JP2015035562A - 剥離装置、剥離システムおよび剥離方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<1.剥離システム>
まず、第1の実施形態に係る剥離システムの構成について、図1〜図3を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図である。また、図2は、ダイシングフレームに保持された重合基板の模式側面図であり、図3は、同重合基板の模式平面図である。
次に、剥離ステーション15に設置される剥離装置の構成について図4を参照して説明する。図4は、本実施形態に係る剥離装置の構成を示す模式側面図である。
次に、剥離装置5の具体的な動作について図6および図7A〜図7Gを参照して説明する。図6は、剥離処理の処理手順を示すフローチャートである。また、図7A〜図7Gは、剥離動作の説明図である。なお、剥離装置5は、制御装置30の制御に基づき、図6に示す各処理手順を実行する。
ところで、第1保持部50の構成は、上述してきた実施形態において示した構成に限定されない。そこで、以下では、第1保持部50の他の構成例について図10A〜図10Eを参照して説明する。図10A〜図10Eは、第1〜第5の変形例に係る第1保持部の模式平面図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
P ダイシングテープ
S 支持基板
T 重合基板
W 被処理基板
1 剥離システム
5 剥離装置
10 第1処理ブロック
15 剥離ステーション
20 第2処理ブロック
30 制御装置
50 第1保持部
51 弾性部材
52 吸着部
60 移動部
61 支柱部材
62 移動機構
63 ロードセル
70 第2保持部
80 フレーム保持部
90 剥離誘引部
91 鋭利部材
511 本体部
512 延在部
521 本体部
522 吸着パッド
Claims (9)
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち前記第1基板を保持する第1保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を保持する第2保持部と、
前記第1保持部の外周部の一部を前記第2保持部から離す方向へ移動させる移動部と
を備え、
前記第1保持部は、
前記移動部に接続される薄板状の弾性部材と、
前記弾性部材に設けられ、前記第1基板を吸着する複数の吸着部と
を備えることを特徴とする剥離装置。 - 前記複数の吸着部は、
円環状に並べて配置され、前記第1基板の外周部をそれぞれ吸着すること
を特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 - 前記複数の吸着部は、
剥離の進行方向に対して直交する方向に並べて、かつ、該進行方向に対して多段に配置されること
を特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 - 前記複数の吸着部は、
剥離の進行方向に膨らむ円弧状に並べて、かつ、該進行方向に対して多段に配置されること
を特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 - 前記複数の吸着部のうち、剥離の起点側に配置される吸着部群は、
剥離の進行方向に膨らむ円弧状に並べて配置され、
前記複数の吸着部のうち、前記剥離の起点側に配置される吸着部群よりも剥離の終点側に配置される吸着部群は、
剥離の進行方向に対して直交する方向に並べて配置されること
を特徴とする請求項1に記載の剥離装置。 - 前記複数の吸着部のうち、剥離の最も起点側に配置される吸着部は、
前記第1基板の外縁に対応する部分が該外縁に沿って弧状に形成されること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の剥離装置。 - 前記弾性部材は、
前記複数の吸着部が設けられる本体部と、
前記本体部の外周部のうち、剥離の最も起点側に位置する外周部の一部を剥離の進行方向とは反対側へ向けて延在させた延在部と
を備え、
前記移動部は、
前記延在部に接続されること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の剥離装置。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板が載置される搬入出ステーションと、
前記搬入出ステーションに載置された重合基板を搬送する基板搬送装置と、
前記基板搬送装置によって搬送された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置が配置される剥離ステーションと
を備え、
前記剥離装置は、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する第1保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を保持する第2保持部と、
前記第1保持部の外周部の一部を前記第2保持部から離す方向へ移動させる移動部と
を備え、
前記第1保持部は、
前記移動部に接続される薄板状の弾性部材と、
前記弾性部材に設けられ、前記第1基板の板面に吸着する複数の吸着部と
を備えることを特徴とする剥離システム。 - 薄板状の弾性部材と、前記弾性部材に設けられ、第1基板と第2基板とが接合された重合基板のうち前記第1基板を吸着する複数の吸着部とを備える第1保持部によって、前記重合基板のうち前記第1基板を保持する第1保持工程と、
前記重合基板のうち前記第2基板を保持する第2保持部によって、前記重合基板のうち前記第2基板を保持する第2保持工程と、
前記第1保持部の外周部の一部を前記第2保持部から離す方向へ移動させる移動部によって、前記第1保持部の外周部の一部を前記第2保持部から離す方向へ移動させる移動工程と
を含むことを特徴とする剥離方法。
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