JP6466217B2 - 剥離装置及び剥離システム - Google Patents
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Description
前記搬送装置は、被処理基板の接合面を保持するベルヌーイチャックを有し、
前記冷媒供給部は、被処理基板の非接合面を保持する前記第1の保持部から前記搬送装置に被処理基板を受け渡す際に、被処理基板の冷却を行ってもよい。
また、前記搬送装置は、前記第1の保持部と、被処理基板の非接合面を保持する前記冷却板との間で被処理基板を搬送してもよい。
2 搬入出ステーション
3 剥離処理ステーション
20 第1の搬送装置
30 剥離装置
31 第1の洗浄装置
33 第2の洗浄装置
60 制御部
110 第1の保持部
111 第2の保持部
124 加熱機構
125 ガス供給部
126 ガス供給源
300 冷却板
G 接着剤
S 支持ウェハ
T 重合ウェハ
W 被処理ウェハ
Claims (6)
- 被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、
重合基板を加熱する加熱機構を備え、被処理基板を保持する第1の保持部と、
支持基板を保持する第2の保持部と、
剥離後の被処理基板を非接合面側から冷却する冷却部と、を有し、
前記冷却部は、
前記第1の保持部に設けられ、且つ前記第1の保持部に保持された被処理基板の非接合面に冷却媒体を供給する冷媒供給部と、
前記第1の保持部に隣接して配置される冷却板と、を有することを特徴とする、剥離装置。 - 前記冷却媒体は不活性ガスであることを特徴とする、請求項1に記載の剥離装置。
- 前記冷却板は、前記第1の保持部から前記冷却板に被処理基板が搬送されている間に、当該被処理基板に付着した接着剤が硬化しない位置に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の剥離装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の剥離装置を備えた剥離システムであって、
前記剥離装置と、前記剥離装置で剥離された第1の基板を洗浄する第1の洗浄装置と、前記剥離装置で剥離された第2の基板を洗浄する第2の洗浄装置と、を備えた処理ステーションと、
前記処理ステーションに対して、第1の基板、第2の基板又は重合基板を搬入出する搬入出ステーションと、
前記処理ステーションと前記搬入出ステーションとの間で、第1の基板、第2の基板又は重合基板を搬送する搬送装置と、を有することを特徴とする、剥離システム。 - 前記搬送装置は、被処理基板の接合面を保持するベルヌーイチャックを有し、
前記冷媒供給部は、被処理基板の非接合面を保持する前記第1の保持部から前記搬送装置に被処理基板を受け渡す際に、被処理基板の冷却を行うことを特徴とする、請求項4に記載の剥離システム。 - 前記搬送装置は、前記第1の保持部と、被処理基板の非接合面を保持する前記冷却板との間で被処理基板を搬送することを特徴とする、請求項4に記載の剥離システム。
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