JP4087925B2 - 基板搬送システム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板搬送システムに係り、特に複数枚の基板をわずかな間隔で収納している搬送ケースから基板を1枚づつ確実に取り出し、また、搬送ケース内にわずかな間隔で基板を1枚づつ確実に収納するための基板搬送システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、フラットディスプレイとして液晶表示装置、プラズマ表示装置等の実用化が進んでおり、これらのフラットディスプレイは基板上に種々の加工を行うことにより作製される。フラットディスプレイを構成する基板は、例えば、ガラス基板等のように良好な光透過性を備えるものであるが、材質の面から衝撃に弱いという欠点がある。このため、フラットディスプレイの製造ラインに供給されるガラス基板は、専用の搬送ケース内に1枚づつ所定の間隔を設けて収納した状態で搬送される。
【0003】
上記の搬送ケースは、搬送効率を高めるために、複数枚のガラス基板を収納して搬送するものであり、例えば、ケースの内壁面に複数の板、ピンあるいは溝が所定の間隔で設けられ配置された搬送ケースでは、ガラス基板が所定の段にその周辺部を係止するようにして収納される。ガラス基板を収納した搬送ケースは、通常、ガラス基板面が垂直となるような状態でフラットディスプレイの製造ラインに搬送される。そして、フラットディスプレイの製造ラインでは、ガラス基板面が水平となるように搬送ケースを載置し、各ガラス基板の間に基板取り出し用部材を挿入してガラス基板を吸引保持し、その後、基板取り出し用部材を引き出すことによって、搬送ケースから1枚づつガラス基板が取り出され、所望の加工が行われる。このような基板の取り出しでは、対象となるガラス基板の下方に基板取り出し用部材を挿入し、ガラス基板の下面中央部を吸引保持した状態で取り出しが行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、搬送ケース内では、ガラス基板の自重により下方へたわみを生じており、一方、搬送ケース内で上記のように基板取り出し用部材により下面中央を吸引保持されたガラス基板は、自重により周辺部が下方へたわんだ状態となる。したがって、ガラス基板どうしの接触を生じることなく確実に取り出しを行うためには、搬送ケース内のガラス基板の収納間隔を、上記のたわみ量の2倍に安全のためのスペースを加えた間隔とする必要があり、この収納間隔は、ガラス基板が大型化する程、あるいは、基板のたわみ量が大きい程、大きくなる。このため、同一収納枚数の場合には搬送ケースの大型化という問題、同一寸法の搬送ケースの場合には収納枚数の減少という問題が生じている。
【0005】
本発明は、上述のような実情に鑑みてなされたものであり、基板の収納間隔を小さく設定しても、基板を1枚づつ確実に搬送ケースから取り出し、あるいは、収納することができる基板搬送システムを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
このような課題を解決するために、本発明の基板搬送システムは、開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した1組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する1組の前記基板係止部間に1枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を1枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を1枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部の基板並列方向が水平面に対して5〜20°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直方向に対して前記角度θで保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、該基板出入部は、軌道上を往復移動可能で、かつ、旋回可能な駆動部と、該駆動部から水平方向に出入可能で、かつ、軸中心に回転可能である支持軸と、該支持軸に支持部材を介して互いに平行に、かつ、前記支持軸と平行に配設された複数の前記アームと、前記アームに配設された複数の前記保持部材と、を備えるような構成とした。
【0007】
上記のような本発明では、ケース姿勢制御部により傾けられた搬送ケース内の基板は、搬送ケースの傾き方向に対応して同方向に傾斜するので、各基板の間隔は一定であり、かつ、傾き角度θが5〜20°の範囲内であるため、自重による基板のたわみは極めて少なく、アームにより基板が保持された状態でも自重による基板のたわみは極めて少ないものとなる。
【0010】
さらに、本発明の基板搬送システムは、開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した1組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する1組の前記基板係止部間に1枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を1枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を1枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、係止壁部が垂直で開口部が横方向を向くように搬送ケースを載置するケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を水平に保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、前記アームは、軸方向が水平で互いに平行な固定アームと複数の可動アームとからなり、可動アームは固定アームの両側に配設され前記軸方向を中心に回転可能であり、固定アームの軸位置は可動アームの軸位置よりも下方に位置するような構成とした。
【0011】
そして、上記の基板搬送システムにおいて、前記アームが備える保持部材は、上方向に付勢された出入自在な保持部材であるような構成とした。
【0012】
このような本発明では、ケース姿勢制御部により係止壁部がほぼ垂直となるようにされた搬送ケース内の基板は、自重によるたわみを生じて、その間隔が一定であり、アームにより基板が保持された状態では、固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下方にあるので、自重による基板のたわみがほぼ維持され、収納時の基板間隔が変化することがほとんどない。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【0014】
図1は、本発明の基板搬送システムの一実施形態を示す概略構成図である。図1において、基板搬送システム1は、ケース姿勢制御部2と、このケース姿勢制御部2の近傍に配設されている基板出入部3とを備えている。
【0015】
この基板搬送システム1では、複数の基板を収納した搬送ケースが搬送経路4上を矢印a方向に搬送されてケース姿勢制御部2に到達し、このケース姿勢制御部2において基板出入部3により基板が1枚づつ搬送ケースから取り出され、基板搬送経路5上を矢印c方向に搬送される。このようにしてケース姿勢制御部2における基板の取り出しが完了した空の搬送ケースは、その後、搬送経路4上を矢印b方向に搬送される。
【0016】
また、基板搬送システム1では、空の搬送ケースが搬送経路4上を矢印a方向に搬送されてケース姿勢制御部2に到達し、基板収納姿勢で待機し、基板搬送経路6上を矢印d方向に搬送された基板が基板出入部3により1枚づつケース姿勢制御部2にある搬送ケースに収納される。このようにしてケース姿勢制御部2における基板の収納が完了した搬送ケースは、その後、搬送経路4上を矢印b方向に搬送される。
【0017】
ここで、本発明の基板搬送システム1に使用できる搬送ケースについて説明する。
【0018】
図2は、搬送ケースの一例を示す斜視図であり、図3は図2に示される搬送ケースの平面図である。図2および図3において、搬送ケース11は、収納本体11Aと蓋部11B(2点鎖線で示してある)とからなる。収納本体11Aは、相対向した係止壁部12,12、相対向した側壁部13,13、および、底部14で区画形成され開口部16をもつ直方体状の収納空間15を有している。収納本体11Aを構成する係止壁部12,12の内壁面12a,12aには、基板係止部としての溝部12b,12b・・・が開口部16から底部14方向に平行に所定の間隔Pで複数形成されている。そして、収納空間15を介して相対向する一対の溝部12b,12b間に1枚の基板Sを係止するようにして、複数の基板Sが並列に収納本体11Aに収納される(図示例では、図3に1枚の基板Sが収納された状態が示されている)。このように収納本体11Aに複数の基板Sを収納した搬送ケース11は、蓋部11Bで収納本体11Aを閉塞し、通常、基板Sを垂直にした状態で基板搬送に供される。このような搬送ケース11は、発泡スチロール、プラスチック樹脂、金属、木材等の材料を用いて作製することができる。また、基板係止部は上述の溝部に限定されるものではなく、係止壁部12の内壁面12aから突出するように設けられたピン部材や、係止壁部12の内壁面12aに開口部16から底部14方向に平行に形成された隔壁板等の他の構成のものであってもよい。
第1の実施形態
次に、本発明の第1の実施形態を図4乃至図8を参照して説明する。
【0019】
図4は基板搬送システム1のケース姿勢制御部2における搬送ケース11の姿勢制御を説明するための図面である。搬送ケース11は蓋部11Bを取りはずした状態で、図1に示されるように搬送経路4上を矢印a方向に搬送されてケース姿勢制御部2に到達する(図4(A))。このケース姿勢制御部2では、支持アーム2a(2点鎖線で示してある)により搬送ケース11が支持され、この支持アーム2aにより係止壁部12,12が水平となり収納されている基板Sが垂直となるように搬送ケース11の姿勢が制御される(図4(B))。この状態で、開口部16は基板出入部3方向を向いている。次いで、支持アーム2aが傾けられることにより、係止壁部12の基板並列方向(図4(C)に示される矢印方向)が水平面に対して角度θをなすように搬送ケース11の姿勢が制御される(図4(C))。このような姿勢に制御された搬送ケース11内の基板Sは、図5に示されるように、搬送ケース11の傾き方向に対応して溝部12b内で同方向に傾斜(図5では右側に倒れるように傾斜)する。これにより、各基板は、一定の間隔P(溝部12bの形成間隔Pと同一)をなすように平行な状態となり、かつ、自重による基板Sのたわみは極めて少ないものとなる。上記の角度θは5〜20°の範囲内で設定することができ、角度θが5°未満であると、搬送ケース11内での基板Sの同方向への傾斜が不揃いとなり、一方、角度θが20°を超えると、溝部12bに係止された基板に自重によるたわみが発生して、後述する基板出入部3による基板の取り出しに支障を来すことになる。
【0020】
図6は、基板出入部3の一例を示す斜視図である。図6において基板出入部3は、平行軌道21,21上を矢印a方向に往復移動可能で、かつ、矢印b方向に旋回可能な駆動部22と、この駆動部22に接続され、矢印c方向に回転可能であるとともに矢印d方向に出入可能な支持軸23と、この支持軸23に支持部材24を介して互いに平行に配設されたアーム25,25とを備えている。アーム25,25上には、それぞれ吸引孔26aが中心に形成された保持部材(吸引パッド)26が複数設けられており、吸引孔26aは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。尚、アーム25,25の形成間隔は、基板Sの寸法、強度等を考慮して適宜設定することができる。また、図示例では、アーム25は2本であるが、3本以上であってもよい。
【0021】
このような基板出入部3は、駆動部22が旋回してアーム25をケース姿勢制御部2方向に向けるとともに、支持軸23が回転して1組のアーム25,25の基板保持面で形成される面が、図5に示される状態の基板Sとほぼ平行となるようにされる。そして、支持軸23が駆動部22からケース姿勢制御部2方向に押し出されることにより、図7に示されるように、搬送ケース11内に収納されている基板Sのうち、取り出し対象とする基板Sの横側近傍にアーム25,25が挿入される。次いで、吸引孔26aから吸引しながらアーム25,25が図7の矢印方向に移動して基板Sに保持部材26を当接させることにより、アーム25,25により基板Sを吸引保持する。このとき、アーム25,25の作動の影響で、図7に2点鎖線で示されるように、基板Sに多少のそりが生じても、上述のように隣接する基板Sには自重によるたわみがほとんど発生していないので、基板Sどうしが接触することはない。このように基板Sを垂直方向に対して上記角度θに近い角度θ´で吸引保持したアーム25,25は、支持軸23が駆動部22内に引き込まれることにより搬送ケース11から引き出される((図8(A))。次いで、支持軸23の回転により基板Sを上向に保持した状態とされ(図8(B))、駆動部22の旋回によりアーム25,25は基板搬送経路5方向に向いた状態とされる。次いで、軌道21上を駆動部22が移動して、基板搬送経路5上に基板Sを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道21上を移動して戻り、次の基板Sの取り出しに移行する。
【0022】
尚、上述の基板Sの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路6上を基板出入部3に搬送されてきた基板Sを1枚づつ搬送ケース11に収納することができる。
【0023】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部2において搬送ケース11を傾き角度θが5〜20°の範囲内の角度となるように傾けるので、自重による基板Sのたわみは極めて少ないものとなり、これにより基板出入部3のアーム25が基板Sを垂直方向に対して上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重による基板Sのたわみは極めて少ないものとなる。したがって、搬送ケース11内の基板Sの収納間隔Pを小さく、例えば、10mm程度としても、基板Sどうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
第2の実施形態
次に、本発明の第2の実施形態を図9乃至図12を参照して説明する。
【0024】
蓋部11Bを取りはずした状態で、図1に示されるように搬送経路4上を矢印a方向に搬送されてケース姿勢制御部2に到達した搬送ケース11は、図9に示されるように、開口部16が上面となるような姿勢とされる。この状態では、搬送ケース11内の各基板Sは垂直に保持されて一定の間隔P(溝部12bの形成間隔Pと同一)をなすようにほぼ平行な状態となり、自重による基板Sのたわみは発生していない。
【0025】
図10は、基板出入部3の一例を示す斜視図である。図10において基板出入部3は、平行軌道31,31上を矢印a方向に往復移動可能な駆動部32Aと、駆動部32Aに対して矢印b方向に上下動可能で、かつ、矢印c方向に旋回可能な駆動部32Bと、この駆動部32Bに接続され、矢印d方向に回転可能であるとともに矢印e方向に出入可能な支持軸33と、この支持軸33に支持部材34を介して互いに平行に配設されたアーム35,35とを備えている。支持部材34は、上記の支持軸33に接続された支持部材34aと、この支持部材34aに対して矢印f方向に回転可能であり、アーム35,35が接続されている支持部材34bとからなる。また、アーム35,35上には、それぞれ吸引孔36aが中心に形成された保持部材(吸引パッド)36が複数設けられており、吸引孔36aは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。
【0026】
このような基板出入部3は、図11に示されるように、駆動部32Bが上昇するとともに旋回してアーム35,35をケース姿勢制御部2方向に向けるとともに、支持軸33が回転してアーム35,35の基板保持面で形成される面が垂直とされ、さらに、支持部材34bが回転してアーム35,35の先端を垂直下方向に向ける。その後、支持軸33が駆動部32Bからケース姿勢制御部2方向に押し出されることにより、ケース姿勢制御部2に載置されている搬送ケース11の上方にアーム35,35が位置することになる。次いで、駆動部32Bが降下することにより、搬送ケース11内に収納されている基板Sのうち、取り出し対象とする基板Sの近傍にアーム35,35が挿入される。次いで、吸引孔36aから吸引しながらアーム35,35を図12の矢印a方向に移動し、基板Sに保持部材36を当接させて基板Sを吸引保持する。このとき、アーム35,35の作動の影響で基板Sにそりが生じても、上述のように隣接する基板Sには自重によるたわみが発生しておらず、したがって基板Sどうしが接触することはない。
【0027】
このように基板Sを垂直状態で吸引保持したアーム35,35は、駆動部32Bが上昇することにより搬送ケース11から引き出され、その後、上述の動作と逆の動作をなすことにより、アーム35,35は基板Sを水平に吸引保持して基板搬送経路5方向に向いた状態とされる。次いで、軌道31上を駆動部32Aが移動して、基板搬送経路5上に基板Sを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道31上を移動して戻り、次の基板Sの取り出しに移行する。
【0028】
尚、上述の基板Sの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路6上を基板出入部3に搬送されてきた基板Sを1枚づつ搬送ケース11に収納することができる。
【0029】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部2において開口部16が上面に位置するように搬送ケース11を載置することにより、搬送ケース11内の基板Sは自重によるたわみがなく、基板間隔もほぼ一定となり、これにより、搬送ケース11内の基板の収納間隔を小さく、例えば、10mm程度としても、基板出入部3のアーム35が基板Sをほぼ垂直に保持して、基板Sどうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【0030】
尚、アーム35,35に設ける保持部材として、基板Sの下端辺に係合するような引っかけ部材をアーム35,35の先端部に設けてもよい。
第3の実施形態
次に、本発明の第3の実施形態を図13乃至図15を参照して説明する。
【0031】
蓋部11Bを取りはずした状態で、図1に示されるように搬送経路4上を矢印a方向に搬送されてケース姿勢制御部2に到達した搬送ケース11(図13(A))は、図示しない支持アームにより係止壁部12,12が垂直となるような姿勢とされる(図13(B))。この状態では、開口部16が基板出入部3の方向を向き、搬送ケース11内の各基板Sは両端を溝部12bに係止され、自重によるたわみが生じた状態で収納されている。
【0032】
図14は、基板出入部3の一例を示す斜視図である。図14において基板出入部3は、平行軌道41,41上を矢印a方向に往復移動可能な駆動部42Aと、駆動部42Aに対して矢印b方向に上下動可能で、かつ、矢印c方向に旋回可能な駆動部42Bと、この駆動部42Bに接続され矢印d方向に出入可能な支持軸43と、この支持軸43に支持部材44を介して水平に配設された固定アーム45と、この固定アーム45の両側に矢印e方向に回転可能な軸部材47を介して支持部材44に配設された可動アーム48,48とを備えている。アーム45上には、吸引孔46aが中心に形成された保持部材(吸引パッド)46が複数設けられており、また、可動アーム48,48上には、それぞれ吸引孔49aが中心に形成された保持部材(吸引パッド)49が複数設けられており、吸引孔46a,49aは図示しない吸引経路を介して図示しない吸引装置に接続されている。そして、上記の固定アーム45の軸位置は、可動アーム48の軸位置よりも下方に設定されている。この固定アーム45の軸位置と可動アーム48の軸位置、および、固定アーム45と可動アーム48との間隔は、搬送ケース11内に収納されている基板Sのたわみの程度等に応じて設定することができる。また、保持部材46および保持部材49を上方向に付勢された出入自在な吸引パッドとすることにより、たわみ量の異なる基板Sに対しても対応可能となる。
【0033】
上記の支持部材44内部には軸部材47を軸支するための図示しない軸部材支持具が装着されており、この軸部材支持具は、吸引孔49aにおける真空度を検出するセンサに接続されており、可動アーム48の吸引部材49による基板Sの吸引保持が行われて吸引孔49aにおける真空度が上昇したことを上記センサが検出すると、軸部材47を固定するように構成されている。
【0034】
このような基板出入部3は、駆動部42Bが上昇あるいは降下して所定の高さに停止するとともに旋回して固定アーム45、可動アーム48,48をケース姿勢制御部2方向に向け、その後、支持軸43が駆動部42Bからケース姿勢制御部2方向に押し出されることにより、図15(A)に示されるように、搬送ケース11内に収納されている基板Sのうち、取り出し対象とする基板Sの下方近傍に固定アーム45と可動アーム48,48が挿入される。この状態では、固定アーム45および可動アーム48,48とも基板Sに接触しておらず、次いで、吸引孔46a,49aからの吸引を行いながら駆動部42Bを上昇させると、可動アーム48,48が基板Sに当接し、軸部材47を中心に基板Sのたわみに適合した角度に回転して保持部材49による吸引保持が行われる(図15(B))。このような吸引部材49による吸引が行われて吸引孔49aにおける真空度の上昇を上記センサが検出すると軸部材47が固定され、可動アーム48,48はその状態で維持される。上記の可動アーム48,48による基板の吸引保持と同時に、固定アーム45の保持部材46が基板Sに当接して吸引保持が行われ、これにより、基板Sは自重によるたわみが生じた状態で固定アーム45、可動アーム48,48により吸引保持される。
【0035】
次に、駆動部42Bを若干上昇させた後、支持軸43を駆動部42Bに引き込むことにより、基板Sを自重によるたわみが生じた状態で吸引保持した固定アーム45、可動アーム48,48は搬送ケース11から引き出される。次いで、駆動部42Bの旋回により固定アーム45、可動アーム48,48は基板搬送経路5方向に向いた状態とされ、軌道41上を駆動部42Aが移動して、基板搬送経路5上に基板Sを載置して吸引保持を解除し、元の位置に軌道41上を移動して戻り、次の基板Sの取り出しに移行する。
【0036】
尚、上述の基板Sの取り出し動作を逆に行うことにより、基板搬送経路6上を基板出入部3に搬送されてきた基板Sを1枚づつ搬送ケース11に収納することができる。
【0037】
上述のように、本発明では、ケース姿勢制御部2において係止壁部12がほぼ垂直で開口部16が横方向を向くように搬送ケース11の姿勢を制御し、搬送ケース11内の基板Sを自重によるたわみで間隔が一定となるようにした後、固定アーム45と可動アーム48,48により自重によるたわみがほぼ維持され状態で基板Sを保持するので、搬送ケース11内の基板Sの収納間隔を小さく、例えば、10mm程度としても、基板出入部3が基板Sどうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【0038】
本発明で搬送の対象となる基板は、特に制限はなく、ガラス基板、金属基板、樹脂基板等の平板状の全ての基板が対象となる。
【0039】
【発明の効果】
以上詳述したように、本発明によれば、ケース姿勢制御部により傾き角度θが5〜20°の範囲内となるように搬送ケースを傾けることにより、搬送ケース内の基板を搬送ケースの傾き方向に対応して同方向に傾斜させることになり、各基板の間隔は一定となるとともに、傾き角度θが5〜20°の範囲内の角度であるので、自重による基板のたわみは極めて少ないものとなり、これにより基板出入部のアームが基板を垂直方向に対して上記角度θに近い角度で保持した状態でも、自重による基板のたわみは極めて少ないものとなり、したがって、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板どうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【0040】
また、本発明によれば、ケース姿勢制御部により開口部が上面に位置するように搬送ケースを載置することにより、搬送ケース内の基板は自重によるたわみがなく、基板間隔もほぼ一定となり、これにより、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板出入部のアームが基板をほぼ垂直に保持して、基板どうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【0041】
さらに、本発明によれば、ケース姿勢制御部により搬送ケースをその係止壁部がほぼ垂直で開口部が横方向を向く姿勢とすることにより、搬送ケース内の基板は自重によるたわみを生じて、その間隔が一定となり、固定アームの軸位置が可動アームの軸位置よりも下方にあるアームにより吸引保持された基板は、自重による基板のたわみがほぼ維持され状態となり、これにより、搬送ケース内の基板の収納間隔を小さくしても、基板どうしを接触させることなく1枚づつ確実に搬送ケースから取り出したり、あるいは、収納することができる。
【0042】
上述のように、本発明では基板の間隔を小さくても、基板どうしの接触を生じることなく搬送ケースからの基板取り出しや搬送ケースへの基板収納を確実に行うことができ、基板の大型化やたわみ量の大きな基板に対しても搬送ケース内の基板の収納間隔を小さく設定することができ、これにより、同一収納枚数の場合には搬送ケースの小型化が可能となり、また、同一寸法の搬送ケースの場合には搬送効率の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板搬送システムの一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】本発明において使用できる搬送ケースの一例を示す斜視図である。
【図3】図2に示される搬送ケースの平面図である。
【図4】第1の実施形態における搬送ケースの姿勢制御を説明するための図面である。
【図5】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内の基板の状態を示す部分拡大図である。
【図6】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図7】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【図8】 基板出入部のアームに保持された基板の状態を説明するための図である。
【図9】第2の実施形態においてケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケースの状態を示す図である。
【図10】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図11】基板出入部のアームの動作を説明するための図である。
【図12】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【図13】第3の実施形態においてケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケースの状態を示す部分拡大図である。
【図14】基板出入部の一例を示す斜視図である。
【図15】ケース姿勢制御部で姿勢を制御された搬送ケース内における基板保持の状態を示す部分拡大図である。
【符号の説明】
1…基板搬送システム
2…ケース姿勢制御部
3…基板出入部
11…搬送ケース
12…係止壁部
12b…溝部(基板係止部)
25,35…アーム
45…固定アーム
48…可動アーム
26,36,46,49…保持部材
Claims (3)
- 開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した1組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する1組の前記基板係止部間に1枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を1枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を1枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、
係止壁部の基板並列方向が水平面に対して5〜20°の範囲内の角度θをなすように搬送ケースを傾けるケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を垂直方向に対して前記角度θで保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、該基板出入部は、軌道上を往復移動可能で、かつ、旋回可能な駆動部と、該駆動部から水平方向に出入可能で、かつ、軸中心に回転可能である支持軸と、該支持軸に支持部材を介して互いに平行に、かつ、前記支持軸と平行に配設された複数の前記アームと、前記アームに配設された複数の前記保持部材と、を備えることを特徴とする基板搬送システム。 - 開口部をもつ直方体状の収納空間を有するとともに該収納空間を区画形成する相対向した1組の係止壁部の内面に複数の基板係止部を備えた搬送ケースであって、相対向する1組の前記基板係止部間に1枚の基板を収納するようにして複数の基板を並列に収納している搬送ケースから、基板を1枚づつ取り出したり、該搬送ケースに基板を1枚づつ収納する基板搬送システムにおいて、
係止壁部が垂直で開口部が横方向を向くように搬送ケースを載置するケース姿勢制御部と、基板保持用の保持部材を備えたアームであって基板を水平に保持した状態で前記姿勢の搬送ケース内に開口部から水平方向に出入自在なアームを有する基板出入部と、を有し、前記アームは、軸方向が水平で互いに平行な固定アームと複数の可動アームとからなり、可動アームは固定アームの両側に配設され前記軸方向を中心に回転可能であり、固定アームの軸位置は可動アームの軸位置よりも下方に位置することを特徴とする基板搬送システム。 - 前記アームが備える保持部材は、上方向に付勢された出入自在な保持部材であることを特徴とする請求項2に記載の基板搬送システム。
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