JP5231070B2 - 気体軸受けの接触検知機構 - Google Patents
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Description
= 1/2×24V
= 12Vとなる。
1/R=1/R1+1/R2
1/R=1+1=2
よって、R=1/2となる。
1/Ry=1/R6+1/(R4+R1+R3)
=1+1/3=4/3となり、
Ry=3/4と求められる。
Ey=24V×{Ry/(R5+Ry)}
=24V×{3/4/(1+3/4)}
=24V×3/7=10.28Vとなる。
V1=10.28V×R3/(R4+R1+R3)
=10.28V×1/3
=3.42Vとなる。
10 粗研削ユニット
28 仕上げ研削ユニット
44 ターンテーブル
46 チャックテーブル
68 ターンテーブルベース
70 回転軸
72 気体軸受け(空気軸受け)
74 第1接触検知回路
76 第2接触検知回路
Claims (1)
- 基台に対して可動部を絶縁状態で支持する気体軸受けの接触検知機構であって、
第1及び第2接触検知回路と、
該第1及び第2接触検知回路の異常を判定する異常判定手段とを具備し、
前記第1接触検知回路は、
該可動部に接続された電源と、
該基台に一端が接続された抵抗値R1を有する第1抵抗体と、
一端が該電源に接続され他端が該第1抵抗体の他端に接続された抵抗値R2を有する第2抵抗体と、
一端が該第1及び第2抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値R3を有する第3抵抗体と、
該第3抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する第1電位差検出手段とから構成され、
前記第2接触検知回路は、
該基台に一端が接続された抵抗値R1を有する第4抵抗体と、
一端が前記可動部を介して前記電源に接続され他端が該第4抵抗体の他端に接続された抵抗値R2を有する第5抵抗体と、
一端が該第4及び第5抵抗体の他端に接続され、他端がグランドに接続された抵抗値R3を有する第6抵抗体と、
該第6抵抗体の前記一端と他端との間の電位差を検出する第2電位差検出手段から構成され、
前記異常判定手段は、電源電圧をEとしたとき、前記第1電位差検出手段で検出された電位差と前記第2電位差検出手段で検出された電位差が{R3/(R2+R3)}Eに一致した場合のみ正常と判定し、{R3/(R2+R3)}Eに一致しない電位差が検出された場合に異常と判定することを特徴とする気体軸受けの接触検知機構。
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