KR101232610B1 - 기판 처리장치 - Google Patents

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Abstract

안정적으로 기판을 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하여 생산성을 향상시킬 수 있는 기판 처리장치를 개시한다.
기판 처리장치는 지지대와, 지지대의 주위에 배치되는 승강장치와, 승강장치에 의해 지지되는 트레이와, 트레이에 기판을 이송하여 안착시키는 이송장치를 포함하고, 승강장치는 트레이를 상하로 이송하여 트레이에 안착된 기판을 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 처리장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
기판의 처리공정에서, 기판을 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하는 장치 및 방법이 개시된다.
일반적으로 액정 디스플레이 등의 기판을 제조하기 위해서는, 기판 상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피(photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수 차례 반복하여야 한다.
이러한 기판 처리공정에서는 기판을 안치하여 지지하기 위한 서셉터(susceptor), 척(chuck) 등의 지지대 및 지지대로 기판을 이송하여 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하기 위한 각종 이송장치 등이 사용된다.
최근 기술의 발전에 따라 기판이 점점 대형화 되면서, 대형 기판을 이송하여 지지대에 안착시키는 과정에서 기판이 손상될 위험이 더욱 커지게 되었고, 이에 따라 기판을 손상시키지 않고 안정적으로 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 할 수 있는 이송장치가 요구되고 있다.
본 발명의 일 측면은 안정적으로 기판을 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 할 수 있는 기판 처리장치를 제공한다.
또한, 단순한 기판 이송구조를 가진 기판 처리장치를 제공한다.
또한, 기판을 원하는 위치에 정밀하게 로딩(loading)할 수 있는 기판 처리장치를 제공한다.
본 발명의 사상에 따른 기판 처리장치는 지지대;와, 상기 지지대의 주위에 배치되는 승강장치;와, 상기 승강장치에 의해 지지되는 트레이;와, 상기 트레이에 상기 기판을 이송하여 안착시키는 이송장치;를 포함하고, 상기 승강장치는 상기 트레이를 상하로 이송하여 상기 트레이에 안착된 상기 기판을 상기 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하는 것을 특징으로 한다.
상기 승강장치는 상기 트레이를 지지하는 지지부와, 상기 트레이 및 상기 기판을 상하로 이송하는 상하이송부를 포함할 수 있다.
상기 지지부에는 상기 트레이를 지지하기 위한 지지홈이 마련될 수 있다.
상기 트레이는 복수의 프레임을 포함하고, 상기 복수의 프레임은 격자를 형성한다.
상기 복수의 프레임은 상기 이송장치의 이송부와 간섭을 회피하기 위한 회피홈을 포함할 수 있다.
상기 복수의 프레임은 상기 기판의 위치를 정렬하기 위한 경사부를 포함할 수 있다.
상기 지지대에는 상기 트레이가 상기 지지대의 하부로 관통하여 이동할 수 있도록 상기 복수의 프레임과 대응하는 위치에 관통홈이 마련된다.
상기 지지대는 복수로 구성되고, 상기 트레이가 상기 지지대의 하부로 관통하여 이동할 수 있도록 상기 복수의 프레임과 대응하는 위치에 관통로를 형성하도록 배치된다.
또한, 본 발명의 사상에 따른 기판 이송방법은 기판을 처리하기 위해 기판을 이송하기 위한 방법에 있어서, 지지대의 주위에 배치되는 승강장치에 기판을 안착하기 위한 트레이를 결합하고, 이송장치로 상기 기판을 상기 트레이에 안착하고, 상기 승강장치로 상기 트레이를 상하로 이송하여 상기 트레이에 안착된 상기 기판을 상기 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하는 것을 특징으로 한다.
상기 승강장치는 상기 트레이를 지지하는 지지부와, 상기 트레이 및 상기 기판을 상하로 이송하는 상하이송부를 포함할 수 있다.
상기 지지부에는 상기 트레이를 지지하기 위한 지지홈이 마련될 수 있다.
상기 트레이는 복수의 프레임을 포함하고, 상기 복수의 프레임은 격자를 형성한다.
상기 복수의 프레임은 상기 이송장치의 이송부와 간섭을 회피하기 위한 회피홈을 포함할 수 있다.
상기 복수의 프레임은 상기 기판의 위치를 정렬하기 위한 경사부를 포함할 수 있다.
상기 지지대에는 상기 트레이가 상기 지지대의 하부로 관통하여 이동할 수 있도록 상기 복수의 프레임과 대응하는 위치에 관통홈이 마련된다.
상기 지지대는 복수로 구성되고, 상기 트레이가 상기 지지대의 하부로 관통하여 이동할 수 있도록 상기 복수의 프레임과 대응하는 위치에 관통로를 형성하도록 배치된다.
상기 지지부가 하강하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 지지대에 마련된 상기 관통홈을 따라 이동하면서 상기 트레이에 안착된 상기 기판이 상기 트레이에서 이탈됨과 동시에 상기 지지대에 로딩(loading)되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지부가 상승하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 지지대에 마련된 상기 관통홈을 따라 이동하면서 상기 지지대에 로딩(loading)된 상기 기판이 상기 트레이에 안착됨과 동시에 상기 지지대에서 언로딩(unloading)되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지부가 하강하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 관통로를 따라 이동하면서 상기 트레이에 안착된 상기 기판이 상기 트레이에서 이탈됨과 동시에 상기 지지대에 로딩(loading)되는 것을 특징으로 한다.
상기 지지부가 상승하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 관통로를 따라 이동하면서 상기 지지대에 로딩(loading)된 상기 기판이 상기 트레이에 안착됨과 동시에 상기 지지대에서 언로딩(unloading)되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 기판을 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 과정에서 기판에 손상이 발생하지 않게 된다.
또한, 기판에 손상이 발생하지 않아, 기판 손상에 따른 제품 불량률이 낮아지므로 생산성이 향상된다.
또한, 기판을 지지대에 로딩(loading)하는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 줄일 수 있다.
또한, 단순한 기판 이송구조를 통해, 기판을 지지대에 정밀하게 로딩(loading)할 수 있다.
또한, 기판을 이송하기 위한 장치들을 지지대의 주위에 배치할 수 있으므로, 장치들을 쉽게 설치할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 승강장치와 트레이의 결합관계를 나타낸 결합사시도.
도 3은 트레이의 다른 실시 형태를 나타낸 사시도.
도 4는 승강장치의 다른 실시 형태를 나타낸 사시도.
도 5는 지지대의 다른 실시 형태를 나타낸 사시도.
도 6은 이송장치의 이송부가 기판을 트레이에 진입시키는 모습을 나타낸 사시도.
도 7은 트레이에 기판이 안착된 모습을 나타낸 사시도.
도 8은 승강장치 및 트레이가 하강하여 기판이 지지대에 안착된 모습을 나타낸 사시도.
이하에서는 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리장치(1)는 하부플레이트(10), 하부플레이트(10)의 상부에 배치되는 지지대(100)와, 지지대(100)의 주위에 배치되는 승강장치(200)와, 승강장치(200)에 의해 지지되는 트레이(300)와, 트레이(300)에 기판(20)을 이송하여 안착시키는 이송장치(400)를 포함하여 구성된다.
이송장치(400)는 이송부(420)를 포함하며, 이송부(420)는 기판(20)을 진공흡착한 상태로 트레이(300)에 안착시키게 된다.
이송장치(400)는 일반적으로 기판 이송용 로봇이 사용될 수 있으나, 그 밖에도 기판(20)을 트레이(300)에 안착시킬 수 있는 구동수단 및 이송부를 구비한 장치라면 모두 사용될 수 있다.
도면에서는 지지대(100) 및 트레이(300)를 사각형으로 도시하고 있으나, 이는 일반적으로 LCD 등의 기판이 사각형상이기 때문이며, 기판의 모양이 달라지면 그에 따라 달라질 수 있음은 물론이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 승강장치와 트레이의 결합관계를 나타낸 결합사시도이고, 도 3은 트레이의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 지지대(100)는 대략 직육면체 형상을 가지며, 상면에는 기판(20)이 안착되는 기판안착면(114)이 마련되고, 상부에는 트레이(300)가 지지대(100)의 하부로 관통하여 이동할 수 있도록 관통홈(112)이 마련된다.
기판안착면(114)은 지지대(100)의 상면에 마련되는 것으로, 기판(20)이 안착되면, 지지대(100)에 포함된 흡착장치(미도시) 등에 의해 기판(20)과 밀착되므로, 기판(20)을 가공하는 공정에서 기판(20)이 이동하지 않게 된다.
관통홈(112)은 트레이(300)에 포함된 복수의 프레임(310)이 이루는 격자의 형상에 대응하는 형상을 가지고, 복수의 프레임(310)과 대응하는 위치에 형성되며, 간섭이 발생하지 않도록 프레임(310)의 폭보다 조금 더 큰 폭을 가지게 된다.
또한, 관통홈(112)의 깊이는 트레이(300)가 하부로 이동하면서 자연스럽게 기판(20)이 안착될 수 있도록 프레임(310)의 높이보다 조금 더 크게 형성된다.
한편 지지대(100)로는 서셉터(susceptor), 척(chuck) 등이 사용될 수 있다.
승강장치(200)는 지지대(100)의 주위에 배치되며 지지부(220)와 상하이송부(240)를 포함한다.
지지부(220)에는 트레이(300)의 프레임(310)과 결합할 수 있도록 지지홈(222)이 마련된다.
상하이송부(240)는 지지부(220)를 상,하 방향으로 이송하는 구성으로써, 이송실린더(242)를 더 포함할 수 있다.
상하이송부(240)는 이송실린더(242)를 통해 지지부(220)와 연결되며, 지지부(220) 및 기판이 안착된 상태의 트레이(300)를 동시에 상하로 이송하는 역할을 하게 된다.
본 실시예에서는 승강장치(200)의 이송수단으로 이송실린더(242)를 설명하였으나, 일반적으로 대상물을 상하로 이송시킬 수 있는 이송수단 즉, 볼스크류, 리니어가이드 등이 모두 적용 가능함은 당업자에게 자명할 것이다.
이와 같이, 기판(20)을 지지대(100)에 안착시키기 위한 이송장치(200)를 지지대(100)의 주위에 배치할 수 있으므로, 지지대(100)의 내부 또는 하부공간을 이용하여 좁은 공간에 복잡하게 기판(20) 이송구조를 설치할 필요가 없게 된다.
트레이(300)는 복수의 프레임(310)으로 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 복수의 프레임(310)은 서로 직교하여 대략 사각형의 형상을 가지는 격자를 형성한다.
대면적을 가진 기판의 경우 그 두께도 얇기 때문에, 중심부분이 하부로 처지는 현상을 무시할 수 없게 되는데, 이와 같이 격자를 형성함으로써, 기판(20)이 처지는 현상을 방지할 수 있게 되어 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
격자의 수는 기판(20)을 안정적으로 지지할 수 있도록 기판(20)의 종류 및 크기에 따라 달라질 수 있다.
즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이(350)는 대략 육각형 형상을 가진 벌집형의 격자를 형성하게 만들어 질 수도 있다.
복수의 프레임(310)에는 이송장치(400)의 이송부(420)와 간섭을 방지하기 위한 회피홈(320)이 마련된다.
기판(20)은 이송장치(400)의 이송부(420)에 의해 트레이(300)에 이송되는데, 이송부(420)는 일정한 두께를 가지고 있으므로, 기판(20)을 트레이(300)에 안착시키는 과정에서 이송부(420)가 프레임(310)과 닿지 않도록 해야 한다.
회피홈(320)은 이송부(420)의 폭 및 두께보다 조금 더 크게 형성되어 기판(20)과 복수의 프레임(310) 사이에 이송부(420)가 위치할 수 있는 공간을 형성하게 된다.
복수의 프레임(310)의 양단부에는 기판(20)이 트레이(300)에서 자동으로 정렬될 수 있도록 경사부(340)가 마련된다.
이송부(420)에 의해 기판(20)이 트레이(300)에 안착되는 과정에서 정확한 위치에 배치되지 않을 수 있는데, 기판(20)이 경사부(340)에 위치할 경우 경사면을 타고 자동으로 기판지지면(360)에 안착될 수 있다.
또한, 복수의 프레임(310)에는 기판(20)과 직접 접촉하여 지지하는 기판지지면(360)이 마련된다.
이와 같이 기판(20)을 지지대(100)에 안착시키는 과정에서 기판지지면(360)을 통해 면으로 지지하게 되므로, 기판(20)이 휘거나 기판(20)의 표면에 응력이 집중되는 현상이 방지된다.
트레이(300)는 기판(20)을 안치한 채로, 각종 공정을 진행하게 된다. 따라서 부식이나 산화에 강한 내성을 가져야 하므로, 알루미늄 또는 아노다이징 처리된 알루미늄 재질로 만들어지는 것이 바람직하다.
아노다이징(anodising)이란, 알루미늄의 강도, 내식성, 내마모성 등을 강화하기 위해 알루미늄의 표면을 특수하게 처리하는 공법을 말하는 것으로서, 구체적인 공법은 통상적인 것이므로 설명을 생략하기로 한다.
도 4는 승강장치의 다른 실시 형태를 나타낸 사시도이다.
앞서 설명한 승장장치(200)의 지지부(220)는 지지대(100)의 양 측면에 각각 배치되어 트레이(300)를 지지하게 된다.
대면적을 가지는 기판(20)을 제조할 경우, 트레이(300)도 커지게 되고, 기판(20) 및 트레이(300)의 무게가 무거워지게 된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 지지부(250)를 일체로 하여 'ㄷ'형상을 가지도록 형성할 경우, 대면적을 가지는 기판(20) 및 이를 지지하는 트레이(300)도 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
도 5는 지지대의 다른 실시 형태를 나타낸 사시도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 지지대(150)의 경우, 복수로 구성된다.
복수의 지지대(150)는 서로 일정 간격을 두고 관통로(152)를 형성하도록 배치된다.
복수의 지지대(150)에 의해 형성되는 관통로(152)는 그 상부에 트레이(300)가 상하로 이동할 수 있도록 복수의 프레임(310)과 대응하는 위치에 형성된다.
복수의 프레임(310)이 형성하는 격자 형상에 따라 복수의 지지대(150)의 형상 및 이를 배치하는 위치는 달라질 수 있다.
이와 같이 지지대(150)를 복수로 하여 배치하게 되면, 기판(20)을 처리하는 공정에서 지지대(150)의 표면이 훼손되는 경우에 지지대(150) 전부를 교체할 필요 없이 훼손된 지지대(150)만 교체하면 되는 장점이 있다.
이하에서는 상기와 같은 구조를 가지는 기판 처리장치(1)를 이용하여, 기판(20)을 로딩(loading)또는 언로딩(unloading)하는 방법을 도면을 참고하여 설명한다.
도 6은 이송장치의 이송부가 기판을 트레이에 진입시키는 모습을 나타낸 사시도이고, 도 7은 트레이에 기판이 안착된 모습을 나타낸 사시도이며, 도 8은 승강장치 및 트레이가 하강하여 기판이 지지대에 안착된 모습을 나타낸 사시도이다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 트레이(300)는 승강장치(200)의 지지부(220)에 마련된 지지홈(222)과 결합된 상태에서 트레이(300)의 밑면이 지지대(100)의 상면보다 더 높게 위치될 때까지 상승된다.
트레이(300)가 정해진 위치까지 상승하게 되면, 이송장치(400)의 이송부(420)는 기판(20)을 흡착시켜 고정한 상태로 트레이(300)로 진입하게 된다.
이 때, 이송부(420)는 복수의 프레임(310)에 마련된 회피홈(320)을 통해 트레이(300)로 진입하게 되므로 트레이(300)와 닿지 않게 된다.
기판(20)은 트레이(300)의 기판지지면(360) 보다 약간 높이 위치하므로 이송부(420)와 함께 트레이(300)로 진입하는 과정에서 트레이(300)와 간섭되지 않는다.
이송부(420)에 의해 이송되는 기판(20)이 정해진 곳에 위치하게 되면, 이송부(420)는 흡착된 기판(20)을 트레이(300)의 기판지지면(360)에 안착시킨다.
기판(20)이 기판지지면(360)에 안착되면 복수의 프레임(310)에 마련된 회피홈(320)에 의해 형성된 공간을 통해 이송부(420)가 트레이(300)를 빠져나오게 된다.
트레이(300)의 기판지지면(360)으로 기판(20)의 이송 및 정렬이 완료되면, 승강장치(200)에 포함된 상하이송부(240)가 작동하여 지지부(220), 트레이(300), 기판(20)을 동시에 하강시키게 된다.
지지부(220)가 하강하게 되면 지지부(220)에 의해 지지된 트레이(300)도 동시에 지지대(100)에 마련된 관통홈(112)을 따라 하강하게 되며, 지판지지면(360)이 지지대(100)의 기판안착면(114)보다 더 낮은 곳에 위치할 때까지 하강하게 된다.
트레이(300)가 하강하는 과정에서 지판지지면(360)과 기판안착면(114)이 동일한 높이에 위치하게 되는 순간에 트레이(300)에 안착된 기판(20)이 트레이(300)에서 이탈됨과 동시에 지지대(100)의 기판안착면(114)에 로딩(loading)된다.
이와 같이, 기판 처리장치(1)를 사용할 경우, 기판(20)을 지지대(100)에 로딩(loading)하기 위해서 트레이(300) 및 트레이(300)를 이동시키는 승강장치(200)가 지지대(100)의 주위에 배치되어 상하로 이동만 하면 되므로, 기판(20)에 가해질 수 있는 손상을 줄일 수고, 또한 기판(20)을 지지대(100)에 로딩(loading)하는 과정에서 발생할 수 있는 파티클을 줄일 수 있다.
로딩(loading)이 완료되면, 지지대(100)에 마련된 기판 고정장치(미도시)에 의해 기판(20)이 기판안착면(114)에 밀착되고, 해당 공정에 따른 기판(20)의 가공이 진행된다.
기판(20)의 가공이 완료되면, 고정장치(미도시)에 의한 고정이 해제되어 기판(20)이 기판안착면(114)과 분리될 수 있는 상태가 되며, 승강장치(200)의 상하이송부(240)가 작동하여 지지부(220), 트레이(300), 기판(20)을 동시에 상승시키게 된다.
트레이(300)가 상승하는 과정에서 지판지지면(360)과 기판안착면(114)이 동일한 높이에 위치하게 되는 순간에 지지대(100)의 기판안착면(114)에 로딩(loading)된 기판(20)이 트레이(300)에 지지됨과 동시에 지지대(100)의 기판안착면(114)에서 언로딩(unloading)된다.
트레이(300)는 기판(20)을 지지한 상태로 트레이(300)의 밑면이 지지대(100)의 상면보다 더 높게 위치될 때까지 상승된다.
트레이(300)가 정지하면, 복수의 프레임(310)에 마련된 회피홈(320)에 의해 형성된 공간을 통해 이송부(420)가 트레이(300)로 진입하여 기판(20)을 트레이(300)의 기판지지면(360)으로부터 이탈시킨다.
이송부(420)는 이탈된 기판(20)을 흡착, 고정하여 트레이(300) 외부로 이송하게 된다.
1 : 기판 처리장치 100 : 지지대
112 : 관통홈 200 : 승강장치
220 : 지지부 240 : 상하이송부
300 : 트레이 310 : 프레임
320 : 회피홈 340 : 경사부
360 : 기판지지면 400 : 이송장치
420 : 이송부

Claims (20)

  1. 복수의 지지대;
    상기 복수의 지지대의 주위에 배치되는 승강장치;와,
    상기 승강장치에 의해 지지되는 트레이;와,
    상기 트레이에 기판을 이송하여 안착시키는 이송장치;를 포함하고,
    상기 복수의 지지대는 상기 복수의 프레임과 대응하는 위치에 관통로를 형성하도록 배치되며,
    상기 승강장치는 상기 트레이를 상하로 이송하여 상기 트레이에 안착된 상기 기판을 상기 지지대에 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading) 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 승강장치는 상기 트레이를 지지하는 지지부와, 상기 트레이 및 상기 기판을 상하로 이송하는 상하이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 지지부에는 상기 트레이를 지지하기 위한 지지홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 트레이는 복수의 프레임을 포함하고, 상기 복수의 프레임은 격자를 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 복수의 프레임은 상기 이송장치의 이송부와 간섭을 회피하기 위한 회피홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 복수의 프레임은 상기 기판의 위치를 정렬하기 위한 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 기판을 처리하기 위해 기판을 이송하기 위한 방법에 있어서,
    관통로를 형성하도록 배치되는 복수의 지지대의 주위에 배치되는 승강장치에 트레이를 배치하고,
    이송장치로 상기 기판을 상기 트레이에 안착하고,
    상기 승강장치를 하강시켜 상기 트레이에 안착된 상기 기판을 상기 지지대에 로딩(loading)하고,
    기판을 가공하고,
    상기 승강장치를 상승시켜 상기 기판을 상기 지지대로부터 언로딩(unloading)하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 승강장치는 상기 트레이를 지지하는 지지부와, 상기 트레이 및 상기 기판을 상하로 이송하는 상하이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 지지부에는 상기 트레이를 지지하기 위한 지지홈이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  12. 삭제
  13. 제 11항에 있어서,
    상기 복수의 프레임은 상기 이송장치의 이송부와 간섭을 회피하기 위한 회피홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 복수의 프레임은 상기 기판의 위치를 정렬하기 위한 경사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제 11항에 있어서,
    상기 지지부가 하강하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 관통로를 따라 이동하면서 상기 트레이에 안착된 상기 기판이 상기 트레이에서 이탈됨과 동시에 상기 지지대에 로딩(loading)되는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
  20. 제 19항에 있어서,
    상기 지지부가 상승하고, 상기 지지부에 의해 지지된 상기 트레이가 상기 관통로를 따라 이동하면서 상기 지지대에 로딩(loading)된 상기 기판이 상기 트레이에 안착됨과 동시에 상기 지지대에서 언로딩(unloading)되는 것을 특징으로 하는 기판 이송방법.
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