JP7066592B2

JP7066592B2 - 収容システム

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Publication number: JP7066592B2
Application number: JP2018193503A
Authority: JP
Inventors: 貴史夫馬; 喜隆出口; 素原田; 敬司柴田; 宏志石黒
Original assignee: Daifuku Co Ltd
Current assignee: Daifuku Co Ltd
Priority date: 2018-10-12
Filing date: 2018-10-12
Publication date: 2022-05-13
Anticipated expiration: 2038-10-12
Also published as: JP2020059594A; CN111038986A; US20200115173A1; TW202023923A; TWI829780B; CN111038986B; KR20200041795A; US11834283B2

Description

本発明は、収容物を容器に収容する収容システムに関する。

収容物を収容する容器は、各種の工業製品を製造する製造設備、例えば半導体製品の製造設備において、処理対象の物品（例えば、半導体ウェハやガラス基板等）や処理に用いる物品（例えば、レチクルやマスク等）を収容物として収容するために用いられる。このような容器の一例が、特開平８－２１７２０７号公報（特許文献１）に開示されている。以下、背景技術の説明において括弧内に示す符号は特許文献１のものである。特許文献１には、ワーク（Ｗ）を収容物とし、支持フレーム（１９）を容器とする構成において、支持フレーム（１９）に仮収容されているワーク（Ｗ）のセンタリング処理を行う技術が記載されている。特許文献１の段落０００５に記載されているように、このようなセンタリング処理は、次工程へのワーク（Ｗ）の受け渡しができないといった不具合や、支持フレーム（１９）からのワーク（Ｗ）の取り出し時にワーク（Ｗ）が支持フレーム（１９）に接触するといった不具合を防止するために行われる。

上記のように、特許文献１に記載の技術では、支持フレーム（１９）に仮収容されているワーク（Ｗ）に対してセンタリング処理が行われる。そして、特許文献１に記載の技術では、円滑にセンタリング処理が行えるように、支持フレーム（１９）の支持片（２３，２５）に支持されているワーク（Ｗ）を、当該ワーク（Ｗ）の下側に挿入したハンド（３６）により持ち上げた後、ワーク（Ｗ）の中心線（Ｃ１）と左右の支持片（２３，２５）の中心線（Ｃ２）とが一致するように支持フレーム（１９）を移動させ、その後、ワーク（Ｗ）をハンド（３６）から支持片（２３，２５）に降ろすように構成されている。

特開平８－２１７２０７号公報

上記のように、特許文献１に記載の技術では、容器に仮収容されている収容物に対してセンタリング処理を行うため、収容物を予め容器に仮収容するための工程とは別に、センタリング処理において、容器による収容物の支持を解除する工程と、当該収容物を容器に再度支持させる工程とを行う必要がある。そのため、特許文献１に記載の技術では、収容物が容器内の適正収容位置に配置された状態を実現するために必要な工程数が多くなることで、設備の処理効率が低下するおそれがある。

そこで、収容物が容器内の適正収容位置に配置された状態を実現するために必要な工程数の低減を図ることが可能な収容システムの実現が望まれる。

本開示に係る収容システムは、収容物を容器に収容する収容システムであって、収容物を容器に収容する収容システムであって、前記容器を保持する保持部と、前記保持部による前記容器の保持位置を調整する調整機構と、前記収容物の位置を検出する位置検出装置と、を備えた容器調整ユニットと、前記調整機構の駆動を制御する制御部と、前記保持部に保持されている状態の前記容器の収容空間に前記収容物を移動させて、前記収容物を前記容器に移載する移載機と、を備え、前記容器は、前記収容物を下方から支持する支持部を備え、前記位置検出装置は、前記収容空間において前記支持部に対して予め規定された設定高さに位置した前記移載機に保持されている状態の前記収容物の、前記容器に対する相対位置を検出するように、前記容器調整ユニットに設けられ、前記制御部は、前記移載機による前記収容物の移載動作中に、前記位置検出装置の検出情報に基づき、前記収容物に対して適正位置となるように前記容器の前記保持位置を調整する調整制御を、前記収容物が前記支持部に支持される前の状態で実行する。

この構成によれば、移載機による収容物の容器への移載動作中に調整制御が実行されるため、収容物を容器に移載する際に、保持部による容器の保持位置を収容物に対して適正位置となるように調整して、収容物を容器内の適正収容位置に配置することができる。なお、この調整制御は、収容物が容器に支持される前の状態で実行されるため、収容物と容器とが接触していない状態で、容器の保持位置を円滑に調整することができる。
このように、上記の構成によれば、収容物の容器への移載動作中に調整制御を実行することで、収容物を容器に移載する際に、収容物を容器内の適正収容位置に配置することができる。そのため、収容物の容器への移載動作とは別に収容物を移動させる動作を行う必要がなく、収容物が容器内の適正収容位置に配置された状態を実現することができる。よって、このような状態を実現するために必要な工程数の低減を図ることができる。
なお、上記の構成では、移載機に保持された収容物と保持部に保持された容器との相対位置の調整が、保持部による容器の保持位置の調整によって行われる。そのため、この収容システムは、移載機による収容物の保持位置の微調整が困難な場合に好適に適用することができる。

収容システムの更なる特徴と利点は、図面を参照して説明する実施形態についての以下の記載から明確となる。

収容システムの平面図容器調整ユニットの側面図容器調整ユニットの正面図調整制御の実行前の状態の一例を示す図調整制御の実行後の状態の一例を示す図制御ブロック図制御フロー図

収容システムの実施形態について、図面を参照して説明する。

収容システム１は、収容物７０を容器６０に収容するシステムである。本実施形態では、収容物７０は、平板状に形成されている。具体的には、図１に示すように、収容物７０は、マスク（例えば、蒸着マスク）であり、マスク本体７１と、マスク本体７１を支持するマスクフレーム７２とを備えている。収容物７０としてのマスクは、例えば、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイの製造に用いられ、この場合、収容システム１は、有機ＥＬディスプレイの製造ラインに設けられる。

図１～図３、図６に示すように、収容システム１は、容器６０を保持する保持部１３と、保持部１３による容器６０の保持位置を調整する調整機構２０と、調整機構２０の駆動を制御する制御部２と、収容物７０を容器６０に移載する移載機５３と、収容物７０の位置を検出する位置検出装置３０と、を備えている。移載機５３は、保持部１３に保持されている状態の容器６０の収容空間６２に収容物７０を移動させて、当該収容物７０を容器６０に移載する。ここでは、移載機５３は、容器６０から収容物７０を取り出すことも可能に構成されている。すなわち、移載機５３は、保持部１３に保持されている状態の容器６０に収容されている収容物７０を、収容空間６２の外部に移動させて、当該収容物７０を容器６０から取り出す。

図２及び図３に示すように、保持部１３、調整機構２０、及び位置検出装置３０は、容器６０の位置を調整する容器調整ユニット１０を構成している。本実施形態では、容器調整ユニット１０は、容器６０を保持した状態で移動可能に構成されている。すなわち、容器調整ユニット１０は、移動型のユニットである。ここでは、図１に示すように、容器調整ユニット１０は、第１レール１４に沿って移動可能に構成されている。容器調整ユニット１０は、収容物７０を収容する容器６０（例えば、収容物７０が収容されていない空の容器６０）を、移載機５３による収容物７０の容器６０への移載が行われる移載箇所Ｐ（図１参照）に搬入する。また、容器調整ユニット１０は、収容物７０が収容された容器６０を移載箇所Ｐから搬出する。容器調整ユニット１０は、例えば、移載箇所Ｐから搬出した容器６０を、容器調整ユニット１０と搬送装置（図示せず）との間で容器６０が移載される箇所に搬入する。

ここで、水平面に沿うと共に互いに直交する２つの方向を第１方向Ｘ１及び第２方向Ｙ１とする（図１参照）。これらの第１方向Ｘ１及び第２方向Ｙ１は、後述する第３方向Ｘ２及び第４方向Ｙ２（図４参照）とは異なり、収容システム１が設けられた空間に固定された方向として定義される。図２に示すように、移載機５３は、移載箇所Ｐにおいて、容器６０に対して第２方向Ｙ１の一方側から、収容物７０を容器６０に移載する。すなわち、第２方向Ｙ１は、平面視（上下方向Ｚに沿った方向視）で、移載箇所Ｐにおいて移載機５３と容器６０とが並ぶ方向に平行な方向として定義される。図１～図３に示すように、本実施形態では、移載機５３は、収容物７０を下方から支持する支持体５４を備えている。図３に示すように、支持体５４は、収容物７０における第１方向Ｘ１の中央部分を支持する。移載機５３は、支持体５４を、第２方向Ｙ１に沿って出退移動（容器６０に近づく側への突出移動、及び、容器６０から離れる側への引退移動）させることが可能に構成されており、支持体５４が突出移動された状態で、移載機５３と容器６０との間で収容物７０が移載される。

図２及び図３に示すように、容器６０は、収容物７０の収容空間６２を囲む容器本体６１を備えている。容器本体６１は、収容物７０を収容空間６２に出し入れするための開口部６０ａを有している。ここでは、容器本体６１は、４つの側壁部を有する直方体状に形成されており、開口部６０ａは、１つの側壁部に形成されている。図２に示すように、本例では、開口部６０ａが形成された側壁部とは異なる側壁部にも、収容空間６２の内部と外部とを連通する開口部が形成されている。そして、容器６０は、移載箇所Ｐにおいて、移載機５３が配置される側（第２方向Ｙ１の一方側）を開口部６０ａが向く姿勢（図１～図３に示す姿勢）で、容器調整ユニット１０（具体的には、保持部１３）に保持される。

ここで、水平面に沿うと共に互いに直交する２つの方向を第３方向Ｘ２及び第４方向Ｙ２とする（図４参照）。これらの第３方向Ｘ２及び第４方向Ｙ２は、容器調整ユニット１０が備える保持部１３（図２、図３参照）を基準として定義される。そして、第３方向Ｘ２及び第４方向Ｙ２は、保持部１３の後述する回転軸Ｒ周りの回転に応じて、第３方向Ｘ２と第４方向Ｙ２とが直交する関係を維持して回転するように定義される。図４に示すように、容器６０は、開口部６０ａが第４方向Ｙ２の一方側を向く姿勢で容器調整ユニット１０（具体的には、保持部１３）に保持される。すなわち、第４方向Ｙ２は、保持部１３に保持された容器６０の開口部６０ａの開口方向（開口部６０ａが形成された側壁部に直交する方向）に平行な方向として定義される。容器６０は、保持部１３に位置決め保持されるため、容器６０の位置や姿勢は、保持部１３の位置や姿勢の変化に合わせて変化する。以下の説明では、特に断らない限り、容器６０についての各方向は、容器６０が保持部１３に保持された状態での方向とする。

図４に示すように、第３方向Ｘ２が第１方向Ｘ１と平行になるように保持部１３が配置された状態、言い換えれば、第４方向Ｙ２が第２方向Ｙ１と平行になるように保持部１３が配置された状態を、以下では「基準状態」という。図２及び図３では、基準状態となるように保持部１３が配置された状態を示している。収容物７０の容器６０への収容処理は、基準状態となるように保持部１３が配置された状態で開始される。

図２及び図３に示すように、容器６０は、収容物７０を下方から支持する支持部６３を備えている。支持部６３は、収容空間６２の内部に配置されるように容器本体６１に固定されている。図４に示すように、本実施形態では、容器６０は、第３方向Ｘ２に離間して配置された一対の支持部６３を備えており、収容物７０は、当該一対の支持部６３によって第３方向Ｘ２の両側で支持される。そして、移載機５３が備える支持体５４が一対の支持部６３の間を上下方向Ｚに通過するように、支持体５４及び容器６０の少なくとも一方を上下方向Ｚに移動させることで、移載機５３（具体的には、支持体５４）と容器６０（具体的には、支持部６３）との間で収容物７０が移載される。

図４に示すように、本実施形態では、一対の支持部６３は互いに別の部材により構成されているが、一対の支持部６３が、同じ部材における互いに異なる部分であってもよい。例えば、容器６０が、平面視（上下方向視）で開口部６０ａ側に開口するＵ字状（開口部６０ａ側とは反対側が底部となるＵ字状）に形成された部材を備え、一対の支持部６３が、当該部材におけるＵ字の２つの対向する側部に相当する部分によって構成されてもよい。

上述したように、本実施形態では、収容物７０は平板状に形成されている。そして、容器６０は、収容物７０を基準面に沿う状態で収容するように構成されている。本実施形態では、基準面は水平面であり、支持部６３は、当該支持部６３における上側を向く支持面が水平面に沿うように容器本体６１に固定されている。また、一対の支持部６３は、互いに同じ高さに取り付けられている。これにより、収容物７０は、一対の支持部６３によって基準面（ここでは、水平面）に沿う状態で支持される。図２及び図３に示すように、本実施形態では、容器６０は、複数の収容物７０（本例では、５つの収容物７０）を上下方向Ｚに並べて収容することが可能に構成されている。すなわち、容器６０は、上下方向Ｚに並ぶ複数の収容位置のそれぞれに、支持部６３（ここでは、一対の支持部６３）を備えている。

図３に示すように、支持部６３は、当該支持部６３に支持された状態の収容物７０（図３において二点鎖線で示す収容物７０）に対して側方に配置されて、収容物７０の水平方向の移動を規制する規制部６４を備えている。本実施形態では、支持部６３は、第１規制部６４ａ及び第２規制部６４ｂの２種類の規制部６４を備えている。

第１規制部６４ａは、収容物７０の第３方向Ｘ２の移動を規制する規制部６４である。図３及び図５に示すように、第１規制部６４ａは、支持部６３に支持された状態の収容物７０（図３において二点鎖線で示す収容物７０）の第３方向Ｘ２の外側（容器６０の第３方向Ｘ２の中心から離れる側）の側面に対向するように配置されて、収容物７０が第３方向Ｘ２の外側に移動することを規制する。なお、図３は、上述した基準状態となるように保持部１３が配置された状態を示しているため、図３では、第３方向Ｘ２は第１方向Ｘ１と平行な方向である。図５に示すように、第１規制部６４ａは、支持部６３に支持された状態の収容物７０の第３方向Ｘ２の両外側への移動を規制するように、一対の支持部６３のそれぞれに設けられている。

第２規制部６４ｂは、収容物７０の第４方向Ｙ２の移動を規制する規制部６４である。図３及び図５に示すように、第２規制部６４ｂは、支持部６３に支持された状態の収容物７０（図３において二点鎖線で示す収容物７０）の第４方向Ｙ２の外側（容器６０の第４方向Ｙ２の中心から離れる側）の側面に対向するように配置されて、収容物７０が第４方向Ｙ２の外側に移動することを規制する。なお、図３は、上述した基準状態となるように保持部１３が配置された状態を示しているため、図３では、第４方向Ｙ２は紙面に直交する方向である。図５に示すように、第２規制部６４ｂは、支持部６３に支持された状態の収容物７０の第４方向Ｙ２の両外側への移動を規制するように、一対の支持部６３における第４方向Ｙ２の両端部に設けられている。

本実施形態では、移載機５３は、収容物７０を支持部６３に対して上方から移載するように構成されている。具体的には、移載機５３は、支持体５４に支持された収容物７０を支持部６３に移載する場合に、移載対象の支持部６３に対応する設定高さに支持体５４が位置する状態で、支持体５４を突出移動させて、支持体５４及びそれに支持された収容物７０を開口部６０ａから容器６０の収容空間６２に移動させる。図２及び図３に示すように、設定高さは、支持体５４に支持された収容物７０が、移載対象の支持部６３（図２及び図３に示す状況では、最も上側に配置された支持部６３）よりも上側に配置される高さに設定される。移載対象の支持部６３が、最も上側に配置された支持部６３とは異なる支持部６３である場合には、設定高さは、支持体５４に支持された収容物７０が、移載対象の支持部６３よりも上側であって、移載対象の支持部６３に対して上側に隣接して配置された支持部６３や当該支持部６３に支持された収容物７０に接触しない高さに設定される。

そして、この状態で、支持体５４及び容器６０の少なくとも一方を上下方向Ｚに移動させて支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させることで、支持体５４に支持された収容物７０を支持部６３に降ろす。これにより、収容物７０が支持部６３に対して上方から移載される。本実施形態では、支持体５４が一対の支持部６３の間を下方に向かって通過するように、支持体５４及び容器６０の少なくとも一方を上下方向Ｚに移動させることで、収容物７０を支持部６３に対して上方から移載する。そして、収容物７０が支持部６３に支持されると、移載機５３は、支持体５４を引退移動させて、支持体５４を開口部６０ａから収容空間６２の外部に移動させる。なお、本実施形態では、後述するように、移載機５３は、上下方向Ｚに移動自在な（すなわち、昇降自在な）昇降体５２に支持されており、昇降体５２を降下させて支持体５４を備える移載機５３の全体を降下させることで、支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させる（ここでは、一対の支持部６３の間を下方に向かって通過させる）。なお、移載機５３が支持体５４を昇降させる昇降機構を備え、支持体５４を当該昇降機構により降下させることで、支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させる構成としてもよい。

詳細は省略するが、支持部６３に支持された収容物７０を容器６０から取り出す場合には、収容物７０を支持部６３に対して移載する場合とは逆に支持体５４を移動させる。すなわち、支持体５４を突出移動させた後に支持体５４を容器６０に対して上昇させることで、取り出し対象の収容物７０を支持部６３から持ち上げ、その後、収容物７０を支持した状態の支持体５４を引退移動させる。これにより、収容物７０が、開口部６０ａから容器６０の外側（収容空間６２の外側）に取り出される。

上述したように、容器６０は、上下方向Ｚに並ぶ複数の収容位置のそれぞれに、支持部６３（ここでは、一対の支持部６３）を備えている。そして、本実施形態では、容器６０に対する収容物７０の移載は、上側に配置された支持部６３から順に（すなわち、上側の収容位置から順に）行われる。また、本実施形態では、容器６０からの収容物７０の取り出しは、下側に収容された収容物７０から順に（すなわち、下側の収容位置から順に）行われる。そのため、本実施形態では、容器６０に対する収容物７０の移載や容器６０からの収容物７０の取り出しは、移載機５３が備える支持体５４に対して下側に収容物７０が存在しない状態で行われ、これにより、複数の支持部６３の上下方向Ｚの配置間隔（すなわち、複数の収容位置の配置間隔）を短く抑えやすくなっている。

図１に示すように、本実施形態では、移載機５３は、収納棚９０と移載箇所Ｐとの間で収容物７０を搬送する搬送装置５０に設けられている。収納棚９０は、収容物７０を収容する収納部９１を複数備えている。ここでは、複数の収納部９１は、第１方向Ｘ１に複数列配置されていると共に、上下方向Ｚに複数段配置されている。また、ここでは、収納棚９０に対して第１方向Ｘ１に隣接する位置に、移載箇所Ｐが設けられている。そして、搬送装置５０は、収納棚９０の前側（収納棚９０に対して収容物７０を出し入れする側）を第１方向Ｘ１に沿って走行して、収納棚９０（具体的には、収納部９１）と移載箇所Ｐとの間で収容物７０を搬送する。ここでは、壁９２によって囲まれた空間（清浄空気が天井側から床側に向けて流動する空間）の内部に収納棚９０が設置されており、搬送装置５０は、この空間の内部において収容物７０を搬送する。

本実施形態では、搬送装置５０はスタッカークレーンである。具体的には、搬送装置５０は、床部に設置された第２レール５６に案内されて第１方向Ｘ１に走行自在な走行台車５１と、走行台車５１に立設されたマスト５５に案内されて上下方向Ｚに移動自在な（すなわち、昇降自在な）昇降体５２と、を備えている。そして、移載機５３は、昇降体５２に支持されている。よって、支持体５４を含む移載機５３の全体は、走行台車５１の走行に伴い第１方向Ｘ１に移動し、昇降体５２の昇降に伴い上下方向Ｚに移動する。

詳細は省略するが、収容物７０は、第１方向Ｘ１に離間して配置された一対の収納用支持部によって下方から支持された状態で、収納部９１に収納されている。そして、収納部９１に収納されている収容物７０を収納部９１から取り出す場合には、支持体５４を収納部９１に近づく側に突出移動させた後に昇降体５２を上昇させることで、収納部９１に収納されている収容物７０を支持体５４にて掬い、その後、支持体５４を収納部９１から離れる側に引退移動させる。一方、支持体５４に支持されている収容物７０を収納部９１に収納する場合には、支持体５４を収納部９１に近づく側に突出移動させた後に昇降体５２を降下させることで、支持体５４に支持されている収容物７０を上記一対の収納用支持部に降ろし、その後、支持体５４を収納部９１から離れる側に引退移動させる。

収容物７０を容器６０に収容する際には、搬送装置５０が、容器６０に収容する収容物７０を収納棚９０（具体的には、収納部９１）から取り出して、移載箇所Ｐに搬入する。また、容器調整ユニット１０が、収容物７０を収容する容器６０（例えば、収容物７０が収容されていない空の容器６０）を、移載箇所Ｐに搬入する。この際、容器調整ユニット１０が備える保持部１３（容器６０を保持した状態の保持部１３）は、上述した基準状態となるように配置される。そして、搬送装置５０が、上述したように移載機５３を用いて、支持体５４に支持されている収容物７０を、容器６０の支持部６３に対して上方から移載する。具体的には、昇降体５２を昇降させて、収容物７０を支持した状態の支持体５４を、移載対象の支持部６３に対応する設定高さに位置させる。次に、支持体５４を容器６０に近づく側に突出移動させた後に昇降体５２を降下させることで、支持体５４に支持されている収容物７０を支持部６３に降ろし、その後、支持体５４を容器６０から離れる側に引退移動させる。

収容物７０を容器６０に収容する際の搬送装置５０や容器調整ユニット１０の上述した各動作は、制御部２（図６参照）の制御を受けて行われる。制御部２は、ＣＰＵ等の演算処理装置を備えると共にメモリ等の周辺回路を備え、これらのハードウェアと、演算処理装置等のハードウェア上で実行されるプログラムとの共働により、制御部２の各機能が実現される。制御部２は、１つのハードウェアではなく、互いに通信可能な複数のハードウェアの集合により構成されてもよい。例えば、制御部２における容器調整ユニット１０を制御する機能と、制御部２における搬送装置５０を制御する機能とが、互いに通信可能な別のハードウェア上で実現されてもよい。

ところで、収容物７０を容器６０に収容する際には、制御部２は、収容物７０を支持した状態の支持体５４を設定量だけ突出移動させる。この設定量は、移載箇所Ｐにおける移載機５３及び容器６０のそれぞれの第２方向Ｙ１の配置位置の差に応じて設定される。このように支持体５４が設定量だけ突出移動された状態で、収容物７０が平面視で規制部６４と重複していなければ、この状態から支持体５４及び容器６０の少なくとも一方（ここでは、支持体５４）を上下方向Ｚに移動させて、支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させることで、支持体５４に支持された収容物７０を、規制部６４と接触させることなく支持部６３に降ろすことができる。すなわち、平面視での収容物７０の全周に亘って収容物７０と規制部６４との間に隙間Ｇ（図３参照）が形成されるように、支持体５４に支持された収容物７０を支持部６３に降ろすことができる。

一方、支持体５４が設定量だけ突出移動された状態で、図４に示すように収容物７０が平面視で少なくともいずれかの規制部６４と重複している場合には、この状態から支持体５４及び容器６０の少なくとも一方を上下方向Ｚに移動させることでは収容物７０を支持部６３に適切に降ろすことはできない。支持体５４に支持されている収容物７０の位置或いは姿勢が、支持体５４上の適正位置或いは適正姿勢からずれている場合、移載箇所Ｐにおける移載機５３の配置位置が適正位置からずれている場合、移載箇所Ｐにおける容器６０の配置位置が適正位置からずれている場合等に、収容物７０が平面視で規制部６４と重複する状況が発生し得る。

そこで、この容器調整ユニット１０は、上述したように、容器６０を保持する保持部１３と、保持部１３による容器６０の保持位置を調整する調整機構２０と、収容物７０の位置を検出する位置検出装置３０とを備えている。図２～図４に示すように、位置検出装置３０は、収容空間６２において移載機５３に保持されている状態の収容物７０の、容器６０に対する相対位置を検出するように設けられている。本実施形態では、位置検出装置３０は、上述した設定高さに支持体５４が位置する状態で、当該支持体５４に支持されている状態の収容物７０の相対位置を検出するように設けられている。そして、調整機構２０の駆動を制御する制御部２が、移載機５３による収容物７０の移載動作中に、位置検出装置３０の検出情報に基づき、収容物７０に対して適正位置となるように容器６０の保持位置を調整する調整制御を、収容物７０が容器６０に支持される前の状態で実行する。具体的には、調整制御を、支持体５４が上述した設定高さに位置する状態で実行する。

このような調整制御を実行することで、収容物７０を容器６０に移載する際に、保持部１３による容器６０の保持位置を収容物７０に対して適正位置となるように調整して、収容物７０を容器６０内の適正収容位置（ここでは、平面視での収容物７０の全周に亘って収容物７０と規制部６４との間に隙間Ｇ（図３参照）が形成される位置）に配置することが可能となっている。なお、収容物７０に対して適正位置となるように容器６０の保持位置を調整する代わりに、支持体５４の位置を、当該支持体５４に支持された収容物７０が容器６０に対して適正位置となるように調整することも考えられる。しかしながら、この場合には、容器６０の位置を検出する装置を支持体５４に設けることで、支持体５４の厚さ（上下方向Ｚの幅）が大きくなるおそれがある。これに対して、この収容システム１では、収容物７０に対して適正位置となるように容器６０の保持位置を調整するため、支持体５４の厚さを小さく抑えることができる。この結果、支持体５４を移動させるためだけに収容空間６２の内部に確保する必要のあるスペースを小さく抑えて、収容空間６２における収容物７０の収容効率の向上を図ることができる。

以下、上記のような調整制御を可能とするための容器調整ユニット１０の構成について説明する。上述したように、本実施形態では、容器６０は、収容物７０を基準面（ここでは、水平面）に沿う状態で収容するように構成されている。そして、基準面に沿うと共に互いに交差する２つの方向を第１調整方向Ａ１及び第２調整方向Ａ２とし、基準面に直交する軸を回転軸Ｒとして、容器調整ユニット１０が備える調整機構２０は、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転軸Ｒ周りの回転方向Ａ３（第３調整方向）のそれぞれの方向に、容器６０の保持位置を調整可能に構成されている。すなわち、調整機構２０は、容器６０の保持位置を第１調整方向Ａ１に調整する第１調整機構２１と、容器６０の保持位置を第２調整方向Ａ２に調整する第２調整機構２２と、容器６０の保持位置を回転方向Ａ３に調整する第３調整機構２３と、を備えている。

図４及び図５に示すように、本実施形態では、第１調整方向Ａ１は、第３方向Ｘ２と一致する。そのため、第１調整機構２１は、容器６０の保持位置を第３方向Ｘ２に調整する機構である。ここでは、第１調整機構２１は、旋回台１２に対する保持部１３の第４方向Ｙ２の移動を規制した状態で、旋回台１２に対する保持部１３の第３方向Ｘ２の移動を案内する機構により構成されている。詳細は省略するが、本実施形態では、図２に示すように、第１調整機構２１は、一例として、第３方向Ｘ２に沿って延びるように配置された案内レールと、当該案内レールに案内されて第３方向Ｘ２に沿って移動自在な案内ブロックと、を備えたリニアガイドにより構成されている。なお、図２は、上述した基準状態となるように保持部１３が配置された状態を示しているため、図２では、第３方向Ｘ２は紙面に直交する方向である。

容器調整ユニット１０は、第１調整機構２１を駆動する第１モータＭ１（ここでは、電動モータ）を備えており、制御部２は、第１モータＭ１の駆動を制御して旋回台１２に対して保持部１３を第３方向Ｘ２に移動させることで、容器６０の保持位置を第１調整方向Ａ１（第３方向Ｘ２）に調整する。本実施形態では、図３に示すように、第１モータＭ１は、一例として、電動シリンダを構成するモータであり、当該電動シリンダによって第１調整機構２１が駆動される。

図１及び図２に示すように、本実施形態では、第２調整方向Ａ２は、第２方向Ｙ１と一致する。そのため、第２調整機構２２は、容器６０の保持位置を第２方向Ｙ１に調整する機構である。上述したように、本実施形態では、容器調整ユニット１０は、移動型のユニットであり、容器調整ユニット１０の全体が、第２方向Ｙ１に沿って設置された第１レール１４に案内されて移動可能に構成されている。具体的には、本実施形態では、図２及び図３に示すように、容器調整ユニット１０は、第１レール１４に案内されて第２方向Ｙ１に走行自在な本体部１１を備えている。そして、第２調整機構２２は、本体部１１の第２方向Ｙ１に沿った移動を案内する機構により構成されている。すなわち、本実施形態では、容器調整ユニット１０の全体を第２方向Ｙ１に移動させる機構を、第２調整機構２２としても用いている。本実施形態では、図３に示すように、第２調整機構２２は、一例として、第１レール１４と、第１レール１４に案内されて第２方向Ｙ１に沿って移動自在な案内ブロックと、を備えたリニアガイドにより構成されている。

容器調整ユニット１０は、第２調整機構２２を駆動する第２モータＭ２（ここでは、電動モータ）を備えており、制御部２は、第２モータＭ２の駆動を制御して本体部１１を第２方向Ｙ１に移動させることで（すなわち、容器調整ユニット１０の全体を第２方向Ｙ１に移動させることで）、容器６０の保持位置を第２調整方向Ａ２（第２方向Ｙ１）に調整する。本実施形態では、図３に示すように、第２モータＭ２は、一例として、第１レール１４に沿って設けられた走行用ラックに噛み合う走行用ピニオンを回転駆動させるように構成されている。

第３調整機構２３は、容器６０の保持位置を回転方向Ａ３に調整する機構である。本実施形態では、図２及び図３に示すように、第３調整機構２３は、本体部１１に対して旋回台１２を回転軸Ｒ周りに回転させる機構により構成されている。上述したように、本実施形態では、第１調整機構２１は、旋回台１２に対して保持部１３を移動させるように構成されているため、第１調整機構２１による容器６０の保持位置の調整方向である第１調整方向Ａ１と、第２調整機構２２による容器６０の保持位置の調整方向である第２調整方向Ａ２との基準面（ここでは、水平面）に沿う面内での交差角は、旋回台１２の回転位置に応じて変化する。すなわち、基準状態となるように保持部１３が配置される旋回台１２の回転位置を基準回転位置として、第１調整方向Ａ１と第２調整方向Ａ２との交差角は、旋回台１２の回転位置と基準回転位置との差に応じた角度となる。旋回台１２の回転位置が基準回転位置と等しい場合、図４に示すように、第１調整方向Ａ１と第２調整方向Ａ２との交差角は９０度となる。

容器調整ユニット１０は、第３調整機構２３を駆動する第３モータＭ３（ここでは、電機モータ）を備えており、制御部２は、第３モータＭ３の駆動を制御して本体部１１に対して旋回台１２を回転軸Ｒ周りに回転させることで、容器６０の保持位置を回転方向Ａ３に調整する。

調整機構２０が備える第１調整機構２１、第２調整機構２２、及び第３調整機構２３の各機構がこのように構成されるため、本実施形態では、調整制御において、本体部１１の第２方向Ｙ１（第２調整方向Ａ２）の配置位置、本体部１１に対する旋回台１２の回転軸Ｒ周りの回転位置（回転方向Ａ３の位置）、及び、旋回台１２に対する保持部１３の第３方向Ｘ２（第１調整方向Ａ１）の配置位置が調整機構２０により調整されることで、収容物７０に対して適正位置となるように容器６０の保持位置が調整される。以下に述べるように、制御部２は、調整制御を実行する際の第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を、位置検出装置３０の検出情報に基づき導出する。

図２～図４に示すように、本実施形態では、位置検出装置３０は、第１センサ３１と、第２センサ３２と、第３センサ３３と、を備えている。基準面（ここでは、水平面）に沿うと共に互いに交差する（ここでは、直交する）２つの方向を第１検出方向Ｄ１及び第２検出方向Ｄ２として、第１センサ３１は、容器６０に対する収容物７０の第１検出方向Ｄ１の相対位置を検出し、第２センサ３２は、第１センサ３１とは第２検出方向Ｄ２の異なる位置で、容器６０に対する収容物７０の第１検出方向Ｄ１の相対位置を検出し、第３センサ３３は、容器６０に対する収容物７０の第２検出方向Ｄ２の相対位置を検出する。ここでは、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３として、距離センサ（光距離センサ等）を用いている。ここで、光距離センサは、検出対象物（ここでは、収容物７０）に向けて照射した光の反射光に基づき検出対象物までの距離を検出するセンサである。

図２～図５に示すように、本実施形態では、第１センサ３１は、保持部１３に固定された第１センサ支持部４１に支持され、第２センサ３２は、保持部１３に固定された第２センサ支持部４２に支持され、第３センサ３３は、保持部１３に固定された第３センサ支持部４３に支持されている。このように第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３が設けられるため、第１検出方向Ｄ１及び第２検出方向Ｄ２は、基準面（ここでは、水平面）に沿う面内での第１検出方向Ｄ１と第２検出方向Ｄ２との交差角（本実施形態では、９０度）を維持した状態で、旋回台１２の回転位置に応じて変化する。ここでは、上下方向Ｚに並ぶ複数の支持部６３のそれぞれに対応する上述した設定高さに第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３が配置されるように、上下方向Ｚに並ぶ支持部６３の数と同数の第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３が、対応するセンサ支持部（４１，４２，４３）に支持されている。

本実施形態では、図４及び図５に示すように、第１検出方向Ｄ１は、第３方向Ｘ２と一致する。よって、第１センサ３１及び第２センサ３２のそれぞれは、収容空間６２において移載機５３に保持されている状態の収容物７０（図２、図３参照）の、容器６０に対する第３方向Ｘ２の相対位置を検出する。また、本実施形態では、第２検出方向Ｄ２は、第４方向Ｙ２と一致する。よって、第３センサ３３は、収容空間６２において移載機５３に保持されている状態の収容物７０（図２、図３参照）の、容器６０に対する第４方向Ｙ２の相対位置を検出する。

そして、制御部２は、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３のそれぞれの検出情報に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出するように構成されている。本実施形態では、図４に示すように、第１センサ３１は、収容空間６２において移載機５３に保持されている状態の収容物７０の側面までの第３方向Ｘ２（第１検出方向Ｄ１）に沿った距離である第１距離Ｌ１を検出し、第２センサ３２は、第１センサ３１とは第４方向Ｙ２（第２検出方向Ｄ２）の異なる位置で、当該収容物７０の側面までの第３方向Ｘ２（第１検出方向Ｄ１）に沿った距離である第２距離Ｌ２を検出し、第３センサ３３は、当該収容物７０の側面までの第４方向Ｙ２（第２検出方向Ｄ２）に沿った距離である第３距離Ｌ３を検出する。

そして、制御部２は、これらの第１距離Ｌ１、第２距離Ｌ２、及び第３距離Ｌ３に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する。詳細は省略するが、制御部２は、例えば、幾何学的計算を行うことで、各方向における容器６０の保持位置の調整量を導出する。本実施形態では、制御部２は、収容物７０に対して適正位置となるように容器６０の保持位置を調整する調整制御を、収容物７０が規制部６４（移載対象の支持部６３に設けられた規制部６４）よりも上方に位置する状態で実行する。そして、本実施形態では、調整制御を実行する際の適正位置を、図５に示すように、平面視で収容物７０が規制部６４と重複しないような容器６０の保持位置としている。

次に、制御部２により実行される、収容物７０の容器６０への収容処理の処理手順について、図７を参照して説明する。なお、この収容処理は、引退位置の支持体５４にて収容物７０を支持した状態の移載機５３が移載箇所Ｐに位置すると共に、容器６０を保持部１３にて保持した状態の容器調整ユニット１０が移載箇所Ｐに位置し、且つ、保持部１３が上述した基準状態となるように配置された状態で開始される。

制御部２は、まず、図２～図４に示すように、移載対象の支持部６３に対応する設定高さに支持体５４が位置する状態で、支持体５４を設定量だけ突出移動させて、支持体５４及び支持体５４に支持された状態の収容物７０を容器６０の収容空間６２に移動させる（ステップ＃０１）。そして、制御部２は、位置検出装置３０を用いて、収容空間６２において移載機５３に保持されている状態の収容物７０の、容器６０に対する相対位置を検出し（ステップ＃０２）、その検出結果に基づき、調整制御が必要であるか否かを判定する（ステップ＃０３）。本実施形態では、位置検出装置３０の検出結果に基づき、平面視で規制部６４と重複しないように収容物７０が配置されていると判定される場合には、制御部２は、調整制御が必要ではないと判定し（ステップ＃０３：Ｎｏ）、支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させて、支持体５４に支持された収容物７０を支持部６３に移載する（ステップ＃０５）。

一方、位置検出装置３０の検出結果に基づき、平面視で規制部６４と重複するように収容物７０が配置されていると判定される場合には、制御部２は、調整制御が必要であると判定し（ステップ＃０３：Ｙｅｓ）、調整制御を実行する（ステップ＃０４）。この調整制御では、上述したように、位置検出装置３０の検出情報に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する。ここでは、図５に示すように平面視で規制部６４と重複しないように収容物７０を容器６０に対して配置するための、各方向における容器６０の保持位置の調整量を導出する。そして、制御部２は、調整機構２０（ここでは、第１調整機構２１、第２調整機構２２、及び第３調整機構２３）の駆動を制御して、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおいて、導出した調整量だけ容器６０の保持位置を調整する。そして、調整制御が終了して、図５に示すように平面視で規制部６４と重複しないように収容物７０が容器６０に対して配置されると、支持体５４を支持部６３に対して上方から接近させて、支持体５４に支持された収容物７０を支持部６３に移載する（ステップ＃０５）。

制御部２は、続けて他の収容物７０を容器６０に収容する場合には、調整機構２０の駆動を制御して保持部１３が基準状態となるように配置された状態に戻した後、再度ステップ＃０１からの処理を実行する。

〔その他の実施形態〕
次に、収容システムのその他の実施形態について説明する。

（１）上記の実施形態では、位置検出装置３０が、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３の３つのセンサを備え、制御部２が、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３のそれぞれの検出情報に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、位置検出装置３０が、４つ以上のセンサを備え、制御部２が、位置検出装置３０が備える複数のセンサのそれぞれの検出情報に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する構成とすることもできる。例えば、位置検出装置３０が、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３の３つのセンサに加えて、第３センサ３３とは第１検出方向Ｄ１（上記の実施形態では、第３方向Ｘ２）の異なる位置で、容器６０に対する収容物７０の第２検出方向Ｄ２（上記の実施形態では、第４方向Ｙ２）の相対位置を検出する第４センサを備える構成とすることもできる。

（２）上記の実施形態では、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３が保持部１３に固定され、第１検出方向Ｄ１及び第２検出方向Ｄ２が、旋回台１２の回転位置に応じて変化する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第１センサ３１、第２センサ３２、及び第３センサ３３が本体部１１に固定され、第１検出方向Ｄ１及び第２検出方向Ｄ２が、旋回台１２の回転位置に応じて変化しない構成とすることもできる。この場合、例えば、第１検出方向Ｄ１が第１方向Ｘ１と一致し、第２検出方向Ｄ２が第２方向Ｙ１と一致する構成とすることができる。

（３）上記の実施形態では、制御部２が、第１距離Ｌ１、第２距離Ｌ２、及び第３距離Ｌ３に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、位置検出装置３０が画像センサを備え、制御部２が、画像センサの検出情報に対する画像処理結果に基づき、第１調整方向Ａ１、第２調整方向Ａ２、及び回転方向Ａ３のそれぞれにおける容器６０の保持位置の調整量を導出する構成とすることもできる。

（４）上記の実施形態では、容器調整ユニット１０の全体を第２方向Ｙ１に移動させる機構を、第２調整機構２２として用いる構成を例として説明した、しかし、そのような構成に限定されることなく、第２調整機構２２を、容器調整ユニット１０の全体を第２方向Ｙ１に移動させる機構とは別に設けることもできる。例えば、第２調整機構２２を、旋回台１２に対する保持部１３の第２調整方向Ａ２の配置位置を調整する機構により構成することができる。この場合、第２調整方向Ａ２は、例えば、第４方向Ｙ２と一致する。また、例えば、第２調整機構２２を、本体部１１に対する旋回台１２の第２調整方向Ａ２の配置位置を調整する機構により構成することもできる。この場合、第２調整方向Ａ２は、例えば、第２方向Ｙ１と一致する。このように、第２調整機構２２を、容器調整ユニット１０の全体を第２方向Ｙ１に移動させる機構とは別に設ける場合に、容器調整ユニット１０の全体が第１方向Ｘ１に移動する構成とし、容器調整ユニット１０の全体を第１方向Ｘ１に移動させる機構を、第１調整機構２１として用いる構成とすることもできる。この場合、第１調整方向Ａ１は、第１方向Ｘ１と一致する。

（５）上記の実施形態では、第１調整機構２１が、旋回台１２に対する保持部１３の第１調整方向Ａ１の配置位置を調整する機構により構成される場合を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、第１調整機構２１を、本体部１１に対する旋回台１２の第１調整方向Ａ１の配置位置を調整する機構により構成することもできる。この場合、第１調整方向Ａ１は、例えば、第１方向Ｘ１と一致する。

（６）上記の実施形態では、容器調整ユニット１０が、容器６０を保持した状態で、調整制御のための調整量を超えて移動可能に構成される場合を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、容器調整ユニット１０の位置が移載箇所Ｐに維持され、容器調整ユニット１０が調整制御のための調整量を超えて移動しない構成とすることもできる。

（７）上記の実施形態では、移載機５３を備える搬送装置５０が、スタッカークレーンである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、搬送装置５０を、自身の現在位置を認識しながら床部を自律走行する搬送装置や、天井側に設けられたレールに支持された状態で当該レールに案内されて走行する天井搬送車等の、スタッカークレーン以外の搬送装置とすることもできる。また、上記の実施形態では、移載機５３が搬送装置５０に備えられる構成を例として説明したが、移載機５３の位置が移載箇所Ｐに固定される構成とすることもできる。

（８）上記の実施形態では、移載機５３が、収容物７０を下方から支持する支持体５４を備える構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、移載機５３が、収容物７０を上方から支持（例えば、吸着支持）する支持体を備える構成や、移載機５３が、収容物７０を水平方向の両側から挟持する支持体（クランプ部）を備える構成等とすることもできる。

（９）上記の実施形態では、収容物７０がマスクである構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、収容物７０を、マスク以外の平板状の部材（例えば、ガラス基板、半導体ウェハ、レチクル等）としてもよい。また、収容物７０を、平板状以外の形状（例えば、箱状や円柱状等）の部材としてもよい。

（１０）なお、上述した各実施形態で開示された構成は、矛盾が生じない限り、他の実施形態で開示された構成と組み合わせて適用すること（その他の実施形態として説明した実施形態同士の組み合わせを含む）も可能である。その他の構成に関しても、本明細書において開示された実施形態は全ての点で単なる例示に過ぎない。従って、本開示の趣旨を逸脱しない範囲内で、適宜、種々の改変を行うことが可能である。

〔上記実施形態の概要〕
以下、上記において説明した収容システムの概要について説明する。

収容物を容器に収容する収容システムであって、前記容器を保持する保持部と、前記保持部による前記容器の保持位置を調整する調整機構と、前記調整機構の駆動を制御する制御部と、前記保持部に保持されている状態の前記容器の収容空間に前記収容物を移動させて、前記収容物を前記容器に移載する移載機と、前記収容物の位置を検出する位置検出装置と、を備え、前記位置検出装置は、前記収容空間において前記移載機に保持されている状態の前記収容物の、前記容器に対する相対位置を検出するように設けられ、前記制御部は、前記移載機による前記収容物の移載動作中に、前記位置検出装置の検出情報に基づき、前記収容物に対して適正位置となるように前記容器の前記保持位置を調整する調整制御を、前記収容物が前記容器に支持される前の状態で実行する。

ここで、前記収容物は、平板状に形成され、前記容器は、前記収容物を基準面に沿う状態で収容するように構成され、前記基準面に沿うと共に互いに交差する２つの方向を第１調整方向及び第２調整方向として、前記調整機構は、前記第１調整方向、前記第２調整方向、及び前記基準面に直交する軸周りの回転方向のそれぞれの方向に、前記容器の前記保持位置を調整可能に構成されていると好適である。

この構成によれば、移載機に保持された収容物の姿勢（基準面に直交する軸に沿った方向視での姿勢）が、容器に対する適正姿勢に対して基準面に沿う方向に平行にずれている場合だけでなく傾いている場合であっても、調整機構によって、収容物に対して適正位置となるように容器の保持位置を調整することができる。よって、移載機に保持された収容物の姿勢にかかわらず、収容物を容器内の適正収容位置に配置しやすい。

上記のように、前記調整機構が、前記第１調整方向、前記第２調整方向、及び前記回転方向のそれぞれの方向に、前記容器の前記保持位置を調整可能な構成において、前記基準面に沿うと共に互いに交差する２つの方向を第１検出方向及び第２検出方向として、前記位置検出装置は、前記容器に対する前記収容物の前記第１検出方向の相対位置を検出する第１センサと、前記第１センサとは前記第２検出方向の異なる位置で、前記容器に対する前記収容物の前記第１検出方向の相対位置を検出する第２センサと、前記容器に対する前記収容物の前記第２検出方向の相対位置を検出する第３センサと、を備え、前記制御部は、前記第１センサ、前記第２センサ、及び前記第３センサのそれぞれの検出情報に基づき、前記第１調整方向、前記第２調整方向、及び前記回転方向のそれぞれにおける前記容器の前記保持位置の調整量を導出するように構成されていると好適である。

この構成によれば、位置検出装置の構成を比較的簡素なものとしつつ、第１調整方向、第２調整方向、及び回転方向のそれぞれにおける容器の保持位置の調整量を適切に導出して、収容物に対して適正位置となるように容器の保持位置を調整することができる。

上記の各構成の収容システムにおいて、前記容器は、前記収容物を下方から支持する支持部を備え、前記移載機は、前記収容物を前記支持部に対して上方から移載するように構成され、前記支持部は、当該支持部に支持された状態の前記収容物に対して側方に配置されて、前記収容物の水平方向の移動を規制する規制部を備え、前記適正位置は、上下方向視で前記収容物が前記規制部と重複しないような前記容器の前記保持位置であり、前記制御部は、前記収容物が前記規制部よりも上方に位置する状態で前記調整制御を実行すると好適である。

この構成によれば、支持部が規制部を備えるため、容器に収容されている収容物の位置を、規制部によって容器内の適正収容位置に保持することができる。そして、上記の構成によれば、収容物が規制部よりも上方に位置する状態で調整制御が実行され、この調整制御では、上下方向視で収容物が規制部と重複しない適正位置となるように容器の保持位置が調整される。よって、このように支持部が規制部を備える場合であっても、規制部と接触させることなく収容物を容器の支持部に移載することができる。

本開示に係る収容システムは、上述した各効果のうち、少なくとも１つを奏することができればよい。

１：収容システム
２：制御部
１３：保持部
２０：調整機構
３０：位置検出装置
３１：第１センサ
３２：第２センサ
３３：第３センサ
５３：移載機
６０：容器
６２：収容空間
６３：支持部
６４：規制部
７０：収容物
Ａ１：第１調整方向
Ａ２：第２調整方向
Ａ３：回転方向
Ｄ１：第１検出方向
Ｄ２：第２検出方向
Ｒ：回転軸（基準面に直交する軸）

Claims

収容物を容器に収容する収容システムであって、
前記容器を保持する保持部と、
前記保持部による前記容器の保持位置を調整する調整機構と、
前記収容物の位置を検出する位置検出装置と、を備えた容器調整ユニットと、
前記調整機構の駆動を制御する制御部と、
前記保持部に保持されている状態の前記容器の収容空間に前記収容物を移動させて、前記収容物を前記容器に移載する移載機と、を備え、
前記容器は、前記収容物を下方から支持する支持部を備え、
前記位置検出装置は、前記収容空間において前記支持部に対して予め規定された設定高さに位置した前記移載機に保持されている状態の前記収容物の、前記容器に対する相対位置を検出するように、前記容器調整ユニットに設けられ、
前記制御部は、前記移載機による前記収容物の移載動作中に、前記位置検出装置の検出情報に基づき、前記収容物に対して適正位置となるように前記容器の前記保持位置を調整する調整制御を、前記収容物が前記支持部に支持される前の状態で実行する、収容システム。
前記収容物は、平板状に形成され、
前記容器は、前記収容物を基準面に沿う状態で収容するように構成され、
前記基準面に沿うと共に互いに交差する２つの方向を第１調整方向及び第２調整方向として、
前記調整機構は、前記第１調整方向、前記第２調整方向、及び前記基準面に直交する軸周りの回転方向のそれぞれの方向に、前記容器の前記保持位置を調整可能に構成されている、請求項１に記載の収容システム。
前記基準面に沿うと共に互いに交差する２つの方向を第１検出方向及び第２検出方向として、
前記位置検出装置は、前記容器に対する前記収容物の前記第１検出方向の相対位置を検出する第１センサと、前記第１センサとは前記第２検出方向の異なる位置で、前記容器に対する前記収容物の前記第１検出方向の相対位置を検出する第２センサと、前記容器に対する前記収容物の前記第２検出方向の相対位置を検出する第３センサと、を備え、
前記制御部は、前記第１センサ、前記第２センサ、及び前記第３センサのそれぞれの検出情報に基づき、前記第１調整方向、前記第２調整方向、及び前記回転方向のそれぞれにおける前記容器の前記保持位置の調整量を導出するように構成されている、請求項２に記載の収容システム。
前記移載機は、前記収容物を前記支持部に対して上方から移載するように構成され、
前記支持部は、当該支持部に支持された状態の前記収容物に対して側方に配置されて、前記収容物の水平方向の移動を規制する規制部を備え、
前記適正位置は、上下方向視で前記収容物が前記規制部と重複しないような前記容器の前記保持位置であり、
前記制御部は、前記収容物が前記規制部よりも上方に位置する状態で前記調整制御を実行する、請求項１から３のいずれか一項に記載の収容システム。