JP6568773B2 - 基板搬送装置及び剥離システム - Google Patents
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前記本体部の外周において、当該本体部と同心円状に並べて配置された複数の外周保持部と、を有し、前記本体部において前記中心保持部と前記内周保持部の間には、気体を排出するための内周排気孔が前記本体部と同心円状に並べて複数形成され、前記本体部において前記内周保持部と前記外周保持部の間には、気体を排出するための外周排気孔が前記本体部と同心円状に並べて複数形成され、前記外周排気孔は、前記内周排気孔よりも大きな開口面積を有することを特徴としている。
先ず、本実施の形態に係る剥離システムの構成について、図1及ぶ図2を参照して説明する。図1は、本実施の形態にかかる剥離システム1の構成の概略を示す平面図である。
次に、第2の搬送装置32と第3の搬送装置51の構成について説明する。これら第2の搬送装置32と第3の搬送装置51が、本発明の基板搬送装置を構成する。なお、第2の搬送装置32と第3の搬送装置51の構成は同様であり、以下では第2の搬送装置32について説明する。
外周排気孔116は、主として内周保持部111bの気体と外周保持部111cからの気体を排出する。また、外周排気孔116は、これら内周保持部111bの気体と外周保持部111cからの気体の気体が干渉して、被処理ウェハWに対する吸引力が低下するのを抑制する。なお、これら排気孔115、116の数は本実施の形態に限定されず、任意に設定できる。
次に、第2の搬送装置32と第3の搬送装置51の他の実施の形態について説明する。
30 剥離装置
32 第2の搬送装置
51 第3の搬送装置
100 ベルヌーイチャック
110 本体部
111 保持部
111a 中心保持部
111b 内周保持部
111c 外周保持部
112 給気管
113 給気装置
114 供給機器群
115 内周排気孔
116 外周排気孔
117 係止部
130、133、136 給気管
131、134、137 給気装置
132、135、138 供給機器群
G 接着剤
S 支持ウェハ
T 重合ウェハ
W 被処理ウェハ
Claims (8)
- 基板同士が接着剤で接合された重合基板を剥離した後、剥離された基板を搬送する基板搬送装置であって、
平面視において円形状を有する本体部と、
前記本体部上に設けられ、基板の表面に向けて気体を噴出することによって当該基板を非接触で保持する複数の保持部と、を有し、
前記複数の保持部は、
前記本体部の中心に配置された1個の中心保持部と、
前記本体部の中心と外周の間において、当該本体部と同心円状に並べて配置された複数の内周保持部と、
前記本体部の外周において、当該本体部と同心円状に並べて配置された複数の外周保持部と、を有し、
前記本体部において前記中心保持部と前記内周保持部の間には、気体を排出するための内周排気孔が前記本体部と同心円状に並べて複数形成され、
前記本体部において前記内周保持部と前記外周保持部の間には、気体を排出するための外周排気孔が前記本体部と同心円状に並べて複数形成され、
前記外周排気孔は、前記内周排気孔よりも大きな開口面積を有することを特徴とする、基板搬送装置。 - 前記外周保持部の数は前記内周保持部の数の整数倍であって、
前記中心保持部の中心と前記内周保持部の中心を通る直線上には、前記外周保持部が配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記直線上には、前記内周排気孔と前記外周排気孔が更に配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の基板搬送装置。
- 前記外周排気孔は、平面視において円弧状の開口形状を有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 一の前記内周保持部と、前記外周排気孔を挟んで配置される複数の前記外周保持部との間の距離は、それぞれ同じであることを特徴とする、請求項4に記載の基板搬送装置。
- 前記中心保持部からの気体の供給量、前記内周保持部からの気体の供給量及び前記外周保持部からの気体の供給量は、それぞれ個別に制御されることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 前記基板を非接触で保持した状態で、当該基板の表裏面を反転させることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の基板搬送装置を備えた剥離システムであって、
重合基板を剥離する剥離装置をさらに備え、
前記基板搬送装置は、前記剥離装置で剥離された基板を搬送することを特徴とする、剥離システム。
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JP2015220173A JP6568773B2 (ja) | 2015-11-10 | 2015-11-10 | 基板搬送装置及び剥離システム |
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