載入和卸載系統。基板傳輸模組3放置在一基板加工設備的基板傳輸系統的輪子18上，其中該等輪子18與輪驅動器19相聯接。在所展示的圖中，在基板傳輸模組3的上方存在一基板加工區域2，其邊界由輔助線標出。基板4放置在承載元件6上，該等承載元件進而與一承載框架5相連接。在承載框架5與該等承載元件6之間構成有向下開放的多個水平通道41。
在基板傳輸模組3之下存在一升降裝置7。升降裝置7具有一僅示意性展示的提升圓柱17，該提升圓柱能夠將一加工台14升高或降低，該加工台與一台承載板33相連接。在所展示的實施方式中，基板加工區域2位於一可抽成真空的腔室內。提升圓柱17在此是通過一彈簧梁16和一提升圓柱末端板15而被一可抽真空的殼體包圍的。加工台14與台承載板33在構成一間隙的同時固定聯接。在該間隙中存在一提升板12，該提升板與多個止動銷13相連，其中該等止動銷13在所展示的狀態下被止動彈簧34向上擠壓。藉由止動彈簧34的彈簧力，被引導到加工台14中的該等提升元件8(為此處的銷)從加工台14被壓出去。
圖13展示了根據本發明的載入和卸載系統，在該系統所處的狀態下，該等提升元件8處於一升高位置。在升高位置上，該等基板4放置在銷11上並且位於水平通道41之內。在升高位置上，基板傳輸模組3可以從紙面移動出來，其中在基板加工區域2中基板4仍然放置在銷11上。
在圖14中，所展示的根據本發明的載入和卸載系統1處於以下的狀態下：其中該等基板4在基板加工區域2中放置在加工台14上，而基板傳輸模組3處於基板加工區域2之外。在這個狀態下，設置有一基板4的加工過程。在所展示的實施方式中，加工台14在此行進到了其最大高度。在此，該等銷11下降到加工台14之內。銷11的下降係藉由以下方式進行的：該等止動銷13離開止動彈簧34，並且由此這個提升板12放置在距加工台14一段距離的台承載板33上。
圖15示意性展示了根據本發明用於傳輸平面式基板4以及一基板傳輸模組3```的方法的一實施方式。在方法步驟A中，用基板4載入基板傳輸模組3```，並且加工台14位於基板傳輸模組3```之下，該加工台與升降裝置7相聯接。
在方法步驟B中，使該等提升元件8(為在此的該等銷11)進入一升高位置，其中該等基板4放置在銷11上並且處於水平通道41中。
在方法步驟C中，將基板傳輸模組3‘從紙面移動出 來，使得基板4與基板傳輸模組3‘分開而放置在銷11上。
在方法步驟D中，將該等銷11在加工台14之內下降，使得基板4放置在加工台14上。
在方法步驟E中，在將基板4‘放置在加工台14上的同時進行其加工。
在方法步驟F中，將該等銷11以其長度的一部分從加工台14提升出來，其中該等銷11和基板4處於升高位置。
在方法步驟G中，使基板傳輸模組3‘向基板加工區域2中行進，其中該等基板4處於水平通道41之內。
在方法步驟H中，使該等銷11在加工台14之內下降，使得在基板4與提升元件之間構成一間距。
在下一未示出的方法步驟中，用基板4載入的基板傳輸模組3‘在為此設置的方向上從基板加工區域2移動出來。
D‧‧‧細部
2‧‧‧基片加工區域
3、3‘、3“、3```、3````、3`````‧‧‧基片傳輸模組
4、4‘‧‧‧基片
5‧‧‧承載框架
6‧‧‧承載元件
7‧‧‧升降裝置
8‧‧‧提升元件
11‧‧‧銷
12‧‧‧提升板
13‧‧‧止動銷
14‧‧‧加工台
15‧‧‧圓柱末端板
16‧‧‧彈簧梁
17‧‧‧提升圓柱
18‧‧‧輪子
21‧‧‧承載縱梁
22‧‧‧承載橫樑
24‧‧‧校準元件
25‧‧‧傾斜部
28‧‧‧彈簧元件
29‧‧‧固定鉤
30‧‧‧承載梁夾件
31‧‧‧接收區域
32、32‘、32“‧‧‧片放置區段
33‧‧‧台承載板
34‧‧‧止動彈簧
35‧‧‧滑軌
36‧‧‧輪子
37‧‧‧輪子安排
38‧‧‧滑軌
39‧‧‧磁性安排
40‧‧‧線性電動機
41、41‘‧‧‧水平通道
42‧‧‧基片放置板
43‧‧‧增強框架
44‧‧‧承載板
下面借助附圖更詳細地說明本發明的較佳實施方式、其構造、功能以及優點，在附圖中：圖1展示了通過具有放置後的基板放置板和其上放置的基板的一根據本發明的基板傳輸模組的截面圖；圖2展示了根據本發明的基板傳輸模組的一實施方式的俯視圖； 圖3展示了通過具有放置後的基板的、根據本發明的基板傳輸模組的另一變體的截面圖；圖4展示了圖3的基板傳輸模組的俯視圖；圖5展示了通過具有放置後的基板的、根據本發明的基板傳輸模組的另一實施方式的截面圖；圖6展示了圖5的基板傳輸模組的俯視圖；圖7展示了根據本發明的基板傳輸模組的另一實施方式的截面圖；圖8展示了根據本發明的基板傳輸模組的另一可能的實施方式的截面圖；圖9展示了圖3的基板傳輸模組的透視圖；圖10展示了圖9的基板傳輸模組的放大視圖；圖11展示了圖9的基板傳輸模組的一承載元件；圖12以截面圖展示了帶有一載入有基板的基板傳輸模組的、根據本發明的載入和卸載系統的一實施方式；圖13展示了一根據本發明的載入和卸載系統，其中該等提升元件處於該升高位置上；圖14展示了一根據本發明的載入和卸載系統，在它所處的狀態下，基板處於基板加工區域中的一加工臺上，而該基板傳輸模組處於該基板加工區域之外；並且圖15示意性地顯示出根據本發明的方法的一實施方式用於傳輸至少一平面式基板的步驟。
3‧‧‧基片傳輸模組
4‧‧‧基片
5‧‧‧承載框架
6‧‧‧承載元件
32‧‧‧片放置區段
41‧‧‧水平通道
42‧‧‧基片放置板

Claims (33)

  1. 一種基板加工設備的一種基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)，其中該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有一處於承載板和/或承載框架(5)形式的承載裝置、並且被構成為用於水平地接收且水平地傳輸至少一個平面式基板(4，4‘)或至少一個平面式基板傳輸物體，其特徵在於，具有水平取向的放置區段(32，32‘，32“，32```)的多個承載元件(6)從該承載裝置向該承載裝置下方的一區域中延伸，該等放置區段構成了用於該至少一個平面式基板(4，4‘)或該至少一個平面式基板傳輸物體的一放置部，其中該承載裝置能夠與用於在該基板加工設備中傳輸該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的一傳輸系統相聯接。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該承載裝置具有至少一個傳輸系統適配器。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之基板傳輸模組，其中，該承載框架(5)具有被網格狀安排的多個承載梁。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之基板傳輸模組，其中，至少在一個方向上取向的多個承載梁具有凹槽，該等凹槽用於接收在另一個方向上相應地延伸的承載梁，並且接收在該等承載梁的凹槽中的那些承載梁係藉由連接夾件而止動的。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之基板傳輸模組，其中，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有兩個處於該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的相對側上的傳輸系統適配器，其中該等傳輸系統適配器具有設置為使一輪式傳輸系統的多個輪子(18，36)移動的多個滑軌(35)、設置為在固定的滑軌上滾動的多個輪式安排(37)、和/或設置為構成一線性電動機(40)的多個磁性安排(39)。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之基板傳輸模組，其中，該等承載元件(6)設置在該等傳輸系統適配器之間。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有至少一個豎直通道，該至少一個基板(4，4‘)或該至少一個基板傳輸物體能夠藉由該豎直通道向該放置部移動或者從該放置部移動出來。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有至少一個向下部分開放的水平通道(41，41‘)，該水平通道位於該承載裝置與該放置部之間，並且當該至少一個平面式基板(4，4‘)或該平面式基板傳輸物體在該至少一個水平通道(41，41‘)中處於一升高位置時，該水平通道允許在該至少一個基板(4，4‘)或該至少一個基板傳輸物體與該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```， 3````，3`````)之間的一水平相對運動，其中該水平通道(41，41‘)的構成方式為：該等承載元件(6)設置在該水平通道(41，41‘)的多個封閉側上，而在該水平通道(41，41‘)內部不設置承載元件(6)。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之基板傳輸模組，其中，在一水平的平面中彼此相鄰地設置至少兩個水平通道(41，41‘)。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之基板傳輸模組，其中，在彼此上下安排的多個水平的平面中構成了至少兩個水平通道(41，41‘)，其中該至少兩個彼此上下構成的水平通道(41，41‘)各自設置有該承載元件(6)的多個放置區段(32)。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該至少一個平面式基板傳輸物體係一基板放置板(42)或一基板接收框架。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有向該承載裝置下方的該區域中延伸的多個校準元件(24)，該等校準元件相應地具有在放置於該等承載元件(6)上的該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的方向上取向的至少一個傾斜部(25)，其中設置該等校準元件(24)作為用於在承載元件(6)上、在該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的至少一個接收區域(31)中放置的基板(4，4‘)的止動件。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該等承載元件(6)和/或該等校準元件(24)能夠夾持在該承載裝置上。
  14. 如申請專利範圍第3項所述之基板傳輸模組，其中，該等承載梁係多個承載縱梁(21)和多個承載橫樑(22)，其中該等承載縱梁(21)在一傳輸方向上定向，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)能夠在該傳輸方向上在該基板加工設備中移動；並且如申請專利範圍12或13所述之該等承載元件(6)和/或該等校準元件(24)相應地具有U形的、能夠相應地安置在一承載縱梁(21)上的一安裝區段，該安裝區段具有從其側向伸出的多個固定鉤(29)；並且設置有多個彈簧元件(28)，借助該等彈簧元件，該等固定鉤(29)能夠從後方接合，以便在該承載縱梁(21)上將該等承載元件(6)和/或該等校準元件(24)止動。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之基板傳輸模組，其中，該等彈簧元件(28)係H形的、能夠平坦地放置在該承載縱梁(21)上並且在長度上被構成為：使得一承載元件(6)和一校準元件(24)的U形安裝區段的該等安置在同一承載縱梁(21)上的固定鉤(29)從後方接合該等彈簧元件。
  16. 如申請專利範圍第1項所述之基板傳輸模組，其中，該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)至少部分地由纖維複合材料和/或鋁構成。
  17. 如申請專利範圍第1至16項中任何一項所述之基板傳輸模組，其中，該承載裝置被構成為：至少一個平面式基板(4，4‘)或至少一個平面式基板傳輸物體能夠放置在該承載裝置的一表面上，該表面位於該承載裝置的、與該等放置區段(32，32‘，32“，32```)所處的一側相對的一側上。
  18. 一種基板加工設備的一種載入和卸載系統，具有一基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)，其中該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)具有一處於承載板和/或承載框架(5)形式的承載裝置、並且被構成為用於水平地接收且水平地傳輸至少一個平面式基板(4，4‘)或至少一個平面式基板傳輸物體，並且其中具有水平取向的放置區段(32，32‘，32“，32```)的多個承載元件(6)從該承載裝置向該承載裝置下方的一區域中延伸，該等放置區段構成了用於該至少一個平面式基板(4，4‘)或該至少一個平面式基板傳輸物體的一放置部，其中該承載裝置能夠與一用於在該基板加工設備中傳輸該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的傳輸系統相聯接，其特徵在於，該載入和/或卸載系統具有安排在該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)下方的一升降裝置(7)，該升降裝置具有用於該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的可升降的多個提升元件(8)，其中該等 提升元件(8)可以進入一升高位置，在該升高位置在該等提升元件(8)上設置了該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的一儲存部，並且其中該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體在該升高位置處於該承載裝置與由該等承載元件(6)構成的、該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的放置部之間的一部位，在該部位上該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)能夠在不帶有該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的情況下並不受放置在該等提升元件(8)上的該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體阻礙地從該至少一個基板或基板傳輸物體移開。
  19. 如申請專利範圍第18項所述之載入和卸載系統，其中，該等提升元件(8)係多個銷。
  20. 如申請專利範圍第18項所述之載入和卸載系統，其中，該等提升元件(8)在能夠完全下降到一平行于該等水平的放置區段(32，32‘，32“，32```)而設置的加工台(14)中並且能夠從其中移動出來，其中該加工台(14)具有用於該等提升元件(8)的多個豎直引導件。
  21. 如申請專利範圍第20項所述之載入和卸載系統，其中，該等提升元件(8)在至少一個下降到該加工台(14)中的位置上從該加工台(14)伸出，並且在該加工台(14)之下且平行於該加工臺地設置有一豎直地可移動的提升板(12)，用於豎直地移動該等提升元件(8)。
  22. 如申請專利範圍第21項所述之載入和卸載系統， 其中，該加工台(14)與一設置在該加工台(14)下方一段距離處的承載板(33)牢固聯接、在該加工台(14)與該承載板(33)之間的一間隙中設置該提升板(12)、並且該承載板(33)通過一驅動器是可升降的。
  23. 如申請專利範圍第22項所述之載入和卸載系統，其中，在該提升板(12)上設置有穿過該承載板(33)伸出的多個止動銷(13)，然後當該提升板(12)不處於該承載板(33)上時該等止動銷停靠在多個止動彈簧(34)上，其中在該升高位置上該提升板(12)通過該等止動彈簧(34)和該等止動銷(13)擠壓該加工台(14)。
  24. 如申請專利範圍第18至23項中任何一項所述之載入和卸載系統，其中，該升降裝置(7)位於設置在該基板加工設備中的一可封閉的基板加工室(20)的內部。
  25. 一種用於在帶有至少一個基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的基板加工設備中傳輸至少一個平面式基板(4，4‘)或者至少一個基板傳輸物體的方法，該基板傳輸模組具有一處於承載板和/或承載框架(5)形式的承載裝置，其特徵在於，在該方法中，- 將該至少一個平面式基板(4，4‘)或基板傳輸物體放置在多個承載元件(6)的多個水平取向的放置區段(32，32‘，32“，32```)上，該等承載元件從該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的該承載裝置 向該承載裝置下方的一區域中延伸；- 將載入有該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)在該基板加工設備的一基板加工區域(2)中傳輸；- 通過一升降裝置(7)停止載入後的基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)在該基板加工區域(2)中的傳輸；- 使該升降裝置(7)的多個提升元件(8)進入一升高位置，其中該預先放置在該等承載元件(6)上的至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體被該等提升元件(8)接收，其中該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體在該升高位置上放置在該等提升元件(8)上，並且其中至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體在該升高位置處於在該承載裝置(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)與在該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的一水平通道內部的、由該等承載元件(6)構成的放置部之間的一部位，在該部位上該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)能夠在不帶有該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的情況下並不受放置在該等提升元件(8)上的該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體阻礙地從該基板加工區域(2)移出；並且- 將該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)從該基板加工區域(2)移出，而該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體保留在該等提升元件(8)上並 且不從該基板加工區域(2)移出。
  26. 如申請專利範圍第25項所述之方法，其中，在該方法中，- 使該等提升元件(8)以及放置在該等提升元件(8)上的該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體進入該升高位置，同時該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)位於該基板加工區域(2)之外；- 將該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)向該基板加工區域(2)移動，直到放置在該等提升元件(8)上的該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體位於該承載裝置(3，3’，3”，3'''，3''''，3`````)與該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的、由該等承載元件(6)構成的放置部之間；- 將該升降裝置(7)的該等提升元件(8)從該升高位置下降，其中將此前放置在該等提升元件(8)上的至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體放置在該等承載元件(6)的水平取向的放置區段(32，32‘，32“，32```)上，並且然後將該等提升元件(8)在與該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體形成一段間距的同時繼續下降；並且- 將載入有該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)從該基板加工區域(2)傳輸出來。
  27. 如申請專利範圍第25項所述之方法，其中，該至 少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體一同設置在一基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)上，在朝向該至少一個基板傳輸物體的方向上具有傾斜部(25)的至少一個校準元件(24)朝向該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)的至少一個接收區域(31)中的該放置區段(32)中心式地對齊，其方式為使得該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體從該至少一個傾斜部(25)向下被引導向在該接收區域(31)中由該承載元件(6)的該等放置區段(32)構成的放置部。
  28. 如申請專利範圍第25項所述之方法，其中，該預先放置在該等承載元件(6)上的至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體被接收在至少三個銷狀的提升元件(8)的末端上。
  29. 如申請專利範圍第25項所述之方法，其中，該等提升元件(8)在多個豎直引導件中移動，該等豎直引導件設置在一與該承載裝置平行設置的加工台(14)中，其中該等提升元件(8)在構成用於該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體的一儲存部的情況下從該加工台(14)移動出來並且完全下降到該加工台(14)中以便加工該至少一個基板(4，4‘)或基板傳輸物體。
  30. 如申請專利範圍第29項所述之方法，其中，完全下降到該加工台(14)中、並且在下方從該加工台(14)伸出的該等提升元件(8)通過一在下方並且平行於該加工台(14)設置的提升板(12)、在該等豎直引導件的引 導下、通過該加工台(14)向上移動。
  31. 如申請專利範圍第30項所述之方法，其中，與一承載板(33)牢固聯接的該加工台(14)借助一與該承載板(33)相聯接的驅動器而上升或下降，其中該承載板(33)設置在該加工台(14)下方的一段距離處並構成一間隙，在其中可豎直移動的提升板(12)處於該間隙中。
  32. 如申請專利範圍第31項所述之方法，其中，在提升該加工台(14)時，首先由通過該承載板(33)而伸出的多個止動銷(13)和與該等止動銷(13)相對擠壓的多個止動彈簧(34)來將該提升板(12)相對該加工台(14)進行擠壓，其中由該提升板(12)將該等提升元件(8)壓向該升高位置，進而升高該加工台(14)，同時該提升板(12)在該等止動銷(13)和止動彈簧(34)上保持不動，直到該提升板(12)被該承載板(33)接收，並且進而該等止動銷(13)與一止動件分離。
  33. 如申請專利範圍第25至32項中任何一項所述之方法，其中，在將該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)從一基板加工區域(2)傳輸之後，至少在加工該至少一個基板(4，4‘)的過程中將一基板加工室(20)關閉，在該基板加工室中設置有該升降裝置(7)和該基板加工區域(2)，並且在完成加工之後將該基板加工室(20)打開以便將該基板傳輸模組(3，3‘，3“，3```，3````，3`````)導入到該基板加工室(20)中。
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