JP2014165217A - 基板搬送装置および剥離システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る基板搬送装置は、複数のノズルと、本体部とを備える。複数のノズルは、基板の表面に向けて気体を噴出することによって基板を非接触で保持する。本体部は、複数のノズルが設けられる。また、ノズルは、少なくとも表面が樹脂で形成される。
【選択図】図4
Description
まず、第1の実施形態に係る剥離システムの構成について、図1および図2を参照して説明する。図1は、第1の実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図であり、図2は、重合基板の模式側面図である。
次に、第2の実施形態に係る第3搬送装置について説明する。図9は、第2の実施形態に係る第3搬送装置の模式斜視図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
ところで、上述してきた第2の実施形態では、第3搬送装置120Cに対して気体噴出部123を設け、かかる気体噴出部123を用いて被処理基板Wの反りを矯正する場合の例について説明した。しかし、被処理基板Wの反りを矯正する方法は、上記の例に限ったものではなく、たとえば、ノズル122を用いて被処理基板Wの反りを矯正することもできる。以下では、ノズル122を用いて被処理基板Wの反りを矯正する場合の例について説明する。
上述した第3の実施形態では、各ノズル122の流量制御を一律に行う場合の例について説明したが、ノズル122を複数のエリアで分割し、このエリアごとに流量制御を行うこととしてもよい。
W 被処理基板
S 支持基板
1 剥離システム
10 搬入出ステーション
20 第1搬送領域
30 剥離処理ステーション
31 剥離装置
32 受渡室
33 第1洗浄装置
40 第2搬送領域
41 搬送路
50 制御装置
51 搬送制御部
61 噴出口
62 ネジ孔
63 面取部
120 第3搬送装置
121 本体部
122 ノズル
123 気体噴出部
124 係止部
131 送気管
132 送気装置
140 移動機構
Claims (10)
- 基板の表面に向けて気体を噴出することによって前記基板を非接触で保持する複数のノズルと、
前記複数のノズルが設けられる本体部と
を備え、
前記ノズルは、少なくとも表面が樹脂で形成されること
を特徴とする基板搬送装置。 - 前記樹脂は、前記本体部と熱膨張係数が同程度であること
を特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記本体部は、アルミニウムで形成され、
前記樹脂は、PBI(ポリベンゾイミダゾール)樹脂であること
を特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記ノズルは、先端面が面取りされること
を特徴とする請求項1、2または3に記載の基板搬送装置。 - 前記ノズルは、前記本体部に対して円周状に並べて配置される第1ノズルと、前記第1ノズルよりも内周側において前記本体部に対して円周状に並べて配置される第2ノズルとを含み、前記第1ノズルのみ前記先端面が面取りされること
を特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。 - 前記ノズルは、前記本体部に対してネジ止めされること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 前記ノズルは、前記ネジが挿通させるネジ孔を備え、
前記ネジのネジ頭が配置される前記ネジ孔の先端部が、前記ネジ頭よりも深く形成されること
を特徴とする請求項6に記載の基板搬送装置。 - 前記ノズルよりも前記本体部の外周側に設けられ、前記基板の外周部へ向けて気体を噴出する気体噴出部と
を備えることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の基板搬送装置。 - 前記気体噴出部は、
前記ノズルから噴出される気体よりも少ない流量で前記気体を噴出すること
を特徴とする請求項8に記載の基板搬送装置。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置と、
前記剥離装置によって剥離された前記第1基板を非接触で保持して搬送する基板搬送装置と
を備え、
前記基板搬送装置は、
前記第1基板の表面に向けて気体を噴出することによって前記第1基板を非接触で保持する複数のノズルと、
前記複数のノズルが設けられる本体部と
を備え、
前記ノズルは、少なくとも表面が樹脂で形成されること
を特徴とする剥離システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013032521A JP2014165217A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置および剥離システム |
US14/182,969 US9679798B2 (en) | 2013-02-21 | 2014-02-18 | Substrate conveyance apparatus and substrate peeling system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013032521A JP2014165217A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置および剥離システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017023123A Division JP2017085177A (ja) | 2017-02-10 | 2017-02-10 | 基板搬送装置および剥離システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014165217A true JP2014165217A (ja) | 2014-09-08 |
Family
ID=51351290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013032521A Pending JP2014165217A (ja) | 2013-02-21 | 2013-02-21 | 基板搬送装置および剥離システム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9679798B2 (ja) |
JP (1) | JP2014165217A (ja) |
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2013
- 2013-02-21 JP JP2013032521A patent/JP2014165217A/ja active Pending
-
2014
- 2014-02-18 US US14/182,969 patent/US9679798B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US20140234033A1 (en) | 2014-08-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160520 |
|
A521 | Written amendment |
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A02 | Decision of refusal |
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