CN111038986A - 容纳系统 - Google Patents

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Abstract

容纳系统具备：调整机构，其调整保持部对容器的保持位置；控制部，其控制调整机构的驱动；传送机，其使容纳物移动到被保持部保持的状态的容器的容纳空间，将容纳物传送到容器；以及位置检测装置。位置检测装置设置成检测在容纳空间中被保持于传送机的状态的容纳物的、相对于容器的相对位置。控制部在传送机对容纳物的传送动作中，基于位置检测装置的检测信息，在容纳物被支撑于容器之前的状态下，执行将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置的调整控制。

Description

容纳系统
技术领域
本发明涉及将容纳物容纳于容器的容纳系统。
背景技术
在制造各种工业制品的制造设备例如半导体制品的制造设备中，为了将处理对象的物品(例如，半导体晶圆或玻璃基板等)或处理所用的物品(例如，分划板或掩模等)作为容纳物而容纳，使用容纳容纳物的容器。在日本特开平8-217207号公报(专利文献1)中，公开了这样的容器的一个示例。以下，在背景技术的说明中，括弧内所示的符号是专利文献1的符号。在专利文献1中，记载了如下的技术：在将工件(W)作为容纳物并将支撑框架(19)作为容器的构成中，进行临时容纳于支撑框架(19)的工件(W)的定心处理。如专利文献1的段落0005所记载的，这样的定心处理是为了防止不能够将工件(W)交接到下一个工序的不良状况、或在将工件(W)从支撑框架(19)取出时工件(W)与支撑框架(19)接触的不良状况而进行的。
如上所述，在专利文献1所记载的技术中，对临时容纳于支撑框架(19)的工件(W)进行定心处理。然后，在专利文献1所记载的技术中，为了可顺利地进行定心处理，以如下的方式构成：在通过在该工件(W)的下侧插入的手柄(36)将被支撑框架(19)的支撑片(23、25)支撑的工件(W)提升之后，使支撑框架(19)移动，使得工件(W)的中心线(C1)与左右的支撑片(23、25)的中心线(C2)一致，随后，使工件(W)从手柄(36)降落到支撑片(23、25)。
发明内容
如上所述，在专利文献1所记载的技术中，为了对临时容纳于容器的容纳物进行定心处理，除了用于预先将容纳物临时容纳于容器的工序以外，在定心处理中，还需要进行解除容器对容纳物的支撑的工序、和使该容纳物再次支撑于容器的工序。因此，在专利文献1所记载的技术中，为了实现容纳物被配置于容器内的适当容纳位置的状态所需要的工序数较多，因而设备的处理效率有可能下降。
于是，期望实现能够谋求为了实现容纳物被配置于容器内的适当容纳位置的状态所需要的工序数的减少的容纳系统。
本公开所涉及的容纳系统是将容纳物容纳于容器的容纳系统，具备保持前述容器的保持部、调整前述保持部对前述容器的保持位置的调整机构、控制前述调整机构的驱动的控制部、使前述容纳物移动到被前述保持部保持的状态的前述容器的容纳空间而将前述容纳物传送到前述容器的传送机、以及检测前述容纳物的位置的位置检测装置，前述位置检测装置设置成检测在前述容纳空间中被保持于前述传送机的状态的前述容纳物的、相对于前述容器的相对位置，前述控制部在前述传送机对前述容纳物的传送动作中，基于前述位置检测装置的检测信息，在前述容纳物被支撑于前述容器之前的状态下，执行将前述容器的前述保持位置调整成相对于前述容纳物而成为适当位置的调整控制。
依据该构成，由于在由传送机向容器传送容纳物的动作中执行调整控制，因而当将容纳物传送到容器时，能够将保持部对容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置，将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。此外，由于该调整控制在容纳物被支撑于容器之前的状态下执行，因而能够在容纳物与容器未接触的状态下顺利地调整容器的保持位置。
这样，依据上述的构成，通过在容纳物向容器的传送动作中执行调整控制，从而当将容纳物传送到容器时，能够将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。因此，除了容纳物向容器的传送动作以外，不需要进行使容纳物移动的动作，就能够实现容纳物被配置在容器内的适当容纳位置的状态。因而，能够谋求为了实现这样的状态所需要的工序数的减少。
此外，在上述的构成中，保持于传送机的容纳物与保持于保持部的容器的相对位置的调整通过保持部对容器的保持位置的调整来进行。因此，该容纳系统能够合适地适用于传送机对容纳物的保持位置的细微调整困难的情况。
容纳系统的进一步的特征和优点从关于参照附图说明的实施方式的以下的记载变得明确。
附图说明
图1是容纳系统的俯视图；
图2是容器调整单元的侧视图；
图3是容器调整单元的主视图；
图4是示出调整控制执行前的状态的一个示例的图；
图5是示出调整控制执行后的状态的一个示例的图；
图6是控制框图；
图7是控制流程图。
符号说明
1：容纳系统
2：控制部
13：保持部
20：调整机构
30：位置检测装置
31：第一传感器
32：第二传感器
33：第三传感器
53：传送机
60：容器
62：容纳空间
63：支撑部
64：限制部
70：容纳物
A1：第一调整方向
A2：第二调整方向
A3：旋转方向
D1：第一检测方向
D2：第二检测方向
R：旋转轴(与基准面正交的轴)。
具体实施方式
参照附图对容纳系统的实施方式进行说明。
容纳系统1是将容纳物70容纳于容器60的系统。在本实施方式中，容纳物70以平板状形成。具体地，如图1所示，容纳物70是掩模(例如，蒸镀掩模)，具备掩模主体71和支撑掩模主体71的掩模框架72。作为容纳物70的掩模用于例如有机EL(Electro Luminescence，电致发光)显示器的制造，在此情况下，容纳系统1设置于有机EL显示器的制造线。
如图1至图3、图6所示，容纳系统1具备：保持部13，其保持容器60；调整机构20，其调整保持部13对容器60的保持位置；控制部2，其控制调整机构20的驱动；传送机53，其将容纳物70传送到容器60；以及位置检测装置30，其检测容纳物70的位置。传送机53使容纳物70移动到被保持部13保持的状态的容器60的容纳空间62，将该容纳物70传送到容器60。在此，传送机53以还能够将容纳物70从容器60取出的方式构成。即，传送机53使在被保持部13保持的状态的容器60容纳的容纳物70移动到容纳空间62的外部，将该容纳物70从容器60取出。
如图2和图3所示，保持部13、调整机构20以及位置检测装置30构成调整容器60的位置的容器调整单元10。在本实施方式中，容器调整单元10以能够在保持有容器60的状态下移动的方式构成。即，容器调整单元10是移动型的单元。在此，如图1所示，容器调整单元10以能够沿着第一轨道14移动的方式构成。容器调整单元10将容纳容纳物70的容器60(例如，并未容纳有容纳物70的空的容器60)搬入到由传送机53进行容纳物70向容器60的传送的传送地点P(参照图1)。另外，容器调整单元10将容纳有容纳物70的容器60从传送地点P搬出。容器调整单元10例如将从传送地点P搬出的容器60搬入到容器60被传送于容器调整单元10与搬送装置(未图示)之间的地点。
在此，将沿着水平面并且彼此正交的两个方向作为第一方向X1和第二方向Y1(参照图1)。与后述的第三方向X2和第四方向Y2(参照图4)不同，这些第一方向X1和第二方向Y1作为在设有容纳系统1的空间中固定的方向而定义。如图2所示，在传送地点P处，传送机53相对于容器60从第二方向Y1的一侧将容纳物70传送到容器60。即，第二方向Y1作为在俯视(在沿着上下方向Z的方向上观察)时在传送地点P处与传送机53和容器60并排的方向平行的方向而定义。如图1至图3所示，在本实施方式中，传送机53具备从下方支撑容纳物70的支撑体54。如图3所示，支撑体54支撑容纳物70中的第一方向X1的中央部分。传送机53构成为能够使支撑体54沿着第二方向Y1突出后退移动(向靠近容器60一侧的突出移动和向远离容器60一侧的后退移动)，在支撑体54突出移动的状态下，容纳物70被传送于传送机53与容器60之间。
如图2和图3所示，容器60具备包围容纳物70的容纳空间62的容器主体61。容器主体61具有用于使容纳物70出入于容纳空间62的开口部60a。在此，容器主体61以具有四个侧壁部的长方体状形成，开口部60a形成于一个侧壁部。如图2所示，在本示例中，在与形成有开口部60a的侧壁部不同的侧壁部，也形成有使容纳空间62的内部与外部连通的开口部。而且，在传送地点P处，容器60以开口部60a朝向配置有传送机53的一侧(第二方向Y1的一侧)的姿势(图1至图3所示的姿势)被容器调整单元10(具体地，保持部13)保持。
在此，将沿着水平面并且彼此正交的两个方向作为第三方向X2和第四方向Y2(参照图4)。这些第三方向X2和第四方向Y2以容器调整单元10所具备的保持部13(参照图2、图3)为基准而定义。而且，第三方向X2和第四方向Y2定义成根据保持部13围绕后述的旋转轴R的旋转来维持第三方向X2与第四方向Y2正交的关系而旋转。如图4所示，容器60以开口部60a朝向第四方向Y2的一侧的姿势被容器调整单元10(具体地，保持部13)保持。即，第四方向Y2作为与被保持部13保持的容器60的开口部60a的开口方向(与形成有开口部60a的侧壁部正交的方向)平行的方向而定义。由于容器60被保持部13定位保持，因而容器60的位置或姿势与保持部13的位置或姿势的变化相应地变化。在以下的说明中，只要未特别声明，关于容器60的各个方向就为在容器60被保持部13保持的状态下的方向。
如图4所示，将以第三方向X2与第一方向X1变得平行的方式配置保持部13的状态、换言之以第四方向Y2与第二方向Y1变得平行的方式配置保持部13的状态，在以下称为“基准状态”。在图2和图3中，示出以成为基准状态的方式配置保持部13的状态。容纳物70向容器60的容纳处理在以成为基准状态的方式配置保持部13的状态下开始。
如图2和图3所示，容器60具备从下方支撑容纳物70的支撑部63。支撑部63以配置于容纳空间62的内部的方式固定于容器主体61。如图4所示，在本实施方式中，容器60具备沿第三方向X2隔开配置的一对支撑部63，容纳物70由该一对支撑部63在第三方向X2的两侧支撑。而且，通过使支撑体54和容器60的至少一方沿上下方向Z移动，使得传送机53所具备的支撑体54沿上下方向Z通过一对支撑部63之间，从而在传送机53(具体地，支撑体54)与容器60(具体地，支撑部63)之间传送容纳物70。
如图4所示，在本实施方式中，一对支撑部63由彼此分开的部件构成，但一对支撑部63也可以是同一部件中的互不相同的部分。例如，容器60具备在俯视(沿上下方向观察)时以在开口部60a侧开口的U字状(与开口部60a侧相反的一侧成为底部的U字状)形成的部件，一对支撑部63也可以由该部件中的相当于U字的两个对置的侧部的部分构成。
如上所述，在本实施方式中，容纳物70以平板状形成。而且，容器60构成为将容纳物70以沿着基准面的状态容纳。在本实施方式中，基准面是水平面，支撑部63以该支撑部63中的朝向上侧的支撑面沿着水平面的方式固定于容器主体61。另外，一对支撑部63被安装在彼此相同的高度。由此，容纳物70由一对支撑部63以沿着基准面(在此，水平面)的状态支撑。如图2和图3所示，在本实施方式中，容器60以能够将多个容纳物70(在本示例中，五个容纳物70)沿上下方向Z并排容纳的方式构成。即，容器60在沿上下方向Z并排的多个容纳位置中的每个具备支撑部63(在此，一对支撑部63)。
如图3所示，支撑部63具备限制部64，限制部64相对于被该支撑部63支撑的状态的容纳物70(在图3中以双点划线表示的容纳物70)配置于侧方，限制容纳物70的水平方向的移动。在本实施方式中，支撑部63具备第一限制部64a和第二限制部64b这两种限制部64。
第一限制部64a是限制容纳物70的第三方向X2的移动的限制部64。如图3和图5所示，第一限制部64a以与被支撑部63支撑的状态的容纳物70(在图3中以双点划线表示的容纳物70)的第三方向X2的外侧(容器60的远离第三方向X2的中心的一侧)的侧表面对置的方式配置，限制容纳物70向第三方向X2的外侧移动。此外，图3示出以成为上述基准状态的方式配置保持部13的状态，因而在图3中，第三方向X2是与第一方向X1平行的方向。如图5所示，第一限制部64a设置于一对支撑部63中的每个，以便限制被支撑部63支撑的状态的容纳物70向第三方向X2的两个外侧移动。
第二限制部64b是限制容纳物70的第四方向Y2的移动的限制部64。如图3和图5所示，第二限制部64b以与被支撑部63支撑的状态的容纳物70(在图3中以双点划线表示的容纳物70)的第四方向Y2的外侧(容器60的远离第四方向Y2的中心的一侧)的侧表面对置的方式配置，限制容纳物70向第四方向Y2的外侧移动。此外，图3示出以成为上述基准状态的方式配置保持部13的状态，因而在图3中，第四方向Y2是与纸面正交的方向。如图5所示，第二限制部64b设置于一对支撑部63中的第四方向Y2的两端部，以便限制被支撑部63支撑的状态的容纳物70向第四方向Y2的两个外侧移动。
在本实施方式中，传送机53以将容纳物70相对于支撑部63从上方传送的方式构成。具体地，传送机53在将被支撑体54支撑的容纳物70传送到支撑部63的情况下，在支撑体54位于与传送对象的支撑部63对应的设定高度的状态下使支撑体54突出移动，使支撑体54和被其支撑的容纳物70从开口部60a移动到容器60的容纳空间62。如图2和图3所示，设定高度被设定为被支撑体54支撑的容纳物70比传送对象的支撑部63(在图2和图3所示的状况下，在最上侧配置的支撑部63)更配置于上侧的高度。在传送对象的支撑部63是与在最上侧配置的支撑部63不同的支撑部63的情况下，设定高度被设定为被支撑体54支撑的容纳物70比传送对象的支撑部63更靠近上侧、不与相对于传送对象的支撑部63在上侧邻接地配置的支撑部63或被该支撑部63支撑的容纳物70接触的高度。
然后，在此状态下，通过使支撑体54和容器60的至少一方沿上下方向Z移动而使支撑体54相对于支撑部63从上方接近，从而使被支撑体54支撑的容纳物70降落到支撑部63。由此，将容纳物70相对于支撑部63从上方传送。在本实施方式中，通过使支撑体54和容器60的至少一方沿上下方向Z移动，使得支撑体54朝向下方通过一对支撑部63之间，从而将容纳物70相对于支撑部63从上方传送。然后，如果容纳物70被支撑部63支撑，则传送机53使支撑体54后退移动，使支撑体54从开口部60a移动到容纳空间62的外部。此外，在本实施方式中，如后所述，传送机53被沿上下方向Z移动自由的(即，升降自由的)升降体52支撑，通过使升降体52下降而使具备支撑体54的传送机53的整体下降，从而使支撑体54相对于支撑部63从上方接近(在此，使其朝向下方通过一对支撑部63之间)。此外，也可以为如下的构成：传送机53具备使支撑体54升降的升降机构，利用该升降机构使支撑体54下降，从而使支撑体54相对于支撑部63从上方接近。
详细情况省略，在将被支撑部63支撑的容纳物70从容器60取出的情况下，与将容纳物70相对于支撑部63传送的情况相反地使支撑体54移动。即，通过在使支撑体54突出移动之后，使支撑体54相对于容器60上升，从而将取出对象的容纳物70从支撑部63提升，随后，使支撑有容纳物70的状态的支撑体54后退移动。由此，将容纳物70从开口部60a取出到容器60的外侧(容纳空间62的外侧)。
如上所述，容器60在沿上下方向Z并排的多个容纳位置中的每个具备支撑部63(在此，一对支撑部63)。而且，在本实施方式中，从配置在上侧的支撑部63按顺序(即，从上侧的容纳位置按顺序)进行容纳物70相对于容器60的传送。另外，在本实施方式中，容纳物70自容器60的取出从容纳于下侧的容纳物70按顺序(即，从下侧的容纳位置按顺序)进行。因此，在本实施方式中，在相对于传送机53所具备的支撑体54在下侧不存在容纳物70的状态下，进行容纳物70相对于容器60的传送或容纳物70从容器60的取出，由此变得易于将多个支撑部63的上下方向Z的配置间隔(即，多个容纳位置的配置间隔)抑制得较短。
如图1所示，在本实施方式中，传送机53设置于在收纳架90与传送地点P之间搬送容纳物70的搬送装置50。收纳架90具备多个容纳容纳物70的收纳部91。在此，多个收纳部91沿第一方向X1多列地配置，并且沿上下方向Z多段地配置。另外，在此，在相对于收纳架90沿第一方向X1邻接的位置，设有传送地点P。而且，搬送装置50沿着第一方向X1行驶于收纳架90的前侧(使容纳物70相对于收纳架90出入的一侧)，在收纳架90(具体地，收纳部91)与传送地点P之间搬送容纳物70。在此，在被壁92包围的空间(洁净空气从天花板侧朝向地板侧流动的空间)的内部设置有收纳架90，搬送装置50在该空间的内部中搬送容纳物70。
在本实施方式中，搬送装置50是堆垛起重机。具体地，搬送装置50具备：行驶台车51，其被设置在地板部的第二轨道56引导而沿第一方向X1行驶自由；和升降体52，其被竖立设置在行驶台车51的桅杆55引导而沿上下方向Z移动自由(即，升降自由)。而且，传送机53被升降体52支撑。因而，包括支撑体54的传送机53的整体伴随着行驶台车51的行驶而沿第一方向X1移动，伴随着升降体52的升降而沿上下方向Z移动。
详细情况省略，容纳物70以由沿第一方向X1隔开配置的一对收纳用支撑部从下方支撑的状态被收纳部91收纳。而且，在将被收纳部91收纳的容纳物70从收纳部91取出的情况下，通过在使支撑体54突出移动到靠近收纳部91的一侧之后使升降体52上升，从而由支撑体54捞取被收纳部91收纳的容纳物70，随后，使支撑体54后退移动到远离收纳部91的一侧。另一方面，在将被支撑体54支撑的容纳物70收纳于收纳部91的情况下，通过在使支撑体54突出移动到靠近收纳部91的一侧之后使升降体52下降，从而使被支撑体54支撑的容纳物70降落到上述一对收纳用支撑部，随后，使支撑体54后退移动到远离收纳部91的一侧。
当将容纳物70容纳于容器60时，搬送装置50将容纳于容器60的容纳物70从收纳架90(具体地，收纳部91)取出，搬入到传送地点P。另外，容器调整单元10将容纳容纳物70的容器60(例如，并未容纳有容纳物70的空的容器60)搬入到传送地点P。此时，容器调整单元10所具备的保持部13(保持容器60的状态的保持部13)以成为上述基准状态的方式配置。然后，搬送装置50如上所述地使用传送机53将被支撑体54支撑的容纳物70相对于容器60的支撑部63从上方传送。具体地，使升降体52升降，使支撑有容纳物70的状态的支撑体54位于与传送对象的支撑部63对应的设定高度。接着，通过在使支撑体54突出移动到靠近容器60的一侧之后使升降体52下降，从而使被支撑体54支撑的容纳物70降落到支撑部63，随后，使支撑体54后退移动到远离容器60的一侧。
将容纳物70容纳于容器60时的搬送装置50或容器调整单元10的上述的各动作受到控制部2(参照图6)的控制而进行。控制部2具备CPU等运算处理装置，并且具备存储器等外围电路，通过这些硬件与在运算处理装置等硬件上执行的程序的协作而实现控制部2的各功能。控制部2也可以不是一个硬件，而是由能够彼此通信的多个硬件的集合构成。例如，控制控制部2中的容器调整单元10的功能和控制控制部2中的搬送装置50的功能也可以在能够彼此通信的分开的硬件上实现。
不过，当将容纳物70容纳于容器60时，控制部2使支撑有容纳物70的状态的支撑体54仅以设定量突出移动。该设定量根据传送地点P处的传送机53和容器60中的每个的第二方向Y1的配置位置之差来设定。在这样将支撑体54仅以设定量突出移动的状态下，如果容纳物70在俯视时不与限制部64重叠，则通过从该状态起使支撑体54和容器60的至少一方(在此，支撑体54)沿上下方向Z移动而使支撑体54相对于支撑部63从上方接近，从而能够使被支撑体54支撑的容纳物70不与限制部64接触地降落到支撑部63。即，能够使被支撑体54支撑的容纳物70降落到支撑部63，以遍及俯视时的容纳物70的整周而在容纳物70与限制部64之间形成有间隙G(参照图3)。
另一方面，在支撑体54仅以设定量突出移动的状态，如图4所示容纳物70在俯视时至少与任一个限制部64重叠的情况下，从该状态起使支撑体54和容器60的至少一方沿上下方向Z移动，因而不能使容纳物70恰当地降落到支撑部63。在被支撑体54支撑的容纳物70的位置或姿势从支撑体54上的适当位置或适当姿势偏离的情况下，在传送地点P处的传送机53的配置位置从适当位置偏离的情况下，在传送地点P处的容器60的配置位置从适当位置偏离的情况下等，可能发生容纳物70在俯视时与限制部64重叠的状况。
于是，该容器调整单元10如上所述具备：保持部13，其保持容器60；调整机构20，其调整保持部13对容器60的保持位置；以及位置检测装置30，其检测容纳物70的位置。如图2至图4所示，位置检测装置30设置成检测在容纳空间62中被保持于传送机53的状态的容纳物70的、相对于容器60的相对位置。在本实施方式中，位置检测装置30设置成在支撑体54位于上述设定高度的状态下，检测被该支撑体54支撑的状态的容纳物70的相对位置。然后，控制调整机构20的驱动的控制部2在传送机53对容纳物70的传送动作中，基于位置检测装置30的检测信息，在容纳物70被支撑于容器60之前的状态下，执行将容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置的调整控制。具体地，在支撑体54位于上述设定高度的状态下，执行调整控制。
通过执行这样的调整控制，从而当将容纳物70传送到容器60时，能够将保持部13对容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置，将容纳物70配置于容器60内的适当容纳位置(在此，遍及俯视时的容纳物70的整周而在容纳物70与限制部64之间形成有间隙G(参照图3)的位置)。此外，还考虑调整支撑体54的位置，使得被该支撑体54支撑的容纳物70相对于容器60而成为适当位置，以代替将容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置。然而，在此情况下，由于将检测容器60的位置的装置设置于支撑体54，因而支撑体54的厚度(上下方向Z的宽度)有可能变大。相对于此，在该容纳系统1中，由于将容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置，因而能够将支撑体54的厚度抑制得较小。其结果是，能够将仅仅为了使支撑体54移动而必须在容纳空间62的内部确保的空间抑制得较小，谋求容纳空间62中的容纳物70的容纳效率的提高。
以下，对用于使如上所述的调整控制成为可能的容器调整单元10的构成进行说明。如上所述，在本实施方式中，容器60构成为将容纳物70以沿着基准面(在此，水平面)的状态容纳。而且，将沿着基准面并且彼此交叉的两个方向作为第一调整方向A1和第二调整方向A2，将与基准面正交的轴作为旋转轴R，容器调整单元10所具备的调整机构20构成为能够沿第一调整方向A1、第二调整方向A2以及围绕旋转轴R的旋转方向A3(第三调整方向)中的每个方向调整容器60的保持位置。即，调整机构20具备：第一调整机构21，其沿第一调整方向A1调整容器60的保持位置；第二调整机构22，其沿第二调整方向A2调整容器60的保持位置；以及第三调整机构23，其沿旋转方向A3调整容器60的保持位置。
如图4和图5所示，在本实施方式中，第一调整方向A1与第三方向X2一致。因此，第一调整机构21是沿第三方向X2调整容器60的保持位置的机构。在此，第一调整机构21由如下的机构构成：在限制了保持部13相对于回旋台12的第四方向Y2的移动的状态下，引导保持部13相对于回旋台12的第三方向X2的移动。详细情况省略，在本实施方式中，如图2所示，作为一个示例，第一调整机构21由线性导轨构成，该线性导轨具备：引导轨道，其以沿着第三方向X2延伸的方式配置；和引导块，其被该引导轨道引导而沿着第三方向X2移动自由。此外，图2示出以成为上述基准状态的方式配置保持部13的状态，因而在图2中，第三方向X2是与纸面正交的方向。
容器调整单元10具备驱动第一调整机构21的第一马达M1(在此，电动马达)，控制部2通过控制第一马达M1的驱动而使保持部13相对于回旋台12沿第三方向X2移动，从而沿第一调整方向A1(第三方向X2)调整容器60的保持位置。在本实施方式中，如图3所示，作为一个示例，第一马达M1是构成电动汽缸的马达，由该电动汽缸驱动第一调整机构21。
如图1和图2所示，在本实施方式中，第二调整方向A2与第二方向Y1一致。因此，第二调整机构22是沿第二方向Y1调整容器60的保持位置的机构。如上所述，在本实施方式中，容器调整单元10是移动型的单元，容器调整单元10的整体构成为被沿着第二方向Y1设置的第一轨道14引导而能够移动。具体地，在本实施方式中，如图2和图3所示，容器调整单元10具备被第一轨道14引导而沿第二方向Y1行驶自由的主体部11。而且，第二调整机构22由引导主体部11沿着第二方向Y1的移动的机构构成。即，在本实施方式中，还将使容器调整单元10的整体沿第二方向Y1移动的机构用作第二调整机构22。在本实施方式中，如图3所示，作为一个示例，第二调整机构22由线性导轨构成，该线性导轨具备：第一轨道14；和引导块，其被第一轨道14引导而沿着第二方向Y1移动自由。
容器调整单元10具备驱动第二调整机构22的第二马达M2(在此，电动马达)，控制部2通过控制第二马达M2的驱动，使主体部11沿第二方向Y1移动(即，使容器调整单元10的整体沿第二方向Y1移动)，从而沿第二调整方向A2(第二方向Y1)调整容器60的保持位置。在本实施方式中，如图3所示，作为一个示例，第二马达M2构成为使与沿着第一轨道14设置的行驶用齿条啮合的行驶用小齿轮旋转驱动。
第三调整机构23是沿旋转方向A3调整容器60的保持位置的机构。在本实施方式中，如图2和图3所示，第三调整机构23由使回旋台12相对于主体部11围绕旋转轴R旋转的机构构成。如上所述，在本实施方式中，第一调整机构21以使保持部13相对于回旋台12移动的方式构成，因而作为由第一调整机构21调整容器60的保持位置的方向的第一调整方向A1与作为由第二调整机构22调整容器60的保持位置的方向的第二调整方向A2的在沿着基准面(在此，水平面)的面内的交叉角根据回旋台12的旋转位置而变化。即，将以成为基准状态的方式配置保持部13的回旋台12的旋转位置作为基准旋转位置，第一调整方向A1与第二调整方向A2的交叉角成为与回旋台12的旋转位置和基准旋转位置的差相应的角度。在回旋台12的旋转位置与基准旋转位置相等的情况下，如图4所示，第一调整方向A1与第二调整方向A2的交叉角成为90度。
容器调整单元10具备驱动第三调整机构23的第三马达M3(在此，电机马达)，控制部2通过控制第三马达M3的驱动，使回旋台12相对于主体部11围绕旋转轴R旋转，从而沿旋转方向A3调整容器60的保持位置。
由于调整机构20所具备的第一调整机构21、第二调整机构22以及第三调整机构23的各机构这样地构成，因而在本实施方式中，在调整控制中，通过利用调整机构20调整主体部11的第二方向Y1(第二调整方向A2)的配置位置、回旋台12相对于主体部11的围绕旋转轴R的旋转位置(旋转方向A3的位置)、以及保持部13相对于回旋台12的第三方向X2(第一调整方向A1)的配置位置，从而将容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置。如以下所述，控制部2基于位置检测装置30的检测信息，将执行调整控制时的第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。
如图2至图4所示，在本实施方式中，位置检测装置30具备第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33。将沿着基准面(在此，水平面)并且彼此交叉(在此，正交)的两个方向作为第一检测方向D1和第二检测方向D2，第一传感器31检测容纳物70相对于容器60的第一检测方向D1的相对位置，第二传感器32在第二检测方向D2的与第一传感器31不同的位置处检测容纳物70相对于容器60的第一检测方向D1的相对位置，第三传感器33检测容纳物70相对于容器60的第二检测方向D2的相对位置。在此，作为第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33，使用距离传感器(光距离传感器等)。在此，光距离传感器是基于朝向检测对象物(在此，容纳物70)照射的光的反射光而检测直到检测对象物的距离的传感器。
如图2至图5所示，在本实施方式中，第一传感器31被固定在保持部13的第一传感器支撑部41支撑，第二传感器32被固定在保持部13的第二传感器支撑部42支撑，第三传感器33被固定在保持部13的第三传感器支撑部43支撑。由于这样地设有第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33，因而第一检测方向D1和第二检测方向D2在维持了沿着基准面(在此，水平面)的面内的第一检测方向D1与第二检测方向D2的交叉角(在本实施方式中，90度)的状态下，根据回旋台12的旋转位置而变化。在此，以在与沿上下方向Z并排的多个支撑部63中的每个对应的上述设定高度配置有第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33的方式，与沿上下方向Z并排的支撑部63的数量相同的数量的第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33被对应的传感器支撑部(41、42、43)支撑。
在本实施方式中，如图4和图5所示，第一检测方向D1与第三方向X2一致。因而，第一传感器31和第二传感器32中的每个检测在容纳空间62中被保持于传送机53的状态的容纳物70(参照图2、图3)的、相对于容器60的第三方向X2的相对位置。另外，在本实施方式中，第二检测方向D2与第四方向Y2一致。因而，第三传感器33检测在容纳空间62中被保持于传送机53的状态的容纳物70(参照图2、图3)的、相对于容器60的第四方向Y2的相对位置。
然后，控制部2构成为基于第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33中的每个的检测信息，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。在本实施方式中，如图4所示，第一传感器31检测第一距离L1，该第一距离L1为直到在容纳空间62中被保持于传送机53的状态的容纳物70的侧表面的沿着第三方向X2(第一检测方向D1)的距离，第二传感器32在第四方向Y2(第二检测方向D2)的与第一传感器31不同的位置处检测第二距离L2，该的第二距离L2为直到该容纳物70的侧表面的沿着第三方向X2(第一检测方向D1)的距离，第三传感器33检测第三距离L3，该第三距离L3为直到该容纳物70的侧表面的沿着第四方向Y2(第二检测方向D2)的距离。
然后，控制部2基于这些第一距离L1、第二距离L2以及第三距离L3，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。详细情况省略，控制部2通过例如进行几何学的计算，从而将各方向上的容器60的保持位置的调整量导出。在本实施方式中，控制部2在容纳物70比限制部64(在传送对象的支撑部63设置的限制部64)更位于上方的状态下，执行将容器60的保持位置调整成相对于容纳物70而成为适当位置的调整控制。而且，在本实施方式中，将执行调整控制时的适当位置作为如图5所示在俯视时容纳物70不与限制部64重叠那样的容器60的保持位置。
接着，参照图7对由控制部2执行的容纳物70向容器60的容纳处理的处理次序进行说明。此外，该容纳处理在如下的状态下开始：由后退位置的支撑体54支撑容纳物70的状态的传送机53位于传送地点P，并且由保持部13保持容器60的状态的容器调整单元10位于传送地点P，而且保持部13以成为上述基准状态的方式配置。
首先，控制部2如图2至图4所示，在支撑体54位于与传送对象的支撑部63对应的设定高度的状态下，使支撑体54仅以设定量突出移动，使支撑体54和被支撑体54支撑的状态的容纳物70移动到容器60的容纳空间62(步骤#01)。然后，控制部2使用位置检测装置30检测在容纳空间62中被保持于传送机53的状态的容纳物70的、相对于容器60的相对位置(步骤#02)，基于该检测结果，判定是否需要调整控制(步骤#03)。在本实施方式中，在基于位置检测装置30的检测结果而判定为以在俯视时不与限制部64重叠的方式配置有容纳物70的情况下，控制部2判定为不需要调整控制(步骤#03：否)，使支撑体54相对于支撑部63从上方接近，将被支撑体54支撑的容纳物70传送到支撑部63(步骤#05)。
另一方面，在基于位置检测装置30的检测结果而判定为以在俯视时与限制部64重叠的方式配置有容纳物70的情况下，控制部2判定为需要调整控制(步骤#03：是)，执行调整控制(步骤#04)。在该调整控制中，如上所述，基于位置检测装置30的检测信息，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。在此，用于如图5所示以在俯视时不与限制部64重叠的方式将容纳物70相对于容器60配置的、各方向上的容器60的保持位置的调整量导出。然后，控制部2控制调整机构20(在此，第一调整机构21、第二调整机构22以及第三调整机构23)的驱动，在第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上，仅以所导出的调整量调整容器60的保持位置。然后，调整控制结束，如果如图5所示以在俯视时不与限制部64重叠的方式将容纳物70相对于容器60配置，则使支撑体54相对于支撑部63从上方接近，将被支撑体54支撑的容纳物70传送到支撑部63(步骤#05)。
控制部2在接着将另外的容纳物70容纳于容器60的情况下，控制调整机构20的驱动而使保持部13恢复到以成为基准状态的方式配置的状态，之后再次执行从步骤#01起的处理。
(其它实施方式)
接着，对容纳系统的其它实施方式进行说明。
(1)在上述的实施方式中，以如下的构成为例进行了说明：位置检测装置30具备第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33这三个传感器，控制部2基于第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33中的每个的检测信息，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。可是，不限定于那样的构成，还能够为如下的构成：位置检测装置30具备四个以上的传感器，控制部2基于位置检测装置30所具备的多个传感器中的每个的检测信息，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。例如还能够为如下的构成：位置检测装置30除了第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33这三个传感器之外，还具备第四传感器，该第四传感器在第一检测方向D1(在上述的实施方式中，第三方向X2)的与第三传感器33不同的位置处，检测容纳物70相对于容器60的第二检测方向D2(在上述的实施方式中，第四方向Y2)的相对位置。
(2)在上述的实施方式中，以如下的构成为例进行了说明：第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33固定于保持部13，第一检测方向D1和第二检测方向D2根据回旋台12的旋转位置而变化。可是，不限定于那样的构成，例如还能够为如下的构成：第一传感器31、第二传感器32以及第三传感器33固定于主体部11，第一检测方向D1和第二检测方向D2并不根据回旋台12的旋转位置而变化。在此情况下，例如能够为如下的构成：第一检测方向D1与第一方向X1一致，第二检测方向D2与第二方向Y1一致。
(3)在上述的实施方式中，以如下的构成为例进行了说明：控制部2基于第一距离L1、第二距离L2以及第三距离L3，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。可是，不限定于那样的构成，例如还能够为如下的构成：位置检测装置30具备图像传感器，控制部2基于针对图像传感器的检测信息的图像处理结果，将第一调整方向A1、第二调整方向A2以及旋转方向A3中的每个上的容器60的保持位置的调整量导出。
(4)在上述的实施方式中，以如下的构成为例进行了说明：将使容器调整单元10的整体沿第二方向Y1移动的机构用作第二调整机构22。可是，不限定于那样的构成，还能够将第二调整机构22与使容器调整单元10的整体沿第二方向Y1移动的机构分开地设置。例如，能够由调整保持部13相对于回旋台12的第二调整方向A2的配置位置的机构构成第二调整机构22。在此情况下，第二调整方向A2例如与第四方向Y2一致。另外，例如还能够由调整回旋台12相对于主体部11的第二调整方向A2的配置位置的机构构成第二调整机构22。在此情况下，第二调整方向A2例如与第二方向Y1一致。这样，在将第二调整机构22与使容器调整单元10的整体沿第二方向Y1移动的机构分开地设置的情况下，还能够为容器调整单元10的整体沿第一方向X1移动的构成，并为将使容器调整单元10的整体沿第一方向X1移动的机构用作第一调整机构21的构成。在此情况下，第一调整方向A1与第一方向X1一致。
(5)在上述的实施方式中，以如下的情况为例进行了说明：第一调整机构21由调整保持部13相对于回旋台12的第一调整方向A1的配置位置的机构构成。可是，不限定于那样的构成，还能够由调整回旋台12相对于主体部11的第一调整方向A1的配置位置的机构构成第一调整机构21。在此情况下，第一调整方向A1例如与第一方向X1一致。
(6)在上述的实施方式中，以如下的情况为例进行了说明：容器调整单元10以在保持容器60的状态下能够超过用于调整控制的调整量而移动的方式构成。可是，不限定于那样的构成，还能够为如下的构成：容器调整单元10的位置被维持在传送地点P，容器调整单元10并不超过用于调整控制的调整量而移动。
(7)在上述的实施方式中，以具备传送机53的搬送装置50是堆垛起重机的构成为例进行了说明。可是，不限定于那样的构成，还能够使搬送装置50为一边识别自身的当前位置一边自行行驶于地板部的搬送装置、或在被支撑于设置在天花板侧的轨道的状态下被该轨道引导而行驶的天花板搬送车等堆垛起重机以外的搬送装置。另外，在上述的实施方式中，以传送机53配备于搬送装置50的构成为例进行了说明，但还能够为传送机53的位置被固定于传送地点P的构成。
(8)在上述的实施方式中，以传送机53具备从下方支撑容纳物70的支撑体54的构成为例进行了说明。可是，不限定于那样的构成，还能够为传送机53具备从上方支撑(例如，吸附支撑)容纳物70的支撑体的构成、或传送机53具备从水平方向的两侧夹持容纳物70的支撑体(夹具部)的构成等。
(9)在上述的实施方式中，以容纳物70是掩模的构成为例进行了说明。可是，不限定于那样的构成，也可以使容纳物70为掩模以外的平板状的部件(例如，玻璃基板、半导体晶圆、分划板等)。另外，也可以使容纳物70为平板状以外的形状(例如，箱状或圆柱状等)的部件。
(10)此外，上述的各实施方式中所公开的构成只要未产生矛盾，就也能够与另外的实施方式中所公开的构成组合而适用(包括作为其它实施方式而说明的实施方式彼此的组合)。关于其它的构成，本说明书中所公开的实施方式在所有的点上也都只不过是例示。因此，能够在不脱离本公开的宗旨的范围内适当地进行各种改变。
(上述实施方式的概要)
以下，对上述中说明的容纳系统的概要进行说明。
一种将容纳物容纳于容器的容纳系统，具备保持前述容器的保持部、调整前述保持部对前述容器的保持位置的调整机构、控制前述调整机构的驱动的控制部、使前述容纳物移动到被前述保持部保持的状态的前述容器的容纳空间而将前述容纳物传送到前述容器的传送机、以及检测前述容纳物的位置的位置检测装置，前述位置检测装置设置成检测在前述容纳空间中被保持于前述传送机的状态的前述容纳物的、相对于前述容器的相对位置，前述控制部在前述传送机对前述容纳物的传送动作中，基于前述位置检测装置的检测信息，在前述容纳物被支撑于前述容器之前的状态下，执行将前述容器的前述保持位置调整成相对于前述容纳物而成为适当位置的调整控制。
依据该构成，由于在由传送机向容器传送容纳物的动作中执行调整控制，因而当将容纳物传送到容器时，能够将保持部对容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置，将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。此外，由于该调整控制在容纳物被支撑于容器之前的状态下执行，因而能够在容纳物与容器未接触的状态下顺利地调整容器的保持位置。
这样，依据上述的构成，通过在容纳物向容器的传送动作中执行调整控制，从而当将容纳物传送到容器时，能够将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。因此，除了容纳物向容器的传送动作以外，不需要进行使容纳物移动的动作，就能够实现容纳物被配置于容器内的适当容纳位置的状态。因而，能够谋求为了实现这样的状态所需要的工序数的减少。
此外，在上述的构成中，被传送机保持的容纳物与被保持部保持的容器的相对位置的调整通过保持部对容器的保持位置的调整来进行。因此，该容纳系统能够合适地适用于传送机对容纳物的保持位置的细微调整困难的情况。
在此，合适的是，前述容纳物以平板状形成，前述容器构成为将前述容纳物以沿着基准面的状态容纳，以沿着前述基准面并且彼此交叉的两个方向作为第一调整方向和第二调整方向，前述调整机构构成为能够沿前述第一调整方向、前述第二调整方向、以及围绕与前述基准面正交的轴的旋转方向中的每个方向调整前述容器的前述保持位置。
依据该构成，不仅在保持于传送机的容纳物的姿势(在沿着与基准面正交的轴的方向上观察时的姿势)相对于针对容器的适当姿势而与沿着基准面的方向平行地偏离的情况下，而且还在倾斜的情况下，都能够通过调整机构将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置。因而，无论保持于传送机的容纳物的姿势如何，都易于将容纳物配置在容器内的适当容纳位置。
如上所述，合适的是，在前述调整机构能够沿前述第一调整方向、前述第二调整方向以及前述旋转方向中的每个方向调整前述容器的前述保持位置的构成中，以沿着前述基准面并且彼此交叉的两个方向作为第一检测方向和第二检测方向，前述位置检测装置具备检测前述容纳物相对于前述容器的前述第一检测方向的相对位置的第一传感器、在前述第二检测方向的与前述第一传感器不同的位置处检测前述容纳物相对于前述容器的前述第一检测方向的相对位置的第二传感器、以及检测前述容纳物相对于前述容器的前述第二检测方向的相对位置的第三传感器，前述控制部构成为基于前述第一传感器、前述第二传感器以及前述第三传感器中的每个的检测信息，将前述第一调整方向、前述第二调整方向以及前述旋转方向中的每个上的前述容器的前述保持位置的调整量导出。
依据该构成，能够使位置检测装置的构成为比较简单的构成，并且将第一调整方向、第二调整方向以及旋转方向中的每个上的容器的保持位置的调整量恰当地导出，将容器的保持位置调整成相对于容纳物而成为适当位置。
在上述的各构成的容纳系统中，合适的是，前述容器具备从下方支撑前述容纳物的支撑部，前述传送机构成为将前述容纳物相对于前述支撑部从上方传送，前述支撑部具备限制部，该限制部相对于被该支撑部支撑的状态的前述容纳物被配置于侧方，并限制前述容纳物的水平方向的移动，前述适当位置是在沿上下方向观察时前述容纳物不与前述限制部重叠那样的前述容器的前述保持位置，前述控制部在前述容纳物比前述限制部更位于上方的状态下执行前述调整控制。
依据该构成，由于支撑部具备限制部，因而能够由限制部将容纳于容器的容纳物的位置保持在容器内的适当容纳位置。而且，依据上述的构成，在容纳物比限制部更位于上方的状态下执行调整控制，在该调整控制中，将容器的保持位置调整成为在沿上下方向观察时容纳物不与限制部重叠的适当位置。因而，即使在这样支撑部具备限制部的情况下，也能够不与限制部接触地将容纳物传送到容器的支撑部。
本公开所涉及的容纳系统能够起到上述各效果中的至少一种即可。

Claims (4)

1.一种将容纳物容纳于容器的容纳系统，具备以下：
保持部，其保持所述容器；
调整机构，其调整所述保持部对所述容器的保持位置；
控制部，其控制所述调整机构的驱动；
传送机，其使所述容纳物移动到被所述保持部保持的状态的所述容器的容纳空间，将所述容纳物传送到所述容器；
位置检测装置，其检测所述容纳物的位置；
其具有以下的特征：
所述位置检测装置设置成检测在所述容纳空间中被保持于所述传送机的状态的所述容纳物的、相对于所述容器的相对位置，
所述控制部在所述传送机对所述容纳物的传送动作中，基于所述位置检测装置的检测信息，在所述容纳物被支撑于所述容器之前的状态下，执行将所述容器的所述保持位置调整成相对于所述容纳物而成为适当位置的调整控制。
2.根据权利要求1所述的容纳系统，其特征在于：
所述容纳物以平板状形成，
所述容器构成为将所述容纳物以沿着基准面的状态容纳，
以沿着所述基准面并且彼此交叉的两个方向作为第一调整方向和第二调整方向，
所述调整机构构成为能够沿所述第一调整方向、所述第二调整方向、以及围绕与所述基准面正交的轴的旋转方向中的每个方向调整所述容器的所述保持位置。
3.根据权利要求2所述的容纳系统，其特征在于：
以沿着所述基准面并且彼此交叉的两个方向作为第一检测方向和第二检测方向，
所述位置检测装置具备：第一传感器，其检测所述容纳物相对于所述容器的所述第一检测方向的相对位置；第二传感器，其在所述第二检测方向的与所述第一传感器不同的位置处，检测所述容纳物相对于所述容器的所述第一检测方向的相对位置；以及第三传感器，其检测所述容纳物相对于所述容器的所述第二检测方向的相对位置，
所述控制部构成为基于所述第一传感器、所述第二传感器以及所述第三传感器中的每个的检测信息，将所述第一调整方向、所述第二调整方向以及所述旋转方向中的每个上的所述容器的所述保持位置的调整量导出。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的容纳系统，其特征在于：
所述容器具备从下方支撑所述容纳物的支撑部，
所述传送机构成为将所述容纳物相对于所述支撑部从上方传送，
所述支撑部具备限制部，其相对于被该支撑部支撑的状态的所述容纳物而配置于侧方，并限制所述容纳物的水平方向的移动，
所述适当位置是沿上下方向观察时所述容纳物不与所述限制部重叠那样的所述容器的所述保持位置，
所述控制部在所述容纳物比所述限制部更位于上方的状态下执行所述调整控制。
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