KR200380341Y1 - 파드 반출기능을 갖는 로드 포트 - Google Patents

파드 반출기능을 갖는 로드 포트 Download PDF

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KR200380341Y1 KR20-2004-0037212U KR20040037212U KR200380341Y1 KR 200380341 Y1 KR200380341 Y1 KR 200380341Y1 KR 20040037212 U KR20040037212 U KR 20040037212U KR 200380341 Y1 KR200380341 Y1 KR 200380341Y1
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Abstract

본 고안은 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트에 관한 것으로서, 본체부, 상기 본체부의 후면 상측에 위치하고 파드의 반출을 위한 개구부가 형성된 프레임부, 상기 파드를 장착 및 이송하기 위한 스테이지부, 상기 파드의 도어를 개폐하기 위한 FIMS 도어부를 포함하고, 상기 스테이지부는 상기 파드가 장착되는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 상부 플레이트를 전후진시키기 위한 제 1 이송수단을 포함하는 중간 플레이트 및 상기 중간 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 중간 플레이트를 전후진시키기 위한 제 2 이송수단을 포함한다.

Description

파드 반출기능을 갖는 로드 포트{A Load Port Having Function For Carring Out POD}
본 고안은 로드 포트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 파드를 장착하는 스테이지부가 3중 플레이트 구조를 가짐으로써 스테이지부의 중판부와 상판부가 경계면인 프레임부를 지나 최대 스트로크까지 전진하여 후단의 파드 이송수단이 파드를 이송하기 용이하도록 하는 파드 반출기능을 갖는 로드 포트에 관한 것이다.
로드 포트는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle) 등의 자재의 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)에서 권고하는 표준안 중 FIMS(Front-opening Interface Mechanical Standard) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.
FIMS 시스템 중에서 본 고안의 로드 포트는 웨이퍼 등의 반도체 자재가 적재된 파드를 파드 저장고에 있는 로봇 등의 파드 이송장치로 넘겨주는 인터페이스 장치이다.
SMIF 시스템의 구성 요소 중에서 밀폐형 웨이퍼 저장 용기인 파드는 200mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트가 분리형이고 하방 개방형인 파드와 300mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트 일체형이고 전방 개방형인 FOUP(Front Opening Unified Pod)이 있다. 본 고안은 파드 중에서 특히 FOUP을 후단부의 로봇에 넘겨주는 로드 포트에 관한 것이다.
일반적인 로드 포트는 포드가 스테이지부에 장착된 상태에서 매핑을 통한 웨이퍼 적재 상태 검사를 거치면 후단의 로봇이 접근해 포크를 이용하여 파드의 하부를 들어올려 이송하여 정해진 장소에 적재하는 방식을 취하고 있다.
그러나, 이러한 방법에 의할 경우에는 로봇의 포크가 상당히 길어야 하므로 이동 거리 및 회전 반경이 증가되어 이송 작업 효율이 현저하게 낮아지게 되는 문제점이 있다.
또한, 회전 반경을 고려해야 하므로 로봇의 작업 공간이 증가되어야 하므로 공간 활용성이 낮아지는 문제점이 있다.
이러한 이송 작업 효율성 및 공간 활용성의 저하는 반도체 수율의 측면에서 볼 때 상당히 심각한 문제로 대두되고 있다.
따라서, 종래의 로드 포트의 문제점을 극복하고 이송 작업 효율성 및 공간 효율성을 높일 수 있는 로드 포트에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 파드를 장착하는 스테이지부가 3중 플레이트 구조를 가짐으로써 스테이지부의 중판부와 상판부가 경계면인 프레임부를 지나 최대 스트로크까지 전진하여 후단의 로봇이 파드를 이송하기 용이하도록 하는 파드 반출기능을 갖는 로드 포트를 제공하는 것이다.
본 고안의 다른 목적은 상기와 같은 파드 반출 기능을 통해 로봇의 포크 길이를 감소시켜 작업 효율성 및 공간 활용성을 높일 수 있도록 하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 일측면에 따르면, 본체부, 상기 본체부의 후면 상측에 위치하고 파드의 반출을 위한 개구부가 형성된 프레임부, 상기 파드를 장착 및 이송하기 위한 스테이지부, 상기 파드의 도어를 개폐하기 위한 FIMS 도어부를 포함하고, 상기 스테이지부는 상기 파드가 장착되는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 상부 플레이트를 전후진시키기 위한 제 1 이송수단을 포함하는 중간 플레이트 및 상기 중간 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 중간 플레이트를 전후진시키기 위한 제 2 이송수단을 포함하는 하부 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 가능을 갖는 로드 포트가 제공된다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 고안에 따른 포드 반출기능을 갖는 로드 포트의 전면 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 로드 포트는 크게 본체부(10), 프레임부(20), 스테이지부(30) 및 FIMS 도어부(45)로 구성된다.
본체부(10)는 캐비넷과 같은 형상을 하고 있으며 중앙을 중심으로 좌우대칭의 구조를 갖는다. 본체부(10)의 내부에는 메인 보드, 모터부, 가스 제어회로 등이 내장되어 있다. 본체부(10)의 상면 양측에는 로드 포트의 동작 및 제어를 위한 기능 버튼들(11)이 설치되어 있다.
프레임부(20)는 본체부(10)의 상면 후단측에 본체부(10)와 일체로 형성되거나 본체부(10)에 취부되어 있다. 프레임부(20)에는 FOUP(100)이 이송되는 통로인 사각형의 개구부(21)가 형성되어 있다.
스테이지부(30)는 본체부(10) 상면에 두개가 장착되어 있다. 스테이지부(30)는 FOUP(100)이 장착되면 각 동작 순서에 따라 전후진 동작을 수행하고, 최종 이송 단계에서 최대 스트로크까지 신장하여 FOUP(100)을 후단의 로봇에 넘겨주는 역할을 수행한다. 스테이지부(30)의 세부 구성 및 동작에 대해서는 도 3 및 도 4에서 상세하게 설명할 것이다.
FIMS 도어부(45)는 본체부(10)의 후면측에 설치된 것으로서, FOUP(100) 도어의를 개폐하는 역할을 수행한다. FIMS 도어부(45)의 전면 중앙 모서리 측에는 FOUP(100)의 도어(미도시)에 형성된 래치 홀(미도시)에 결합되어 FOUP(100) 도어를 개방하기 위한 래치 키(45-5)가 형성되어 있고, 도시되어 있지는 않으나 FIMS 도어부(45)의 내부에는 2개의 래치 키(45-5)를 작동시키기 위한 실린더(미도시)가 설치되어 있다.
FIMS 도어부(45)의 좌측 상단 및 우측 하단에는 FOUP(100)이 정상적으로 FIMS 도어부(70)와 결합되었는지를 체크하기 위한 레지스트레이션 핀(45-3)이 위치하고 레지스트레이션 핀(45-3)의 둘레에는 FOUP(100) 도어를 진공 흡착시켜 FOUP(100) 도어의 개방 및 이송을 돕기 위한 진공 패드(45-1)가 장착되어 있다.
FIMS 도어부(45)의 상면부에는 웨이퍼의 적재 상태를 검사하기 위한 매핑 수단(미도시)이 장착되어 있다.
도 2는 본 고안에 따른 포드 반출기능을 갖는 로드 포트의 후면 사시도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본체부(10)의 후면에는 FOUP(100) 도어를 개폐시키기 위한 FIMS 도어부(45)가 설치되고, FIMS 도어부(45)의 외측에 FIMS 도어부(45)를 감싸도록 후면 커버부(40)가 설치되어 있다.
후면 커버부(40)는 웨이퍼의 적재 상태를 검사하는 매핑 단계에서 FOUP(100) 내부의 오염을 방지하기 위한 일종의 밀폐 수단이다. FOUP(100)이 실제 각 제조 공정으로 반입되기 전 완전한 밀폐상태에서 불활성 가스의 퍼징 단계가 수행되므로 후면 커버부(40)는 완전한 밀폐상태를 제공할 필요는 없다.
FIMS 도어부(45)와 후면 커버부(40)의 각 동작 단계에 따라 개별적으로 상승 또는 하강하여 해당 동작을 수행하는데 이에 대해서는 추후 상세하게 설명하기로 한다.
프레임부(20)의 후면 상단에는 불활성 가스 퍼징을 위한 가스 공급부(23)가 설치된다. 도면에는 도시되지 않았으나 가스 공급부(23)의 하면에는 다수의 퍼징홀(미도시)이 형성되어 퍼징홀에서 유출된 가스가 하강하여 FOUP(100)의 오염된 공기를 제거하게 된다.
퍼징 단계에서는 후면 커버부(40)가 상승하여 어느 정도의 밀폐된 공간을 형성한 후, 가스 공급부(23)에서 불활성 가스가 방출되어 FOUP(100) 내부를 청정상태로 유지한다.
도 3은 스테이지부(30)의 초기 상태를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 스테이지부(30)는 상부 플레이트(50), 중간 플레이트(60) 및 하부 플레이트(70)를 포함한다.
상부 플레이트(50)는 진행방향 쪽으로 개구부(51)가 형성되어 웨이퍼 이송수단인 로봇의 포크가 개구부(51)의 하단으로부터 FOUP(100)을 들어올려 이송할 수 있도록 한다. 개구부(51)의 내측으로는 FOUP(100)이 정상적으로 장착되었는지를 검출하기 위한 3 개의 키네매틱 커플링 핀(Kinematic Coupling Pin)(52) 및 위치 센서(53)가 장착된다. 또한, 상부 플레이트(50)의 상면 양측부에는 FOUP(100)을 상부 플레이트(50)의 상면에 밀착 고정시키기 위한 클램핑부(54)가 설치되어 있다. 클램핑부(54)는 공압에 의해 작동하며 상하운동 및 회전 운동을 하여 FOUP(100)을 고정시킨다.
중간 플레이트(60)는 상부 플레이트(50)의 하부에 설치되며, 양측면의 각 모서리에 2 쌍의 지지부(68)가 장착되고 2 개의 지지부(68) 간에 가이드 봉(64)이 연결되어 있다. 각 가이드 봉(64)은 2 개의 지지부(68) 사이에 위치한 실린더 부재(67)를 관통하며, 실린더 부재(67)는 상면이 상부 플레이트(50)의 하면 측에 취부되어 실린더 부재(67)가 가이드 봉(64)을 따라 전후방으로 이동할 때 연동하여 이동된다.
중간 플레이트(60)의 일측면부에는 밸트 수단(62)이 설치되고, 중간 플레이트(60)와 하부 플레이트(70) 사이에는 밸트 수단(62)을 구동하기 위한 제 1 모터(61)가 위치한다.
상부 플레이트(60)의 일측면부에는 브라켓(63)이 취부되는데, 상기 브라켓(63)은 밸트 수단(62)과도 결합되어 있어서, 밸트 수단(62)이 제 1 모터(61)에 의해 구동되면 브라켓(63)이 이에 연동되어 이동하고, 결과적으로 브라켓(63)이 취부된 상부 플레이트(60)가 이동하게 된다.
중간 플레이트(60)에는 상부 플레이트(60)의 위치를 검출하여 이동 위치를 제어하기 위한 제 1 ~ 4 센서(66-1 ~ 66-4)가 장착되어 있는데 이는 도 4에서 보다 상세하게 설명하기로 한다.
하부 플레이트(70)는 중간 플레이트(60)의 하부에 설치되며, 양측면의 각 모서리에 2 쌍의 지지부(76)가 장착되고 2 개의 지지부(76) 간에 가이드 봉(77)이 연결되어 있다. 각 가이드 봉(77)은 2 개의 지지부(76) 사이에 위치한 실린더 부재(미도시)를 관통하며, 실린더 부재는 상면이 중간 플레이트(60)의 하면 측에 취부되어 실린더 부재가 가이드 봉(77)을 따라 전후방으로 이동할 때 연동하여 이동된다.
하부 플레이트(70)의 상면 일측에는 밸트 수단(73) 및 밸트 수단(73)을 구동하기 위한 제 2 모터(71)가 위치한다. 제 2 모터(71)가 밸트 수단(73)을 구동하면 중간 플레이트(60) 및 상부 플레이트(50)가 전후방으로 이동하게 된다.
본 실시예에서 제 1 모터(61) 및 제 2 모터(71)는 기어 모터(Geared Motor)가 사용되며, 기어 모터의 경우 이동 거리를 제어할 수 없으므로 상술한 센서(66-1 ~ 66-4)가 필요하다. 만일, 제 1 모터(61) 및 제 2 모터(71)로서 스텝 모터를 사용한다면 이동 거리의 제어가 가능하므로 센서는 요구되지 않을 것이며 이 또한 본 고안의 범주에 포함된다고 할 것이다.
하부 플레이트(70)의 일단 양측에는 발광 및 수광 센서(74)가 설치되어 있다. 도 1 및 도 2에 도시되어 있지는 않으나 프레임부(20)의 개구부(21) 내측면에 거울 등의 반사수단이 설치되며, 발광 및 수광 센서(74)에서 방출된 빛이 반사수단에 반사되면 발광 및 수광 센서(74)에서 반사광을 인식하여 개구부(21)에 장애물이 없음을 인식한다. 따라서, 만일 개구부(21)에 사람의 손 등이 위치하면 발광 및 수광 센서(74)에서 반사광을 인식할 수 없으므로 위험 상태로 인식하여 로드 포트의 동작이 정지된다.
하부 플레이트(70)의 타단 양측에는 핀치 센서(65)가 위치하여, 양 핀치 센서(65) 간에 장애물이 위치한 경우 스테이지부(30)의 이송 동작을 정지시킨다.
도 4는 스테이지부(30)가 최대 스트로크까지 신장된 상태를 도시한 도면이다.
최종 FOUP(100)의 반출 단계에서 제 1 및 제 2 모터(61, 71)가 밸트 수단(62, 72)를 구동하여 밸트 수단(62, 72)이 상부 플레이트(50) 및 중간 플레이트(60)를 최대 스트로크까지 전진시킨다.
상술한 바와 같이, 중간 플레이트(60)에는 4 개의 센서(66-1 ~ 66-4)가 부착되어 있다. 제 1 센서(66-1)는 좌측 전방에 위치하며, 상부 플레이트(50)의 최대 전방이동 위치 상에 위치하여, 상부 플레이트(50)가 제 1 센서(66-1)까지 이동하면 제 1 센서(66-1)가 이를 검출하여 제 2 모터(71)의 동작을 정지시킨다.
제 2 센서(66-2)는 좌측의 제 1 센서(66-1) 위치보다 약간 후방측에 위치하며, FOUP(100) 도어 개방을 위한 상부 플레이트(50)의 전진 위치 상에 위치하여, FOUP(100) 도어 개방 동작 시 상부 플레이트(50)가 제 2 센서(66-2)까지 이동하면 제 2 센서(66-2)가 이를 검출하여 제 2 모터(71)의 동작을 정지시킨다.
제 3 센서(66-3)는 좌측 후방에 위치하며, 매핑 동작 시 상부 플레이트(50)의 후방 후퇴 위치 상에 위치하여, 상부 플레이트(50)가 매핑이 완료된 후 제 3 센서(66-3)까지 후퇴하면 제 3 센서(66-3)가 이를 검출하여 제 2 모터(71)의 동작을 정지시킨다.
제 4 센서(66-4)는 좌측의 제 3 센서(66-1) 위치보다 약간 후방측에 위치하며, 상부 플레이트(50)의 최대 후퇴 위치에 위치하여, FOUP(100)이 반출된 후, 상부 플레이트(50)가 제 4 센서(66-4)까지 후퇴하면 제 4 센서(66-4)가 이를 검출하여 제 2 모터(71)의 동작을 정지시킨다.
도 4에서와 같이 스테이지부(30)가 최대 스트로크까지 신장되어 FOUP(100)이 반출되는 상태가 도 5에 도시되어 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 스테이지부(50)의 상부 플레이트(50) 및 하부 플레이트(60)가 최대 전진위치까지 이동하면 상부 플레이트(50)가 완전히 프레임부(30)를 관통하여 로드 포트의 후단부로 돌출되므로 웨이퍼 이송 수단이 용이하게 FOUP(100)을 이송시킬 수 있게 된다.
이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 고안에 따른 파드 반출기능을 갖는 로드 포트의 동작을 설명하기로 한다.
FOUP의 장착 단계
우선, FOUP(100)이 스테이지부(30) 상에 장착되면 클램핑부(54)가 FOUP(100)을 스테이지부(30)에 밀착 고정시키고, 키네매틱 커플링 핀(52) 및 위치 센서(53)에 의해 FOUP(100)이 정상적으로 장착되었는 지를 확인한다.
매핑 단계
FOUP(100)이 스테이지부(30) 상에 정상적으로 장착되면 제 2 모터(61)가 밸트 수단(62)을 구동하여 상부 플레이트(50)를 매핑 전진 위치까지 이동시킨다. FIMS 도어부(45)가 전진하여 FOUP(100) 도어부를 개방하면 제 2 모터(61) 및 밸트 수단(62)의 동작에 의해 상부 플레이트(50)가 매핑 후퇴 위치까지 후진한다. 상부 플레이트(50)가 매핑 후퇴 위치까지 후진하면 FIMS 도어부(45)가 서서히 하강하면서 FIMS 도어부(45)의 상면에 구비된 매핑 수단이 작동하여 FOUP(100) 내의 웨이퍼 적재 상태를 검사한다. 매핑 동작 동안 후면 커버부(40)가 프레임부(20)의 개구부(21)를 커버한 채로 가스 공급부(23)에서 불활성 가스가 계속 방출되어 FOUP(100)의 내부가 오염되는 것을 방지한다.
FOUP 도어 로킹 및 FOUP 후진 단계
매핑이 완료되면, FIMS 도어부(45)가 다시 상승하여 FOUP(100) 도어를 로킹하고 상부 플레이트(50)가 다시 매핑 후퇴 위치로 후진한다.
FOUP 반출 단계
최종적으로, 후면 커버부(40) 및 FIMS 도어부(45)가 하강하면, 제 1 모터부(61) 및 제 2 모터부(71)가 동시에 동작하여 상부 플레이트(50)와 중간 플레이트(60)가 최대 스트로크까지 전진하여 FOUP(100)을 후단의 웨이퍼 이송 수단으로 넘겨 준다. 이 때, 상부 플레이트(50)는 완전히 프레임부(20)를 넘어 로드포트의 후단으로 돌출되어 FOUP 이송 수단이 용이하게 FOUP(100)을 이송할 수 있도록 해준다.
상기와 같은 본 고안에 따르면 파드를 장착하는 스테이지부가 3중 플레이트 구조를 가짐으로써 스테이지부의 중판부와 상판부가 경계면인 프레임부를 지나 최대 스트로크까지 전진하여 후단의 로봇이 파드를 이송하기 용이하도록 하는 파드 반출기능을 갖는 로드 포트를 제공할 수 있다.
본 고안의 다른 목적은 상기와 같은 파드 반출 기능을 통해 로봇의 포크 길이를 감소시켜 작업 효율성 및 공간 활용성을 높일 수 있는 효과가 있다.
비록 본 고안이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 고안의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 고안의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.
도 1은 본 고안에 따른 파드 반출기능을 갖는 로드 포트의 전면 사시도이다.
도 2는 본 고안에 따른 파드 반출기능을 갖는 로드 포트의 후면 사시도이다.
도 3은 스테이지부의 초기 상태를 도시한 도면이다.
도 4는 스테이지부가 최대 스트로크까지 신장된 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 스테이지부가 최대 스트로크까지 신장되어 파드가 반출되는 상태를 도시한 로드 포트의 후면 사시도이다.
<주요 도면 부호에 관한 설명>
10 : 본체부 20 : 프레임부
21 : 개구부 23 : 가스 공급부
30 : 스테이지부 40 : 후면 커버부
45 : FIMS 도어부 50 : 상부 플레이트
60 : 중간 플레이트 70 : 하부 플레이트

Claims (10)

  1. 본체부;
    상기 본체부의 후면 상측에 위치하고 파드의 반출을 위한 개구부가 형성된 프레임부;
    상기 파드를 장착 및 이송하기 위한 스테이지부;
    상기 파드의 도어를 개폐하기 위한 FIMS 도어부를 포함하고,
    상기 스테이지부는 상기 파드가 장착되는 상부 플레이트, 상기 상부 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 상부 플레이트를 전후진시키기 위한 제 1 이송수단을 포함하는 중간 플레이트 및 상기 중간 플레이트의 하단부와 결합되고 상기 중간 플레이트를 전후진시키기 위한 제 2 이송수단을 포함하는 하부 플레이트를 포함하며,
    상기 파드의 반출 동작에서 상기 제 1 및 제 2 이송수단에 의해 상기 상부 플레이트 및 중간 플레이트가 최대 스트로크까지 전진하여 상기 파드를 반출하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 가능을 갖는 로드 포트.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 본체부의 후면부에 장착되고, 매핑 동작 시 상기 FIMS 도어부를 감싸도록 상기 FIMS 도어부의 외측에 위치하여 외부의 오염 물질이 상기 파드로 유입되는 것을 방지하는 후면 커버부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 파드 반출 가능을 갖는 로드 포트.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스테이지부의 상부 플레이트는 상기 파드를 상기 스테이지부의 상면에 밀착 고정시키기 위한 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 중간 플레이트는
    상기 중간 플레이트의 각 모서리부에 설치된 지지부;
    상기 지지부 간에 연결된 가이드 봉;
    상기 가이드 봉이 관통되고 상기 상부 플레이트에 체결되는 실린더 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 중간 플레이트는 상기 상부 플레이트의 위치를 검출하여 상부 플레이트의 이동 위치를 제어하기 위한 복수개의 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 센서부는
    상기 상부 플레이트의 제 1 전진 위치를 검출하는 제 1 센서;
    상기 상부 플레이트의 제 2 전진 위치를 제 2 센서;
    상기 상부 플레이트의 제 1 후퇴 위치를 검출하는 제 3 센서; 및
    상기 상부 플레이트의 제 2 후퇴위치를 검출하는 제 4 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 이송수단은
    제 1 모터;
    상기 제 1 모터에 의해 구동되는 제 1 밸트수단; 및
    일측이 상기 제 1 밸트수단에 결합되고 타측이 상기 상부 플레이트에 결합되어 상기 제 1 밸트수단의 동작 시 그에 연동하여 상기 상부 플레이트를 전후진 이동시키는 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 이송수단은
    제 2 모터; 및
    상기 제 2 모터에 의해 구동되어 상기 중간 플레이트를 전후진 이동시키는 제 2 밸트수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 프레임부는 개구부 내측면에 반사수단을 포함하고,
    상기 하부 플레이트는 일단부에 빛을 방출하고 상기 반사수단에 의한 반사광을 검출하여 상기 하부 플레이트와 상기 프레임부 간의 장애물 유무를 검출하는 발광 및 수광 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 하부 플레이트는
    타단부 양측에 설치되어 상기 타단부 부근의 장애물 유무를 검출하는 핀치 센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 파드 반출 기능을 갖는 로드 포트.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101295152B1 (ko) * 2011-06-30 2013-08-09 (주)둔포기계 기판 반출입 시스템
KR101297680B1 (ko) * 2011-04-22 2013-08-21 주식회사 테라세미콘 풉 지지용 스테이지 및 이를 사용한 웨이퍼 처리 장치
KR101490310B1 (ko) 2014-08-14 2015-02-04 (주)메티스 후프 이송장치

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