CN105195397A - 真空干燥系统和真空干燥方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种真空干燥系统和方法，该系统包括：支撑平台，用于支撑衬底基板，其中，所述支撑平台包括多个沿预设方向设置的子平台，相邻子平台之间形成有间隙；机械臂，包括多个与所述间隙相对应的条状结构，用于将所述衬底基板置于所述支撑平台或将所述衬底基板移出所述支撑平台。根据本发明的技术方案，通过支撑平台来支撑衬底基板，相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板，支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多，可以降低对衬底基板的局部压力，从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生显示器亮度不均匀。并且无需设置较宽的虚拟区域，可以有效利用衬底基板的面积。

Description

真空干燥系统和真空干燥方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种真空干燥系统和一种真空干燥方法。
背景技术
在彩膜基板的生成过程中，存在涂覆光刻胶和对光刻胶进行真空干燥的流程工艺。
现有技术中的真空干燥(vacuumdrying)设备一般采用多个针状支撑物来支撑衬底基板，由于支撑物与衬底基板的接触面积较小，容易对衬底基板产生较大压力，使得衬底基板产生显示器亮度不均匀(mura)从而降低良率。而且为了提供合适的支撑位置，一般需要在衬底基板上设置较宽的虚拟(dummy)区域，造成了衬底基板可利用面积的下降。并且由于对于不同尺寸的衬底基板，支撑物所支撑的位置不同，需要人工更换和摆放支撑物，导致工艺时间增加，并且人工操作也难以保证支撑物的摆放精度，也会降低的良率，并且支撑物的尖端结构也存在戳伤操作人员的风险。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，如何改善真空干燥过程对衬底基板的支撑工艺。
为此目的，本发明提出了一种真空干燥系统，包括：
支撑平台，用于支撑衬底基板，
其中，所述支撑平台包括多个沿预设方向设置的子平台，相邻子平台之间形成有间隙；
机械臂，包括多个与所述间隙相对应的条状结构，用于将所述衬底基板置于所述支撑平台或将所述衬底基板移出所述支撑平台。
优选地，上述系统还包括：
多个支撑条，所述支撑条的宽度与所述间隙的宽度相等，长度与所述间隙的长度相等，在所述衬底基板位于所述支撑平台时插入所述间隙，以与所述支撑平台共同支撑所述衬底基板。
优选地，上述系统还包括：
控制单元，用于控制所述机械臂和/或所述支撑条。
优选地，所述控制单元在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂将衬底基板移动至与所述支撑平台的上表面相距预设距离的水平面，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂下降预设距离，以使所述衬底基板置于所述支撑平台，控制所述机械臂从所述间隙移出。
优选地，所述控制单元在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂上升预设距离，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂从所述间隙移出，以将所述衬底基板移出所述支撑平台。
优选地，所述控制单元在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述多个支撑条插入所述间隙，在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述多个支撑条移出所述间隙。
优选地，上述系统还包括：
真空干燥室，用于对所述衬底基板进行真空干燥。
本发明还提出了一种基于上述系统的真空干燥方法，包括：
根据接收到的指令控制所述机械臂将衬底基板置于支撑平台或将衬底基板移出支撑平台。
优选地，在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂下降预设距离，以使所述衬底基板置于所述平台，控制所述机械臂从所述间隙移出。
优选地，在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂上升预设距离，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂从所述间隙移出，以将所述衬底基板移出所述支撑平台。
根据上述技术方案，通过支撑平台来支撑衬底基板，相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板，支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多，可以降低对衬底基板的局部压力，从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生mura。并且无需设置较宽的虚拟区域，可以有效利用衬底基板的面积。
附图说明
通过参考附图会更加清楚的理解本发明的特征和优点，附图是示意性的而不应理解为对本发明进行任何限制，在附图中：
图1示出了根据本发明一个实施例的支撑平台的结构示意图；
图2示出了根据本发明一个实施例的支撑平台的俯视图；
图3示出了根据本发明一个实施例的支撑平台的左视图；
图4示出了根据本发明一个实施例的机械臂的结构示意图；
图5和图6示出了根据本发明一个实施例的将衬底基板置于支撑平台的示意图；
图7至图9示出了根据本发明一个实施例的支撑条插入间隙的示意图；
图10示出了根据本发明一个实施例的将衬底基板置于支撑平台的示意流程图；
图11示出了根据本发明一个实施例的将衬底基板移出支撑平台的示意流程图。
附图标号说明：
1-支撑平台；11-子平台；2-机械臂；21-条状结构；3-衬底基板；4-支撑条。
具体实施方式
为了能够更清楚地理解本发明的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是，本发明还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本发明的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。
如图1、图2和图3所示，根据本发明一个实施例的真空干燥系统，包括：
支撑平台1，用于支撑衬底基板，
其中，支撑平台1包括多个沿预设方向设置的子平台11，相邻子平台11之间形成有间隙；
机械臂2，包括多个与间隙相对应的条状结构21，如图4、图5和图6所示，用于将衬底基板3置于支撑平台1或将衬底基板3移出支撑平台1。
本实施例通过支撑平台来支撑衬底基板，相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板，支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多，可以降低对衬底基板的局部压力，从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生mura。并且无需设置较宽的虚拟区域，可以有效利用衬底基板的面积。
另外，由于本实施例无需人工设置支撑物，避免了操作人员被支撑物的尖端戳伤。而且通过机械臂自动化完成衬底基板的移动，可以缩短工艺时间。
其中，支撑平台可以设置为较大面积，以适用于多种彩膜基板的衬底基板。机械臂上条状结构的宽度可以设置为小于或等于间隙的宽度。本实施例中包含4个子平台和3个间隙的支撑平台，以及包括3个条状结构的支撑臂只是一种示例，实际上可以根据需要设置支撑平台所包含子平台的数量，以及支撑臂包含条状结构的数量，其中，条状结构的数量小于或等于间隙的数量。
如图7所示，优选地，上述系统还包括：
多个支撑条4，支撑条4的宽度与间隙的宽度相等，长度与间隙的长度相等，在衬底基板3位于支撑平台1时插入间隙，以与支撑平台1共同支撑衬底基板3，如图8和图9所示。
子平台之间的间隙可以与机械臂的条状结构相配合，以使机械臂能够将衬底基板放置或移出支撑平台。而当衬底基板位于支撑平台时，由于间隙的存在，仍有可能导致衬底基板受力不均。
本实施例在衬底基板位于支撑平台时，可以将支撑条插入支撑平台，与支撑平台一起支撑衬底基板，使得衬底基板的下表面全部解除在支撑面上，保证衬底基板在被支撑过程中受力均匀。
优选地，上述系统还包括：
控制单元(图中未示出)，用于控制机械臂2和/或支撑条4。方便用户根据需要进行控制。
优选地，控制单元在接收到将衬底基板3置于支撑平台1的指令时，控制机械臂2将衬底基板3移动至与支撑平台1的上表面相距预设距离的水平面，控制机械臂2插入间隙，控制机械臂2下降预设距离，以使衬底基板3置于支撑平台1，控制机械臂2从间隙移出。
在将衬底基板置于支撑平台的过程中，通过使衬底基板距离支撑平台的上表面预设距离，可以保证衬底基板在随着机械臂插入间隙的过程中不会接触支撑平台，从而不会改变在机械臂上所处的位置，以便在控制机械臂将衬底基板移动至支撑平台上时，能够根据预先的设置位于平台的指定位置，便于后续移出操作。而在将衬底基板置于支撑平台后，将机械臂从间隙中撤出，可以保证后续支撑条能够插入到间隙中。
优选地，控制单元在接收到将衬底基板3移出支撑平台1的指令时，控制机械臂2插入间隙，控制机械臂2上升预设距离，以使衬底基板3距离支撑平台1的上表面预设距离，控制机械臂2从间隙移出，以将衬底基板3移出支撑平台1。
在将衬底基板移出支撑平台的过程中，通过使衬底基板距离支撑平台的上表面预设距离，可以保证衬底基板在随着机械臂移出间隙的移动过程中，不会接触支撑平台，保证在机械臂上处于指定位置，便于后续操作。
优选地，控制单元在接收到将衬底基板3置于支撑平台1的指令时，控制多个支撑条4插入间隙，在接收到将衬底基板3移出支撑平台1的指令时，控制多个支撑条4移出间隙。
在接收到将衬底基板移出支撑平台的指令时，通过控制多个支撑条移出间隙，可以保证后续移出操作过程中，机械臂能够顺利地插入间隙。
优选地，上述系统还包括：
真空干燥室(图中未示出)，用于对衬底基板3进行真空干燥。
本发明还提出了一种基于上述系统的真空干燥方法，包括：
根据接收到的指令控制机械臂将衬底基板置于支撑平台或将衬底基板移出支撑平台。
如图10所示，优选地，在接收到将衬底基板置于支撑平台的指令时，S1，控制机械臂插入间隙，以使衬底基板距离支撑平台的上表面预设距离，S2，控制机械臂下降预设距离，以使衬底基板置于平台，S3，控制机械臂从间隙移出。
如图11所示，优选地，在接收到将衬底基板移出支撑平台的指令时，S1’，控制机械臂插入间隙，S2’，控制机械臂上升预设距离，以使衬底基板距离支撑平台的上表面预设距离，S3’，控制机械臂从间隙移出，以将衬底基板移出支撑平台。
以上结合附图详细说明了本发明的技术方案，考虑到现有技术中，真空干燥设备一般采用多个针状支撑物来支撑衬底基板，由于支撑物与衬底基板的接触面积较小，容易对衬底基板产生较大压力，使得衬底基板产生mura从而降低良率。根据本发明的技术方案，通过支撑平台来支撑衬底基板，相对于现有技术在真空干燥工艺中通过多个针状支撑物来支撑衬底基板，支撑平台与衬底基板的接触面积要大得多，可以降低对衬底基板的局部压力，从而避免衬底基板因真空干燥过程中的支撑操作而产生mura。并且无需设置较宽的虚拟区域，可以有效利用衬底基板的面积。
在本发明中，术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空干燥系统，其特征在于，包括：
支撑平台，用于支撑衬底基板，
其中，所述支撑平台包括多个沿预设方向设置的子平台，相邻子平台之间形成有间隙；
机械臂，包括多个与所述间隙相对应的条状结构，用于将所述衬底基板置于所述支撑平台或将所述衬底基板移出所述支撑平台。
2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，还包括：
多个支撑条，所述支撑条的宽度与所述间隙的宽度相等，长度与所述间隙的长度相等，在所述衬底基板位于所述支撑平台时插入所述间隙，以与所述支撑平台共同支撑所述衬底基板。
3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，还包括：
控制单元，用于控制所述机械臂和/或所述支撑条。
4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述控制单元在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂将衬底基板移动至与所述支撑平台的上表面相距预设距离的水平面，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂下降预设距离，以使所述衬底基板置于所述支撑平台，控制所述机械臂从所述间隙移出。
5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述控制单元在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂上升预设距离，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂从所述间隙移出，以将所述衬底基板移出所述支撑平台。
6.根据权利要求5所述的系统，其特征在于，所述控制单元在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述多个支撑条插入所述间隙，在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述多个支撑条移出所述间隙。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的系统，其特征在于，还包括：
真空干燥室，用于对所述衬底基板进行真空干燥。
8.一种基于权利要求1至7中任一项所述系统的真空干燥方法，其特征在于，包括：
根据接收到的指令控制所述机械臂将衬底基板置于支撑平台或将衬底基板移出支撑平台。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在接收到将所述衬底基板置于所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂下降预设距离，以使所述衬底基板置于所述平台，控制所述机械臂从所述间隙移出。
10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在接收到将所述衬底基板移出所述支撑平台的指令时，控制所述机械臂插入所述间隙，控制所述机械臂上升预设距离，以使衬底基板距离所述支撑平台的上表面预设距离，控制所述机械臂从所述间隙移出，以将所述衬底基板移出所述支撑平台。
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