KR101329987B1 - 유리 기판 이송장치 - Google Patents

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KR101329987B1
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Abstract

밀폐형 카세트를 2단으로 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체 또는 유리기판의 반송작업을 할 수 있는 유리 기판 이송장치가 개시된다. 이러한 유리 기판 이송장치는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트를 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있으며, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있다.

Description

유리 기판 이송장치{CONVEYANCE APPARATUS FOR GLASS PLATE}
본 발명은 유리 기판 이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 밀폐형 카세트 내에 적재되어 있는 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 하는 유리 기판 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD 공정 라인의 클린도는 통상 Class 100을 유지하지만, AMOLED 공정 라인의 경우에는 클린도가 Class 10을 유지하여야 한다.
따라서, 통상적인 LCD 라인의 유리 기판의 이송 방식은 오픈(OPEN)형 카세트에 안착 후 반송하지만, AMOLED 라인의 경우에는 기존 방식의 오픈 형 카세트 타입으로 반송할 시에는 반송 중 기판 글라스에 파티클(Particle) 등의 유입으로 데미지(Damage)의 우려가 있어 밀폐형 카세트를 사용하였다.
도 1은 일반적인 유리 기판 이송장치를 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 일반적인 유리 기판 이송장치(10)는, 메인 프레임(100), 카세트 구동유닛(110), 도어패드 구동유닛(130), 카세트 도어패드(140), 흡착수단(150)을 포함하여 구성된다.
상기 메인 프레임(100)은 로봇 펜스(Robot Fence : 30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치된다. 상기 카세트 구동유닛(110)은 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재된다. 상기 도어패드 구동유닛(130)은, 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치될 수 있다. 상기 흡착수단(150)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 카세트 도어(20a)를 흡착할 수 있도록 한다.
상기와 같이 구성되는 일반적인 유리 기판 이송장치(10)를 사용하여 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 카세트 도어패드(140)를 상승시킴으로써 상기 카세트 도어패드(140)가 상기 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 마주할 수 있도록 한다.
이후, 상기 카세트 구동유닛(110)이 작동되어 상기 카세트 구동유닛(110)에 적재된 카세트(20)를 상기 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시켜 상기 흡착수단(150)과 카세트 도어(20a)가 밀착되도록 한 다음, 흡착수단(150)을 작동시켜 도어(20a)를 흡착한다.
상기와 같이 도어(20a)를 흡착한 다음에는, 다시 카세트 구동유닛(110)을 작동시켜 상기 적재부(102)에 적재된 카세트(20)를 카세트 도어패드(140)의 반대 측으로 이동시켜 상기 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20)로부터 카세트의 도어(20a)를 분리시킨다.
상기와 같이 도어(20a)를 카세트(20)로부터 분리시킨 다음에는, 상기 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 카세트 도어패드(140)를 하강시킨 후 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리 기판을 로봇 펜스(30)로 이송시킨다.
그러나, 상술한 바와 같은 종래의 유리 기판 이송장치(10)는 흡착수단(150)의 흡착력이 떨어지게 되면 상기 흡착수단(150)에 흡착된 카세트 도어(20a)가 상기 흡착수단(150)으로부터 분리되어 추락하게 됨으로써 대형 사고로 이어진다는 문제점이 있었다. 또한, 흡착수단(150)에 의해 카세트(20)로부터 분리된 도어(20a)를 상기 흡착수단(150)으로부터 분리하여 별도로 저장할 공간이 없을 뿐만 아니라, 로봇 암(Arm)의 페이로드(Pay Load)에 의하여 카세트(20)를 1단으로 적재할 수밖에 없어 고정 수율이 저하된다는 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 카세트 도어의 센터링 작업과 동시에 상기 카세트 도어를 흡착시키는 흡착수단의 흡착력이 떨어진다 하더라도 상기 흡착수단으로부터 카세트 도어가 이탈되어 추락되는 현상을 방지할 수 있는 유리 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 흡착수단으로부터 카세트 도어가 이탈되어 추락되는 현상을 방지함은 물론, 밀폐형 카세트를 2단으로 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체 또는 유리기판의 반송작업을 할 수 있는 유리 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 유리 기판 이송장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1 카세트 구동유닛; 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛; 상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드; 상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단; 및 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛은, 상기 1단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은, 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함할 수 있으며, 상기 클램핑 수단은, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 유리 기판 이송장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부 및 2단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛; 상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드; 상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단; 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛; 상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 스톡 패드 구동유닛; 상기 스톡 패드 구동유닛에 설치되는 스톡 패드; 상기 스톡 패드에 설치되는 적어도 하나의 제 3 흡착수단; 및 상기 메인 프레임의 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및 상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며, 상기 클램핑 수단은, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 스톡 패드 구동유닛은, 상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되며 상기 스톡 패드가 설치되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 셔터유닛은, 롤 스크린 형태로 형성되어 1단 적재부 또는 2단 적재부에 적재된 카세트의 교체 시 기판 출입구를 폐쇄하여 상기 기판 출입구를 통해 로봇 펜스 내의 기류가 외부로 유출되거나 로봇 펜스 외부의 기류가 로봇 펜스 내로 유입되지 않도록 하여 로봇 펜스 내의 기류 변화를 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에 의한 적재장치는, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 맵핑 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판 이송장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 제 1 도어 저장부, 1단 적재부, 2단 적재부, 제 2 도어 저장부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛; 상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛; 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드; 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단; 및 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1, 2 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며, 상기 클램핑 수단은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 적재장치는, 상기 제 1, 2 카세트 도어 패드에 각각 설치되는 제 1, 2 맵핑 센서를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유리 기판 이송장치는, 하부에서부터 상부 방향으로 1단 적재부, 2단 적재부가 순차적으로 형성되며, 상기 1, 2단 적재부의 전방 또는 후방에는 각각 제 1, 2 도어 저장부가 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임; 상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛; 상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛; 상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛; 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드; 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단; 및 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1, 2 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은, 상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및 상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함할 수 있다.
일예를 들면, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은, 상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단; 상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및 상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함할 수 있다.
상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며, 상기 클램핑 수단은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 실시예에 의한 적재장치는, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되는 제 1, 2 맵핑 센서가 더 설치될 수 있다.
이와 같이 본 발명에 따르면, 카세트 도어패드에 추락방지 겸용 센터링 유닛을 더 설치하여 상기 카세트 도어패드에 카세트 도어를 정렬함과 동시에 상기 카세트 도어를 기계적으로 클램핑하여 흡착수단의 흡착력이 약해지는 현상이 발생하더라도 상기 흡착수단으로부터 카세트 도어가 분리되어 추락되는 현상을 방지하여 안전사고가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트를 적재하여 카세트 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있으며, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 일반적인 유리 기판 이송장치를 도시한 도면
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 도어패드 구동유닛과 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 스톡패드 구동 유닛과 스톡패드 및 제 3 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면
도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과 제 1 카세트 도어패드, 제 1 흡착수단 및 제 1 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도
도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과 제 2 카세트 도어패드, 제 2 흡착수단 및 제 2 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 정단면도
도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 3 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도
도 15는 도 13의 평면도
도 16은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과, 제 1 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과, 제 2 카세트 도어패드 및 제 2 흡착수단을 설명하기 위한 상세도
도 18은 본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면
도 19는 제 1 내지 제 4 실시예에 의한 추락방지 겸용 센터링 유닛을 설명하기 위한 상세도
도 20은 제 1 내지 제 4 실시예에 의한 추락방지 겸용 센터링 유닛을 설명하기 위한 측면도
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다. 설명의 편의를 위하여 종래의 유리 기판 이송장치와 동일/유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.
<실시예 1>
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 의한 도어패드 구동유닛과 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이며, 도 6은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 스톡패드 구동 유닛과 스톡패드 및 제 3 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이고, 도 19는 제 1 내지 제 4 실시예에 의한 추락방지 겸용 센터링 유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 20은 제 1 내지 제 4 실시예에 의한 추락방지 겸용 센터링 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2 내지 도 6, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 도어패드 구동유닛(130), 카세트 도어패드(140), 제 1 흡착수단(150), 추락방지 겸용 센터링 유닛(200), 스톡 패드 구동유닛(160), 스톡 패드(170) 및 제 3 흡착수단(180)을 포함할 수 있다.
상기 메인 프레임(100)은, 하부에서 상부 방향으로 도어 저장부(101), 1단 적재부(102) 및 2단 적재부(103)가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스(Robot Fence : 30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치된다.
상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.
상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(123)으로도 구성될 수 있다.
상기 도어패드 구동유닛(130)은, 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 도어패드 구동유닛(130)은 구동수단(131), 볼 스크루(132), 이동 블록(133)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131)은 상기 메인 프레임(100)의 타측 하단에 설치된다. 상기 볼 스크루(132)는 상기 구동수단(131)과 연결되도록 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치된다. 상기 이동 블록(133)은 상기 볼 스크루(132)를 따라 상하 이동될 수 있도록 상기 볼 스크루(132)에 나사 체결되며 일측에는 상기 카세트 도어패드(140)가 설치됨으로써 상기 카세트 도어패드(140)를 상하 이동시킬 수 있도록 한다.
상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)의 이동 블록(133)에 설치될 수 있다.
상기 제 1 흡착수단(150)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 카세트 도어(20a, 21a)를 흡착할 수 있도록 한다.
상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 복수개의 홀에 끼워져 고정됨으로써 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어(20a, 21a)가 추락되는 것을 방지할 수 있다. 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 구성에 대하여 상세하게 설명하면, 상기 추락방지 겸용 유닛(200)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 1 홀(211)에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어(20a, 21a)를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단(210)과, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 2 홀(221)에 삽입되는 얼라인 핀(220)을 포함할 수 있다. 일예를 들면 상기 클램핑 수단(210)은 한 쌍이 상기 카세트 도어패드(140)의 상단부 양측에 설치되며, 상기 얼라인 핀(220)은 상기 카세트 도어패드(140)의 하단부 중앙에 설치됨으로써 상기 한 쌍의 클램핑 수단(210)과 얼라인 핀(220)은 역삼각형 형태로 배치될 수 있다. 한편, 상기 제 1 홀(211)은, 상기 카세트 도어(20a, 21a)의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부(211a)와, 상기 삽입 홀부(211a) 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부(211a)와 연통되도록 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성되는 추락방지 홀부(211b)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 클램핑 수단(210)은, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되는 상하 이동부재(212) 및, 상기 상하 이동부재(212)에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부(211b)에 삽입되어 상기 상하 이동부재(212)가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부(211b)에 걸려 상기 카세트 도어(20a, 21a)가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀(213)을 포함한다. 여기서, 상기 상하 이동부재(212)는 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되는 고정블록(212a)과, 상기 고정블록에 설치되며 상기 이탈방지 핀(213)과 연결되어 상기 이탈방지 핀(213)을 승강시키는 실린더(212b)를 포함할 수 있다.
상기 스톡 패드 구동유닛(160)은, 상기 메인 프레임(100)의 하부에 형성된 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 스톡 패드 구동유닛(160)은 구동수단(161), 볼 스크루(162), 이동블록(163)을 포함할 수 있다. 상기 스톡 패드 구동유닛(160)의 구동수단(161)은 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치될 수 있다. 여기서 상기 구동수단(161)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(162)는 상기 구동수단(161)에 연결되어 상기 구동수단(161)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 이동 블록(163)은 상기 볼 스크루(162)에 나사 체결되며 타측에는 스톡 패드(170)가 설치될 수 있다.
이와는 다르게, 상기 스톡 패드 구동유닛(160)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 카세트 도어 저장부(101)에 설치되는 구동수단(161) 즉, 실린더와, 상기 실린더에 연결되며 상기 스톡 패드(170)가 설치되는 LM 가이드로 구성될 수도 있다.
상기 스톡 패드(170)는 상기 스톡 패드 구동유닛(160)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 스톡 패드(170)는 상기 스톡 패드 구동유닛(160)의 이동 블록(163)에 설치될 수 있다.
상기 적어도 하나의 제 3 흡착수단(180)은 상기 스톡 패드(170)에 설치되어 상기 스톡 패드(170)에 저장된 카세트 도어(20a, 21a)를 흡착시킬 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 상기 메인 프레임(100)의 1, 2단 적재부(102, 103)에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)을 더 포함할 수 있다. 상기와 같은 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재되어 있는 카세트(20, 21)의 교체 시 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 위치한 기판 출입구(도시되지 않음)를 폐쇄시킴으로써 외부의 기류가 로봇 펜스(30) 내로 유입되거나, 상기 로봇 펜스(30) 내의 기류가 로봇 펜스(30) 외부로 유출되는 것을 방지하여 로봇 펜스(30) 내의 기류 변화를 방지할 수 있다. 예를 들면 상기 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은 롤 스크린 형태로 형성될 수 있다.
상기 제 1, 2 셔터유닛(190a, 190b)은, 각각 상기 메인 프레임(100)의 1, 2단 적재부(102, 103)에 적재된 후 카세트 도어(20a, 21a)가 제거되어 개방된 카세트(20, 21) 입구 중 반도체나 유리기판의 반송작업이 행하여지지 않는 카세트의 입구를 밀폐시킬 수 있도록 한다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되는 맵핑 센서(141)를 더 포함할 수 있다.
다시, 도 2 내지 도 6, 도 19 및 도 20을 참조하여, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 유리 기판 이송장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 2 내지 도 6, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.
상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는, 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치된 카세트 도어패드(140)를 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 도어패드 구동유닛(130)의 구동수단(131)을 작동시켜 볼 스크루(132)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(132)를 따라 이동 블록(133)이 상승 또는 하강되도록 하여 상기 이동 블록(133)에 설치된 카세트 도어패드(140)가 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 카세트 도어패드(140)를 이동시킨다.
이때, 상기 카세트 도어패드(140)에 설치된 맵핑 센서(141)는 상기 카세트 도어패드(140)의 높이를 감지하여 상기 카세트 도어패드(140)의 상단부가 카세트 도어(20a, 21a)의 상단부와 일직선상에 위치하는지를 감지할 수 있도록 함으로써 카세트 도어패드(140)와 카세트 도어(20a, 21a)의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.
상기와 같이 맵핑 센서(141)에 의해 카세트 도어패드(140)와 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a,21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 도어패드 구동유닛(130)의 작동이 정지된다.
상기와 같이 도어패드 구동유닛(130)의 작동이 정지된 다음에는, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시켜 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 카세트 도어패드(140) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 카세트 도어패드(140) 측으로 이동되도록 함으로써 카세트(20, 21)를 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시킨다.
이때, 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 제 1 흡착수단(150)과 밀착된 상태가 된다.
한편, 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)과 얼라인 핀(220)은 각각 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 1 홀(211)과 제 2 홀(221)에 삽입됨으로써 상기 카세트 도어(20a, 21a)의 위치를 정렬시킨다.
상기와 같은 상태에서 상기 제 1 흡착수단(150)을 작동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)에 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.
이와 동시에, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 상하 이동부재(212)를 작동시켜 상기 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)을 상승시킴으로써 상기 이탈방지 핀(213)이 추락방지 홀부(211b)에 걸려 클램핑 되도록 하여 위치 정렬된 상기 카세트 도어(20a, 21a)를 견고하게 고정시킴과 동시에, 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해지더라도 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 도어(20a, 21a)가 이탈되어 추락되는 것을 방지할 수 있으므로 도어(20, 21a)의 추락으로 인한 안전사고를 미연에 예방할 수 있도록 한다.
상기와 같이 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 제 1 흡착수단(150)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110) 또는 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 카세트 도어패드(140)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.
상기와 같이 제 1 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는 상기 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 카세트 도어패드(140)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킴으로써 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킨다.
상기와 같이 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101) 측으로 하강시킨 다음에는, 스톡패드 구동유닛(160)을 작동시켜 스톡 패드(170)를 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 스톡패드 구동유닛(160)의 구동수단(161)을 작동시켜 볼 스크루(162)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(162)에 나사 체결된 이동 블록(163)이 상기 볼 스크루(162)를 따라 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동됨으로써 상기 이동 블록(163)에 설치되어 있는 상기 스톡 패드(170)가 상기 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 있는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a) 측으로 이동된다.
이때, 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)의 타측면은 제 1 흡착수단(150)에 흡착된 상태이며, 상기 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)의 일측면은 상기 스톡 패드(170)에 설치된 제 3 흡착수단(180)과 밀착된 상태이다.
상기와 같이 제 3 흡착수단(180)이 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)에 밀착되면, 상기 제 1 흡착수단(150)의 작동을 정지시켜 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)가 분리되도록 함과 동시에 상기 제 3 흡착수단(180)을 작동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)가 제 3 흡착수단(180)에 흡착되도록 한다.
이때, 상기 상하 이동수단(212)을 작동시켜 상기 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)은 하강되어 추락방지 홀부(211b)에 걸림 해제되어 클램핑이 해제된 상태가 되어야 한다.
상기와 같이 제 3 흡착수단(180)에 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 흡착시킨 다음에는, 상기 스토패드 구동유닛(160)을 작동시켜 상기 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 흡착한 제 3 흡착수단(180)과 스톡패드(170)를 도어 저장부(101) 측으로 이동시킴으로써 상기 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 도어 저장부(101)에서 저장할 수 있도록 한다.
그리고, 상기 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 중 도어(20a, 21a)가 분리되지 않은 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 상술한 바와 동일한 과정을 반복하여 1단 적재부(102) 또는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리한 후 도어패드 구동유닛(130)에 의해 카세트 도어패드(140)와 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 흡착된 제 1 흡착수단(150)을 메인 프레임(100) 하부로 하강시켜 저장하게 된다. 즉, 두 번째 분리되는 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)는 제 3 흡착수단(180)에 흡착되어 도어 저장부(101)에 저장되는 것이 아니라, 제 1 흡착수단(150)에 흡착되어 메인 프레임(10) 하부에 저장된다.
이때, 로봇 펜스(30) 내에 설치된 로봇(도시되지 않음)에 의해 그 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판의 언로딩 작업이 행하여 지지 않는 카세트(20, 21)의 입구는 셔터유닛(190a, 190b)에 의해 폐쇄될 수 있다. 즉, 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)에서만 언로딩 작업이 행하여 질 경우에는 제 2 셔터 유닛(190b)이 작동되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 입구를 폐쇄하며, 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)에만 언로딩 작업이 행하여 질 경우에는 제 1 셔터 유닛(190a)이 작동되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 입구를 폐쇄한다.
상술한 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 메인 프레임(100)에 도어 저장부(101)를 형성하고, 상기 1단 또는 2단 적재부(102, 103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트 도어(20a, 21a)를 도어패드 구동 유닛(130)을 통해 하강시킨 후 스톡패드 구동유닛(160)과, 제 3 흡착수단(180)을 통해 도어 저장부(101) 측으로 이동시켜 저장함과 동시에, 1단 또는 2단 적재부(102, 103)에 적재된 카세트(20, 21) 중 도어(20a, 21a)가 분리되지 않은 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 다시 상기 제 1 흡착수단(150)으로 흡착한 후 상기 도어패드 구동 유닛(130)을 통해 메인 프레임(100) 하부로 이동시켜 저장할 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스(30) 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.
또한, 2단으로 카세트(20, 21)를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
<실시예 2>
도 7은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 8은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 9는 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 10은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과 제 1 카세트 도어패드, 제 1 흡착수단 및 제 1 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도이며, 도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과 제 2 카세트 도어패드, 제 2 흡착수단 및 제 2 맵핑 센서를 설명하기 위한 상세도이다. 설명의 편의를 위하여 실시예 1과 동일 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.
도 7 내지 도 11, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 제 1 도어패드 구동유닛(130a), 제 2 도어패드 구동유닛(130b), 제 1 카세트 도어패드(140a), 제 2 카세트 도어패드(140b), 제 1 흡착수단(150), 제 2 흡착수단(151), 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)을 포함할 수 있다.
상기 메인 프레임(100)은 하부에서부터 상부 방향으로 제 1 도어 저장부(101a), 1단 적재부(102), 2단 적재부(103), 제 2 도어 저장부(101b)가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스(30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치될 수 있다.
상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은, 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 카세트(20)가 상부에 적재될 수 있다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.
상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(123)으로도 구성될 수 있다.
상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은, 상기 1단 적재부(102)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)를 상기 카세트(20)로부터 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 하부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은, 구동수단(131a), 볼 스크루(132a), 이동블록(133a)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131a)은 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 구동수단(131a)으로는 모터를 사용할 수 있다. 상기 볼 스크루(132a)는 상기 구동수단(131a)에 의해 회전될 수 있도록 상기 구동수단(131a)에 연결된다. 상기와 같은 볼 스크루(132a)는 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치되도록 상기 구동수단(131a)에 연결된다. 상기 이동 블록(133a)은 상기 볼 스크루(132a)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)가 설치된다.
상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은, 상기 2단 적재부(103)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 상기 카세트(21)로부터 제거한 후 상기 로봇 펜스(30)의 상부에 위치하도록 메인 프레임(100)의 상부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은, 구동수단(131b), 볼 스크루(132b), 이동 블록(133b)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131b)은 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다. 상기 구동수단(131b)으로는 모터를 사용할 수 있다. 상기 볼 스크루(132b)는 상기 구동수단(131b)에 의해 회전될 수 있도록 상기 구동수단(131b)에 연결된다. 상기와 같은 볼 스크루(132b)는 상기 메인 프레임(100)의 상하 방향으로 설치되도록 상기 구동수단(131b)에 연결된다. 상기 이동 블록(133b)은 상기 볼 스크루(132b)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)가 설치된다.
상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)의 이동 블록(133a)의 일측에 설치될 수 있다.
상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)의 이동 블록(133b)의 일측에 설치될 수 있다.
상기 제 1 흡착수단(150)은 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치되어 제 1 카세트 구동유닛(110)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)를 흡착할 수 있다.
상기 제 2 흡착수단(151)은 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치되어 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 흡착할 수 있다.
상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)은 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 복수개의 홀에 끼워져 고정됨으로써 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어(20a, 21a)가 추락되는 것을 방지할 수 있다. 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 구성에 대하여 상세하게 설명하면, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)은 상기 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 1 홀(211)에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어(20a, 21a)를 클램핑 시키는 클램핑 수단(210)과, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 2 홀(221)에 삽입되는 얼라인 핀(220)을 포함할 수 있다. 일예를 들면 상기 클램핑 수단(210)은 한 쌍이 상기 카세트 도어패드(140)의 상단부 양측에 설치되며, 상기 얼라인 핀(220)은 상기 카세트 도어패드(140)의 하단부 중앙에 설치됨으로써 상기 한 쌍의 클램핑 수단(210)과 얼라인 핀(220)은 역삼각형 형태로 배치될 수 있다. 한편, 상기 제 1 홀(211)은, 상기 카세트 도어(20a, 21a)의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부(211a)와, 상기 삽입 홀부(211a) 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부(211a)와 연통되도록 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성되는 추락방지 홀부(211b)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 클램핑 수단(210)은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되는 상하 이동부재(212) 및, 상기 상하 이동부재(212)에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부(211b)에 삽입되어 상기 상하 이동부재(212)가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부(211b)에 걸려 상기 카세트 도어(20a, 21a)가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀(213)을 포함한다. 여기서, 상기 상하 이동부재(212)는 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되는 고정블록(212a)과, 상기 고정블록에 설치되며 상기 이탈방지 핀(213)과 연결되어 상기 이탈방지 핀(213)을 승강시키는 실린더(212b)를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치된 제 1 맵핑 센서(141a)와, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치된 제 2 맵핑 센서(141b)를 더 포함할 수 있다.
다시, 도 7 내지 도 11, 도 19 및 도 20을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 7 내지 도 11, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.
상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는 제 1 도어패드 구동유닛(130a)과 제 2 도어패드 구동유닛(130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 구동수단(131a, 131b)을 작동시켜 볼 스크루(132a, 132b)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(132a, 132b)를 따라 이동 블록(133a, 133b)이 상승 또는 하강되도록 하여 상기 이동 블록(133a, 133b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 이동시킨다. 즉, 제 1 카세트 도어패드(140a)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)와 마주할 수 있도록 하강하게 되며, 제 2 카세트 도어패드(140b)는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)와 마주할 수 있도록 상승된다.
이때, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치된 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)는 각각 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 높이를 감지하여 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 상단부가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)의 상단부와 일직선상에 위치하는지를 감지할 수 있도록 함으로써 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.
상기와 같이 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)에 의해 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 제 1 , 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된다.
상기와 같이 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된 다음에는 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시켜 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다.
이때, 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 각각 제 1 흡착수단(150)과 제 2 흡착수단(151)에 밀착된 상태가 된다.
한편, 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)과 얼라인 핀(220)은 각각 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 1 홀(211)과 제 2 홀(221)에 삽입됨으로써 상기 카세트 도어(20a, 21a)의 위치를 정렬시킨다.
상기와 같은 상태에서 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)을 작동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.
이와 동시에, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 상하 이동부재(212)를 작동시켜 상기 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)을 상승시킴으로써 상기 이탈방지 핀(213)이 추락방지 홀부(211b)에 걸려 클램핑 되도록 하여 위치 정렬된 상기 카세트 도어(20a, 21a)를 견고하게 고정시킴과 동시에, 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해지더라도 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 도어(20a, 21a)가 이탈되어 추락되는 것을 방지할 수 있으므로 도어(20, 21a)의 추락으로 인한 안전사고를 미연에 예방할 수 있도록 한다.
상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 각각 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.
상기와 같이 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 제 1 도어 저장부(101a)와 제 2 도어 저장부(101b) 측으로 하강시켜 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착된 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 도어(20a, 21a)를 저장할 수 있도록 한다.
상기에서는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 동시에 분리하는 과정에 대해서만 설명하였으나, 본 발명의 제 2 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 분리하는 과정을 각각 별도로 실행할 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 메인 프레임(100)의 상, 하부에 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)를 형성한 후 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 분시켜 상기 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)로 상승 또는 하강시켜 저장할 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.
또한, 2단으로 카세트를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
<실시예 3>
도 12는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 정단면도이며, 도 13은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이고, 도 14는 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 3 카세트 구동유닛을 설명하기 위한 상세도이며, 도 15는 도 13의 평면도이고, 도 16은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 1 도어패드 구동유닛과, 제 1 카세트 도어패드 및 제 1 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이며, 도 17은 본 발명의 제 3 실시예에 의한 제 2 도어패드 구동유닛과, 제 2 카세트 도어패드 및 제 2 흡착수단을 설명하기 위한 상세도이다. 설명의 편의를 위하여 제 2 실시예와 동일 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.
도 12 내지 도 17, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 제 2 카세트 구동유닛(120), 제 1 도어패드 구동유닛(130a), 제 2 도어패드 구동유닛(130b), 제 1 카세트 도어패드(140a), 제 2 카세트 도어패드(140b), 제 1 흡착수단(150), 제 2 흡착수단(151), 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)을 포함할 수 있다.
상기 메인 프레임(100)은, 하부에서 상부 방향으로 1단 적재부(102), 2단 적재부(103)가 순착적으로 형성될 수 있다. 그리고, 상기 1, 2 단 적재부(102, 103)의 전방 또는 후방에는 각각 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)가 형성될 수 있다. 즉, 제 1 단 적재부(102)의 전방 또는 후방에는 제 1 도어 저장부(101a)가 형성될 수 있으며, 2단 적재부(103)의 전방 또는 후방에는 제 2 도어 저장부(101b)가 형성될 수 있다. 상기와 같이 구성되는 메인 프레임(100)은 로봇 펜스(30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치될 수 있다.
상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은, 상기 1단 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재될 수 있다. 예를 들면, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 적어도 하나의 볼 스크루(111), 이동 블록(112), 적재 프레임(113)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)의 적어도 하나의 볼 스크루(111)는 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(112)은 상기 볼 스크루(111)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(111)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(111)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(113)은 상기 이동 블록(112)에 설치되어 상부에 카세트(20)가 적재됨으로써 상기 카세트(20, 21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(114)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)에 설치되어 구동수단(114), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(113)으로도 구성될 수 있다.
상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 상기 2단 적재부(103)에 설치되어 그 상부에 카세트(21)가 적재된다. 예를 들면, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 적어도 하나의 볼 스크루(121), 이동 블록(122), 적재 프레임(123)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)의 적어도 하나의 볼 스크루(121)는 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124)에 의해 회전된다. 상기 이동 블록(122)은 상기 볼 스크루(121)에 나사 체결되어 상기 볼 스크루(121)가 회전됨에 따라 상기 볼 스크루(121)를 따라 이동된다. 상기 적재 프레임(123)은 상기 이동 블록(122)에 설치되어 상부에 카세트(21)가 적재됨으로써 상기 카세트(21)를 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 구동수단(124)으로는 모터를 사용할 수 있다.
이와는 다르게, 상기 제 2 카세트 구동유닛(120)은 도면에는 도시되지 않았지만 상기 메인 프레임(100)의 2단 적재부(103)에 설치되어 구동수단(124), 즉 실린더에 의해 작동되는 적어도 하나의 LM 가이드와, 상기 LM 가이드에 설치되는 적재 프레임(124)으로도 구성될 수 있다.
상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은 1단 적재부(102)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(21a)를 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 상기 카세트(20) 도어(20a)를 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)은 구동수단(131a), 볼 스크루(132a), 이동블록(133a)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131a)은 상기 메인 프레임(100)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 구동수단(131a)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(132a)는 상기 구동수단(131a)과 연결되어 상기 구동수단(131a)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 여기서, 상기 볼 스크루(132a)는 상기 이동 블록(133a)을 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 1 도어 저장부(101a)로 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 이동 블록(133a)은 상기 볼 스크루(132a)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)가 설치될 수 있다.
상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은 2단 적재부(103)와 이웃하도록 메인 프레임(100)에 설치되어 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)를 제거한 후 상기 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 상기 카세트(21) 도어(21a)를 이동시킬 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)은 구동수단(131b), 볼 스크루(132b), 이동블록(133b)을 포함할 수 있다. 상기 구동수단(131b)은 상기 메인 프레임(100)에 설치될 수 있다. 여기서, 상기 구동수단(131b)으로는 모터가 사용될 수 있다. 상기 볼 스크루(132b)는 상기 구동수단(131b)과 연결되어 상기 구동수단(131b)이 작동됨에 따라 회전될 수 있다. 여기서, 상기 볼 스크루(132b)는 상기 이동 블록(133b)을 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 형성된 제 2 도어 저장부(101b)로 이동시킬 수 있도록 한다. 상기 이동 블록(133b)은 상기 볼 스크루(132b)에 나사 체결되며 일측에는 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)가 설치될 수 있다.
상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)는 상기 제 1 도어패드 구동유닛(130a)의 이동 블록(133a)에 설치될 수 있다.
상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)에 설치될 수 있다. 즉, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)는 상기 제 2 도어패드 구동유닛(130b)의 이동 블록(133b)의 일측에 설치될 수 있다.
상기 제 1, 2 흡착수단(152, 151)은 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 각각 설치되어 카세트 도어(20a, 21a)를 흡착한다.
상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)은 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치되어 상기 제 1 흡착수단(150)에 카세트 도어(20a, 21a)가 밀착될 시 상기 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 복수개의 홀에 끼워져 고정됨으로써 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어(20a, 21a)가 추락되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)의 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)의 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)과 그 구성이 실질적으로 동일함으로써 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유리 기판 이송장치(10)는, 상기 제 1 카세트 도어패드(140a)에 설치된 제 1 맵핑 센서(141a)와, 상기 제 2 카세트 도어패드(140b)에 설치된 제 2 맵핑 센서(141b)를 더 포함할 수 있다.
다시, 도 11 내지 도 17, 도 19 및 도 20을 참조하여, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 유리 기판 이송장치의 작동과정과 작용 효과에 대하여 설명하면 다음과 같다.
도 11 내지 도 17, 도 19 및 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)를 사용하여 카세트(20, 21) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 상기 카세트(20, 21)로부터 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 상기 메인 프레임(100)의 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 각각 카세트(20, 21)를 적재시킨다.
상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 카세트(20, 21)를 적재시킨 다음에는 제 1 도어패드 구동유닛(130a)과 제 2 도어패드 구동유닛(130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)와 마주할 수 있도록 이동시킨다. 즉, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 구동수단(131a, 131b)을 작동시켜 볼 스크루(132a, 132b)를 회전시키게 되면, 상기 볼 스크루(131a, 131b)를 따라 이동 블록(133a, 133b)이 전진 또는 후진되도록 하여 상기 이동 블록(133a, 133b)에 설치된 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)가 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)와 마주할 수 있도록 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 1401b)를 이동시킨다. 즉, 제 1 카세트 도어패드(140a)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)의 도어(20a)와 마주할 수 있도록 전진 또는 후진(제 1 도어 저장부(101a)가 1단 적재부(102)의 후방에 설치되면 전진하게 되고 전방에 설치되면 후진하게 됨)하게 되며, 제 2 카세트 도어패드(140b)는 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)의 도어(21a)와 마주할 수 있도록 전진 또는 후진(제 2 도어 저장부(101b)가 2단 적재부(103)의 후방에 설치되면 전진하게 되고 전방에 설치되면 후진하게 됨)된다.
이때, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)에 설치된 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)는 각각 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 좌우 위치를 감지하여 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)와의 맵핑 여부를 확인할 수 있다.
상기와 같이 제 1, 2 맵핑 센서(141a, 141b)에 의해 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)와 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)가 맵핑되었다고 감지되면 상기 제 1 , 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된다.
상기와 같이 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)의 작동이 정지된 다음에는 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)에 적재된 카세트(20, 21)를 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다. 즉, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동유닛(120)의 구동수단(114, 124)을 작동시킴으로써 볼 스크루(111, 121)를 회전시켜 상기 볼 스크루(111, 121)를 따라 이동블록(112, 122)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 상기 이동블록(112, 122)과 연동되어 적재 프레임(113, 123)이 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동되도록 함으로써 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b) 측으로 이동시킨다.
이때, 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)는 각각 제 1 흡착수단(150)과 제 2 흡착수단(151)에 밀착된 상태가 된다.
한편, 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)과 얼라인 핀(220)은 각각 카세트 도어(20a, 21a)에 형성된 제 1 홀(211)과 제 2 홀(221)에 삽입됨으로써 상기 카세트 도어(20a, 21a)의 위치를 정렬시킨다.
상기와 같은 상태에서 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)을 작동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 흡착시킨다.
이와 동시에, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 상하 이동부재(212)를 작동시켜 상기 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)을 상승시킴으로써 상기 이탈방지 핀(213)이 추락방지 홀부(211b)에 걸려 클램핑 되도록 하여 위치 정렬된 상기 카세트 도어(20a, 21a)를 견고하게 고정시킴과 동시에, 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해지더라도 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 도어(20a, 21a)가 이탈되어 추락되는 것을 방지할 수 있으므로 도어(20, 21a)의 추락으로 인한 안전사고를 미연에 예방할 수 있도록 한다.
상기와 같이 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 각각 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착시킨 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110)과 제 2 카세트 구동 유닛(120)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)를 각각 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)의 반대 측으로 이동시켜 상기 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨다.
상기와 같이 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 의해 상기 각각 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)의 도어(20a, 21a)를 분리시킨 다음에는, 상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛(130a, 130b)을 작동시켜 상기 제 1, 2 카세트 도어패드(140a, 140b)를 각각 제 1 도어 저장부(101a)와 제 2 도어 저장부(101b) 측으로 이동시켜 제 1, 2 흡착수단(150, 151)에 흡착된 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 도어(20a, 21a)를 저장할 수 있도록 한다.
상기에서는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 동시에 분리하는 과정에 대해서만 설명하였으나, 본 발명의 제 3 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)는 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(21)로부터 도어(20a, 21a)를 분리하는 과정을 각각 별도로 실행할 수도 있다.
<실시예 4>
도 18은 본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치를 설명하기 위한 도면이다. 본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치는 추락방지 겸용 센터링 유닛을 제외한 다른 구성요소는 도 1에 도시된 종래의 유리 기판 이송장치와 실질적으로 동일하며, 추락방지 장치는 실시예 1과 동일함으로써 메인프레임. 제 1 카세트 구동유닛, 도어패드 구동유닛, 카세트 도어패드, 제 1 흡착수단, 추락방지 겸용 센터링 유닛에 대한 구체적인 설명은 생략한다. 설명의 편의를 위하여 제 1 실시예와 동일 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하였다.
도 18 내지 도 20을 참조하면, 본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)는, 메인 프레임(100), 제 1 카세트 구동유닛(110), 도어패드 구동유닛(130), 카세트 도어패드(140), 제 1 흡착수단(150) 및 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)을 포함하여 구성된다.
상기 메인 프레임(100)은 로봇 펜스(Robot Fence : 30)의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스(30)의 일측에 설치된다.
상기 제 1 카세트 구동유닛(110)은 1단 적재부(102)에 설치되어 그 상부에 카세트(20)가 적재된다.
상기 도어패드 구동유닛(130)은 상기 메인 프레임(100)의 타측에 설치될 수 있다.
상기 카세트 도어패드(140)는 상기 도어패드 구동유닛(130)에 설치될 수 있다.
상기 제 1 흡착수단(150)은 상기 카세트 도어패드(140)에 설치되어 카세트 도어(20a)를 흡착할 수 있도록 한다.
다시, 도 18 내지 도 20을 참조하여 본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치의 작동과정을 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 제 4 실시예에 의한 유리 기판 이송장치(10)를 사용하여 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리기판을 로봇 펜스(30)로 이송시키기 위해서는, 먼저 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 카세트 도어패드(140)를 상승시킴으로써 상기 카세트 도어패드(140)가 상기 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)와 마주할 수 있도록 한다.
이후, 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)이 작동되어 상기 제 1 카세트 구동유닛(110)에 적재된 카세트(20)를 상기 카세트 도어패드(140) 측으로 이동시켜 상기 제 1 흡착수단(150)과 카세트 도어(20a)가 밀착되도록 한 다음, 제 1 흡착수단(150)을 작동시켜 도어(20a)를 흡착한다.
이와 동시에, 상기 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)의 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)과 얼라인 핀(220)은 각각 카세트 도어(20a)에 형성된 제 1 홀(211)과 제 2 홀(221)에 삽입된 후 상하 이동부재(212)를 작동시켜 상기 클램핑 수단(210)의 이탈방지 핀(213)을 상승시킴으로써 상기 이탈방지 핀(213)이 추락방지 홀부(211b)에 걸려 클램핑 되도록 하여 상기 카세트 도어(20a)를 견고하게 고정시킴과 동시에, 상기 제 1 흡착수단(150)의 흡착력이 약해지더라도 상기 제 1 흡착수단(150)으로부터 도어(20a)가 이탈되어 추락되는 것을 방지할 수 있으므로 도어(20a)의 추락으로 인한 안전사고를 미연에 예방할 수 있도록 한다.
상기와 같이 도어(20a)를 흡착한 다음에는, 다시 제 1 카세트 구동유닛(110)을 작동시켜 상기 1단 적재부(102)에 적재된 카세트(20)를 카세트 도어패드(140)의 반대 측으로 이동시켜 상기 흡착수단(150)에 의해 상기 카세트(20)로부터 카세트의 도어(20a)를 분리시킨다.
상기와 같이 도어(20a)를 카세트(20)로부터 분리시킨 다음에는, 상기 도어패드 구동유닛(130)을 작동시켜 상기 카세트 도어패드(140)를 하강시킨 후 카세트(20) 내부에 적재된 반도체 또는 유리 기판을 로봇 펜스(30)로 이송시킨다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 카세트 도어패드에 흡착수단 이외에 카세트 도어를 기계적으로 클램핑할 수 있는 추락방지 겸용 센터링 유닛(200)을 더 설치함으로써 흡착수단의 흡착력이 약해지는 현상이 발생하더라도 상기 흡착수단으로부터 카세트 도어(20a, 21a)가 분리되어 추락되는 현상을 방지하여 안전사고가 발생되는 것을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 메인 프레임(100)의 전방부 또는 후방부에 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)를 형성한 후 1단 적재부(102)와 2단 적재부(103)에 적재된 카세트(20, 21)로부터 분리된 카세트(20, 21) 도어(20a, 21a)를 분시켜 상기 제 1, 2 도어 저장부(101a, 101b)로 전진 또는 후진시켜 저장할 수 있도록 한다.
따라서, 본 발명에 따른 유리 기판 이송장치(10)는 1단 대응만 가능하던 로봇 펜스(30) 내에 설치되는 로봇의 별도 개발 없이 종래의 로봇을 그대로 사용하고도 2단으로 카세트(20, 21)를 적재하여 카세트(20, 21) 내에 적재된 반도체나 유리기판의 반송작업을 할 수 있도록 한다.
또한, 2단으로 카세트(20 ,21)를 적재한 후 반도체나 유리기판 반송작업을 할 수 있도록 함으로써 공정수율을 대폭 향상시킬 수 있도록 한다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
(10) : 유리 기판 이송장치 (20)(21) : 카세트
(20a)(21a) : 도어 (30) : 로봇 펜스
(100) : 메인 프레임 (101) : 도어 저장부
(102) : 1단 적재부 (103) : 2단 적재부
(110) : 제 1 카세트 구동유닛
(111)(121)(132)(132a)(132b)(162) : 볼 스크루
(112)(122)(133)(133a)(133b)(163) : 이동 블록
(113)(123) : 적재 프레임
(114)(124)(131)(131a)(131b)(161) : 구동수단
(120) : 제 2 카세트 구동유닛
(130) : 도어패드 구동유닛
(130a) : 제 1 도어패드 구동유닛 (130b) : 제 2 도어패드 구동유닛
(140) : 카세트 도어패드 (140a) : 제 1 카세트 도어패드
(140b) : 제 2 카세트 도어패드 (150): 제 1 흡착수단
(151) : 제 2 흡착수단 (160) : 스톡 패드 구동유닛
(170) : 스톡 패드 (180) : 제 3 흡착수단
(200) : 추락방지 겸용 센터링 유닛 (210) : 클램핑 수단
(211) : 제 1 홀 (212) : 상하 이동부재
(212a) : 고정블록 (212b) : 실린더
(213) : 이탈 방지 핀 (220) : 얼라인 핀
(221) : 제 2 홀 (211a) : 삽입 홀부
(211b) : 추락방지 홀부

Claims (25)

  1. 하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임;
    상기 1단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1 카세트 구동유닛;
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛;
    상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드;
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단; 및
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함하며,
    상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은,
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함하고,
    상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며,
    상기 클램핑 수단은, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 카세트 구동유닛은,
    상기 1단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루;
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및
    상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어패드 구동유닛은,
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단;
    상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 하부에서부터 상부 방향으로 도어 저장부와 1단 적재부 및 2단 적재부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임;
    상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛;
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 도어패드 구동유닛;
    상기 도어패드 구동유닛에 설치되는 카세트 도어패드;
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1 흡착수단;
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링유닛;
    상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 스톡 패드 구동유닛;
    상기 스톡 패드 구동유닛에 설치되는 스톡 패드;
    상기 스톡 패드에 설치되는 적어도 하나의 제 3 흡착수단; 및
    상기 메인 프레임의 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되는 제 1, 2 셔터유닛;을 포함하여,
    상기 제 1 흡착수단에 의해 첫 번째로 흡착되어 분리된 카세트 도어는 상기 도어패드 구동유닛에 의해 카세트 도어패드와 함께 메인 프레임 하부로 이동된 후 제 3 흡착수단에 의해 흡착되어 제 1 흡착수단으로부터 분리된 다음, 스톡 패드 구동유닛에 의해 스톡 패드와 함께 도어 저장부로 이동되어 저장되고,
    상기 제 1 흡착수단에 의해 두 번째로 흡착되어 분리된 카세트 도어는 상기 도어패드 구동유닛에 의해 카세트 도어패드와 함께 메인 프레임 하부로 이동되어 저장되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은,
    상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루;
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및
    상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 도어패드 구동유닛은,
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단;
    상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 나사 체결되며, 상기 카세트 도어패드가 설치되는 이동 블록;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은,
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및
    상기 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며,
    상기 클램핑 수단은, 상기 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 스톡 패드 구동유닛은,
    상기 카세트 도어 저장부에 설치되는 구동수단;
    상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 나사 체결되며 상기 스톡 패드가 설치되는 이동 블록;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  12. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 셔터유닛은,
    롤 스크린 형태로 형성되어 1단 적재부 또는 2단 적재부에 적재된 카세트의 교체 시 기판 출입구를 폐쇄하여 로봇 펜스 내의 기류 변화를 방지할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송장치.
  13. 제 6 항에 있어서,
    상기 카세트 도어패드에는 맵핑 센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송장치.
  14. 하부에서부터 상부 방향으로 제 1 도어 저장부, 1단 적재부, 2단 적재부, 제 2 도어 저장부가 순차적으로 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임;
    상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛;
    상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛;
    상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛;
    상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드;
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단; 및
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1, 2 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함하며,
    상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은,
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함하고,
    상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며,
    상기 클램핑 수단은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은,
    상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루;
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및
    상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은,
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단;
    상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 제 14 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에는,
    각각 제 1, 2 맵핑 센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송장치.
  20. 하부에서부터 상부 방향으로 1단 적재부, 2단 적재부가 순차적으로 형성되며, 상기 1, 2단 적재부의 전방 또는 후방에는 각각 제 1, 2 도어 저장부가 형성되어 로봇 펜스의 일측과 밀착되도록 상기 로봇 펜스의 일측에 설치되는 메인 프레임;
    상기 1단 적재부와 2단 적재부에 설치되어 카세트가 상부에 적재되는 제 1, 2 카세트 구동유닛;
    상기 1단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 1단 적재부에 적재된 카세트의 도어를 제거한 후 상기 제 1 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 1 도어패드 구동유닛;
    상기 2단 적재부와 이웃하도록 메인 프레임에 설치되어 2단 적재부에 적재된 카세트 도어를 제거한 후 상기 제 2 도어 저장부로 이동시킬 수 있는 제 2 도어패드 구동유닛;
    상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛에 각각 설치되는 제 1, 2 카세트 도어패드;
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 각각 설치되어 카세트 도어를 흡착하는 적어도 하나의 제 1, 2 흡착수단; 및
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 복수개의 홀이 끼워져 고정됨으로써 상기 카세트 도어를 정렬시킴과 동시에 상기 제 1, 2 흡착수단의 흡착력이 약해졌을 시에 상기 카세트 도어가 추락되는 것을 방지하는 추락방지 겸용 센터링 유닛;을 포함하며,
    상기 추락방지 겸용 센터링 유닛은,
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 1 홀에 일측이 삽입되어 상기 카세트 도어를 클램핑 시키는 복수개의 클램핑 수단; 및
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되어 상기 제 1, 2 흡착수단에 카세트 도어가 밀착될 시 상기 카세트 도어에 형성된 제 2 홀에 삽입되는 얼라인 핀;을 포함하고,
    상기 제 1 홀은, 상기 카세트 도어의 타측면에서 일측면 방향으로 소정의 깊이로 형성되는 삽입 홀부와, 상기 삽입 홀부 보다 큰 직경을 가지며 상기 삽입 홀부와 연통되도록 상기 카세트 도어에 형성되는 추락방지 홀부;를 포함하며,
    상기 클램핑 수단은, 상기 제 1, 2 카세트 도어패드에 설치되는 상하 이동부재; 및 상기 상하 이동부재에 설치되며 일측 끝단부에는 상기 추락방지 홀부에 삽입되어 상기 상하 이동부재가 작동됨에 따라 상승되어 상기 추락방지 홀부에 걸려 상기 카세트 도어가 이탈되는 것을 방지하는 이탈방지 핀;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  21. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 카세트 구동유닛은,
    상기 1, 2단 적재부에 설치되어 구동수단에 의해 회전되는 적어도 하나의 볼 스크루;
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록; 및
    상기 이동 블록에 설치되어 상부에 카세트가 적재되는 적재 프레임;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  22. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 도어패드 구동유닛은,
    상기 메인 프레임의 타측에 설치되는 구동수단;
    상기 구동수단에 연결되는 볼 스크루; 및
    상기 볼 스크루에 나사 체결되는 이동 블록;을 포함하는 유리 기판 이송장치.
  23. 삭제
  24. 삭제
  25. 제 20 항에 있어서,
    상기 제 1, 2 카세트 도어패드에는,
    각각 제 1, 2 맵핑 센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 이송장치.
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JP2009010287A (ja) 2007-06-29 2009-01-15 Tokyo Electron Ltd 基板の処理システム

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