KR102528602B1 - 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템 - Google Patents

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쉬천 왕
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상하이 구어나 세미컨덕터 테크놀로지 컴퍼니 리미티드
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Abstract

본 발명은 로드 포트를 포함하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템을 개시하며, 로드 포트에는 도킹 인터페이스가 설치되고, 로드 포트의 일 측면에는 배치 기구가 설치되며, 배치 기구는 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트 및 도킹 플레이트를 포함하고, 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트는 각각 도킹 플레이트에 연결되며, 스윙 컴포넌트는 도킹 플레이트를 구동하여 도킹 플레이트를 도킹 인터페이스의 측면 상방에 배치시킬 수 있다. 로드 포트 최상부 공간을 이용함으로써, 로드 포트의 구조 레이아웃이 더욱 합리적이며, 도어가 지정된 위치에 배치된 후, 도킹 플레이트는 수평에 가깝게 안착되고, 도킹 플레이트를 통해 도어에 지지력을 부여하여, 진공 흡인력에 대한 의존도를 낮추며, 기압 파동으로 인한 영향을 피할 수 있다.

Description

웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템
본 발명은 반도체 가공 분야에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템에 관한 것이다.
반도체 가공 과정에서, 웨이퍼는 생산 라인의 상이한 위치에서 수송 및 이송되어야 하며, 일반적으로 로드 포트(Loadport)를 사용하여 웨이퍼의 피드를 수행하고, 기본 작동 원리는 로드 포트가 웨이퍼 포드에 대해 조작을 수행하여, 지정된 위치에 도달한 후, 웨이퍼 포드의 도어가 열리고, 매니퓰레이터 또는 기타 장비를 통해 웨이퍼를 꺼냄으로써, 웨이퍼의 로딩을 구현한다.
반도체 가공 과정에서, 웨이퍼는 상이한 가공 스테이션 사이에서 수송 및 이송되거나 웨이퍼에 대해 재분류하여 정리를 수행하여야 하며, 일반적으로 장비 프런트 엔드 모듈(EFEM), 웨이퍼 자동 선별 분류기(Sorter)를 이용하여 상술한 기능을 구현한다. 로드 포트(Loadport)는 일반적으로 상술한 장비 중에 장착되어 있으며, 주요 기능은 먼저 웨이퍼 포드를 도킹 인터페이스로 보내고, 그 다음 웨이퍼 포드의 도어를 열고 지정된 위치에 배치하며, 이어서 웨이퍼 센서를 통해 웨이퍼의 포즈를 감지하는 것이다. 로드 포트가 상술한 기능을 완료한 다음, EFEM, Sorter 중의 매니퓰레이터 또는 기타 장비는 웨이퍼를 포드에서 꺼내서 가공 스테이션으로 더 수송하여, 웨이퍼의 로딩을 완료한다.
그러나, 현재 로드 포트(Loadport) 중의 도킹 플레이트 및 웨이퍼 감지 센서는 함께 수직으로 아래로 움직이기 때문에, 로드 포트의 구조가 너무 콤팩트하여, 로드 포트의 조립, 디버깅 및 보수에 불리하고; 아울러 웨이퍼 포드의 도어가 전체 과정에서, 시종 수직으로 배치 상태에 있기 때문에, 도어의 안정은 로드 포트의 도킹 플레이트 전측면 흡착판의 진공 흡인력에 의해 유지되며, 기압 파동의 영향을 받기 쉽다. 또한 EFEM 및 Sorter에서, 웨이퍼 포드 도어는 로드 포트(Loadport)에 의해 열린 후 EFEM 및 Sorter의 하부에 배치되고, EFEM 및 Sorter 하부에 장착된 매니퓰레이터를 피하기 위해, EFEM 및 Sorter의 부피 크기를 늘릴 필요가 있지만, 실제로 EFEM 및 Sorter의 최상부에 여유 공간이 많이 있는데, 이 부분 여유 공간이 로드 포트(Loadport)에 의해 충분히 결합, 발휘 및 사용되지 않기에, 낭비를 초래하고, 반도체 가공에 필요한 청결한 환경을 유지하는 비용이 비싸므로, 기계의 설계 부피가 중복되어서는 안된다.
본 발명은, 기계 부피를 감소하고, 생산 원가를 절감하는 것을 목적으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템을 제공한다.
상술한 단점을 극복하기 위해, 본 발명의 목적은 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템을 제공하는 데 있다.
이상 목적을 달성하기 위해, 본 발명이 적용한 기술적 해결수단은, 로드 포트를 포함하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템으로서, 상기 로드 포트는 기판, 탱크 및 로딩 테이블을 포함하며, 상기 기판에는 도킹 인터페이스가 설치되어 있고, 상기 도킹 인터페이스의 크기는 웨이퍼 포드 도어와 서로 매칭되며, 로딩 테이블을 등진 상기 기판의 일 측면에는, 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트 및 도킹 플레이트를 포함하는 배치 기구가 설치되어 있고, 상기 스윙 컴포넌트는 도킹 인터페이스의 상방에 설치되며, 상기 종동 컴포넌트는 도킹 인터페이스의 하방에 설치되고, 상기 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트는 각각 도킹 플레이트에 연결되며, 상기 스윙 컴포넌트는 도킹 플레이트를 구동하여 도킹 플레이트를 도킹 인터페이스의 측면 상방에 배치시킬 수 있으며, 상기 종동 컴포넌트는 도킹 플레이트의 회동 자유도를 구속하고, 배치된 도킹 플레이트의 전측면이 위로 향하도록 할 수 있다.
바람직하게는, 상기 스윙 컴포넌트는 스윙 로드, 크로스 로드 및 액추에이터를 포함하고, 상기 스윙 로드는 상기 도킹 플레이트의 좌우 양측에 대칭으로 2개 설치되며, 2개의 상기 스윙 로드의 일단은 각각 도킹 플레이트에 고정된 2개의 제1 고정 시트에 힌지 연결되고, 타단은 각각 기판에 고정된 2개의 제2 고정 시트에 힌지 연결되며, 상기 스윙 로드에는 보스가 설치되어 있고, 상기 크로스 로드 양단은 각각 2개의 스윙 로드의 보스에 고정 연결되며, 상기 크로스 로드 및 기판 사이에는 또한 액추에이터가 힌지 연결되어 설치된다. 그 목적은 도킹 플레이트가 열린 후, 도킹 인터페이스의 상방에 위치하도록 하고, 액추에이터가 구동을 수행할 때, 스윙 로드가 상단의 힌지 연결 점을 중심으로 스윙하며, 도킹 플레이트를 구동하여 도킹 인터페이스의 측면 상방에 위치시키도록 하는 것이다.
바람직하게는, 상기 액추에이터는 직선운동 실린더이며, 상기 직선운동 실린더의 실린더 끝단은 기판에 고정된 실린더 테일 커넥팅 플레이트에 고정 연결되고, 상기 실린더 테일 커넥팅 플레이트는 기판에 고정된 서포트에 힌지 연결되며, 상기 직선운동 실린더의 피스톤 로드는 더블 너클 조인트에 고정 연결되고, 상기 크로스 로드의 중부에는 보스가 설치되어 있으며, 상기 더블 너클 조인트는 크로스 로드의 보스에 힌지 연결된다.
바람직하게는, 상기 종동 컴포넌트는 커넥팅 로드, 가동 로드, 슬라이더 및 슬라이드 레일을 포함하며, 상기 커넥팅 로드는 병렬로 2개 설치되고, 도킹 플레이트의 좌우 양측에 대칭으로 설치되며, 2개의 상기 커넥팅 로드의 일단은 모두 도킹 플레이트 후측면에 고정되고, 타단은 각각 가동 로드에 힌지 연결되며, 아울러 상기 가동 로드는 커넥팅 플레이트를 통해 슬라이더에 고정 연결되고, 상기 슬라이더는 슬라이드 레일에 씌움 설치되며, 상기 슬라이드 레일은 기판에 수직으로 고정 설치된다. 즉 종동 컴포넌트는 도킹 플레이트의 회동 자유도에 대한 제한을 구현한다.
바람직하게는, 상기 가동 로드는 "
Figure 112022128858538-pct00001
"형상을 나타내고, 상기 가동 로드의 형상 및 크기는 도킹 인터페이스와 서로 매칭되며, 상기 가동 로드는 슬라이더와 함께 슬라이드 레일 방향을 따라 기판에 평행된 면 내에서 직선 병진 운동을 한다. 이러한 설치는, 일 측면으로 도킹 플레이트 운동 경로의 제어를 구현하여, 도킹 인터페이스의 측면 상방에 배치시킬 수 있고, 다른 측면으로 EFEM 또는 Sorter 중의 매니퓰레이터가 도킹 인터페이스를 통해 웨이퍼 포드에서 웨이퍼를 꺼내고 배치하는 것도 간섭하지 않는다.
바람직하게는, 상기 스윙 컴포넌트의 스윙 로드와 제1 고정 시트는 제1 회전축을 통해 힌지 연결되고, 제1 고정 시트는 도킹 플레이트 후측면에 설치되며, 상기 스윙 컴포넌트의 스윙 로드와 제2 고정 시트는 제3 회전축을 통해 힌지 연결되고, 상기 종동 컴포넌트의 커넥팅 로드와 가동 로드는 제2 회전축을 통해 힌지 연결된다. 웨이퍼 포드 도어의 닫힘 상태에서, 도킹 플레이트는 수직으로 놓여 있고, 기판에 평행되며, 제3 회전축의 축선 및 제2 회전축의 축선은 기판에 평행된 하나의 수직면을 형성한다.
웨이퍼 포드 도어의 닫힘 상태에서, 도킹 플레이트는 수직으로 놓여 있고 또한 기판에 평행되며, 아울러 제3 회전축의 축선 및 제2 회전축의 축선은 수직면을 형성하고, 수직면은 기판에 평행된다.
바람직하게는, 제1 회전축의 축선에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리는 제2 회전축의 축선에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리보다 작다. 웨이퍼 포드 도어가 웨이퍼 포드에 내장되어 있기에, 도어의 상, 하 및 좌, 우 4개 측면은 웨이퍼 포드에 대해 일정한 거리를 유지하여, 도어와 웨이퍼 포드의 상, 하 및 좌, 우 내벽의 접촉이나 마찰을 피할 수 있다. 그러나 도킹 플레이트는 도어를 포드에서 꺼내는 과정에서 도어를 웨이퍼 포드에서 평행으로 움직이는 것이 아니라, 일정한 각도로 스윙하고, 스윙 과정에서 웨이퍼 포드에 대한 도어의 경사도가 클수록 웨이퍼 포드의 내벽과 마찰이 생기고 심지어 응력 작용이 발생하기 쉬우며, 이는 웨이퍼 포드의 내벽에 마모를 발생시켜, 밀봉 효과에 영향을 미칠 뿐만 아니라, 아울러 마모 과정에서 발생되는 미세먼지 입자는 웨이퍼 포드 심지어 EFEM 및 Sorter 내부의 청결도에도 영향을 미치며, 로드 포트에서 웨이퍼 포드의 고정 안정성에도 영향을 미치므로, 도어를 웨이퍼 포드에서 꺼내는 과정에서 상대적인 경사도를 낮추면, 상술한 숨겨진 위험의 발생을 효과적으로 피할 수 있다. 이를 위해, 제1 회전축에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리를 제2 회전축에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리보다 작게 설계하여, 스윙 로드가 초기 위치에서 도킹 플레이트에 대해 일정한 정도의 역방향 경사를 나타내도록 할 수 있으며, 이 초기의 역방향 경사는 도어를 웨이퍼 포드에서 꺼내는 과정에서 도킹 플레이트의 상대적인 경사도를 감소하여, 도어를 웨이퍼 포드에서 꺼내는 과정에서 웨이퍼 포드 내벽과의 마찰이나 추력의 작용이 발생하는 것을 피한다.
배치 시스템의 구동에 의해, 도킹 플레이트는 도킹 인터페이스를 닫거나 열 수 있으며, 닫힘 시, 도킹 플레이트 전측면의 흡착판을 통해 도킹 인터페이스의 타측의 웨이퍼 포드 도어를 흡착한 다음, 배치 시스템에 의해 구동되어, 도어를 지정된 위치에 배치한다. 도킹 플레이트 후측면에는 백커버가 더 설치되고, 도킹 플레이트 전측면에는 도어를 흡착하기 위한 흡착판이 설치되어 있기에, 흡착판에 흡인력을 제공하기 위해 진공 관로는 도킹 플레이트 후측면에 설치되며, 운동 과정에서 관로에 대한 간섭을 피하고 관로 주변 환경의 청결을 유지하기 위해, 백커버를 설치하여 진공 관로를 밀봉한다.
웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템은, 로드 포트 최상부 공간을 충분히 이용함으로써, 로드 포트의 구조 레이아웃이 더욱 합리적이다. 기존의 로드 포트는, 웨이퍼 포드 도어를 꺼내고 배치할 때, 도어가 시종 수직으로 유지되고, 완전히 진공 흡인력에 의해 도어를 도킹 플레이트에 밀착시키지만, 진공 흡착은 공기 차단 유지 기능을 구비하지 않으며, 흡착의 견고성은 기압 파동의 영향을 받기 매우 쉽다. 본 발명의 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템이 도어를 지정된 위치에 배치한 후, 도킹 플레이트는 수평에 가깝게 배치되고, 도킹 플레이트를 통해 도어에 지지력을 부여하여, 진공 흡인력에 대한 의존도를 낮출 수 있으며, 로드 포트에서 웨이퍼 포드 도어의 열림, 꺼냄 및 배치 기구를 위한 모듈화 설계를 구현하고, 로드 포트의 기계적 구조 직접도를 낮춤으로써, 로드 포트의 생산, 조립, 운송 및 보수에 유리하다.
도 1은 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템의 입체 구조 모식도이다.
도 2는 스윙 컴포넌트의 부분 모식도이다.
도 3은 스윙 컴포넌트 및 종동 컴포넌트의 위치 모식도이다.
도 4는 닫힘 상태의 측면도이다.
도 5는 닫힘 상태의 입체 모식도이다.
도 6은 열림 과정에서의 측면도이다.
도 7은 열림 과정에서의 입체 모식도이다.
도 8은 완전 열림 상태의 측면도이다.
도 9는 완전 열림 상태의 입체 모식도이다.
도 10은 크로스 로드의 모식도이다.
도 11은 실린더 테일 커넥팅 플레이트의 모식도이다.
본 발명의 장점 및 특징을 당업자가 더욱 쉽게 이해할 수 있도록, 아래에 도면과 함께 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명함으로써, 본 발명의 보호 범위에 대해 더욱 분명하고 명확하게 정의한다.
도 1-11에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 로드 포트(1)를 포함하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템에서, 로드 포트(1)는 기판(101), 탱크(102) 및 로딩 테이블(103)을 포함하며, 기판(101)에는 도킹 인터페이스(2)가 설치되어 있고, 도킹 인터페이스(2)의 크기는 웨이퍼 포드 도어(8)와 서로 매칭되며, 로딩 테이블(103)을 등진 기판(101)의 일 측면에는 스윙 컴포넌트(4), 종동 컴포넌트(5) 및 도킹 플레이트(3)를 포함하는 배치 기구가 설치되어 있고, 스윙 컴포넌트(4)는 도킹 인터페이스(2)의 상방에 설치되며, 종동 컴포넌트(5)는 도킹 인터페이스(2)의 하방에 설치되고, 스윙 컴포넌트(4), 종동 컴포넌트(5)는 각각 도킹 플레이트(3)에 연결되며, 스윙 컴포넌트(4)는 도킹 플레이트(3)를 구동하여 도킹 플레이트(3)를 도킹 인터페이스(2)의 측면 상방에 배치시킬수 있고, 종동 컴포넌트(5)는 도킹 플레이트(3)의 회동 자유도를 구속하고, 배치된 도킹 플레이트 전측면(301)이 위로 향하도록 할 수 있다.
스윙 컴포넌트(4)는 스윙 로드(401), 크로스 로드(402) 및 액추에이터(403)를 포함하며, 스윙 로드(401)는 도킹 플레이트(3)의 좌우 양측에 대칭으로 2개 설치되며, 2개의 스윙 로드(401)의 일단은 각각 도킹 플레이트(3)에 고정된 2개의 제1 고정 시트(404)에 제1 회전축(6)을 통해 힌지 연결되고, 타단은 각각 기판(101)에 고정된 2개의 제2 고정 시트(405)에 제3 회전축(409)을 통해 힌지 연결되며, 스윙 로드(401)에는 보스가 설치되어 있고, 크로스 로드(402) 양단은 각각 2개의 스윙 로드(401)의 보스에 고정 연결되며, 크로스 로드(402) 및 기판(101) 사이에는 또한 액추에이터(403)가 힌지 연결되여 설치된다. 그 목적은 도킹 플레이트(3)가 열린 후, 도킹 인터페이스(2)의 측면 상방에 위치하도록 하고, 액추에이터(403)가 구동을 수행할 때, 스윙 로드(401)가 제3 회전축(409)을 중심으로 스윙하며, 도킹 플레이트(3)를 구동하여 도킹 인터페이스(2)의 상방에 위치시키도록 하는 것이다.
액추에이터(403)는 직선운동 실린더이며, 직선운동 실린더의 실린더 끝단은 기판(101)에 고정된 실린더 테일 커넥팅 플레이트(406)에 고정 연결되고, 실린더 테일 커넥팅 플레이트(406)는 기판(101)에 고정된 서포트(407)에 힌지 연결되며, 직선 운동 실린더의 피스톤 로드는 더블 너클 조인트(408)에 고정 연결되고, 크로스 로드(402)의 중부에는 보스가 설치되어 있으며, 더블 너클 조인트(408)는 크로스 로드(402)의 보스에 힌지 연결된다.
종동 컴포넌트(5)는 커넥팅 로드(501), 가동 로드(502), 슬라이더(504) 및 슬라이드 레일(505)을 포함하며, 커넥팅 로드(501)는 병렬로 2개 설치되고, 도킹 플레이트(3)의 좌우 양측에 대칭으로 설치되며, 2개의 커넥팅 로드(501)의 일단은 모두 도킹 플레이트 후측면(302)에 고정되고, 타단은 각각 가동 로드(502)에 힌지 연결되며, 아울러 가동 로드(502)는 커넥팅 플레이트(503)를 통해 슬라이더(504)에 고정 연결되고, 슬라이더(504)는 슬라이드 레일(505)에 씌움 설치되며, 슬라이드 레일(505)은 기판(101)에 수직으로 고정 설치된다. 액추에이터(403)가 스윙 컴포넌트(4)를 통해 도킹 플레이트(3)를 구동하여 도킹 인터페이스(2) 측면 상방으로 움직이는 과정에서, 종동 컴포넌트(5)는 도킹 플레이트(3)의 회동을 구속하여, 도킹 플레이트(3)가 로드 포트(1)에 대해 시계 반대 방향으로 회동하도록 함으로써(도면 1 참조), 도킹 플레이트(3)를 수직 상태에서 점차적으로 전측면이 위로 향하는 상태로 전환한다.
가동 로드(502)는 "
Figure 112022128858538-pct00002
"형상을 나타내고, 가동 로드(502)의 형상 및 크기는 도킹 인터페이스(2)와 서로 매칭되며, 가동 로드(502)는 슬라이더(504)와 함께 슬라이드 레일(505) 방향을 따라 기판(101)에 평행된 면 내에서 직선 병진 운동을 한다. 이러한 설치는, 한편으로 도킹 플레이트(3)의 이동 경로를 제어하여, 도킹 플레이트(3)가 도킹 인터페이스(2)의 측면 상방에 배치될 수 있도록 하고, 다른 한편으로 EFEM또는 Sorter 중의 매니퓰레이터가 도킹 인터페이스(2)를 통해 웨이퍼 포드(10)에서 웨이퍼를 꺼내고 배치하는 작업을 간섭하지 않는다.
도면 3-4를 참조하면, 웨이퍼 포드 도어의 닫힘 상태에서, 도킹 플레이트(3)는 수직으로 놓여 있고, 기판(101)에 평행되며, 제3 회전축(409)의 축선 및 제2 회전축(7)의 축선은 기판(101)에 평행된 동일한 수직면(도면 4에 도시된 점선 참조)에 있다. 스윙 컴포넌트(4)의 스윙 로드(401)와 제1 고정 시트(404)는 제1 회전축(6)을 통해 힌지 연결되고, 제1 고정 시트(404)는 도킹 플레이트(3)의 후측면에 설치되며, 종동 컴포넌트(5)의 커넥팅 로드(501)와 가동 로드(502)는 제2 회전축(7)을 통해 힌지 연결되고, 제1 회전축(6)의 축선에서 도킹 플레이트 후측면(302)까지의 거리(d)는 제2 회전축(7)의 축선에서 도킹 플레이트 후측면(302)까지의 거리(D)보다 작다. 도면 3을 참조하면, 스윙 로드(401)는 스윙 컴포넌트(4)의 일부이고, 초기 위치에서 스윙 로드(401)는 도킹 플레이트(3)에 대해 일정한 정도의 역방향 경사를 나타내며, 상기 초기 역방향 경사는 도킹 플레이트(3)가 웨이퍼 포드(10)에서 도어(8)를 꺼내는 과정에서 상대적인 경사도를 감소하여, 웨이퍼 포드(10)에서 꺼내는 과정에서 도어(8)와 웨이퍼 포드(10) 내벽의 접촉을 피함으로써, 도어(8)를 웨이퍼 포드(10)에서 꺼낼 때 웨이퍼 포드(10) 내벽과 마찰이나 추력이 발생하는 것을 피한다.
배치 시스템의 구동에 의해, 도킹 플레이트(3)는 도킹 인터페이스(2)를 닫거나 열 수 있으며, 닫힘 시, 도킹 플레이트 전측면(301)의 흡착판을 통해 도킹 인터페이스(2)의 타측의 웨이퍼 포드 도어(8)를 흡착한 다음, 배치 시스템에 의해 구동되어, 도어(8)를 지정된 위치(흡착식 도어를 여는 구조와 원리는 본 분야에 공지되었으므로, 여기서 더 이상 설명하지 않음)에 배치한다. 도킹 플레이트 후측면(302)에는 백커버(9)가 더 설치되고, 도킹 플레이트 전측면(301)에는 도어(8)를 흡착하기 위한 흡착판이 설치되어 있기에, 흡착판에 흡인력을 제공하기 위해 진공 관로는 도킹 플레이트 후측면(302)에 설치되며, 운동 과정에서 관로에 대한 간섭을 피하고, 관로 주변 환경의 청결을 유지하기 위해, 백커버(9)를 설치하여 진공 관로를 밀봉한다.
웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템은, 로드 포트(1) 그리고 EFEM 및 Sorter 최상부 공간을 충분히 이용함으로써, 로드 포트(1) 그리고 EFEM 및 Sorter의 구조 레이아웃이 더욱 합리적이다. 기존의 로드 포트는, 웨이퍼 포드 도어(8)를 꺼내고 배치할 때, 도어(8)가 시종 수직으로 유지되고, 완전히 진공 흡인력에 의해 도어(8)를 도킹 플레이트(3)에 밀착시키며, 본 발명의 웨이퍼 포드 도어(8)를 위한 배치 시스템이 도어(8)를 지정된 위치에 배치한 후, 도킹 플레이트(3)는 수평에 가깝게 배치되고, 도킹 플레이트(3)를 통해 도어(8)에 지지력을 부여하여, 진공 흡인력에 대한 의존도를 낮출 수 있으며, 로드 포트에서 웨이퍼 포드 도어(8)의 열림, 꺼냄 및 배치 기구를 위한 모듈화 설계를 구현하고, 로드 포트의 기계적 구조 직접도를 낮춤으로써, 로드 포트의 생산, 조립, 운송 및 보수에 보다 유리하다.
구체적으로 도 4-9를 참조하면, 닫힘 상태-열림 과정-완전 열림의 모식도이고, 기본 작동 원리는, 초기 위치에서, 도킹 플레이트(3)는 도킹 인터페이스(2)에 대해 중앙에 안착되고, 도킹 인터페이스(2)는 닫힘 상태를 나타내며, 로드 포트(1)가 작동을 시작할 때, 탱크(102) 내에 안착된 제어 시스템에서 정보를 수신하고 명령을 발송하여 로드 포트(1)의 모든 액추에이터의 운동을 제어하고, 웨이퍼 포드(10)가 로딩 테이블(103)에 배치된 다음, 로딩 테이블(103)은 웨이퍼 포드(10)를 도킹 인터페이스(2)로 밀어넣고, 그 다음 도킹 플레이트(3)에 설치된 흡착판이 웨이퍼 포드 도어(8)를 흡착하며, 흡착판 흡인력의 작용에 의해, 도어(8)는 도킹 플레이트(3)와 함께 부착되고, 도킹 플레이트(3)에 설치된 언록킹 로더는 웨이퍼 포드 도어(8)를 열고, 웨이퍼 포드 도어(8)와 웨이퍼 포드(10)는 잠금 해제되어, 배치 시스템이 작동을 시작하고, 액추에이터(403)의 피스톤 로드가 돌출되어, 크로스 로드(402) 를 움직이며, 나아가 스윙 로드(401)가 제1 고정 시트(404)를 중심으로 시계 방향으로 스윙하도록 구동되고(도면으로부터의 시각), 스윙 로드(401)는 도킹 플레이트(3)를 움직이며, 도킹 플레이트(3)는 진일보로 가동 로드(502)를 구동하여 슬라이더(504)와 함께 슬라이드 레일(505)을 따라 수직 위로 움직이도록 하고, 도킹 플레이트(3)는 가동 로드(502)와 함께 위로 움직이는 동시에 가동 로드(502)의 회전축을 중심으로 시계 반대 방향으로 회동하며, 도킹 플레이트(3)는 웨이퍼 포드 도어(8)와 함께 스윙되어, 웨이퍼 포드 도어(8)를 웨이퍼 포드(10)에서 스윙해내고, 액추에이터(403)는 크로스 로드(402)의 반작용에 의해 서포트(407)를 중심으로 스윙하며, 액추에이터(403)의 피스톤 로드가 지속적으로 돌출되고 가동 로드(502)가 위로 이동하며, 웨이퍼 포드 도어(8)는 도킹 인터페이스(2)의 측면 상방에 점차적으로 스윙되어, 웨이퍼 포드(10)가 완전히 열린다. 이때, 도어(8)는 수평에 가깝게 배치되고, 도킹 플레이트(3)에 의해 지지력을 제공하여, 진공 흡인력에 대한 의존도를 낮추고, 도킹 플레이트(3)는 액추에이터(403)에 의해 지지력을 제공하며, 압축 공기의 작용에 의해, 액추에이터(403)는 외부 기압 파동의 영향을 받지 않고, 삼위오방밸브를 통해 피스톤 로드의 돌출 상태를 장시간 유지할 수 있다.
이상 실시형태는 단지 본 발명의 기술적 구상 및 특징을 설명하기 위한 것이고, 본 기술을 숙지한 자가 본 발명의 내용을 이해하고 실시하도록 하기 위한 데 그 목적이 있으며, 이로써 본 발명의 보호 범위를 제한할 수 없고, 본 발명의 사상 실질에 따른 등가적인 변경이나 수정은 본 발명의 보호범위에 포함되어야 한다.
1: 로드 포트
2: 도킹 인터페이스
3: 도킹 플레이트
4: 스윙 컴포넌트
5: 종동 컴포넌트
6: 제1 회전축
7: 제2 회전축
8: 웨이퍼 포드 도어
9: 백커버
10: 웨이퍼 포드
101: 기판
102: 탱크
103: 로딩 테이블
301: 도킹 플레이트 전측면
302: 도킹 플레이트 후측면
401: 스윙 로드
402: 크로스 로드
403: 액추에이터
404: 제1 고정 시트
405: 제2 고정 시트
406: 실린더 테일 커넥팅 플레이트
407: 서포트
408: 더블 너클 조인트
409: 제3 회전축
501: 커넥팅 로드
502: 가동 로드
503: 커넥팅 플레이트
504: 슬라이더
505: 슬라이드 레일

Claims (7)

  1. 로드 포트를 포함하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템으로서,
    상기 로드 포트는 기판, 탱크 및 로딩 테이블을 포함하며, 상기 기판에는 도킹 인터페이스가 설치되어 있고, 상기 도킹 인터페이스의 크기는 웨이퍼 포드 도어와 서로 매칭되며, 로딩 테이블을 등진 상기 기판의 일 측면에는, 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트 및 도킹 플레이트를 포함하는 배치 기구가 설치되어 있고, 상기 스윙 컴포넌트는 도킹 인터페이스의 상방에 설치되며, 상기 종동 컴포넌트는 도킹 인터페이스의 하방에 설치되고, 상기 스윙 컴포넌트, 종동 컴포넌트는 각각 도킹 플레이트에 연결되며, 상기 스윙 컴포넌트는 도킹 플레이트를 구동하여 도킹 플레이트를 도킹 인터페이스의 측면 상방에 배치시킬 수 있으며, 상기 종동 컴포넌트는 도킹 플레이트의 회동 자유도를 구속하고, 배치된 도킹 플레이트의 전측면이 위로 향하도록 할 수 있고;
    상기 스윙 컴포넌트는 스윙 로드 및 크로스 로드를 포함하며, 상기 스윙 로드의 일단은 제1 회전축을 통해 도킹 플레이트 후측면에 고정된 제1 고정 시트에 힌지 연결되고, 스윙 로드의 타단은 기판에 고정된 제2 고정 시트에 힌지 연결되며;
    상기 종동 컴포넌트는 커넥팅 로드 및 가동 로드를 포함하며, 상기 커넥팅 로드와 가동 로드는 제2 회전축을 통해 힌지 연결되고, 상기 커넥팅 로드의 일단은 도킹 플레이트 후측면에 고정되며, 타단은 가동 로드에 힌지 연결되고, 상기 가동 로드는 기판을 따라 상하로 이동할 수 있으며;
    제1 회전축의 축선에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리는 제2 회전축의 축선에서 도킹 플레이트 후측면까지의 거리보다 작은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스윙 컴포넌트는 액추에이터를 더 포함하고, 상기 스윙 로드는 상기 도킹 플레이트의 좌우 양측에 대칭으로 2개 설치되며, 2개의 상기 스윙 로드의 일단은 각각 도킹 플레이트에 고정된 2개의 제1 고정 시트에 힌지 연결되고, 타단은 각각 기판에 고정된 2개의 제2 고정 시트에 힌지 연결되며, 상기 스윙 로드에는 보스가 설치되어 있고, 상기 크로스 로드 양단은 각각 2개의 스윙 로드의 보스에 고정 연결되며, 상기 크로스 로드 및 기판 사이에는 또한 액추에이터가 힌지 연결되어 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 액추에이터는 직선운동 실린더이며, 상기 직선운동 실린더의 실린더 끝단은 기판에 고정된 실린더 테일 커넥팅 플레이트에 고정 연결되고, 상기 실린더 테일 커넥팅 플레이트는 기판에 고정된 서포트에 힌지 연결되며, 상기 직선운동 실린더의 피스톤 로드는 더블 너클 조인트에 고정 연결되고, 상기 크로스 로드의 중부에는 보스가 설치되어 있으며, 상기 더블 너클 조인트는 크로스 로드의 보스에 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 종동 컴포넌트는 슬라이더 및 슬라이드 레일을 더 포함하며, 상기 커넥팅 로드는 병렬로 2개 설치되고, 도킹 플레이트의 좌우 양측에 대칭으로 설치되며, 2개의 상기 커넥팅 로드의 일단은 모두 도킹 플레이트 후측면에 고정되고, 타단은 각각 가동 로드에 힌지 연결되며, 아울러 상기 가동 로드는 커넥팅 플레이트를 통해 슬라이더에 고정 연결되고, 상기 슬라이더는 슬라이드 레일에 씌움 설치되며, 상기 슬라이드 레일은 기판에 수직으로 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 가동 로드는 "
    Figure 112022128858538-pct00003
    "형상을 나타내고, 상기 가동 로드의 형상 및 크기는 도킹 인터페이스와 서로 매칭되며, 상기 가동 로드는 슬라이더와 함께 슬라이드 레일 방향을 따라 기판에 평행된 면 내에서 직선 병진 운동을 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 스윙 컴포넌트의 스윙 로드와 제2 고정 시트는 제3 회전축을 통해 힌지 연결되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
  7. 제6항에 있어서,
    웨이퍼 포드 도어의 닫힘 상태에서, 도킹 플레이트는 수직으로 놓여 있고 또한 기판에 평행되며, 아울러 제3 회전축의 축선 및 제2 회전축의 축선은 수직면을 형성하고, 수직면은 기판에 평행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포드 도어를 위한 배치 시스템.
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