JP5037379B2 - 板状物の搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の板状物を搬送するための板状物の搬送装置に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円盤形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置で切断することにより、半導体ウエーハが個々の半導体チップ（デバイス）に分割される。

分割されるウエーハは、一般的にストリートに沿って切断する前に裏面を研削によって所定の厚みに形成される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するために、ウエーハの厚さをより薄く、例えば５０μｍ程度にすることが要求されている。

半導体ウエーハをより薄いデバイスに分割する技術として、所謂先ダイシング法と称する分割技術が開発され、実用化されている（例えば、特開平１１−４０５２０号公報参照）。

この先ダイシング法は、半導体ウエーハの表面から分割予定ラインに沿って所定の深さ（デバイスの仕上がり厚さに相当する深さ）の分割溝を形成し、その後、表面に分割溝が形成された半導体ウエーハの裏面を研削して該裏面に分割溝を表出させ、個々のデバイスに分割する技術であり、デバイスの厚さを５０μｍ程度に加工することが可能である。

半導体ウエーハの研削にはチャックテーブルを備えた研削装置が使用される。研削装置により非常に薄く研削されたウエーハは、ウエーハ吸着搬送装置によりチャックテーブルから洗浄装置に搬送され洗浄される。

ウエーハ吸着搬送装置は一般的に吸着パッドを有しており、搬送中はこの吸着パッドによりウエーハは吸引保持される。その他の板状物搬送装置としては、ベルヌーイの原理を利用して半導体基板を非接触で吸引保持する搬送装置が特開平５−３６８１６号公報に開示されている。
特開平５−３６８１６号公報

先ダイシング法によって表面に分割溝が形成され、その後にウエーハの裏面を研削して該裏面に分割溝を表示させたウエーハは非常に撓み易い。一方、ストリートに沿って切断する前に裏面を研削によって非常に薄く形成されたウエーハは非常に反り易い。

これら撓みや反りが発生し易い薄く研削された半導体ウエーハ等の板状物は、研削工程や切削工程での吸引保持搬送中に撓みや反りによって真空吸引力が阻害され、吸着面から落下し、ひいては破損してしまうという問題がある。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、搬送中に板状物を落下させることのない板状物の搬送装置を提供することである。

請求項１記載の発明によると、板状物を保持する保持機構と、該保持機構を第１位置と第２位置との間で移動可能な移動機構とを備えた板状物の搬送装置であって、前記保持機構は、板状物を吸引保持する板状物吸着部材と、該板状物吸着部材に吸引力を付与する真空吸引手段と、該板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられた取付プレートと、それぞれ板状物の下面を保持する保持位置と、該取付プレートの外周方向に退避する退避位置との間で該取付プレートにスライド可能に取り付けられた複数の保持部材と、前記各保持部材を前記保持位置と前記退避位置との間で移動させる駆動手段と、円周方向に離間されて前記板状物吸着部材に取り付けられた複数のガイドと、を具備し、前記取付プレートは、前記ガイドに外接して前記板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられ、概略半径方向に伸長する複数の第１の長穴を有する第１環状プレートと、前記ガイドに内接して前記板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられ、複数の第２の長穴を有する第２環状プレートとを含み、前記各保持部材は、板状物の下面を保持する保持位置と、該第１環状プレートの外周方向に退避する退避位置との間で移動可能な保持アームと、一端が該保持アームの基端部に対して固定され他端が前記第１の長穴中にスライド可能に取り付けられた第１リンク部材と、一端が前記保持アームの前記基端部に対して回動可能に取り付けられ他端が前記第２の長穴中にスライド可能に取り付けられた第２リンク部材とを含み、前記駆動手段は、前記第１環状プレートを円周方向へ回転する第１エアシリンダと、前記第２環状プレートを円周方向へ回転する第２エアシリンダとを含んでいることを特徴とする板状物の搬送装置が提供される。

好ましくは、前記各保持部材は、前記保持位置に移動されたとき、板状物の中心を前記板状物吸着部材の中心へ位置合わせする、前記保持アームの前記基端部に設けられた位置決め部を有している。

本発明によれば、板状物の搬送中は保持位置に回動された複数の保持部材により板状物が保持されるため、搬送中に板状物が落下することが防止される。また、搬送中は真空吸引による吸着は行わず、保持位置に回動された複数の保持部材で板状物を保持するため、板状物を真空吸引保持する搬送装置に比べて、エネルギーの節約が可能となる。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明実施形態の搬送装置を具備した研削装置２の斜視図を示している。

４は研削装置２のハウジングであり、ハウジング４の後方には二つのコラム６ａ，６ｂが垂直に立設されている。コラム６ａには、上下方向に伸びる一対のガイドレール（一本のみ図示）８が固定されている。

この一対のガイドレール８に沿って粗研削ユニット１０が上下方向に移動可能に装着されている。粗研削ユニット１０は、そのハウジング２０が一対のガイドレール８に沿って上下方向に移動する移動基台１２に取り付けられている。

粗研削ユニット１０は、ハウジング２０と、ハウジング２０中に回転可能に収容された図示しないスピンドルと、スピンドルを回転駆動するサーボモータ２２と、スピンドルの先端に固定された複数の粗研削用の研削砥石２６を有する研削ホイール２４を含んでいる。

粗研削ユニット１０は、粗研削ユニット１０を一対の案内レール８に沿って上下方向に移動するボールねじ１４とパルスモータ１６とから構成される粗研削ユニット移動機構１８を備えている。パルスモータ１６をパルス駆動すると、ボールねじ１４が回転し、移動基台１２が上下方向に移動される。

他方のコラム６ｂにも、上下方向に伸びる一対のガイドレール（一本のみ図示）１９が固定されている。この一対のガイドレール１９に沿って仕上げ研削ユニット２８が上下方向に移動可能に装着されている。

仕上げ研削ユニット２８は、そのハウジング３６が一対のガイドレール１９に沿って上下方向に移動する図示しない移動基台に取り付けられている。仕上げ研削ユニット２８は、ハウジング３６と、ハウジング３６中に回転可能に収容された図示しないスピンドルと、スピンドルを回転駆動するサーボモータ３８と、スピンドルの先端に固定された仕上げ研削用の研削砥石４２を有する研削ホイール４０を含んでいる。

仕上げ研削ユニット２８は、仕上げ研削ユニット２８を一対の案内レール１９に沿って上下方向に移動するボールねじ３０とパルスモータ３２とから構成される仕上げ研削ユニット移動機構３４を備えている。パルスモータ３２を駆動すると、ボールねじ３０が回転し、仕上げ研削ユニット２８が上下方向に移動される。

研削装置２は、コラム６ａ，６ｂの前側においてハウジング４の上面と略面一となるように配設されたターンテーブル４４を具備している。ターンテーブル４４は比較的大径の円盤状に形成されており、図示しない回転駆動機構によって矢印４５で示す方向に回転される。

ターンテーブル４４には、互いに円周方向に１２０°離間して３個のチャックテーブル４６が水平面内で回転可能に配置されている。チャックテーブル４６は、ポーラスセラミック材によって円盤状に形成された吸着チャックを有しており、吸着チャックの保持面上に載置されたウエーハを真空吸引手段を作動することにより吸引保持する。４８は研削されたウエーハの厚みを測定する厚みゲージである。

ターンテーブル４４に配設された３個のチャックテーブル４６は、ターンテーブル４４が適宜回転することにより、ウエーハ搬入・搬出領域Ａ、粗研削加工領域Ｂ、仕上げ研削加工領域Ｃ、及びウエーハ搬入・搬出領域Ａに順次移動される。

ハウジング４の前側部分には、第１のウエーハカセット５０と、第２のウエーハカセット５２と、ウエーハ搬送ロボット５４と、複数の位置決めピン５８を有する位置決めテーブル５６と、ウエーハ搬入機構（ローディングアーム）６０と、ウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）６２と、スピンナユニット６３が配設されている。ウエーハ搬出機構６２は本発明の板状物の搬送装置の一実施形態である。

また、ハウジング４の概略中央部には、チャックテーブル４６を洗浄する洗浄水噴射ノズル６７が設けられている。この洗浄水噴射ノズル６７は、チャックテーブル４６がウエーハ搬入・搬出領域Ａに位置付けられた状態において、チャックテーブル４６に向かって洗浄水を噴射する。

このように構成された研削装置２の研削作業について以下に説明する。第１のウエーハカセット５０中に収容された半導体ウエーハは、ウエーハ搬送ロボット５４の上下動作及び進退動作によって搬送され、ウエーハ位置決めテーブル５６に載置される。

ウエーハ位置決めテーブル５６に載置されたウエーハは、複数の位置決めピン５８によって中心合わせが行われた後、ローディングアーム６０の旋回動作によって、ウエーハ搬入・搬出領域Ａに位置せしめられているチャックテーブル４６に載置され、チャックテーブル４６によって吸引保持される。

次いで、ターンテーブル４４が１２０°回転されて、ウエーハを保持したチャックテーブル４６が粗研削加工領域Ｂに位置付けられる。このように位置付けられたウエーハに対してチャックテーブル４６を例えば３００ｒｐｍで回転しつつ、研削ホイール２４をチャックテーブル４６と同一方向に例えば６０００ｒｐｍで回転させると共に、粗研削ユニット移動機構１８を作動して粗研削用の研削砥石２６をウエーハの裏面に接触させる。

そして、研削ホイール２４を所定の研削送り速度で下方に所定量研削送りして、ウエーハの粗研削を実施する。厚みゲージ４８によってウエーハの厚みを測定しながらウエーハを所望の厚みに仕上げる。

粗研削が終了したウエーハを保持したチャックテーブル４６は、ターンテーブル４４を１２０°回転することにより、仕上げ研削加工領域Ｃに位置付けられ、仕上げ研削用の研削砥石４２を有する仕上げ研削ユニット２８による仕上げ研削が実施される。

仕上げ研削を終了したウエーハを保持したチャックテーブル４６は、ターンテーブル４６を１２０°回転することにより、ウエーハ搬入・搬出領域Ａに位置付けられる。チャックテーブル４６がウエーハ搬入・搬出領域Ａに位置付けられたならば、洗浄水噴射ノズル６７から洗浄水を噴出して、チャックテーブル４６を洗浄する。

チャックテーブル４６に保持されているウエーハの吸引保持が解除されてから、ウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）６２でウエーハが吸着されて、アンローディングアーム６２が旋回することによりスピンナユニット６３に搬送される。

スピンナユニット６３に搬送されたウエーハは、ここで洗浄されると共にスピン乾燥される。次いで、ウエーハ搬送ロボット５４により第２のウエーハカセット５２の所定位置にウエーハが収納される。

仕上げ研削終了後のウエーハは非常に薄く研削されるため、ウエーハ搬出機構６２により吸着されてスピンナユニット６３に搬送される際、エア漏れ等により落下し易い。この問題を解決した本発明第１実施形態の板状物の搬送装置を図２乃至図８を参照して以下に説明する。

図２は板状物搬送装置としてのウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）６２のウエーハ吸着部の斜視図である。図３はその分解斜視図である。図３に最も良く示されるように、ウエーハ搬出機構６２は円周方向に等間隔離間された複数の丸穴６５を有する円形固定プレート６４を含んでいる。

この円形固定プレート６４には、図６及び図７に示すように、ウエーハ吸着部材６６が取り付けられている。図７に示すように、ウエーハ吸着部材６６は多孔質のセラミックス等から形成されたポーラス部６８を有している。

円形固定プレート６４の上部には、空気吸引路７２を介して真空吸引源７４に接続された真空吸引部７０が搭載されている。図７に示すように、空気吸引路７２はウエーハ搬出機構６２のアーム１０２及び真空吸引部７０に渡り形成されており、ウエーハ吸着部材６６に取り付けられたポーラス部６８に開口している。

円形固定プレート６４上には円周方向に等間隔離間され、概略半径方向に伸長した複数の長穴８０を有する環状プレート７６が搭載されている。長穴８０の円周方向の間隔は円形固定プレート６４に形成された丸穴６５の間隔と同様である。環状プレート７６には突起部７８が一体的に形成されている。

８２はウエーハ吸着部材６６によるウエーハの吸着が解除された際、図６に示すようにウエーハ１０４の下面を支持するウエーハ保持部材であり、保持アーム８４と、保持アーム８４に固定された駆動アーム９０とから構成される。

保持アーム８４は円形固定プレート６４の概略外周部に沿った弓形形状をしており、ねじ穴８６ａを有するボス部８６と、位置決めピン８８を有している。保持アーム８４の形状は弓型形状に限定されるものではなく、直線形状であっても良いことは勿論である。

駆動アーム９０は環状プレート７６の長穴８０に係合する係合ピン９２と、丸穴９３を有している。ウエーハ保持部材８２を組立てるには、図３に示すように保持アーム８４を円形固定プレート６４の下側に配置し、駆動アーム９０を円形固定プレート６４と環状プレート７６との間に配置する。

そして、ねじ９４を駆動アーム９０の丸穴９３及び円形固定プレート６４の丸穴６５を介して保持アーム８４のボス部８６のねじ穴８６ａに螺合することにより、保持アーム８４と駆動アーム９０が一体化され、ウエーハ保持部材８２が円形固定プレート６４にボス部８６を回動中心として回動可能に取り付けられる。

更に、駆動アーム９０の係合ピン９２を環状プレート７６の長穴８０中に挿入し、上方からキャップ９６を係合ピン９２に圧入等により固定することにより、ウエーハ保持部材８２が係合ピン９２を介して環状プレート７６と係合される。環状プレート７６の突起部７８にはエアシリンダ９８のピストンロッド１００が連結されている。

然して、図４に示すようにピストンロッド１００が引っ込められると、環状プレート７６は反時計回りに所定量回転し、係合ピン９２が長穴８０中をスライドしてキャップ９６が長穴８０の内周方向に移動し、同時に保持アーム８４がボス部８６を中心に時計回りに回動して円形固定プレート６４の外周部に整列した状態となる。

この状態では保持アーム８４がウエーハ吸着部材６６の外周側に位置するため、保持アーム８４がウエーハ吸着部材６６の吸着作用を何ら阻害しない。よって、この状態で真空吸引源７４を作動させてポーラス部６８によりウエーハ１０４を吸引保持する。

このようにウエーハ１０４をウエーハ吸着部材６６で吸引保持した状態で図５に示すように、エアシリンダ９８を作動させてピストンロッド１００を伸長する。これにより、環状プレート７６は時計回りに所定量回転する。

その結果、ウエーハ保持部材８２の係合ピン９２は環状プレート７６の長穴８０中を外周方向に移動し、それに応じて保持アーム８４はボス部８６を中心にして反時計回り方向に回動してウエーハ吸着部材６６の下側に突出した状態となる。

このとき、各保持アーム８４は位置決めピン８８を有しているため、位置決めピン８８がウエーハ１０４の中心をウエーハ吸着部材６６の中心へ位置合わせするようになっている。

よって、この状態で真空吸引源７４の作動を停止すると、図６に示すようにウエーハ１０４はウエーハ吸着部材６６から落下してその下面が保持アーム８４に保持された状態となる。このようにウエーハ１０４を保持アーム８４で保持した状態でアーム１０２を旋回して、ウエーハ１０４を図１に示すチャックテーブル４６からスピンナユニット６４に搬送する。

上述した第１実施形態のウエーハ搬出装置６２によると、ウエーハがチャックテーブル４６からスピンナユニット６４に搬送される間は、ウエーハ吸着部材６６の吸引力を切ってウエーハの下面をウエーハ保持部材８２で保持しているので、搬送中にウエーハが落下することがない。

更に、ウエーハ搬送中はウエーハ吸着部材６６によるウエーハの吸引は行わずにウエーハ保持部材８２でウエーハを保持するため、ウエーハを吸引保持する搬送装置に比べて、エネルギーの節約が可能となる。

図８を参照すると、ベルヌーイ式の非接触吸引保持器１１０の概略断面図が示されている。上述したウエーハ吸着部材６６に代えて、このような非接触式吸引保持器１１０を採用するようにしても良い。

非接触式吸引保持器１１０は、円盤状の本体１１２と、本体１１２に連結された空気供給路１１８を有する接続部１１４と、本体１１２の中心部に形成され空気を下面に沿って噴出するノズル１１６を有している。

空気供給路１１８を介してノズル１１６から本体１１２の下面に沿って矢印１２０で示すように空気が噴出されると、中心部には矢印１２２で示すように負圧が発生し、この負圧によってウエーハ等の板状物が引き寄せられるが、板状物が接近すると本体１１２の下面と板状物との間を流れる空気が反発力として作用し、板状物との接触が阻止され、非接触で板状物を吸引保持する。

次に、図９乃至図１４を参照して、本発明第２実施形態に係るウエーハ搬出機構（板状物搬送装置）を説明する。図９は板状物搬送装置としての第２実施形態のウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）１３０のウエーハ吸着部の平面図であり、図１０は一部断面側面図である。

図１０に最も良く示されるように、ウエーハ搬出機構１３０はウエーハ吸着部材１３２を含んでいる。ウエーハ吸着部材１３２は多孔質のセラミックス等から形成されたポーラス部１３４を有している。ウエーハ吸着部材１３２の上部には搬送アーム１３８内に形成された空気吸引路を介して真空吸引源に接続された真空吸引部１３６が搭載されている。

ウエーハ吸着部材１３２には円周方向に等間隔離間した複数（本実施形態では４個）のガイド１４０が取り付けられている。ガイド１４０は図１１に示すようにウエーハ吸着部材１３２に固定されたシャフト１４２と、シャフト１４２にそのアウターレースが回転可能に取り付けられた第１ベアリング１４４及び第２ベアリング１４６とから構成される。

ガイド１４０の第１ベアリング１４４に外接するように、第１環状プレート１４８が回転可能に取り付けられ、ガイド１４０の第２ベアリング１４６に内接するように第２環状プレート１５０が回転可能に取り付けられている。

図９に示されるように、第１環状プレート１４８には円周方向に等間隔離間して概略半径方向に伸長する複数の第１の長穴１５２が形成されており、第２環状プレート１５０には円周方向に等間隔離間した複数の第２の長穴１５４が形成されている。

１５６は第１リンク部材であり、第１リンク部材１５６の一端にはピン１５８が回転可能に取り付けられており、ピン１５８は第１の長穴１５２中に挿入されている。１６０は第２リンク部材であり、第２リンク部材１６０の一端にはピン１６２が回転可能に取り付けられ、ピン１６２は第２の長穴１５４中に挿入されている。

第１リンク部材１５６の他端はスライドロッド１６４の上端部に固定されており、スライドロッド１６４の下端部には保持アーム１６６の基端部が固定されている。スライドロッド１６４の上端部には更に、第２リンク部材１６０の他端が回動可能に取り付けられている。

第１リンク部材１５６、第２リンク部材１６０及び保持アーム１６６の組み合わせが保持部材１６７を構成する。第１リンク部材１５６及び保持アーム１６６は共にスライドロッド１６４に対して固定されているため、第１リンク部材１５６と保持アーム１６６が成す角度は常に一定である。

図１０に最も良く示されるように、スライドロッド１６４の下端部に隣接してウエーハの中心部をウエーハ吸着部材１３２の中心へ位置合わせするための位置決め部１６８が設けられている。

第１環状プレート１４８は一体的に形成された作動アーム１４８ａを有しており、この作動アーム１４８ａには第１エアシリンダ１７０のピストンロッド１７２が連結されている。

同様に、第２環状プレート１５０は一体的に形成された作動アーム１５０ａを有しており、この作動アーム１５０ａには第２エアシリンダ１７４のピストンロッド１７６が連結されている。

図９に示した状態では、第１エアシリンダ１７０のピストンロッド１７２及び第２エアシリンダ１７４のピストンロッド１７６とも引き込まれており、各保持アーム１６６はウエーハ吸着部材１３２の外周に沿った退避位置に位置付けられている。

この状態から、図１２に示すように、第２エアシリンダ１７４を作動させてピストンロッド１７６を伸長する。これにより、第２環状プレート１４８が半時計回り方向に所定量回転する。

その結果、ピン１５８は第１の長穴１５２内を外周方向端部まで移動し、ピン１６２は第２の長穴１５４中をスライドして図９に示した状態の反対方向端部まで移動する。その結果、保持アーム１６６はウエーハ吸着部材１３２の外周から離れて更に外周方向に移動する。

この状態では、保持アーム１６６がウエーハ吸着部材１３２の外周側に位置するため、保持アーム１６６はウエーハ吸着部材１３２の作用を何ら阻害しない。よって、この状態で図示しない真空吸引源を作動させてポーラス部１３４によりウエーハを吸引保持する。

次いで、図１３に示すように第１シリンダ１７０を作動してピストンロッド１７２を伸長する。これにより、第１環状プレート１４８が時計回り方向に所定量回転される。

その結果、第１リンク部材１５６の一端部に回転可能に取り付けられたピン１５８が時計回り方向に移動するため、第１リンク部材１５６に固定されたスライドロッド１６４は半時計回り方向に回転し、スライドロッド１６４に固定された保持アーム１６６もウエーハの下面を保持する保持位置まで半時計回り方向に回転する。

図１３に示した状態で、真空吸引源の作動を停止すると、ウエーハはウエーハ吸着部材１３２から落下してその下面が保持アーム１６６に保持された状態となる。

この状態から、図１４に示すように第２エアシリンダ１７４のピストンロッド１７６を引き込み、第２環状プレート１５０を時計回り方向に回転する。その結果、ピン１６２は第２の長穴１５４中を反対方向端部までスライドし、ピン１５８は第１の長穴１５２中を半径方向中心側へスライドする。

このスライド運動に応じて、スライドロッド１６４に設けられた位置決め部１６８がウエーハの外周に当接しながらスライドロッド１６４が半径方向中心側に移動され、ウエーハの中心がウエーハ吸着部材１３２の中心へ位置合わせされる。よって、この状態で、搬送アーム１３８を旋回することにより、ウエーハを図１に示すチャックテーブル４６からスピンナユニット６４に搬送する。

この第２実施形態のウエーハ搬出機構１３０によると、第１実施形態のウエーハ搬出機構６２と同様に、ウエーハがチャックテーブル４６からスピンナユニット６４に搬送される間は、ウエーハ吸着部材１３２の吸引力を切ってウエーハの下面をウエーハ保持アーム１６６で保持しているので、搬送中にウエーハが落下することがない。

更に、ウエーハ搬送中はウエーハ吸着部材１３２によるウエーハの吸引は行わずにウエーハ保持アーム１６６でウエーハを保持するため、ウエーハを吸引保持する搬送装置に比べて、エネルギーの節約が可能となる。

第１実施形態のウエーハ搬出機構６２と同様に、ウエーハ吸着部材１３２に代えて、図８に示したような非接触式吸引保持器１１０を採用するようにしても良い。

本発明の搬送装置を具備した研削装置の斜視図である。 本発明第１実施形態に係るウエーハ搬出機構の斜視図である。 第１実施形態のウエーハ搬出機構の分解斜視図である。 保持アームが退避位置にある時の第１実施形態のウエーハ搬出機構の平面図である。 保持アームが保持位置にある時の第１実施形態のウエーハ搬出機構の平面図である。 ウエーハをウエーハ保持部材で保持した状態の第１実施形態のウエーハ搬出機構の一部断面側面図である。 ウエーハをウエーハ保持部材で保持した状態の第１実施形態のウエーハ搬出機構の断面図である。 非接触式吸引保持器の概略断面図である。 保持アームが退避位置にあるときの本発明第２実施形態に係るウエーハ搬出機構の平面図である。 第２実施形態のウエーハ搬出機構の一部断面側面図である。 ガイドの拡大斜視図である。 保持アームが退避位置にある時の第２実施形態のウエーハ搬出機構の平面図である。 保持アームが保持位置に移動されたときの第２実施形態のウエーハ搬出機構の平面図である。 保持アームが保持位置に移動され、更に位置決め部がウエーハの位置決めをした状態の第２実施形態のウエーハ搬出機構の平面図である。

符号の説明

２ 研削装置
１０ 粗研削ユニット
２８ 仕上げ研削ユニット
４４ ターンテーブル
４６ チャックテーブル
６０ ウエーハ搬入機構（ローディングアーム）
６２ ウエーハ搬出機構（アンローディングアーム）
６３ スピンナユニット
６４ 円形固定プレート
６６ ウエーハ吸着部材
６８ ポーラス部
７６ 環状プレート
８０ 長穴
８２ ウエーハ保持部材
８４ 保持アーム
８８ 位置決めピン
９０ 駆動アーム
９２ 係合ピン
９８ エアシリンダ
１００ ピストンロッド
１３０ ウエーハ搬出機構
１３２ ウエーハ吸着部材
１３４ ポーラス部
１４０ ガイド
１４４ 第１ベアリング
１４６ 第２ベアリング
１４８ 第１環状プレート
１５０ 第２環状プレート
１５６ 第１リンク部材
１６０ 第２リンク部材
１６４ スライドロッド
１６６ 保持アーム
１６７ 保持部材
１６８ 位置決め部
１７０ 第１エアシリンダ
１７４ 第２エアシリンダ

Claims (3)

1. 板状物を保持する保持機構と、該保持機構を第１位置と第２位置との間で移動可能な移動機構とを備えた板状物の搬送装置であって、
   前記保持機構は、
   板状物を吸引保持する板状物吸着部材と、
   該板状物吸着部材に吸引力を付与する真空吸引手段と、
   該板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられた取付プレートと、
   それぞれ板状物の下面を保持する保持位置と、該取付プレートの外周方向に退避する退避位置との間で該取付プレートにスライド可能に取り付けられた複数の保持部材と、
   前記各保持部材を前記保持位置と前記退避位置との間で移動させる駆動手段と、
   円周方向に離間されて前記板状物吸着部材に取り付けられた複数のガイドと、を具備し、
   前記取付プレートは、
   前記ガイドに外接して前記板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられ、概略半径方向に伸長する複数の第１の長穴を有する第１環状プレートと、
   前記ガイドに内接して前記板状物吸着部材に対して回転可能に取り付けられ、複数の第２の長穴を有する第２環状プレートとを含み、
   前記各保持部材は、
   板状物の下面を保持する保持位置と、該第１環状プレートの外周方向に退避する退避位置との間で移動可能な保持アームと、
   一端が該保持アームの基端部に対して固定され他端が前記第１の長穴中にスライド可能に取り付けられた第１リンク部材と、
   一端が前記保持アームの前記基端部に対して回動可能に取り付けられ他端が前記第２の長穴中にスライド可能に取り付けられた第２リンク部材とを含み、
   前記駆動手段は、
   前記第１環状プレートを円周方向へ回転する第１エアシリンダと、
   前記第２環状プレートを円周方向へ回転する第２エアシリンダとを含んでいることを特徴とする板状物の搬送装置。
2. 前記各保持部材は、前記保持位置に移動されたとき、板状物の中心を前記板状物吸着部材の中心へ位置合わせする、前記保持アームの前記基端部に設けられた位置決め部を有していることを特徴とする請求項１記載の板状物の搬送装置。
3. 前記真空吸引手段は非接触式吸引手段から構成されることを特徴とする請求項１又は２記載の板状物の搬送装置。

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