JPH1079415A - ノッチ整列装置およびその調整治具 - Google Patents
ノッチ整列装置およびその調整治具Info
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- JPH1079415A JPH1079415A JP25380496A JP25380496A JPH1079415A JP H1079415 A JPH1079415 A JP H1079415A JP 25380496 A JP25380496 A JP 25380496A JP 25380496 A JP25380496 A JP 25380496A JP H1079415 A JPH1079415 A JP H1079415A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- Power Engineering (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性
を改善し、ノッチ合せの確実化が図れるノッチ整列装置
を提供する。 【解決手段】 周縁部にノッチ２を有する複数枚の被処
理基板１を容器３内に収納した状態で、上記被処理基板
１の周縁部に下方から接して回転駆動する駆動軸２５
と、この駆動軸２５の一側方に設けられ、各被処理基板
１の周縁部をアイドラ２６を介して回転可能に支持する
アイドラ軸２７と、上記駆動軸２５の他側方に設けら
れ、上記ノッチ２が上記駆動軸２５に係合したときに当
該被処理基板１の周縁部を支持する支持部２８とを備
え、上記アイドラ軸２７を上記駆動軸２５と連動させて
回転駆動するようにした。
を改善し、ノッチ合せの確実化が図れるノッチ整列装置
を提供する。 【解決手段】 周縁部にノッチ２を有する複数枚の被処
理基板１を容器３内に収納した状態で、上記被処理基板
１の周縁部に下方から接して回転駆動する駆動軸２５
と、この駆動軸２５の一側方に設けられ、各被処理基板
１の周縁部をアイドラ２６を介して回転可能に支持する
アイドラ軸２７と、上記駆動軸２５の他側方に設けら
れ、上記ノッチ２が上記駆動軸２５に係合したときに当
該被処理基板１の周縁部を支持する支持部２８とを備
え、上記アイドラ軸２７を上記駆動軸２５と連動させて
回転駆動するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノッチ整列装置お
よびその調整治具に関する。
よびその調整治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造においては、被処理基
板である半導体ウエハを各処理工程に搬送する手段とし
て、複数枚のウエハを整列収納した容器たるキャリア
（カセットともいう）が用いられている。また、上記ウ
エハとしては、その結晶方向の判別および整列を容易に
するために、周縁部の一部にノッチ（切欠部）を形成し
たものが用いられる場合がある。
板である半導体ウエハを各処理工程に搬送する手段とし
て、複数枚のウエハを整列収納した容器たるキャリア
（カセットともいう）が用いられている。また、上記ウ
エハとしては、その結晶方向の判別および整列を容易に
するために、周縁部の一部にノッチ（切欠部）を形成し
たものが用いられる場合がある。
【０００３】そして、各処理装工程を実行する処理装置
における上記キャリアの搬出入口等には、キャリアを載
置する載置台が設けられ、この載置台には、上記ウエハ
をキャリア内で回転させてノッチ合せ（ノッチを一方向
に位置決めして揃える）を行うノッチ整列装置が設けら
れている。このノッチ整列装置は、上記ウエハの周縁部
に下方から接して回転駆動する駆動軸と、この駆動軸の
一側方に設けられ、各ウエハの周縁部をアイドラを介し
て回転可能に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸の他側
方に設けられ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したとき
に傾く当該ウエハの周縁部を支持する支持部とを有する
ノッチ整列ユニットを備えている。
における上記キャリアの搬出入口等には、キャリアを載
置する載置台が設けられ、この載置台には、上記ウエハ
をキャリア内で回転させてノッチ合せ（ノッチを一方向
に位置決めして揃える）を行うノッチ整列装置が設けら
れている。このノッチ整列装置は、上記ウエハの周縁部
に下方から接して回転駆動する駆動軸と、この駆動軸の
一側方に設けられ、各ウエハの周縁部をアイドラを介し
て回転可能に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸の他側
方に設けられ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したとき
に傾く当該ウエハの周縁部を支持する支持部とを有する
ノッチ整列ユニットを備えている。
【０００４】すなわち、ノッチの整列を行う場合には、
ノッチ整列ユニットを上昇させて駆動軸およびアイドラ
によりキャリア内のウエハを支持するようにし、上記駆
動軸の回転によりウエハを回転させ、その回転によりウ
エハ周縁部のノッチが駆動軸の位置に至り、ノッチが駆
動軸と係合することにより位置決めされ、その際に傾く
ウエハを支持部で支持することによりウエハの回転が停
止するようになっている。
ノッチ整列ユニットを上昇させて駆動軸およびアイドラ
によりキャリア内のウエハを支持するようにし、上記駆
動軸の回転によりウエハを回転させ、その回転によりウ
エハ周縁部のノッチが駆動軸の位置に至り、ノッチが駆
動軸と係合することにより位置決めされ、その際に傾く
ウエハを支持部で支持することによりウエハの回転が停
止するようになっている。
【０００５】また、上記ノッチ整列装置は、ノッチ整列
動作の終了後に、上記ノッチ整列ユニットを下降させて
キャリア内ウエハのノッチ整列状態を検知する光学式の
ノッチセンサを備えており、ノッチが不整列の場合に
は、警報を発したり、或いは再度ノッチ整列動作を行わ
せることができるようになっている。
動作の終了後に、上記ノッチ整列ユニットを下降させて
キャリア内ウエハのノッチ整列状態を検知する光学式の
ノッチセンサを備えており、ノッチが不整列の場合に
は、警報を発したり、或いは再度ノッチ整列動作を行わ
せることができるようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ノ
ッチ整列装置においては、上記駆動軸がフッ素樹脂で被
覆されていて摩擦抵抗が少なく、しかも上記ノッチの大
きさが２．７ｍｍであるのに対して駆動軸の径が６ｍｍ
と太く形成されていた。
ッチ整列装置においては、上記駆動軸がフッ素樹脂で被
覆されていて摩擦抵抗が少なく、しかも上記ノッチの大
きさが２．７ｍｍであるのに対して駆動軸の径が６ｍｍ
と太く形成されていた。
【０００７】このため、駆動軸の表面が滑りやすく、ま
たウエハが成膜処理されている場合には更に滑りやすく
なり、駆動軸とウエハの間に滑り（スリップ）が生じや
すい。また、ウエハが成膜処理されている場合には、ノ
ッチの大きさが僅かではあるが小さくなって、駆動軸が
相対的に太くなり、ノッチが駆動軸を乗越えてしまう場
合もある。従って、ウエハによっては、回転性および位
置決め性に難があり、ノッチの整列にばらつきが生じる
ことがあった。なお、回転性を改善するために、駆動軸
をシリコンゴムで被覆することも考えられるが、シリコ
ンゴムが摩耗しやすい。
たウエハが成膜処理されている場合には更に滑りやすく
なり、駆動軸とウエハの間に滑り（スリップ）が生じや
すい。また、ウエハが成膜処理されている場合には、ノ
ッチの大きさが僅かではあるが小さくなって、駆動軸が
相対的に太くなり、ノッチが駆動軸を乗越えてしまう場
合もある。従って、ウエハによっては、回転性および位
置決め性に難があり、ノッチの整列にばらつきが生じる
ことがあった。なお、回転性を改善するために、駆動軸
をシリコンゴムで被覆することも考えられるが、シリコ
ンゴムが摩耗しやすい。
【０００８】また、上記ノッチセンサによりノッチの整
列状態を検知する際には、ノッチ整列ユニットの下降に
よりウエハがキャリアに支持された状態となる。このた
め、キャリアの変形や寸法誤差によってノッチとノッチ
センサの光軸とが不一致になり、誤検知を生じることが
ある。更に、ノッチセンサによる検知精度は、定期的に
分解洗浄が行われては再組立されるノッチ整列装置の組
立精度にも依存される。
列状態を検知する際には、ノッチ整列ユニットの下降に
よりウエハがキャリアに支持された状態となる。このた
め、キャリアの変形や寸法誤差によってノッチとノッチ
センサの光軸とが不一致になり、誤検知を生じることが
ある。更に、ノッチセンサによる検知精度は、定期的に
分解洗浄が行われては再組立されるノッチ整列装置の組
立精度にも依存される。
【０００９】そこで、本発明の目的は、ノッチ整列動作
時の回転性および位置決め性を改善し、ノッチ合せの確
実化が図れるノッチ整列装置を提供することにある。ま
た、本発明の目的は、ノッチ合せ精度の向上およびノッ
チセンサによる検知精度の向上が図れるノッチ整列装置
およびその調整治具を提供することにある。
時の回転性および位置決め性を改善し、ノッチ合せの確
実化が図れるノッチ整列装置を提供することにある。ま
た、本発明の目的は、ノッチ合せ精度の向上およびノッ
チセンサによる検知精度の向上が図れるノッチ整列装置
およびその調整治具を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のうち、請求項１記載のノッチ整列装置は、周
縁部にノッチを有する複数枚の被処理基板を容器内に収
納した状態で、上記被処理基板の周縁部に下方から接し
て回転駆動する駆動軸と、この駆動軸の一側方に設けら
れ、各被処理基板の周縁部をアイドラを介して回転可能
に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸の他側方に設けら
れ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したときに傾く被処
理基板の周縁部を支持する支持部とを有するノッチ整列
ユニットを備え、上記駆動軸の径を細く形成すると共
に、上記アイドラ軸を上記駆動軸と連動させて回転駆動
するようにしたことを特徴とする。
に本発明のうち、請求項１記載のノッチ整列装置は、周
縁部にノッチを有する複数枚の被処理基板を容器内に収
納した状態で、上記被処理基板の周縁部に下方から接し
て回転駆動する駆動軸と、この駆動軸の一側方に設けら
れ、各被処理基板の周縁部をアイドラを介して回転可能
に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸の他側方に設けら
れ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したときに傾く被処
理基板の周縁部を支持する支持部とを有するノッチ整列
ユニットを備え、上記駆動軸の径を細く形成すると共
に、上記アイドラ軸を上記駆動軸と連動させて回転駆動
するようにしたことを特徴とする。
【００１１】請求項２記載のノッチ整列装置は、周縁部
にノッチを有する複数枚の被処理基板を容器内に収納し
た状態で、上記被処理基板の周縁部に下方から接して回
転駆動する駆動軸、この駆動軸の一側方に設けられ、各
被処理基板の周縁部をアイドラを介して回転可能に支持
するアイドラ軸、上記駆動軸の他側方に設けられ、上記
ノッチが上記駆動軸に係合したときに当該被処理基板の
周縁部を支持する支持部を有するノッチ整列ユニット
と、上記ノッチの整列状態を検知する光学式ノッチセン
サとを備え、上記駆動軸の径を細く形成すると共に、上
記アイドラ軸を上記駆動軸と連動させて回転駆動するよ
うにし、且つ上記ノッチの整列状態を上記ノッチセンサ
で検知する際に全被処理基板を一定の高さに保持する保
持機構を設けたことを特徴とする。
にノッチを有する複数枚の被処理基板を容器内に収納し
た状態で、上記被処理基板の周縁部に下方から接して回
転駆動する駆動軸、この駆動軸の一側方に設けられ、各
被処理基板の周縁部をアイドラを介して回転可能に支持
するアイドラ軸、上記駆動軸の他側方に設けられ、上記
ノッチが上記駆動軸に係合したときに当該被処理基板の
周縁部を支持する支持部を有するノッチ整列ユニット
と、上記ノッチの整列状態を検知する光学式ノッチセン
サとを備え、上記駆動軸の径を細く形成すると共に、上
記アイドラ軸を上記駆動軸と連動させて回転駆動するよ
うにし、且つ上記ノッチの整列状態を上記ノッチセンサ
で検知する際に全被処理基板を一定の高さに保持する保
持機構を設けたことを特徴とする。
【００１２】請求項３記載のノッチ整列装置の調整治具
は、周縁部にノッチを有する複数枚の被処理基板を収納
した容器を位置決めセットするセット部と、上記容器内
の被処理基板の周縁部に下方から接して回転駆動する駆
動軸等を有するノッチ整列ユニットと、上記ノッチの整
列状態を検知する光学式ノッチセンサとを備えたノッチ
整列装置を調整する調整治具であって、上記駆動軸に係
合する係合溝部と、上記セット部を位置決めするセット
部基準部と、上記ノッチセンサを位置決めするセンサ基
準部とを備えていることを特徴とする。
は、周縁部にノッチを有する複数枚の被処理基板を収納
した容器を位置決めセットするセット部と、上記容器内
の被処理基板の周縁部に下方から接して回転駆動する駆
動軸等を有するノッチ整列ユニットと、上記ノッチの整
列状態を検知する光学式ノッチセンサとを備えたノッチ
整列装置を調整する調整治具であって、上記駆動軸に係
合する係合溝部と、上記セット部を位置決めするセット
部基準部と、上記ノッチセンサを位置決めするセンサ基
準部とを備えていることを特徴とする。
【００１３】
【実施の形態】以下に、本発明の実施の形態を添付図面
に基づいて詳述する。
に基づいて詳述する。
【００１４】図１において、１は被処理基板である円板
状の半導体ウエハで、その周縁部の一部にはノッチ２が
形成されている。３は上記ウエハ１を複数枚例えば２５
枚程度垂直に立てた状態で所定ピッチで整列した状態で
収納した容器であるキャリアである。このキャリア３の
上部は、ウエハ１の出し入れ口として開放されており、
キャリア３の底部には、ウエハ１のノッチ合せ等が可能
なように開口部４が形成されている。
状の半導体ウエハで、その周縁部の一部にはノッチ２が
形成されている。３は上記ウエハ１を複数枚例えば２５
枚程度垂直に立てた状態で所定ピッチで整列した状態で
収納した容器であるキャリアである。このキャリア３の
上部は、ウエハ１の出し入れ口として開放されており、
キャリア３の底部には、ウエハ１のノッチ合せ等が可能
なように開口部４が形成されている。
【００１５】上記ウエハ１にＣＶＤ等の処理を施す処理
装置のキャリア搬出入口には、上記キャリアを１個また
は２個以上載置可能な載置台５が設けられ、この載置台
５には、キャリア３内のウエハ１のノッチ合せを行うノ
ッチ整列装置６が設けられている。また、このノッチ整
列装置６の一部として、上記載置台５には、キャリア３
を位置決めセットするためのセット部７が設けられてい
る。
装置のキャリア搬出入口には、上記キャリアを１個また
は２個以上載置可能な載置台５が設けられ、この載置台
５には、キャリア３内のウエハ１のノッチ合せを行うノ
ッチ整列装置６が設けられている。また、このノッチ整
列装置６の一部として、上記載置台５には、キャリア３
を位置決めセットするためのセット部７が設けられてい
る。
【００１６】このセット部７は、キャリア３の幅方向の
位置決めをするガイド（キャリアガイドともいう）８
と、図８に示すようにキャリア３の長手方向の位置決め
をする前端押え部９および後端押え部１０とから主に構
成されている。上記前端押え部９および後端押え部１０
は、図示しないエアシリンダにより前後に駆動され、上
記キャリア３を前後から保持するようになっている。上
記載置台５は、処理装置内の図示しないキャリア搬送機
構との間でキャリアの受取り受渡しを行う際にキャリア
３を水平状態から垂直状態にまたはその逆に姿勢変換す
るために、回動可能に構成されている（図示省略）。
位置決めをするガイド（キャリアガイドともいう）８
と、図８に示すようにキャリア３の長手方向の位置決め
をする前端押え部９および後端押え部１０とから主に構
成されている。上記前端押え部９および後端押え部１０
は、図示しないエアシリンダにより前後に駆動され、上
記キャリア３を前後から保持するようになっている。上
記載置台５は、処理装置内の図示しないキャリア搬送機
構との間でキャリアの受取り受渡しを行う際にキャリア
３を水平状態から垂直状態にまたはその逆に姿勢変換す
るために、回動可能に構成されている（図示省略）。
【００１７】上記載置台５には、キャリア３の底部開口
部４と連通する開口部１１が形成されており、この開口
部１１を挟んで載置台５上の前後の位置には投光器と受
光器からなる光学式のノッチセンサ１２ａ，１２ｂが設
置されている。上記載置台５の開口部１１の下方には、
ノッチ整列ユニット１３が昇降可能に設けられている。
このノッチ整列ユニット１３は、図１、図２ないし図３
に示すように、両側に固定枠１４を有し、両固定枠１４
が載置台５下方に固定されている。両固定枠１４間に
は、ユニット本体１５が配置され、このユニット本体１
５と固定枠１４との間には、ノッチ整列状態をノッチセ
ンサ１２ａ，１２ｂで検知する際に全ウエハ１を一定の
高さに保持する保持機構（ウエハ保持機構ともいう）１
６が配置されている。
部４と連通する開口部１１が形成されており、この開口
部１１を挟んで載置台５上の前後の位置には投光器と受
光器からなる光学式のノッチセンサ１２ａ，１２ｂが設
置されている。上記載置台５の開口部１１の下方には、
ノッチ整列ユニット１３が昇降可能に設けられている。
このノッチ整列ユニット１３は、図１、図２ないし図３
に示すように、両側に固定枠１４を有し、両固定枠１４
が載置台５下方に固定されている。両固定枠１４間に
は、ユニット本体１５が配置され、このユニット本体１
５と固定枠１４との間には、ノッチ整列状態をノッチセ
ンサ１２ａ，１２ｂで検知する際に全ウエハ１を一定の
高さに保持する保持機構（ウエハ保持機構ともいう）１
６が配置されている。
【００１８】一方の固定枠１４の内側には、一対の昇降
ガイド（リニアガイド）１７を介して昇降ベース１８が
昇降可能に支持され、この昇降ベース１８の上端部から
水平に延出された一対のアーム１９に上記ユニット本体
１５が載置固定されている。上記昇降ベース１８の下端
部には、その昇降手段であるエアシリンダ２０のピスト
ンロッド２０ａが水平の連結バー２１を介して連結さ
れ、上記固定枠１４の外側には、上記エアシリンダ２０
が倒立した状態でブラケット２２を介して取付けられて
いる。ユニット本体１５の昇降高さを検知するために、
上記連結バー２１には、被検知バー２３が立設され、固
定枠１４には、その被検知バー２３の変位を検知するセ
ンサ２４が取付けられている。上記ユニット本体１５
は、所定のストローク、例えば３０ｍｍの昇降ストロー
クで昇降制御されるように構成されている。
ガイド（リニアガイド）１７を介して昇降ベース１８が
昇降可能に支持され、この昇降ベース１８の上端部から
水平に延出された一対のアーム１９に上記ユニット本体
１５が載置固定されている。上記昇降ベース１８の下端
部には、その昇降手段であるエアシリンダ２０のピスト
ンロッド２０ａが水平の連結バー２１を介して連結さ
れ、上記固定枠１４の外側には、上記エアシリンダ２０
が倒立した状態でブラケット２２を介して取付けられて
いる。ユニット本体１５の昇降高さを検知するために、
上記連結バー２１には、被検知バー２３が立設され、固
定枠１４には、その被検知バー２３の変位を検知するセ
ンサ２４が取付けられている。上記ユニット本体１５
は、所定のストローク、例えば３０ｍｍの昇降ストロー
クで昇降制御されるように構成されている。
【００１９】上記ユニット本体１５上には、キャリア３
内のウエハ１の周縁部に下方から接して回転駆動する駆
動軸２５が長手方向に沿って設けられ、この駆動軸２５
を挟んでその一側方には、各ウエハ１の周縁部をアイド
ラ２６を介して回転可能に支持するアイドラ軸２７が、
上記駆動軸２５の他側方には、ノッチ２が駆動軸２５に
係合したときに傾くウエハ１の周縁部を支持する支持部
（ウエハガイドともいう）２８がそれぞれ長手方向に沿
って平行に設けられている。
内のウエハ１の周縁部に下方から接して回転駆動する駆
動軸２５が長手方向に沿って設けられ、この駆動軸２５
を挟んでその一側方には、各ウエハ１の周縁部をアイド
ラ２６を介して回転可能に支持するアイドラ軸２７が、
上記駆動軸２５の他側方には、ノッチ２が駆動軸２５に
係合したときに傾くウエハ１の周縁部を支持する支持部
（ウエハガイドともいう）２８がそれぞれ長手方向に沿
って平行に設けられている。
【００２０】上記駆動軸２５は、ステンレス製の軸にフ
ッ素樹脂を被覆してなり、その長手方向両端部が軸受２
９を介して回転可能に支持されている。また、ノッチ整
列動作時の位置決め性の向上を図るために、駆動軸２５
の径は、４ｍｍと細く形成され、ノッチ２が駆動軸２５
を乗越えるのを阻止できるようになっている。駆動軸２
５の径が細いことによる撓みを防止するために、ユニッ
ト本体１５には、上記駆動軸２５の中間部を適宜支持す
る支持ローラ３０がローラブラケット３１を介して回転
可能に取付けられている。
ッ素樹脂を被覆してなり、その長手方向両端部が軸受２
９を介して回転可能に支持されている。また、ノッチ整
列動作時の位置決め性の向上を図るために、駆動軸２５
の径は、４ｍｍと細く形成され、ノッチ２が駆動軸２５
を乗越えるのを阻止できるようになっている。駆動軸２
５の径が細いことによる撓みを防止するために、ユニッ
ト本体１５には、上記駆動軸２５の中間部を適宜支持す
る支持ローラ３０がローラブラケット３１を介して回転
可能に取付けられている。
【００２１】上記アイドラ軸２７は、ステンレス軸から
なり、このアイドラ軸２７にフッ素樹脂からなる鼓形状
のアイドラ２６がウエハと対応する数だけ串刺し状に緩
く嵌められて個々に回転可能に支持されている。また、
アイドラ軸２７の長手方向両端部は、軸受３２を介して
回転可能に支持されている。ノッチ整列動作時の回転性
の向上を図るために、上記アイドラ軸２７は、駆動軸２
５と連動して同方向に回転駆動されるようになってい
る。
なり、このアイドラ軸２７にフッ素樹脂からなる鼓形状
のアイドラ２６がウエハと対応する数だけ串刺し状に緩
く嵌められて個々に回転可能に支持されている。また、
アイドラ軸２７の長手方向両端部は、軸受３２を介して
回転可能に支持されている。ノッチ整列動作時の回転性
の向上を図るために、上記アイドラ軸２７は、駆動軸２
５と連動して同方向に回転駆動されるようになってい
る。
【００２２】すなわち、上記駆動軸２５およびアイドラ
軸２７の一端には、プーリ３３，３４がそれぞれ取付け
られ、これらのプーリ３３，３４と、ユニット本体１５
の下部に取付けられた電動モータ３５の駆動プーリ３６
とに無端ベルト３７が巻き掛けられている。この場合、
駆動軸２５とアイドラ２６の周速度が同じになるように
設計されていることが、ノッチ整列動作時の回転性の更
なる向上を図る上で好ましい。上記モータ３５は、ユニ
ット本体１５が上死点まで上昇して駆動軸２５およびア
イドラ２６を介してウエハ１を支持した時点から所定時
間、例えばウエハ１を２回転させるに必要な時間だけ駆
動制御されるように構成されている。
軸２７の一端には、プーリ３３，３４がそれぞれ取付け
られ、これらのプーリ３３，３４と、ユニット本体１５
の下部に取付けられた電動モータ３５の駆動プーリ３６
とに無端ベルト３７が巻き掛けられている。この場合、
駆動軸２５とアイドラ２６の周速度が同じになるように
設計されていることが、ノッチ整列動作時の回転性の更
なる向上を図る上で好ましい。上記モータ３５は、ユニ
ット本体１５が上死点まで上昇して駆動軸２５およびア
イドラ２６を介してウエハ１を支持した時点から所定時
間、例えばウエハ１を２回転させるに必要な時間だけ駆
動制御されるように構成されている。
【００２３】上記支持部（ウエハガイド）２８は、合成
樹脂により成形されており、その上端部がウエハ１の周
縁部を支持し得るように斜めに形成されている。ウエハ
１の周縁部は、図５に示すように、ノッチ２が駆動軸２
５に係合しない状態では支持部２８に非接触の状態にあ
り、図６に示すように、ノッチ２が駆動軸２５に係合し
たときにウエハ１がアイドラ２６を支点に傾むくことに
より支持部２８に接触するようになっている。この接触
によりウエハ１の回転が停止し、この停止したウエハ１
およびアイドラ２６に対して駆動軸２５およびアイドラ
軸２７が空転することになる。
樹脂により成形されており、その上端部がウエハ１の周
縁部を支持し得るように斜めに形成されている。ウエハ
１の周縁部は、図５に示すように、ノッチ２が駆動軸２
５に係合しない状態では支持部２８に非接触の状態にあ
り、図６に示すように、ノッチ２が駆動軸２５に係合し
たときにウエハ１がアイドラ２６を支点に傾むくことに
より支持部２８に接触するようになっている。この接触
によりウエハ１の回転が停止し、この停止したウエハ１
およびアイドラ２６に対して駆動軸２５およびアイドラ
軸２７が空転することになる。
【００２４】上記ユニット本体１５上の駆動軸２５とア
イドラ２６との間には、ウエハ１の有無、具体的にはウ
エハ１の位置や枚数を検出するための光学式のウエハセ
ンサ（ウエハカウントセンサともいう）３８が設けられ
ている。このウエハセンサ３８は、ウエハ１間に挿入配
置されるように櫛歯形に形成されている。
イドラ２６との間には、ウエハ１の有無、具体的にはウ
エハ１の位置や枚数を検出するための光学式のウエハセ
ンサ（ウエハカウントセンサともいう）３８が設けられ
ている。このウエハセンサ３８は、ウエハ１間に挿入配
置されるように櫛歯形に形成されている。
【００２５】上記ウエハ保持機構１６は、両側の固定枠
１４とユニット本体１５との間に昇降ベース１８等と干
渉しない状態で配置された左右一対の保持枠３９を有し
ている。両保持枠３９は、長手方向両端部が連結枠４０
を介して互に連結されることにより平面方形枠状に一体
化されており、上記ユニット本体１５の周囲を非接触で
取り囲んでいる。両保持枠３９の上部には、ウエハ１の
周縁部に下方から接触してウエハ１を保持する合成樹脂
製の保持材４１が設けられている。
１４とユニット本体１５との間に昇降ベース１８等と干
渉しない状態で配置された左右一対の保持枠３９を有し
ている。両保持枠３９は、長手方向両端部が連結枠４０
を介して互に連結されることにより平面方形枠状に一体
化されており、上記ユニット本体１５の周囲を非接触で
取り囲んでいる。両保持枠３９の上部には、ウエハ１の
周縁部に下方から接触してウエハ１を保持する合成樹脂
製の保持材４１が設けられている。
【００２６】両保持材４１の上端部は、上記支持部２８
と同様にウエハ１の周縁部を支持し得るように斜めに形
成されている。本実施の形態では、これら保持材４１お
よび上記支持部２８には、ウエハ１がアイドラ２６や櫛
歯形のウエハセンサ３８に設けられたウエハガイド溝に
よって所定間隔で位置決め整列されるので、ウエハ位置
決め溝が形成されていないが、ウエハ位置決め溝が形成
されていてもよい。
と同様にウエハ１の周縁部を支持し得るように斜めに形
成されている。本実施の形態では、これら保持材４１お
よび上記支持部２８には、ウエハ１がアイドラ２６や櫛
歯形のウエハセンサ３８に設けられたウエハガイド溝に
よって所定間隔で位置決め整列されるので、ウエハ位置
決め溝が形成されていないが、ウエハ位置決め溝が形成
されていてもよい。
【００２７】上記保持機構１６の保持材４１は、図１に
示すように、載置台５上にキャリア３を載置するときに
キャリア３内のウエハ１と非接触の待機位置（下死点）
にあり、ノッチ整列状態をノッチセンサ１２ａ，１２ｂ
で検知するに際して、図４に示すように、ウエハ１をキ
ャリア３から独立して保持する保持位置（上死点）に上
昇するようになっている。本実施の形態では、上記保持
枠３９をユニット本体１５と連動させて昇降動させる構
造上、上記保持枠３９は、ユニット本体１５の上昇開始
の初期に保持位置に上昇し、ユニット本体１５の下降終
了の間際に待機位置に下降するようになっている。上記
保持枠３９は、ユニット本体１５の昇降ストロークより
も小さい所定のストローク、例えば３ｍｍの昇降ストロ
ークで昇降されるようになっている。
示すように、載置台５上にキャリア３を載置するときに
キャリア３内のウエハ１と非接触の待機位置（下死点）
にあり、ノッチ整列状態をノッチセンサ１２ａ，１２ｂ
で検知するに際して、図４に示すように、ウエハ１をキ
ャリア３から独立して保持する保持位置（上死点）に上
昇するようになっている。本実施の形態では、上記保持
枠３９をユニット本体１５と連動させて昇降動させる構
造上、上記保持枠３９は、ユニット本体１５の上昇開始
の初期に保持位置に上昇し、ユニット本体１５の下降終
了の間際に待機位置に下降するようになっている。上記
保持枠３９は、ユニット本体１５の昇降ストロークより
も小さい所定のストローク、例えば３ｍｍの昇降ストロ
ークで昇降されるようになっている。
【００２８】上記保持枠３９をユニット本体１５と連動
させて昇降動させるために、次のような構成が採用され
ている。保持枠３９には、図１、図２ないし図３に示す
ように、ガイドロッド４２が２本ずつ垂直下向きに設け
られ、固定枠１４の内側には、そのガイドロッド４２を
摺動可能に支持するガイドブッシュ４３が固定されてい
る。ガイドロッド４２には、保持枠３９とガイドブッシ
ュ４３との間に介設されて保持枠３９を上方へ付勢する
コイル状のバネ４４が装着され、ガイドロッド４２の下
端部には、ガイドブッシュ４３の下端部に係止される抜
け止め用および上死点位置決め用のストッパー４５が設
けられている。すなわち、このストッパー４５がガイド
ブッシュ４３の下端部に係止された状態のとき、保持枠
３９が上記保持位置となるように設定されている（図４
参照）。
させて昇降動させるために、次のような構成が採用され
ている。保持枠３９には、図１、図２ないし図３に示す
ように、ガイドロッド４２が２本ずつ垂直下向きに設け
られ、固定枠１４の内側には、そのガイドロッド４２を
摺動可能に支持するガイドブッシュ４３が固定されてい
る。ガイドロッド４２には、保持枠３９とガイドブッシ
ュ４３との間に介設されて保持枠３９を上方へ付勢する
コイル状のバネ４４が装着され、ガイドロッド４２の下
端部には、ガイドブッシュ４３の下端部に係止される抜
け止め用および上死点位置決め用のストッパー４５が設
けられている。すなわち、このストッパー４５がガイド
ブッシュ４３の下端部に係止された状態のとき、保持枠
３９が上記保持位置となるように設定されている（図４
参照）。
【００２９】また、上記ユニット本体３９の下部両側部
には、両側方へ水平に突出した突片部４６が設けられ、
上記保持枠３９には、その下死点位置の突片部３６と係
合する下辺４７ａを有し、突片部４６の昇降移動を許容
する開口枠部４７が形成されている。すなわち、ユニッ
ト本体１５が下死点位置にあるとき、突片部４６が開口
枠部４７の下辺４７ａ上に係合してこれを上記バネ４４
のバネ力に抗して押え、保持枠３９を上記待機位置に保
持し、突片部４６がユニット本体１５と共に上昇すると
きに、保持枠３９がバネ４４のバネ力で保持位置まで上
昇するようになっている。
には、両側方へ水平に突出した突片部４６が設けられ、
上記保持枠３９には、その下死点位置の突片部３６と係
合する下辺４７ａを有し、突片部４６の昇降移動を許容
する開口枠部４７が形成されている。すなわち、ユニッ
ト本体１５が下死点位置にあるとき、突片部４６が開口
枠部４７の下辺４７ａ上に係合してこれを上記バネ４４
のバネ力に抗して押え、保持枠３９を上記待機位置に保
持し、突片部４６がユニット本体１５と共に上昇すると
きに、保持枠３９がバネ４４のバネ力で保持位置まで上
昇するようになっている。
【００３０】上記ノッチセンサ１２ａ，１２ｂは、図４
に示すように、ノッチ整列動作が終了し、ユニット本体
１５の下降によりウエハ１が保持材４１に受け渡され、
駆動軸２５がノッチ２から離れたときに、光軸に沿って
光線を飛ばしてノッチ整列状態、すなわちノッチ２が整
列されているか否かを検知するように設定されている。
上記ノッチセンサ１２ａ，１２ｂは、ユニット本体１５
の全ストローク（３０ｍｍ）中、駆動軸２５がノッチ２
から離れてから保持材４１が下降を開始するまでの約２
０ｍｍの動作中に信号を取り込むことが可能である。な
お、ノッチ２が整列されていないことを検出した場合に
は、警報を発したり、或いは再度ノッチ合せをトライさ
せるようにしてもよい。また、トライ回数を任意に設定
できるように構成されていてもよい。
に示すように、ノッチ整列動作が終了し、ユニット本体
１５の下降によりウエハ１が保持材４１に受け渡され、
駆動軸２５がノッチ２から離れたときに、光軸に沿って
光線を飛ばしてノッチ整列状態、すなわちノッチ２が整
列されているか否かを検知するように設定されている。
上記ノッチセンサ１２ａ，１２ｂは、ユニット本体１５
の全ストローク（３０ｍｍ）中、駆動軸２５がノッチ２
から離れてから保持材４１が下降を開始するまでの約２
０ｍｍの動作中に信号を取り込むことが可能である。な
お、ノッチ２が整列されていないことを検出した場合に
は、警報を発したり、或いは再度ノッチ合せをトライさ
せるようにしてもよい。また、トライ回数を任意に設定
できるように構成されていてもよい。
【００３１】次に、以上の構成からなるノッチ整列装置
の作用を述べる。図１に示すように、ウエハ１が収容さ
れたキャリア３を処理装置のキャリア搬出入口における
載置台５上にキャリアガイド８を介してセットすると、
キャリア３が前端押え部９および後端押え部１０により
前後から保持される。次いで、ノッチ合せを開始すべ
く、エアシリンダ２０の駆動によりノッチ整列ユニット
１３のユニット本体１５が上昇される。
の作用を述べる。図１に示すように、ウエハ１が収容さ
れたキャリア３を処理装置のキャリア搬出入口における
載置台５上にキャリアガイド８を介してセットすると、
キャリア３が前端押え部９および後端押え部１０により
前後から保持される。次いで、ノッチ合せを開始すべ
く、エアシリンダ２０の駆動によりノッチ整列ユニット
１３のユニット本体１５が上昇される。
【００３２】このユニット本体１５の上昇に伴う突片部
４６の上昇により、先ず保持機構１６の保持枠３９がバ
ネ４４のバネ力で待機位置から保持位置まで上昇して保
持材４１を介してキャリア３内のウエハ１を保持し（図
４の状態）、次いでユニット本体１５が上死点位置まで
上昇することにより、駆動軸２５およびアイドラ２６が
ウエハ１を保持材４１から受け取って支持する（図５の
状態）。このとき、キャリア３内のウエハ１の位置およ
び枚数がウエハセンサ３８よって検出される。次いで、
モータ３５の駆動により、上記駆動軸２５およびアイド
ラ軸２７が回転駆動され、アイドラ軸２７の回転に伴っ
てアイドラ２６も回転され、これにより駆動軸２５とウ
エハ１との間のスリップが防止され、ウエハ１を確実に
回転させることが可能となる。
４６の上昇により、先ず保持機構１６の保持枠３９がバ
ネ４４のバネ力で待機位置から保持位置まで上昇して保
持材４１を介してキャリア３内のウエハ１を保持し（図
４の状態）、次いでユニット本体１５が上死点位置まで
上昇することにより、駆動軸２５およびアイドラ２６が
ウエハ１を保持材４１から受け取って支持する（図５の
状態）。このとき、キャリア３内のウエハ１の位置およ
び枚数がウエハセンサ３８よって検出される。次いで、
モータ３５の駆動により、上記駆動軸２５およびアイド
ラ軸２７が回転駆動され、アイドラ軸２７の回転に伴っ
てアイドラ２６も回転され、これにより駆動軸２５とウ
エハ１との間のスリップが防止され、ウエハ１を確実に
回転させることが可能となる。
【００３３】図６に示すように、各ウエハ１のノッチ２
が駆動軸２５の位置に至って駆動軸２５に係合すると、
ウエハ１がアイドラ２６を支点に傾いて反対側の支持部
２８に接触し、ウエハ１がアイドラ２６と支持部２８に
より支持された状態となって、ウエハ１の回転が停止す
る。回転を停止したウエハ１およびその位置のアイドラ
２６に対して、駆動軸２５およびアイドラ軸２７は空転
状態となる。このようにしてウエハ１のノッチ２が順次
位置決めされて整列されることになる。
が駆動軸２５の位置に至って駆動軸２５に係合すると、
ウエハ１がアイドラ２６を支点に傾いて反対側の支持部
２８に接触し、ウエハ１がアイドラ２６と支持部２８に
より支持された状態となって、ウエハ１の回転が停止す
る。回転を停止したウエハ１およびその位置のアイドラ
２６に対して、駆動軸２５およびアイドラ軸２７は空転
状態となる。このようにしてウエハ１のノッチ２が順次
位置決めされて整列されることになる。
【００３４】上記モータ３５が所定時間回転してノッチ
整列動作を終了すると、ユニット本体１５がエアシリン
ダ２０の駆動により下降される。このユニット本体１５
の下降に伴い、図４に示すように、ウエハ１が再び上記
保持機構１６の保持材４１に保持され、駆動軸２５がノ
ッチ２から離れたときにノッチセンサ１２ａ，１２ｂが
作動してノッチ２の整列状態が検出される。ウエハ１を
キャリア３から独立して保持した状態でノッチセンサ１
２ａ，１２ｂがノッチ整列状態を検知するため、キャリ
ア３の変形や寸法誤差等に起因する誤検知が解消され、
検知精度の向上が図れる。
整列動作を終了すると、ユニット本体１５がエアシリン
ダ２０の駆動により下降される。このユニット本体１５
の下降に伴い、図４に示すように、ウエハ１が再び上記
保持機構１６の保持材４１に保持され、駆動軸２５がノ
ッチ２から離れたときにノッチセンサ１２ａ，１２ｂが
作動してノッチ２の整列状態が検出される。ウエハ１を
キャリア３から独立して保持した状態でノッチセンサ１
２ａ，１２ｂがノッチ整列状態を検知するため、キャリ
ア３の変形や寸法誤差等に起因する誤検知が解消され、
検知精度の向上が図れる。
【００３５】上記ユニット本体１５が下死点位置に到達
する間際で突片部４６が保持枠３９の開口枠部４７の下
辺４７ａに係合してこれをバネ４４のバネ力に抗して押
し下げ、保持枠３９が待機位置に戻されると共に、ユニ
ット本体１５が下死点位置に至り（図１の状態）、一連
のノッチ合せ動作が終了する。
する間際で突片部４６が保持枠３９の開口枠部４７の下
辺４７ａに係合してこれをバネ４４のバネ力に抗して押
し下げ、保持枠３９が待機位置に戻されると共に、ユニ
ット本体１５が下死点位置に至り（図１の状態）、一連
のノッチ合せ動作が終了する。
【００３６】このように上記ノッチ整列装置によれば、
駆動軸２５の径を細く形成すると共に、アイドラ軸２７
を上記駆動軸２５と連動させて回転駆動するようにした
ので、ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改
善され、ノッチ合せの確実化が図れる。また、上記ノッ
チ２の整列状態をノッチセンサ１２ａ，１２ｂで検知す
る際に全ウエハ１を保持機構１６により一定の高さに保
持するようにしたので、キャリア３の変形や寸法誤差等
に起因する誤検知が解消され、ノッチセンサ１２ａ，１
２ｂによる検知精度の向上が図れる。更に、保持機構１
６をノッチ整列ユニット１３と連動させるようにしたの
で、駆動手段であるエアシリンダ２０が１個で足り、構
造の簡素化、ノッチ整列装置の小型化およびコストの低
減が図れる。
駆動軸２５の径を細く形成すると共に、アイドラ軸２７
を上記駆動軸２５と連動させて回転駆動するようにした
ので、ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改
善され、ノッチ合せの確実化が図れる。また、上記ノッ
チ２の整列状態をノッチセンサ１２ａ，１２ｂで検知す
る際に全ウエハ１を保持機構１６により一定の高さに保
持するようにしたので、キャリア３の変形や寸法誤差等
に起因する誤検知が解消され、ノッチセンサ１２ａ，１
２ｂによる検知精度の向上が図れる。更に、保持機構１
６をノッチ整列ユニット１３と連動させるようにしたの
で、駆動手段であるエアシリンダ２０が１個で足り、構
造の簡素化、ノッチ整列装置の小型化およびコストの低
減が図れる。
【００３７】図７ないし図８は、上記ノッチ整列装置の
調整治具を示している。この調整治具４８は、所定の間
隔を隔てて配置された一対のブロック４９と、両ブロッ
ク４９の両側部に掛け渡して設けられたサイドバー５０
とにより主要部が構成されている。上記ブロック４９に
は、下方に突出した突出部５１が形成され、この突出部
５１の先端には、上記ノッチ整列ユニット１３の駆動軸
２５に係合する係合溝部５２が形成されている。この係
合溝部５２を上記駆動軸２５に係合させることにより、
調整治具４８の幅方向の位置決めがなされるようになっ
ている。この幅方向の位置決め状態で、上記ブロック４
９の外端面をノッチ整列ユニット１３における基準面Ｆ
（図２参照）に位置合せすることにより、調整治具４８
の長手方向の位置決めがなされるようになっている。
調整治具を示している。この調整治具４８は、所定の間
隔を隔てて配置された一対のブロック４９と、両ブロッ
ク４９の両側部に掛け渡して設けられたサイドバー５０
とにより主要部が構成されている。上記ブロック４９に
は、下方に突出した突出部５１が形成され、この突出部
５１の先端には、上記ノッチ整列ユニット１３の駆動軸
２５に係合する係合溝部５２が形成されている。この係
合溝部５２を上記駆動軸２５に係合させることにより、
調整治具４８の幅方向の位置決めがなされるようになっ
ている。この幅方向の位置決め状態で、上記ブロック４
９の外端面をノッチ整列ユニット１３における基準面Ｆ
（図２参照）に位置合せすることにより、調整治具４８
の長手方向の位置決めがなされるようになっている。
【００３８】上記サイドバー５０は、上記セット部７を
位置決めするセット部基準部とされ、サイドバー５０の
側面によってキャリアガイド８の幅方向の位置決め調整
ができ、サイドバー５０の長手方向両端部によって前端
押え部９および後端押え部１０の位置決め調整ができる
ようになっている。上記ブロック４９には、ノッチセン
サを位置決めするセンサ基準部としての位置決めロッド
５３がノッチセンサ１２ａ，１２ｂの光軸と一致するよ
うに貫通して設けられ、この位置決めロッド５３の長手
方向両端部には、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂの透光孔
に係合する凸部５３ａが形成されている。
位置決めするセット部基準部とされ、サイドバー５０の
側面によってキャリアガイド８の幅方向の位置決め調整
ができ、サイドバー５０の長手方向両端部によって前端
押え部９および後端押え部１０の位置決め調整ができる
ようになっている。上記ブロック４９には、ノッチセン
サを位置決めするセンサ基準部としての位置決めロッド
５３がノッチセンサ１２ａ，１２ｂの光軸と一致するよ
うに貫通して設けられ、この位置決めロッド５３の長手
方向両端部には、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂの透光孔
に係合する凸部５３ａが形成されている。
【００３９】また、上記ブロック４９には、調整治具４
８を用いたノッチ整列装置６の調整後に、調整治具４８
を上下逆にしてセット部７にセットしたときに、ノッチ
センサ１２ａ，１２ｂの光軸と一致する孔軸確認孔５４
が形成されており、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂの光を
実際に通して確認できるようになっている。このように
構成された調整治具４８によれば、ノッチ整列ユニット
１３の駆動軸２５に係合する係合溝部５２と、セット部
７を位置決めするセット部基準部（サイドバー）５０
と、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂを位置決めするセンサ
基準部（位置決めロッド）５３とを備えているため、ノ
ッチ整列装置６の組立調整時の個人差をなくすことがで
き、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂによる検知精度ないし
ノッチ合せ精度の向上が図れる。
８を用いたノッチ整列装置６の調整後に、調整治具４８
を上下逆にしてセット部７にセットしたときに、ノッチ
センサ１２ａ，１２ｂの光軸と一致する孔軸確認孔５４
が形成されており、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂの光を
実際に通して確認できるようになっている。このように
構成された調整治具４８によれば、ノッチ整列ユニット
１３の駆動軸２５に係合する係合溝部５２と、セット部
７を位置決めするセット部基準部（サイドバー）５０
と、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂを位置決めするセンサ
基準部（位置決めロッド）５３とを備えているため、ノ
ッチ整列装置６の組立調整時の個人差をなくすことがで
き、ノッチセンサ１２ａ，１２ｂによる検知精度ないし
ノッチ合せ精度の向上が図れる。
【００４０】以上、本発明の実施の形態を図面により詳
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態で
は、保持機構１６をノッチ整列ユニット１３と連動して
昇降させるように構成されているが、保持機構１６は、
ノッチ整列ユニット１３とは別個に昇降駆動されるよう
に構成されていてもよい。
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、上記実施の形態で
は、保持機構１６をノッチ整列ユニット１３と連動して
昇降させるように構成されているが、保持機構１６は、
ノッチ整列ユニット１３とは別個に昇降駆動されるよう
に構成されていてもよい。
【００４１】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果が得られる。
な優れた効果が得られる。
【００４２】（１）請求項１記載のノッチ整列装置によ
れば、駆動軸の径を細く形成すると共に、アイドラ軸を
上記駆動軸と連動させて回転駆動するようにしたので、
ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改善さ
れ、ノッチ合せの確実化が図れる。
れば、駆動軸の径を細く形成すると共に、アイドラ軸を
上記駆動軸と連動させて回転駆動するようにしたので、
ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改善さ
れ、ノッチ合せの確実化が図れる。
【００４３】（２）請求項２記載のノッチ整列装置によ
れば、駆動軸の径を細く形成すると共に、アイドラ軸を
上記駆動軸と連動させて回転駆動するようにし、且つ上
記ノッチの整列状態をノッチセンサで検知する際に全被
処理基板を一定の高さに保持する保持機構を設けたの
で、ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改善
され、ノッチ合せの確実化が図れると共に、上記ノッチ
の整列状態を上記ノッチセンサで検知する際に全被処理
基板を容器に依存させずに独立して一定の高さに保持す
ることができ、ノッチセンサによる検知精度の向上が図
れる。
れば、駆動軸の径を細く形成すると共に、アイドラ軸を
上記駆動軸と連動させて回転駆動するようにし、且つ上
記ノッチの整列状態をノッチセンサで検知する際に全被
処理基板を一定の高さに保持する保持機構を設けたの
で、ノッチ整列動作時の回転性および位置決め性が改善
され、ノッチ合せの確実化が図れると共に、上記ノッチ
の整列状態を上記ノッチセンサで検知する際に全被処理
基板を容器に依存させずに独立して一定の高さに保持す
ることができ、ノッチセンサによる検知精度の向上が図
れる。
【００４４】（３）請求項３記載のノッチ整列装置の調
整治具によれば、駆動軸に係合する係合溝部と、セット
部を位置決めするセット部基準部と、ノッチセンサを位
置決めするセンサ基準部とを備えているため、ノッチ整
列装置の組立調整時の個人差をなくすことができ、ノッ
チ合せ精度の向上およびノッチセンサによる検知精度の
向上が図れる。
整治具によれば、駆動軸に係合する係合溝部と、セット
部を位置決めするセット部基準部と、ノッチセンサを位
置決めするセンサ基準部とを備えているため、ノッチ整
列装置の組立調整時の個人差をなくすことができ、ノッ
チ合せ精度の向上およびノッチセンサによる検知精度の
向上が図れる。
【図１】本発明の実施の形態を示すノッチ整列装置の一
部断面正面図である。
部断面正面図である。
【図２】同ノッチ整列装置のノッチ整列ユニットの拡大
平面図である。
平面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線概略断面図である。
【図４】ウエハを支持ガイドで支持した状態を示す一部
断面正面図である。
断面正面図である。
【図５】ノッチ整列作動状態を示す一部断面正面図であ
る。
る。
【図６】ノッチ整列状態を示す一部断面正面図である。
【図７】調整治具によるノッチ整列装置の調整状態を示
す一部断面正面図である。
す一部断面正面図である。
【図８】調整治具によるノッチ整列装置の調整状態を示
す概略的平面図である。
す概略的平面図である。
１ 半導体ウエハ（被処理基板） ２ ノッチ ３ キャリア（容器） ６ ノッチ整列装置 ７ セット部 １２ａ，１２ｂ ノッチセンサ １３ ノッチ整列ユニット １６ 保持機構 ２５ 駆動軸 ２６ アイドラ ２７ アイドラ軸 ２８ 支持部 ４８ 調整治具 ５０ サイドバー（セット部基準部） ５２ 係合溝部 ５３ 位置決めロッド（センサ基準部）
Claims (3)
- 【請求項１】 周縁部にノッチを有する複数枚の被処理
基板を容器内に収納した状態で、上記被処理基板の周縁
部に下方から接して回転駆動する駆動軸と、この駆動軸
の一側方に設けられ、各被処理基板の周縁部をアイドラ
を介して回転可能に支持するアイドラ軸と、上記駆動軸
の他側方に設けられ、上記ノッチが上記駆動軸に係合し
たときに傾く被処理基板の周縁部を支持する支持部とを
有するノッチ整列ユニットを備え、上記駆動軸の径を細
く形成すると共に、上記アイドラ軸を上記駆動軸と連動
させて回転駆動するようにしたことを特徴とするノッチ
整列装置。 - 【請求項２】 周縁部にノッチを有する複数枚の被処理
基板を容器内に収納した状態で、上記被処理基板の周縁
部に下方から接して回転駆動する駆動軸、この駆動軸の
一側方に設けられ、各被処理基板の周縁部をアイドラを
介して回転可能に支持するアイドラ軸、上記駆動軸の他
側方に設けられ、上記ノッチが上記駆動軸に係合したと
きに傾く被処理基板の周縁部を支持する支持部を有する
ノッチ整列ユニットと、上記ノッチの整列状態を検知す
る光学式ノッチセンサとを備え、上記駆動軸の径を細く
形成すると共に、上記アイドラ軸を上記駆動軸と連動さ
せて回転駆動するようにし、且つ上記ノッチの整列状態
を上記ノッチセンサで検知する際に全被処理基板を一定
の高さに保持する保持機構を設けたことを特徴とするノ
ッチ整列装置。 - 【請求項３】 周縁部にノッチを有する複数枚の被処理
基板を収納した容器を位置決めセットするセット部と、
上記容器内の被処理基板の周縁部に下方から接して回転
駆動する駆動軸等を有するノッチ整列ユニットと、上記
ノッチの整列状態を検知する光学式ノッチセンサとを備
えたノッチ整列装置を調整する調整治具であって、上記
駆動軸に係合する係合溝部と、上記セット部を位置決め
するセット部基準部と、上記ノッチセンサを位置決めす
るセンサ基準部とを備えていることを特徴とするノッチ
整列装置の調整治具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25380496A JP3439607B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ノッチ整列装置 |
| TW086112681A TW419713B (en) | 1996-09-04 | 1997-09-03 | Notch alignment apparatus and adjustment jig for the same |
| KR1019970045666A KR100443326B1 (ko) | 1996-09-04 | 1997-09-03 | 노치정렬장치 |
| US08/922,371 US5970818A (en) | 1996-09-04 | 1997-09-03 | Notch alignment apparatus and adjustment jig for the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25380496A JP3439607B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ノッチ整列装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1079415A true JPH1079415A (ja) | 1998-03-24 |
| JP3439607B2 JP3439607B2 (ja) | 2003-08-25 |
Family
ID=17256389
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25380496A Expired - Fee Related JP3439607B2 (ja) | 1996-09-04 | 1996-09-04 | ノッチ整列装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5970818A (ja) |
| JP (1) | JP3439607B2 (ja) |
| KR (1) | KR100443326B1 (ja) |
| TW (1) | TW419713B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100959941B1 (ko) | 2001-07-12 | 2010-05-26 | 브룩스-피알아이 오토메이션(스윗질랜드) 게엠베하 | 수직으로 배열된 복수개의 디스크들을 정렬하기 위한 장치 |
Families Citing this family (17)
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| US6389326B2 (en) * | 1997-08-22 | 2002-05-14 | Globitech Incorporated | Differential process control method |
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| FR2778496B1 (fr) * | 1998-05-05 | 2002-04-19 | Recif Sa | Procede et dispositif de changement de position d'une plaque de semi-conducteur |
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| KR100981906B1 (ko) | 2008-10-24 | 2010-09-13 | 주식회사 테스 | 웨이퍼 블레이드 |
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| CN115863236B (zh) * | 2022-11-23 | 2023-12-01 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种晶圆理片方法 |
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- 1997-09-03 TW TW086112681A patent/TW419713B/zh not_active IP Right Cessation
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| KR19980024313A (ko) | 1998-07-06 |
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|
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