KR101350253B1 - 기판 반송 설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재를 확실하게 행할 수 있는 기판 반송(搬送) 설비를 제공한다. 본 발명의 기판 반송 설비는, 기판을 출입하는 출입구 및 기판을 상하 방향으로 간격을 둔 상태로 복수 개의 수납 가능한 기판 수납 공간을 가지는 용기 본체(3)와, 그 용기 본체(3)를 탑재 지지 가능하고, 또한 용기 본체(3)를 탑재 지지한 상태에서 기판 수납 공간에 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛을 가지는 탑재 지지 부재(4)를 가지는 용기(2), 용기 본체(3)를 탑재 지지한 탑재 지지 부재(4)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 용기(2)를 지지대(8)에 반송하는 용기 반송 장치(7), 및 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태에서 용기 본체(3)와 직접 맞닿는 것에 의해, 용기 본체(3)의 수평 방향에서의 위치를 기판 이송탑재 장치가 출입구를 통해 기판을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치로 조정하는 위치 조정 수단(51)을 구비한다.

Description

기판 반송 설비{SUBSTRATE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 기판이 상하 방향으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수 개의 수납 가능한 공간을 가지는 용기를 기판 이송탑재용 지지대에 반송(搬送)하는 용기 반송 장치와, 지지대에 탑재 지지된 용기에 대하여, 용기의 측부에 형성된 출입구를 통해 기판을 인출하거나, 기판을 수납하기 위해 기판을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치를 포함하는 기판 반송 설비에 관한 것이다.

이러한 기판 반송 설비는, 액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이에 사용되는 유리 기판 등의 기판을 반송할 때 사용되는 것이다. 기판 반송 설비는, 기판을 복수 개 수납한 기판용 수납 용기를 용기 반송 장치에 의해 지지대에 반송한 후, 지지대에 탑재 지지된 기판용 수납 용기로부터 기판 이송탑재 장치에 의해 기판을 인출하거나, 또는 기판 이송탑재 장치에 의해 지지대에 탑재 지지된 기판용 수납 용기에 기판을 수납한 후, 기판을 복수 개 수납한 기판용 수납 용기를 용기 반송 장치에 의해 지지대로부터 반송하도록 하여, 기판을 반송하도록 구성되어 있다. 그리고, 유리 기판 등의 높은 청정도가 요구되는 기판을 기판용 수납 용기에 수납하는 경우, 기판 수납 공간에 청정 공기를 공급하는 팬 필터 유닛(FFU)을 설치하여, 외부로부터도 기판용 수납 용기 내부의 기판 수납 공간의 청정도를 높게 하는 국소(局所) 클린 기술이 이용되고 있다.

이와 같은 기판용 수납 용기의 종래예가 일본공개특허 제2008-094494호 공보에 기재되어 있다. 일본공개특허 제2008-094494호 공보에 기재되어 있는 기판용 수납 용기는, 출입구 및 기판 수납 공간을 형성하는 용기 본체와, 출입구를 개폐하는 커버가 장착된 커버용 프레임체와, 기판 수납 공간에 청정 공기를 공급하는 팬 필터 유닛이 장착된 FFU용 프레임체로 구성되어 있다. 또한, 용기 본체의 출입구가 형성되는 일단 측에 커버용 프레임체가 분리 가능하게 장착되고, 용기 본체의 타단측에 FFU용 프레임체가 분리 가능하게 장착되어 있다. 그리고, 이 종래예에서는, 지지대는, 기판용 수납 용기의 저부(低部)를 형성하는 용기 본체를 탑재 지지하는 형태로 기판용 수납 용기를 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 용기 반송 장치는, 용기 본체를 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 기판용 수납 용기를 지지대에 반송하도록 구성되어 있다.

또한, 일반적으로, 기판 반송 설비에서는, 기판용 수납 용기의 수납 효율을 높이기 위해 기판끼리의 간격이 좁은 상태로 용기 본체에 수납되어 있다. 또한, 유리 기판 등의 기판은 다른 물품과의 접촉에 의해 파손되기 쉬운 것이다. 따라서, 기판용 수납 용기를 설정 위치로 이동시킬 때의 위치 조정에는 높은 정밀도가 요구된다. 그래서, 일본공개특허 제2008-094494호 공보의 기판 반송 설비에서는, 기판용 수납 용기를 지지대에 탑재 지지시킨 상태에서, 기판용 수납 용기와 맞닿는 것에 의해 기판용 수납 용기의 수평 방향에서의 위치를 기판 이송탑재 장치가 기판을 이송탑재하기 위한 설정 위치로 조정하는 센터링 장치가 설치되어 있었다.

상세하게는, 일본공개특허 제2008-094494호 공보의 센터링 장치는, 평면에서 볼 때 직사각형의 기판용 수납 용기의 하단부에서의 4코너와 맞닿는 것에 의해, 기판용 수납 용기의 수평 방향에서의 위치를 조정함으로써, 기판용 수납 용기를 설정 위치로 조정하도록 구성되어 있다. 구체적으로는, 기판용 수납 용기의 하단부에서의 4코너에는 커버용 프레임체 또는 FFU용 프레임체가 위치하고 있다. 또한, 센터링 장치는, FFU용 프레임체나 커버용 프레임체의 하단부와 맞닿은 것에 의해 기판용 수납 용기의 수평 방향에서의 위치를 조정함으로써, 기판용 수납 용기를 설정 위치에 위치시키도록 구성되어 있다.

일본공개특허 제2008-094494호 공보

[발명이 해결하려고 하는 과제]

본원의 출원인은, 일본특허출원 제2009-244754호에 있어서, 용기 본체를 분리 가능한 기판용 수납 용기로서, 기판용 수납 용기가, 출입구 및 기판 수납 공간을 형성하는 용기 본체와, 이 용기 본체를 탑재 지지하고 또한 팬 필터 유닛이 장착된 탑재 지지체로 구성한 기판용 수납 용기를 제안하고 있다. 이 기판용 수납 용기는, 탑재 지지 부재에 의해 기판용 수납 용기의 저부를 형성하고, 용기 본체가 탑재 지지 부재에 대하여 위쪽으로 분리 가능하고 또한 용기 본체를 분리시켰을 때 탑재 지지 부재가 쉽게 전도(轉到)되지 않아, 용기 본체의 분리를 자동화시키기 쉬운 것으로 되어 있다.

용기 본체와 탑재 지지부재로 구성된 기판용 수납 용기의 수평 방향에서의 위치를, 일본공개특허 제2008-094494호 공보의 센터링 장치에 의해 조절하는 것을 생각할 수 있지만, 센터링 장치는, 기판용 수납 용기의 하단부의 4코너와 맞닿아 기판용 수납 용기의 수평 방향에서의 위치를 조정하는 것이며, 그 기판용 수납 용기의 하단부의 4코너에는 탑재 지지 부재의 4코너가 위치하고 있으므로, 센터링 장치를 탑재 지지 부재의 4코너와 맞닿게 하여 기판용 수납 용기의 위치를 설정 위치로 조정하게 된다.

그러나, 기판용 수납 용기를 용기 본체와 탑재 지지부재로 구성한 것에서는, 반송 중의 진동 등에 의해 용기 본체가 탑재 지지 부재에 대하여 수평 방향으로 어긋나는 경우가 있다. 그러므로, 기판용 수납 용기를 설정 위치로 조절하기 위해 탑재 지지 부재를 적정한 위치로 조정했다고 해도, 탑재 지지부재와 용기 본체와의 사이에서 수평 방향으로 어긋남이 생기고 있으면, 기판 이송탑재 장치가 기판을 이송탑재할 때의 기판 이송탑재용 위치로부터 용기 본체의 위치가 수평 방향으로 어긋나 버린다.

그리고, 용기 본체의 위치가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋난 상태로 기판 이송탑재 장치에 의해 기판을 이송탑재하면, 용기 본체에 수납되어 있는 기판을 인출할 때, 기판 이송탑재 장치가 인출 대상의 기판에 대한 위치가 어긋나게 되어, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재가 확실하게 행해지지 않게 될 우려가 있었다.

본 발명은, 상기한 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재를 확실하게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공하는 점에 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 관한 기판 반송 설비의 특징적인 구성은,

기판이 상하 방향으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수 개의 수납 가능한 공간을 가지는 용기를 기판 이송탑재용 지지대에 반송하는 용기 반송 장치와,

상기 지지대에 탑재 지지된 상기 용기에 대하여, 상기 용기의 측부에 형성된 출입구를 통해 기판을 인출하거나 기판을 수납하기 위해 기판을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치를 포함하는 기판 반송 설비로서,

상기 용기는, 상기 출입구 및 상기 공간을 구비한 용기 본체와, 그 용기 본체를 탑재 지지 가능하고 또한 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상태에서 상기 공간에 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛을 구비한 탑재 지지 부재를 구비하여 구성되며,

상기 용기 반송 장치는, 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상기 탑재 지지 부재를 상기 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 상기 용기를 상기 지지대에 반송하도록 구성되며,

상기 용기를 상기 지지대에 탑재 지지시킨 상태에서 상기 용기 본체와 직접 맞닿는 것에 의해, 상기 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 상기 기판 이송탑재 장치가 기판을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치로 조정하는 위치 조정 수단을 포함하는 점에 있다.

즉, 기판을 수납 가능한 용기는, 용기 본체가 탑재 지지 부재에 대하여 상대적으로 상승되는 것에 의해, 용기 본체를 탑재 지지 부재로부터 분리시킬 수 있다. 또한, 탑재 지지 부재는 용기 본체를 탑재 지지하도록 수평 방향으로 크게 형성되어 있으므로, 용기 본체를 분리시켰을 때 탑재 지지 부재가 쉽게 전도되지 않게 된다.

용기 반송 장치는, 용기 본체를 탑재 지지한 탑재 지지 부재를 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 용기를 지지대에 반송하도록 구성되어 있다. 그리고, 용기 반송 장치에 의해 용기가 지지대에 반송되고, 지지대가 용기의 탑재 지지 부재를 탑재 지지하는 동시에, 위치 조정 수단이 용기 본체와 직접 맞닿아 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정한다. 이와 같이, 기판을 수납 가능한 용기를 지지대에 탑재 지지시킨 상태에서 위치 조정 수단이 용기 본체와 직접 맞닿는 것에 의해, 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 수 있다.

즉, 본 발명의 특징적인 구성에 의하면, 지지대에 탑재 지지되어 있는 탑재 지지 부재의 수평 방향에서의 위치를 조정하지 않고, 기판 이송탑재 장치에 의해 기판이 이송탑재되는 용기 본체의 위치를 위치 조정 수단에 의해 직접 조정한다. 이로써, 용기 본체와 탑재 지지부재와의 사이에 어긋남이 생기고 있어도 용기 본체의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 수 있다. 그러므로, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재를 확실하게 행할 수 있고, 따라서, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재를 확실하게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있기에 이르렀다.

본 발명에 관한 기판 반송 설비의 다른 특징적인 구성은, 상기 위치 조정 수단은, 상기 지지대에 그 지지대로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치된 복수 개의 끼워맞춤부, 상기 용기 본체에 구비된 위쪽으로 오목하게 들어간 피(被)끼워맞춤부, 상기 용기 본체에서의 상기 피끼워맞춤부의 주위에 형성되어 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부에 안내하는 경사면부, 및 상기 끼워맞춤부가 상기 피끼워맞춤부에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태와 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부로부터 아래쪽으로 이격된 이격 상태로 전환하도록 상기 용기 본체와 상기 끼워맞춤부를 상대적으로 승강 이동시키는 승강 조작 수단을 포함하여 구성되어 있는 점에 있다.

즉, 승강 조작 수단에 의해 용기 본체를 끼워맞춤부에 대하여 상대적으로 하강 이동시킴으로써, 피끼워맞춤부로부터 아래쪽으로 이격되어 있던 끼워맞춤부가 피끼워맞춤부에 끼워맞추어져 끼워맞춤 상태로 전환된다. 그리고, 피끼워맞춤부의 주위에, 끼워맞춤부를 피끼워맞춤부에 안내하는 경사면부가 형성되어 있으므로, 승강 조작 수단에 의해 이격 상태로부터 끼워맞춤 상태로 전환할 때, 용기 본체가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있고, 피끼워맞춤부의 위치가 끼워맞춤부의 바로 위로부터 수평 방향으로 어긋나 위치하고 있는 경우라도, 끼워맞춤부가 경사면부와 맞닿으면서 상대적으로 상승 이동함으로써, 피끼워맞춤부가 끼워맞춤부의 바로 위에 위치하도록 용기 본체가 기판 이송탑재용 위치로 이동하여 끼워맞춤부가 피끼워맞춤부에 끼워맞추어진다. 이와 같이, 위치 조정 수단은, 용기 본체가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에, 경사면부의 작용에 의해, 용기 본체의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 수 있는 동시에, 끼워맞춤부의 피끼워맞춤부에 대한 끼워맞춤에 의해, 기판용 이송탑재 위치로 조정된 용기 본체의 위치를 그 위치에 유지할 수 있다.

본 발명에 관한 기판 반송 설비의 또 다른 특징적인 구성은, 상기 끼워맞춤부는, 상기 지지대에 고정 상태로 설치되고, 상기 용기 반송 장치는, 상기 승강 조작 수단을 겸용하고 있는 점에 있다.

즉, 용기 반송 장치에 의해, 용기 본체를 탑재 지지한 탑재 지지 부재를 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시킴으로써, 용기 본체가 끼워맞춤부에 대하여 하강 이동하여 끼워맞춤 상태로 전환할 수 있다. 또한, 용기 반송 장치에 의해, 용기 본체를 탑재 지지한 탑재 지지 부재를 지지대로부터 떠올림으로써, 용기 본체가 끼워맞춤부에 대하여 상승 이동하여 이격 상태로 전환할 수 있다. 따라서, 용기 본체와 끼워맞춤부를 상대적으로 승강 이동시키는 전용의 수단을 구비할 필요가 없어, 기판 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.

본 발명에 관한 기판 반송 설비의 또 다른 특징적인 구성은,

상기 탑재 지지 부재에, 그 탑재 지지 부재로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 걸어맞춤부가 복수 개 설치되고,

상기 용기 본체에, 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성되어, 상기 탑재 지지 부재에 의해 상기 용기 본체를 탑재 지지하고 있는 상태로 상기 걸어맞춤부가 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 복수 개 설치되고,

상기 복수 개의 끼워맞춤부의 각각은, 상기 승강 조작 수단에 의해 상기 이격 상태로부터 상기 끼워맞춤 상태로 전환됨에 따라 상기 피끼워맞춤부를 캐치(catch)하여 지지한 상태에서 상기 용기 본체를 상기 탑재 지지 부재에 대하여 들어올리거나, 또는 상기 끼워맞춤 상태에 있어서, 상기 걸어맞춤부는 상기 피걸어맞춤부보다 아래쪽으로 이격된 상태로 상기 용기 본체를 지지하도록 구성되어 있는 점에 있다.

즉, 용기 본체를 탑재 지지 부재에 탑재 지지시킨 상태에서는 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부에 걸어맞추어져 있고, 용기 본체가 탑재 지지 부재에 대하여 수평 방향으로 이동하는 것이 규제되어 있다. 따라서, 용기 반송 장치에 의해 용기를 반송할 때 용기 본체가 탑재 지지 부재로부터 낙하하는 것 등을 미연에 방지할 수 있다.

또한, 끼워맞춤 상태로 전환한 상태에서는, 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부보다 아래쪽으로 이격되어 있고 걸어맞춤부와 피걸어맞춤부와의 걸어맞춤이 벗어난 상태이므로, 용기 본체는 탑재 지지 부재에 대하여 수평 방향으로 이동 가능한 상태로 되어 있다. 따라서, 위치 조정 수단에 의해 용기 본체의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 때, 탑재 지지 부재를 수평 방향으로 너무 이동시키지 않고 용기 본체의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 수 있다. 따라서, 탑재 지지 부재가 용기 반송 장치나 지지대 상에서 수평 방향으로 슬라이드 이동하는 것에 의한 먼지의 발생을 억제할 수 있다.

본 발명은, 기판 이송탑재 장치에 의한 기판의 이송탑재를 확실하게 행할 수 있는 기판 반송 설비를 제공할 수 있다.

도 1은 기판 반송 설비의 측면도이다.
도 2는 기판 반송 설비의 평면도이다.
도 3은 기판 이송탑재 로봇의 정면도이다.
도 4는 기판용 수납 용기의 사시도이다.
도 5는 용기 본체의 사시도이다.
도 6은 탑재 지지 부재의 사시도이다.
도 7은 기판용 수납 용기를 지지대의 위쪽에 위치시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 8은 기판용 수납 용기를 지지대에 탑재 지지시킨 상태를 나타낸 사시도이다.
도 9는 끼워맞춤 상태와 이격 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은 다른 실시예 1의 끼워맞춤 상태와 이격 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명의 기판 반송 설비에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비는, 기판(1)을 수용 가능한 용기[기판용 수납 용기(2)]를 지지대(8)에 반송하는 용기 반송 장치로서의 스태커 크레인(7)과, 기판용 수납 용기(2)의 측부에 형성된 출입구(21)를 통해 기판(1)을 인출하거나 또는 기판(1)을 수납하기 위해 기판(1)을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치로서의 기판 이송탑재 로봇(11)을 구비한다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비는, 위치 조정 수단(51)을 구비한다.

구체적으로는, 기판 반송 설비는, 기판용 수납 용기(2)를 수납하는 수납 선반(10)과 기판 이송탑재용 지지대(8)와의 사이나, 수납 선반(10)과 용기 이탈용의 탑재대(9)와의 사이에서 기판용 수납 용기(2)를 반송하는 용기 반송 장치로서의 스태커 크레인(7), 기판 이송탑재용 지지대(8)에 탑재 지지된 기판용 수납 용기(2)에 대하여, 기판용 수납 용기(2)의 측부에 형성된 출입구(21)를 통해 기판(1)을 인출하거나, 또는 기판(1)을 수납하기 위해 기판(1)을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치로서의 기판 이송탑재 로봇(11), 및 탑재대(9)에 탑재 지지된 기판용 수납 용기(2)로부터 용기 본체(3)를 분리시키는 용기 분리 장치(12)를 구비한다.

또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비는, 클린 공간(13)에 설치되어 있고, 천정부로부터 바닥부에 청정 공기를 통풍시키는 다운플로우식(downflow type)의 청정 공기 통풍 수단(14)을 구비한다. 이 청정 공기 통풍 수단(14)은, 바닥부를 구성하는 그레이팅 바닥(15)의 아래쪽 공간과 천정부를 구성하는 에어 필터(16)의 위쪽 공간을, 통풍 팬(17) 및 프리필터(18)를 구비한 순환로(19)에 의해 연통시키고 있다. 즉, 청정 공기 통풍 수단(14)은, 클린 공간(13) 내의 공기를, 프리필터(18)와 에어 필터(16)로 청정화시키면서 순환로(19)를 사용하여 순환시켜, 청정 공기를 클린 공간(13)의 천정부로부터 바닥부로 통풍시키도록 구성되어 있다.

〔기판용 수납 용기〕

도 4에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에 있어서 반송되는 기판용 수납 용기(2)는, 기판(1)을 상하 방향으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수 개의 수납 가능한 공간(기판 수납 공간 S)을 구비한다. 기판용 수납 용기(2)는, 기판(1)이 출입하는 출입구(21) 및 내부에 기판 수납 공간 S를 가지는 용기 본체(3)와, 그 용기 본체(3)를 탑재 지지 가능하고 또한 용기 본체(3)를 탑재 지지한 상태로 기판 수납 공간 S에 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛(5)(도 6 참조)을 가지는 탑재 지지 부재(4)를 구비하여 구성되어 있다. 용기 본체(3)와 탑재 지지 부재(4)는 분리 가능하다.

도 5의 (a)는, 전방측 좌측 경사 위쪽으로부터의 용기 본체(3)의 사시도를 나타내고, 용기 본체(3)의 일부를 잘라내어 나타낸 것이다. 또한, 도 5의 (b)는, 후방측 좌측 경사 아래쪽으로부터의 용기 본체(3)의 사시도를 나타내고 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(3)는, 그 측부에 기판(1)을 출입시키기 위한 출입구(21)와 팬 필터 유닛(5)에 의해 공급되는 청정 공기를 기판 수납 공간 S에 급기하기 위한 급기구(22)를 가진다. 출입구(21)는 용기 본체(3)의 전방부에 형성되고, 급기구(22)는 용기 본체(3)의 후방부에 형성되어 있다. 용기 본체(3)에 있어서, 출입구(21)와 급기구(22)는 서로 대향하는 위치에 형성되어 있다.

용기 본체(3)는, 복수 개의 프레임재를 사각기둥형으로 프레임 조립하여 본체 프레임(23)을 형성하고, 그 본체 프레임(23)의 상부와 좌우의 가로측부를 측판(24)에 의해 폐색(閉塞)함으로써 문형(門型)으로 형성되어 있다. 용기 본체(3)의 전방부는, 측판(24)에 의해 폐색되어 있지 않고, 그 전방부에는 출입구(21)가 형성되어 있다. 용기 본체(3)의 후방부도, 측판(24)에 의해 폐색되어 있지 않고, 그 후방부에는 급기구(22)가 형성되어 있다. 용기 본체(3)의 하부는, 하부 형성용의 프레임재(23a)를 격자형으로 배열하여 구성되어 있다. 용기 본체(3)의 하부는, 측판(24)에 의해 폐색되어 있지 않고 개구되어 있지만, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(3)를 아래쪽으로부터 탑재 지지 부재(4)에 의해 탑재 지지시킨 상태에서는 그 탑재 지지 부재(4)에 의해 폐색된다.

즉, 용기 본체(3)는, 팬 필터 유닛(5)에 의해 공급되는 청정 공기를 급기구(22)로부터 급기하고, 기판 수납 공간 S 내를 후방측으로부터 전방측으로 청정 공기를 통기시켜, 출입구(21)로부터 청정 공기를 배기시키도록 구성되어 있다. 그리고, 기판 수납 공간 S 내를 후방측으로부터 전방측으로 청정 공기를 통기시킴으로써, 그 기류에 의해 기판(1)에 먼지가 부착되는 것을 방지하는 동시에, 출입구(21)로부터 청정 공기를 배기시킴으로써 출입구(21)로부터 기판 수납 공간 S로의 먼지의 침입이 방지되고 있다.

또한, 용기 본체(3)의 내부에는, 기판 수납 공간 S에 있어서 복수 개의 기판(1)을 탑재 지지하기 위한 기판 지지체(25)가 설치되어 있다. 이 기판 지지체(25)는, 용기 본체(3)의 본체 프레임(23)에 지지되어 있다. 또한, 기판 지지체(25)는, 상하 방향으로 간격을 두고 배열된 복수 개의 기판(1)의 매수에 따라 상하 방향으로 복수 개 배열되어 형성되어 있고, 복수 개의 기판 지지체(25)의 각각은, 가로 방향으로 배열된 복수 개의 봉재(棒材)에 의해 구성되어 있다. 또한, 용기 본체(3)의 내부 공간에 의해 기판 수납 공간 S가 형성되어 있다.

도 6의 (a)는, 전방측 좌측 경사 위쪽으로부터의 탑재 지지 부재(4)의 사시도이며, 도 6의 (b)는, 후방측 좌측 경사 아래쪽으로부터의 탑재 지지 부재(4)의 사시도이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지 부재(4)는, 용기 본체(3)를 탑재 지지하는 지지 부분(27)과, 그 지지 부분(27)에 의해 용기 본체(3)를 탑재 지지한 상태에 있어서 급기구(22)와 대향하는 위치에 팬 필터 유닛(5)을 위치시키도록 팬 필터 유닛(5)이 장착된 장착 부분(28)을 구비하여 구성되어 있다. 또한, 탑재 지지 부재(4)의 지지 부분(27)은, 탑재 지지한 용기 본체(3)가 지지 부분(27)으로부터 가로 방향으로 돌출되지 않도록, 평면에서 볼 때의 크기가 용기 본체(3)보다 대형으로 형성되어 있다.

탑재 지지 부재(4)의 지지 부분(27)은, 프레임재를 평면에서 볼 때 직사각형의 격자형으로 프레임 조립하여 지지 프레임(29)을 형성하고, 그 지지 프레임(29)에 바닥판(30)을 장착하여 평판형으로 구성되어 있다. 또한, 탑재 지지 부재(4)의 장착 부분(28)은, 지지 부분(27)의 후단부로부터 세워 설치되는 상태로 지지 부분(27)과 연결되고, 또한 탑재 지지 부재(4)의 장착 부분(28)에는, 팬 필터 유닛(5)이 기립 자세로 용기 가로폭 방향으로 배열된 상태로 3대 장착되어 있다. 그리고, 탑재 지지 부재(4)는, 측면에서 볼 때 「-(마이너스)」형의 지지 부분(27)과 측면에서 볼 때 알파벳의 「I」자형의 장착 부분(28)이 조합된, 측면에서 볼 때 알파벳의 「L」자형으로 형성되어 있다. 바닥판(30)은, 가로폭 방향으로 4매 배열되고, 그 열을 전후 방향으로 3열 배열되도록 합계 12매 장착되어 있다.

지지 부분(27)에는 개구부(31)가 형성되어 있다. 구체적으로는, 지지 부분(27)에는, 배열된 바닥판(30) 중 3열 각각에 있어서 가로폭 방향의 양단에 위치하는 2개의 바닥판(30)에 형성하는 형태로 후술하는 승강식 지지체(47)가 상하 방향으로 삽입 및 이탈 가능한 개구부(31)가 형성되어 있다. 이와 같이 형성된 개구부(31)는, 용기 가로폭 방향으로 간격을 두고 2열 형성되어 있고, 그 각각이, 용기 전후 방향에 따른 형상으로 형성되어 있다. 탑재 지지 부재(4)에서의 2열의 개구부(31) 사이에 위치하는 부분은 스태커 크레인(7)에 의해 탑재 지지된다. 개구부(31)의 용기 가로폭 방향 외측에 위치하는 부분은 수납 선반(10)에 수납될 때 지지되고, 또한 지지대(8)나 탑재대(9)에 탑재했을 때 탑재 지지된다.

장착 부분(28)에는, 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지된 용기 본체(3)의 후단부를 덮는 후드부(32)가 설치되어 있다. 이 후드부(32)는, 용기 본체(3)의 후단부에서의 좌우의 옆쪽 및 위쪽을 덮는 형상으로 형성되어 있다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(3)가 지지 부분(27)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 용기 본체(3)의 상부와 후드부(32)의 위쪽 부분과의 사이에 상하 방향의 간극이 형성되어 있다. 이 간극이 형성되어 있는 것에 의해, 도 8에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지 부재(4)에 대하여 용기 본체(3)를 위쪽측으로 분리시킬 때, 용기 본체(3)가 후드부(32)와 접촉되지 않도록 되어 있다.

도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 탑재 지지 부재(4)의 아래쪽 면에는, 비접촉 급전 장치(33)의 수전부[受電部(33a)]가 설치되어 있다. 기판용 수납 용기(2)가 수납 선반(10)에 수납된 상태에서는, 수납 선반(10)에 설치된 비접촉 급전 장치(33)의 급전부[(33b) 도 1 참조]로부터 공급된 전력에 의해 팬 필터 유닛(5)이 작동된다. 또한, 탑재 지지 부재(4)에는, 수전부(33a)에 공급된 전력을 저장하는 배터리(도시하지 않음)도 설치되어 있다. 따라서, 기판용 수납 용기(2)를 스태커 크레인(7)에 의해 반송하고 있는 동안 등, 수전부(33a)가 급전부(33b)로부터 이격되어 급전부(33b)를 통하여 기판용 수납 용기(2)에 전력이 공급되지 않게 되는 상태에서는, 배터리에 저장된 전력에 의해 팬 필터 유닛(5)을 작동시킬 수 있다.

기판용 수납 용기(2)는, 용기 본체(3)가 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 탑재 지지 부재(4)에 대한 용기 본체(3)의 수평 방향에 대한 이동을 규제하는 규제 수단(34)을 가진다. 구체적으로는, 탑재 지지 부재(4)에는, 그 탑재 지지 부재(4)의 상면으로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 걸어맞춤부로서의 위치결정핀(34a)이 복수 개 형성되고, 용기 본체(3)에는, 위쪽으로 오목하게 들어간 형상[즉, 위쪽이 저면(底面)으로서 닫히고, 아래쪽을 향해 개방된 형상]으로 형성되어, 탑재 지지 부재(4)에 의해 용기 본체(3)를 탑재 지지하고 있는 상태에서 위치결정핀(34a)이 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부로서의 걸어맞춤용 오목부(34b)가 복수 개 형성된다. 그리고, 탑재 지지 부재(4)에 용기 본체(3)를 탑재했을 때 걸어맞춤용 오목부(34b)에 위치결정핀(34a)이 걸어맞추어짐으로써, 탑재 지지 부재(4)에 대한 용기 본체(3)의 수평 방향의 이동이 규제된다. 즉, 규제 수단(34)은, 위치 결정핀(34a)과 걸어맞춤용 오목부(34b)로 구성된다.

용기 본체(3)의 하부 형성용의 프레임재(23a)는, 그 일부의 용기 전후 방향에 따른 프레임재[(23a) 도 5의 (b)]에 있어서 가상선으로 나타낸 프레임재(23a)가 탑재 지지 부재(4)에 용기 본체(3)를 탑재 지지시킨 상태에 있어서 탑재 지지 부재(4)에 형성된 개구부(31)의 바로 위에 위치하도록 설치되어 있다. 그리고, 개구부(31)에 삽입된 후술하는 승강식 지지체(47)에 의해 하부 형성용의 프레임재(23a)가 캐치하여 지지하는 상태로 용기 본체(3)가 들어올려지도록 구성되어 있다. 그리고, 용기 본체(3)는, 개구부(31)에 삽입된 승강식 지지체(47)에 의해 하부 형성용의 프레임재(23a)가 캐치하여 지지하는 상태로 탑재 지지 부재(4)에 대하여 위쪽측으로 분리 가능하게 구성되어 있다.

〔스태커 크레인〕

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판용 수납 용기(2)를 수납하는 수납부(10a)를 상하 방향 및 선반 가로폭 방향으로 병설한 수납 선반(10)이 서로 대향하는 상태로 한쌍 설치되어 있다. 이 한쌍의 수납 선반(10) 사이에 스태커 크레인(7)이 설치되어 있다. 스태커 크레인(7)은, 한쌍의 수납 선반(10) 사이에 형성된 주행 경로(36)를 그 길이 방향을 따라 주행 이동하는 주행 캐리지(37)와, 주행 캐리지(37)에 세워 설치된 승강 마스트에 승강 가능하게 안내 지지되는 승강대(38)와, 승강대(38)에 지지된 포크식의 이송탑재 장치(39)를 구비하여 구성되어 있다. 이송탑재 장치(39)는, 기판용 수납 용기(2)에서의 탑재 지지 부재(4)를 탑재 지지하도록 구성되어 있다. 또한, 이송탑재 장치(39)는, 한쌍의 수납 선반(10)과 한쌍의 수납 선반(10) 자체와의 사이나, 지지대(8)와 지지대(8) 자체와의 사이나, 탑재대(9)와 탑재대(9) 자체와의 사이에서 기판용 수납 용기(2)를 이송탑재 가능하고, 또한 세로축심 주위로 선회(旋回) 가능하게 구성되어 있다. 수납 선반(10)의 수납부(10a)에는, 팬 필터 유닛(5)이 장착되어 있는 후단부를 출입구(21)가 형성되어 있는 전단부보다 주행 경로(36) 측에 위치시키는 상태로 기판용 수납 용기(2)가 수납되어 있다.

스태커 크레인(7)은, 주행 경로(36)와 인접하는 상태로 설치된 지지대(8)에 기판용 수납 용기(2)를 반송 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 스태커 크레인(7)은, 이송탑재 장치(39)를 선회시킴으로써 반송하고 있는 기판용 수납 용기(2)의 방향을 180°변경 가능하게 구성되어 있다. 또한, 스태커 크레인(7)은, 반송선(搬送先)의 지지대(8)의 위치가 반송원(搬送元)의 수납부(10a)의 위치에 대하여 주행 경로(36)의 반대측에 위치하는 경우에는 이송탑재 장치(39)의 선회에 의해 기판용 수납 용기(2)의 방향을 180°변경시켜 지지대(8)에 반송할 수도 있고, 및 반송선의 지지대(8)의 위치가 반송원의 수납부(10a)의 위치에 대하여 주행 경로(36)의 같은 측에 위치하는 경우에는 기판용 수납 용기(2)의 방향을 변경하지 않고 지지대(8)에 반송할 수도 있다. 따라서, 스태커 크레인(7)은, 지지대(8)에 대하여 기판용 수납 용기(2)를 받아건넬 때는, 기판용 수납 용기(2)의 후단부를 전단부보다 주행 경로(36) 측에 위치시키는 상태로 받아 건넬 수 있다. 탑재대(9)에 대해서도, 지지대(8)의 경우와 마찬가지로 스태커 크레인(7)에 의해 기판용 수납 용기(2)가 반송된다.

〔기판 이송탑재 로봇〕

도 1~도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 이송탑재 로봇(11)은, 수납 선반(10)의 배면측을 선반 가로폭 방향을 따라 이동하는 이동 캐리지(41)와, 그 이동 캐리지(41)에 승강 및 회전 가능하게 지지된 승강 회전부(42)와, 그 승강 회전부(42)에 링크 기구(44)를 통하여 연결된 포크형의 기판 지지부(43)를 구비하여 구성되어 있다.

기판 이송탑재 로봇(11)은, 승강 회전부(42)의 승강 및 회전과 링크 기구(44)의 신축에 의해, 지지대(8)에 탑재 지지된 기판용 수납 용기(2)로부터 기판 반송 컨베이어(45)의 수납 선반측 단부에 기판(1)을 1매씩 이송탑재하고, 및 기판 반송 컨베이어(45)의 수납 선반측 단부의 기판(1)을 지지대(8)에 탑재 지지된 기판용 수납 용기(2)에 1매씩 이송탑재하도록 구성되어 있다. 기판용 수납 용기(2)에 있어서, 가로폭 방향으로 인접하는 기판 지지체(25)끼리의 사이이며 또한 상하 방향으로 인접하는 기판(1)끼리의 사이에, 기판 지지부(43)를 삽입 및 인출 가능한 스페이스가 형성되어 있다. 따라서, 이 기판 지지부(43)를 삽입 및 인출 가능한 스페이스에 기판 지지부(43)를 삽입 및 인출시켜, 기판용 수납 용기(2)로부터 기판(1)을 1매씩 인출하거나 기판용 수납 용기(2)에 기판(1)을 1매씩 수납할 수 있도록 되어 있다.

기판 반송 컨베이어(45)는, 기판(1)의 가로폭 방향의 양 단부를 회전 롤러에 의해 지지하여, 그 회전 롤러를 회전 구동시킴으로써 기판(1)을 반송하도록 구성되어 있다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에서는, 기판 반송 컨베이어(45)는 2개 설치되어 있다. 한쪽의 기판 반송 컨베이어(45)는, 기판 이송탑재 로봇(11)으로부터 수취한 기판(1)을 기판 처리 장치(도시하지 않음)를 향해 반송하는 미처리용의 기판 반송 컨베이어(45)이다. 다른 쪽의 기판 반송 컨베이어(45)는, 기판 처리 장치로부터 반출된 기판(1)을 수납 선반(10) 측을 향해 반송하는 처리 완료용의 기판 반송 컨베이어(45)이다.

〔용기 분리 장치〕

도 1에 나타낸 바와 같이, 용기 분리 장치(12)는, 용기 본체(3)를 수평 방향으로 탑재 반송 가능하고 또한 승강 가능한 승강식 지지체(47)와, 이 승강식 지지체(47)를 승강 이동시키는 전동식 실린더 등으로 구성된 승강 수단(48)을 구비하여 구성되어 있다.

용기 분리 장치(12)는, 기판용 수납 용기(2)가 탑재대(9)에 의해 탑재 지지되어 있는 상태에서, 승강 수단(48)에 의해 승강식 지지체(47)를 상승 이동시킴으로써, 승강식 지지체(47)가 탑재 지지 부재(4)의 개구부(31)에 아래쪽측으로부터 삽통(揷通)되어 용기 본체(3)를 위쪽측으로 들어올려, 용기 본체(3)를 탑재 지지 부재(4)에 대하여 위쪽측으로 분리시킬 수 있다. 이 분리시킨 상태에서는, 용기 본체(3)의 하면이, 탑재 지지 부재(4)에 설치되는 위치결정핀(34a)의 상단보다 위쪽에 위치하고 있고, 용기 본체(3)는 규제 수단(34)에 의해 규제되지 않고 탑재 지지 부재(4)에 대하여 수평 방향으로 반송 가능한 상태로 되어 있다.

또한, 탑재 지지 부재(4)가 탑재대(9)에 의해 탑재 지지되고 또한 용기 본체(3)가 승강식 지지체(47)에 의해 탑재 지지되어 있는 상태에서, 승강 수단(48)에 의해 승강식 지지체(47)를 하강 이동시킴으로써, 위치결정핀(34a)이 걸어맞춤용 오목부(34b)에 걸어맞추어지도록 용기 본체(3)가 탑재 지지 부재(4) 상으로 상승하고, 승강식 지지체(47)가 탑재 지지 부재(4)의 개구부(31)로부터 아래쪽측으로 빠져나오게 된다. 이와 같이, 탑재 지지 부재(4) 상으로 상승한 용기 본체(3)는 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지되어 탑재 지지 부재(4)와 결합된다.

그리고, 승강식 지지체(47)는, 상승 이동한 상태에서 용기 본체(3)를 수평 방향으로 탑재 반송함으로써, 인접하는 용기 반송 컨베이어(49)와의 사이에서 용기 본체(3)를 교환 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 용기 반송 컨베이어(49)는 용기 본체(3)를 세정하는 도시하지 않은 세정 장치에 용기 본체(3)를 반송한다.

〔규제 수단〕

규제 수단(34)은, 전술한 바와 같은 위치결정핀(34a)과 걸어맞춤용 오목부(34b)를 구비하여 구성되어 있다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 위치결정핀(34a)은, 탑재 지지 부재(4)의 지지 부분(27)의 전단부에서의 가로폭 방향의 중앙부에 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 설치되고, 또한 지지 부분(27)의 후단부에서의 가로폭 방향의 중앙부에 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 설치되어 있다. 이들 합계 4개의 위치결정핀(34a)의 각각은, 탑재 지지 부재(4)의 지지 프레임(29)에 연결 지지되는 상태로 설치되어 있다. 예를 들면, 지지 프레임(29)의 일부가 바닥판(30) 측으로 부분적으로 길게 돌출되고, 그 길게 돌출된 부분에 위치결정핀(34a)이 설치되어 있다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 이들 합계 4개의 위치결정핀(34a)의 각각은, 원기둥 형상으로 형성되고 또한 상단부는 끝이 가는(衰退) 형상으로 형성되어 있다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 걸어맞춤용 오목부(34b)는, 용기 본체(3)의 하면의 전단부에서의 가로폭 방향의 중앙부에 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 설치되고, 또한 용기 본체(3)의 하면의 후단부에서의 가로폭 방향의 중앙부에 가로폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한쌍 설치되어 있다. 이들 합계 4개소의 걸어맞춤용 오목부(34b)의 각각은, 탑재 지지 부재(4)의 적정한 개소에 용기 본체(3)를 탑재 지지시킨 상태에서 위치결정핀(34a)이 걸어맞추어지도록, 위치결정핀(34a)의 설치 위치에 대응하여 형성되어 있다. 또한, 걸어맞춤용 오목부(34b)의 각각은 원통형의 구멍으로 형성되어 있다.

걸어맞춤용 오목부(34b)의 각각의 직경은, 걸어맞추어지는 위치결정핀(34a)의 직경보다 약간 크고, 위치결정핀(34a)을 걸어맞춤용 오목부(34b)에 걸어맞춘 상태로 위치결정핀(34a)의 측면과 걸어맞춤용 오목부(34b)의 측면과의 사이에 간극이 형성되도록 되어 있다. 규제 수단(34)은, 위치결정핀(34a)을 걸어맞춤용 오목부(34b)에 걸어맞춘 상태에 있어서, 이 간극분만큼, 탑재 지지 부재(4)에 대한 용기 본체(3)의 수평 방향에 대한 이동을 허용하도록 구성되어 있다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 걸어맞춤용 오목부(34b)의 각각의 주위에는, 위치결정핀(34a)을 걸어맞춤용 오목부(34b)에 안내하는 걸어맞춤용 경사면(35)이 원뿔형으로 형성되어 있다.

그리고, 용기 본체(3)를 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지시킨 상태에 있어서, 탑재 지지 부재(4)의 지지 부분(27)의 상면과 위치결정핀(34a)의 상단과의 상하 방향의 간격보다, 용기 본체(3)의 하면과 걸어맞춤용 오목부(34b)의 저면(즉, 위쪽의 닫힌 면)과의 상하 방향의 간격이 넓어지도록, 위치결정핀(34a)의 길이 및 걸어맞춤용 오목부(34b)의 깊이가 설정되어 있다. 즉, 용기 본체(3)를 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지시킨 상태에서는, 걸어맞춘 위치결정핀(34a)의 상단은 걸어맞춤용 오목부(34b)의 저면과 접촉되고 있지 않다. 또한, 용기 본체(3)의 하면은 용기 본체(3)를 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지시킨 상태에서 지지 부분(27)의 상면과 접촉하는 면이다.

〔위치 조정 수단〕

다음에, 위치 조정 수단(51)에 대하여 설명한다.

기판 반송 설비는, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태에서 용기 본체(3)와 직접 맞닿는 것에 의해, 용기 본체(3)의 수평 방향에서의 위치를, 기판 이송탑재 로봇(11)이 기판(1)을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치로 조정하는 위치 조정 수단(51)을 구비한다.

도 9 및 도 10에 나타낸 바와 같이, 위치 조정 수단(51)은, 지지대(8)에 그 지지대(8)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치된 복수 개의 끼워맞춤부로서의 조정핀(52), 용기 본체(3)에 설치된 위쪽으로 오목하게 들어간(즉, 위쪽이 저면으로서 닫히고, 아래쪽을 향해 개방된) 피끼워맞춤부로서의 끼워맞춤용 오목부(53), 용기 본체(3)에서의 끼워맞춤용 오목부(53)의 주위에 형성되어 조정핀(52)을 끼워맞춤용 오목부(53)에 안내하는 경사면부로서의 끼워맞춤용 경사면(54), 및 조정핀(52)이 용기 본체(3)의 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태와 조정핀(52)이 용기 본체(3)의 끼워맞춤용 오목부(53)로부터 아래쪽으로 이격되는 이격 상태로 전환되도록 용기 본체(3)와 조정핀(52)을 상대적으로 승강 이동시키는 승강 조작 수단(56)[본 실시예에서는, 스태커 크레인(7)]을 구비하여 구성되어 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 조정핀(52)은, 지지대(8)의 4코너에 고정 상태로 설치되어 있다. 구체적으로는, 지지대(8)에, 탑재 지지하는 기판용 수납 용기(2)의 4코너에 대응하여 4개의 지주(8a)가 설치되어 있다. 4개의 지주(8a)의 각각의 상단부에, 기판용 수납 용기(2)의 코너부를 별개로 탑재 지지하는 지지판(8b)이 장착되어 있다. 그리고, 조정핀(52)은, 지지판(8b)의 평탄하게 형성된 상면의 각각에 고착되어, 지지대(8)의 4코너에 지지대(8)로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 고정 설치되어 있다. 또한, 도 9에 나타낸 바와 같이, 조정핀(52)은, 원기둥 형상으로 형성되고, 또한 상단부는 끝이 가는 형상으로 형성되어 있다.

끼워맞춤용 오목부(53)는, 용기 본체(3)의 하면의 4코너에 형성되어 있고, 이들 합계 4개소의 끼워맞춤용 오목부(53)의 각각은, 용기 본체(3)의 수평 방향에서의 위치가 기판(1)을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치에 위치시킨 상태에서 조정핀(52)이 걸어맞추어지도록, 조정핀(52)의 설치 위치에 대응하여 형성되어 있다. 또한, 끼워맞춤용 오목부(53)의 각각은, 조정핀(52)의 형상에 대응한 형상으로 형성되어 있다. 예를 들면, 끼워맞춤용 오목부(53)의 각각은, 하부(오목부의 개구 부분 근방)가 원통형상으로 형성되고, 상부(오목부의 바닥 부분 근방)가 위쪽측으로 갈수록 직경이 작아지는 끝이 가는 형상으로 형성되어 있다.

끼워맞춤용 오목부(53)의 각각의 직경은, 걸어맞추어지는 조정핀(52)의 직경과 거의 같은 크기이다. 조정핀(52)을 끼워맞춤용 오목부(53)에 걸어맞춘 상태에서, 조정핀(52)의 측면과 끼워맞춤용 오목부(53)의 측면과의 사이에 간극이 거의 형성되지 않도록 되어 있다. 위치 조정 수단(51)은, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어진 상태에서는, 용기 본체(3)가 지지대(8)에 대한 수평 방향에 대한 이동이 거의 허용되지 않고, 용기 본체(3)의 위치를 기판 이송탑재용 위치에 확실하게 위치시킬 수 있도록 구성되어 있다.

기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태에서의 지지대(8)의 상면과 조정핀(52)의 상단과의 상하 방향의 간격보다, 탑재 지지 부재(4)에 용기 본체(3)를 탑재 지지한 상태에서의 탑재 지지 부재(4)의 하면과 끼워맞춤용 오목부(53)의 저면과의 상하 방향의 간격이 좁아지도록, 조정핀(52)의 길이 및 끼워맞춤용 오목부(53)의 깊이가 설정되어 있다. 즉, 도 9의 (b)에 나타낸 바와 같이, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태에서는, 기판용 수납 용기(2)에서의 탑재 지지 부재(4)만이 지지대(8)에 탑재 지지되고, 용기 본체(3)는 조정핀(52)에 의해 지지된다. 또한, 탑재 지지 부재(4)의 하면은, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태로 지지판(8b)의 상면과 접촉하는 면이다.

도 9에 나타낸 바와 같이, 복수 개의 조정핀(52)의 각각은, 스태커 크레인(7)에 의해 이격 상태로부터 끼워맞춤 상태로 전환됨에 따라 끼워맞춤용 오목부(53)를 캐치하여 지지한 상태[즉, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어진 상태]에서 용기 본체(3)를 탑재 지지 부재(4)에 대하여 들어올린다. 즉, 도 9의 (b)에 나타낸 바와 같이, 조정핀(52)이 용기 본체(3)의 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태에서는, 위치결정핀(34a)이 걸어맞춤용 오목부(34b)보다 아래쪽으로 이격된 상태(비걸어맞춤 상태)로 되어 있다. 그리고, 이 상태에서 조정핀(52)이 용기 본체(3)를 아래쪽으로부터 지지하고 있다. 따라서, 끼워맞춤 상태로 전환되어 용기 본체(3)가 조정핀(52)에 의해 지지된 상태에서는, 용기 본체(3)의 하면이 위치결정핀(34a)의 상단보다 위쪽에 위치하고 있고, 용기 본체(3)는 규제 수단(34)에 의해 규제되지 않고 탑재 지지 부재(4)에 대하여 수평 방향으로 이동 가능한 상태로 되어 있다.

끼워맞춤용 경사면(54)은, 끼워맞춤용 오목부(53)의 각각의 주위에 형성되어 있고, 위쪽측으로 갈수록 직경이 작아지는 원뿔형으로 형성되어 있다. 즉, 용기 본체(3)를 조정핀(52)에 대하여 하강 이동시켜 이격 상태로부터 끼워맞춤 상태로 전환할 때, 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있고, 끼워맞춤용 오목부(53)의 위치가 조정핀(52)의 바로 위로부터 수평 방향으로 어긋나 위치하고 있는 경우라도, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 경사면(54)과 맞닿은 상태[즉, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 경사면(54)과 맞닿으면서 안내된 상태]로 상대적으로 상승 이동한다. 따라서, 끼워맞춤용 오목부(53)가 조정핀(52)의 바로 위에 위치하도록 용기 본체(3)가 안내되어 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로 이동하고, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어진다. 이와 같이, 위치 조정 수단(51)은, 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있어도, 끼워맞춤용 경사면(54)의 작용에 의해 용기 본체(3)의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정하도록 기능한다.

탑재 지지 부재(4)에는, 끼워맞춤용 오목부(53)에 대응한 개소에 형성되어 조정핀(52)이 상하 방향으로 삽입 및 이탈 가능한 트인 구멍부(55)가 형성되어 있다. 이 트인 구멍부(55)는, 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지된 용기 본체(3)가 탑재 지지 부재(4) 상의 적정한 위치(위치결정핀의 중심과 걸어맞춤용 오목부의 중심이 일치하는 위치)에 위치하는 상태에 있어서 끼워맞춤용 오목부(53)의 바로 아래에 위치하는 개소에 형성되어 있고, 평면에서 볼 때 원형의 구멍으로 형성되어 있다. 또한, 트인 구멍부(55)는, 위치 결정핀(34a)이 걸어맞춤용 오목부(34b)에 걸어맞추어져 있는 상태에서 용기 본체(3)가 탑재 지지 부재(4) 상의 적정한 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우라도, 조정핀(52)의 상단부가 끼워맞춤용 경사면(54)의 외주 에지부에 접촉 가능하도록, 끼워맞춤용 경사면(54)의 하단부의 직경보다 직경이 크게 형성되어 있다. 또한, 끼워맞춤용 경사면(54)의 하단부의 직경은, 스태커 크레인(7)에 의한 지지대(8)로의 반송 정밀도에 의해 생기는 기판용 수납 용기(2)의 설정 위치에 대한 수평 방향의 최대 어긋남량과, 위치결정핀(34a)의 직경과 걸어맞춤용 오목부(34b)의 직경과의 차이에 의해 생기는 용기 본체(3)의 탑재 지지 부재(4) 상의 적정한 위치에 대한 수평 방향의 최대 어긋남량을 고려하여 설정되어 있다.

스태커 크레인(7)은, 용기 본체(3)를 탑재 지지한 탑재 지지 부재(4)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 반송하고, 또한 탑재 지지 부재(4)를 지지대(8)로부터 떠올리는 형태로 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)로부터 반송하도록 구성되어 있다. 그리고, 스태커 크레인(7)은, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로부터 하강시킴으로써 용기 본체(3)를 조정핀(52)에 대하여 하강 이동시키고, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로 떠오르게 함으로써 용기 본체(3)를 조정핀(52)에 대하여 상승 이동시키는 것이며, 승강 조작 수단(56)으로 겸용되고 있다.

요컨대, 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로부터 어긋나 있지 않은 경우에는, 스태커 크레인(7)에 의해 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로부터 내릴 때, 조정핀(52)은 끼워맞춤용 경사면(54)과 맞닿지 않고 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지므로, 위치 조정 수단(51)에 의한 조정은 행해지지 않는다. 또한, 기판용 수납 용기(2)가 기판 이송탑재 로봇(11)에 대응하여 설정된 지지대(8) 상의 설정 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있거나, 또는 탑재 지지 부재(4)에 탑재 지지된 용기 본체(3)가 탑재 지지 부재(4) 상의 적정한 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있거나, 또는 이들 양쪽의 요인에 의해, 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로부터 수평 방향으로 어긋나 있는 경우에는, 스태커 크레인(7)에 의해 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 대하여 위쪽으로부터 하강시킬 때, 조정핀(52)이 끼워맞춤용 경사면(54)과 맞닿은 후에 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지므로, 위치 조정 수단(51)에 의해 용기 본체(3)의 위치는 기판 이송탑재용 위치로 조정된다. 이와 같이, 용기 본체(3)가 기판 이송탑재용 위치로부터 어긋나 있는 경우에는, 위치 조정 수단(51)에서의 조정핀(52)을 용기 본체(3)와 직접 맞닿게 함으로써, 지지대(8) 상에 탑재 지지되는 탑재 지지 부재(4)의 위치를 조정하지 않고, 용기 본체(3)의 위치를 기판 이송탑재용 위치로 조정할 수 있다.

[다른 실시예]

(1) 상기 실시예에서는, 용기 반송 장치(7)를 승강 조작 수단(56)으로 겸용했지만, 끼워맞춤부를 승강 이동시키는 승강 조작 수단(56)을 설치하는 등, 용기 반송 장치(7)와는 별도로 승강 조작 수단(56)을 설치해도 된다. 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 조정핀(52)을 지지대(8)에 대하여 승강 이동시키는 승강용 실린더(58)를 승강 조작 수단(56)으로서 설치해도 된다. 이 경우, 기판용 수납 용기(2)를 지지대(8)에 탑재 지지시킨 상태에서, 승강용 실린더(58)에 의해 조정핀(52)을 승강 이동시킴으로써, 끼워맞춤 상태[도 10의 (b) 참조]와 이격 상태[도 10의 (a) 참조]가 전환된다.

(2) 상기 실시예에서는, 위치 조정 수단(51)을, 끼워맞춤부와 피끼워맞춤부와 경사면부와 승강 조작 수단을 구비하여, 용기 본체를 끼워맞춤부에 대하여 상대적으로 승강 이동시켜 용기 본체를 기판 이송탑재용 위치로 조정하도록 구성하였지만, 그 구성을 변경해도 된다. 예를 들면, 위치 조정 수단(51)을, 지지대(8)에 탑재 지지된 기판용 수납 용기(2)에서의 용기 본체(3)에 측방으로부터 맞닿는 접촉 부재를 설치하여, 접촉 부재를 용기 본체에 대하여 수평 방향으로 원근 이동시켜 용기 본체를 기판 이송탑재용 위치로 조정하도록 구성해도 된다.

(3) 상기 실시예에서는, 조정핀(52)이 용기 본체(3)의 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태에서는, 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부보다 아래쪽으로 이격된 비걸어맞춤 상태로 되도록 구성하였지만, 그 끼워맞춤 상태에서의 걸어맞춤부와 피걸어맞춤부와의 사이의 걸어맞춤·비걸어맞춤 상태는 변경 가능하다. 예를 들면, 조정핀(52)이 용기 본체(3)의 끼워맞춤용 오목부(53)에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태로 이행시킬 때 필요로 하는, 탑재 지지 부재(4)에 대한 용기 본체(3)가 들어올리는 양을 작게 하여, 끼워맞춤 상태에 있어서도 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부에 걸어맞추어지는 상태를 유지하도록 구성해도 된다. 이 경우, 위치 조정 수단(51)에 의해 용기 본체(3)의 위치를 수평 방향으로 조정할 때, 걸어맞춤부가 피걸어맞춤부에 걸어맞추어져 있는 것에 의해, 탑재 지지 부재(4)는 용기 본체(3)의 이동에 추종하여 수평 방향으로 이동한다. 또한, 상기 실시예에서는, 걸어맞춤부와 피걸어맞춤부를 설치하였으나, 이들을 설치하지 않아도 된다.

(4) 상기 실시예에서는, 용기 본체(3)의 하면의 4코너에 피끼워맞춤부를 구비하는 동시에, 이에 대응하여 지지대(8)에 끼워맞춤부를 4개 구비하였으나, 피끼워맞춤부나 끼워맞춤부의 위치나 개수는 적절하게 변경해도 된다. 예를 들면, 피끼워맞춤부를, 용기 본체(3)의 하면에서의 가로폭 방향의 양쪽 단부 각각의 전후 방향 중앙부에 구비하고, 또한 용기 본체(3)의 하면에서의 전후 방향의 전후 단부 각각의 가로폭 방향 중앙부에 구비하도록, 용기 본체의 4개소에 피끼워맞춤부를 구비해도 된다. 또한, 피끼워맞춤부를, 용기 본체(3)의 하면에서의 후단부의 가로폭 방향 양 단부에 각각 구비하고, 용기 본체(3)의 하면에서의 전단부의 가로폭 방향 중앙부에 구비하도록 하여, 용기 본체의 3개소에 피끼워맞춤부를 구비해도 된다. 또한, 용기 본체(3)의 하면의 주위 에지부가 아니고 중앙부에 피끼워맞춤부를 구비해도 되고, 또한 용기 본체의 5개소 이상에 피끼워맞춤부를 구비해도 된다. 그리고, 끼워맞춤부는, 지지대에서의 피끼워맞춤부에 대응하는 개소에 대응한 개수만큼 구비하면 된다.

(5) 상기 실시예에서는, 기판용 수납 용기를 탑재 지지하는 지지대(8)에 끼워맞춤부를 설치하였으나, 지지대(8)와 끼워맞춤부를 설치하지 않고, 별도 설치한 전용의 테이블에 끼워맞춤부를 설치해도 된다.

(6) 상기 실시예에서는, 피끼워맞춤부에서의 저부를 위쪽측으로 갈수록 직경이 작아지는 끝이 가는 형상으로 형성하고, 피끼워맞춤부에서의 저부보다 아래쪽의 부분을 원통형상으로 형성하였으나, 피끼워맞춤부의 전체를 위쪽측으로 갈수록 직경이 작아지는 끝이 가는 형상으로 형성해도 된다.

1: 기판
2: 기판용 수납 용기(용기)
3: 용기 본체
4: 탑재 지지 부재
5: 팬 필터 유닛
7: 스태커 크레인(용기 반송 장치)
8: 지지대
11: 기판 이송탑재 장치
21: 출입구
34a: 걸어맞춤부
34b: 피걸어맞춤부
51: 위치 조정 수단
52: 끼워맞춤부
53: 피끼워맞춤부
54: 경사면부
56: 승강 조작 수단
S: 기판 수납 공간(공간)

Claims (5)

1. 기판이 상하 방향으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수 개의 수납 가능한 공간을 가지는 용기를 기판 이송탑재용 지지대에 반송(搬送)하는 용기 반송 장치와,
   상기 지지대에 탑재 지지된 상기 용기에 대하여, 상기 용기의 측부에 형성된 출입구를 통해 기판을 인출하거나 기판을 수납하기 위해 기판을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치를 포함하는 기판 반송 설비로서,
   상기 용기는, 상기 출입구 및 상기 공간을 구비한 용기 본체와, 상기 용기 본체를 탑재 지지하는 지지 부분과 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상태에서 상기 공간에 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛이 장착되는 장착 부분을 가지는 탑재 지지 부재를 구비하여 구성되며,
   상기 장착 부분은, 상기 지지 부분으로부터 세워 설치된 상태에서 상기 지지 부분에 연결되고,
   상기 용기 반송 장치는, 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상기 탑재 지지 부재를 상기 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 상기 용기를 상기 지지대에 반송하도록 구성되며,
   상기 지지대로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치된 복수 개의 끼워맞춤부와, 상기 용기 본체에 구비된 위쪽으로 오목하게 들어가는 피끼워맞춤부와, 상기 용기 본체에서의 상기 피끼워맞춤부의 주위에 설치되어 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부에 안내하는 경사면부를 가지고, 상기 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 상기 기판 이송탑재 장치가 기판을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치로 조정하는 위치 조정 수단
   을 포함하고,
   상기 용기 본체에는, 상기 지지 부분에 의해 상기 용기 본체를 탑재 지지하고 있는 상태에서, 상기 지지 부분이 가지는 복수 개의 걸어맞춤부가 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 복수개 설치되고,
   상기 지지 부분에는, 상기 걸어맞춤부와 상기 피걸어맞춤부가 걸어맞추어져 있는 상태에서 상기 피끼워맞춤부에 대응하는 위치에, 트인 구멍부(開孔部)가 설치되고,
   상기 위치 조정 수단은, 상기 용기를 상기 지지대에 탑재 지지한 상태에서 상기 끼워맞춤부가 상기 트인 구멍부를 관통하여 상기 피끼워맞춤부에 직접적으로 맞닿는 것에 의해, 상기 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 상기 기판 탑재용 위치로 조정하는,
   기판 반송 설비.
2. 제1항에 있어서,
   상기 위치 조정 수단은, 또한, 상기 끼워맞춤부가 상기 피끼워맞춤부에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태와 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부로부터 아래쪽으로 이격된 이격 상태로 전환하기 위해 상기 용기 본체와 상기 끼워맞춤부를 상대적으로 승강 이동시키는 승강 조작 수단을 포함하여 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
3. 제2항에 있어서,
   상기 끼워맞춤부는 상기 지지대에 고정 상태로 설치되고,
   상기 용기 반송 장치는 상기 승강 조작 수단을 겸용하고 있는, 기판 반송 설비.
4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
   상기 걸어맞춤부는, 상기 탑재 지지 부재로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 설치되고,
   상기 피걸어맞춤부는, 상기 용기 본체에, 위쪽으로 오목하게 들어간 형상으로 형성되고,
   상기 복수 개의 끼워맞춤부의 각각은, 상기 승강 조작 수단에 의해 상기 이격 상태로부터 상기 끼워맞춤 상태로 전환됨에 따라, 상기 피끼워맞춤부를 캐치(catch)하여 지지한 상태로 상기 용기 본체를 상기 탑재 지지 부재에 대하여 들어올리거나, 또는 상기 끼워맞춤 상태에 있어서, 상기 걸어맞춤부가 상기 피걸어맞춤부보다 아래쪽으로 이격된 상태에서 상기 용기 본체를 지지하도록 구성되어 있는, 기판 반송 설비.
5. 기판이 상하 방향으로 간격을 두고 배열되는 상태로 복수 개의 수납 가능한 공간을 가지는 용기를 기판 이송탑재용 지지대에 반송(搬送)하는 용기 반송 장치와,
   상기 지지대에 탑재 지지된 상기 용기에 대하여, 상기 용기의 측부에 형성된 출입구를 통해 기판을 인출하거나 기판을 수납하기 위해 기판을 이송탑재하는 기판 이송탑재 장치를 포함하는 기판 반송 설비로서,
   상기 용기는, 상기 출입구 및 상기 공간을 구비한 용기 본체와, 상기 용기 본체를 탑재 지지 가능하면서 또한 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상태에서 상기 공간에 청정 공기를 송풍하는 팬 필터 유닛을 구비한 탑재 지지 부재를 구비하여 구성되며,
   상기 용기 반송 장치는, 상기 용기 본체를 탑재 지지한 상기 탑재 지지 부재를 상기 지지대에 대하여 위쪽으로부터 탑재 지지시키는 형태로 상기 용기를 상기 지지대에 반송하도록 구성되며,
   상기 용기를 상기 지지대에 탑재 지지시킨 상태에서 상기 용기 본체에 직접적으로 맞닿게 함으로써, 상기 용기 본체의 수평 방향에서의 위치를 상기 기판 이송탑재 장치가 기판을 이송탑재하기 위한 기판 이송탑재용 위치로 조정하는 위치 조정 수단
   을 포함하고,
   상기 위치 조정 수단은, 상기 지지대로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 상기 지지대에 설치된 복수 개의 끼워맞춤부와, 상기 용기 본체에 구비된 위쪽으로 오목하게 들어가는 피끼워맞춤부, 상기 용기 본체에서의 상기 피끼워맞춤부의 주위에 설치되어 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부에 안내하는 경사면부, 및 상기 끼워맞춤부가 상기 피끼워맞춤부에 끼워맞추어지는 끼워맞춤 상태와 상기 끼워맞춤부를 상기 피끼워맞춤부로부터 아래쪽으로 이격된 이격 상태로 전환하기 위해 상기 용기 본체와 상기 끼워맞춤부를 상대적으로 승강 이동시키는 승강 조작 수단을 포함하여 구성되고,
   상기 탑재 지지 부재에, 상기 탑재 지지 부재로부터 위쪽으로 돌출하는 상태로 걸어맞춤부가 복수 개 설치되고,
   상기 용기 본체에, 위쪽으로 오목하게 들어가는 형태로 형성되어, 상기 탑재 지지 부재에 의해 상기 용기 본체를 탑재 지지하고 있는 상태에서 상기 걸어맞춤부가 걸어맞추어지는 피걸어맞춤부가 복수 개 설치되고,
   상기 복수 개의 끼워맞춤부의 각각은, 상기 승강 조작 수단에 의해 상기 이격 상태로부터 상기 끼워맞춤 상태로 전환됨에 따라, 상기 피끼워맞춤부를 캐치(catch)하여 지지한 상태로 상기 용기 본체를 상기 탑재 지지 부재에 대하여 들어올리거나, 또는 상기 끼워맞춤 상태에 있어서, 상기 걸어맞춤부가 상기 피걸어맞춤부보다 아래쪽으로 이격된 상태에서 상기 용기 본체를 지지하도록 구성되어 있는,
   기판 반송 설비.

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