JP2002164411A

JP2002164411A - Ｆｏｕｐオープナ

Info

Publication number: JP2002164411A
Application number: JP2001269149A
Authority: JP
Inventors: Sumio Harukawa; 澄夫春川; Shinji Yokoyama; 進二横山
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2000-09-14
Filing date: 2001-09-05
Publication date: 2002-06-07
Anticipated expiration: 2021-09-05
Also published as: JP4246420B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】ＦＯＵＰ内に収納される半導体ウェハを検出
するセンサ機構からの発塵をウェハ部から隔離し、セン
サ機構をコンパクトに実現し、装置のフットプリントを
狭くして、コストパフォーマンスと歩留まりの高いＦＯ
ＵＰオープナを提供する。【解決手段】ＦＯＵＰオープナ１が、少なくとも、Ｆ
ＯＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と保持機構と
を有するポートドア23と、ポートドア23を水平に移動さ
せるポートドア進退機構40と、ポートドア23を垂直に移
動させるポートドア昇降機構50とを備えてなり、ポート
ドア昇降機構50の昇降基部材51には、センサ進退機構60
が設けられ、センサ進退機構60には、センサ取付部材62
が上方に向けて延設され、センサ取付部材62の上部に、
ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無、収納状態、収納位置
（高さ）等を検出するための光学式の透過型センサ70も
しくはマッピングセンサが取り付けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本願の発明は、半導体ウェハを所
定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能
な容器を開閉するための容器開閉装置に関し、特に容器
がＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）である場合
に、ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態、収納位置
等を検出するためのセンサ機構を備えたＦＯＵＰ開閉装
置（ＦＯＵＰオープナ）に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＦＯＵＰオープナは、第１制御空間であ
るＦＯＵＰ内環境100 と第２制御空間であるウェハ転送
空間200 との間を、外部雰囲気300 にウェハをさらすこ
となく、連通させ、ウェハをロボット等で転送できるよ
うにする役割を担う。ＦＯＵＰオープナの要求仕様は、
高精細度の３００ｍｍウェハともなると、きわめて高価
なものとなるために、塵埃によるウェハ汚染に対して
は、オープナ自体の発塵量を０．１μm 粒子で１個／１
０cft 以下、マッピング誤報率（虚報率）を１回／（１
０万枚〜１００万枚）以下に抑えることが求められてい
る。また、ウェハを転送するためには、ウェハの有無や
収納状態等を検出する必要があり、マッピング手段は、
ＦＯＵＰオープナあるいはロボットのいずれか一方に設
けられている。一般的には、これら両者ともに、オプシ
ョン機能としての位置付けとなっている。

【０００３】ＦＯＵＰのフレームは、一般に樹脂成形品
であり、その底部には３個のテーパ状の位置決め長孔が
形成されている。ＦＯＵＰは、ドックプレートに設けら
れた頂部を半球状にした３個のピンの球面と、ＦＯＵＰ
フレーム底部のテーパ状の位置決め長孔とで位置決めす
るように規格化されている。ＦＯＵＰは、多いものであ
れば、１ラインに数千個が必要とされる。ＦＯＵＰ寸法
は、元々、成形時の誤差があるばかりか、経時的に変化
し、歪み、捩じれ、また、位置決め部は摩耗する。ＦＯ
ＵＰにおけるウェハ収納ピッチは１０ｍｍであり、ウェ
ハの厚みは１ｍｍ弱であり、ウェハ間の間隙は約９ｍｍ
である。ウェハ間に進入してウェハを取り上げ、保持す
るロボットハンド部の総高さ（厚み）は、通常３〜４ｍ
ｍ前後となっている。ＦＯＵＰの歪みや捩じれや摩耗等
により、ＦＯＵＰ内に収納されるウェハの位置は、ＦＯ
ＵＰ毎に毎回ばらつく。そして、そのバラツキの量は、
経時的な変化により増長する。さらに、ストッカーなど
で長時間保管されたような状態のＦＯＵＰ内ウェハは、
ＦＯＵＰドアを開放する際に、ＦＯＵＰドアに設けられ
たウェハ押え部材に粘着して、ＦＯＵＰドアの開放時
に、ドアとともに移動する可能性が指摘されている。そ
のために、インタロック用のウェハ飛び出しセンサをＦ
ＯＵＰオープナに設けて、センサがウェハ飛び出しを検
出したら、ＦＯＵＰドアの開放動作を停止して保護する
ようにしている。飛び出しセンサは、ＦＯＵＰ内に取り
付けることは不可能で、ＦＯＵＰフレームの外で、収納
されたウェハ端縁部から約２０ｍｍ前後の位置に設けら
れる。２０ｍｍ以内の間でウェハが移動しても、正常ウ
ェハとして処理することが求められている。

【０００４】また、ウェハ転送ロボットは、昇降旋回可
能な軸に第１アームを、その先端に第２アームと同じ長
さの第２アームを、その先端にウェハを保持するハンド
を設けて構成されるような水平多関節ロボットを用いる
ことが多く、ロボットを中央に配置し、片側にＦＯＵＰ
オープナ群を、対面側に処理室へのウェハ出入り口を配
置して、中央をフロントエンドに形成している。

【０００５】フロントエンドのフットプリントの広さを
決定する要因に、ＦＯＵＰフレームから脱開放されたＦ
０ＵＰドアを第２制御空間200 に退避格納する格納寸法
があげられる。格納寸法はＳＥＭＩ規格に定められ、該
規格によると、ＦＯＵＰオープナのポートプレートの取
付け面（ＢＯＬＴＳ面）から第２制御空間200 側に１０
０ｍｍ出っ張った位置となっている。走行し、旋回可能
なウェハ転送ロボットは、格納域外に設けられる。ロボ
ットの旋回昇降軸中心位置とＦＯＵＰオープナ上のＦＯ
ＵＰ内収納ウェハ中心位置との距離が、ロボットのアー
ムの長さを決定する。旋回する場合は、旋回半径が最小
になるような位置まで、ウェハを保持してアームを折り
畳む。旋回半径は、アーム長やハンド長で定まり、フロ
ントエンドのフットプリントも定まる。

【０００６】ＦＯＵＰオープナに搭載されて、ＦＯＵＰ
内収納ウェハの有無や収納状態等を検出するマッピング
技術としては、米国特許第６０１３９２０号明細書、特
開平１１−１４５２４４号公報、特開平１１−２１４４
８３号公報、特開平１１−３５４６０９号公報等に開示
のものがある。これらの４つの技術に共通している技術
の骨子は、マッピング検出手段をＦＯＵＰオープナを構
成しているＦＯＵＰドア保持体（ポートドア）の上部に
設け、ＦＯＵＰドアを退避させるための昇降手段の昇降
動作で連続的に収納ウェハの有無や収納状態を検出しよ
うとするものである。検出手段としては、光学的な透過
型センサや反射型センサあるいはＣＣＤカメラ等を用い
た撮像手段が提案されている。

【０００７】通常、マッピングは、ウェハの有無や傾き
挿入、多重挿入等のウェハ収納状態を、各溝毎に予め設
定された領域内で検出手段から出力される情報を基に判
定することによって行なわれている。特開平１１−３５
４６０９号公報では、ＣＣＤカメラの撮像タイミングを
予め設定して行なうように記載されており、特開平１１
−１４５２４４号公報では、センサがカセットの溝に対
面する位置を通過している時間と、時間経過におけるセ
ンサの出力信号との情報に基づいて、各溝毎の論理演算
によってウェハの有無や収納状態を判定し、判定結果を
上位装置に出力するようにすることが記載されている。

【０００８】マッピングの方法は、ＦＯＵＰドアを退避
下降させる動作でウェハ収納状態等を検出する方法が合
理的であり、前述の４つの公報に記載されているよう
に、ＦＯＵＰドアを保持するポートドアの上部にカメラ
やセンサを設けることにより、実現することができる。

【０００９】マッピングセンサをＦＯＵＰドアに配設す
る方法では、ＦＯＵＰドアの厚みが約２０ｍｍ、ポート
プレートの厚みが約８ｍｍ、ウェハ先端はＦＯＵＰフレ
ーム前面から１６ｍｍの位置にあることから、退避移動
する前のマッピングセンサ先端とウェハ先端とは約２０
ｍｍ離れて位置することになり、ＦＯＵＰドアを、３０
ｍｍ以上好ましくは３５ｍｍ前後退避移動させて下降さ
せることになる。これより、マッピングするときのセン
サ先端とウェハ先端との距離は、約５０ｍｍ離れた状態
にある。

【００１０】マッピング用反射型センサをポートドアの
上部に配設する方法については、前記した両公報（特開
平１１−１４５２４４号公報、特開平１１−２１４４８
３号公報）に、その詳しい説明はない。しかし、１つの
照射部と１つの受光部とで形成されるような従来の一般
的な２眼式反射型センサは、対象となるエッジ形状や色
に左右される場合が多く、特に窒化膜の検出が難しく、
虚報率も高いことから、ウェハマッピングセンサとして
は好ましいものではない。また、ポートドアがＦＯＵＰ
ドアを保持して水平方向に退避したとき、センサ後端か
らポートプレートまでの距離が大きくなり、その結果と
して、装置全体のフットプリントが広くなる傾向を避け
難い。

【００１１】図１１ないし図１５は、このような従来の
反射型センサ070 をポートドア023の上部に配設したマ
ッピング機能付きＦＯＵＰオープナ01に関する図であっ
て、ＦＯＵＰ010 のＦＯＵＰドア013 が開放されてフロ
ントエンドに格納されるまでの過程Ａ〜ＤにおけるＦＯ
ＵＰドア013 およびポートドア023 の各状態を順に図示
したものである。先ず、図１１に図示されるように、Ｆ
ＯＵＰドア013 により密閉されて外部環境（第３空間）
300 を搬送されてきたＦＯＵＰ010 が、ドック移動機構
030 のドックプレート031 上に載置されて、位置決めさ
れる（過程Ａ）。次いで、図１２に図示されるように、
ＦＯＵＰ010 が前進して、ＦＯＵＰドア013 がポートド
ア023 に突き当てられると、ポートドア023 に内蔵され
るＦＯＵＰドア着脱機構とＦＯＵＰドア保持機構とが作
動して、ＦＯＵＰドア013 をＦＯＵＰフレーム011にラ
ッチするラッチ機構が解除され、ＦＯＵＰドア013 は、
ポートドア023 に吸着保持される（過程Ｂ）。次いで、
図１３に図示されるように、ポートドア023が、ＦＯＵ
Ｐドア013 を保持した状態で、ポートドア進退機構040
により水平方向に後退させられ（過程Ｃ）、さらに、図
１４に図示されるように、ポートドア昇降機構050 によ
り垂直に下降させられて、ＦＯＵＰドア013 がフロント
エンドの第２制御空間200 に格納される（過程Ｄ）。こ
のようにして、ＦＯＵＰ010 内に収納されていたウェハ
014 が、図示されないウェハ転送ロボットにより、ＦＯ
ＵＰ010 内の第１制御空間100 から第２制御空間200 に
転送される準備がなされる。

【００１２】このとき、ポートドア023 が水平方向に後
退させられる距離（退避ストローク）は、ＦＯＵＰドア
013 の厚さ２０ｍｍ、ポートプレート021 の厚さ８ｍ
ｍ、ＦＯＵＰドア013 とポートプレート021 との間隙距
離２ｍｍの合計距離に相当するから、３０ｍｍ以上は必
要となり、振動や寸法バラツキを考慮すると、ＦＯＵＰ
ドア013 とポートプレート021 との最小間隙は５ｍｍ必
要であるから、好ましい退避ストロークは３３ｍｍとな
る。このとき、反射型センサ070 の後端からポートプレ
ート021 までの距離Ｗ１は、センサの幅（奥行き）寸法
の小さいアンプ分離タイプを使用するとしても、６５ｍ
ｍ前後の相当に大きなものになる（以上の寸法関係につ
いては、図１４および図１５参照）。ここで、このセン
サの幅（奥行き）寸法は、アンプ分離タイプで３０ｍｍ
前後、アンプ内蔵タイプで８０ｍｍ前後である。

【００１３】なお、図１５に図示されるように、飛び出
しセンサ071 がポートプレート021に設けられていて、
２０ｍｍの最大距離を位置ずれして飛び出したウェハ01
4 を検出している。このようなウェハ014 の飛び出し
は、ＦＯＵＰドア013 の開放時に、収納ウェハ014 がＦ
ＯＵＰドア013 に設けられたウェハ押え部材に粘着し
て、ＦＯＵＰドア013 とともに移動する場合に生ずる。

【００１４】また、ポートドアの上部にセンサ移動機構
を設けてウェハ収納状態を検出するような前記公報記載
の方法では、反射型センサ、透過型センサのいずれかを
問わず、センサ移動機構がウェハあるいはＦＯＵＰドア
の上部位置に設けられることから、移動機構からの発塵
が第２制御環境200 のダウンフローにより運ばれて、ウ
ェハ汚染やＦＯＵＰドアの内面汚染を引き起こすことが
懸念される。加えて、センサ移動機構に直線移動機構が
採用されると、センサ後端からポートプレートまでの距
離Ｗ１はさらに大きくなり、これを避けるために、折り
畳み可能なリンク機構を採用すると、機構は複雑にな
り、発塵は増長される。

【００１５】次に、ＣＣＤカメラ等をポートドアの上部
に配設する方法では、前述した塵埃の発生はない。しか
しながら、例えば、２重挿入されたウェハで、かつ、上
部のウェハが位置ずれし、下部のウェハがずれていない
状況のウェハ収納状態を認識するには、ウェハエッジの
正面から撮像しなければ、正確な収納状態を検出するこ
とはできない。前記公報に記載されているような、撮像
するタイミングを予め設定する方法では、ＦＯＵＰの寸
法変化、すなわち、ウェハ収納位置の変化に対応できな
い可能性が高い。

【００１６】さらに、透過型センサとセンサ移動機構と
をポートドアの上部に設ける方法では、発塵の問題だけ
でなく、ポートドアの退避ストローク（３５ｍｍ）にセ
ンサとウェハとの初期の距離（２０ｍｍ）を加え、さら
に、センサがウェハ間の間隙内部に進入する距離（５ｍ
ｍ）を加えて、合計約６０ｍｍ程度のセンサおよびセン
サ移動機構の移動ストロークは必要になる。このような
センサ移動機構をポートドアの上部に設けて、ポートド
アおよびＦＯＵＰドアを水平に退避移動させると、第２
制御空間200 に占めるＦＯＵＰドアの格納スペースは、
センサ移動機構に左右されて広くなる。その結果、ウェ
ハ転送ロボットのアームは長くなり、装置全体のフット
プリントは著しく広くなるといった問題がある。

【００１７】前述したように、マッピング情報がウェハ
の有無や傾き挿入、多重挿入等の収納状態情報だけであ
ると、ＦＯＵＰ位置決め部の摩耗等でウェハの収納位置
（高さ）が変化したり、フレームの捩じれ等でウェハが
水平状態を維持できなくなった場合、移動するロボット
ハンドと収納ウェハとが衝突したり、擦動したりする可
能性がきわめて高くなる。

【００１８】また、ＦＯＵＰオープナに不具合が発生し
た場合、不具合の状況によっては、オープナを構成する
部品を入れ替えたり、オープナそのものを交換する場合
があり、不具合を解消するのに費やす時間、すなわち、
復帰時間の長短が定められるのが一般的である。その時
間は、各工場によって異なり、１０分〜３０分の間で定
められている。例えば、復旧時間１０分と定められてい
る場合に、復旧に１０分以上費やすと判断された場合に
は、速やかにオープナを取り外し、予備のオープナをセ
ッティングして立ち上げなければならない。製造ライン
に投入されるオープナは、必ずしも１社１種類のオープ
ナとは限らず、複数メーカの複数種類のオープナがライ
ンに投入される。オープナにも、各々固有差があること
は言うまでもない。オープナに限らず、ロボットあるい
はロボットを構成する部材を交換することになるような
不具合も考えられる。

【００１９】このように、ＦＯＵＰオープナやロボット
等の構成部品の一部を交換したり、あるいは、これらを
そっくり入れ替えた場合、問題になるのがロボットアク
セス高さの再現性である。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】本願の発明は、従来の
ＦＯＵＰオープナが有する前記のような問題点を解決し
て、半導体ウェハ検出用センサ機構からの発塵をウェハ
部から隔離し、ウェハの有無や収納状態に加えて収納位
置（高さ）情報を上位装置（ロボット）に伝達し、ウェ
ハにダメージを与えないようにするとともに、センサ機
構をコンパクトに実現し、装置のフットプリントをより
狭くすることで、よりコストパフォーマンスと歩留まり
の高いＦＯＵＰオープナを提供することを課題とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段および効果】本願の発明
は、前記のような課題を解決したＦＯＵＰオープナに係
り、その請求項１に記載された発明は、ＦＯＵＰオープ
ナが、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で、水平
に、複数枚収納したＦＯＵＰと、前記ＦＯＵＰを構成す
るＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱機構と保持機構
とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞さ
れる開口部を有するポートプレートと、前記ポートドア
を水平に移動させるポートドア進退機構と、前記ＦＯＵ
Ｐドアを格納するために、前記ポートドアが前記ＦＯＵ
Ｐドアを保持した状態で、前記ポートドアを垂直に移動
させるポートドア昇降機構とを備えてなり、前記ポート
ドア昇降機構の昇降基部材には、センサ進退機構が設け
られ、前記センサ進退機には、センサ取付部材が上方に
向けて延設され、前記センサ取付部材の上部に、前記Ｆ
ＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態を検出するための
光学式の透過型センサが取り付けられたことを特徴とす
るＦＯＵＰオープナである。

【００２２】請求項１に記載された発明は、前記のよう
に構成されており、ＦＯＵＰオープナのポートドア昇降
機構の昇降基部材には、センサ進退機構が設けられ、該
センサ進退機構には、センサ取付部材が上方に向けて延
設され、該センサ取付部材の上部に、ＦＯＵＰ内収納ウ
ェハの有無や収納状態を検出するための光学式の透過型
センサが取り付けられている。

【００２３】この結果、透過型センサは、ポートドアや
ロボットハンドに直接取り付けられることなく、これら
から独立して、センサ取付部材に取り付けられ、しか
も、このセンサ取付部材は、ポートドア昇降機構の昇降
基部材に設けられるセンサ進退機構に上方に向けて延設
されるものであるので、ポートドアやロボットハンドの
水平進退移動に拘束されることがなく、センサ取付け位
置の設定の自由度が向上する。また、ＦＯＵＰ内に必要
量進入して、ポートドア昇降機構の昇降動作を利用しつ
つ、ＦＯＵＰ内収納ウェハの有無や収納状態を確実に検
出することができる。また、センサ進退機構は、ウェハ
あるいはＦＯＵＰドア（閉塞状態時）の下部位置に設け
られることになるので、センサ進退機構からの発塵は、
第２制御環境200 のダウンフローによりさらに下部に運
ばれ、ウェハ汚染やＦＯＵＰドアの内面汚染を引き起こ
す懸念が払拭される。さらに、透過型センサの後端およ
びセンサ進退機構の後端が第２制御空間200側に出っ張
る量Ｗ２が抑制されるので（Ｗ２＜Ｗ１）、透過型セン
サ、センサ進退機構、センサ取付部材等からなるセンサ
機構をコンパクトに実現して、装置のフットプリントを
より狭くすることができる。これらにより、コストパフ
ォーマンスと歩留まりの高いＦＯＵＰオープナを提供す
ることができる。

【００２４】また、その請求項２に記載された発明は、
ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、半導体ウェハを所定
の間隔で、水平に、複数枚収納したＦＯＵＰと、前記Ｆ
ＯＵＰを構成するＦＯＵＰドアを着脱して保持する着脱
機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートド
アにより閉塞される開口部を有するポートプレートと、
前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構
と、前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートド
アが前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートド
アを垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてな
り、前記ポートドア昇降機構の昇降動作に伴い昇降する
センサ取付部材の上部に、マッピングセンサとウェハ転
送手段のハンド部を検出するためのハンドセンサとが取
り付けられたことを特徴とするマッピング機能付きＦＯ
ＵＰオープナである。

【００２５】請求項２に記載された発明は、前記のよう
に構成されており、ＦＯＵＰオープナのポートドア昇降
機構の昇降動作に伴い昇降するセンサ取付部材の上部
に、マッピングセンサとウェハ転送手段のハンド部を検
出するためのハンドセンサとが取り付けられている。

【００２６】この結果、マッピングセンサとハンドセン
サとは、ポートドアやロボットハンドに直接取り付けら
れることなく、これらから独立して、センサ取付部材に
取り付けられ、しかも、このセンサ取付部材は、ポート
ドア昇降機構の昇降動作に伴い昇降するものであるの
で、ポートドアやロボットハンドの水平進退移動に拘束
されることがなく、センサ取付け位置の設定の自由度が
向上する。また、ポートドア昇降機構の昇降動作を利用
して、ウェハのマッピングとウェハ転送手段のハンド部
の高さ位置の検出とを行なうことができる。また、マッ
ピングセンサは、ＦＯＵＰ内に進入して、ポートドア昇
降機構の昇降動作を利用しつつ、ＦＯＵＰ内収納ウェハ
の有無や収納状態、収納位置（高さ）等を検出してウェ
ハのマッピングを行なうことができるとともに、ハンド
センサは、ポートドア昇降機構の昇降動作を利用しつ
つ、ウェハ転送手段のハンド部の高さ位置を検出するこ
とができるので、ウェハの収納位置がばらついたとして
も、これらのセンサ出力情報に基づいてハンド部の適切
な進入高さ位置を設定することができ、これにより、ウ
ェハ転送手段のウェハへのアクセスに際して、ハンド部
がウェハに接触したり、衝突したりすることがなくな
り、ウェハにダメージを与える虞が払拭される。さら
に、マッピングセンサの後端およびハンドセンサの後端
が第２制御空間200 側に出っ張る量Ｗ２が抑制されるの
で（Ｗ２＜Ｗ１）、マッピングセンサ、ハンドセンサ、
センサ進退機構、センサ取付部材等からなるセンサ機構
をコンパクトに実現して、装置のフットプリントをより
狭くすることができる。これらにより、コストパフォー
マンスと歩留まりの高いＦＯＵＰオープナを提供するこ
とができる。

【００２７】また、請求項３に記載のように請求項２に
記載の発明を構成することにより、ハンドセンサは、マ
ッピングセンサと兼用されるようにされる。この結果、
部品を削減して、ＦＯＵＰオープナの製作コストの低減
を図ることができる。

【００２８】また、請求項４に記載のように請求項２お
よび請求項３に記載の発明を構成することにより、ポー
トドア昇降機構は、数値制御可能なサーボモータとボー
ルネジとからなるネジ送り機構を備え、サーボモータの
エンコーダからの出力パルス情報に同期してマッピング
センサおよびハンドセンサの出力情報を収集することが
できるデータ収集手段が設けられる。この結果、マッピ
ング情報に含まれるウェハ位置データやロボットハンド
（ウェハ転送手段のハンド部）の位置データは、同一の
エンコーダ情報により収集することができるので、該ウ
ェハ位置データに基づき、ロボットハンドの適切なウェ
ハへのアクセス位置を誤差なくロボット側に教示するこ
とができる。また、オープナの構成品であるドックプレ
ートやロボットの構成品であるハンド等を交換したり、
あるいはオープナをそっくり入れ換えるような事態にお
いて、交換後の位置合わせ（キャリブレーション）作業
を自動的に、しかも、瞬時に行なうことが可能になり、
異常時の復旧時間を短縮することができる。

【００２９】さらに、請求項５に記載のように請求項１
または請求項３に記載の発明を構成することにより、セ
ンサ取付部材の上部に、異なる寸法のウエハにも対応す
ることができるように、複数種類のセンサが取り付けら
れる。この結果、ウエハの寸法が３００ｍｍや２００ｍ
ｍと異なっても、センサ取付部材を、センサが取り付け
られたまま、当該寸法のウエハに見合ったセンサを備え
る他のセンサ取付部材に交換する作業や、センサ自体を
交換する作業を要さずに、当該寸法のウエハに見合った
センサを使用して、迅速に当該寸法のウエハのＦＯＵＰ
内における有無や収納状態、収納位置（高さ）等を検出
することができ、作業能率が格段に向上する。

【００３０】

【発明の実施の形態】次に、図１ないし図６に図示され
る本願の請求項１に記載された発明の一実施形態（実施
形態１）について説明する。図１は、本実施形態１にお
けるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア開放前の概略側面
図であって、一部を断面にして示す図、図２は、図１の
正面図、図３は、同ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア下
降退避（格納）時の概略側面図であって、一部を断面に
して示す図、図４のＡ〜Ｈは、同ＦＯＵＰオープナにお
いて、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰフレームから離脱開放さ
れてフロントエンドに格納されるまでの一連の過程を示
す図であって、Ｆ〜Ｈは、ロボットハンドの高さ位置を
検出して、適切な高さ位置においてロボットハンドをＦ
ＯＵＰ内に進入させる過程を合わせて示した図、図５
は、検出される収納ウェハの位置ずれの状態とセンサの
位置とを説明する側断面図、図６は、図５の平面図であ
る。

【００３１】すでに従来の技術の項で説明したとおり、
反射型センサをポートドアの上部に配設する方法は、セ
ンサの後端からポートプレートまでの距離Ｗ１が大きく
なって、装置全体のフットプリントを大きくするので、
好ましくない。また、ポートドアの上部にセンサ移動機
構を設けてウェハ収納状態を検出する方法は、反射型セ
ンサ、透過型センサのいずれかを問わず、センサ移動機
構からの発塵がウェハ汚染やＦＯＵＰドアの内面汚染を
引き起こす懸念があるとともに、センサ移動機構の後端
からポートプレートまでの距離Ｗ１が大きくなって、装
置全体のフットプリントが大きくなる傾向にあるので、
これまた好ましくない。そこで、本実施形態１は、以上
の知見を踏まえて、ウェハエッジを検出するセンサとし
て、光学式の透過型センサを用い、この透過型センサ
を、ポートドアとは別個に設けられるセンサ取付部材に
取り付けるようにする。

【００３２】先ず、本実施形態１におけるＦＯＵＰオー
プナの全体構造のあらましを説明する。図１に図示され
るように、本実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ１
は、半導体ウェハ14を所定の間隔で、水平に、複数枚収
納したＦＯＵＰ10と、該ＦＯＵＰ10を載置して位置決め
するドックプレート31と、該ドックプレート31をＦＯＵ
Ｐドア13が着脱される位置まで移動させるドック移動機
構30と、ＦＯＵＰドア13を着脱して保持する着脱機構と
保持機構と（いずれも図示されず）を有するポートドア
23と、該ポートドア23により閉塞される開口部22を有す
るポートプレート21と、ポートドア23を水平に移動させ
るポートドア進退機構40と、ＦＯＵＰドア13をフロント
エンド（第２制御空間200 ）に格納するために、ポート
ドア23がＦＯＵＰドア13を保持した状態で、ポートドア
23を垂直に移動させるポートドア昇降機構50とを備えて
いる。ＦＯＵＰ10は、ＦＯＵＰフレーム11とＦＯＵＰド
ア13とからなり、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレーム
11の開口12を閉塞する。ポートプレート21とポートドア
23とは、フロントエンドのＦＯＵＰ供給側壁体の一部を
なしている。

【００３３】本実施形態１におけるＦＯＵＰオープナ１
は、センサ進退機構60をさらに備えている。このセンサ
進退機構60は、ポートドア昇降機構50の昇降基部材51に
設けられ、このセンサ進退機構60には、矩形状の枠体
（図２参照）からなるセンサ取付部材62が上方に向けて
延設されている。センサ進退機構60は、昇降基部材51に
固定されたリニアガイド61に沿ってセンサ取付部材62を
水平な進退方向（図１において左右方向）に移動させる
機構を備えている。その駆動源としては、電動モータ
（図示されず）が使用される。

【００３４】センサ取付部材62の上部には、光学式の透
過型センサ70が取り付けられている（図１、図２参
照）。センサ取付部材62を構成する矩形状の枠体は、正
面視してポートドア23を間隔を開けて囲む大きさを有
し、ポートドア23の水平進退移動とセンサ取付部材62の
水平進退移動とが干渉しないようにされている。これに
より、センサ取付部材62は、ポートドア23の水平進退移
動とは無関係に、水平進退移動することができる。この
透過型センサ70は、ＦＯＵＰ10内に進入して、ＦＯＵＰ
内収納ウェハ14の有無や収納状態を検出する。透過型セ
ンサ70のＦＯＵＰ10内への進入量は、センサ進退機構60
がセンサ取付部材62を水平方向に進退移動させる量を調
節することにより、適切な量に設定することができる。

【００３５】ドック移動機構30、ポートドア進退機構40
およびポートドア昇降機構50は、従来と異なるものでは
ない。詳細には図示されないが、ドック移動機構30は、
前記のとおり、ドックプレート31を、ＦＯＵＰ10を載置
した状態で、ＦＯＵＰドア13が着脱される位置（ドック
位置）まで移動させるものであり、ポートドア進退機構
40は、ポートドア23の支持台42をリニアガイド41に沿っ
て水平な進退方向に移動させるものであり、支持台42か
らは、ポートドア23に届く支持腕43が伸びている。ま
た、ポートドア昇降機構50は、昇降基部材51をポートプ
レート21に形成された案内溝52に沿って昇降動させるも
のであり、この昇降動を可能にするために、数値制御可
能なサーボモータ53とボールネジ54とからなるネジ送り
機構が用いられている。

【００３６】次に、透過型センサ70がＦＯＵＰ10内に進
入して、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14の有無や収納状態（傾
き挿入、多重挿入等）を検出する過程を、図４のＡ〜
Ｈ、図５、図６を参照しながら、詳細に説明する。先
ず、図４Ａにおいて、ＦＯＵＰドア13は、ＦＯＵＰフレ
ーム11から離脱開放される直前にあり、ポートドア23と
透過型センサ70とは待機状態にある。次いで、ポートド
ア23が、ＦＯＵＰドア13を吸着保持して、水平方向に後
退する（図４Ｂ）。次いで、透過型センサ70が、ポート
ドア23と一体にＦＯＵＰ10内に進入する位置まで下降し
て、位置決めされる（図４Ｃ）。次いで、透過型センサ
70が、ポートドア23とは独立に前進して、ＦＯＵＰ10内
に進入する（図４Ｄ）。次いで、透過型センサ70が、ポ
ートドア23と一体に最下段位置まで下降する（図４
Ｅ）。次いで、透過型センサ70が、ポートドア23とは独
立にＦＯＵＰ10内から後退する（図４Ｆ）。最後に、透
過型センサ70が、ポートドア23と一体に下降退避して、
ＦＯＵＰドア13が、フロントエンド（第２制御空間200
）に格納される（図４Ｈ）。

【００３７】透過型センサ70がＦＯＵＰ10内に進入し
て、最下段位置まで下降するまでの過程（図４Ｄ、Ｅ）
において、透過型センサ70は、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14
の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入等）を検出す
る。図６に図示されるように、透過型センサ70の光軸70
a が基準ウェハ14の先端から５ｍｍ進入した位置が、そ
の検出位置とされている。ここで、基準ウェハ14の先端
は、ＦＯＵＰフレーム11の前面から１６ｍｍのところに
あり、ポートプレート21の厚さは８ｍｍ、センサ70の光
軸からセンサ70の先端までの距離は３ｍｍであるから、
センサ70が退避したときのセンサ70とポートプレート21
との間の最小限必要な間隙２ｍｍを考慮すると、透過型
センサ70の進退ストロークは、３５ｍｍ前後必要である
ことが理解されよう。

【００３８】なお、ポートプレート21の開口部22には、
図５および図６に図示されるように、飛び出しセンサ71
が設けられていて、この飛び出しセンサ71が、ＦＯＵＰ
内収納ウェハ14の水平方向の位置ずれの状態を検出して
いる。ウェハ14の水平方向の位置ずれは、ＦＯＵＰドア
13がＦＯＵＰフレーム11から離脱開放される時に生ずる
が、その位置ずれ量が所定量（２０ｍｍ）を越えたこと
を飛び出しセンサ71が検出すると、その検出結果に基づ
いてＦＯＵＰドア13の離脱開放動作は停止されて、ウェ
ハ14およびＦＯＵＰドア13の保護が図られている。71a
は、飛び出しセンサ71の光軸である。

【００３９】透過型センサ70がＦＯＵＰ内収納ウェハ14
の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入等）を検出する
と、その検出結果は、ロボット側に送信されて、ロボッ
トハンド80の移動量制御やロボットハンド80のウェハ14
へのアクセス位置の調節がなされる。

【００４０】本実施形態１は、前記のように構成されて
いるので、次のような効果を奏することができる。光学
式の透過型センサ70は、ポートドア23やロボットハンド
80に直接取り付けられることなく、これらから独立し
て、センサ取付部材62に取り付けられ、しかも、このセ
ンサ取付部材62は、ポートドア昇降機構50の昇降基部材
51に設けられるセンサ進退機構60に上方に向けて延設さ
れるものであるので、透過型センサ70は、ポートドア23
やロボットハンド80の水平進退移動に拘束されることが
なく、センサ取付け位置の設定の自由度が向上する。ま
た、ＦＯＵＰ10内に必要量進入して、ポートドア昇降機
構50の昇降動作を利用しつつ、ＦＯＵＰ内収納ウェハ14
の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入等）を確実に検
出することができる。

【００４１】また、センサ進退機構60は、ウェハ14ある
いはＦＯＵＰドア13（閉塞状態時）より下部の位置に設
けられることになるので、センサ進退機構60からの発塵
は、第２制御環境200 のダウンフローによりさらに下部
に運ばれ、ウェハ汚染やＦＯＵＰドア13の内面汚染を引
き起こす懸念が払拭される。

【００４２】さらに、透過型センサ70の後端およびセン
サ進退機構60の後端が第２制御空間200 側に出っ張る量
Ｗ２が抑制されるので（Ｗ２＜Ｗ１）、透過型センサ7
0、センサ進退機構60、センサ取付部材62等からなるセ
ンサ機構をコンパクトに実現して、装置のフットプリン
トをより狭くすることができる。これらにより、コスト
パフォーマンスと歩留まりの高いＦＯＵＰオープナ１を
提供することができる。

【００４３】本実施形態１において、センサ進退機構60
は、水平な進退方向に直線移動するものとされたが、こ
れに限定されず、図７および図８に図示されるように、
昇降基部材51に旋回中心軸55を設けて、この旋回中心軸
55の回りに旋回するセンサ旋回進退機構63として構成さ
れてもよい。図８は、センサ旋回進退機構63が旋回した
姿勢において、透過型センサ70がＦＯＵＰ10内に進入し
て、ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入
等）を検出している状態を示している。このようにする
と、センサ進退機構の構造がやや簡単化される。

【００４４】次に、本願の請求項２ないし請求項４に記
載された発明の一実施形態（実施形態２）について説明
する。本実施形態２におけるＦＯＵＰオープナ１は、実
施形態１におけるＦＯＵＰオープナ１と基本的構造にお
いて異なるものではないが、実施形態１における透過型
センサ70は、本実施形態２においては、ＦＯＵＰ内収納
ウェハ14の有無や収納状態（傾き挿入、多重挿入等）の
みならず、ウェハ14の収納位置（高さ）をも検出するこ
とができるマッピングセンサ72に代えられている（図４
Ｆ〜Ｈ参照）。そして、このマッピングセンサ72は、ロ
ボットのウェハ転送手段のハンド部（ロボットハンド）
80を検出するためのハンドセンサとしても使用され、ハ
ンドセンサに兼用されるようになっている。

【００４５】本実施形態２におけるマッピング機能付き
ＦＯＵＰオープナ１は、図４のＦ〜Ｈに特徴的に図示さ
れている。図４Ｆは、マッピングセンサ72がマッピング
作業を終えて、ポートドア23とは独立にＦＯＵＰ10内か
ら後退している状態と、ロボットハンド80が、マッピン
グセンサ72の上部の所定の位置に位置決めされている状
態を示している。マッピングセンサ72は、次いで、図４
Ｆに図示される位置からポートドア23と一体に上昇し
て、ロボットハンド80の高さ位置を検出し、その位置情
報を得る（図４Ｇ）。この位置情報は、ロボット側に送
信されて、マッピング情報から得られるウェハ位置デー
タと比較されて、ロボットハンド80のウェハ14へのアク
セス高さ位置の補正がなされる。

【００４６】マッピング情報のウェハ位置データに基づ
き、ロボットハンド80の適切なウェハ14へのアクセス高
さ位置が誤差なくロボット側に教示されるように、マッ
ピング情報のウェハ位置データとロボットハンド80の位
置データとは、同一のサーボモータ53のエンコーダ情報
により収集されるようになっている。このようにして収
集されたウェハ位置データに基づいて、ロボットハンド
80のウェハ14へのアクセス高さ位置の補正値がロボット
側に教示されて、ロボットハンド80が、ウェハ14の高さ
位置に応じた適切な高さ位置においてウェハ14にアクセ
スすることができるようになる（図４Ｈ）。なお、この
とき、マッピングセンサ72は、ポートドア23と一体に下
降退避して、ＦＯＵＰドア13はフロントエンド（第２制
御空間200 ）に格納されている。

【００４７】以上のようなロボットハンド80のウェハ14
へのアクセス高さ位置の補正方法は、要するに、ＦＯＵ
Ｐオープナ１側でマッピング情報からロボットハンド80
のウェハ14へのアクセス高さ位置を求め、ＦＯＵＰオー
プナ１側でロボットハンド80の実際の高さ位置を検出
し、ＦＯＵＰオープナ１側からロボット側へロボットハ
ンド80のウェハ14へのアクセス高さ位置の補正量を教示
する方法である。このようにすると、ＦＯＵＰオープナ
１の構成品であるドックプレート31やロボットの構成品
であるロボットハンド80等を交換したり、あるいはＦＯ
ＵＰオープナ１をそっくり入れ変えるような事態におい
て、交換後の位置合わせ（キャリブレーション）作業を
自動的に、しかも、瞬時に行うことが可能になり、異常
時の復旧時間を短縮することができる。

【００４８】キャリブレーション動作が終了し、生産を
始めると、ＦＯＵＰ10が順次入れ替わることになる。こ
のような場合には、ＦＯＵＰ10が入れ替わる度にキャリ
ブレーション動作を行わずに、ＦＯＵＰオープナ１側か
ら上位（ロボット）へ単に、マッピング情報に基づく補
正値のみを出力するようにしてもよく、また、ＦＯＵＰ
10が入れ替わる度に、毎回この動作を行なうようにして
もよい。このようにすれば、ウェハ14の収納高さ位置が
ばらついても、適切な位置にロボットハンド80を進入さ
せることができるようになり、ロボットハンド80とウェ
ハ14とが接触したり、衝突したりするような事態を回避
することができる。

【００４９】そのためには、ポートドア昇降機構50に、
サーボモータ53、ボールネジ54からなるネジ送り機構を
採用し、エンコーダの出力情報（パルス）に同期してマ
ッピングセンサ72やハンドセンサ（マッピングセンサ72
と兼用されない場合）の出力情報を収集できるデータ収
集手段を設けることが望ましい。

【００５０】本実施形態２は、前記のように構成されて
いるので、次のような効果を奏することができる。ＦＯ
ＵＰオープナ１のポートドア昇降機構50の昇降動作に伴
い昇降するセンサ取付部材62の上部に、ハンドセンサを
兼用するマッピングセンサ72が取り付けられているの
で、マッピングセンサ72は、ＦＯＵＰ１内に進入して、
ポートドア昇降機構50の昇降動作を利用しつつ、ＦＯＵ
Ｐ内収納ウェハ14の有無や収納状態、収納位置（高さ）
等を検出して、ウェハ14のマッピングを行なうことがで
きるとともに、ウェハ転送手段のハンド部（ロボットハ
ンド）80の高さ位置を検出することができる。これによ
り、ウェハ14の収納高さ位置がばらついたとしても、こ
のセンサ72の出力情報に基づいてロボットハンド80の適
切な進入高さ位置を設定することができ、ウェハ転送手
段のウェハ14へのアクセスに際して、ロボットハンド80
がウェハ14に接触したり、衝突したりすることがなくな
り、ウェハ14にダメージを与える虞が払拭される。ま
た、ハンドセンサは、マッピングセンサ72と兼用されて
いるので、部品を削減して、ＦＯＵＰオープナ１の製作
コストを低減することができる。

【００５１】また、マッピングセンサ72の後端が第２制
御空間200側に出っ張る量Ｗ２が抑制されるので（Ｗ２
＜Ｗ１）、マッピングセンサ72（ハンドセンサを兼ね
る）、センサ進退機構60、センサ取付部材62等からなる
センサ機構をコンパクトに実現して、装置のフットプリ
ントをより狭くすることができる。これらにより、コス
トパフォーマンスと歩留まりの高いＦＯＵＰオープナ１
を提供することができる。

【００５２】さらに、ポートドア昇降機構50は、数値制
御可能なサーボモータ53とボールネジ54とからなるネジ
送り機構を備え、サーボモータ53のエンコーダからの出
力パルス情報に同期してマッピングセンサ72の出力情報
を収集することができるデータ収集手段が設けられてい
るので、マッピング情報より得られるウェハ位置データ
やロボットハンド80の位置データは、同一のエンコーダ
情報により収集することができ、ウェハ位置データに基
づきロボットハンド80の適切なウェハ14へのアクセス高
さ位置を誤差なくロボット側に教示することができる。
これにより、ロボットハンド80とウェハ14との接触、衝
突の虞がさらになくなる。また、ＦＯＵＰオープナ１の
構成品であるドックプレート31やロボットの構成品であ
るハンド部80等を交換したり、あるいはＦＯＵＰオープ
ナ１をそっくり入れ換えるような事態において、交換後
の位置合わせ（キャリブレーション）作業を自動的に、
しかも、瞬時に行なうことが可能になり、異常時の復旧
時間を短縮することができる。

【００５３】本実施形態２において、マッピングセンサ
72は、ハンドセンサを兼用するようにされたが、ハンド
センサを別個に設けてもよいことはもちろんである。こ
の場合において、ハンドセンサは、センサ取付部材62の
マッピングセンサ72が取り付けられる位置の近傍の部位
に取り付けるようにすることができる。

【００５４】次に、本願の請求項５に記載された発明の
一実施形態（実施形態３）について説明する。図９は、
実施形態１および実施形態２におけるＦＯＵＰオープナ
に使用されたセンサ取付部材を比較のために単体で取り
出して見た同センサ取付部材の斜視図、図１０は、本実
施形態３におけるＦＯＵＰオープナに使用されるセンサ
取付部材の部分斜視図である。なお、実施形態１および
実施形態２と対応する部分には、同一の符号を付してい
る。

【００５５】これらの図の比較から明らかなように、本
実施形態３におけるＦＯＵＰオープナ１に使用されるセ
ンサ取付部材62の上部には、実施形態１においてそこに
取り付けられていた透過型センサ70に加えて、もう１つ
の透過型センサ（発光部と受光部との対からなるもの）
73が、その上部の中央部寄りに、取り付けられている。
このもう１つの透過型センサ73は、寸法において異なる
（より小径の）他のウエハ14のＦＯＵＰ10内における有
無や収納状態を検出することができるものである。

【００５６】このようにすることにより、ウエハの寸法
が３００ｍｍや２００ｍｍと異なっても、センサ取付部
材62を異なる寸法のウエハに見合った透過型センサを備
える他のセンサ取付部材62に取り換える作業や、透過型
センサ70を他の透過型センサ73に交換する作業等を要さ
ずに、当該寸法のウエハ14に見合った透過型センサを使
用して、迅速に当該寸法のウエハ14のＦＯＵＰ10内にお
ける有無や収納状態を検出することができ、作業能率が
格段に向上する。透過型センサの種類数は、ウエハの寸
法の種類数に応じて２つ以上とされてもよい。

【００５７】また、実施形態２においてセンサ取付部材
62の上部に取り付けられていたマッピングセンサ72に加
えて、異なる寸法のウエハに見合ったもう１つのマッピ
ングセンサ73が取り付けられてもよく、このようにすれ
ば、寸法において異なる他のウエハ14のＦＯＵＰ10内に
おける有無や収納状態、収納位置（高さ）等を迅速に検
出することができ、前記と同様の効果を奏することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本願の請求項１に記載された発明の一実施形態
（実施形態１）におけるＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰド
ア開放前の概略側面図であって、一部を断面にして示す
図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】同ＦＯＵＰオープナのＦＯＵＰドア下降退避
（格納）時の概略側面図であって、一部を断面にして示
す図である。

【図４】Ａ〜Ｈは、同ＦＯＵＰオープナにおいて、ＦＯ
ＵＰドアがＦＯＵＰフレームから離脱開放されてフロン
トエンドに格納されるまでの一連の過程を示す図であっ
て、特にＦ〜Ｈは、ロボットハンドの高さ位置を検出し
て、適切な高さ位置においてロボットハンドがＦＯＵＰ
内に進入するようにする過程を合わせて示した図であ
る。

【図５】検出される収納ウェハの位置ずれの状態とセン
サの位置とを説明する側断面図である。

【図６】図５の平面図である。

【図７】センサ旋回進退機構のみが異なる、実施形態１
の変形例を示す図１と同様の図である。

【図８】センサ旋回進退機構が旋回した状態における図
７と同様の図である。

【図９】実施形態１および実施形態２におけるＦＯＵＰ
オープナに使用されたセンサ取付部材を比較のために単
体で取り出して見た同センサ取付部材の斜視図である。

【図１０】本願の請求項５に記載された発明の一実施形
態（実施形態３）におけるＦＯＵＰオープナに使用され
るセンサ取付部材の部分斜視図である。

【図１１】従来の反射型センサをポートドアの上部に配
設したＦＯＵＰオープナの概略側面図であって、一部を
断面にして示す図である。

【図１２】異なる状態における図１１と同様の図であ
る。

【図１３】さらに異なる状態における図１１と同様の図
である。

【図１４】さらに異なる状態における図１１と同様の図
である。

【図１５】従来の反射型センサがＦＯＵＰ内収納ウェハ
を検出している状態におけるＦＯＵＰおよびセンサを含
む部分の平面図である。

【符号の説明】１…ＦＯＵＰオープナ、10…ＦＯＵＰ、11…ＦＯＵＰフ
レーム、12…開口、13…ＦＯＵＰドア、14…半導体ウェ
ハ、21…ポートプレート、22…開口部、23…ポートド
ア、30…ドック移動機構、31…ドックプレート、40…ポ
ートドア進退機構、41…リニアガイド、42…支持台、43
…支持腕、50…ポートドア昇降機構、51…昇降基部材、
52…案内溝、53…サーボモータ、54…ボールネジ、55…
旋回中心軸、60…センサ進退機構、61…リニアガイド、
62…センサ取付部材、63…センサ旋回進退機構、70…透
過型センサ、70a …光軸、71…飛び出しセンサ、71ａ…
光軸、72…マッピングセンサ、73…センサ（透過型セン
サ、マッピングセンサ）、80…ロボットハンド（ウェハ
転送手段のハンド部）、100 …第１制御空間、200 …第
２制御空間、300 …外部環境（第３空間）。

フロントページの続きＦターム(参考） 5F031 CA02 DA08 EA12 EA14 FA01 FA11 JA04 JA06 JA13 JA23 JA25 JA30 JA51 NA10 PA10 PA13 PA20 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納した
ＦＯＵＰと、前記ＦＯＵＰを構成するＦＯＵＰドアを着脱して保持す
る着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポート
プレートと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構
と、前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを
垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、前記ポートドア昇降機構の昇降基部材には、センサ進退
機構が設けられ、前記センサ進退機構には、センサ取付部材が上方に向け
て延設され、前記センサ取付部材の上部に、前記ＦＯＵＰ内収納ウェ
ハの有無や収納状態を検出するための光学式の透過型セ
ンサが取り付けられたことを特徴とするＦＯＵＰオープ
ナ。
【請求項２】ＦＯＵＰオープナが、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納した
ＦＯＵＰと、前記ＦＯＵＰを構成するＦＯＵＰドアを着脱して保持す
る着脱機構と保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポート
プレートと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構
と、前記ＦＯＵＰドアを格納するために、前記ポートドアが
前記ＦＯＵＰドアを保持した状態で、前記ポートドアを
垂直に移動させるポートドア昇降機構とを備えてなり、前記ポートドア昇降機構の昇降動作に伴い昇降するセン
サ取付部材の上部に、マッピングセンサとウェハ転送手
段のハンド部を検出するためのハンドセンサとが取り付
けられたことを特徴とするマッピング機能付きＦＯＵＰ
オープナ。
【請求項３】前記ハンドセンサは、前記マッピングセ
ンサと兼用されていることを特徴とする請求項２に記載
のマッピング機能付きＦＯＵＰオープナ。
【請求項４】前記ポートドア昇降機構は、数値制御可
能なサーボモータとボールネジとからなるネジ送り機構
を備え、前記サーボモータのエンコーダからの出力パルス情報に
同期してマッピングセンサおよびハンドセンサの出力情
報を収集することができるデータ収集手段が設けられた
ことを特徴とする請求項２および請求項３に記載のＦＯ
ＵＰオープナ。
【請求項５】前記センサ取付部材の上部に、異なる寸
法のウエハにも対応することができるように、複数種類
のセンサが取り付けられたことを特徴とする請求項１ま
たは請求項３に記載のＦＯＵＰオープナ。