JP5977710B2 - 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Description
別な観点による本発明は、被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離装置であって、重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、前記剥離装置は、重合基板を保持する保持部と、前記保持部に保持された重合基板の側面に対して進退自在であり、当該重合基板の側面に当接して重合基板の位置調節を行う複数の位置調節部と、前記フレームを重合基板に対して鉛直方向下方に押し下げるための押し下げ部と、被処理基板と支持基板が剥離を開始するための切り込みを重合基板における一端側の側面に形成する剥離誘引部と、を有し、前記押し下げ部は、前記フレームの表面に当接するボールベアを有することを特徴としている。
また別な観点による本発明は、被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離方法であって、重合基板を保持部で保持する基板保持工程と、その後、前記保持部に保持された重合基板の側面に対して複数の位置調節部を当接させて、重合基板の位置調節を行う位置調節工程と、その後、前記保持部で位置調節された重合基板を被処理基板と支持基板に剥離する剥離工程と、を有し、重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、前記剥離工程において、押し下げ部のボールベアを前記フレームの表面に当接させて、当該フレームを重合基板に対して鉛直方向下方に押し下げた後、剥離誘引部によって、被処理基板と支持基板が剥離を開始するための切り込みを重合基板における一端側の側面に形成することを特徴としている。
2 搬入出ステーション
3 剥離処理ステーション
20 第1の搬送装置
30 剥離装置
60 制御部
110 第1の保持部
111 本体部
111a 吸着面
150 第2の保持部
200 位置調節部
201 アーム部
202 回転移動機構
210 押し下げ部
211 ボールベア
220 受渡部
224 ガイド部
230 剥離誘引部
231 鋭利部材
232 移動機構
F ダイシングフレーム
G 接着剤
P ダイシングテープ
S 支持ウェハ
T 重合ウェハ
W 被処理ウェハ
Claims (14)
- 被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離装置であって、
重合基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された重合基板の側面に対して進退自在であり、当該重合基板の側面に当接して重合基板の位置調節を行う複数の位置調節部と、を有し、
重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、
前記位置調節部は、長尺状の部材であるアーム部と、当該アーム部を回転させる回転移動機構とを備え、
前記アーム部は、前記回転移動機構によって回転移動中に前記フレームに干渉せず、且つ前記アーム部の先端部が鉛直下向きになるまで回転移動させられたときに当該先端部が重合基板の側面に当接するように移動自在に構成されていることを特徴とする、剥離装置。 - 被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離装置であって、
重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、
前記剥離装置は、
重合基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された重合基板の側面に対して進退自在であり、当該重合基板の側面に当接して重合基板の位置調節を行う複数の位置調節部と、
前記フレームを重合基板に対して鉛直方向下方に押し下げるための押し下げ部と、
被処理基板と支持基板が剥離を開始するための切り込みを重合基板における一端側の側面に形成する剥離誘引部と、を有し、
前記押し下げ部は、前記フレームの表面に当接するボールベアを有することを特徴とする、剥離装置。 - 前記剥離誘引部は、鋭利部材と、重合基板における前記一端側の側面に向けて前記鋭利部材を移動させる移動機構とを有し、
前記鋭利部材は、前記移動機構に対して着脱自在に構成されていることを特徴とする、請求項2に記載の剥離装置。 - 前記保持部は、重合基板のうち被処理基板を保持し、
前記位置調節部は、前記保持部に保持された重合基板のうち支持基板の側面に当接して、重合基板の位置調節を行うことを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の剥離装置。 - 前記保持部の表面には、気体を噴出する複数の孔が形成されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の剥離装置。
- 剥離装置の外部と保持部との間で重合基板を受け渡す受渡部をさらに有し、
前記受渡部には、前記保持部に対する重合基板の位置調節を行うためのガイド部が設けられていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の剥離装置。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の剥離装置を備えた剥離システムであって、
前記剥離装置を備えた剥離処理ステーションと、
前記剥離処理ステーションに対して、被処理基板、支持基板又は重合基板を搬入出する搬入出ステーションと、
前記剥離処理ステーションと前記搬入出ステーションとの間で、被処理基板、支持基板又は重合基板を搬送する搬送装置と、を有することを特徴とする、剥離システム。 - 被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離方法であって、
重合基板を保持部で保持する基板保持工程と、
その後、前記保持部に保持された重合基板の側面に対して複数の位置調節部を当接させて、重合基板の位置調節を行う位置調節工程と、
その後、前記保持部で位置調節された重合基板を被処理基板と支持基板に剥離する剥離工程と、を有し、
重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、
前記位置調節部は、長尺状の部材であるアーム部と、当該アーム部を回転させる回転移動機構とを備え、
前記位置調節工程において、前記アーム部は前記回転移動機構によって前記フレームに干渉しないように回転移動し、前記アーム部の先端部が鉛直下向きになるまで回転移動したときに当該先端部が重合基板の側面に当接することを特徴とする、剥離方法。 - 被処理基板と支持基板が接着剤で接合された重合基板を、被処理基板と支持基板に剥離する剥離方法であって、
重合基板を保持部で保持する基板保持工程と、
その後、前記保持部に保持された重合基板の側面に対して複数の位置調節部を当接させて、重合基板の位置調節を行う位置調節工程と、
その後、前記保持部で位置調節された重合基板を被処理基板と支持基板に剥離する剥離工程と、を有し、
重合基板は、環状のフレームの内側に配置されて、前記フレームの裏面と被処理基板の非接合面に貼り付けられたテープにより保持され、
前記剥離工程において、押し下げ部のボールベアを前記フレームの表面に当接させて、当該フレームを重合基板に対して鉛直方向下方に押し下げた後、剥離誘引部によって、被処理基板と支持基板が剥離を開始するための切り込みを重合基板における一端側の側面に形成することを特徴とする、剥離方法。 - 前記基板保持工程において、重合基板のうち被処理基板を前記保持部で保持し、
前記位置調節工程において、前記保持部に保持された重合基板のうち支持基板の側面に対して前記複数の位置調節部を当接させて、重合基板の位置調節を行うことを特徴とする、請求項8又は9に記載の剥離方法。 - 前記基板保持工程と前記位置調節工程において、前記保持部の表面から重合基板に気体が噴出され、重合基板は前記保持部から浮上していることを特徴とする、請求項8〜10のいずれかに記載の剥離方法。
- 前記基板保持工程の前に、剥離装置の外部から保持部に受渡部によって重合基板を受け渡す基板受渡工程をさらに有し、
前記基板受渡工程において、前記受渡部で重合基板が保持される際、当該受渡部に設けられたガイド部によって前記保持部に対する重合基板の位置調節が行われることを特徴とする、請求項8〜11のいずれかに記載の剥離方法。 - 請求項8〜12のいずれかに記載の剥離方法を剥離装置によって実行させるために、当該剥離装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項13に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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