JPH10194454A - カセット搬送台車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 カセット内に収容された薄形回路部品が搬送
時の振動を受けるなどして飛び出すのを簡単かつ確実に
阻止可能にする。 【解決手段】 複数のウェーハ２９を着脱可能に収容す
るカセット２６を搬送するカセット搬送台車において、
カセット２６が載置される荷台２１と、荷台２１付近の
搬送台車本体１１上に設置されて、カセット２６内の前
記ウェーハ２９が飛び出すのを阻止する飛び出し阻止手
段２４とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウェーハ
や液晶基板などの薄形回路部品をカセットに収容して搬
送するカセット搬送台車に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェーハや液晶基板にあって、工
程間、工程内搬送は、通常複数枚がカセット内の複数段
の棚に収容されて、カセット搬送台車に載せられて行わ
れる。

【０００３】このカセット搬送台車による搬送は振動等
により前記半導体ウェーハや液晶基板などの薄形回路部
品が、カセットの部品着脱口から外に飛び出し損傷を受
けるようなこともあった。そこで、半導体ウェーハを例
にとり説明すると、かかる部品着脱口からの薄形回路部
品の飛び出しを防止するため、従来から、図８に示すよ
うに、搬送台車本体１１上に上面が傾斜する荷台１２を
設置し、この荷台１２上に部品着脱口が斜め上方に向く
ように、ウェーハ１４を収容したカセット１３を設置可
能としたものが提供されている。また、搬送台車本体１
１上にカセット移載用のマニピュレータ１５が取り付け
られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】取り扱う口径が２００
ｍｍのウェーハ時代では、製造装置の標準化をさほど必
要とせず、処理装置上のカセットのロードポートの位置
や置かれたカセットの姿勢が、縦位置や横位置などであ
り、統一されていなかった。また、装置の形状が複雑
で、例えば高いしきいを越えてカセットを置くことなど
もあった。

【０００５】このため、上記の口径２００ｍｍのウェー
ハ用の搬送装置においては、ウェーハを収容したカセッ
トを移載するのに、５軸、６軸構成のロボットが必要で
あり、装置全体の構成も複雑になり、かつ価格も高いも
のになるという問題があった。その後に、半導体業界が
口径３００ｍｍのウェーハを扱うようになるにつれ、ウ
ェーハの大口径化、重量化に伴って、搬送中のウェーハ
は水平に保つ事が標準化された。これによって、上述の
カセット移載用の５軸、６軸構成のロボットは、より簡
易な４軸構成のロボットで代替できるようになったが、
反面、荷台に水平にしか置けないので、カセットからウ
ェーハが飛び出さないような防止機構が必要になった。

【０００６】この発明は前記のような課題を解決するも
のであり、ウェーハ等の薄形回路部品を収容するカセッ
トを所定の受け渡し位置において水平に支持し、この水
平支持状態にあるとき、カセット内に収容された前記薄
形回路部品が、搬送時の振動を受けるなどして飛び出す
のを、簡単かつ確実に阻止できるローコストのカセット
搬送台車を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的達成のために、
請求項１の発明にかかるカセット搬送台車は、複数の薄
形回路部品を着脱可能に収容するカセットを搬送するカ
セット搬送台車において、前記カセットが載置される荷
台と、該荷台付近の搬送台車本体上に設置されて、前記
カセット内の前記薄形回路部品が飛び出すのを阻止する
飛び出し阻止手段とを備えたものである。

【０００８】また、請求項２の発明にかかるカセット搬
送台車は、前記飛び出し阻止手段を、前記荷台に載置さ
れるカセットの重量を受けて回動して、前記カセットの
部品着脱口を塞ぐＬ字状部材から構成したものである。

【０００９】また、請求項３の発明にかかるカセット搬
送台車は、前記飛び出し阻止手段を、前記荷台に載置さ
れるカセットの重量を受けて下降するラック部材と、該
ラック部材に噛合されて回転するピニオンを有し、前記
ラック部材の下降時に前記カセットの部品着脱口を塞ぐ
方向に垂直回動される垂直回動部材とから構成したもの
である。

【００１０】また、請求項４の発明にかかるカセット搬
送台車は、前記飛び出し阻止手段を、前記荷台に載置さ
れるカセットの重量を受けて下降するガイドピンと、該
ガイドピンが挿入されて、該ガイドピンの昇降により回
動操作されるカム溝を有し、前記ガイドピンの下降時に
前記カセットの部品着脱口を塞ぐ方向に水平回動される
水平回動部材とから構成したものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
図について説明する。図１および図２はこの発明のカセ
ット搬送台車の要部を示す正面図であり、同図におい
て、２１は図８に示した搬送台車本体１１の上面に設置
される略平板上の荷台であり、この荷台２１付近の搬送
台車本体１１上面には、対向する一対のブラケット２２
が設立されている。また、これらのブラケット２２間に
は支軸２３が架設され、この支軸２３に、ウェーハの飛
び出し阻止手段としてのＬ字状部材２４がこれの角部で
回動自在に支持されている。

【００１２】このＬ字状部材２４は長めの起立部２４ａ
と短めの平伏部２４ｂとからなり、平伏部２４ｂの端部
は荷台２１の近傍に位置する。また、起立部２４ａと搬
送台車本体１１の上面との間にスプリング２５が介装さ
れている。従って、このスプリング２５の最収縮状態に
おいては、前記Ｌ字状部材２４は、図１に示すように、
一定の角度だけ外側に傾いた状態が維持される。

【００１３】また、２６はマニピュレータによって前記
荷台２１上に載置されるカセットである。このカセット
２６は、図３に示すように、一側方に部品着脱口２７を
有するケース状をなり、これの対向する内側面には、薄
形回路部品としての複数枚のウェーハ２９の両端を一枚
ずつ収容する複数段の棚２８が設けられている。なお、
このカセット２６は、合成樹脂のインジェクションモー
ルドにより一体成形されたり、合成樹脂の複数部品を組
み付けるなどして構成される。なお、３０はカセット２
６の下面に形成され、マニピュレータ１５のハンドを係
止するための一対の係止切欠部である。

【００１４】従って、かかるカセット２６の棚２８に例
えば３００ｍｍのウェーハ２９を挿入支持させたもの
を、マニピュレータにより前記荷台２１上に載置して搬
送しようとする場合には、空いている荷台２１を探し
て、これの上へウェーハ２９を収容した前記カセット２
６を搬送する。このとき、前記Ｌ字状部材２４は、図１
に示すように傾いているため、カセット２６の底面が、
荷台２１に接触する前に、Ｌ字状部材２４の平伏部２４
ｂ上面に接触して、カセット２６自身の重量によりこれ
を下方へ押し下げることとなる。

【００１５】従って、この押し下げ動作によって起立部
２４ａはスプリング２５に抗して、図２に示すように立
上がり、これが前記部品着脱口２７を塞ぐこととなる。
この結果、カセット２６を載せた搬送台車本体１１が走
行中に振動することがあっても、ウェーハ２９の部品着
脱口２７からのフリーな飛び出し，脱抜が阻止されるこ
ととなる。この場合において、前記Ｌ字状部材２４は部
品着脱口２７の全体を塞ぐサイズでなくてもよく、一部
を塞ぐ棒状部材とすることができる。

【００１６】図４はこの発明の実施の他の形態を示す。
これは基本的に図１および図２に示したものと同様の構
成を持つものの、図１および図２に示すスプリング２５
に代えて、Ｌ字状部材２４の起立部２４ａに重り３１を
取り付けてある。

【００１７】従って、前記荷台２１上にカセット２６が
載置されていない場合には、前記Ｌ字状部材２４の平伏
部２４ｂはフリーであり、前記重り３１の重量によっ
て、Ｌ字状部材２４は図１に示した場合と同様に傾斜し
ている。一方、マニピュレータ１５によってカセット２
６を荷台２１上に載せようとするとき、前記平伏部２４
ｂはカセット２６の底面により押されて水平状態に移行
する。このため、起立部２４ａは、図４に示すように立
上がって、カセット２６の部品着脱口２７を塞ぐことと
なり、カセット２６の棚２８上に載架された各ウェーハ
２９が外部へ飛び出すのを規制できることとなる。

【００１８】図５はこの発明の他の実施の形態を示す。
同図において、３５は荷台近傍の搬送台車本体１１の上
面に取り付けられた基台であり、この基台３５に形成さ
れた縦ガイド孔３６内にはラック部材３７の一部が昇降
自在に挿入されている。３８は縦ガイド孔３６内に設置
されて、ラック部材３７を常時上方に付勢するスプリン
グである。また、前記ラック部材３７の上端はカセット
受部３９とされており、側部にはラック３７ａが形成さ
れている。

【００１９】また、４１は基台３５に架設された支軸で
あり、この支軸４１には前記ラック３７ａに噛合されて
回転するピニオン４０が回転自在に取り付けられてい
る。このピニオン４０またはこのピニオン４０と一体回
転可能な前記支軸４１にはウェーハの飛び出し阻止手段
としての垂直回動部材４３の下端が固定されている。

【００２０】従って、この実施の形態では、前記荷台２
１上にカセット２６が載置されていない場合には、前記
ラック部材３７上のカセット受部３９に負荷が掛かって
いないため、スプリング３８の反発力を受けて、ラック
部材３７は最も昇降した位置を維持している。このと
き、前記垂直回動部材４３は開くように傾斜している。

【００２１】一方、マニピュレータ１５によってカセッ
ト２６を荷台２１上に載せようとすると、まず、カセッ
ト２６の底面がその自重でカセット受部３９を下方へ押
圧する。これにより、ラック部材３７が縦ガイド孔３６
内を下降し、ラック３７ａに噛合しているピニオン４０
が支軸４１を中心に反時計方向に回動する。この結果、
前記ピニオン４０と一体回動する前記垂直回動部材４３
は立ち上がって、図５に示すように、カセット２６の部
品着脱口２７を塞ぎ、このカセット２６内の棚２８に載
架されているウェーハ２９が自由に移動して脱落するの
を阻止できることとなる。

【００２２】図６はこの発明の他の実施の形態を示す。
これについて説明すると、４５は荷台２１近傍の搬送台
車本体１１の上面に取り付けられた基台であり、この基
台４５に形成された縦ガイド筒４５ａ内には昇降棒４７
が昇降自在に設けられている。また、４８は縦ガイド筒
４５ａ内に設置されて、前記昇降棒４７を常時上方に付
勢するスプリングである。また、その昇降棒４７の外周
には一本のガイドピン４９が水平に延びるように突設さ
れており、このガイドピン４９は、縦ガイド筒４５ａに
垂直方向に貫通形成された縦長孔５０に挿通されてい
る。

【００２３】また、５１は前記縦ガイド筒４５ａに隣接
して基台４５上に縦方向に配置された回動軸であり、こ
の回動軸５１は基台４５上の軸受５２によて水平回転自
在に支持されている。５３は前記回転軸５１の大径部外
周に設けられて、縦方向に右上がりで傾斜する、図７に
示すようなカム溝であり、このカム溝５３内に前記ガイ
ドピン４９の先端部が挿入されている。５４は回動軸５
１の外周に一定幅で突設された前記飛び出し阻止手段と
しての水平回動部材である。

【００２４】この実施の形態では、前記荷台２１上にカ
セット２６が載置されていない場合には、前記カセット
受部４６には負荷が掛かっていないため、スプリング４
８の反発力を受けて、昇降棒４７は最も上昇した位置に
保たれている。このとき、前記水平回動部材５４はカセ
ット２６の部品着脱口２７を塞がない位置にある。

【００２５】一方、マニピュレータ１５によってカセッ
ト２６を荷台２１上に載せようとすると、まず、カセッ
ト２６の底面が自重でカセット受部４６を下方に押圧す
る。これにより昇降棒４７はスプリング４８の反発力に
抗して下降し、ガイドピン４９も下降する。このため、
このガイドピン４６は垂直下方に移動して、カム溝５３
の下縁を強制的に押し下げるため、回動軸５１は図７の
Ｐ方向に水平回動する。

【００２６】この結果、回動軸５１に一体の水平回動部
材５４はカセット２６の部品着脱口２７の前部を塞ぎ、
カセット２６内の棚２８に収容してあるウェーハ２９が
カセット２６外へ移動したり、飛び出したり、脱落する
のを確実に防止できる。

【００２７】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、複数
の薄形回路部品を着脱可能に収容するカセットを搬送す
るカセット搬送台車において、前記カセットが載置され
る荷台と、該荷台付近の搬送台車本体上に設置されて、
前記カセット内の前記薄形回路部品が飛び出すのを阻止
する飛び出し阻止手段とを設けたので、薄形回路部品を
収容するカセットを所定の受け渡し位置において水平支
持し、この水平支持状態にあるとき、カセット内に収容
された前記薄形回路部品が搬送時の振動を受けるなどし
て飛び出すのを、簡単かつ確実に阻止できるという効果
が得られる。

【００２８】また、この発明によれば、前記飛び出し阻
止手段を、前記荷台に載置されるカセットの重量を受け
て回動して、前記カセットの部品着脱口を塞ぐＬ字状部
材から構成したので、極めて簡単かつ安価な構成にてカ
セットの自重にもとづく薄形回路部品の飛び出し防止を
図れるという効果が得られる。

【００２９】また、この発明によれば、前記飛び出し阻
止手段を、前記荷台に載置されるカセットの重量を受け
て下降するラック部材と、該ラック部材に噛合されて回
転するピニオンを有し、前記ラック部材の下降時に前記
カセットの部品着脱口を塞ぐ方向に垂直回動される垂直
回動部材とから構成したので、安価に得られるラックア
ンドピニオン機構を利用して、カセットの自重検出にも
とづく薄形回路部品の飛び出し防止を円滑かつ確実に実
現できるという効果が得られる。

【００３０】また、この発明によれば、前記飛び出し阻
止手段を、前記荷台に載置されるカセットの重量を受け
て下降するガイドピンと、該ガイドピンが挿入されて、
該ガイドピンの昇降により回動操作されるカム溝を有
し、前記ガイドピンの下降時に前記カセットの部品着脱
口を塞ぐ方向に水平回動される水平回動部材とから構成
したので、カム溝の傾きに応じたガイドピンの昇降スト
ロークにて、薄形回路部品の飛び出し防止を円滑かつ確
実に図れるという効果が得られる。

【００３１】なお、本発明では上述のようにロボット付
きの無人搬送車の利用面での問題から生まれたものであ
るが、他にも手押し台車、床上軌道上走行台車、天井軌
道走行台車等にも応用が可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の一形態によるカセット搬送
台車の要部を示す正面図である。

【図２】 図１におけるＬ字状部材の作動前後に亘る状
態を示す正面図である。

【図３】 図１におけるカセットを示す斜視図である。

【図４】 この発明の実施のさらに他の形態によるカセ
ット搬送台車の要部を示す正面図である。

【図５】 この発明の実施のさらに他の形態によるカセ
ット搬送台車の要部を示す正面図である。

【図６】 この発明の実施のまた他の形態によるカセッ
ト搬送台車の要部を示す正面図である。

【図７】 図６における回動軸を示す斜視図である。

【図８】 従来のカセット搬送台車を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１１ 搬送台車本体 ２１ 荷台 ２４ Ｌ字状部材（飛び出し阻止手段） ２５ スプリング ２６ カセット ２７ 部品着脱口 ２９ ウェーハ ３１ 重り ３７ ラック部材 ４０ ピニオン ４３ 垂直回動部材（飛び出し阻止手段） ４９ ガイドピン ５２ カム溝 ５４ 水平回動部材（飛び出し阻止手段）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の薄形回路部品を着脱可能に収容す
   るカセットを搬送するカセット搬送台車において、 前記カセットが載置される荷台と、 該荷台付近の搬送台車本体上に設置されて、前記カセッ
   ト内の前記薄形回路部品が飛び出すのを阻止する飛び出
   し阻止手段とを備えたことを特徴とするカセット搬送台
   車。
2. 【請求項２】 前記飛び出し阻止手段が、 前記荷台に載置されるカセットの重量を受けて回動し
   て、前記カセットの部品着脱口を塞ぐＬ字状部材である
   ことを特徴とする請求項１に記載のカセット搬送台車。
3. 【請求項３】 前記飛び出し阻止手段が、 前記荷台に載置されるカセットの重量を受けて下降する
   ラック部材と、 該ラック部材に噛合されて回転するピニオンを有し、前
   記ラック部材の下降時に前記カセットの部品着脱口を塞
   ぐ方向に垂直回動される垂直回動部材とからなることを
   特徴とする請求項１に記載のカセット搬送台車。
4. 【請求項４】 前記飛び出し阻止手段が、 前記荷台に載置されるカセットの重量を受けて下降する
   ガイドピンと、 該ガイドピンが挿入されて、該ガイドピンの昇降により
   回動操作されるカム溝を有し、前記ガイドピンの下降時
   に前記カセットの部品着脱口を塞ぐ方向に水平回動され
   る水平回動部材とからなることを特徴とする請求項１に
   記載のカセット搬送台車。