JP6345611B2 - 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム、および情報記憶媒体 - Google Patents
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Description
第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置であって、
前記第1基板と前記第2基板との間に剥離起点としての切込みを形成する刃部と、
前記刃部の刃先の欠陥状態を検査する検査部とを備え、
前記検査部は、前記刃先を撮像する撮像部と、前記撮像部の画像を画像処理することにより、前記刃先の欠陥状態を検査する画像処理部とを有する、剥離装置が提供される。
15 剥離装置
16 第1洗浄装置
30 制御装置
40 出力装置
130 剥離起点形成部
131 刃部
131a 刃先
132 Z方向移動部
133 Y方向移動部
134 X方向移動部
140 検査部
141 光源部
142 撮像部
142P 画像
142P−1 暗部
142P−2 明部
142P−3 境界線
145 撮像部位変更部
147 画像処理部
Claims (17)
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置であって、
前記第1基板と前記第2基板との間に剥離起点としての切込みを形成する刃部と、
前記刃部の刃先の欠陥状態を検査する検査部とを備え、
前記検査部は、前記刃先を撮像する撮像部と、前記撮像部の画像を画像処理することにより、前記刃先の欠陥状態を検査する画像処理部とを有する、剥離装置。 - 前記検査部の検査結果に基づく、前記刃先の切込み開始位置の変更を行う位置変更部を備える、請求項1に記載の剥離装置。
- 前記撮像部は前記刃先を部分的に撮像し、
前記検査部は、前記刃先の撮像部位を変更する撮像部位変更部を備える、請求項1または2に記載の剥離装置。 - 前記画像処理部は、前記撮像部位が異なる複数の前記画像を画像処理することにより、前記刃先の欠陥状態を示すマップを作成する、請求項3に記載の剥離装置。
- 前記検査部は、前記刃先に対し光を照射する光源部を備え、
前記画像は、前記光が前記刃部に遮られることで形成される暗部と、前記光が前記刃部の外を通過することで形成される明部とを含み、
前記画像処理部は、前記暗部と前記明部との境界線を検出する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の剥離装置。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置であって、
前記第1基板と前記第2基板との間に剥離起点としての切込みを形成する刃部と、
前記刃部の刃先の状態を検査する検査部と、
前記検査部の検査結果に基づく、前記刃先の切込み開始位置の変更を行う位置変更部とを備える、剥離装置。 - 前記検査部の検査結果に基づく警報を出力する出力部を備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の剥離装置。
- 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離装置、および剥離後の前記第1基板を洗浄する洗浄装置とを備える剥離システムであって、
前記剥離装置として、請求項1〜7のいずれか1項に記載の剥離装置を備える、剥離システム。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離方法であって、
前記第1基板と前記第2基板との間に刃部を挿入することで剥離起点としての切込みを形成し、前記第1基板と前記第2基板とを前記剥離起点から剥離する処理工程と、
前記刃部の刃先を撮像部に撮像させ、前記撮像部が撮像した画像を画像処理することにより、前記刃先の欠陥状態を検査する検査工程とを有する、剥離方法。 - 前記検査工程の検査結果に基づき、前記刃先の切込み開始位置を変更する位置変更工程を有する、請求項9に記載の剥離方法。
- 前記撮像部は前記刃先を部分的に撮像し、
前記検査工程では、前記刃先の撮像部位を変更しながら、前記撮像部による撮像を繰り返し行う、請求項9または10に記載の剥離方法。 - 前記検査工程では、前記撮像部位が異なる複数の前記画像を画像処理することにより、前記刃先の欠陥状態を示すマップを作成する、請求項11に記載の剥離方法。
- 前記検査工程では、前記刃先に対し光を照射し、
前記画像は、前記光が前記刃部に遮られることで形成される暗部と、前記光が前記刃部の外を通過することで形成される明部とを含み、
前記検査工程では、前記暗部と前記明部との境界線を検出する、請求項9〜12のいずれか1項に記載の剥離方法。 - 第1基板と第2基板とが接合された重合基板を前記第1基板と前記第2基板とに剥離する剥離方法であって、
前記第1基板と前記第2基板との間に刃部を挿入することで剥離起点としての切込みを形成し、前記第1基板と前記第2基板とを前記剥離起点から剥離する処理工程と、
前記刃部の刃先の状態を検査する検査工程と、
前記検査工程の検査結果に基づいて、前記刃先の切込み開始位置を変更する位置変更工程とを備える、剥離方法。 - 前記検査工程の検査結果に基づく警報を出力する出力工程を有する、請求項9〜14のいずれか1項に記載の剥離方法。
- 請求項9〜15のいずれか1項に記載の剥離方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項16に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
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