CN107808846A - 容器收纳设备 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 59
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 38
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 27
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 17
- 230000009471 action Effects 0.000 description 10
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 10
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 9
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 7
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008450 motivation Effects 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 2
- 241000644035 Clava Species 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000010358 mechanical oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
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- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
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Abstract
容器在侧面具有开口部,并且以从开口部将内容物自由地拿出放入的方式构成。容器收纳设备具备在容器收纳于收纳部的状态下限制内容物从容器开口部的凸出的限制体、以及在容器收纳于收纳部的状态下被容器的底部按下的被按下部、以及使限制体和被按下部连动的连动机构。限制体以能够切换位置至限制内容物凸出的限制位置、以及与限制位置间隔的退避位置的方式构成,连动机构以在被按下部被容器按下的状态下使限制体位于限制位置,且在被按下部未被按下的状态下使限制体位于退避位置的方式构成。
Description
技术领域
本发明涉及一种具备容器收纳架的容器收纳设备,该容器收纳架具有收纳容器的收纳部。
背景技术
作为如上所述的具备收纳容器的容器收纳架的容器收纳设备,例如,存在设于半导体制造工厂的容器收纳设备,该半导体制造工厂处理以及保管作为容器的内容物的半导体基板。在半导体制造工厂中,进行分为多个工序的半导体基板的处理(加工、检查等)。而且,在某工序中结束了处理的半导体基板在容纳于容器的状态下由运送装置运送,并被供给至下个工序的处理装置,或者被收纳于具备容器收纳架的保管库等的容器收纳设备。如此,半导体基板在容纳于容器的状态下收纳于容器收纳架。
另外,在上述容器收纳设备中,已知在侧面具有开口部且以从该开口部自由地拿出放入内容物的方式构成的容器的容器收纳设备。例如,具有如下设备,其作为容纳半导体基板的容器,收纳如下容器,该容器在侧面具有用于拿出放入半导体基板的开口部,且具备上下多层地分散配置的基板容纳用槽道。
在此,在容器收纳于容器收纳架的状态下,若因运送装置的工作引起的机械振动、由地震引起的振动传递至容器收纳架,则引起半导体基板相对于容器的拿出放入方向上的摇晃,容器内的半导体基板从开口部凸出到容器外,存在半导体基板下落、破损的情况。因此,可以考虑在容器收纳于容器收纳架的状态下接近该容器开口部的位置,设置限制半导体基板的凸出的限制体。但是,在容器收纳架中,若在容器被收纳的状态下的接近该容器的开口部的位置设置限制体,则在将容器收纳于容器收纳架时,容器干涉限制体的可能性变高。即,限制体成为收纳容器时的障碍的可能性变高。
关于限制半导体基板从容器凸出的限制体,例如,在日本特开2003-237941号公报(专利文献1)中,公开了在对容纳有半导体基板的容器进行运送的无人运送车中,为了使半导体基板不从容器中凸出,具备将该半导体基板从容器的开口侧向里侧按的限制体的设备。
专利文献1的无人运送车以在运送半导体基板时,使限制体位于将该半导体基板从料盒的开口侧向里侧按住的位置,在通过枚叶移载装置移载半导体基板时,使限制体位于不干涉被移载的半导体基板的位置的方式构成。专利文献1的无人运送车通过气缸等驱动手段来进行此种限制体的位置切换。
发明内容
虽然可以考虑将通过驱动手段切换位置的专利文献1那样的限制体设于容器收纳架,但若在容器收纳架设置驱动手段,则需要将马达、气缸等驱动源设置于容器收纳架,因而在设置空间方面不利。而且,由于需要用于对驱动源供给驱动用的电力、空气的布线、布管,故构造变得复杂。
因此,寻求能够通过在设置空间方面有利且简单的构造来限制内容物从容器的凸出的容器收纳设备。
本公开所涉及的容器收纳设备具备容器收纳架,该容器收纳架具有收纳容器的收纳部,所述容器以在侧面具有开口部且从该开口部将内容物自由地拿出放入的方式构成,所述容器收纳设备具备:限制体,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下限制所述内容物从所述容器的所述开口部的凸出;被按下部,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下被所述容器的底部按下;以及连动机构,其使所述限制体和所述被按下部连动,所述限制体以能够切换位置到相对于收纳于所述收纳部的状态下的所述容器的所述开口部配置在所述内容物的拿出放入方向的外侧以限制所述内容物的凸出的限制位置、以及与所述限制位置间隔的退避位置的方式构成,所述连动机构以在所述被按下部被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述限制位置,且在所述被按下部未被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述退避位置的方式构成。
根据本构成,限制体和被按下部通过连动机构而连动。该连动机构能够与通过容器的底部被按下部被按下的状态和未被按下的状态对应地,在限制位置和与限制位置间隔的退避位置之间切换限制体的位置。在被按下部未被容器的底部按下时,即容器收纳于收纳部时,限制体位于退避位置,在被按下部被容器的底部按下时,即容器收纳于收纳部时,限制体位于限制位置。因而,在收纳容器之前,由于限制体处于退避位置,故限制体不会阻碍容器的收纳。另一方面,在收纳容器时,由容器的底部按下被按下部,与被按下部的按下连动地,将限制体切换位置至限制位置。如此,通过不利用驱动手段将容器收纳的动作以及取出的动作,能够将限制体切换至限制位置和退避位置。
由于限制位置是收纳于收纳部的状态下的容器的开口部配置在内容物的拿出放入方向的外侧(例如,相对于开口部在拿出放入方向上接近)以限制内容物的凸出的位置,故在容器收纳于收纳部之后,通过处于限制位置的限制体限制容器的内容物的在拿出放入方向上的移动。因而,在容器产生了振动的情况下,也能够抑制内容物从容器凸出的情况。
由于不利用驱动手段,故相应地不需要设置马达、气缸等驱动源,因而在设置空间方面是有利的。而且,由于不需要用于对驱动源供给驱动用的电力、空气的布线、布管,故能够谋求构成的简化。
如此,根据本构成,能够获得能够通过在设置空间方面有利且简单的构造来限制内容物从容器的凸出的容器收纳设备。
本公开所涉及的技术的更多特征和优点通过参照附图而记述的以下的例示性且非限定性的实施方式的说明而变得更加明确。
附图说明
图1是从拿出放入方向看容器收纳架以及运送装置的图;
图2是从在水平面上与拿出放入方向正交的方向看容器收纳架以及运送装置的图;
图3是容器的立体图;
图4是容器收纳架以及容器的立体图;
图5是示出容器收纳于收纳部时的连动机构的动作的图;
图6是图5的状态下的平面图;
图7是示出图5的下个动作的图;
图8是图7的状态下的平面图;
图9是第二实施方式所涉及的容器收纳架以及容器的立体图;
图10是示出在第二实施方式中处于退避位置的限制体的图;
图11是示出在第二实施方式中处于限制位置的限制体的图。
具体实施方式
[第一实施方式]
基于附图说明本实施方式所涉及的容器收纳设备1。如图1以及图2所示,容器收纳设备1具备:容器收纳架2,其具有收纳容器W的收纳部21;和运送装置3,其将容器W运送到收纳部21。
在本实施方式中,容器W如图3所示,是容纳作为内容物的半导体托架T的部件。半导体托架T在沿上下方向重叠多层的状态下容纳于容器W(还参照图1)。容器W在侧面具有开口部Wa,并且以从该开口部Wa将半导体托架T自由地拿出放入的方式构成。另外,开口部Wa在容器W的拿出放入方向上相互相向的状态下形成有一对。此外,在以下的说明中,将半导体托架T的相对于容器W的拿出放入方向作为X方向,并将沿着水平面且与X方向正交的方向作为Y方向。另外,出于说明的便利,将X方向之中的一侧作为第一X方向X1,并将另一侧作为第二X方向X2。而且,将Y方向之中的一侧作为第一Y方向Y1,并将另一侧作为第二Y方向Y2。
容器W具有在Y方向上隔开间隔面对的一对侧壁Wc。容器W的上部以及底部封闭。另外,容器W的上部以及底部在X方向上与侧壁Wc相比短地形成。因此,容器W在俯视视图中形成为X方向的端部被切掉的H形。由于容器W为此种形状,故容器W的内部容易视觉辨认,另外,容易从容器W拿出放入半导体托架T。在容器W的上部,设有顶凸缘Wb。通过运送装置3抓持顶凸缘Wb,实现通过运送装置3进行的容器W的运送。
如图1以及图2所示,运送装置3以沿通过悬吊件91固定于天花板的行驶轨道90行驶自如的方式形成。行驶轨道90至少在与容器收纳架2对应的部位处沿X方向设置。因此,运送装置3能够沿X方向运送容器W。
运送装置3具备在行驶轨道90上行驶的行驶驱动部3R、以及以位于行驶轨道90下方的方式由行驶驱动部3R悬吊支撑的容器支撑部3S。
行驶驱动部3R具有由驱动马达3Rc旋转驱动的行驶轮3Ra、以及沿行驶轨道90引导行驶驱动部3R的引导轮3Rb。行驶轮3Ra具有水平方向的旋转轴,并在行驶轨道90的上表面滚动。引导轮3Rb具有上下方向的旋转轴,在行驶轨道90中在沿上下方向形成的铅垂面中滚动。因而,行驶驱动部3R能够一边由引导轮3Rb沿行驶轨道90引导,一边通过被用驱动马达3Rc驱动的行驶轮3Ra沿行驶轨道90移动。
容器支撑部3S具有能够抓持容器W的顶凸缘Wb的抓持部31S。容器支撑部3S具有覆盖抓持部31S的上方、第一X方向X1、以及第二方向X2的盖32S。换言之,盖32S为下方、第一Y方向Y1、以及第二Y方向Y2开放的形状。由此,即使是抓持部31S被盖32S覆盖的状态,抓持部32S也能够沿下方以及Y方向移动。
容器支撑部3S具有使抓持部31S升降的升降操作机构34S、以及使抓持部31S沿Y方向滑动的滑动操作机构33S。
抓持部31S具有能够自由切换为抓持容器W的抓持姿势和解除抓持的解除姿势的抓持爪31Sa、以及将抓持爪31Sa切换操作为抓持姿势和解除姿势的抓持用马达(省略图示)。在本实施方式中,通过抓持爪31Sa抓持容器W的顶凸缘Wb,抓持部31S能够抓持容器W。
升降操作机构34S具备自由地放出以及卷取升降带34Sb的鼓34Sa。升降操作机构34S能够通过利用升降用马达34Sc使鼓34Sa旋转驱动来使抓持部31S以及用其抓持的容器W升降。
如图1所示,滑动操作机构33S具有沿Y方向隔开间隔地配置的一对滑轮33Sa(在图中仅绘出一个滑轮)、架设于这一对滑轮33Sa的滑动带33Sb、以及使滑轮33Sa旋转驱动的滑动用马达(省略图示)。滑动操作机构33S能够通过利用滑动用马达使滑轮33Sa旋转来使滑动带33Sb驱动,以使抓持部31S以及用其抓持的容器W沿第二Y方向Y2滑动。另外,滑动操作机构33S能够通过使滑动用马达与上述情况相反地旋转来使抓持部31S以及用其抓持的容器W沿第一Y方向Y1滑动。即,通过滑动操作机构33S,能够使容器W滑动至为容器W和容器收纳架2在Y方向上重叠的位置的突出位置、以及容器W进入盖32S内侧的退回位置。
通过以上说明的构成,运送装置3能够将容器W收纳于容器收纳架2的收纳部21。即,运送装置3在通过抓持部31S的抓持爪31Sa抓持了容器W的状态下,如图2所示,通过行驶驱动部3R沿行驶轨道90沿X方向移动。而且,运送装置3在X方向上的与容器收纳架2的收纳部21重叠的位置处停止。如图1所示,运送装置3通过滑动操作机构33S使抓持部31S以及用其抓持的容器W沿第二Y方向Y2滑动,以使抓持部31S以及容器W位于突出位置。而且,运送装置3能够通过利用升降操作机构34S使容器W下降来将容器W收纳于收纳部21。
在本实施方式中,运送装置3在容器W的X方向沿着行驶方向的姿势下运送容器W,滑动操作机构33S使容器W沿着容器W的Y方向滑动。即,相对于容器收纳架2的收纳部21收纳容器W的情况下的容器W的滑动方向是第二Y方向Y2。而且,从该收纳部21取出容器W的情况下的容器W的滑动方向是第一Y方向Y1。即,第二Y方向Y2是相对于容器收纳架2的架进深方向,第一Y方向Y1是相对于容器收纳架2的近前方向。
另外,根据容器W的运送中的速度变化,存在半导体托架T与容器W相对地沿X方向移动,并从容器W的开口部Wa凸出的情况。为了防止该情况,本实施方式所涉及的运送装置3具有下落防止体35S,在容器W的运送时,下落防止体35S相对于容器W的开口部Wa在X方向(拿出放入方向)接近并防止半导体托架T的下落(参照图1以及图2)。即,下落防止体35S相对于容器W的开口部Wa配置在X方向(拿出放入方向)的外侧。在此,X方向的外侧意思是指远离容器W的X方向中心的一侧。下落防止体35S由于接近容器W的开口部Wa,故防止半导体托架T与容器W相对地沿X方向移动。因而,运送装置3能够通过下落防止体35S来防止半导体托架T从容器W下落。此外,下落防止体35S和容器W的开口部Wa之间的X方向的间隔距离能够将内容物(在本实施方式中为半导体托架T)的X方向的长度作为基准来设定,例如,能够使该间隔距离为内容物的X方向的长度的二分之一以下的值、三分之一以下的值、五分之一以下的值、或者十分之一以下的值等。
在本实施方式中,如图1所示,以在抓持部31S抓持着容器W的状态下,位于从容器W的Y方向上的中央部沿第一Y方向Y1隔开距离的位置的方式,将下落体35S设于抓持部31S。另外,下落防止体35S以与容器W的上下方向的全部区域重叠的方式配置。换言之,以上下方向的长度比容器W的上下方向的长度长的方式构成下落防止体35S。
在本实施方式中,下落防止体35S如图2所示,是在沿X方向配置的缸的两端部中的各个处向下方延伸的棒状体,并以能够通过缸的伸缩在X方向上切换位置的方式构成。由此,能够使一对下落防止体35S的X方向上的间隔距离扩张,以使得在抓持部31S抓持容器W时下落防止体35S不干涉容器W。然后,在抓持部31S抓持容器W之后,能够使一对下落防止体35S的X方向上的间隔距离缩小,以使下落防止体35S接近容器W的开口部Wa(例如,接近到与半导体托架T接触的程度)。
如图2以及图4所示,容器收纳架2具有将X方向作为长度方向配置的载置台99。载置台99在悬吊于天花板的状态下构成。容器收纳架2具有沿X方向并列配置的多个收纳部21。在本实施方式中,相对于一个容器收纳架2,两个收纳部21沿X方向并列配置。在载置台99设有引导件98,引导件98负责容器W收纳于收纳部21时的容器W的定位。引导件98为了在容器W收纳于收纳部21的状态下支撑容器W底部的四角,设于载置台99的与容器W底部的四角对应的位置中的各个。即,合计四个引导件98设于一个收纳部21。另外,引导件98为长方体的一部分被切掉的形状。而且,引导件98限制收纳于收纳部21的容器W的沿着水平面的移动,并且在使容器W从载置台99浮在上方的状态下进行支撑(也参照图7)。即,多个引导件98在于容器W的底面和载置台99的上表面之间形成空间的状态下,并且,在将容器W定位的状态下支撑容器W。
另外,如上所述,在通过运送装置3运送容器W时,能够通过下落防止体35S防止半导体托架T从容器W的开口部Wa下落。但是,在运送装置3结束了容器W的运送之后,即在容器W收纳于容器收纳架2的收纳部21之后,运送装置3为了进行下个作业,解除容器W的抓持并从收纳部21离开。因此,下落防止体35S从与容器W的开口部Wa接近的位置离开,在容器收纳架2因某种原因摇晃的情况下,存在半导体托架T从容器W的开口部Wa凸出的风险。
因此,本实施方式所涉及的容器收纳设备1如图4所示,具备在容器W收纳于收纳部21的状态下限制半导体托架T从容器W的开口部Wa的凸出的限制体4a、以及在容器W收纳于收纳部21的状态下被容器W的底部按下的被按下部4b、以及使限制体4a和被按下部4b连动的连动机构4。在本实施方式中,限制体4a以及被按下部4b构成连动机构4的一部分。如上所述,在本实施方式中,拿出放入半导体托架T的开口部Wa在容器W的X方向上相互相向的状态下形成有一对。因此,限制体4a与一对开口部Wa对应地设有一对。另外,限制体4a形成为特长(長尺)状,以上下方向的长度至少比容器W的上下方向的长度长的方式构成。另外,在本实施方式中,由于容器收纳架2具有多个(两个)收纳部21,故关于这些多个收纳部21,各自设有限制体4a和被按下部4b以及连动装置4。而且,在本实施方式中,连动机构4为连杆机构,具有上部连杆体4c、下部连杆体4d、以及固定连杆体4e。这些上部连杆体4c、下部连杆体4d、以及固定连杆体4e中的各个沿X方向隔开一定间隔地设有一对。
固定连杆体4e以及下部连杆体4d的端部由安装于载置台99上表面的托架97支撑。详细地说,固定连杆体4e在相对于托架97固定的状态下得到支撑。另一方面,下部连杆体4d相对于托架97旋转自如地受到支撑,并且由用弹簧(省略图示)等构成的作用部件向上方作用。
被按下部4b沿X方向配置。被按下部4b的X方向上的两端部分别由一对下部连杆体4d的端部支撑。该被按下部4b由长度方向沿着旋转轴心方向的特长状的辊构成。因此,被按下部4b以绕着位于下部连杆体4d的转动端部(与由托架97支撑的端部相反侧的端部)的沿着X方向的移动轴心(旋转轴心)旋转的方式构成。即,被按下部4b以与下部连杆体4d的转动一同自转的方式构成。在容器W未收纳于收纳部21,被按下部4b未被容器W的底部按下时,下部连杆体4d由于被弹簧向上方作用,故维持将由托架97支撑的端部作为下端向上方倾斜的姿势。因而,由下部连杆体4d的另一端部(与由托架97支撑的端部为相反侧的端部)支撑的被按下部4b在未被容器W的底部按下时,为配置在从载置台99向上方间隔的位置的状态。
上部连杆体4c的端部在固定连杆体4e中的与由托架97支撑的端部为相反侧的端部处旋转自如地得到支撑。上部连杆体4c以在X方向视图中与下部连杆体4d始终为相同倾斜度的方式构成。上部连杆体4c比下部连杆体4d短地形成(还参照图5等)。另外,上部连杆体4c在与由固定连杆体4e支撑的端部为相反侧的端部处旋转自如地支撑限制体4a的端部。限制体4a的另一端部在下部连杆体4d中的从端部向中央隔开距离的位置处旋转自如地受到支撑。在本实施方式中,固定连杆体4e和限制体4a以始终为沿着上下方向的立起姿势的方式构成。即,本实施方式中的作为连动机构的连杆机构为平行连杆。此外,“沿着上下方向的立起姿势”是除了沿着铅垂方向的姿势之外,还包含相对于铅垂方向倾斜少许的姿势的概念。
如图5~图6所示,限制体4a以能够切换位置到相对于收纳于收纳部21的状态下的容器W的开口部Wa在半导体托架T的拿出放入方向(X方向)上接近以限制半导体托架T的凸出的限制位置RP、以及与限制位置RP间隔的退避位置SP的方式构成。即,限制位置RP是相对于收纳于收纳部21的状态下的容器W的开口部Wa,限制体4a配置在X方向(半导体托架T的拿出放入方向)外侧的位置。限制体4a位于限制位置RP的状态下的限制体4a和容器W的开口部Wa之间的X方向的间隔距离能够将内容物(在本实施方式中为半导体托架T)的X方向的长度作为基准来设定,例如,能够使该间隔距离为内容物的X方向的长度的二分之一以下的值、三分之一以下的值、五分之一以下的值、或者十分之一以下的值等。
在此,详细地说明限制位置RP和退避位置SP。
首先,说明开口部Wa。如图5~图8所示,开口部Wa形成在沿Y方向排列的一对侧壁Wc之间,开口部Wa在Y方向上占据的区域为沿Y方向排列的一对侧壁Wc的内表面之间的区域。
限制位置RP是指相对于开口部Wa,在X方向上在侧壁Wc的端部位置的外侧接近的位置,是与开口部Wa在Y方向上重叠的位置。
在本实施方式中,退避位置SP是指与开口部Wa在Y方向上不重叠的位置。
图5~图8中的虚线,是沿容器W中的配置在第二Y方向Y2的侧壁Wc的第一Y方向Y1的面延长的线。在本实施方式中,该虚线是边界线,其示出了开口部Wa在Y方向上占据的区域、以及与该区域在第二Y方向Y2上邻接的区域的边界。从该边界线第一Y方向Y1的区域为包含限制位置RP的区域。而且,从该边界线第二Y方向Y2的区域为包含退避位置SP的区域。
连动机构4以在被按下部4b被容器W按下的状态下使限制体4a位于限制位置RP,且在被按下部4b未被容器W按下的状态下使限制体4a位于退避位置SP的方式构成。另外,限制体4a以在限制位置RP以及退避位置SP中为其长度方向沿着上下方向的立起姿势的方式构成。而且,连动机构4以在使限制体4a维持立起姿势的状态下,使限制体4a和被按下部4b连动的方式构成。
接着,基于图5~图8说明容器W被收纳于收纳部21时的连动机构4的动作。
在通过运送装置3的滑动操作机构33S使容器W位于突出位置之后,通过升降操作机构34S使容器W朝收纳部21下降。如图5所示,在收纳容器W之前,由于被按下部4b是未被容器W的底部按下的状态,故下部连杆体4d为通过将下部连杆体4d向上方作用的弹簧(省略图示)而与上部连杆体4c一同向上方倾斜的姿势。因此,在该时刻,限制体4a位于退避位置SP(还参照图6)。因此,限制体4a不会成为容器W的收纳的阻碍。若使容器W下降下去,则容器W的底部相对于被按下部4b从上方进行接触。
若从图5的状态开始,使容器W进一步下降下去,则容器W的底部将被按下部4b进一步按下,变为图7以及图8的状态。容器W通过升降操作机构34S沿上下方向下降,另一方面,下部连杆体4d将由托架97支撑的端部作为支点向下方旋转。因而,通过该动作,由下部连杆体4d支撑的限制体4a向下方位移并向第一Y方向Y1位移。由此,限制体4a从退避位置SP切换位置到限制位置RP。另外,容器W沿上下方向下降,另一方面,被其按下的被按下部4b通过旋转运动向下方以及第一Y方向Y1位移。但是,如上所述,被按下部4b由辊构成且能够绕X方向轴自转。因此,即使被按下部4b与容器W的底部相对地移动(沿第一Y方向Y1位移),通过被按下部4b绕着沿X方向的旋转轴心旋转,也能够降低在其间产生的摩擦。因而,几乎没有容器W的底部由被按下部4b摩擦等以产生颗粒的情况。另外,如图6以及图8所示,在本实施方式中,位于限制位置RP的限制体4a所占据的区域和位于退避位置SP的限制体4a所占据的区域以具有在X方向(拿出放入方向)上重叠的部分的方式构成。通过此种构成,能够较小地抑制在限制体4a横越退避位置SP和限制位置RP移动的情况下的关于限制体4a的通过区域的X方向的长度。因此,为了设置限制体4a而应确保的空间较小即可,在设置空间方面是有利的。
如此,在图5~图8所示的一连串的动作中,设于运送装置3的下落防止体35S在容器W完全收纳于收纳部21之前,位于与容器W的开口部Wa接近的位置。因此,在由运送装置3进行的运送时以及容器W被完全收纳之前的期间,能够通过下落防止体35S防止半导体托架T从容器W下落。而且,在容器W完全收纳于收纳部21之后,能够通过限制体4a来限制半导体托架T从容器W凸出。如图8所示,在本实施方式中,以在运送装置3将容器W收纳于收纳部21时,下落防止体35S的位置为具有与位于限制位置RP的限制体4a在X方向上重叠的部分的位置的方式构成。通过此种构成,能够减小将容器W收纳于收纳部21时的,收纳部21中的下落防止体35S和限制体4a占据的X方向上的区域。其结果,能够在X方向上谋求省空间化。
[第二实施方式]
接着,说明第二实施方式所涉及的容器收纳设备。第二实施方式与第一实施方式相比,连动机构的构成不同,其他构成与第一实施方式同样。以下,以与第一实施方式的不同点为中心进行说明。关于不特别说明的点,与第一实施方式相同。
如图9所示,第二实施方式所涉及的容器收纳设备具备在容器W收纳于收纳部21的状态下限制半导体托架T从容器W的开口部Wa的凸出的限制体5a、以及在容器W收纳于收纳部21的状态下被容器W的底部按下的被按下部5b、以及使限制体5a和被按下部5b连动的连动机构5。在第二实施方式中,连动机构5由利用杠杆原理的机构(以下,称为杠杆机构)构成。
连动机构5具有将限制部5a和被按下部5b连结的连结部5d、以及成为这些限制部5a、被按下部5b、以及连结部5d的旋转中心的支点轴5c。被按下部5b以及支点轴5c沿X方向配置。而且,在这些被按下部5b以及支点轴5c的X方向端部处,配置有限制部5a以及连结部5d。
在第二实施方式中,如图10以及图11所示,连动机构5以在X方向视图中限制部5a和连结部5d构成L字状的方式构成。另外,在第二实施方式中,限制部5a与连结部5d相比充分长地形成。因此,如图10以及图11所示,关于因连动机构5的自重引起的绕支点轴5c的力矩,当在沿着第一X方向X1的方向上看时(以下,关于旋转方向也一样),因限制部5a引起的顺时针的力矩比因连结部5d引起的逆时针的力矩大。因而,在被按下部5b未被容器W按下时,连动机构5整体欲顺时针旋转。在第二实施方式中,通过绕支点轴5c设置第一弹簧(省略图示)以对限制部5a逆时针地作用,以在被按下部5b未被容器W按下的状态下,连动机构5整体维持倾斜姿势的方式构成(参照图10)。此外,支点轴5c配置在与在图中用虚线示出的边界线相比沿第一Y方向Y1隔开距离的位置。
在容器W收纳于收纳部21时,如图10所示,下降的容器W的底部与位于退避位置SP的被按下部5b接触。此时,限制部5a中的与容器W的下端部相比位于上方的部分与边界线相比位于第二Y方向Y2。在第二实施方式中,该状态为限制部5a位于退避位置SP的状态。
若容器W的底部进一步按下被按下部5b,则连动机构5变为图11的状态。通过容器W按下被按下部5b,施加以支点轴5c为中心的逆时针的力矩,连动机构5以支点轴5c为中心逆时针地旋转。由此,限制部5a从倾斜姿势变为沿着上下方向的立起姿势。连结部5d变为沿着载置台99上表面的水平姿势。此时,限制部5a整体位于和与边界线相比位于第一Y方向Y1的位置的支点轴5c在Y方向上重叠的位置。因而,通过容器W按下被按下部5b,限制部5a从退避位置SP切换位置为限制位置RP。位于限制位置RP的限制部5a相对于开口部Wa在X方向上接近,以限制半导体托架T从容器W的开口部Wa凸出。此外,绕着支点轴5c,除了对限制部5a逆时针地作用的第一弹簧之外,还设有对连结部5d顺时针地作用的第二弹簧(省略图示)。因此,在容器W收纳于收纳部21之后,在被按下部5b变为不被容器W按下的状态时,通过第二弹簧,连动机构5顺时针地旋转。因而,限制部5a从立起姿势变为向第二Y方向Y2倾斜的姿势。即,因限制部5a引起的顺时针的力矩、因连结部5d引起的逆时针的力矩、因第一弹簧引起的逆时针的力矩、以及因第二弹簧引起的顺时针的力矩相互作用并取得平衡,连动机构5被维持为图10所示的倾斜姿势。此外,代替通过第一弹簧将连动机构5维持为倾斜姿势的构成,还可以采用将旋转限制部设于支点轴5c,以将连动机构5维持为倾斜姿势的构成,该旋转限制部限制倾斜姿势的连动机构5因自重而顺时针旋转的情况。另外,代替通过第二弹簧对连动机构5以从立起姿势变为向第二Y方向Y2倾斜的姿势的方式进行作用的构成,还可以采用通过连动机构5的自重对连动机构5以从立起姿势变为向第二Y方向Y2倾斜的姿势的方式进行作用的构成。在该情况下,在限制部5a位于限制位置RP的状态下变为向第二Y方向Y2倾斜的姿势的方式,调整将限制部5a和连结部5d连结的角度。
[其他实施方式]
(1)在上述实施方式中,对退避位置SP是与开口部Wa在Y方向上占据的区域相比向第二Y方向Y2间隔的位置,且与该区域不重叠的位置的例子进行了说明。但是,退避位置不限定于此种例子。即,退避位置是与限制位置间隔的位置即可。例如,退避位置还可以与开口部Wa在Y方向上占据的区域重叠,且相对于限制位置RP向X方向(X方向外侧)间隔。
(2)在上述实施方式中,对位于限制位置RP的限制体4a所占据的区域和位于退避位置SP的限制体4a所占据的区域以具有在X方向(拿出放入方向)上重叠的部分的方式构成的例子进行了说明。另外,对以在运送装置3将容器W收纳于收纳部21时,下落防止体35S的位置为具有与位于限制位置RP的限制体4a在X方向上重叠的部分的位置的方式构成的例子进行了说明。在此所说的“重叠”除了对象要素全部重叠的情况之外,还包含一部分重叠的情况。但是,若以限制位置RP的全部和退避位置SP的全部为在X方向(拿出放入方向)上重叠的位置的方式构成则更佳。即,若以位于限制位置RP的限制体4a的X方向的配置区域和位于退避位置SP的限制体4a的X方向的配置区域完全重叠的方式构成则更佳。在该情况下,能够较小地抑制上述对象要素所占据的X方向的区域,在设置空间方面更为有利。同样,运送装置3将容器W收纳于收纳部21时的下落防止体35S的位置和位于限制位置RP的限制体4a在X方向上全部重叠地构成即可。即,以运送装置3将容器W收纳于收纳部21时的下落防止体35S的X方向的配置区域和位于限制位置RP的限制体4a的X方向的配置区域完全重叠的方式构成即可。
(3)在上述实施方式中,对以位于限制位置RP的限制体4a(5a)变为沿上下方向的立起姿势的方式构成的例子进行了说明。但是,限制体的姿势还可以不是立起姿势。即,位于限制位置的限制体与容器的开口部的上下方向的全部区域重叠即可,在该情况下,限制体还可以是相对于上下方向大幅地倾斜的姿势。在该情况下,通过限制体,也能够以不会凸出到容器外的方式对容纳于容器的全部内容物进行限制。
(4)在上述实施方式中,对相对于一个容器收纳架2,两个收纳部21沿X方向并列配置的例子进行了说明。但是,不限定于此,收纳部21还可以相对于一个容器收纳架2沿X方向并列配置三个以上。根据本公开所涉及的技术,能够减小为了设置限制体而应确保的空间,由此能够谋求省空间化。因此,容器收纳架具有的收纳部越多,则省空间化的效果关于多个收纳部中的各个越得到发挥,作为设备整体,能够大幅地提高收纳效率。
(5)在上述实施方式中,对连动机构具备连杆机构或杠杆机构的例子进行了说明。但是,不限定于这种构成,连动机构以能够使限制体和被按下部连动,将限制体切换位置到限制位置和退避位置的方式构成即可。
(6)在上述实施方式中,对以容器W由运送装置3运送并被收纳于容器收纳架2的收纳部21的方式构成的例子进行了说明。但是,不限定于此种构成,容器收纳架还可以通过在地板面上行驶的运送车来收纳容器。另外,容器收纳架还可以通过人的手来人为地收纳容器。
(7)在上述实施方式中,对容器收纳架2被从天花板悬吊支撑地构成的例子进行了说明。但是,不限定于此种构成,容器收纳架还可以设在地板面上。
(8)上述实施方式只不过是例示。本公开不限定于上述各实施方式,能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。上述实施方式能够在不产生矛盾的范围内组合。
(9)在上述第二实施方式中,对为了维持连动机构5的倾斜姿势,以将第一以及第二弹簧设于限制部5a,使因限制部5a引起的顺时针的力矩、因连结部5d引起的逆时针的力矩、因第一弹簧引起的逆时针的力矩、以及因第二弹簧引起的顺时针的力矩相互作用以取得平衡的方式构成的例子进行了说明。但是,不限定于此种构成,还可以以通过一个弹簧取得平衡,以维持连动机构的倾斜姿势的方式构成。即,该弹簧以在限制部位于退避位置的状态下使力沿该限制部立起的方向(位于限制位置的方向)作用,且在限制部位于限制位置的状态下使力沿该限制部倒伏的方向(位于退避位置的方向)作用的方式构成。
[上述实施方式的概要]
以下,在上面说明的容器收纳设备的概要。
容器收纳设备具备容器收纳架,该容器收纳架具有收纳容器的收纳部,所述容器以在侧面具有开口部且从该开口部将内容物自由地拿出放入的方式构成,所述容器收纳设备具备:限制体,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下限制所述内容物从所述容器的所述开口部的凸出;被按下部,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下被所述容器的底部按下;以及连动机构,其使所述限制体和所述被按下部连动,所述限制体以能够切换位置到相对于收纳于所述收纳部的状态下的所述容器的所述开口部配置在所述内容物的拿出放入方向的外侧以限制所述内容物的凸出的限制位置、以及与所述限制位置间隔的退避位置的方式构成,所述连动机构以在所述被按下部被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述限制位置,且在所述被按下部未被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述退避位置的方式构成。
根据本构成,限制体和被按下部通过连动机构而连动。该连动机构能够与通过容器的底部被按下部被按下的状态和未被按下的状态对应地,在限制位置和与限制位置间隔的退避位置之间切换限制体的位置。在按下部未被容器的底部按下时,即容器收纳于收纳部时,限制体位于退避位置,在被按下部被容器的底部按下时,即容器收纳于收纳部时,限制体位于限制位置。因而,在收纳容器之前,由于限制体处于退避位置,故限制体不会阻碍容器的收纳。另一方面,在收纳容器时,由容器的底部按下被按下部,与被按下部的按下连动地,将限制体切换位置至限制位置。如此,通过不利用驱动手段将容器收纳的动作以及取出的动作,能够将限制体切换至限制位置和退避位置。
由于限制位置是收纳于收纳部的状态下的容器的开口部配置在内容物的拿出放入方向的外侧(例如,相对于开口部在拿出放入方向上接近)以限制内容物的凸出的位置,故在容器收纳于收纳部之后,通过处于限制位置的限制体限制容器的内容物的在拿出放入方向上的移动。因而,在容器产生了振动的情况下,也能够抑制内容物从容器凸出的情况。
由于不利用驱动手段,故相应地不需要设置马达、气缸等驱动源,因而在设置空间方面是有利的。而且,由于不需要用于对驱动源供给驱动用的电力、空气的布线、布管,故能够谋求构成的简化。
如此,根据本构成,能够获得能够通过在设置空间方面有利且简单的构造来限制内容物从容器的凸出的容器收纳设备。
另外,优选为以位于所述限制位置的所述限制体所占据的区域和位于所述退避位置的所述限制体所占据的区域具有在所述拿出放入方向上重叠的部分的方式构成。
根据该构成,能够较小地抑制在限制体横越退避位置和限制位置移动的情况下的关于限制体的通过区域的拿出放入方向的长度。因此,为了设置限制体而应确保的空间较小即可,在设置空间方面是有利的。
另外,优选地,具备将所述容器运送到所述收纳部的运送装置,所述运送装置具有下落防止体,所述下落防止体在所述容器的运送时相对于所述容器的所述开口部配置在所述拿出放入方向的外侧以防止所述内容物的下落。
根据该构成,由于运送装置具有相对于容器的开口部配置在拿出放入方向外侧的(例如,相对于开口部在拿出放入方向上接近的)下落防止体,故即使是在容器的运送时运送装置振动的情况下,也能够防止内容物从容器凸出并下落的情况。另外,在通过运送装置将容器运送到收纳部并将该容器收纳到收纳部之后,通过容器收纳架所具备的限制体来限制内容物从容器的凸出。因而,根据该构成,在容器的运送时以及容器的收纳后,能够防止内容物从容器凸出。
另外,优选为以在所述运送装置将所述容器收纳于所述收纳部时,所述下落防止体的位置是具有与位于所述限制位置的所述限制体在所述拿出放入方向上重叠的部分的位置的方式构成。
根据该构成,由于在运送装置将容器收纳于收纳部时的下落防止体具有与位于限制位置的限制体在拿出放入方向上重叠的部分,故在将容器收纳于收纳部时,能够在拿出放入方向上减小下落防止体和限制体所占据的拿出放入方向上的区域,空间利用效率好。
另外,优选地,所述限制体以形成为特长状,并且在所述限制位置以及所述退避位置处变为其长度方向沿着上下方向的立起姿势的方式构成,所述连动机构以在使所述限制体维持所述立起姿势的状态下,使所述限制体和所述被按下部连动的方式构成。
根据该构成,由于限制体在限制位置以及退避位置这两种位置中都维持立起姿势,故能够减小俯视视图中限制体在容器收纳架中所占据的区域。因而,根据该构成,能够进一步优化空间利用效率。
另外,优选地,所述开口部在所述容器的所述拿出放入方向上相互相向的状态下形成有一对,所述限制部与所述开口部对应地设有一对。
根据该构成,即使在作为收纳内容物的容器,使用以在拿出放入方向上相互相向的状态下形成了一对开口部的使用便利的容器的情况下,由于与各个开口部对应地设有限制体,故也能够限制内容物从任一开口部凸出的情况。
另外,优选地,所述容器收纳架具有沿所述拿出放入方向并列配置的多个所述收纳部,关于多个所述收纳部中的各个,各自设置有所述限制体和所述被按下部以及所述连动机构。
根据该构成,关于多个收纳部中的各个,能够设置通过不使用驱动手段的简单构造来限制内容物从容器凸出的限制体。因此,与利用驱动手段将关于多个收纳部各自的限制体切换位置的构成相比较,能够作为设备整体实现简单的构造。而且,因不设置驱动手段而引起的省空间化的效果关于多个收纳部中的各个得到发挥,因而作为设备整体,能够大幅地提高空间利用效率。
符号说明
1 容器收纳设备
2 容器收纳架
3 运送装置
3R 行驶驱动部
4 连动机构
4a 限制体
4b 被按下部
21 收纳部
35S 下落防止体
90 行驶轨道
RP 限制位置
SP 退避位置
T 半导体托架(内容物)
W 容器
Wa 开口部
X X方向(拿出放入方向)
Claims (7)
1.一种容器收纳设备,其具备以下:
容器收纳架,其具有收纳容器的收纳部,
在此,所述容器以在侧面具有开口部且从该开口部将内容物自由地拿出放入的方式构成,
其具有以下特征:
所述容器收纳设备具备:
限制体,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下限制所述内容物从所述容器的所述开口部的凸出;
被按下部,其在所述容器收纳于所述收纳部的状态下被所述容器的底部按下;以及
连动机构,其使所述限制体和所述被按下部连动,
所述限制体以能够切换位置到相对于收纳于所述收纳部的状态下的所述容器的所述开口部配置在所述内容物的拿出放入方向的外侧以限制所述内容物的凸出的限制位置、以及与所述限制位置间隔的退避位置的方式构成,
所述连动机构以在所述被按下部被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述限制位置,且在所述被按下部未被所述容器按下的状态下使所述限制体位于所述退避位置的方式构成。
2.根据权利要求1所述的容器收纳设备,
以位于所述限制位置的所述限制体所占据的区域和位于所述退避位置的所述限制体所占据的区域具有在所述拿出放入方向上重叠的部分的方式构成。
3.根据权利要求1或2所述的容器收纳设备,
具备将所述容器运送到所述收纳部的运送装置,
所述运送装置具有下落防止体,所述下落防止体在所述容器的运送时相对于所述容器的所述开口部配置在所述拿出放入方向的外侧以防止所述内容物的下落。
4.根据权利要求3所述的容器收纳设备,
以在所述运送装置将所述容器收纳于所述收纳部时,所述下落防止体的位置是与位于所述限制位置的所述限制体在所述拿出放入方向上重叠的位置的方式构成。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的容器收纳设备,
所述限制体以形成为特长状,并且在所述限制位置以及所述退避位置处变为其长度方向沿着上下方向的立起姿势的方式构成,
所述连动机构以在使所述限制体维持所述立起姿势的状态下,使所述限制体和所述被按下部连动的方式构成。
6.根据权利要求1至5中的任一项所述的容器收纳设备,
所述开口部在所述容器的所述拿出放入方向上相互相向的状态下形成有一对,
所述限制部与所述开口部对应地设有一对。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的容器收纳设备,
所述容器收纳架具有沿所述拿出放入方向并列配置的多个所述收纳部,关于多个所述收纳部中的各个,各自设置有所述限制体和所述被按下部以及所述连动机构。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016-176975 | 2016-09-09 | ||
JP2016176975A JP6690479B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | 容器収納設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107808846A true CN107808846A (zh) | 2018-03-16 |
CN107808846B CN107808846B (zh) | 2023-04-18 |
Family
ID=61576563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710806538.5A Active CN107808846B (zh) | 2016-09-09 | 2017-09-08 | 容器收纳设备 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6690479B2 (zh) |
KR (1) | KR102390054B1 (zh) |
CN (1) | CN107808846B (zh) |
TW (1) | TWI736662B (zh) |
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- 2017-09-08 CN CN201710806538.5A patent/CN107808846B/zh active Active
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TWI736662B (zh) | 2021-08-21 |
JP2018039656A (ja) | 2018-03-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TG01 | Patent term adjustment | ||
TG01 | Patent term adjustment |