JP5869943B2 - 基板保持装置および基板保持方法 - Google Patents
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Description
<1.剥離システム>
まず、第1の実施形態に係る剥離システムの構成について、図1および図2を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図であり、図2は、重合基板、被処理基板および支持基板の模式側面図である。なお、以下においては、位置関係を明確にするために、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸を規定し、Z軸正方向を鉛直上向き方向とする。
まず、第3搬送装置120の構成について図3および図4を参照して説明する。図3は、第3搬送装置120の模式側面図であり、図4は、第3搬送装置120の模式斜視図である。
次に、第3搬送装置120による被処理基板Wの吸着保持動作について、図5を参照して説明する。図5は、第3搬送装置120による吸着保持動作の説明図である。
ところで、第3搬送装置が備える第2吸着保持部の数は、上述した第1の実施形態において示した例に限定されない。
また、上述した各実施形態では、内周側に配置された第1吸着保持部122と外周側に配置された第1吸着保持部122との間の領域に対して第2吸着保持部123,123a,123bを配置する場合の例について説明した。しかし、第2吸着保持部123,123a,123bの配置は、これに限ったものではない。
W 被処理基板
S 支持基板
G 接着剤
1 剥離システム
30 剥離処理ステーション
31 剥離装置
32 受渡室
110 第2搬送装置
33 第1洗浄装置
210 スピンチャック
40 第2搬送領域
120 第3搬送装置
121 本体部
122 第1吸着保持部
123 第2吸着保持部
124 係止部
50 制御装置
51 搬送制御部
Claims (6)
- 保持面と、前記保持面に設けられ、流体を噴出して基板との間に負圧を発生させることによって前記基板を前記保持面内において非接触状態で吸着保持する第1吸着保持部と、電圧を印加することによって前記基板との間に発生する力であって、前記第1吸着保持部の吸着力よりも小さい力を用いて、前記非接触状態で吸着保持された前記基板の前記保持面内での動きを止める第2吸着保持部とを備える本体部と、
前記本体部を移動させる移動機構と
を備え、
前記第1吸着保持部を用いて前記基板を前記保持面内において非接触状態で吸着保持し、かつ、前記第2吸着保持部を用いて前記基板の前記保持面内での動きを止めた状態で、前記移動機構を用いて前記本体部を移動させること
を特徴とする基板保持装置。 - 前記第2吸着保持部は、
前記基板の周方向に沿って延在する形状に形成されること
を特徴とする請求項1に記載の基板保持装置。 - 前記第2吸着保持部は、
円周状に並べて複数設けられること
を特徴とする請求項1または2に記載の基板保持装置。 - 前記第1吸着保持部は、
円周状に並べて設けられる複数の内周側保持部と、
前記内周側保持部よりも外周側において前記内周側保持部と同心円状に並べて設けられる複数の外周側保持部と
を備え、
前記第2吸着保持部は、
前記内周側保持部と前記外周側保持部との間の領域に設けられること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板保持装置。 - 前記第1吸着保持部は、
円周状に並べて設けられる複数の内周側保持部と、
前記内周側保持部よりも外周側において前記内周側保持部と同心円状に並べて設けられる複数の外周側保持部と
を備え、
前記第2吸着保持部は、
前記第1吸着保持部間の領域に設けられること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板保持装置。 - 保持面と、前記保持面に設けられ、流体を噴出して基板との間に負圧を発生させることによって前記基板を前記保持面内において非接触状態で吸着保持する第1吸着保持部と、電圧を印加することによって前記基板との間に発生する力であって、前記第1吸着保持部の吸着力よりも小さい力を用いて、前記非接触状態で吸着保持された前記基板の前記保持面内での動きを止める第2吸着保持部とを備える本体部のうち前記第1吸着保持部によって、前記基板を前記保持面内において非接触状態で吸着保持する第1吸着保持工程と、
前記本体部のうち前記第2吸着保持部によって、前記非接触状態で吸着保持された前記基板の前記保持面内での動きを止める第2吸着保持工程と、
前記第1吸着保持部を用いて前記基板を前記保持面内において非接触状態で吸着保持し、かつ、前記第2吸着保持部を用いて前記基板の前記保持面内での動きを止めた状態で、前記本体部を移動させる移動機構によって、前記本体部を移動させる移動工程と
を含むことを特徴とする基板保持方法。
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