CN102070021A - 基板搬送设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够准确地进行基板移载装置对基板的移载的基板搬送设备。基板搬送设备包括容器、容器搬送装置以及位置调整机构，容器具备：容器主体，具有使基板出入的出入口和能以基板沿上下方向隔开间隔的状态收纳多张基板的基板收纳空间；载置支承部件，能够载置支承容器主体并且具有在载置支承有容器主体的状态下向基板收纳空间送出清洁空气的风机过滤机组，容器搬送装置以载置支承有容器主体的载置支承部件相对于支承台从上方载置支承的方式将容器搬送到支承台，位置调整机构通过在容器载置支承于支承台的状态下与容器主体直接抵接，将容器主体在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置通过出入口移载基板的基板移载用位置。

Description

基板搬送设备

技术领域

本发明涉及一种基板搬送设备，其具有容器搬送装置和基板移载装置，所述容器搬送装置用于将容器搬送到基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间，所述基板移载装置用于相对于载置支承在支承台上的容器，通过形成于容器侧部的出入口移载基板以便取出基板以及收纳基板。

背景技术

这样的基板搬送设备在搬送用于液晶显示器或等离子显示器的玻璃基板等基板的时候被使用。基板搬送设备构成为：在利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收纳容器搬送到支承台之后，利用基板移载装置从载置支承于支承台的基板用收纳容器取出基板，或者利用基板移载装置将基板收纳到载置支承于支承台的基板用收纳容器中，然后，利用容器搬送装置将收纳有多张基板的基板用收纳容器搬离支承台，从而对基板进行搬送。并且，在将玻璃基板等要求高清洁度的基板收纳到基板用收纳容器中的情况下，使用了这样的局部清洁技术：设置向基板收纳空间中供给清洁空气的风机过滤机组(FFU)，从而比外部提高了基板用收纳容器的内部的基板收纳空间的清洁度。

这样的基板用收纳容器的现有示例记载于日本特开2008-094494号公报中。记载于日本特开2008-094494号公报的基板用收纳容器由以下部分构成：形成有出入口和基板收纳空间的容器主体；装配有开闭出入口的盖的盖用框体；以及装配有向基板收纳空间供给清洁空气的风机过滤机组的FFU用框体。另外，在容器主体的形成出入口的一端侧以能分离的方式安装有盖用框体，在容器主体的另一端侧以能分离的方式安装有FFU用框体。并且，在该现有示例中，支承台构成为以对形成基板用收纳容器的底部的容器主体进行载置支承的方式对基板用收纳容器进行载置支承。容器搬送装置构成为：以使容器主体相对于支承台从上方载置支承的方式将基板用收纳容器搬送到支承台。

另外，一般在基板搬送设备中，为了提高基板用收纳容器的收纳效率，将基板以基板之间的间隔很窄的状态收纳到容器主体中。另外，玻璃基板等基板容易因与其他物品接触而破损。因此，将基板用收纳容器移动到设定位置时的位置调整要求很高的精度。因此，在日本特开2008-094494号公报的基板搬送设备中设置有定心装置，该定心装置通过在将基板用收纳容器载置支承于支承台的状态下与基板用收纳容器抵接，来将基板用收纳容器在水平方向的位置调整到用于由基板移载装置移载基板的设定位置。

详细来说，日本特开2008-094494号公报的定心装置构成为：通过与俯视呈矩形形状的基板用收纳容器的下端部的四个角抵接，来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由此将基板用收纳容器调整到设定位置。具体来说，盖用框体或者FFU用框体位于基板用收纳容器的下端部的四个角。另外，定心装置构成为：通过与FFU用框体或者盖用框体的下端部抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由此使基板用收纳容器位于设定位置。

专利文献1：日本特开2008-094494号公报

作为使容器主体能够分离的基板用收纳容器，本申请的申请人在日本特愿2009-244754号中提出了一种基板用收纳容器，该基板用收纳容器由以下部分构成：形成有出入口和基板收纳空间的容器主体；以及载置支承该容器主体并且装配有风机过滤机组的载置支承体。该基板用收纳容器通过载置支承部件来形成基板用收纳容器的底部，容器主体相对于载置支承部件能够向上方分离，而且在使容器主体分离时，载置支承部件不易翻到，容易使容器主体的分离自动化。

由容器主体和载置支承部件构成的基板用收纳容器在水平方向的位置可以考虑利用日本特开2008-094494号公报中的定心装置来进行调节，但是，定心装置是通过与基板用收纳容器的下端部的四个角抵接来调整基板用收纳容器在水平方向的位置，由于载置支承部件的四个角位于该基板用收纳容器的下端部的四个角，因此变成使定心装置与载置支承部件的四个角抵接来将基板用收纳容器的位置调整到设定位置。

但是，在由容器主体和载置支承部件构成基板用收纳容器的结构中，有时容器主体会由于搬送过程中的振动等而相对于载置支承部件在水平方向偏移。因此，即使为了将基板用收纳容器调节到设定位置而将载置支承部件调整到适当的位置，如果在载置支承部件与容器主体之间在水平方向产生偏移，则容器主体的位置也会从基板移载装置移载基板时的基板移载用位置在水平方向产生偏移。

而且，若在容器主体的位置从基板移载用位置沿水平方向偏移了的状态下利用基板移载装置来移载基板，则在取出收纳在容器主体中的基板的时候，基板移载装置相对于作为取出对象的基板的位置偏移，从而可能无法准确地进行基板移载装置对基板的移载。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提供一种能够准确地进行基板移载装置对基板的移载的基板搬送设备。

用于达成上述目的的本发明的基板搬送设备的特征结构在于，基板搬送设备包括：

容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及

基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板而，

所述容器构成为具有：容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所述空间送出清洁空气的风机过滤机组，

所述容器搬送装置构成为：以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，

所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。

即，能够收纳基板的容器通过使容器主体相对于载置支承部件相对地上升，能够使容器主体从载置支承部件分离。此外，由于载置支承部件在水平方向形成得较大以便载置支承容器主体，因此在使容器主体分离时载置支承部件不易翻倒。

容器搬送装置构成为：以使载置支承有容器主体的载置支承部件相对于支承台从上方载置支承的方式，将容器搬送到支承台。并且，利用容器搬送装置将容器搬送至支承台，支承台对容器的载置支承部件进行载置支承，并且位置调整机构通过直接与容器主体抵接来将容器主体在水平方向的位置调整到基板移载用位置。这样，通过在能够收纳基板的容器载置支承于支承台的状态下使位置调整机构直接与容器主体抵接，能够将容器主体在水平方向的位置调整到基板移载用位置。

即，在本特征结构中，不是调整载置支承于支承台的载置支承部件在水平方向的位置，而是利用位置调整机构直接调整基板被基板移载装置进行移载的容器主体的位置。由此，即使在容器主体与载置支承部件之间产生偏移，也能够将容器主体的位置调整到基板移载用位置。因此，能够利用基板移载装置准确地进行基板的移载，由此能够提供利用基板移载装置可准确地进行基板的移载的基板搬送设备。

本发明的基板搬送设备的其他特征结构在于，所述位置调整机构构成为具有：多个嵌合体，其以从所述支承台向上方突出的状态设置于所述支承台；被嵌合部，其设置于所述容器主体并向上方凹入；倾斜面部，其设置于所述容器主体中的所述被嵌合部的周围，用于将所述嵌合体引导到所述被嵌合部；以及升降操作机构，其使所述容器主体和所述嵌合体相对地升降移动，以便切换到所述嵌合体与所述被嵌合部嵌合的嵌合状态以及使所述嵌合体从所述被嵌合部向下方离开的离开状态。

即，利用升降操作机构使容器主体相对于嵌合体相对地下降移动，从而使从被嵌合部向下方离开的嵌合体与被嵌合体嵌合而切换到嵌合状态。并且，在被嵌合部的周围设置有将嵌合体引导到被嵌合部的倾斜面部，因此，在利用升降操作机构从离开状态切换到嵌合状态时，容器主体从基板移载用位置沿水平方向偏移，即使在被嵌合部的位置从嵌合体的正上方沿水平方向偏移了的情况下，通过使嵌合体与倾斜面部抵接着相对地上升移动，容器主体也移动到基板移载用位置以使得被嵌合部位于嵌合体的正上方从而嵌合体与被嵌合部嵌合。这样，位置调整机构在容器主体从基板移载用位置沿水平方向偏移了的情况下，由于倾斜面部的作用，能够将容器主体的位置调整到基板移载用位置，并且能够通过嵌合体与被嵌合部的嵌合，将调整到基板用移载位置的容器主体的位置保持在该位置。

本发明的基板搬送设备的其他特征结构在于，所述嵌合体以固定状态设置于所述支承台，所述容器搬送装置兼用作所述升降操作机构。

即，利用容器搬送装置，通过相对于支承台对载置支承有容器主体的载置支承部件从上方载置支承，使得容器主体相对于嵌合体下降移动从而能够切换到嵌合状态。另外，利用容器搬送装置，通过从支承台捞起载置支承有容器主体的载置支承部件，使得容器主体相对于嵌合体上升移动从而能够切换到离开状态。由此，无需设置使容器主体和嵌合体相对地升降移动的专用的机构，能够实现基板搬送设备的结构的简化。

本发明的基板搬送设备的其他特征结构在于，在所述载置支承部件上以从该载置支承部件向上方突出的状态设置有多个卡合体，

在所述容器主体上设置有多个被卡合部，所述被卡合部形成为向上方凹入的形状，并且在由所述载置支承部件载置支承所述容器主体的状态下与所述卡合体卡合，

所述多个嵌合体分别构成为：随着利用所述升降操作机构从所述离开状态切换到所述嵌合状态，而在承接支承所述被嵌合部的状态下将所述容器主体相对于所述载置支承部件抬起，并且在所述嵌合状态下，以所述卡合体比所述被卡合部向下方离开的状态支承所述容器主体。

即，在将容器主体载置支承于载置支承部件的状态下卡合体与被卡合部卡合，容器主体相对于载置支承部件在水平方向的移动被限制。因此，在利用容器搬送装置搬送容器的时候，能够将容器主体从载置支承部件下落等现象防止于未然。

另外，在切换到嵌合状态的状态下，卡合体比被卡合部向下方离开而处于卡合体与被卡合部的卡合脱离的状态，因此，容器主体成为能够相对于载置支承部件在水平方向移动的状态。由此，在利用位置调整机构将容器主体的位置调整到基板移载用位置的时候，无需使载置支承部件在水平方向尽量移动就能够将容器主体的位置调整到基板移载用位置。因此，能够抑制由于载置支承部件在容器搬送装置或支承台上沿水平方向滑动而导致产生尘埃。

附图说明

图1是基板搬送设备的侧视图。

图2是基板搬送设备的俯视图。

图3是基板移载机器人的主视图。

图4是基板用收纳容器的立体图。

图5是容器主体的立体图。

图6是载置支承部件的立体图。

图7是表示使基板用收纳容器位于支承台的上方的状态的立体图。

图8是表示使基板用收纳容器载置支承于支承台的状态的立体图。

图9是表示嵌合状态和离开状态的图。

图10是表示其他实施方式(1)的嵌合状态和离开状态的图。

标号说明

1：基板

2：基板用收纳容器(容器)

3：容器主体

4：载置支承部件

5：风机过滤机组

7：堆装起重机(容器搬送装置)

8：支承台

11：基板移载装置

21：出入口

34a：卡合体

34b：被卡合部

51：位置调整机构

52：嵌合体

53：被嵌合部

54：倾斜面部

56：升降操作机构

S：基板收纳空间(空间)

具体实施方式

下面根据附图对本发明的基板搬送设备进行说明。

如图1和图2所示，基板搬送设备包括：作为容器搬送装置的堆装起重机7，其用于将能够收纳基板1的容器(基板用收纳容器)2搬送至支承台8；以及作为基板移载装置的基板移载机器人11，其通过形成于基板用收纳容器2的侧部的出入口21移载基板1以便取出基板1或者收纳基板1。另外，如图9所示，基板搬送设备具有位置调整机构51。

具体来说，基板搬送设备具备：作为容器搬送装置的堆装起重机7，其在收纳基板用收纳容器2的收纳架10与基板移载用的支承台8之间、以及收纳架10与容器脱离用的载置台9之间搬送基板用收纳容器2；作为基板移载装置的基板移载机器人11，其相对于载置支承于基板移载用的支承台8的基板用收纳容器2，通过形成于基板用收纳容器2的侧部的出入口21移载基板1以便取出基板1和收纳基板1；以及容器分离装置12，其用于使容器主体3从载置支承于载置台9的基板用收纳容器2分离。

另外，如图1所示，基板搬送设备设置于清洁空间13，并具有使清洁空气从天花板部向地板部流通的下流式的清洁空气通风机构14。该清洁空气通风机构14利用具有通风风扇17和预滤器18的循环路19而使构成地板部的格栅地板15的下方的空间与构成天花板部的空气过滤器16的上方的空间连通。即，清洁空气通风机构14在使用预滤器18和空气过滤器19对清洁空间13内的空气进行清洁化的同时，使用循环路19使清洁空间13内的空气循环，从而使清洁空气从清洁空间13的天花板部流通到地板部。。

【基板用收纳容器】

如图4所示，在基板搬送设备中被搬送的基板用收纳容器2具有能够以使基板1沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板1的空间(基板收纳空间)S。基板用收纳容器2构成为具有：容器主体3，其具有使基板1出入的出入口21并且在内部具有基板收纳空间S；以及载置支承部件4，其能够载置支承所述容器主体3，而且具有能够在载置支承有容器主体3的状态下向基板收纳空间S送出清洁空气的风机过滤机组5(参照图6)。容器主体3和载置支承部件4能够分离。

图5(a)表示从前方侧左斜上方观察到的容器主体3的立体图，并且将容器主体3的一部分剖开。另外，图5(b)表示从后方侧左斜下方观察到的容器主体3的立体图。如图5所示，容器主体3在其侧部具有用于使基板1出入的出入口21以及用于将由风机过滤机组5供给的清洁空气供给到基板收纳空间S的供气口22。出入口21形成于容器主体3的前侧部，供气口22形成于容器主体3的后侧部。在容器主体3中，出入口21和供气口22形成在相互对置的位置。

容器主体3通过将多个框部件构筑成四棱柱状从而形成主体框架23，并且利用侧板24将所述主体框架23的上部和左右的横向侧部封闭而形成为门状。容器主体3的前侧部没有被侧板24封闭，在其前侧部形成有出入口21，容器主体3的后侧部也没有被侧板24所封闭，在其后侧部形成有供气口22。容器主体3的下部通过将下部形成用的框部件23a排列成格子状而构成。容器主体3的下部由于没有被侧板24封闭因而是开口的，但是，如图4所示，在利用载置支承部件4从下方载置支承容器主体3的状态下，容器主体3的下部被所述载置支承部件4所封闭。

即，容器主体3构成为：从供气口22供给由风机过滤机组5供给的清洁空气，并使清洁空气在基板收纳空间S内从后方侧向前方侧流通，然后从出入口21排出清洁空气。并且，通过使清洁空气在基板收纳空间S内从后方侧向前方侧流通，从而利用该气流防止尘埃附着在基板1上，并且，通过从出入口21排出清洁空气，而防止尘埃从出入口21侵入到基板收纳空间S内。

另外，在容器主体3的内部设置有用于在基板收纳空间S中载置支承多个基板1的基板支承体25。该基板支承体25支承于容器主体3的主体框架23。另外，基板支承体25与沿上下方向隔开间隔地排列的多张基板1的张数对应地沿上下方向排列设置有多个，多个基板支承体25分别由沿横向排列的多根棒材构成。顺便说一下，利用容器主体3的内部空间形成了基板收纳空间S。

图6(a)是表示从前方侧左斜上方观察到的载置支承部件4的立体图，图6(b)是从后方侧左斜下方观察到的载置支承部件4的立体图。如图6所示，载置支承部件4构成为具有：载置支承容器主体3的支承部分27；以及装配部分28，以在利用该支承部分27载置支承容器主体3的状态下使风机过滤机组5位于与供气口22对置的位置的方式装配风机过滤机组5。顺便说明一下，载置支承部件4的支承部分27形成为俯视的大小比容器主体3大型，以避免载置支承的容器主体3从支承部分27向横向侧方突出。

载置支承部件4的支承部分27通过将框部件构筑成俯视呈矩形的格子状而形成了支承框架29，并且在该支承框架29上安装底板30从而构成为平板状。另外，载置支承部件4的装配部分28以从支承部分27的后端部竖立设置的状态与支承部分27连结，而且在载置支承部件4的装配部分28，风机过滤机组5以立起的姿态并以沿容器横向宽度方向排列的状态装配有三台。并且，载置支承部件4通过将侧视呈“-(负)”字状的支承部分27和侧视呈字母“I”字状的装配部分28组合起来而形成为侧视呈字母“L”字状。底板30以在横向宽度方向排列有四张并且在前后方向排列有三列的方式安装了共计12张。

在支承部分27形成有开口部31。具体来说，在支承部分27，开口部31以形成在排列的底板30中的三列的各列中位于横向宽度方向的两端的两张底板30上的方式形成，后述的升降式支承体47能够在上下方向相对于该开口部31进行插拔。这样形成的开口部31在容器横向宽度方向隔开间隔地形成有两列，它们分别形成为沿着容器前后方向的形状。载置支承部件4中的位于两列开口部31之间的部分被堆装起重机7载置支承。位于开口部31的容器横向宽度方向外侧的部分在收纳于收纳架10中时被支承，并且在放置于支承台8或载置台9时被载置支承。

在装配部分28设置有覆盖载置支承于载置支承部件4的容器主体3的后端部的罩部32。该罩部32形成为覆盖容器主体3的后端部处的左右的横向侧方和上方的形状。另外，如图4所示，在容器主体3载置支承于支承部分27的状态下，在容器主体3的上部与罩部32的上方部分之间形成有上下方向的间隙。通过形成该间隙，如图8所示，在使容器主体3相对于载置支承部件4向上方侧分离时，容器主体3不会与罩部32接触。

如图6(b)所示，在载置支承部件4的下侧面设置有非接触供电装置33的受电部33a。在基板用收纳容器2收纳于收纳架10的状态下，通过从设置于收纳架10的非接触供电装置33的供电部33b(参照图1)供给的电力，使风机过滤机组5工作。另外，在载置支承部件4上还设置有对供给到受电部33a的电力进行蓄积的电池(未图示)。因此，在利用堆装起重机7搬送基板用收纳容器2的期间等、受电部33a从供电部33b离开从而不再经由供电部33b向基板用收纳容器2供给电力的状态下，能够利用蓄积在电池中的电力使风机过滤机组5工作。

基板用收纳容器2具有限制机构34，该限制机构34在容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下，对容器主体3相对于载置支承部件4向水平方向的移动进行限制。具体来说，在载置支承部件4上以从该载置支承部件4的上表面向上方突出的状态设置有多个作为卡合体的定位销34a，在容器主体3上设置有多个作为被卡合部的卡合用凹部34b，该卡合用凹部34b形成为向上方凹入的形状(即，上方作为底面而封闭并且朝向下方开放的形状)，在利用载置支承部件4载置支承容器主体3的状态下该卡合用凹部34b与定位销34a卡合。并且，通过在将容器主体3载置于载置支承部件4时定位销34a与卡合用凹部34b卡合，来限制容器主体3相对于载置支承部件4在水平方向的移动。即，限制机构34由定位销34a和卡合用凹部34b构成。

容器主体3的下部形成用的框部件23a配设成：其一部分的沿着容器前后方向的框部件23a(在图5(b)中用假想线表示的框部件23a)在容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下位于形成于载置支承部件4的开口部31的正上方。并且构成为：利用插入到开口部31中的后述的升降式支承体47在下部形成用的框部件23a被承接支承的状态下将容器主体3抬起。另外构成为：利用插入到开口部31中的升降式支承体47在下部形成用的框部件23a被承接支承的状态下，使容器主体3相对于载置支承部件4能够向上方侧分离。

【堆装起重机】

如图1和图2所示，将收纳基板用收纳容器2的收纳部10a在上下方向和架横向宽度方向排列设置而成的收纳架10以彼此对置的状态设置有一对。在该一对收纳架10之间配设有堆装起重机7。堆装起重机7构成为具有：行进台车37，其在形成于一对收纳架10之间的行进路径36上沿着行进路径36的纵长方向行进移动；升降台38，其以升降自如的方式由竖立设置于行进台车37的升降柱所引导支承；以及叉式移载装置39，其支承于升降台38。移载装置39构成为对基板用收纳容器2中的载置支承部件4进行载置支承。另外，移载装置39构成为能够在一对收纳架10与该移载装置39自身之间、支承台8与移载装置39自身之间、以及载置台9与移载装置39自身之间对基板用收纳容器2进行移载，而且移载装置39能够绕纵向轴心回转。在收纳架10的收纳部10a中以下述状态收纳有基板用收纳容器2：装配有风机过滤机组5的后端部位于比形成有出入口21的前端部靠行进路径36侧的位置。

堆装起重机7构成为能够将基板用收纳容器2搬送到与以与行进路径36相邻的状态设置的支承台8。并且，堆装起重机7构成为通过使移载装置39回转能够使正在搬送的基板用收纳容器2的方向变更180度。而且，堆装起重机7还能够在搬送目的地的支承台8的位置相对于搬送源的收纳部10a的位置位于行进路径36的相反侧的情况下，通过移载装置39的回转使基板用收纳容器2的方向变更180度，并搬送到支承台8；而且堆装起重机7还能够在搬送目的地的支承台8的位置相对于搬送源的收纳部10a的位置位于行进路径36的相同侧的情况下，不改变基板用收纳容器2的方向地搬送到支承台8。因此，堆装起重机7在相对于支承台8交接基板用收纳容器2的时候，能够以基板用收纳容器2的后端部位于比前端部靠行进路径36侧的位置的状态进行交接。相对于载置台9，也与支承台8的情况一样地通过堆装起重机7搬送基板用收纳容器2。

【基板移载机器人】

如图1至图3所示，基板移载机器人11构成为具有：使收纳架10的背面侧沿着架横向宽度方向移动的移动台车41；升降且旋转自如地支承于该移动台车41的升降旋转部42；经连杆机构44与该升降旋转部42连结的叉状的基板支承部43。

基板移载机器人11构成为：通过升降旋转部42的升降和旋转以及连杆机构44的伸缩，将基板1从载置支承于支承台8的基板用收纳容器2逐张地移载到基板搬送输送器45的收纳架侧端部，而且将基板搬送输送器45的收纳架侧端部的基板1逐张地移载到载置支承于支承台8的基板用收纳容器2。在基板用收纳容器2中，在沿横向宽度方向相邻的基板支承体25彼此之间并且是沿上下方向相邻的基板1彼此之间，形成有能够插拔基板支承部43的空间。因此，通过将基板支承部43相对于能够插拔该基板支承部43的空间进行插拔，能够从基板用收纳容器2逐张地取出基板1，以及将基板1逐张地收纳到基板用收纳容器2中。

基板搬送输送器45构成为：利用旋转辊来支承基板1的横向宽度方向的两端部，通过驱动该旋转辊旋转来搬送基板1。如图2所示，在本实施方式中，基板搬送输送器45设置有两个。一个基板搬送输送器45是将从基板移载机器人11接收的基板1朝向基板处理装置(未图示)搬送的未处理用的基板搬送输送器45。另一基板搬送输送器45是将从基板处理装置搬出的基板1朝向收纳架10侧搬送的处理后用的基板搬送输送器45。

【容器分离装置】

如图1所示，容器分离装置12构成为具有：能够在水平方向载置并搬送容器主体3而且能够升降的升降式支承体47；使该升降式支承体47进行升降移动的由电动式气缸等构成的升降机构48。

容器分离装置12在由载置台9载置支承基板用收纳容器2的状态下，通过利用升降机构48使升降式支承体47上升移动，能够使升降式支承体47从下方侧贯穿插入到载置支承部件4的开口部31中，从而将容器主体3向上方侧抬起，从而使容器主体3相对于载置支承部件4向上方侧分离。在该分离的状态下，容器主体3的下表面位于比设置于载置支承部件4的定位销34a的上端靠上方的位置，容器主体3不会被限制机构34所限制，而成为能够相对于载置支承部件4在水平方向进行搬送的状态。

在载置支承部件4由载置台9载置支承而且容器主体3由升降式支承体47载置支承的状态下，通过利用升降机构48使升降式支承体47下降移动，使得容器主体3下降到载置支承部件4上，以使定位销34a与卡合用凹部34b卡合，升降式支承体47从载置支承部件4的开口部31向下方侧拔出。这样下降到载置支承部件4上的容器主体3载置支承于载置支承部件4从而与载置支承部件4结合。

另外，升降式支承体47通过在进行了上升移动后的状态下沿着水平方向载置搬送容器主体3，能够在与相邻的容器搬送输送器49之间交接容器主体3。顺便说一下，基板搬送输送器49将容器主体3搬送到对容器主体3进行清洗的图示以外的清洗装置。

【限制机构】

限制机构34如上所述构成为具有定位销34a和卡合用凹部34b。如图6所示，定位销34a以在横向宽度方向隔开间隔的状态在载置支承部件4的支承部分27的前端部处的横向宽度方向的中央部设置有一对，并且，以在横向宽度方向隔开间隔的状态在支承部分27的后端部处的横向宽度方向的中央部设置有一对。所述共计4个定位销34a分别以连结支承于载置支承部件4的支承框架29的状态设置。例如，支承框架29的一部分向底板30的方向局部地伸出，在其伸出部分设置有定位销34a。另外，如图9所示，所述共计4个定位销34a分别形成为圆柱形状，而且上端部形成为渐细形状。

如图5所示，卡合用凹部34b以在横向宽度方向隔开间隔的状态在容器主体3的下表面的前端部处的横向宽度方向的中央部设置有一对，而且以在横向宽度方向隔开间隔的状态在容器主体3的下表面的后端部处的横向宽度方向的中央设置有一对。所述共计4处卡合用凹部34b分别与定位销34a的设置位置对应地形成，从而以使容器主体3载置支承在载置支承部件4的恰当的部位的状态与定位销34a卡合。另外，卡合用凹部34b分别形成为圆筒形的孔。

卡合用凹部34b各自的直径比所卡合的定位销34a的直径稍大，在使定位销34a与卡合用凹部34b卡合的状态下，在定位销34a的侧面与卡合用凹部34b的侧面之间形成有间隙。限制机构34在定位销34a与卡合用凹部34b卡合的状态下容许容器主体3相对于载置支承部件4在水平方向移动相当于所述间隙的量。另外，如图9所示，在卡合用凹部34b各自的周围，呈圆锥状地形成有将定位销34a引导至卡合用凹部34b中的卡合用倾斜面35。

并且，定位销34a的长度和卡合用凹部34b的深度设定成：在容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下，容器主体3的下表面与卡合用凹部34b的底面(即，上方的封闭面)在上下方向的间隔，大于载置支承部件4的支承部分27的上表面与定位销34a的上端在上下方向的间隔。即，在将容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下，卡合的定位销34a的上端没有与卡合用凹部34b的底面接触。顺便说一下，所谓容器主体3的下表面为在将容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下与支承部分27的上表面接触的面。

【位置调整机构】

接下来，对位置调整机构51进行说明。

基板搬送设备具有位置调整机构51，该位置调整机构51通过在将基板用收纳容器2载置支承于支承台8的状态下与容器主体3直接抵接，来将容器主体3在水平方向的位置调整到用于由基板移载机器人11移载基板1的基板移载用位置。

如图9和图10所示，位置调整机构51构成为具备：作为嵌合体的多个调整销52，其以从支承台8向上方突出的状态设置于该支承台8；作为被嵌合部的嵌合用凹部53，其设置于容器主体3并向上方凹入(即，上方作为底面而被封闭并且朝向下方开放)；作为倾斜面部的嵌合用倾斜面54，其设置于容器主体3的嵌合用凹部53的周围，用于将调整销52引导至嵌合用凹部53中；以及升降操作机构56(在本实施方式中为堆装起重机7)，其使容器主体3与调整销52相对地升降移动，以便切换到调整销52与容器主体3的嵌合用凹部53嵌合的嵌合状态、以及调整销52从容器主体3的嵌合用凹部53向下方离开的离开状态。

如图7所示，调整销52以固定状态设置于支承台8的四个角。具体来说，在支承台8上与所载置支承的基板用收纳容器2的四个角对应地设置有四个支柱8a。在四个支柱8a各自的上端部安装有分别载置支承基板用收纳容器2的角部的支承板8b。并且，调整销52分别固接在支承板8b的平坦得形成的上表面上，并以固定状态且呈从支承台8向上方突出的状态地设置于支承台8的四个角。另外，如图9所示，调整销52形成为圆柱形状而且上端部形成为渐细形状。

嵌合用凹部53设置在容器主体3的下表面的四个角，所述共计四处嵌合用凹部53分别与调整销52的设置位置对应地形成，以便在容器主体3的水平方向的位置位于用于移载基板1的基板移载用位置的状态下与调整销52卡合。另外，嵌合用凹部53分别形成为与调整销52的形状对应的形状。例如，嵌合用凹部53各自的下部(凹部的开口部分附近)形成为圆筒形状，上部(凹部的底部分附近)形成为越靠上方侧直径越小的渐细形状。

嵌合用凹部53各自的直径为与卡合的调整销52的直径大致相同的大小。在使调整销52与嵌合用凹部53卡合的状态下，在调整销52的侧面与嵌合用凹部53的侧面之间几乎没有形成间隙。位置调整机构51在调整销52与嵌合用凹部53嵌合的状态下几乎不容许容器主体3相对于支承台8在水平方向移动，从而能够使容器主体3的位置准确地位于基板移载用位置。

调整销52的长度以及嵌合用凹部53的深度设定成：容器主体3载置支承于载置支承部件4的状态下的载置支承部件4的下表面与嵌合用凹部53的底面的在上下方向的间隔，比基板用收纳容器2载置支承于支承台8的状态下的支承台8的上表面与调整销52的上端的在上下方向的间隔窄。即，如图9(b)所示，在基板用收纳容器2载置支承于支承台8的状态下，只有基板用收纳容器2中的载置支承部件4载置支承于支承台8，容器主体3由调整销52支承。顺便说明一下，所谓载置支承部件4的下表面是载置支承部件4在基板用收纳容器2载置支承于支承台8的状态下与支承板8b的上表面接触的面。

如图9所示，多个调整销52分别随着通过堆装起重机7从离开状态切换到嵌合状态，在承接支承嵌合用凹部53的状态(即，调整销52与嵌合用凹部53嵌合的状态)下将容器主体3相对于载置支承部件4抬起。即，如图9(b)所示，在调整销52与容器主体3的嵌合用凹部53嵌合的嵌合状态下，成为定位销34a比卡合用凹部34b向下方离开的状态(非卡合状态)。并且，在该状态下调整销52从下方支承容器主体3。于是，在切换到嵌合状态从而容器主体3被调整销52支承的状态下，容器主体3的下表面位于比定位销34a的上端靠上方的位置，容器主体3不会被限制机构34所限制，成为能够相对于载置支承部件4在水平方向移动的状态。

嵌合用倾斜面54形成在各个嵌合用凹部53的周围，并形成为越靠上方侧直径越小的圆锥状。即，在使容器主体3相对于调整销52进行下降移动从而从离开状态切换到嵌合状态时，容器主体3从基板移载用位置沿着水平方向偏移，即使在嵌合用凹部53的位置从调整销52的正上方沿水平方向发生了偏移的情况下，也是在调整销52与嵌合用倾斜面54抵接的状态(即，调整销52与嵌合用倾斜面54抵接着被引导的状态)下相对地上升移动。因此，容器主体3被引导从而容器主体3移动到基板移载用位置，使得嵌合用凹部53位于调整销52的正上方，调整销52与嵌合用凹部53嵌合。这样，位置调整机构51发挥这样的作用：即使容器主体3从基板移载用位置沿水平方向偏移，也通过嵌合用倾斜面54的作用将容器主体3的位置调整到基板移载用位置。

在载置支承部件4形成有开孔部55，该开孔部55形成在与嵌合用凹部53对应的部位，并且调整销52能够在上下方向相对于该开孔部55进行插拔。该开孔部55形成于这样的部位：在载置支承于载置支承部件4的容器主体3位于载置支承部件4上的适当位置(定位销的中心与卡合用凹部的中心一致的位置)的状态下，该开孔部55位于嵌合用凹部53的正下方，该开孔部55形成为俯视呈圆形的孔。另外，开孔部55形成为直径比嵌合用倾斜面54的下端部的直径大，以使得即使容器主体3在定位销34a与卡合用凹部34b卡合的状态下从载置支承部件4上的适当位置沿水平方向发生了偏移的情况下，也能够使调整销52的上端部与嵌合用倾斜面54的外周缘部接触。顺便说明一下，嵌合用倾斜面54的下端部的直径是考虑到以下两个量来进行设定的：由于堆装起重机7对支承台8的搬送精度而产生的相对于基板用收纳容器2的设定位置在水平方向的最大偏移量；以及由于定位销34a的直径与卡合用凹部34b的直径的差而产生的容器主体3的相对于载置支承部件4上的适当位置在水平方向的最大偏移量。

堆装起重机7构成为：以载置支承有容器主体3的载置支承部件4相对于支承台8从上方载置支承的方式将基板用收纳容器2搬送到支承台8，而且，以将载置支承部件4从支承台8捞起的方式将基板用收纳容器2搬离支承台8。并且堆装起重机7通过使基板用收纳容器2相对于支承台8从上方下降来使容器主体3相对于调整销52下降移动，通过将基板用收纳容器2相对于支承台8向上方捞起而使容器主体3相对于调整销52上升移动，堆装起重机7兼用作升降操作机构56。

总之，在容器主体3没有偏离基板移载用位置的情况下，在利用堆装起重机7使基板用收纳容器2相对于支承台8从上方下降时，调整销52在不与嵌合用倾斜面54抵接的情况下与嵌合用凹部53嵌合，因此不利用位置调整机构51进行调整。另外，在基板用收纳容器2从与基板移载机器人11对应地设定的支承台8上的设定位置沿水平方向偏移、或者载置支承于载置支承部件4的容器主体3从载置支承部件4上的适当位置沿水平方向偏移、或者由于这两个原因而使得容器主体3从基板移载用位置沿水平方向偏移的情况下，在利用堆装起重机7使基板用收纳容器2相对于支承台8从上方下降的时候，调整销52在与嵌合用倾斜面54抵接后与嵌合用凹部53嵌合，因此通过位置调整机构51将容器主体3的位置调整到基板移载用位置。这样，在容器主体3从基板移载用位置偏移的情况下，通过使位置调整机构51中的调整销52直接与容器主体3抵接，从而无需调整载置支承在支承台8上的载置支承部件4的位置就能够将容器主体3的位置调整到基板移载用位置。

【其他实施方式】

(1)在上述实施方式中，容器搬送装置7兼用作升降操作机构56，但是也可以设置使嵌合体进行升降移动的升降操作机构56等，与容器搬送装置7分开地设置升降操作机构56。例如，如图10所示，也可以设置使调整销52相对于支承台8升降移动的升降用气缸58来作为升降操作机构56。在该情况下，在基板用收纳容器2载置支承于支承台8的状态下，利用升降用气缸58来使调整销52升降移动，由此来切换嵌合状态(参照图10(b))和离开状态(参照图10(a))。

(2)在上述实施方式中，使位置调整机构51构成为具有嵌合体、被嵌合体、倾斜面部和升降操作机构，并且使容器主体相对于嵌合体相对地升降移动，以将容器主体调整到基板移载用位置，但是也可以改变该结构。例如可以使位置调整机构51构成为：设置从侧方与载置支承于支承台8的基板用收纳容器2中的容器主体3抵接的抵接部件，使抵接部件相对于容器主体在水平方向远近移动，以将容器主体调整到基板移载用位置。

(3)在上述实施方式中，在调整销52与容器主体3的嵌合用凹部53嵌合的嵌合状态下，卡合体成为比被卡合部向下方离开的非卡合状态，但是，该嵌合状态下的卡合体与被卡合部之间的卡合/非卡合状态可以变更。例如可以构成为：减小转移到调整销52与容器主体3的嵌合用凹部53嵌合的嵌合状态时所需要的、容器主体3相对于载置支承部件4的抬起量，从而在嵌合状态下也维持卡合体与被卡合部卡合的状态。在该情况下，在利用位置调整机构51在水平方向调整容器主体3的位置的时候，卡合体与被卡合体卡合，由此，载置支承部件4随动于容器主体3的移动在水平方向移动。另外，在上述实施方式中设置了卡合体和被卡合部，但是也可以不设置这些部件。

(4)在上述实施方式中，在容器主体3的下表面的四个角具有被嵌合部，并且与此对应地在支承台8上具有四个嵌合体，但是，被嵌合部和嵌合体的位置以及数量可以适当变更。例如，也可以以如下方式将被嵌合部设置在容器主体的四个部位：将被嵌合部设置在容器主体3的下表面中的横向宽度方向的两侧端部各自的前后方向中央部，而且将被嵌合部设置在容器主体3的下表面中的前后方向的前后端部各自的横向宽度方向中央部。另外，也可以以如下方式将被嵌合部设置在容器主体的三个部位：将被嵌合部分别设置在容器主体3的下表面中的后端部的前后方向两端部，而且将被嵌合部设置在容器主体3的下表面中的前端部的横向宽度方向中央部。另外，也可以将被嵌合部设置在中央部而不是设置在容器主体3的下表面的周缘部，另外也可以将被嵌合部设置在容器主体的五个部位以上。并且，嵌合体只要具有与支承台中的对应于被嵌合部的部位对应的数量即可。

(5)在上述实施方式中，将嵌合体设置于载置支承基板用收纳容器的支承台8，但是也可以不将嵌合体设置在支承台8上，而是将嵌合体设置在另行设置的专用的台上。

(6)在上述实施方式中，被嵌合部中的底部形成为越靠上方侧直径越小的渐细形状，被嵌合部中的比底部靠下方的部分形成为圆筒形状，但是也可以使被嵌合部整体形成为越靠上方侧直径越小的渐细形状。

Claims (4)

1.一种基板搬送设备，其包括：

容器搬送装置，其用于将容器搬送至基板移载用的支承台，所述容器具有能够以基板沿上下方向隔开间隔地排列的状态收纳多张基板的空间；以及

基板移载装置，其相对于载置支承于所述支承台的所述容器，通过形成于所述容器的侧部的出入口移载基板，以便取出基板和收纳基板，其特征在于，

所述容器构成为具有：容器主体，其具有所述出入口和所述空间；以及载置支承部件，其能够载置支承所述容器主体，并且具有在载置支承有所述容器主体的状态下向所述空间送出清洁空气的风机过滤机组，

所述容器搬送装置构成为：以使载置支承有所述容器主体的所述载置支承部件相对于所述支承台从上方载置支承的方式，将所述容器搬送到所述支承台，

所述基板搬送设备具有位置调整机构，该位置调整机构通过在所述容器载置支承于所述支承台的状态下与所述容器主体直接抵接，来将所述容器主体在水平方向的位置调整到用于由所述基板移载装置移载基板的基板移载用位置。

2.根据权利要求1所述的基板搬送设备，其特征在于，

所述位置调整机构构成为具有：多个嵌合体，其以从所述支承台向上方突出的状态设置于所述支承台；被嵌合部，其设置于所述容器主体并向上方凹入；倾斜面部，其设置于所述容器主体中的所述被嵌合部的周围，用于将所述嵌合体引导到所述被嵌合部；以及升降操作机构，其使所述容器主体和所述嵌合体相对地进行升降移动，以便切换到所述嵌合体与所述被嵌合部嵌合的嵌合状态以及使所述嵌合体从所述被嵌合部向下方离开的离开状态。

3.根据权利要求2所述的基板搬送设备，其特征在于，

所述嵌合体以固定状态设置于所述支承台，

所述容器搬送装置兼用作所述升降操作机构。

4.根据权利要求2或3所述的基板搬送设备，其特征在于，

在所述载置支承部件上以从该载置支承部件向上方突出的状态设置有多个卡合体，

在所述容器主体上设置有多个被卡合部，所述被卡合部形成为向上方凹入的形状，并且在由所述载置支承部件载置支承所述容器主体的状态下与所述卡合体卡合，

所述多个嵌合体分别构成为：随着利用所述升降操作机构从所述离开状态切换到所述嵌合状态，而在承接支承所述被嵌合部的状态下将所述容器主体相对于所述载置支承部件抬起，并且在所述嵌合状态下，以所述卡合体比所述被卡合部向下方离开的状态支承所述容器主体。

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