KR100364601B1 - 웨이퍼 플랫존 얼라이너 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼의 플랫존을 얼라인먼트하기 위하여 웨이퍼 회전 롤러에 접촉된 웨이퍼의 움직임을 격벽에 의하여 제한함으로써 웨이퍼 카세트의 슬롯에 웨이퍼가 강하게 밀착되는 것을 방지함은 물론 플랫존 얼라인먼트가 종료된 웨이퍼가 지정된 위치에 정지하도록 하는 가이드 롤러가 다양한 원인에 의하여 웨이퍼에 강하게 추돌 하더라도 웨이퍼 파손 및 가이드 롤러의 파손이 발생하지 않도록 한 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 관한 것으로, 본 발명에 의하면 웨이퍼를 회전시켜 플랫존을 얼라인먼트시키는 구동 롤러에 웨이퍼의 움직임을 제한하는 격벽들을 형성하여 웨이퍼가 웨이퍼 카세트의 슬롯 등에 강하게 밀착되어 웨이퍼에 과도한 마찰이 발생하는 것을 방지하며, 플랫존 얼라인먼트가 된 웨이퍼가 더 이상 회전하지 않도록 하는 역할을 하는 웨이퍼 가이드 롤러의 재질을 탄성이 있으면서 표면 마찰계수가 작은 재질을 사용함으로써 웨이퍼 가이드 롤러가 웨이퍼와 부딪히더라도 웨이퍼 또는 웨이퍼 가이드 롤러의 파손이 발생하지 않도록 하는 효과가 있다.

Description

웨이퍼 플랫존 얼라이너{Wafer flat zone aligner}

본 발명은 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼의 플랫존을 얼라인먼트하는 중에 웨이퍼가 격벽의 측면을 타고 이동하지 못하도록 하면서 웨이퍼와의 마찰력을 저감시켜 웨이퍼 손상이나 파티클 발생이 방지되도록 하는 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 관한 것이다.

최근 들어 급속한 기술 개발이 이루어지고 있는 반도체 제품은 매우 정밀한 복수개의 반도체 제조 공정 및 반도체 제조 공정을 진행하는 반도체 제조 설비에 의하여 제작되는 바, 최근에는 단위 면적 당 방대한 데이터를 저장하거나, 단위 시간동안 방대한 데이터를 처리할 수 있는 고집적, 고성능 반도체 제품이 선보여 다양한 산업, 예를 들면, 전기, 전자, 컴퓨터, 우주항공산업에 이르기까지 폭넓게 적용되고 있는 실정이다.

이와 같은 반도체 제품은 주로 고유 특성을 갖는 반도체 박막에 정밀한 회로 패턴, 예를 들면, 회로 선폭이 약 0.10㎛ 정도에 불과한 정밀한 전기적 회로, 예를 들면, 박막 트랜지스터, 박막 커패시턴스, 박막 저항 등과 같은 반도체 소자를 구성하여 데이터를 저장하거나 데이터의 연산을 수행한다.

이와 같은 정밀한 반도체 박막 패턴을 형성하기 위해서는 앞서 언급하였듯이 매우 정밀한 반도체 박막 공정을 진행하는 반도체 제조 설비 및 복수개의 반도체 칩이 형성되는 순수 실리콘 웨이퍼를 필요로 한다.

이때, 웨이퍼에 형성된 복수개의 반도체 칩에 반도체 공정을 진행하기 위해서는 웨이퍼가 반도체 제조 설비의 지정된 위치에 정확하게 얼라인먼트 되어야 한다.

이를 위해서 웨이퍼에는 공정의 기준 위치를 인식할 수 있도록 웨이퍼의 일부를 평평하게 잘라내어 플랫존을 형성함으로써, 반도체 제조 설비와 웨이퍼의 얼라인먼트가 정확하게 이루어질 수 있도록 한다.

이처럼 플랫존이 형성된 웨이퍼는 선행 공정이 진행된 상태에서 웨이퍼 트랜스퍼에 의하여 웨이퍼 카세트로 이송된 후, 후속 공정으로 이송되어 후속 반도체 공정이 진행된다.

이때, 선행 공정이 종료된 웨이퍼는 웨이퍼 카세트에 로딩 도중 또는 웨이퍼 트랜스퍼에 의하여 이송되는 도중 플랫존 얼라인먼트가 지정된 위치로부터 변경될 가능성이 많기 때문에 대부분의 반도체 제조 설비는 반도체 제조 공정을 진행하기 이전에 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼의 플랫존 얼라인먼트를 수행한다.

플랫존 얼라인먼트는 주로 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 "플랫존 얼라이너"라 불리우는 장비로 이송한 후 수행된다.

이와 같은 플랫존 얼라이너는 웨이퍼가 원주면과 플랫존으로 이루어진 것에 착안하여 웨이퍼의 얼라인먼트를 수행할 수 있도록 한 장비로서, 이러한 플랫존 얼라인먼트 메카니즘을 간략하게 살펴보면 다음과 같다.

밑면이 개구된 상태로 웨이퍼가 웨이퍼 슬롯에 정렬된 웨이퍼 카세트가 지정된 위치로 이송되면, 스테인레스 재질로 제작된 축의 표면이 실리콘 재질로 도포된 2 개의 구동 롤러 및 구동 롤러보다 다소 높은 곳에 위치한 석영 재질의 가이드 롤러가 상승하여 웨이퍼의 원주면과 접촉된 상태로 구동 롤러가 모터 등에 의하여 회전됨으로써 웨이퍼 플랫존 얼라인먼트가 수행된다.

구체적으로, 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼 중 플랫존 얼라인먼트가 정확하게 수행되지 않은 웨이퍼는 원주면이 가이드 롤러, 2 개의 구동 롤러에 모두 접촉 되어 2 개의 구동 롤러에 의하여 회전하게 되고, 웨이퍼가 계속 회전하다 웨이퍼의플랫존이 가이드 롤러에 닿는 순간 구동 롤러와 웨이퍼 사이에는 웨이퍼를 회전시키는 힘이 크게 감소되어 웨이퍼는 더 이상 회전하지 않게 되는 것이다.

웨이퍼 카세트에 수납된 모든 웨이퍼는 이와 같은 과정을 거쳐 가이드 롤러의 상면에 정렬됨으로써 웨이퍼 플랫존 얼라인먼트가 수행된다.

그러나, 웨이퍼 카세트의 웨이퍼 슬롯에 수납된 복수매의 웨이퍼의 플랫존을 빠른 시간 내에 정렬하는 웨이퍼 플랫존 얼라이너는 웨이퍼의 에지 깨짐 또는 웨이퍼가 플랫존 정렬 과정에서 웨이퍼 슬롯이 강하게 마찰되면서 웨이퍼의 에지 스크랫치 및 파티클이 발생하는 문제점을 갖는다.

이와 같은 문제점은 석영 재질로 제작된 가이드 롤러를 업-다운시키는 업-다운 장치의 업-다운 변위가 때때로 정확하지 않기 때문으로, 이와 같이 업-다운 장치의 변위가 정확하지 않을 경우, 경질이면서 취성이 약한 석영 재질의 가이드 롤러와 역시 경질이면서 취성이 약한 순수 실리콘 웨이퍼가 부딪혀 가이드 롤러의 파손 또는 웨이퍼의 에지에 강한 충격을 주어 웨이퍼의 에지에 미세 크랙을 발생 또는 웨이퍼의 에지 파손이 발생된다. 이처럼 웨이퍼 에지에 미세 크랙이 발생할 경우, 후속 공정에서 고온/저온이 반복될 경우 크랙이 발생한 곳에 응력이 집중되어 크랙이 액티브 영역으로까지 전파되어 반도체 칩 불량을 유발시킨다.

다른 문제점, 예를 들면, 웨이퍼의 에지 스크랫치 및 파티클이 발생하는 문제점의 원인을 살펴보면 다음과 같다.

플랫존 얼라이너에는 각 웨이퍼의 앞면과 뒷면에 마주보는 센서 플레이트가 형성되어 센서 플레이트 사이에 웨이퍼가 위치할 경우 웨이퍼가 정확한 위치에 있음을 판단한다. 그러나, 센서 플레이트가 웨이퍼 카세트 내부로 삽입되면서 때때로 센서 플레이트의 윗쪽 평평한 면에 웨이퍼가 위치하게 되어 실제 웨이퍼 카세트에는 웨이퍼가 존재하지만 센서 플레이트의 사이에는 웨이퍼가 존재하지 않음으로 웨이퍼 위치 불량 에러가 발생한다.

이와 같은 문제를 극복하기 위하여 통상 플랫존 얼라이너에 결합되는 웨이퍼 카세트는 플랫존 얼라이너에 의하여 수평에 대하여 약 2°정도 기울어짐이 가능토록 하여 웨이퍼가 약 2°만큼 기울어지도록 하여 웨이퍼 슬롯 사이의 임의의 위치에 위치하던 웨이퍼가 중력에 의하여 웨이퍼 슬롯의 지정된 위치에 고정되도록 하여 센서 플레이트의 사이에 반드시 삽입되도록 할 수 있다.

그러나, 이와 같이 웨이퍼를 약 2°정도 기울인 상태에서 웨이퍼의 원주면이 실리콘 재질로 구성된 표면을 갖는 구동 롤러에 맞닿은 상태로 회전할 경우, 구동 롤러의 표면에는 웨이퍼의 원주면과의 마찰, 마멸 등에 의하여 소정 깊이를 갖는 홈이 구동 롤러의 외주면에 연속적으로 형성된다.

때때로 이 홈은 구동 롤러의 외주면에 사선 형태로 나타남으로써 웨이퍼가 구동롤러 상에서 회전될 때, 웨이퍼가 사선 형태의 홈의 내부로 유입될 경우 홈을 따라 이동하기 시작한다.

이때, 웨이퍼는 웨이퍼 슬롯과 슬롯 사이의 영역에서밖에 움직일 수 없지만 웨이퍼 중 구동롤러와 닿은 부분은 이와 같은 제약이 없어 결국 구동롤러와 맞닿은 웨이퍼 부분은 구동롤러를 따라 일정 방향으로 계속 이송되지만, 웨이퍼 중 웨이퍼 슬롯 부분의 웨이퍼는 움직일 수 없어, 결국 웨이퍼 슬롯과 강하게 접촉되고, 결국웨이퍼는 웨이퍼 슬롯과 강하게 마찰되어, 마찰음, 스크랫치, 파티클 발생, 플랫존 얼라인먼트되기 이전에 웨이퍼의 회전 정지 등이 발생한다.

이에 본 발명의 목적은 웨이퍼의 에지 크랙, 가이드 롤러의 파손이 발생하지 않도록 구성된 웨이퍼 플랫존 얼라이너를 제공함에 있다.

본 발명의 다른 목적은 웨이퍼가 구동 롤러를 따라 회전하는 과정에서 웨이퍼의 움직임이 웨이퍼 슬롯과 웨이퍼 슬롯의 사이에 국한되도록 하여 웨이퍼의 밑면 또는 앞쪽면 에지가 웨이퍼 슬롯에 강하게 마찰되지 않도록 한 웨이퍼 플랫존 얼라이너를 제공함에 있다.

도 1은 본 발명에 의한 웨이퍼 플랫존 얼라이너의 분해 사시도.

도 2는 본 발명에 의한 웨이퍼 회전용 구동롤러의 정면도.

도 3은 본 발명에 의한 웨이퍼 회전용 구동롤러의 절개 사시도.

도 4, 도 5는 본 발명에 의한 웨이퍼 플랫존 얼라이너의 작용을 설명하기 위한 작용 설명도.

상기 목적을 구현하기 위하여 본 발명에서는 회전축과 상기 회전축의 길이방향으로 일정 간격이 되게 돌출 형성되어 상기 웨이퍼의 축방향 이동 거리를 제한하게 되는 격벽 및 상기 회전축을 회전시키는 구동장치를 포함하는 웨이퍼 회전 유닛과, 상기 웨이퍼 회전 유닛에 의하여 회전되는 웨이퍼의 플랫존이 안착되어 웨이퍼의 회전을 중지시켜 플랫존 얼라인먼트를 수행하는 웨이퍼 가이드 유닛과, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에 삽입되어 웨이퍼의 존재 유무를 감지하는 웨이퍼 감지 수단으로 이루어지는 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 있어서, 가 제공된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부된 도 2에는 본 발명에 의한 플랫존 얼라이너(100)의 분해 사시도가 도시되어 있다.

구체적으로, 본 발명에 의한 플랫존 얼라이너(100)는 전체적으로 보아, 고정 브라켓(10), 웨이퍼 회전 유닛(20), 웨이퍼 가이드 유닛(30) 및 웨이퍼 감지 유닛(40)으로 구성된다.

고정 브라켓(10)은 2 개의 수직 브라켓(2,4)과 1 개의 수평 브라켓(5)으로 구성되며, 수직으로 세워진 2 개의 수직 브라켓(2,4)의 밑면에는 수평 브라켓(5)이 결합된 형상을 갖는다.

이와 같은 구성을 갖는 고정 브라켓(10)에는 웨이퍼 회전 유닛(20)이 결합된다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 웨이퍼 회전 유닛(20)은 크게 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)와 구동 롤러 회전 유닛(29)으로 구성된다.

보다 구체적으로 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)는 도 2, 도 3에 보다 구체적으로 도시되어 있는 바, 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)는 회전축(21)과 이 회전축(21)의 외주면에 회전축(21)의 외주면보다는 큰 외경을 갖는 도우넛 형상을 갖는 복수개의 격벽(22)이 구비되는 구성이다.이와 같은 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)는 2 개가 한 쌍을 이루며 앞서 설명한 고정 브라켓(10)의 구성 요소인 2 개의 수직 브라켓(2,4)를 매개로 수직 브라켓(2,4)의 사이에 설치된다.이때, 2 개의 수직 브라켓(2,4)에는 각각 마주보도록 축공 및 베어링 등이 설치되고, 베어링에는 2 개의 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)의 회전축(21)이 삽입된 후 고정된다.이때, 첨부된 도 2를 참조하면, 2 개의 수직 브라켓(2,4)중 어느 하나에 결합된 2 개의 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)에 형성된 각 회전축(21)은 수직 브라켓(2)으로부터 다소 돌출되고, 돌출된 회전축(21)에는 구동롤러 회전유닛(29)이 설치된다.구동롤러 회전유닛(29)은 다시 회전축(21)에 각각 설치된 2 개의 피동 풀리(29a), 구동 모터(29b), 구동 풀리(29c) 및 텐션 전달용 벨트(29d)로 구성된다.이와 같이 고정 브라켓(10)의 수직 브라켓(2,4)에 결합된 웨이퍼 회전 유닛(20)이 결합된 상태에서 웨이퍼 회전 유닛(20)의 앞쪽에는 웨이퍼 가이드 유닛(30)이 결합된다.이때, 웨이퍼 가이드 유닛(30)은 가이드 롤러(31) 및 가이드 롤러 브라켓(32), 업-다운 실린더(33)로 구성된다.이와 같은 가이드 롤러(31)의 양단부에는 회전축이 돌출되고, 회전축은 가이드 롤러 브라켓(32)에 의하여 지지되며, 가이드 롤러 브라켓(32)은 다시 업-다운 실린더(33)에 결합된다.이와 같이 고정 브라켓(10)에 웨이퍼 회전 유닛(20) 및 웨이퍼 가이드 유닛(30)이 결합된 상태에서 고정 브라켓(10)에는 다시 웨이퍼 카세트에 수납된 웨이퍼를 감지하기 위한 웨이퍼 감지 유닛(40)이 설치된다.웨이퍼 감지 유닛(40)은 웨이퍼 감지 블록(41)과 웨이퍼 감지용 센서 플레이트(42)로 구성된다.웨이퍼 감지용 센서 플레이트(42)는 웨이퍼 감지 블록(41)의 상면에 복수개가 형성된다.이때, 웨이퍼 감지용 센서 플레이트(42)는 2 개가 하나의 웨이퍼를 감지함으로 즉, 일실시예로 웨이퍼를 기준으로 왼쪽에는 발광센서, 오른쪽에는 수광 센서가 설치되어 웨이퍼 카세트의 웨이퍼가 모두 플랫존 얼라인먼트 공정에 참여하는가를 판단한다.이상과 같은 구성은 종전과 대동소이하다.다만 본 발명은 상기한 구성에서 특히 웨이퍼 회전 유닛(20)의 구성을 개선시킨데 가장 두드러진 특징이 있다.즉 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)와 구동 롤러 회전 유닛(29)으로 이루어지는 구성에서 특히 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)를 구성하는 회전축(21)에 형성되는 격벽(22)의 양측면은 외주면에서 센터쪽으로 테이퍼지게 하면서 회전축(21)에 맞닿는 양측면의 일정 직경은 회전축(21)과 직각을 이루도록 하는 것이다.이처럼 격벽(22)의 양측면을 테이퍼지게 하면 웨이퍼의 외주면은 회전축(21)과 격벽(22)이 수직을 이루는 부분에 위치함으로써 웨이퍼가 인접한 격벽(22)으로 넘어가는 것을 방지하게 된다. 그리고 격벽(22)의 양측면을 테이퍼지게 하면 웨이퍼가 격벽(22)과 격벽(22)의 사이로 용이하게 삽입될 수가 있다.이로써, 웨이퍼는 격벽(22)의 사이로 삽입되기는 매우 용이하지만 일단 격벽(22)의 사이로 유입된 후에는 어떠한 경우에 있어서도 격벽(22)과 격벽(22)의 사이에서만 이동이 가능하게 되는 것이다.그리고 격벽(22)과 격벽(22) 사이의 회전축(21)에는 웨이퍼와 같은 재질로서 실리콘 재질로 링형상의 원형 띠(24a)가 구비되도록 한다.한편 회전축(21)에는 공업용 엔지니어링 플라스틱으로 제작되는 부싱(24)이 구비되고, 그 외부를 다시 실리콘 재질의 원형 띠(24a)가 커버하는 구성으로도 형성이 가능하다.

이때, 격벽(22)은 엔지니어링 플라스틱, 예를 들면, PEEK, PE 재질로, 회전축(21)이 끼워지는 내경을 갖고 웨이퍼가 고속회전에 의해서도 어느 하나의 격벽(22)으로부터 인접한 격벽(22)으로 넘어갈 수 없는 외경을 갖도록 한다.

원형 띠(24a)는 소모품으로 웨이퍼를 회전시킴으로써 마멸, 마모가 발생할 경우에는 이 원형 띠(24a)만을 교체한다.

한편 앞서 설명한 실시예는 별도의 격벽(22)에 미리 만들어진 부싱(24)을 결합하고, 격벽(22)과 격벽(22)의 사이에 해당하는 부싱(24)에 원형 띠(24a)를 설치한 즉, 조립 방식으로 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)를 제작하는 일실시예가 설명되고 있지만, 이는 본 발명의 하나의 실시예로 다르게 변형할 수 있다.

예를 들면, 도 3의 형태로, 즉, 원형 띠(24a)를 제외한 상태로 정밀한 금형을 제작한 후, 금형에 용융된 PEEK 재질, PE 재질을 넣어 성형하는 방법이 사용될 수 있는 바, 이때, 회전축(21)과 격벽(22) 들은 모두 일체형으로 제작될 수 있으며, 격벽(22)과 격벽(22)의 사이에 단지 원형 띠(24a) 만이 끼워짐으로써 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)를 제작할 수 있다.

특히 본 발명의 가이드 롤러(31)는 웨이퍼를 지지하면서 웨이퍼의 플랫존과 슬립이 일어나는 것이 가능하도록 마찰계수가 낮음과 동시에 웨이퍼와 충돌하더라도 웨이퍼의 에지에 크랙 또는 깨짐이 발생하지 않도록 탄성을 갖는 PEEK 재질 및 PE 재질로 구성된다.

이하, 이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 웨이퍼 플랫존 얼라이너(100)의 작용을 첨부된 도 4 또는 도 5를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

먼저, 선행하는 반도체 공정이 종료된 웨이퍼(6)는 웨이퍼 카세트(7)에 순서대로 로딩된 후, 후속 공정을 진행하기 위해 후속 반도체 제조 설비로 이송된다.

이어서, 후속 반도체 제조 공정을 진행하기 이전에 웨이퍼 카세트(7)에 로딩된 웨이퍼(6)는 웨이퍼 플랫존 얼라이너(100)에서 플랫존 얼라인먼트 공정이 수행된다.

플랫존 얼라인먼트 공정을 진행하기 위해서 웨이퍼 카세트(7)는 플랫존 얼라이너(100)의 상부에 안착되면서 웨이퍼 회전 유닛(20)의 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)의 격벽(22)과 격벽(22)의 사이에는 플랫존 얼라인먼트 공정이 수행될 웨이퍼(6)가 삽입된 상태에서 웨이퍼 가이드 유닛(30)의 가이드 롤러(31)가 업-다운 실린더(33)에 의하여 상승하면서 지정된 위치에 고정된다.

이후, 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)가 회전하기 시작하면서 웨이퍼(6)의 원주면이 가이드 롤러(31) 및 웨이퍼 회전용 구동 롤러(25)에 닿은 경우, 즉, 플랫존 얼라인먼트가 정확하게 수행되지 않은 웨이퍼(6)는 격벽(22)과 격벽(22)의 사이에서 움직이면서 회전하기 시작하여, 웨이퍼(6)의 플랫존이 가이드 롤러(31) 상에 걸림으로써 플랫존 얼라인먼트가 수행된다.

이후, 플랫존 얼라인먼트가 완전히 종료된 웨이퍼(6)가 수납된 웨이퍼 카세트(7)는 후속 반도체 제조 설비로 이송된 후 후속 반도체 제조 공정이 진행된다.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 웨이퍼를 회전시켜 플랫존을 얼라인먼트시키는 구동 롤러(25)에 웨이퍼의 움직임을 제한하는 격벽(22)들을 형성하여 웨이퍼가 웨이퍼 카세트의 슬롯 등에 강하게 밀착되어 웨이퍼에 과도한 마찰이 발생하는 것을 방지하는 동시에 웨이퍼의 외주면과 면접촉하게 되는 부위로 웨이퍼와 동일한 실리콘 재질인 원형 띠(24a)를 구비하여 웨이퍼와의 면마찰력 증대로 안정된 웨이퍼 회전을 제공하면서 웨이퍼 에지부 손상이 최대한 방지되도록 한다.또한 플랫존 얼라인먼트가 된 웨이퍼가 더 이상 회전하지 않도록 하는 역할을 하는 웨이퍼 가이드 롤러의 재질을 탄성이 있으면서 표면 마찰계수가 작은 재질을 사용함으로써 웨이퍼 가이드 롤러가 웨이퍼와 부딪히더라도 웨이퍼 또는 웨이퍼 가이드 롤러의 파손이 발생하지 않도록 하는 효과가 있다.

Claims (5)

1. 회전축(21)과 상기 회전축(21)의 길이방향으로 일정 간격이 되게 돌출 형성되어 상기 웨이퍼의 축방향 이동 거리를 제한하게 되는 격벽(22) 및 상기 회전축(21)을 회전시키는 구동장치를 포함하는 웨이퍼 회전 유닛(20)과, 상기 웨이퍼 회전 유닛(20)에 의하여 회전되는 웨이퍼의 플랫존이 안착되어 웨이퍼의 회전을 중지시켜 플랫존 얼라인먼트를 수행하는 웨이퍼 가이드 유닛(30)과, 웨이퍼와 웨이퍼의 사이에 삽입되어 웨이퍼의 존재 유무를 감지하는 웨이퍼 감지 수단(40)으로 이루어지는 웨이퍼 플랫존 얼라이너에 있어서,

   상기 웨이퍼 회전 유닛(20)의 상기 격벽(22)의 양측면은 외주면에서 센터쪽으로 테이퍼지게 하면서 상기 회전축(21)에 맞닿는 양측면의 일정 직경은 회전축(21)과 직각을 이루도록 하고, 상기 격벽(22)과 격벽(22)간 회전축(21)의 외주면에는 실리콘 재질의 원형 띠(24a)로서 커버되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 얼라이너.
2. (삭제)
3. (삭제)
4. 제 1 항에 있어서, 상기 회전축과 상기 격벽은 공업용 엔지니어링 플라스틱인 PEEK, PE 재질중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 얼라이너.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드 유닛은

   공업용 엔지니어링 플라스틱인 PEEK, PE 재질중 어느 하나로 제작된 가이드 롤러와,

   상기 가이드 롤러를 지지하는 가이드 롤러 브라켓 및

   상기 가이드 롤러 브라켓을 업-다운 시키는 업-다운 실린더로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 플랫존 얼라이너.