CN114084648A - 基板承载装置和基板传递系统 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种基板承载装置和基板传递系统，该基板承载装置包括气浮平台，气浮平台设有避让空间，该避让空间构造为使得机械臂将基板运送到气浮平台的上方后，能够向下进入避让空间并撤出，通过上述技术方案，当基板加载时，机械臂将基板送至气浮平台上方，气浮平台的气流打开使气浮平台上表面形成气流，机械臂下降至基板接近气浮平台时，基板被气流托起，机械臂继续下降脱离基板并进入避让空间后收回，完成基板加载；当基板卸载时，逆顺序实施上述操作即可。由此，通过改变气浮平台的设计结构，整体结构相对简单，能够降低制造成本，避免因承接杆及升降机构维护产生的宕机时间，消除耗材更换成本，可提高设备使用效率。

Description

基板承载装置和基板传递系统

技术领域

本公开涉及光学检测领域，具体地，涉及一种基板承载装置和基板传递系统。

背景技术

随着显示基板(例如LCD、OLED)的缺陷检测管理要求越来越严格，故在基板生产背板、封装、触屏工艺段对工艺过程中的点缺陷、面缺陷、短路缺陷、断路缺陷等各种缺陷进行在线自动检测并分析的设备应运而生，通常是利用光学检测设备对处于承载装置上的基板进行检测分析。

图1为现有技术所使用的承载装置的装载示意图，其中，气浮平台10用于承接基板30的部位开有若干个孔洞11，与孔洞11相同数量的承接杆41可以通过孔洞11上下升降。承接杆41的下端由连接板42(或框架)相互连为一体，升降机构43可以通过驱动连接板42(或框架)带动承接杆41升降。当气浮平台10承接基板30时，承接杆41升起，机械臂20将基板30送进并放置于承接杆41上后撤回，然后承接杆41下降到气浮平台10上表面以下，这样基板30就被安置在气浮平台10上。检测结束后逆顺序将基板30送出。

上述的承载装置包括如下缺陷：需控制多个承接杆41顶部保持同一水平面且同步升降，而且每个承接杆41顶部均需要采用防静电材质制作且需定期更换，承载装置结构复杂，从而导致制造成本和维护成本高昂。

发明内容

本公开的一个目的是提供一种基板承载装置，该基板承载装置整体结构相对简单，降低制造成本，减少设备维护时间和维护成本，提高设备使用效率。

本公开的另一个目的是提供一种包括该基板承载装置的基板传递系统。

为了实现上述目的，本公开第一方面，提供一种基板承载装置，所述基板承载装置包括气浮平台，所述气浮平台设有避让空间，该避让空间构造为使得机械臂将基板运送到所述气浮平台的上方后，能够向下进入所述避让空间并撤出。

可选地，所述气浮平台包括至少两个沿横向延伸且沿纵向间隔设置的气浮组件，相邻两个所述气浮组件之间的缝隙形成所述避让空间。

可选地，所述机械臂包括多个沿纵向间隔设置的支撑杆；相邻两个所述支撑杆的间距与相邻两个所述缝隙的间距相适配，且所述支撑杆的宽度小于所述缝隙的宽度。

可选地，所述机械臂包括两个沿纵向平行设置的支撑杆；

所述气浮平台包括三个沿纵向间隔设置的所述气浮组件，每相邻两个所述气浮组件之间均形成一所述缝隙；

每个所述支撑杆对应于一个所述缝隙，且多个所述缝隙的宽度相同。

可选地，所述气浮组件由多个气浮条拼接形成。

可选地，所述气浮组件朝向所述缝隙的至少一个侧面设有气孔。

可选地，所述气浮组件的上表面与朝向所述缝隙的侧面之间设有过渡部，所述过渡部的一端连接于所述上表面，另一端连接于所述侧面，沿所述气浮组件的下表面朝向上表面方向，所述过渡部与所述缝隙的中心线之间的距离逐渐增大；

所述气孔设于所述过渡部。

可选地，所述过渡部为弧形边或者斜边。

可选地，所述气孔的数量为多个，且多个所述气孔沿所述缝隙的延伸方向间隔设置于所述过渡部。

本公开第二方面，提供一种基板传递系统，该基板传递系统包括机械臂以及上述的基板承载装置。

通过上述技术方案，当基板加载时，机械臂将基板送至气浮平台上方，气浮平台的气流打开使气浮平台上表面形成气流，机械臂下降至基板接近气浮平台时，基板被气流托起，机械臂继续下降脱离基板并进入避让空间后，机械臂收回，完成基板的加载；当基板卸载时，逆顺序实施上述操作即可。由此，本公开提供的基板加载装置，通过改变气浮平台的设计结构，整体结构相对简单，能够降低制造成本，避免因承接杆及升降机构维护产生的宕机时间，消除耗材更换成本，可提高设备使用效率。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是现有所使用的承载装置的结构示意图；

图2是本公开的一些实施例提供的基板承载装置的结构示意图；

图3是基于图2的侧视图；

图4是本公开的一些实施例提供的基板承载装置的机械臂进入缝隙的示意图；

图5是基于图4的侧视图；

图6是本公开的一些实施例提供的基板承载装置的气浮平台的结构图；

图7是本公开的一些实施例提供的基板承载装置的气浮组件的结构图；

图8是基于图7中的A部放大图。

附图标记说明

10-气浮平台；11-孔洞；20-机械臂；30-基板；41-承接杆；42-连接板；43-升降机构；

100-气浮平台；101-缝隙；110-气浮组件；111-气浮条；1111-上表面；1112-侧面；1113-过渡部；1114-气孔；200-机械臂；210-支撑杆；300-基板。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是指相应附图的图面方向为基准定义的，“内、外”是指相应部件轮廓的内和外，“远、近”是指相应部件远离和靠近气浮平台的，“横向、纵向”是指整个气浮平台的宽度方向和长度方向。

如图2至图8所示，本公开第一方面，提供了一种基板承载装置，该基板承载装置包括气浮平台100，气浮平台100设有避让空间，该避让空间构造为使得机械臂200将基板300运送到气浮平台100的上方后，能够向下进入避让空间并撤出。

通过上述技术方案，当基板300加载时，机械臂200将基板300送至气浮平台100上方，气浮平台100的气流打开使气浮平台100上表面1111形成气流，机械臂200下降至基板300接近气浮平台100时，基板300被气流托起，机械臂200继续下降脱离基板300并进入避让空间后，机械臂200收回，完成基板300的加载；当基板300卸载时，逆顺序实施上述操作即可。由此，本公开提供的基板300加载装置，通过改变气浮平台100的设计结构，整体结构相对简单，能够降低制造成本，避免因承接杆及升降机构维护产生的宕机时间，消除耗材更换成本，可提高设备使用效率。

值得注意的是，上述的基板300可以包括但不限于玻璃板、LCD面板或者OLED面板。

需要说明的是，气浮平台100的上表面1111设有多个吹气孔，通过与吹气装置连接，以使得气体能够由吹气孔吹也形成气流，进而对基板300进行悬浮托起，吹气孔以及吹气装置的具体结构形式可以参考现有技术进行相对设计，因不涉及公开公技术方案的重点，这里不再赘述。

如图3中所示，附图的左右为纵向，附图的上下为上下方向，垂直于附图的观察方向为横向。本公开的一些实施例中，气浮平台100包括至少两个沿横向延伸且沿纵向间隔设置的气浮组件110，相邻两个气浮组件110之间的缝隙101形成避让空间。其中，多个气浮组件110的上表面1111相到平齐，也即多个气浮组件110的上表面1111处于同一水平面内。本公开的多个气浮组件110均为矩形结构，当然，气浮组件110也可以为其他的结构形状，能够满足机械臂200穿过两者之间形成的缝隙101即可。

如图2、图3、图4及图5所示，气浮平台100可以包括两个沿纵向间隔设置的气浮组件110，两个气浮平台100之间的缝隙101构成上述的避让空间，带有基板300的机械臂200首先移动至气浮平台100上方向且与缝隙101相对应的位置，然后逐渐下升，当基板300接近气浮平台100的上表面1111时被上表面1111产生的气流托起，机械臂200脱离该基板300后进入缝隙101内部，并可以由缝隙101下方向撤出后收回，完成基板300的加载。机械臂200可以是具有一定宽度的板类件，能够起到放置并支撑基板300即可。

需要说明的是，缝隙101的宽度要大于机械臂200的宽度，即缝隙101的宽度为机械臂200的宽度加上取送基板300时所需的安全余量。

同时，避让空间也可以上设置于气浮平台100上的至少一个凹槽，该凹槽在气浮平台100的横向上的至少一侧具有开口，其中，凹槽的深度大于机械臂200的厚度，以使得基板300悬浮于该气浮平台100时，机械臂200能够处于该凹槽内，且该机械臂200能够由气浮平台100的侧向的开口撤出。

在本公开的一些实施例中，气浮平台100还可以包括多个沿纵向间隔设置的气浮组件110，每相邻两个气浮组件110之间形成一个缝隙101，机械臂200可以包括多个沿纵向间隔设置的支撑杆210；其中，相邻两个支撑杆210的间距与相邻两个缝隙101的间距相适配，且支撑杆210的宽度小于缝隙101的宽度。支撑杆210的数量可以等于缝隙101的数量，以使得每个支撑杆210均能够进入与其对应的缝隙101内，实现基板300的加载与卸载；需要说明的是，支撑杆210的数量也可以少于缝隙101的数量，既可以满足基板300的加载与卸载，当支撑杆210对应不同的缝隙101时，还可以将机械臂200上的基板300加载至气浮平台100的不同位置。

可以理解是的，多个支撑杆210的宽度可以相同，且多个缝隙101的宽度也相同，支撑杆210的宽度小于缝隙101的宽度，以使支撑杆210能够方便地进入该缝隙101内而不与气浮组件110的侧面1112接触，本领域技术人员可以自行进行适应性设计和调整。当然，多个支撑杆210的宽度也可以不同，多个缝隙101的宽度也可以不同，但需要与缝隙101对应的支撑杆210的宽度小于该缝隙101的宽度，以使在基板300加载或者卸载时缝隙101能够供该支撑杆210进入或者撤出即可。

如图2及图3所示，在本公开的一些具体实施方式中，机械臂200包括两个沿纵向平行设置的支撑杆210；气浮平台100包括三个沿纵向间隔设置的气浮组件110，每相邻两个气浮组件110之间均形成一缝隙101；每个支撑杆210对应于一个缝隙101，两个支撑杆210的宽度相同，多个缝隙101的宽度也相同，且满足支撑杆210的宽度小于缝隙101的宽度。

值得注意的是，机械臂200也可以包括三个、四个、五个或者六个沿纵向平行设置的支撑杆210，气浮平台100可以包括多个沿纵向间隔设置的气浮组件，以形成能够适配机械臂200数量的缝隙101，从而满足基板300的加载和卸载。

如图6及图7所示，在本公开的一些实施例中，气浮组件110由多个气浮条111拼接形成，可以理解的是，多个气浮条111可以沿纵向延伸且沿横向依次拼接形成上述的气浮组件110；多个气浮条111也可以沿横向延伸并沿纵向依次拼接形成上述的气浮组件110；当然，也可以是多个气浮条111沿纵向和横向依次拼接形成上述的气浮组件110，本公开不做限定。

构成避让空间的缝隙101的宽度与机械臂200的宽度以及取送基板300时所需的安全余量有关，当基板300重量较大时，机械臂200的宽度会相对较大，而取送基板300时所需的安全余量由控制机械臂200的相关结构的特性决定。如果机械臂200的宽度较大或安全余量过大时，缝隙101的宽度会较大。而当缝隙101较宽或当基板300为相对柔软的材质时，使基板300在缝隙101处有下垂的风险。

考虑到上述问题，如图7及图8所示，在本公的一些实施例中，气浮组件110朝向缝隙101的至少一个侧面1112设有气孔1114，也即，气孔1114可以设于缝隙101两侧的其中一个气浮组件110的侧面1112上，也可以设置于缝隙101两侧的每个气浮组件110的侧面1112上。该气孔1114可以朝向缝隙101处上方的基板300，利用该气孔1114内吹出的气流提供气浮力，对缝隙101处上方的基板300形成支撑，避免其因下垂而影响后续的检测精度。

值得注意的是，为了方便气孔1114的布置，以使得气孔1114的吹气方向更好地朝向基板300，在本公开的一些具体实施方式中，气浮组件110的上表面1111与朝向缝隙101的侧面1112之间设有过渡部1113，过渡部1113的一端连接于上表面1111，另一端连接于该气浮组件110的侧面1112，沿气浮组件110的下表面朝向上表面1111方向，过渡部1113与缝隙101的中心线之间的距离逐渐增大；气孔1114设于过渡部1113。过渡部1113的设置不仅可以为气孔1114的设置提供了更有利的位置，也可以避免因直角边而造成基板300或者操作者的刮伤。

本公开的一些实施方式中，过渡部1113为弧形边或者斜边。当过渡部1113为弧形边时，气孔1114设置于该弧形边，且该弧形部于上表面1111和侧面1112之间构成圆弧角。当过渡部1113为斜边时，气孔1114设置于该斜边，斜边与上表面1111的水平方向的夹角可以小于等于60°，优选地，斜边与上表面1111的水平方向的夹角为45°。

本公开的一些实施例中，气孔1114的数量可以为多个，且多个气孔1114沿缝隙101的延伸方向间隔设置于过渡部1113，以在整个缝隙101的长度方向上对基板300作用，提高处于悬浮状态的基板300的平面度，多个气孔1114优选为沿纵向均布于过渡部1113。

本公开提供的新的基板承载装置，通过优化气浮平台100的结构，可以直接利用机械臂200完成基板300的装载与卸载，相比于现有需要设置其他机构与机械臂200配合的才能够完成装载与卸载基板300的装置相比，整体结构更加简单，能够降低制造成本，消除耗材更换成本，减少维修成本，提高装置的使用效率。

本公开第二方面，提供了一种基板传递系统，该基板传递系统包括机械臂200以及上述的基板承载装置，其中，机械臂200用于将基板300装载至基板承载装置的气浮平台100，或者由气浮平台100上卸载，通过在气浮平台100设置避让空间，以使得机械臂200能够将基板300运送到气浮平台100的上方后悬浮托起后，机械臂200能够向下进入该避让空间并撤出，同时，通过逆顺序操作，也可以实现基板300的卸载。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种基板承载装置，其特征在于，所述基板承载装置包括气浮平台(100)，所述气浮平台(100)设有避让空间，该避让空间构造为使得机械臂(200)将基板(300)运送到所述气浮平台(100)的上方后，能够向下进入所述避让空间并撤出。

2.根据权利要求1所述的基板承载装置，其特征在于，所述气浮平台(100)包括至少两个沿横向延伸且沿纵向间隔设置的气浮组件(110)，相邻两个所述气浮组件(110)之间的缝隙(101)形成所述避让空间。

3.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述机械臂(200)包括多个沿纵向间隔设置的支撑杆(210)；相邻两个所述支撑杆(210)的间距与相邻两个所述缝隙(101)的间距相适配，且所述支撑杆(210)的宽度小于所述缝隙(101)的宽度。

4.根据权利要求3所述的基板承载装置，其特征在于，所述机械臂(200)包括两个沿纵向平行设置的支撑杆(210)；

所述气浮平台(100)包括三个沿纵向间隔设置的所述气浮组件(110)，每相邻两个所述气浮组件(110)之间均形成一所述缝隙(101)；

每个所述支撑杆(210)对应于一个所述缝隙(101)，且多个所述缝隙(101)的宽度相同。

5.根据权利要求2所述的基板承载装置，其特征在于，所述气浮组件(110)由多个气浮条(111)拼接形成。

6.根据权利要求2-5中任意一项所述的基板承载装置，其特征在于，所述气浮组件(110)朝向所述缝隙(101)的至少一个侧面(1112)设有气孔(1114)。

7.根据权利要求6所述的基板承载装置，其特征在于，所述气浮组件(110)的上表面(1111)与朝向所述缝隙(101)的侧面(1112)之间设有过渡部(1113)，所述过渡部(1113)的一端连接于所述上表面(1111)，另一端连接于所述侧面(1112)，沿所述气浮组件(110)的下表面朝向上表面(1111)方向，所述过渡部(1113)与所述缝隙(101)的中心线之间的距离逐渐增大；

所述气孔(1114)设于所述过渡部(1113)。

8.根据权利要求7所述的基板承载装置，其特征在于，所述过渡部(1113)为弧形边或者斜边。

9.根据权利要求7所述的基板承载装置，其特征在于，所述气孔(1114)的数量为多个，且多个所述气孔(1114)沿所述缝隙(101)的延伸方向间隔设置于所述过渡部(1113)。

10.一种基板传递系统，其特征在于，所述基板传递系统包括机械臂(200)以及权利要求1-9中任意一项所述的基板承载装置。

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