KR20180028970A - 용기 수납 설비 - Google Patents

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Abstract

용기는, 측면에 개구부를 가지고, 또한 개구부로부터 내용물을 출납 가능하게 구성된다. 용기 수납 설비는, 수납부에 용기가 수납된 상태에서 용기의 개구부로부터의 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제체와, 수납부에 용기가 수납된 상태에서 용기의 바닥부에 의해 압하(押下)되는 피압하부(被押下部)와, 규제체와 피압하부를 연동시키는 연동 기구(機構)를 구비한다. 규제체는, 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제 위치와, 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치로 위치 전환 가능하도록 구성되며, 연동 기구는, 피압하부가 용기에 압하된 상태에서 규제체를 규제 위치에 위치시키고, 피압하부가 압하되어 있지 않은 상태에서 규제체를 퇴피 위치에 위치시키도록 구성되어 있다.

Description

용기 수납 설비{CONTAINER STORAGE FACILITY}
본 발명은, 용기를 수납하는 수납부를 가지는 용기 수납 선반을 구비한 용기 수납 설비에 관한 것이다.
상기와 같은 용기를 수납하는 용기 수납 선반을 구비하는 용기 수납 설비로 하여, 예를 들면, 용기의 내용물로서의 반도체 기판을 처리 및 보관하는 반도체제조 공장에 설치된 것이 있다. 반도체 제조 공장에서는, 복수의 공정으로 나누어진 반도체 기판의 처리(가공이나 검사 등)가 행해진다. 그리고, 어떤 공정에서 처리를 마친 반도체 기판은 용기에 수용된 상태에서 반송 장치에 의해 반송되어, 다음 공정의 처리 장치에 공급되거나, 용기 수납 선반을 구비한 보관고 등의 용기 수납 설비에 수납된다. 이와 같이, 반도체 기판은 용기에 수용된 상태에서 용기 수납 선반에 수납된다.
또한, 상기한 용기 수납 설비에서는, 측면에 개구부를 가지고, 또한 상기 개구부로부터 내용물을 출납 가능하게 구성된 용기를 수납하는 것으로 알려져 있다. 예를 들면, 반도체 기판을 수용하는 용기로서, 측면에 반도체 기판을 출납하기 위한 개구부를 가지고, 상하 복수층으로 분산 배치된 기판 수용용의 슬롯을 구비한 용기를 수납하는 설비가 있다.
여기서, 용기가 용기 수납 선반에 수납되어 있는 상태에 있어서, 반송 장치의 작동에 의한 기계적인 진동이나 지진에 의한 진동이 용기 수납 선반에 전달되면, 용기에 대한 반도체 기판의 출납 방향에서의 요동이 일어나고, 용기 내의 반도체 기판이 개구부로부터 용기 밖으로 튀어나와, 반도체 기판이 낙하·파손되는 경우가 있다. 이에, 용기가 용기 수납 선반에 수납된 상태에서 상기 용기의 개구부에 근접하는 위치에, 반도체 기판의 튀어나옴을 규제하는 규제체를 설치하는 것을 고려할 수 있다. 그러나, 용기 수납 선반에 있어서, 용기가 수납된 상태에서의 상기 용기의 개구부에 근접하는 위치에 규제체를 설치해 두면, 용기를 용기 수납 선반에 수납할 때, 용기가 규제체에 간섭할 가능성이 높아진다. 즉, 규제체가, 용기를 수납할 때의 방해가 될 가능성이 높아진다.
용기로부터의 반도체 기판의 튀어나옴을 규제하는 규제체에 대하여, 예를 들면, 일본공개특허 제2003-237941호 공보(특허문헌 1)에는, 반도체 기판이 수용된 용기를 반송하는 자동 유도 차량에 있어서, 용기로부터 반도체 기판이 튀어나오지 않도록, 상기 반도체 기판을 용기의 개구 측으로부터 안쪽으로 누르는 규제체를 구비한 것이 개시되어 있다.
특허문헌 1의 자동 유도 차량은, 반도체 기판을 반송할 때는 상기 반도체 기판을 카세트의 개구 측으로부터 안쪽으로 누르는 위치에 규제체를 위치시키고, 매엽(枚葉) 이송 탑재 장비에 의해 반도체 기판을 이송 탑재할 때는 이송 탑재되는 반도체 기판과 간섭하지 않는 위치에 규제체를 위치시키도록 구성되어 있다. 특허문헌 1의 자동 유도 차량은, 이러한 규제체의 위치 전환을, 에어 실린더 등의 구동 수단에 의해 행하고 있다.
일본공개특허 제2003-237941호 공보
구동 수단에 의해 위치 전환되는 특허문헌 1과 같은 규제체를 용기 수납 선반에 설치하는 것을 고려할 수 있지만, 용기 수납 선반에 구동 수단을 설치하면, 모터나 에어 실린더 등의 구동원을 용기 수납 선반에 설치할 필요가 있으므로, 설치 스페이스의 점에서 불리하다. 또한, 구동원에 대하여 구동용의 전력이나 에어를 공급하기 위한 배선이나 배관이 필요하므로, 구조가 복잡하게 된다.
이에, 설치 스페이스의 점에서 유리하면서 또한 간소한 구조에 의해 용기로부터의 내용물의 튀어나옴을 규제 가능한 용기 수납 설비의 실현이 요구된다.
본 공개에 따른 용기 수납 설비는, 용기를 수납하는 수납부를 가지는 용기 수납 선반을 구비하고, 상기 용기는, 측면에 개구부를 가지고, 또한 상기 개구부로부터 내용물을 출납 가능하게 구성되며, 상기 용기 수납 설비는, 상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 상기 개구부로부터의 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제체와, 상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 바닥부에 의해 압하(押下)되는 피압하부(被押下部)와, 상기 규제체와 상기 피압하부를 연동시키는 연동 기구(機構)를 구비하고, 상기 규제체는, 상기 수납부에 수납된 상태에서의 상기 용기의 상기 개구부에 대하여 상기 내용물의 출납 방향의 외측에 배치되어 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제 위치와, 상기 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치로 위치 전환 가능하도록 구성되며, 상기 연동 기구는, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하된 상태에서 상기 규제체를 상기 규제 위치에 위치시키고, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하되어 있지 않은 상태에서 상기 규제체를 상기 퇴피 위치에 위치시키도록 구성되어 있다.
본 구성에 의하면, 규제체와 피압하부가 연동 기구에 의해 연동한다. 이 연동 기구는, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있는 상태와 압하되어 있지 않은 상태에 따라, 규제 위치와, 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치의 사이에 규제체의 위치를 전환할 수 있다. 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있지 않을 때, 즉 용기가 수납부에 수납되어 있지 않을 때는, 규제체는 퇴피 위치에 위치하고, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있을 때, 즉 용기가 수납부에 수납되어 있을 때는, 규제체는 규제 위치에 위치한다. 따라서, 용기가 수납되기 전에는, 규제체는 퇴피 위치에 있으므로, 용기가 수납되는 것을 규제체가 방해하지 않는다. 한편, 용기가 수납될 때는, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되고, 피압하부가 압하되는 것에 연동하여 규제체가 규제 위치로 위치 전환된다. 이와 같이, 구동 수단에 관계없이 용기를 수납하는 동작 및 꺼내는 동작에 의해, 규제체를 규제 위치와 퇴피 위치로 전환할 수 있다.
규제 위치는, 수납부에 수납된 상태에서의 용기 개구부에 대하여 내용물의 출납 방향의 외측에 배치되어(예를 들면, 개구부에 대하여 출납 방향으로 근접하여) 내용물의 튀어나옴을 규제하는 위치이므로, 용기가 수납부에 수납된 후에는, 규제 위치에 있는 규제체에 의해 용기의 내용물은 출납 방향에서의 이동이 규제되게 된다. 따라서, 용기에 진동이 생긴 경우라도 내용물이 용기로부터 튀어나오는 것을 억제할 수 있다.
구동 수단을 채용하지 않는 만큼, 모터나 에어 실린더 등의 구동원을 설치할 필요로 없기 때문에, 설치 스페이스의 점에서 유리하다. 또한, 구동원에 대하여 구동용의 전력이나 에어를 공급하기 위한 배선이나 배관이 불필요하기 때문에 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 설치 스페이스의 점에서 유리하면서 또한 간소한 구조에 의해 용기로부터의 내용물의 튀어나옴을 규제 가능한 용기 수납 설비를 얻을 수 있다.
본 공개에 따른 기술이 새로운 특징과 이점은, 도면을 참조하여 기술하는 이하의 예시적이면서 또한 비한정적인 실시형태의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.
도 1은 용기 수납 선반 및 반송 장치를 출납 방향으로부터 본 도면이다.
도 2는 용기 수납 선반 및 반송 장치를 수평면에서 출납 방향에 직교하는 방향으로부터 본 도면이다.
도 3은 용기의 사시도이다.
도 4는 용기 수납 선반 및 용기의 사시도이다.
도 5는 용기가 수납부에 수납될 때의 연동 기구 동작을 나타낸 도면이다.
도 6은 도 5의 상태에서의 평면도이다.
도 7은 도 5의 다음 동작을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7의 상태에서의 평면도이다.
도 9는 제2 실시형태에 따른 용기 수납 선반 및 용기의 사시도이다.
도 10은 제2 실시형태에 있어서 퇴피 위치에 있는 규제체를 나타낸 도면이다.
도 11은 제2 실시형태에 있어서 규제 위치에 있는 규제체를 나타낸 도면이다.
[제1 실시형태]
본 실시형태에 따른 용기 수납 설비(1)에 대하여 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 설비(1)는, 용기(W)를 수납하는 수납부(21)를 가지는 용기 수납 선반(2)과 용기(W)를 수납부(21)에 반송하는 반송 장치(3)를 구비하고 있다.
본 실시형태에 있어서 용기(W)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 내용물로서의 반도체 트레이(T)를 수용하는 것이다. 반도체 트레이(T)는, 상하 방향으로 복수층 중첩되는 상태에서 용기(W)에 수용된다(도 1도 참조). 용기(W)는, 측면에 개구부(Wa)를 가지고 또한 상기 개구부(Wa)로부터 반도체 트레이(T)를 출납 가능하게 구성되어 있다. 또한, 개구부(Wa)는, 용기(W)에서의 출납 방향에서 서로 대향하는 상태에서 한 쌍 형성되어 있다. 그리고, 이하의 설명에서는, 용기(W)에 대한 반도체 트레이(T)의 출납 방향을 X 방향으로 하고, 수평면을 따르면서 또한에 X 방향에 직교하는 방향을 Y 방향으로 한다. 또한, 설명의 편의 상, X 방향 중 한쪽을 제1 X 방향(X1)으로 하고, 다른 쪽을 제2 X 방향(X2)으로 한다. 또한, Y 방향 중 한쪽을 제1 Y 방향(Y1)으로 하고, 다른 쪽을 제2 Y 방향(Y2)으로 한다.
용기(W)는, Y 방향으로 간격을 두고 대면하는 한 쌍의 측벽(Wc)을 가지고 있다. 용기(W)의 상부 및 바닥부는 폐쇄되어 있다. 또한, 용기(W)의 상부 및 바닥부는, X 방향에 있어서 측벽(Wc)보다 짧게 형성되어 있다. 이에 따라, 용기(W)는, 평면에서 볼 때에 X 방향의 단부(端部)가 절결된 H형으로 형성되어 있다. 용기(W)는 이러한 형상을 가지므로, 용기(W)의 내부가 쉽게 시인(視認)할 수 있고, 또한, 용기(W)로부터의 반도체 트레이(T)의 출납이 용이하게 되어 있다. 용기(W)의 상부에는, 톱 플랜지(top flange; Wb)가 설치되어 있다. 톱 플랜지(Wb)를 반송 장치(3)가 파지(把持)함으로써, 반송 장치(3)에 의한 용기(W)의 반송이 가능하게 되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(3)는, 현수구(懸垂具)(91)에 의해 천장에 고정된 주행 레일(90)을 주행 가능하도록 구성되어 있다. 주행 레일(90)은 적어도 용기 수납 선반(2)에 대응하는 개소(箇所)에서는 X 방향을 따라 설치되어 있다. 이 때문에, 반송 장치(3)는 X 방향을 따라 용기(W)를 반송할 수 있다.
반송 장치(3)는, 주행 레일(90) 상을 주행하는 주행 구동부(3R)와, 주행 레일(90)의 하방에 위치하도록 주행 구동부(3R)에 현수 지지된 용기 지지부(3S)를 구비하고 있다.
주행 구동부(3R)는, 구동 모터(3Rc)로 회전 구동되는 주행륜(3Ra)과, 주행 구동부(3R)를 주행 레일(90)을 따라 안내하는 안내륜(3Rb)을 가지고 있다. 주행륜(3Ra)은, 수평 방향의 회전축을 가지고, 주행 레일(90)의 상면을 전동(轉動)한다. 안내륜(3Rb)은, 상하 방향의 회전축을 가지고, 주행 레일(90)에 있어서 상하 방향에 형성된 연직면(鉛直面)을 전동한다. 따라서, 주행 구동부(3R)는, 안내륜(3Rb)에 의해 주행 레일(90)을 따라 안내되면서, 구동 모터(3Rc)로 구동되는 주행륜(3Ra)에 의해 주행 레일(90)을 따라 이동할 수 있다.
용기 지지부(3S)는, 용기(W)의 톱 플랜지(Wb)를 파지 가능한 파지부(31S)를 가지고 있다. 용기 지지부(3S)는, 파지부(31S)의 상방, 제1 X 방향(X1), 및 제2 X 방향(X2)을 덮는 커버(32S)를 가지고 있다. 바꾸어 말하면, 커버(32S)는, 하방, 제1 Y 방향(Y1), 및 제2 Y 방향(Y2)이 개방된 형상으로 되어 있다. 이로써, 파지부(31S)가 커버(32S)에 의해 덮어진 상태라도, 파지부(31S)는, 하방 및 Y 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.
용기 지지부(3S)는, 파지부(31S)를 승강시키는 승강 조작 기구(34S)와, 파지부(31S)를 Y 방향을 슬라이드시키는 슬라이드 조작 기구(33S)를 가지고 있다.
파지부(31S)는, 용기(W)를 파지하는 파지 자세와 파지를 해제하는 해제 자세로 전환 가능한 파지 클로우(31Sa)와, 파지 클로우(31Sa)를 파지 자세와 해제 자세로 전환 조작하는 파지용 모터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 파지 클로우(31Sa)가 용기(W)의 톱 플랜지(Wb)를 파지함으로써, 파지부(31S)가 용기(W)를 파지할 수 있도록 되어 있다.
승강 조작 기구(34S)는, 승강 벨트(34Sb)를 풀어내기 및 권취 가능한 드럼(34Sa)을 구비하고 있다. 승강 조작 기구(34S)는, 승강용 모터(34Sc)로 드럼(34Sa)을 회전 구동시킴으로써, 파지부(31S) 및 그것에 의해 파지된 용기(W)를 승강시킬 수 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 슬라이드 조작 기구(33S)는, Y 방향으로 간격을 두고 배치된 한 쌍의 풀리(33Sa)(도면 중에서는 한쪽 풀리만 기재)와, 이들 한 쌍의 풀리(33Sa)에 걸쳐진 슬라이드 벨트(33Sb)와, 풀리(33Sa)를 회전 구동시키는 슬라이드용 모터(도시하지 않음)를 가지고 있다. 슬라이드 조작 기구(33S)는, 슬라이드용 모터에 의해 풀리(33Sa)를 회전시킴으로써 슬라이드 벨트(33Sb)를 구동시켜, 파지부(31S) 및 그것에 의해 파지된 용기(W)를 제2 Y 방향(Y2)에 슬라이드시킬 수 있다. 또한, 슬라이드 조작 기구(33S)는, 슬라이드용 모터를 상기의 경우와 반대로 회전시킴으로써, 파지부(31S) 및 그것에 의해 파지된 용기(W)를 제1 Y 방향(Y1)으로 슬라이드시킬 수 있다. 즉, 슬라이드 조작 기구(33S)에 의해, 용기(W)와 용기 수납 선반(2)이 Y 방향에서 중복되는 위치인 돌출 위치와, 용기(W)가 커버(32S)의 내측에 수납되는 퇴피 위치로 용기(W)를 슬라이드시킬 수 있다.
이상 설명한 구성에 의해, 반송 장치(3)는, 용기 수납 선반(2)의 수납부(21)에 용기(W)를 수납할 수 있다. 즉, 반송 장치(3)는, 파지부(31S)의 파지 클로우(31Sa)에 의해 용기(W)를 파지한 상태에서, 도 2에 나타낸 바와 같이, 주행 구동부(3R)에 의해 주행 레일(90)을 X 방향으로 이동한다. 그리고, 반송 장치(3)는, X 방향에서의 용기 수납 선반(2)의 수납부(21)와 중복되는 위치에서 정지한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 장치(3)는, 슬라이드 조작 기구(33S)에 의해 파지부(31S) 및 그것에 의해 파지되는 용기(W)를 제2 Y 방향(Y2)으로 슬라이드시켜, 파지부(31S) 및 용기(W)를 돌출 위치에 위치시킨다. 그리고, 반송 장치(3)는, 승강 조작 기구(34S)에 의해 용기(W)를 강하(降下)시킴으로써 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 수 있다.
본 실시형태에서는, 반송 장치(3)는, 용기(W)의 X 방향이 주행 방향을 따르는 자세로 용기(W)를 반송하고, 슬라이드 조작 기구(33S)는, 용기(W)의 Y 방향을 따라 용기(W)를 슬라이드시킨다. 즉, 용기 수납 선반(2)의 수납부(21)에 대하여 용기(W)를 수납할 경우의 용기(W)의 슬라이드 방향이, 제2 Y 방향(Y2)이다. 그리고, 상기 수납부(21)로부터 용기(W)를 꺼내는 경우의 용기(W)의 슬라이드 방향이, 제1 Y 방향(Y1)이다. 즉, 제2 Y 방향(Y2)은 용기 수납 선반(2)에 대한 선반 안쪽 길이 방향이며, 제1 Y 방향(Y1)은 용기 수납 선반(2)에 대한 앞 방향이다.
그런데, 용기(W)의 반송중의 속도 변화에 의해, 반도체 트레이(T)가 용기(W)와 상대적으로 X 방향으로 이동하여, 용기(W)의 개구부(Wa)로부터 튀어나오는 경우가 있다. 이것을 방지하기 위하여, 본 실시형태에 따른 반송 장치(3)는, 용기(W)의 반송 시에 있어서, 용기(W)의 개구부(Wa)에 대하여 X 방향(출납 방향)에서 근접하여 반도체 트레이(T)의 낙하를 방지하는 낙하 방지체(35S)를 가지고 있다(도 1 및 도 2 참조). 즉, 낙하 방지체(35S)는, 용기(W)의 개구부(Wa)에 대하여 X 방향(출납 방향)의 외측에 배치된다. 여기서, X 방향의 외측이란, 용기(W)의 X 방향의 중심으로부터 이격되는 측을 의미한다. 낙하 방지체(35S)는, 용기(W)의 개구부(Wa)에 근접하고 있으므로, 반도체 트레이(T)가 용기(W)와 상대적으로 X 방향으로 이동하는 것을 방지하게 된다. 따라서, 반송 장치(3)는, 낙하 방지체(35S)에 의해, 반도체 트레이(T)가 용기(W)로부터 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 낙하 방지체(35S)와 용기(W)의 개구부(Wa)의 사이의 X 방향의 이격 거리는, 내용물(본 실시형태에서는, 반도체 트레이(T))의 X 방향의 길이를 기준으로 설정할 수 있고, 예를 들면, 상기 이격 거리를, 내용물의 X 방향의 길이의 1/2 이하의 값, 1/3 이하의 값, 1/5 이하의 값, 혹은 1/10 이하의 값 등으로 할 수 있다.
본 실시형태에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 파지부(31S)가 용기(W)를 파지하고 있는 상태에서, 용기(W)의 Y 방향에서의 중앙부로부터 제1 Y 방향(Y1)으로 거리를 둔 위치에 위치하도록, 낙하 방지체(35S)는 파지부(31S)에 설치되어 있다. 또한, 낙하 방지체(35S)는, 용기(W)에서의 상하 방향의 모든 영역에 중복되도록 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 상하 방향의 길이가 적어도 용기(W)의 상하 방향의 길이보다 길어지도록, 낙하 방지체(35S)는 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 낙하 방지체(35S)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, X 방향을 따라 배치되는 실린더의 양 단부의 각각에 있어서, 하방으로 연장되는 봉형체(棒形體)이며, 실린더의 신축(伸縮)에 의해 X 방향에서 위치 전환을 할 수 있도록 구성되어 있다. 이로써, 한 쌍의 낙하 방지체(35S)의 X 방향에서의 이격 거리를 확장시켜, 파지부(31S)가 용기(W)를 파지할 때 낙하 방지체(35S)가 용기(W)에 간섭 하지 않도록 할 수 있다. 그리고, 파지부(31S)가 용기(W)를 파지한 후에는, 한 쌍의 낙하 방지체(35S)의 X 방향에서의 이격 거리를 축소시켜, 낙하 방지체(35S)를 용기(W)의 개구부(Wa)에 근접시킬(예를 들면, 반도체 트레이(T)에 접촉할 정도로 근접시킬) 수 있다.
도 2 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기 수납 선반(2)은, X 방향을 길이 방향으로 하여 배치되는 탑재대(99)를 가지고 있다. 탑재대(99)는, 천장에 매달린 상태로 구성되어 있다. 용기 수납 선반(2)은, X 방향으로 나란히 배치되는 복수의 수납부(21)를 가지고 있다. 본 실시형태에서는, 1개의 용기 수납 선반(2)에 대하여 2개의 수납부(21)가 X 방향으로 나란히 배치되어 있다. 탑재대(99)에는, 용기(W)가 수납부(21)에 수납되었을 때에 있어서의 용기(W)의 위치 결정을 담당하는 가이드(98)가 설치되어 있다. 가이드(98)는, 용기(W)가 수납부(21)에 수납된 상태에서 용기(W)의 바닥부의 4개의 모서리를 지지하기 위하여, 탑재대(99)에서의 용기(W)의 바닥부의 4개의 모서리에 대응하는 위치에 각각 설치되어 있다. 즉, 합계하여 4개의 가이드(98)가, 1개의 수납부(21)에 설치되어 있다. 또한, 가이드(98)는, 직육면체의 일부가 절결된 형상이 되어 있다. 그리고, 가이드(98)는, 수납부(21)에 수납된 용기(W)의 수평면을 따른 이동을 규제하면서, 용기(W)를 탑재대(99)로부터 상방으로 뜨게 한 상태에서 지지한다(도 7도 참조). 즉, 복수의 가이드(98)는, 용기(W)의 바닥면과 탑재대(99)의 상면의 사이에 공간이 형성되는 상태에서, 또한 용기(W)를 위치 결정한 상태에서 용기(W)를 지지한다.
그런데, 전술한 바와 같이, 반송 장치(3)에 의한 용기(W)의 반송 시에는, 낙하 방지체(35S)에 의해 반도체 트레이(T)가 용기(W)의 개구부(Wa)로부터 낙하하는 것을 방지하고 있다. 그러나, 반송 장치(3)가 용기(W)의 반송을 종료한 후, 즉 용기(W)가 용기 수납 선반(2)의 수납부(21)에 수납된 후에는, 반송 장치(3)는 다음 작업 등을 행하기 위하여 용기(W)의 파지를 해제하여 수납부(21)로부터 이격되게 된다. 이 때문에, 낙하 방지체(35S)는 용기(W)의 개구부(Wa)에 근접하는 위치로부터 이격되게 되고, 용기 수납 선반(2)이 어떠한 원인에 의해 요동할 경우에는, 용기(W)의 개구부(Wa)로부터 반도체 트레이(T)가 튀어나올 우려가 있다.
이에, 본 실시형태에 따른 용기 수납 설비(1)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납부(21)에 용기(W)가 수납된 상태에서 용기(W)의 개구부(Wa)로부터의 반도체 트레이(T)의 튀어나옴을 규제하는 규제체(4a)와, 수납부(21)에 용기(W)가 수납된 상태에서 용기(W)의 바닥부에 의해 압하되는 피압하부(4b)와, 규제체(4a)와 피압하부(4b)를 연동시키는 연동 기구(4)를 구비하고 있다. 본 실시형태에서는, 규제체(4a) 및 피압하부(4b)는, 연동 기구(4)의 일부를 구성하고 있다. 전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반도체 트레이(T)를 출납하는 개구부(Wa)는, 용기(W)에서의 X 방향에서 서로 대향하는 상태에서 한 쌍 형성되어 있다. 이에 따라, 규제체(4a)는, 한 쌍의 개구부(Wa)에 대응하여 한 쌍 설치되어 있다. 또한, 규제체(4a)는, 장척형(長尺形)으로 형성되어 있고, 상하 방향의 길이가 적어도 용기(W)의 상하 방향의 길이보다 길어지도록 구성되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 용기 수납 선반(2)이 복수(2개)의 수납부(21)를 가지고 있으므로, 이들 복수의 수납부(21)의 각각에 대하여, 규제체(4a)와 피압하부(4b)와 연동 기구(4)가 각각 별도로 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에 있어서 연동 기구(4)는, 링크 기구이며, 상부 링크체(4c)와, 하부 링크체(4d)와, 고정 링크체(4e)를 가지고 있다. 이들, 상부 링크체(4c), 하부 링크체(4d), 및 고정 링크체(4e)의 각각은, X 방향으로 일정 간격을 두고 한 쌍 설치되어 있다.
고정 링크체(4e) 및 하부 링크체(4d)의 단부는, 탑재대(99)의 상면에 장착된 브래킷(97)에 의해 지지되고 있다. 상세하게는, 고정 링크체(4e)는, 브래킷(97)에 대하여 고정되는 상태에서 지지되어 있다. 한편, 하부 링크체(4d)는, 브래킷(97)에 대하여 회전 가능하게 지지되고, 또한 스프링(도시하지 않음) 등에 의해 구성되는 가압 부재에 의해 상방으로 가압되고 있다.
피압하부(4b)는, X 방향을 따라 배치되어 있다. 피압하부(4b)의 X 방향에서의 양 단부의 각각은, 한 쌍의 하부 링크체(4d)의 단부에 의해 지지되고 있다. 이 피압하부(4b)는, 길이 방향이 회전 축심 방향을 따른 장척형의 롤러에 의해 구성되어 있다. 이에 따라, 피압하부(4b)는, 하부 링크체(4d)의 회동 단부(브래킷(97)에 의해 지지된 단부와는 반대측의 단부)에 위치하는 X 방향을 따른 이동 축심(회전 축심) 주위로 회전하도록 구성되어 있다. 즉, 피압하부(4b)는, 하부 링크체(4d)의 회동과 함께 자전(自轉)하도록 구성되어 있다. 용기(W)가 수납부(21)에 수납되어 있지 않고 피압하부(4b)가 용기(W)의 바닥부에 의해 압하되어 있지 않을 때는, 하부 링크체(4d)는, 스프링에 의해 상방으로 가압되어 있으므로, 브래킷(97)에 의해 지지된 단부를 하단으로 하여 상방으로 경사진 자세를 유지한다. 따라서, 하부 링크체(4d)에서의 다른 단부(브래킷(97)에 의해 지지된 단부와는 반대측의 단부)에서 지지되고 있는 피압하부(4b)는, 용기(W)의 바닥부에 의해 압하되어 있지 않고 있을 때, 탑재대(99)로부터 상방으로 이격된 위치에 배치된 상태가 된다.
상부 링크체(4c)의 단부는, 고정 링크체(4e)에서의 브래킷(97)에 의해 지지된 단부와는 반대측의 단부에 있어서, 회전 가능하게 지지되고 있다. 상부 링크체(4c)는, X 방향에서 보았을 때 하부 링크체(4d)와 항상 동일한 기울기가 되도록 구성되어 있다. 상부 링크체(4c)는, 하부 링크체(4d)보다 짧게 형성되어 있다(도 5등도 참조). 또한, 상부 링크체(4c)는, 고정 링크체(4e)에 지지된 단부와는 반대측의 단부에 있어서 규제체(4a)의 단부를 회전 가능하게 지지하고 있다. 규제체(4a)의 다른 단부는, 하부 링크체(4d)에서의 단부로부터 중앙에 거리를 둔 위치에 있어서, 회전 가능하게 지지되고 있다. 본 실시형태에서는, 고정 링크체(4e)와 규제체(4a)가, 항상 상하 방향을 따른 기립 자세가 되도록 구성되어 있다. 즉, 본 실시형태에서의 연동 기구로서의 링크 기구는, 평행 링크로 되어 있다. 그리고, 「상하 방향을 따른 기립 자세」란, 연직 방향을 따른 자세 외에, 연직 방향에 대하여 다소 경사진 자세도 포함하는 개념이다.
도 5∼도 8에 나타낸 바와 같이, 규제체(4a)는, 수납부(21)에 수납된 상태에서의 용기(W)의 개구부(Wa)에 대하여 반도체 트레이(T)의 출납 방향(X 방향)에서 근접하여 반도체 트레이(T)의 튀어나옴을 규제하는 규제 위치(RP)와, 규제 위치(RP)로부터 이격된 퇴피 위치(SP)로 위치 전환 가능하도록 구성되어 있다. 즉, 규제 위치(RP)는, 수납부(21)에 수납된 상태에서의 용기(W)의 개구부(Wa)에 대하여 X 방향(반도체 트레이(T)의 출납 방향)의 외측에, 규제체(4a)가 배치되는 위치이다. 규제체(4a)가 규제 위치(RP)에 위치하는 상태에서의 규제체(4a)와 용기(W)의 개구부(Wa)의 사이의 X 방향의 이격 거리는, 내용물(본 실시형태에서는, 반도체 트레이(T))의 X 방향의 길이를 기준으로 설정할 수 있고, 예를 들면, 상기 이격 거리를, 내용물의 X 방향의 길이 1/2 이하의 값, 1/3 이하의 값, 1/5 이하의 값, 혹은 1/10 이하의 값 등으로 할 수 있다.
여기서, 규제 위치(RP)와 퇴피 위치(SP)에 대하여, 상세하게 설명한다.
먼저, 개구부(Wa)에 대하여 설명한다. 도 5∼도 8에 나타낸 바와 같이, 개구부(Wa)는, Y 방향으로 배열되는 한 쌍의 측벽(Wc)의 사이에 형성되어 있고, 개구부(Wa)가 Y 방향에 있어서 점유하는 영역은, Y 방향으로 배열되는 한 쌍의 측벽(Wc)의 내면의 사이의 영역이다.
규제 위치(RP)란, 개구부(Wa)에 대하여, X 방향에서 측벽(Wc)의 단부의 위치보다 바깥쪽에 있어서 근접하는 위치로서, 개구부(Wa)와 Y 방향에서 중복되는 위치를 일컫는다.
본 실시형태에서는, 퇴피 위치(SP)란, 개구부(Wa)와 Y 방향에서 중복되지 않는 위치를 일컫는다.
도 5∼도 8 중의 파선은, 용기(W)에서의 제2 Y 방향(Y2)에 배치되는 측벽(Wc)의 제1 Y 방향(Y1)의 면을 따라 연장한 선이다. 본 실시형태에서는, 이 파선은, 개구부(Wa)가 Y 방향에서 점유하는 영역과, 이 영역에 제2 Y 방향(Y2)으로 인접하는 영역과의 경계를 나타내는 경계선이다. 이 경계선으로부터 제1 Y 방향(Y1)의 영역이, 규제 위치(RP)를 포함하는 영역이다. 그리고, 이 경계선으로부터 제2 Y 방향(Y2)의 영역이, 퇴피 위치(SP)를 포함하는 영역이다.
연동 기구(4)는, 피압하부(4b)가 용기(W)에 압하된 상태에서 규제체(4a)를 규제 위치(RP)에 위치시키고, 피압하부(4b)가 용기(W)에 압하되어 있지 않은 상태에서 규제체(4a)를 퇴피 위치(SP)에 위치시키도록 구성되어 있다. 또한, 규제체(4a)는, 규제 위치(RP) 및 퇴피 위치(SP)에 있어서 그 길이 방향이 상하 방향을 따르는 기립 자세가 되도록 구성되어 있다. 그리고, 연동 기구(4)는, 규제체(4a)에 기립 자세를 유지시킨 채, 규제체(4a)와 피압하부(4b)를 연동시키도록 구성되어 있다.
다음으로, 용기(W)가 수납부(21)에 수납될 때의 연동 기구(4)의 동작에 대하여 도 5∼도 8에 기초하여 설명한다.
반송 장치(3)의 슬라이드 조작 기구(33S)에 의해 용기(W)를 돌출 위치에 위치시킨 후에는, 승강 조작 기구(34S)에 의해 수납부(21)를 향하여 용기(W)를 강하시킨다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)를 수납할 때까지는, 피압하부(4b)는 용기(W)의 바닥부에 의해 압하되어 있지 않은 상태이므로, 하부 링크체(4d)는, 하부 링크체(4d)를 상방으로 가압하는 스프링(도시하지 않음)에 의해 상부 링크체(4c)와 함께 상방으로 경사진 자세로 되어 있다. 이에 따라, 이 시점에서는, 규제체(4a)는 퇴피 위치(SP)에 위치하고 있다(도 6도 참조). 따라서, 규제체(4a)는, 용기(W)의 수납의 방해는 되지 않는다. 용기(W)를 강하시켜 가면, 용기(W)의 바닥부가, 피압하부(4b)에 대하여 상방으로부터 접촉한다.
도 5의 상태로부터, 용기(W)를 더욱 강하시켜 가면, 용기(W)의 바닥부는 피압하부(4b)를 더욱 압하하여 도 7 및 도 8의 상태가 된다. 용기(W)가 승강 조작 기구(34S)에 의해 상하 방향을 따라 강하해 가는 한편, 하부 링크체(4d)는 브래킷(97)에 지지된 단부를 지점(支点)으로 하여 하방으로 회전한다. 따라서, 이 동작에 의해, 하부 링크체(4d)에 지지되어 있는 규제체(4a)는, 하방으로 변위하는 동시에 제1 Y 방향(Y1)로 변위한다. 이로써, 규제체(4a)는, 퇴피 위치(SP)로부터 규제 위치(RP)에 위치 전환하게 된다. 또한, 용기(W)는 상하 방향을 따라 강하하는 한편, 이것에 압하되는 피압하부(4b)는 회전 운동에 의해 하방 및 제1 Y 방향(Y1)으로 변위한다. 그러나, 전술한 바와 같이, 피압하부(4b)는 롤러로 구성되어 있고 X 방향축 주위로 자전 가능하다. 이에 따라, 피압하부(4b)가 용기(W)의 바닥부와 상대적으로 이동(제1 Y 방향(Y1)으로 변위)해도, 피압하부(4b)가 X 방향을 따르는 회전 축심 주위로 회전함으로써, 이들 사이에 생기는 마찰을 저감할 수 있다. 따라서, 용기(W)의 바닥부가 피압하부(4b)에 의해 문질러지는 것 등에 의한 파티클(particle)이 발생하는 경우는 거의 없다. 또한, 도 6 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)가 점유하는 영역과 퇴피 위치(SP)에 위치하는 규제체(4a)가 점유하는 영역이, X 방향(출납 방향)에 있어서 중복되는 부분을 가지도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의해, 규제체(4a)가 퇴피 위치(SP)와 규제 위치(RP)에 걸쳐 이동할 경우의 규제체(4a)의 통과 영역에 대한, X 방향의 길이를 작게 억제할 수 있다. 이에 따라, 규제체(4a)를 설치하기 위해 확보해야 할 공간이 작아도 되므로, 설치 스페이스의 점에서 유리하게 된다.
이와 같이, 도 5∼도 8에 나타내는 일련의 동작에 있어서, 반송 장치(3)에 설치된 낙하 방지체(35S)는, 용기(W)가 수납부(21)에 완전히 수납될 때까지, 용기(W)의 개구부(Wa)에 근접하는 위치에 위치하고 있다. 이에 따라, 반송 장치(3)에 의한 반송 시 및 용기(W)가 완전히 수납될 때까지의 기간은, 낙하 방지체(35S)에 의해, 반도체 트레이(T)가 용기(W)로부터 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 용기(W)가 수납부(21)에 완전히 수납된 후에는, 규제체(4a)에 의해, 반도체 트레이(T)가 용기(W)로부터 튀어나오는 것을 규제할 수 있다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 반송 장치(3)가 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 때, 낙하 방지체(35S)의 위치가, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)와 X 방향에 있어서 중복되는 부분을 가지는 위치가 되도록 구성되어 있다. 이와 같은 구성에 의해, 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 때의, 수납부(21)에서의 낙하 방지체(35S)와 규제체(4a)가 차지하는 X 방향에서의 영역을, 작게 할 수 있다. 그 결과, X 방향에 있어서 공간 절약화를 도모할 수 있다.
[제2 실시형태]
다음으로, 제2 실시형태에 따른 용기 수납 설비에 대하여 설명한다. 제2 실시형태는, 제1 실시형태와 비교하여서 연동 기구의 구성이 상이하게 되어 있고, 그 외의 구성은 제1 실시형태와 동일하다. 이하에서는, 제1 실시형태와 다른 점을 중심으로 설명한다. 특별히 설명하지 않는 점에 대해서는 제1 실시형태와 동일하다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 제2 실시형태에 따른 용기 수납 설비는, 수납부(21)에 용기(W)가 수납된 상태에서 용기(W)의 개구부(Wa)로부터의 반도체 트레이(T)의 튀어나옴을 규제하는 규제부(5a)와, 수납부(21)에 용기(W)가 수납된 상태에서 용기(W)의 바닥부에 의해 압하되는 피압하부(5b)와, 규제부(5a)와 피압하부(5b)를 연동시키는 연동 기구(5)를 구비하고 있다. 제2 실시형태에 있어서, 연동 기구(5)는, 지레의 원리를 이용한 기구(이하, 지레 기구라고 한다.)에 의해 구성되어 있다.
연동 기구(5)는, 규제부(5a)와 피압하부(5b)를 연결하는 연결부(5d)와, 이들 규제부(5a), 피압하부(5b), 및 연결부(5d)의 회전 중심이 되는 지점축(5c)을 가지고 있다. 피압하부(5b) 및 지점축(5c)은, X 방향을 따라 배치되어 있다. 그리고, 이들 피압하부(5b) 및 지점축(5c)에서의 X 방향의 단부에서, 규제부(5a) 및 연결부(5d)가 배치되어 있다.
제2 실시형태에서는, 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 연동 기구(5)는, X 방향에서 보았을 때 규제부(5a)와 연결부(5d)가 L자형을 이루도록 구성되어 있다. 또한, 제2 실시형태에서는, 규제부(5a)는, 연결부(5d)에 비해 충분히 길게 형성되어 있다. 이에 따라, 도 10 및 도 11에 나타낸 바와 같이, 연동 기구(5)의 자중(自重)에 의한 지점축(5c) 주변의 모멘트(moment)에 대하여, 제1 X 방향(X1)을 따른 방향에서 보았을 경우에(이하, 회전 방향에 대하여 동일함), 규제부(5a)에 의한 시계 방향의 모멘트가 연결부(5d)에 의한 반시계 방향의 모멘트보다 커진다. 따라서, 피압하부(5b)가 용기(W)에 의해 압하되어 있지 않을 때는, 연동 기구(5)는 전체적으로 시계 방향으로 회전하려고 한다. 제2 실시형태에서는, 제1 스프링(도시하지 않음)을 지점축(5c) 주위에 설치하여 규제부(5a)를 반시계 방향으로 가압함으로써, 피압하부(5b)가 용기(W)에 의해 압하되어 있지 않은 상태에서는, 연동 기구(5)의 전체가 경사 자세를 유지하도록 구성되어 있다(도 10 참조). 그리고, 지점축(5c)은, 도면 중에서 파선으로 나타내는 경계선보다 제1 Y 방향(Y1)으로 거리를 둔 위치에 배치되어 있다.
용기(W)가 수납부(21)에 수납될 때는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 강하하는 용기(W)의 바닥부가, 퇴피 위치(SP)에 위치하고 있는 피압하부(5b)에 접촉한다. 이 때, 규제부(5a)에서의 용기(W)의 하단부보다 상방에 위치하는 부분이, 경계선보다 제2 Y 방향(Y2)으로 위치하고 있다. 제2 실시형태에서는, 이 상태가, 규제부(5a)가 퇴피 위치(SP)에 위치하고 있는 상태이다.
용기(W)의 바닥부가 피압하부(5b)를 더욱 압하하면, 연동 기구(5)는, 도 11의 상태가 된다. 용기(W)가 피압하부(5b)를 압하하는 것에 의해, 지점축(5c)을 중심으로 한 반시계 방향의 모멘트가 걸려서, 연동 기구(5)는 지점축(5c)을 중심으로 반시계 방향으로 회전한다. 이로써, 규제부(5a)는, 경사 자세로부터 상하 방향을 따른 기립 자세가 된다. 연결부(5d)는, 탑재대(99)의 상면에 따른 수평 자세가 된다. 이 때, 규제부(5a)의 전체는, 경계선보다 제1 Y 방향(Y1)의 위치으로 배치되는 지점축(5c)과 Y 방향에서 중복되는 위치에 위치하게 된다. 따라서, 용기(W)가 피압하부(5b)를 압하하는 것에 의해, 규제부(5a)는, 퇴피 위치(SP)로부터 규제 위치(RP)로 위치 전환하게 된다. 규제 위치(RP)에 위치한 규제부(5a)는, 개구부(Wa)에 대하여 X 방향에서 근접하고, 반도체 트레이(T)가 용기(W)의 개구부(Wa)로부터 튀어나오는 것을 규제한다. 그리고, 지점축(5c) 주위에는, 규제부(5a)를 반시계 방향으로 가압하는 제1 스프링 외에, 연결부(5d)를 시계 방향으로 가압하는 제2 스프링(도시하지 않음)도 설치되어 있다. 이에 따라, 용기(W)가 수납부(21)에 수납된 후, 피압하부(5b)가 용기(W)에 의해 압하되어 있지 않은 상태가 되었을 때는, 제2 스프링에 의해 연동 기구(5)가 시계 방향으로 회전한다. 따라서, 규제부(5a)는 기립 자세로부터 제2 Y 방향(Y2)으로 경사진 자세가 된다. 즉, 규제부(5a)에 의한 시계 방향의 모멘트, 연결부(5d)에 의한 반시계 방향의 모멘트, 제1 스프링에 의한 반시계 방향의 모멘트, 및 제2 스프링에 의한 시계 방향의 모멘트가 서로 작용하여 밸런스를 유지하여, 연동 기구(5)는 도 10에 나타내는 경사 자세로 유지된다. 그리고, 제1 스프링에 의해 연동 기구(5)를 경사 자세로 유지하는 구성 대신, 경사 자세의 연동 기구(5)가 자중에 의해 시계 방향으로 회전하는 것을 규제하는 회전 규제부를 지점축(5c)에 설치하여, 연동 기구(5)를 경사 자세로 유지하는 구성으로 해도 된다. 또한, 제2 스프링에 의해 연동 기구(5)를 기립 자세로부터 제2 Y 방향(Y2)으로 경사진 자세로 되도록 가압하는 구성 대신, 연동 기구(5)의 자중에 의해 연동 기구(5)를 기립 자세로부터 제2 Y 방향(Y2)에 경사진 자세로 되도록 가압하는 구성으로 해도 된다. 이 경우에는, 규제부(5a)가 규제 위치(RP)에 위치하고 있는 상태에서 제2 Y 방향(Y2)으로 경사진 자세로 되도록, 규제부(5a)와 연결부(5d)를 연결하는 각도가 조정된다.
[다른 실시형태]
(1) 상기한 실시형태에서는, 퇴피 위치(SP)가, 개구부(Wa)가 Y 방향에 있어서 점유하는 영역보다 제2 Y 방향(Y2)으로 이격된 위치로서, 상기 영역과 중복되지 않는 위치인 예에 대하여 설명했다. 그러나, 퇴피 위치는, 이러한 예로 한정되는 것은 아니다. 즉, 퇴피 위치는, 규제 위치로부터 이격된 위치이면 된다. 예를 들면, 퇴피 위치는, 개구부(Wa)가 Y 방향에 있어서 점유하는 영역과 중복되면서도, 규제 위치(RP)에 대하여 X 방향(X 방향의 외측)으로 이격되어 있어도 된다.
(2) 상기한 실시형태에서는, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)가 점유하는 영역과 퇴피 위치(SP)에 위치하는 규제체(4a)가 점유하는 영역이, X 방향(출납 방향)에 있어서 중복되는 부분을 가지도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명했다. 또한, 반송 장치(3)가 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 때, 낙하 방지체(35S)의 위치가, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)와 X 방향에 있어서 중복되는 부분을 가지는 위치로 되도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명했다. 여기서 말하는 「중복」은, 대상 요소 모두가 중복하고 있는 경우 외에, 일부 중복하고 있는 경우도 포함하는 것이다. 그러나, 규제 위치(RP)의 모두와 퇴피 위치(SP)의 모두가, X 방향(출납 방향)에 있어서 중복되는 위치가 되도록 구성되어 있는 것이 더욱 바람직하다. 즉, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)의 X 방향의 배치 영역과, 퇴피 위치(SP)에 위치하는 규제체(4a)의 X 방향의 배치 영역이, 완전히 중복되도록 구성되어 있는 것이 더욱 바람직하다. 이러한 경우에는, 상기한 대상 요소가 점유하는 X 방향의 영역을 작게 억제할 수 있어, 설치 스페이스의 점에서 더욱 유리하게 된다. 마찬가지로, 반송 장치(3)가 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 때의 낙하 방지체(35S)의 위치와 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)가, X 방향에 있어서 전부 중복되어 구성되어 있는 것이 바람직하다. 즉, 반송 장치(3)가 용기(W)를 수납부(21)에 수납할 때의 낙하 방지체(35S)의 X 방향의 배치 영역과, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)의 X 방향의 배치 영역이, 완전히 중복되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
(3) 상기한 실시형태에서는, 규제 위치(RP)에 위치하는 규제체(4a)(5a)가, 상하 방향을 따른 기립 자세가 되도록 구성되어 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 규제체의 자세는 기립 자세가 아니라도 된다. 즉, 규제 위치에 위치하는 규제체는, 용기의 개구부에서의 상하 방향의 영역 모두에 중복하고 있으면 되고, 그러한 경우에는, 규제체는, 상하 방향에 대하여 큰 폭으로 경사진 자세라도 된다. 이 경우라도, 규제체에 의해, 용기에 수용되는 내용물 모두가 용기 밖으로 튀어나오지 않도록 규제할 수 있다.
(4) 상기한 실시형태에서는, 1개의 용기 수납 선반(2)에 대하여 2개의 수납부(21)가 X 방향으로 나란히 배치되어 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이것으로 한정되지 않고, 수납부(21)는, 1개의 용기 수납 선반(2)에 대하여 X 방향으로 나란히 3개 이상 배치되고 있어도 된다. 본 공개에 따른 기술에 의하면, 규제체를 설치하기 위해 확보할 공간을 작게 할 수 있고, 이로써, 공간 절약화를 도모할 수 있다. 이에 따라, 용기 수납 선반이 많은 수납부를 가지는 것일수록, 공간 절약화의 효과가 복수의 수납부의 각각에 대하여 발휘되기 때문에, 설비 전체로서 수납 효율을 대폭 향상시킬 수 있다.
(5) 상기한 실시형태에서는, 연동 기구가, 링크 기구 또는 지레 기구를 구비한 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 연동 기구는, 규제체와 피압하부를 연동시켜서, 규제 위치와 퇴피 위치에, 규제체를 위치 전환 가능하도록 구성되어 있으면 된다.
(6) 상기한 실시형태에서는, 용기(W)가 반송 장치(3)에 의해 반송되어 용기 수납 선반(2)의 수납부(21)에 수납되도록 구성된 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 용기 수납 선반은, 바닥면을 주행하는 반송차에 의해 용기가 수납되는 것이라도 된다. 또한, 용기 수납 선반은, 사람의 손에 의해 인위적으로 용기가 수납되는 것이라도 된다.
(7) 상기한 실시형태에서는, 용기 수납 선반(2)이 천장으로부터 현수 지지되어 구성된 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 용기 수납 선반은, 바닥면 상에 설치되는 것이라도 된다.
(8) 상기한 실시형태는 단순한 예시에 지나지 않는다. 본 공개는 상기 각 실시형태로 한정되지 않으며, 그 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 변경 가능하다. 상기 실시형태는, 모순이 생기지 않는 범위에서 조합할 수 있다.
(9) 상기 제2 실시형태에서는, 연동 기구(5)의 경사 자세를 유지하기 위하여, 제1 및 제2 스프링을 규제부(5a)에 설치하고, 규제부(5a)에 의한 시계 방향의 모멘트, 연결부(5d)에 의한 반시계 방향의 모멘트, 제1 스프링에 의한 반시계 방향의 모멘트, 및 제2 스프링에 의한 시계 방향의 모멘트를 서로 작용시켜서 밸런스를 유지하도록 구성된 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이러한 구성으로 한정되지 않고, 1개의 스프링에 의해 밸런스를 유지하여, 연동 기구의 경사 자세를 유지하도록 구성되어 있어도 된다. 즉, 상기 스프링이, 규제부가 퇴피 위치에 위치하고 있는 상태에서는 상기 규제부가 기립하는 방향(규제 위치에 위치하는 방향)으로 힘을 작용시키고, 규제부가 규제 위치에 위치하고 있는 상태에서는 상기 규제부가 도복(倒伏)하는 방향(퇴피 위치에 위치하는 방향)으로 힘을 작용시키도록 구성되어 있어도 된다.
[상기 실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 용기 수납 설비의 개요에 대하여 설명한다.
용기 수납 설비는, 용기를 수납하는 수납부를 가지는 용기 수납 선반을 구비하고, 상기 용기는, 측면에 개구부를 가지고, 또한 상기 개구부로부터 내용물을 출납 가능하게 구성되며, 상기 용기 수납 설비는, 상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 상기 개구부로부터의 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제체와, 상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 바닥부에 의해 압하되는 피압하부와, 상기 규제체와 상기 피압하부를 연동시키는 연동 기구를 구비하고, 상기 규제체는, 상기 수납부에 수납된 상태에서의 상기 용기의 상기 개구부에 대하여 상기 내용물의 출납 방향의 외측에 배치되어 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제 위치와, 상기 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치로 위치 전환 가능하도록 구성되며, 상기 연동 기구는, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하된 상태에서 상기 규제체를 상기 규제 위치에 위치시키고, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하되어 있지 않은 상태에서 상기 규제체를 상기 퇴피 위치에 위치시키도록 구성되어 있다.
본 구성에 의하면, 규제체와 피압하부가 연동 기구에 의해 연동한다. 이 연동 기구는, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있는 상태와 압하되어 있지 않은 상태에 따라, 규제 위치와, 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치의 사이에 규제체의 위치를 전환할 수 있다. 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있지 않을 때, 즉 용기가 수납부에 수납되어 있지 않을 때는, 규제체는 퇴피 위치에 위치하고, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되어 있을 때, 즉 용기가 수납부에 수납되어 있을 때는, 규제체는 규제 위치에 위치한다. 따라서, 용기가 수납되기 전에는, 규제체는 퇴피 위치에 있으므로, 용기가 수납되는 것을 규제체가 방해하지 않는다. 한편, 용기가 수납될 때는, 용기의 바닥부에 의해 피압하부가 압하되고, 피압하부가 압하되는 것에 연동하여 규제체가 규제 위치로 위치 전환하게 된다. 이와 같이, 구동 수단에 관계없이 용기를 수납하는 동작 및 꺼내는 동작에 의해, 규제체를 규제 위치와 퇴피 위치로 전환할 수 있다.
규제 위치는, 수납부에 수납된 상태에서의 용기 개구부에 대하여 내용물의 출납 방향의 외측에 배치되어(예를 들면, 개구부에 대하여 출납 방향으로 근접하여) 내용물의 튀어나옴을 규제하는 위치이므로, 용기가 수납부에 수납된 후에는, 규제 위치에 있는 규제체에 의해 용기의 내용물은 출납 방향에서의 이동이 규제되게 된다. 따라서, 용기에 진동이 생긴 경우라도 내용물이 용기로부터 튀어나오는 것을 억제할 수 있다.
구동 수단을 채용하지 않는 만큼, 모터나 에어 실린더 등의 구동원을 설치할 필요로 없기 때문에, 설치 스페이스의 점에서 유리하다. 또한, 구동원에 대하여 구동용의 전력이나 에어를 공급하기 위한 배선이나 배관이 불필요하기 때문에 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
이와 같이, 본 구성에 의하면, 설치 스페이스의 점에서 유리하면서 간소한 구조에 의해 용기로부터의 내용물의 튀어나옴을 규제 가능한 용기 수납 설비를 얻을 수 있다.
또한, 상기 규제 위치에 위치하는 상기 규제체가 점유하는 영역과 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 규제체가 점유하는 영역이, 상기 출납 방향에 있어서 중복되는 부분을 가지도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 규제체가 퇴피 위치와 규제 위치에 걸쳐서 이동할 경우의 규제체의 통과 영역에 대한, 출납 방향의 길이를 작게 억제할 수 있다. 이에 따라, 규제체를 설치하기 위해 확보할 공간이 작아도 되므로, 설치 스페이스의 점에서 유리하게 된다.
또한, 상기 용기를 상기 수납부에 반송하는 반송 장치를 구비하고, 상기 반송 장치는, 상기 용기의 반송 시에 있어서, 상기 용기의 상기 개구부에 대하여 상기 출납 방향의 외측에 배치되어 상기 내용물의 낙하를 방지하는 낙하 방지체를 가지는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 반송 장치는, 용기의 개구부에 대하여 출납 방향의 외측에 배치되는(예를 들면, 개구부에 대하여 출납 방향으로 근접하는) 낙하 방지체를 가지고 있으므로, 용기의 반송 시에 반송 장치가 진동하는 경우라도, 내용물이 용기로부터 튀어나와서 낙하하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 반송 장치에 의해 용기를 수납부로 반송하여 상기 용기를 수납부에 수납한 후에는, 용기 수납 선반이 구비하는 규제체에 의해 용기로부터의 내용물의 튀어나옴이 규제된다. 따라서, 이 구성에 의하면, 용기의 반송 시 및 용기의 수납 후에 있어서, 내용물이 용기로부터 튀어나오는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기 반송 장치가 상기 용기를 상기 수납부에 수납할 때, 상기 낙하 방지체의 위치가, 상기 규제 위치에 위치하는 상기 규제체와 상기 출납 방향에 있어서 중복되는 부분을 가지는 위치로 되도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 반송 장치가 용기를 수납부에 수납할 때의 낙하 방지체는, 규제 위치에 위치하는 규제체와 출납 방향으로 중복되는 부분을 가지고 있으므로, 용기를 수납부에 수납할 때의, 낙하 방지체와 규제체가 차지하는 출납 방향에서의 영역을 출납 방향에 있어서 작게 할 수 있어, 공간 이용 효율이 양호하다.
또한, 상기 규제체는, 장척형으로 형성되며, 또한 상기 규제 위치 및 상기 퇴피 위치에 있어서 그 길이 방향이 상하 방향을 따르는 기립 자세로 되도록 구성되며, 상기 연동 기구는, 상기 규제체에 상기 기립 자세를 유지시킨 채, 상기 규제체와 상기 피압하부를 연동시키도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 규제체는, 규제 위치 및 퇴피 위치의 양쪽 위치에서 기립 자세를 유지하고 있으므로, 평면에서 볼 때의 용기 수납 선반에서의 규제체가 차지하는 영역을 작게 할 수 있다. 따라서, 이 구성에 의하면, 공간 이용 효율을 더욱 양호하게 할 수 있다.
또한, 상기 개구부는, 상기 용기에서의 상기 출납 방향에서 서로 대향하는 상태에서 한 쌍 형성되고, 상기 규제체는, 상기 개구부에 대응하여 한 쌍 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 내용물을 수납하는 용기로서, 출납 방향으로 서로 대향하는 상태에서 개구부가 한 쌍 형성된 사용에 편리한 것을 사용하는 경우라도, 각각의 개구부에 대응하여 규제체가 설치되어 있으므로, 어느 쪽의 개구부로부터도 내용물이 튀어나오는 것을 규제할 수 있다.
또한, 상기 용기 수납 선반은, 상기 출납 방향으로 나란히 배치되는 복수의 상기 수납부를 가지고, 복수의 상기 수납부의 각각에 대하여, 상기 규제체와 상기 피압하부와 상기 연동 기구가 각각 별도로 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 복수의 수납부의 각각에 대하여, 구동 수단을 사용하지 않는 간소한 구조에 의해 용기로부터의 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제체를 설치할 수 있다. 이에 따라, 복수의 수납부에 대한 각각의 규제체를 구동 수단에 의해 위치 전환하는 구성에 비해, 설비 전체로서 간소한 구조로 할 수 있다. 또한, 구동 수단을 설치하지 않는 것에 의한 공간 절약화의 효과가, 복수의 수납부의 각각에 대하여 발휘되기 때문에, 설비 전체로서 공간 이용 효율을 대폭 향상시킬 수 있다.
1: 용기 수납 설비
2: 용기 수납 선반
3: 반송 장치
3R: 주행 구동부
4: 연동 기구
4a: 규제체
4b: 피압하부
21: 수납부
35S: 낙하 방지체
90: 주행 레일
RP: 규제 위치
SP: 퇴피 위치
T: 반도체 트레이(내용물)
W: 용기
Wa: 개구부
X: X 방향(출납 방향)

Claims (7)

  1. 용기 수납 설비로서, 용기를 수납하는 수납부를 가지는 용기 수납 선반을 포함하고,
    상기 용기는, 측면에 개구부를 가지고, 또한 상기 개구부로부터 내용물을 출납 가능하게 구성되며,
    상기 용기 수납 설비는,
    상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 상기 개구부로부터의 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제체;
    상기 수납부에 상기 용기가 수납된 상태에서 상기 용기의 바닥부에 의해 압하(押下)되는 피압하부(被押下部); 및
    상기 규제체와 상기 피압하부를 연동시키는 연동 기구(機構)
    를 더 포함하고,
    상기 규제체는, 상기 수납부에 수납된 상태에서의 상기 용기의 상기 개구부에 대하여 상기 내용물의 출납 방향의 외측에 배치되어 상기 내용물의 튀어나옴을 규제하는 규제 위치와, 상기 규제 위치로부터 이격된 퇴피 위치로 위치 전환 가능하도록 구성되며,
    상기 연동 기구는, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하된 상태에서 상기 규제체를 상기 규제 위치에 위치시키고, 상기 피압하부가 상기 용기에 압하되어 있지 않은 상태에서 상기 규제체를 상기 퇴피 위치에 위치시키도록 구성되어 있는,
    용기 수납 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 규제 위치에 위치하는 상기 규제체가 점유하는 영역과 상기 퇴피 위치에 위치하는 상기 규제체가 점유하는 영역이, 상기 출납 방향에 있어서 중복되는 부분을 가지도록 구성되어 있는, 용기 수납 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 용기를 상기 수납부에 반송(搬送)하는 반송 장치를 포함하고,
    상기 반송 장치는, 상기 용기의 반송 시에 있어서, 상기 용기의 상기 개구부에 대하여 상기 출납 방향의 외측에 배치되어 상기 내용물의 낙하를 방지하는 낙하 방지체를 포함하는, 용기 수납 설비.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 반송 장치가 상기 용기를 상기 수납부에 수납할 때, 상기 낙하 방지체의 위치가, 상기 규제 위치에 위치하는 상기 규제체와 상기 출납 방향에 있어서 중복되는 위치로 되도록 구성되어 있는, 용기 수납 설비.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 규제체는, 장척형(長尺形)으로 형성되고, 또한 상기 규제 위치 및 상기 퇴피 위치에 있어서 상기 규제체의 길이 방향이 상하 방향을 따르는 기립 자세가 되도록 구성되며,
    상기 연동 기구는, 상기 규제체에 상기 기립 자세를 유지시킨 채로, 상기 규제체와 상기 피압하부를 연동시키도록 구성되어 있는, 용기 수납 설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 개구부는, 상기 용기에서의 상기 출납 방향에서 서로 대향하는 상태로 한 쌍 형성되고,
    상기 규제체는, 상기 개구부에 대응하여 한 쌍 설치되어 있는, 용기 수납 설비.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 용기 수납 선반은, 상기 출납 방향으로 나란히 배치되는 복수의 상기 수납부를 포함하고,
    복수의 상기 수납부의 각각에 대하여, 상기 규제체와 상기 피압하부와 상기 연동 기구가 각각 별도로 설치되어 있는, 용기 수납 설비.
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