KR100593424B1 - 이중 도어 구조를 갖는 fims 로더 - Google Patents

이중 도어 구조를 갖는 fims 로더 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더에 관한 것으로서, 반도체 자재 반출/반입을 위한 개구부가 형성된 프레임부, 상기 개구부의 하측에 위치하도록 상기 프레임부의 전면에 설치되고, 반도체 자재 수납용기를 적재하는 스테이지부, 상기 프레임부의 후면에 설치되고 수평방향으로 개방 및 폐쇄되는 외측 도어부, 상기 외측 도어부와 결합되어 상기 외측 도어부에 의해 전·후방으로 이동되고, 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 내측 도어부, 상기 외측 도어부의 일측에 형성되어 불활성 가스를 상기 외측 도어부와 상기 반도체 자재 수납용기에 의해 형성된 국부 환경으로 주입하는 가스 공급 노즐, 상기 국부 환경으로부터 오염 물질을 배출하는 가스 배기 노즐 및 상기 가스 공급 노즐로 불활성 가스를 공급하고 상기 각 구성을 구동하기 위한 제어공압을 생성하는 가스 제어부를 포함한다.
반도체, SMIF, FIMS, FOUP, 파드(Pod), 불활성가스, 로더, 웨이퍼, 반송.

Description

이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더{A Loader For FIMS Having Double Door}
도 1은 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 전면 사시도이다.
도 2는 내측 도어부 및 외측 도어부를 도시한 사시도이다.
도 3은 내측 도어부, 외측 도어부 및 프레임부의 결합 관계를 도시한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 후면 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 가스 라인의 계통도이다.
도 6은 본 발명에 따른 2단 적층형 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 전면 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 2단 적층형 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 후면 사시도이다.
<주요 도면 부호에 관한 설명>
10 : 프레임부, 20 : 스테이지부,
30 : 클램핑부, 40 : 도어 커버부,
50 : 에지 그립부, 60 : 가스 제어부,
70 : 내측 도어부, 80 : 외측 도어부,
200 : 반도체 자재 수납용기(FOUP)
본 발명은 FIMS 로더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 자재 수납용기인 FOUP과 이중 도어방식의 FIMS 도어 사이에 청정상태 유지를 위한 국소 환경을 만든 후 상기 FIMS 도어의 일측에 형성된 가스 공급 노즐을 통해 불활성 가스를 주입함으로써 퍼징 타임을 현저하게 감소시키고 기밀성을 높여 수율 향상에 기여할 수 있는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더에 관한 것이다.
FIMS 로더는 반도체 제조 공정에서 웨어퍼(Wafer) 또는 레티클(Reticle) 등의 자재의 반송과 관련된 자동화 장비로서, 세계 반도체 협회의 하나인 SEMI(Semiconductor Equipment and Meterials International)에서 권고하는 표준안 중 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템을 구성하는 장비에 포함된다.
SMIF는 국부청정에 관한 것으로서 웨어퍼 제조 공정 중 발생 가능한 공기중의 미세 오염물질인 파티클의 차단을 위해 밀페된 웨이퍼 저장 용기인 파드(Pod), 국부적인 공간만을 청정상태로 유지하는 ME(Mini Environment) 그리고 파드와 ME 또는 공정장비 간의 인터페이스를위한 장치들에 관해 최소한의 공통 규격을 제안하고 있다.
SMIF 시스템의 구성 요소 중에서 밀폐형 웨이퍼 저장 용기인 파드는 200mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트가 분리형이고 하방 개방형인 파드와 300mm 웨이퍼에 주로 사용되는 카세트 일체형이고 전방 개방형인 FOUP(Front Open Unified Pod)이 있다. 본 발명은 파드 중에서 특히 FOUP 내부의 청정 상태 유지를 위한 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더에 관한 것이다.
통상 파드는 합성수지로 제작되며, 외부와의 실링은 고무재 등의 패킹에 의해 이루어진다. 따라서, 공정과 공정 간에 웨이퍼를 파드에 수납하는 경우 어느 정도 시간이 경과하면 외부의 산소나 오염 물질이 침투하여 웨이퍼 상에 자연 산화막이 형성되어 불량 웨이퍼 발생의 원인이 된다.
따라서, 종래에는 다음 공정으로 웨이퍼를 투입하기 전 파드의 일측에 형성된 가스 공급구로 불활성 가스를 주입하고 다른 일측에 형성된 가스 배기구로 산소 등의 오염 물질을 배출시키도록 하고 있다.
그러나, 이러한 파드로의 불활성 가스 주입에 의한 국부 청정방법은 퍼징 타임이 길고 일부 오염 물질은 잘 배출되지 않는 문제점이 있으며, FOUP의 규격마다 국부 청정방법이 달라 공정이 지연되는 문제점이 있다.
한편, 종래 FIMS 로더는 FIMS(Front-Opening Interface Mechanical Standard)도어를 하방으로 개폐시키면 로봇이 FOUP에 적재된 웨이퍼를 꺼내 적재시키도록 되어 있다. 따라서, 도어가 하방으로 개폐되면 수직방향의 공간을 많이 차지하므로 웨이퍼 반송 효율이 떨어지는 문제점이 있다.
따라서, 이러한 종래 FIMS 로더의 불합리한 점을 극복하고 보다 효과적인 국부 청정방법을 제공하고 웨이퍼 반송 효율을 높여 궁극적으로 반도체 수율 향상에 기여할 수 있는 FIMS 로더에 대한 요구가 높아지고 있는 실정이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 FOUP과 이중 도어방식의 FIMS 도어 사이에 청정상태 유지를 위한 국소 환경을 만든 후 상기 FIMS 도어의 일측에 형성된 가스 공급 노즐을 통해 불활성 가스를 주입함으로써 퍼징 타임을 현저하게 감소시키고 기밀성을 높여 수율 향상에 기여할 수 있는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 FOUP을 FIMS 로더의 프레임부에 밀착고정시키는 에지 그립부를 부가하고, 프레임의 개구부 내외측 둘레에 실링부재를 부착함으로써 기밀성을 보다 향상시켜 불순물 유입을 방지할 수 있는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 FIMS 도어를 하방이 아닌 수평방향으로 개폐시키고 FIMS 로더를 2단 이상으로 적층시켜 웨이퍼 반송효율을 극대화할 수 있는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더를 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따르면, 반도체 자재 반출/반입을 위한 개구부가 형성된 프레임부, 상기 개구부의 하측에 위치하도록 상기 프레임부의 전면에 설치되고, 반도체 자재 수납용기를 적재하는 스테이지부, 상기 프레임부의 후면에 설치되고 수평방향으로 개방 및 폐쇄되는 외측 도어부, 상기 외측 도어부와 결합되어 상기 외측 도어부에 의해 전·후방으로 이동되고, 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 내측 도어부, 상기 외측 도어부의 일측에 형성되어 불활성 가스를 상기 외측 도어부와 상기 반도체 자재 수납용기에 의해 형성된 국부 환경으로 주입하는 가스 공급 노즐, 상기 국부 환경으로부터 오염 물질을 배출하는 가스 배기 노즐 및 상기 가스 공급 노즐로 불활성 가스를 공급하고 상기 각 구성을 구동하기 위한 제어공압을 생성하는 가스 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더가 제공된다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 전면 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더장치는 크게 프레임부(10), 스테이지부(20), 클램핑부(30), FIMS 도어부(40), 에지 그립부(50) 및 가스 제어부(60)를 포함하여 구성된다.
프레임부(10)는 FIMS 로더를 이루는 구성 요소들을 지지 또는 부착하는 프레임으로서 내부와 외부 환경의 경계를 이룬다. 프레임부(10)에는 FOUP(200)과 FIMS 도어부(40)의 결합 통로인 개구부(11)가 형성되어 있고, 개구부(11) 둘레의 FOUP(200)이 밀착되는 접촉면 상에는 기밀성을 유지하기 위한 실링부재(45)가 부착되어 있다.
스테이지부(20)는 일측이 프레임부(10)에 결합되고, FOUP(200) 장착되는 부 분이며 FOUP(200)을 프레임부(11)에 밀착시킨다. 스테이지부(20)의 FOUP(200)이 장착되는 면 상에는 FOUP(200)이 스테이지부(20) 상에 제대로 안착되었는가를 판단하기 위한 레지스트레이션 핀(21)과 FOUP(200)이 정상적으로 높이지 못한 것을 감지하는 FOUP 위치 감지센서(23)가 3개씩 구비되어 있다.
클램핑부(30)는 스테이지부(20)의 양측면에 결합되어 스테이지부(20)에 장착된 FOUP(200)을 정위치에 고정시키고 연결포트의 접촉력 등 외부의 영향을 억제한다. 클램핑부(30)는 가스 제어부(60)의 공압제어에 의해 수직 또는 회전 운동을 하는 클램프 실린더(31)와 클램프 실린더(31)를 스테이지부(20)에 고정시키는 고정 브라켓(33) 및 클램프 실린더(31)의 종단에 "ㄱ"자 형태로 연결되어 FOUP(200)의 모서리를 파지하여 FOUP(200)을 스테이지부(20)에 고정시키는 꺽임부(35)를 포함한다. 클램핑부(30)는 가스 제어부(60)에 구비된 압력조절밸브(미도시)에 의해 고정 압력이 조절되어 FOUP(200)이 안전하고 부드럽게 취급하면서 적절한 파지력을 유지하도록 되어 있다.
FIMS 도어부(40)는 프레임부(10)의 후면에 결합되어 FOUP(200)의 도어를 개방하고 퍼징 동작을 수행하며 퍼징 완료시 도어 개폐수단에 의해 수평방향으로 이동되어 로봇(미도시)이 FOUP(200)으로부터 웨이퍼를 반출하도록 하는 것으로서, 구체적인 구조 및 동작은 도 2 내지 도 4에서 설명하기로 한다.
에지 그립부(50)는 프레임부(10)의 개구부(11) 양측 상단에 설치되어 스테이지부(20)에 의해 프레임부(10)에 밀착된 FOUP(200)을 파지 및 밀착시켜 기밀성을 향상시키기 위한 것이다. 에지 그립부(50)는 가스 제어부(60)의 공압 제어에 의해 상하 또는 회전 운동하여 FOUP(200)을 프레임부(10)의 실링부재(45)에 밀착시킨다.
가스 제어부(60)는 스테이지부(20) 좌측의 프레임부(10)에 설치되고, FOUP(200)의 쉘(미도시)과 FIMS 도어(40) 간의 국소 공간에 불활성가스를 주입하고 공압에 의해 동작하는 실린더 등의 구성 요소들의 동작을 제어한다. 가스 제어부(60)는 내부에 공압회로 및 전자회로를 구비하는 함체 형상을 하고 있으며, 함체 상면에는 N2 등의 불활성 가스의 흡·배기, 진공 흡착, 실린더 구동을 위한 공기 흡·배기 라인(61 ~ 64)이 구비되어 있다.
도 2는 내측 도어부(70) 및 외측 도어부(80)를 도시한 사시도이고, 도 3은 내측 도어부(70), 외측 도어부(80) 및 프레임부(10)의 결합 관계를 도시한 분해 사시도이다.
내측 도어부(70)는 외측 도어부(80)의 내면 하단 양측에 형성된 결합 실린더(85)가 내측 도어부(70)의 하단부에 형성된 결합부(76)에 체결되어 외측 도어부(80)와 결합된다. 따라서, 결합 실린더(85)가 결합부(76)에 체결된 채로 전후진 함으로써 내측 도어부(70)가 전후진 이동하게 된다.
내측 도어부(70)의 중앙 모서리 측에는 FOUP(200)의 도어(미도시)에 형성된 래치 홀(미도시)에 결합되어 FOUP(200) 도어를 개방하기 위한 래치 키(71)가 형성되고 내측 도어부(70)의 중앙측에는 2개의 래치 키(71)를 작동시키기 위한 실린더(72)가 설치되어 있다. 실린더(72)의 하단에는 실린더(72)의 구동을 위한 급기 및 배기 라인(74)이 접속되어 있다.
내측 도어부(70)의 좌측 상단 및 우측 하단에는 FOUP(200)이 정상적으로 내측 도어부(70)와 결합되었는지를 체크하기 위한 레지스트레이션 핀(73)이 위치하고 레지스트레이션 핀(73)의 둘레에는 FOUP(200) 도어를 진공 흡착시켜 FOUP(200) 도어의 개방 및 이송을 돕기 위한 진공 패드(75)가 장착되어 있다.
외부 도어부(80)의 상부 외면 상에는 불활성 가스가 유입되는 가스 공급 노즐(81)이 접속되어 있고, 하부 외면 상에는 불활성 가스가 배기되는 가스 배기 노즐(87)이 접속되어 있다. 외부 도어(80)의 가스 공급 노즐(81) 간에는 외부 도어부(80)를 프레임부(10)의 가이드 봉(95)에 체결시키기 위한 브라켓(83)이 설치되어 있다.
도 4는 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 후면 사시도이다.
도 4에 도시된 바와 같이, 프레임부(10)의 개구부(11) 상하부에는 FIMS 도어(40)(또는 외측 도어부(80))의 수평이동을 가이드하기 위한 가이드 봉(95)이 횡방향으로 프레임부(10)의 후면상에 설치되어 있고, 외측 도어부(80)의 브라켓(83)이 가이드 봉(95)에 설치된 브라켓(99)과 결합된다.
가이드 봉의 상부에는 외측 도어부(80)를 이동시켜 도어를 개폐하기 위한 실린더(91)가 프레임부(10)의 후면상에 설치되어 있고, 실린더(91)에 설치된 도어 유지부재(93)가 가이드 봉(95)에 설치된 브라켓(99)과 체결되어 있다.
프레임부(10) 후면 개구부(11) 둘레에는 외측 도어부(80)와 프레임부(10) 간의 기밀성 유지를 위한 실링 부재(97)가 부착되어 있다.
도 4에는 세부적으로 도시되어 있지 않으나, 가이드 봉(95)의 브라켓(99)에는 외측 도어부(80)의 위치를 검출하기 위한 위치 검출 센서(미도시)가 위치하여 외측 도어부(80)가 일정 위치로 이동하면 위치 검출 신호를 가스 제어부(60)로 전송하고, 가스 제어부(60)는 전자 제어밸브(250)를 제어하여 배기 라인을 기존 라인에서 배기량이 작은 라인으로 변경하여 외측 도어부(80)의 이동 속도를 감소시키도록 구성되어 있다.
도 5는 본 발명에 따른 가스 라인의 계통도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 급기 라인은 공급되는 불활성 가스 외의 불순물을 여과시키는 필터(260), 솔레노이드 밸브 등과 같이 전기적으로 밸브의 개폐를 제어하는 전자제어밸브(250), 공급되는 가스의 유량을 제어하는 유량제어밸브(240), 유량계(230) 및 공급되는 가스의 가스압을 조절하는 압력조절밸브(220)로 구성되어, 유량 및 압력을 설정하여 오염물질의 배출 및 FOUP(200) 내부의 자재유동을 최적화시킨다.
배기 라인은 FOUP(200) 내부에 일정 압력을 설정할 수 있도록 하는 릴리프 밸브(210) 및 배출 가스의 농도를 감지하는 가스 감지 센서(200)로 구성되어 FOUP(200)과 FIMS 도어(40)에 의해 이루어진 국부 환경 내부의 가스 조성비를 실시간으로 확인한다.
도 6은 본 발명에 따른 2단 적층형 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 전면 사시도이고, 도 7은 본 발명에 따른 2단 적층형 FIMS 로더의 후면 사시도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 FIMS 로더는 외측 도어부(80)를 상하가 아닌 수평방향으로 개폐시킴으로써 FIMS 로더를 2단 또는 그 이상으로 적층시켜 하나의 웨이퍼 이송 수단(예를 들면 로봇)이 2개 이상의 FIMS 로더로부터 웨이퍼를 반출하거나 적재하는 것이 가능하여 웨이퍼 반출 및 적재 효율이 높아지고 공간 이용효율이 높아진다.
이하에서는 상기 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더의 동작을 상세하게 설명하기로 한다.
1. FOUP(200)의 장착 및 고정
우선, FOUP(200)이 스테이지부(200)에 장착되면, 레지스트레이션 핀(21) 및 FOUP 위치 감지센서(23)가 FOUP(200)이 스테이지부(20) 상에 정상적으로 안착되었는가를 확인한다.
클램핑부(30)가 스테이지부(20)에 장착된 FOUP(200)을 정위치에 고정시키고 연결포트의 접촉력 등의 외부 영향을 억제한다.
클램핑부(30)에 의한 FOUP(200) 고정이 완료되면, 스테이지부(20)는 FOUP(200)이 프레임부(10)의 실링부재(45)에 밀착되는 위치로 이동시킨다.
그 다음, 에지 그립부(50)가 공압 제어에 의해 상하 또는 회전 운동하여 FOUP(200)을 프레임부(10)의 실링부재(45)에 보다 밀착시켜 기밀성을 높인다.
2. FOUP 도어의 개방
FOUP(200)의 장착 및 고정되면, 외측 도어부(80)의 결합 실린더(85)가 전진하여 내측 도어부(70)를 전진시키고, 내측 도어부(70)의 래치 키(71)가 FOUP(200) 도어의 래치 홀에 삽입된다. 그리고, 실린더(72)가 전후진 운동을 하면 이 운동에 의해 래치 키(71)는 회전 운동을 하게 되고 래치 키(71)의 회전 운동에 의해 FOUP(200) 도어가 잠금해제된다.
3. 내측 도어부(70)의 후방이동 및 퍼징
FOUP(200) 도어가 잠금해제되면, 외측 도어부(80)의 결합 실린더(85)가 후진하여 내측 도어부(70)가 후방이동되어 FOUP(200)의 쉘 내부와 FIMS 도어(40) 간의 밀폐된 국소 환경이 형성되고, 가스 제어부(60)는 가스 공급 노즐(81)로 불활성 가스를 밀폐된 국소 환경에 주입시키면서 산소 등의 오염 물질을 가스 배기 노즐(87)로 배출시켜 국소 환경 내를 청정상태로 만든다.
4. 외측 도어부(80)의 수평이동(개방) 및 웨이퍼 반출
일정 시간이 경과하여 형성된 국소 환경이 청정상태가 되면 불활성 가스 주입이 중단되고, 외측 도어부(80)가 개방된다.
프레임부(10)의 후면에 취부된 실린더(91)가 가스 제어부(60)의 제어공압에 의해 실린더(91)에 체결된 브라켓(99)을 도어 개방방향으로 이동시키면 브라켓(99)에 체결된 외측 도어부(80)의 브라켓(83)이 연동되어 도어 개방방향으로 이동되어 외측 도어부(80)가 가이드 봉(95)을 따라 개방방향으로 이동되어 FIMS 도어(40)가 개방된다.
FIMS 도어(40)가 개방되면, 웨이퍼 반송 수단이 FOUP(200)으로부터 적재된 웨이퍼를 반출하게 된다.
본 발명에서는 300mm 웨이퍼용 파드인 FOUP를 예시하고 설명하였으나 본 발명은 이에 국한되지 않고 200mm 웨이퍼용 파드 또는 기타 반도체 자재 수납 용기를 지지하고 이로부터 웨이퍼를 로딩하는 모든 장치에 적용가능함은 물론이다.
또한, 본 발명에서는 웨이퍼용 파드를 중심으로 설명하였으나, 웨이퍼용 파드 외에 레티클, 유리 기판용 카세트 기타 밀폐형 자재 저장용기에도 적용 가능함은 당연하다.
상기와 같은 본 발명에 따르면, 국부적 환경제어를 효과적으로 수행하여 밀폐된 웨이퍼 저장용기를 사용하는 반도체 제조공정에서 저장용기 내의 오염원인 산소와 수분으로 인한 웨이퍼 표면의 산화막 형성을 효과적으로 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 반도체 제조 공정에 필수적인 환경을 국부적으로 형성시켜 웨이퍼의 공정 진입에 기인하여 발생하는 환경(불활성 기체 농도 제어) 파괴를 차단하여 고 품질의 수율 향상에 큰 효과를 가져올 것이다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정이나 변형을 하는 것이 가능하다. 따라서 첨부된 특허청구의 범위는 본 발명의 요지에서 속하는 이러한 수정이나 변형을 포함할 것이다.

Claims (10)

  1. 반도체 자재 반출/반입을 위한 개구부가 형성된 프레임부;
    상기 개구부의 하측에 위치하도록 상기 프레임부의 전면에 설치되고, 반도체 자재 수납용기를 적재하는 스테이지부;
    상기 프레임부의 후면에 설치되고 수평방향으로 개방 및 폐쇄되는 외측 도어부;
    상기 외측 도어부와 결합되어 상기 외측 도어부에 의해 전·후방으로 이동되고, 상기 반도체 자재 수납용기의 도어를 개폐하는 내측 도어부;
    상기 외측 도어부의 일측에 형성되어 불활성 가스를 상기 외측 도어부와 상기 반도체 자재 수납용기에 의해 형성된 국부 환경으로 주입하는 가스 공급 노즐;
    상기 국부 환경으로부터 오염 물질을 배출하는 가스 배기 노즐;
    상기 가스 공급 노즐로 불활성 가스를 공급하고 상기 각 구성을 구동하기 위한 제어공압을 생성하는 가스 제어부; 및
    상기 스테이지부의 양측면에 설치되고, 상기 반도체 자재 수납용기를 상기 스테이지부 상에 밀착 고정시키기 위한 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 외측 도어부를 수평방향으로 개폐시키기 위한 도어개폐부; 및
    상기 외측 도어부의 수평방향 이동을 안내하기 위한 가이드봉을 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 프레임부 전면의 개방부 둘레부근에 부착되어 상기 반도체 자재 수납용기와 상기 프레임부 간의 기밀을 유지하기 위한 제 1 실링부재; 및
    상기 프레임부 후면의 개방부 둘레부근에 부착되어 상기 외측 도어부와 상기 프레임부 간의 기밀을 유지하기 위한 제 2 실링부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  4. 삭제
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 개구부 부근의 상기 프레임부 전면 상에 설치되고, 상기 반도체 수납용기를 상기 프레임부에 부착된 제 1 실링부재에 밀착시켜 기밀을 유지하기 위한 에지 그립부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 외측 도어부의 위치를 검출하여 상기 외측 도어부가 일정 위치로 이동 하면 위치 검출 신호를 상기 가스 제어부로 전송하는 위치 검출 센서부가 더 포함되고,
    상기 가스 제어부는 전자 제어밸브를 제어하여 배기 라인을 기존 라인에서 배기량이 작은 라인으로 변경하여 상기 외측 도어부의 이동 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 외측 도어부는 상기 내측 도어부를 전·후진시키기 위한 결합 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 가스 제어부는
    전기적으로 밸브의 개폐를 제어하는 전자제어밸브;
    공급되는 불활성 가스의 유량을 제어하여 상기 반도체 자재가 기체유동에 의해 유동하는 것을 방지하는 유량제어밸브; 및
    공급되는 불활성 가스의 가스압을 조절하는 압력조절밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 가스 제어부는
    급기량 조절에 순응하도록 적용한 릴리프 밸브; 및
    상기 국소 환경 내의 가스 조성비를 검출하기 우한 가스 검출 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더.
  10. 제 1 항 내지 9 항에 의한 FIMS 로더가 적어도 2 개 이상 적층된 이중 도어 구조를 갖는 FIMS 로더 적층 구조.
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