JPH04310367A - 円盤状基板の搬送機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は円盤状基板の搬送機構に
係り、特に円盤状基板の表面を凹凸に粗面化するテクス
チャー加工装置において基板収容ケースに収容された円
盤状基板を加工位置へ搬送する機構に関するものである
。

【０００２】磁気ディスク装置に用いられる磁気ディス
クの製造工程においては、該磁気ディスクの回転が停止
時には浮上型磁気ヘッドスライダをディスク面に接触さ
せておき、回転速度の上昇と共に該磁気ヘッドスライダ
を浮上させるＣＳＳ（ＣｏｎｔａｃｔＳａｒｔ　Ｓｔｏ
ｐ）　動作における前記磁気ディスク面に対して前記磁
気ヘッドスライダが吸着することを防止するために、円
盤状基板からなるディスク基板の表面を該磁気ヘッドス
ライダが吸着しない程度の凹凸状の表面粗さにテクスチ
ャー加工を行っている。

【０００３】そのようなテクスチャー加工装置では基板
収容ケースに収容されたディスク基板を加工位置へ安定
して確実に搬送する機構が要望されている。

【０００４】

【従来の技術】従来のテクスチャー加工装置では、図３
に示すようにアルミニウム、ガラス、或いはセラミック
等からなる円盤状基板、即ち、ディスク基板１２を縦に
並べて収容されている基板収容ケース１１の下側より、
先端に支持溝１５を備えた基板支持部１４を有し、かつ
上下方向に移動可能な基板押し上げアーム１３を挿入し
、該支持溝１４で前記ディスク基板１２を植立支持した
状態でその基板押し上げアーム１３を更に押し上げて、
前記ディスク基板１２の外周を４箇所で保持すべくＶ溝
を有する４つのガイドローラ１７を具備し、矢印で示す
方向に開放した状態で待機している上方の基板保持ハン
ド１６の位置まで押し上げる。

【０００５】この押し上げられたディスク基板１２は該
基板保持ハンド１６を閉じることによって、その外周が
前記４つのガイドローラ１７で挟まれて保持されると共
に、前記基板押し上げアーム１３は下方の図示しない定
位置に下降する。

【０００６】次に該ディスク基板１２を保持した基板保
持ハンド１６は水平移動して図示しない回転機構のスピ
ンドル１８まで搬送し、対応する該スピンドル１８の取
付け部に固定する。

【０００７】そして図４に示すように回転するスピンド
ル１８の取付け部に固定されたディスク基板１２の表裏
面における、例えば右半分の領域に配置されたテクスチ
ャー加工用の砥石ロール１９を押し付けると共に、その
左半分の領域に配置されたクリーニングテープ２０を押
し付けロール２１により押し付けて該ディスク基板１２
の表裏面の所定領域を磁気ヘッドスライダが吸着しない
１００ｎｍ　程度の凹凸状の粗面にテクスチャー加工を
施している。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した従
来のテクスチャー加工装置における円盤状基板の搬送機
構では、前記基板押し上げアーム１３の先端の基板支持
部１４に設けた支持溝１５にて前記基板収容ケース１１
内のディスク基板１２を植立支持し、その状態の基板押
し上げアーム１３を押し上げて、該ディスク基板１２を
上方の開放状態で待機している基板保持ハンド１６の位
置まで搬送した際に、図５に示すように前記基板支持部
１４の支持溝１５に植立支持したディスク基板１２が矢
印で示すように前後方向に揺れ動いてふらつくために、
待機している基板保持ハンド１６の各ガイドローラ１７
で挟持するそのディスク基板１２の位置がずれて挟持す
ることを困難にしたり、また挟持することができなくな
るという問題があった。

【０００９】本発明は上記した従来の問題点に鑑み、基
板押し上げアームによって植立支持して上方へ押し上げ
る搬送時の円盤状基板の動揺（ふらつき）を解消し、該
基板押上げアームに植立支持した円盤状基板を基板保持
ハンドにより容易に、かつ確実に挟持できるようにした
新規な円盤状基板の搬送機構を提供することを目的とす
るものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、先端に円盤状基板の端部を支持する支持
溝を有する基板支持部を設け、かつ円盤状基板が収容さ
れた基板収容ケースを下側から上側に貫通するように上
下移動可能な基板押し上げアームと、該基板支持部によ
り植立支持して前記ケース内から上方に移動された円盤
状基板を四方より挟持する複数のガイドローラを有する
基板保持ハンドとを備えた円盤状基板の搬送機構におい
て、前記基板押し上げアームの先端に設けた基板支持部
の支持溝は円盤状基板を傾けて支持する傾斜した溝構造
であり、かつ前記基板保持ハンドの各ガイドローラは、
前記基板押し上げアームの傾斜支持溝により傾けて支持
された円盤状基板と係合し、該円盤状基板を直立状に誘
導するように一方の縁部を高くした非対称なガイド溝を
設けた構成とする。

【００１１】

【作用】本発明の円盤状基板の搬送機構では、基板押し
上げアームの基板支持部において円盤状基板を植立支持
する支持溝を、僅かに傾斜した溝構造にして、該傾斜支
持溝により円盤状基板を僅かに傾斜させた状態に支持す
ることにより、その基板押し上げアームによって上方の
基板保持ハンドの位置に押し上げられた際の円盤状基板
の前後方向への動揺（ふらつき）が解消される。

【００１２】また、前記基板押し上げアームにより押し
上げられた円盤状基板の周囲を四方より挟持する基板保
持ハンドに配置した複数のガイドローラに、前記傾斜支
持溝により傾斜状に支持された円盤状基板と係合し、該
円盤状基板を直立状に誘導するように一方の縁部を高く
した非対称なガイド溝を設けることにより、傾斜状に支
持された円盤状基板を前記基板保持ハンドにおける各ガ
イドローラにより挟持する過程において前記各ガイドロ
ーラの一方の縁部を高くした非対称なガイド溝の形状に
よってそのガイド溝の中心に滑り込むように誘導されて
直立状に容易、かつ確実に挟持することが可能となる。

【００１３】

【実施例】以下図面を用いて本発明の実施例について詳
細に説明する。図１は本発明に係る円盤状基板の搬送機
構における基板押し上げアームの一実施例を示す側面図
であり、図２は同じく円盤状基板の搬送機構における基
板支持ハンドの一実施例を示す側面図である。

【００１４】図１において、３１は基板押し上げアーム
であり、該基板押し上げアーム３１の先端には、例えば
５〜１０度程度に僅かに傾斜した傾斜支持溝３３が形成
された樹脂部材からなる基板支持部３２が設けられてお
り、このような構成の基板押し上げアーム３１を従来例
で説明したように円盤状基板、例えばディスク基板１２
を縦に並べて収容された基板収容ケースの下側より挿入
して押し上げることにより該傾斜支持溝３３に前記ディ
スク基板１２を傾斜した状態に植立支持される。

【００１５】従って、この基板押し上げアーム３１を更
に上方で待機している基板保持ハンドの位置に押し上げ
た際に、その傾斜状態に植立支持されたディスク基板１
２は、前後方向に動揺（ふらつく）することなく安定な
支持状態を維持することが可能となる。

【００１６】また一方、図２に示すように前記基板押し
上げアーム３１により押し上げられたディスク基板１２
を四方より挟持する基板保持ハンド３４には、前記傾斜
支持溝３３により傾斜状に支持されたディスク基板１２
と係合し、該ディスク基板１２を直立状に誘導するよう
に一方の縁部を高くした非対称なガイド溝３６を設けた
複数のガイドローラ３５を、上部には該ガイド溝３６の
一方の縁部の高い側方を前記基板保持ハンド３４側とな
るように、下部には該ガイド溝３６の一方の縁部の高い
側方を前記基板保持ハンド３４側と反対側となるように
それぞれ配設した構成とすることにより、傾斜状に支持
されて該基板保持ハンド３４の位置に押し上げられたデ
ィスク基板１２は、その基板保持ハンド３４における各
ガイドローラ３５により挟持する過程において、前記各
ガイドローラ３５における前記ガイド溝３６の一方の高
い縁部で係合された状態からその高い縁部の斜面を滑っ
て該ガイド溝３６の中心に入り込むように誘導され、そ
の結果、該ディスク基板１２は直立した状態に各ガイド
ローラ３５を介して該基板保持ハンド３４に容易に、か
つ確実に挟持することが可能となる。

【００１７】従って、挟持されたディスク基板１２は基
板保持ハンド３４による水平移動により図示しない回転
機構のスピンドルまで搬送し、対応する該スピンドルの
取付け部に容易に固定することができる。

【００１８】更に、前記スピンドルに取り付けて例えば
テクスチャー加工を行った後のディスク基板１２は、逆
に該スピンドルから前記基板保持ハンド３４により挟持
された状態で外され、元の所定位置まで水平移動させた
後、該基板保持ハンド３４より基板押し上げアーム３１
の傾斜支持溝３３に移して傾斜状に植立支持した後、基
板収容ケース内に戻すことも可能である。

【００１９】なお以上の実施例では円盤状基板として、
例えばディスク基板を用い、該ディスク基板面にテクス
チャー加工を施すテクスチャー加工装置におけるディス
ク基板の搬送機構に適用した場合の例について説明した
が、本発明はこの例に限定されるものではなく、各種円
盤状基板を植立支持して上方へ搬送し、その搬送した円
盤状基板を直立した状態に保持した保持手段により水平
方向等に搬送する機構等に適用して同様な効果が得られ
る。

【００２０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る円盤状基板の搬送機構によれば、基板押し上げア
ームによって植立支持して上方へ押し上げる搬送時の円
盤状基板の動揺（ふらつき）が解消されて安定な支持状
態を維持することができ、また、前記基板保持ハンドの
各ガイドローラに、前記基板押し上げアームの傾斜支持
溝により傾斜状に支持した円盤状基板と係合し、該円盤
状基板を直立状に誘導するように一方の縁部を高くした
非対称なガイド溝を設けた構成としているので、該基板
保持ハンドにより基板押し上げアームに植立支持した円
盤状基板を容易、かつ確実に挟持することが可能となる
優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】　　本発明の円盤状基板の搬送機構における基
板押し上げアームの一実施例を示す側面図である。

【図２】　　本発明の円盤状基板の搬送機構における基
板保持ハンドの一実施例を示す側面図である。

【図３】　　従来の円盤状基板の搬送機構を示す概略斜
視図である。

【図４】　　従来のテクスチャー加工装置を示す要部斜
視図である。

【図５】　　従来の搬送機構の問題点を説明するための
側面図である。

【符号の説明】

１２　　　　ディスク基板 ３１　　　　基板押し上げアーム ３２　　　　基板支持部 ３３　　　　傾斜支持溝 ３４　　　　基板保持ハンド ３５　　　　ガイドローラ ３６　　　　非対称なガイド溝

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　先端に円盤状基板（１２）の端部を支
   持する支持溝（３３）を有する基板支持部（３２）を設
   け、かつ円盤状基板（１２）が収容された基板収容ケー
   スを下側から上側に貫通するように上下移動可能な基板
   押し上げアーム（３１）と、該基板支持部（３２）によ
   り植立支持して前記ケース内から上方に移動された円盤
   状基板（１２）を四方より挟持する複数のガイドローラ
   （３５）を有する基板保持ハンド（３４）とを備えた円
   盤状基板の搬送機構において、前記基板押し上げアーム
   （３１）の先端に設けた基板支持部（３２）の支持溝（
   ３３）は円盤状基板（１２）を傾けて支持する傾斜した
   溝構造であり、かつ前記基板保持ハンド（３４）の各ガ
   イドローラ（３５）は、前記基板押し上げアーム（３１
   ）の傾斜支持溝（３３）により傾けて支持された円盤状
   基板（１２）と係合し、該円盤状基板（１２）を直立状
   に誘導するように一方の縁部を高くした非対称なガイド
   溝（３６）を設けてなることを特徴とする円盤状基板の
   搬送機構。