JP2013084682A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一側面に搬出入開口部71aを有するカセット本体71と搬出入開口部71aを開閉するカセット蓋72とからなり、カセット本体71中に半導体ウェーハWを収容したカセット7を載置するカセットテーブル81を備えたカセット載置機構8と、カセットテーブル81に載置されたカセット7から搬出された半導体ウェーハWを保持するチャックテーブル19と、チャックテーブル19に保持された半導体ウェーハWを加工する加工手段としての切削ユニット24と、を具備する加工装置とする。
【選択図】図6
Description
7 カセット
8 カセット載置機構
9 蓋着脱機構
19 チャックテーブル
24 切削ユニット
71 カセット本体
72 カセット蓋
72f おもて面
72g 爪部
81 カセットテーブル
82 昇降機構
91 支持台
92 固定基台
93 移動基台
93c 保持面
98 発光部
98a 発光素子
99 受光部
99a 受光素子
R1 光
W 半導体ウェーハ
Claims (2)
- 一側面に搬出入開口部を有するカセット本体と該搬出入開口部を開閉するカセット蓋とからなり、該カセット本体中に半導体ウェーハを収容したカセットを載置するカセットテーブルを備えたカセット載置機構と、
該カセットテーブルに載置された該カセットから搬出された該半導体ウェーハを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該半導体ウェーハを加工する加工手段と、を具備する加工装置において、
該カセット載置機構は、
該カセットテーブルを該カセットから該半導体ウェーハを搬出する搬出入位置と、該搬出入位置より下方に設定された蓋着脱位置とに位置づける昇降機構を備え、
該カセット載置機構の該カセットテーブルが該蓋着脱位置に位置づけられた状態で、該カセット蓋を着脱する蓋着脱機構を備え、
該蓋着脱機構は、該カセット本体から飛び出した該半導体ウェーハを検出する検出手段を備えていることを特徴とする加工装置。 - 前記蓋着脱機構は、
前記カセット蓋と対面し該カセット蓋を保持する蓋保持手段を備えた移動基台と、
該移動基台を待機位置と作用位置とに移動させる移動機構と、からなり、
該移動基台には、前記検出手段が設けられ、
該検出手段は、該カセット蓋を保持する保持面の上部中央と下部中央にそれぞれ突出して配設された発光部と受光部とからなる光学センサーを具備し、
該発光部及び該受光部は、
該待機位置に該移動基台が位置づけられた状態で昇降する前記カセット及びカセットテーブルと接触せず、且つ、
該カセット蓋を保持した状態で該カセット蓋の位置よりも該保持面に対して反対側に突出して配設されていることを特徴とする、請求項1に記載の加工装置。
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