KR101212889B1 - 기판 적재용 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 기판 적재용 카세트는 상하로 이격 배치되는 상부프레임과 하부프레임 및, 내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되어 상기 상부프레임과 하부프레임의 양측에 수직방향으로 배치되는 사이드프레임에 의해 사각박스 형태로 이루어져 내측에 기판을 수용하는 카세트본체;와, 내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되어 상기 상부프레임과 하부프레임의 후방에 수직방향으로 배치되는 센터프레임; 및, 상기 센터프레임과 카세트본체 사이에 마련되어 상기 센터프레임을 카세트본체에 탈착 가능하게 연결하는 연결부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 적재용 카세트{Cassette for loading Glasses}
본 발명은 기판 적재용 카세트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판의 일단측 중앙부분을 지지하는 센터프레임이 카세트본체의 전방 또는 후방측에 선택적으로 설치되도록 함으로써, 기판의 인입 또는 인출방향을 선택적으로 변경할 수 있는 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등과 같은 평판 디스플레이 장치는 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
그리고 이들 각각의 공정진행을 위해 기판은 해당공정을 수행하는 공정장비로 운반 및 공급되며, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 사용되며, 현재 평판표시장치의 제조공정에 있어서 기판보관 및 운반의 최소단위를 이루고 있다.
도 1은 일반적인 기판 수납용 카세트에 대한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 기판 수납용 카세트(이하, 카세트라 함 : C)는 천정과 바닥 역할의 상하수평면을 이루는 상하플레이트(14, 16) 그리고 이들 상하플레이트(14, 16)의 서로 대응된 가장자리를 연결함으로써 개구된 입구면(12)을 비롯하여 내부의 기판수납공간을 형성하도록 전방의 입구면(12)을 기준으로 서로 마주보는 양 측면(18,20) 그리고 입구면(12)과 마주보는 후방의 뒷면(22)으로 구분된다.
이때, 양 측면(18, 20)을 비롯한 뒷면(22)은 소정간격으로 배열된 복수개의 프레임바(32a, 32b, 32c, 34a, 34b, 34c)와 서포트프레임바(36)로 이루어지며 특히, 상기 프레임바(32a, 32b, 32c, 34a, 34b, 34c) 내면에는 서로 마주보는 방향으로 수평하게 돌출된 다수의 사이드 슬럿핀(42)이 일정간격으로 구비되며, 상기 카세트(10)의 뒷면(22)을 이루는 서포트프레임바(36)에는 상기 사이드 슬럿핀(42)과 동일한 간격을 이루는 다수의 서포트바(46)가 입구면(12)을 향해 수평하게 돌출되어 있다. 이때, 상기 서포트바(46)의 일끝단에는 기판과의 직접적인 접촉을 방지하기 위해, 점(點) 접촉되도록 피크(44)가 형성된다.
따라서, 기판(미도시)은 양 측면에 구비되어 서로 대응되는 사이드 슬럿핀(42)에 의해 양 가장자리가 지지됨과 동시에 해당 기판을 가로질러 떠받치는 서포트바(46)에 의해 각 층별로 수납된다.
이러한 카세트(C)에 보관되는 기판의 인입 및 인출과정을 살펴보면, 도 2의 (a)와 같이 전(前)공정의 이송라인(L1)으로부터 이송되는 기판(G)은 이재로봇(R)에 의해 통해 카세트(C)의 내측으로 수납되는데, 이때, 도면에서 도시된 바와 같이 이송라인(L1)의 전방을 향하는 기판(G)의 단부가 카세트(C)의 전방 개구측을 향하도록 수납되고, 카세트반송장치(미도시)에 의해 후(後)공정으로 전달된다.
이어서, 도 2의 (b)와 같이 카세트(C)에 수납된 기판(G)은 이재로봇(R)에 의해 카세트(C)의 전방개구부를 통해 인출되어 후(後)공정의 이송라인(L2)으로 전달되는데, 이재로봇(R)을 통해 카세트(C)에서 후공정의 이송라인(L1)으로 곧바로 이동하는 경우에는 카세트(C)의 전방 개구측을 향하는 기판(G)의 단부가 후공정의 이송라인(L2)의 후방을 향하게 되므로, 기판(G)의 전후방향이 뒤바뀌게 된다.
따라서, 도면에서와 같이 카세트(C)와 후공정 이송라인(L2)의 사이에 기판(G)의 방향을 180도 회전시키는 턴테이블(T)을 배치하여, 이재로봇(R)을 이용해 카세트(C)에서 인출한 기판(G)을 턴테이블(T)에 안착시킨 다음 턴테이블(T)을 180도 회전시키고, 다시 이재로봇(R)을 이용해 턴테이블(T)에서 후공정 이송라인(L2)으로 전달하여야 하므로 공정 수가 증가하는 문제점이 있다.
아울러, 공정라인의 작업자가 기판(G)을 핸들링하여 180도 회전시키는 것도 가능하나, 이러한 경우 기판의 정렬상태가 불량해지는 것과 함께, 기판이 쉽게 손상되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 일단측 중앙부분을 지지하는 센터프레임이 카세트본체의 전방 또는 후방측에 선택적으로 설치되도록 함으로써, 기판의 인입 또는 인출방향을 선택적으로 변경할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공함에 있다.
또한, 기판의 일단측 중앙부분을 지지하는 센터프레임의 서포트바가 기판으로부터 이격된 상태에서 탈착되도록 함으로써, 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공함에 있다.
또한, 센터프레임의 탈착과정에서 센터프레임의 서포트바가 카세트본체로부터 수평을 유지하면서 회동하도록 함으로써, 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공함에 있다.
또한, 센터프레임과 레버가 고정방향으로 위치한 상태에서 임의로 고정해제되는 것을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상하로 이격 배치되는 상부프레임과 하부프레임 및, 내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되어 상기 상부프레임과 하부프레임의 양측에 수직방향으로 배치되는 사이드프레임에 의해 사각박스 형태로 이루어져 내측에 기판을 수용하는 카세트본체;와, 내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되어 상기 상부프레임과 하부프레임의 후방에 수직방향으로 배치되는 센터프레임; 및, 상기 센터프레임과 카세트본체 사이에 마련되어 상기 센터프레임을 카세트본체에 탈착 가능하게 연결하는 연결부재;를 포함하는 기판 적재용 카세트에 의해 달성된다.
여기서, 상기 연결부재는 카세트본체에 고정되는 제1고정부와, 센터프레임측에 고정되어 상기 제1고정부에 착탈가능하게 조립되는 제2고정부로 이루어지며, 상기 제1고정부는 카세트본체의 전방과 후방에 각각 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제1고정부와 제2고정부는 회동축과 회동축 삽입공이 각각 형성되어 상호 회동가능하게 조립되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 센터프레임과 연결부재 사이에 마련되어 상기 센터프레임이 수직방향으로 승강되도록 하는 승강부재를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강부재는 상부프레임과 하부프레임의 사이에 수직방향으로 배치되는 지지프레임과, 상기 지지프레임에 마련되어 상기 센터프레임의 승강구동을 제어하는 조작부를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강부재는 상기 지지프레임 상에서 센터프레임의 수직방향 이동을 안내하는 가이드부재가 상기 지지프레임과 센터프레임 사이에 마련되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 조작부는 상기 지지프레임에 회동가능하게 설치되는 레버와, 상기 레버의 회동에 의해 수직방향으로 승강하는 작용축과, 상기 작용축과 센터프레임을 연결하는 연결브라켓으로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 레버는 토글 클램프로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지프레임은 레버의 잠금위치를 지지프레임 측에 고정하는 제1스토퍼를 마련하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 연결부재에 의해 카세트본체에 회동가능하게 연결되는 지지프레임은, 지지프레임과 카세트본체를 고정하여 지지프레임의 임의회동을 방지하는 제2스토퍼를 마련하는 것이 바람직하다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 일단측 중앙부분을 지지하는 센터프레임이 카세트본체의 전방 또는 후방측에 선택적으로 설치되도록 함으로써, 기판의 인입 또는 인출방향을 선택적으로 변경할 수 있는 기판 적재용 카세트가 제공된다.
또한, 기판의 일단측 중앙부분을 지지하는 센터프레임의 지지바가 기판으로부터 이격된 상태에서 탈착되도록 함으로써, 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트가 제공된다.
또한, 센터프레임의 탈착과정에서 센터프레임의 지지바가 카세트본체로부터 수평을 유지하면서 회동하도록 함으로써, 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트가 제공된다.
또한, 센터프레임과 레버가 고정방향으로 위치한 상태에서 임의로 고정해제되는 것을 방지할 수 있는 기판 적재용 카세트가 제공된다.
도 1은 종래 일반적인 기판 수납용 카세트에 대한 사시도,
도 2는 종래 기판 수납용 카세트가 공정라인에 설치된 상태를 나타내는 구성도,
도 3은 본 발명 기판 적재용 카세트의 사시도,
도 4는 본 발명 기판 적재용 카세트의 분해사시도,
도 5는 본 발명 기판 적재용 카세트의 측단면도이고, 도 6은 도 5의 "A"부분 확대단면도이고, 도 7은 본 발명 기판 적재용 카세트의 정면도이고, 도 8은 본 발명 기판 적재용 카세트의 평단면도,
도 9 내지 도 12는 본 발명 기판 적재용 카세트의 카세트본체로부터 센터프레임을 분리하는 과정을 나타내는 작용도,
도 13은 본 발명 기판 적재용 카세트가 공정라인에 설치된 상태를 나타내는 구성도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 적재용 카세트에 대하여 상세하게 설명한다.
첨부도면 중 도 3은 본 발명 기판 적재용 카세트의 사시도이고, 도 4는 본 발명 기판 적재용 카세트의 분해사시도이다.
상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 기판 적재용 카세트는 카세트본체(110)와 센터프레임(120)과 연결부재(130) 및 승강부재(140)를 포함하여 구성된다.
상기 카세트본체(110)는 내측에 다수의 기판(G)이 수납 적재되는 것으로, 서로 대향하도록 이격 배치된 상부프레임(111) 및 하부프레임(112)과, 내측에 기판(G)을 지지하는 다수의 지지바(113a)가 형성되어 상기 상부프레임(111) 및 하부프레임(112)의 사이 양측면에 수직방향으로 배치되는 사이드프레임(113)으로 구성되어 전,후방이 개구된 형태의 사각박스 형태를 이루게 된다. 상기 지지바(113a)는 기판(G)이 용이하게 적재될 수 있도록 기판(G)의 양측 저면 단부를 지지하는 역할을 수행하는 구성부재로서, 액정 디스플레이용 글라스의 적재 시 기판(G)의 양측 단부를 받치는 지지구로서의 역할을 담당한다.
상기 센터프레임(120)은 내측에 기판(G)을 지지하는 다수의 서포트바(121)가 형성되어 기판(G)의 인입 또는 인출방향을 기준으로 상기 카세트본체(110)의 후방 개구측에 수직방향으로 배치된다. 상기 서포트바(121)는 상기 센터프레임(120)의 내측면에서 전방을 향해 수평으로 길게 연장되는 부재로서, 대형기판(G)을 수납하는 경우 기판(G)의 휨 또는 처짐을 저지하기 위해 필수적으로 요구되는 부재이다.
상기 연결부재(130)는 상기 센터프레임(120)과 카세트본체(110) 사이에 마련되어 상기 센터프레임(120)을 카세트본체(110)에 탈착 가능하게 연결하는 것으로, 카세트본체(110)의 전방과 후방에 각각 고정설치되는 제1고정부(131)와, 센터프레임(120)측에 고정되어 상기 제1고정부(131)에 착탈가능하게 조립되는 제2고정부(132)로 이루어진다. 또한, 상기 제1고정부(131)는 상측방향을 향해 수직방향으로 회동축(131a)이 형성되고, 제2고정부(132)는 상기 회동축(131a)이 삽입되는 삽입공(132a)이 형성된다. 이러한 구성에 의해 상기 제1고정부(131)의 상측으로부터 제2고정부(132)가 하측방향으로 이동하면 제1고정부(131)의 회동축(131a)에 제2고정부(132)의 삽입공(132a)이 결합하면서 회동가능하게 조립되고, 제2고정부(132)가 상측방향으로 이동하면 제1고정부(131)의 회동축(131a)으로부터 제2고정부(132)의 삽입공(132a)이 이탈하면서 분리된다.
상기 승강부재(140)는 상기 센터프레임(120)과 연결부재(130) 사이에 마련되어 상기 센터프레임(120)이 수직방향으로 승강되도록 하는 것으로서, 상부프레임(111)과 하부프레임(112)의 사이에 수직방향으로 배치되는 지지프레임(141)과, 상기 지지프레임(141)에 마련되어 상기 센터프레임(120)의 승강구동을 제어하는 조작부(142)와, 상기 지지프레임(141)과 센터프레임(120) 사이에 배치되어 상기 센터프레임(120)의 수직방향 이동을 안내하는 가이드부재(143)로 구성된다.
여기서, 상기 조작부(142)는 상기 지지프레임(141)에 회동가능하게 설치되는 레버(142a)와, 상기 레버(142a)의 회동에 의해 수직방향으로 승강하는 작용축(142b)과, 상기 작용축(142b)에 고정되는 고정블럭(142c)과, 상기 고정블럭(142c)과 센터프레임(120)을 연결하는 연결브라켓(142d)으로 이루어진다. 또한, 상기 레버(142a)는 레버(142a)의 조작에 의해 작용축(142b)을 수직방향으로 승강시키는 푸쉬/풀 형 토글 클램프가 적용되어 레버(142a)가 상측방향으로 회동한 상태에서 작용축(142b)이 임의로 잠금해제 방향으로 이동하는 것을 방지하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 지지프레임(141)은 레버(142a)의 잠금위치를 지지프레임(141) 측에 고정하는 제1스토퍼(144)와, 지지프레임(141)과 카세트본체(110)를 고정하여 지지프레임(141)의 임의회동을 방지하는 제2스토퍼(145)를 마련한다. 본 실시예에서는 상기 제1스토퍼(144)는 지지프레임(141)을 관통하여 카세트본체(110)에 선택적으로 고정되는 잠금볼트로 이루어지고, 제2스토퍼(145)는 레버(142a)가 상측방향으로 회동한 상태에서 레버(142a)의 단부를 지지함으로써 레버(142a)의 위치를 고정하는 것으로 예를 들어 설명한다.
또한, 상기 가이드부재(143)는 가이드레일(143a)과 상기 가이드레일(143a)에 결합하여 가이드레일(143a)의 길이방향으로 슬라이딩하는 슬라이더(143b)로 이루어지는 것으로, 본 실시예에서는 상기 가이드레일(143a)이 지지프레임(141)측에 고정되고, 상기 슬라이더(143b)가 센터프레임(120)측에 고정되는 것으로 예를 들어 설명한다.
한편, 상기 사이드프레임(113)의 지지바(113a)는 기판(G)이 용이하게 적재될 수 있도록 기판(G)의 양측 저면 단부를 지지하는 역할을 수행하는 부재이고, 상기 센터프레임(120)의 서포트바(121)는 수납된 기판(G)이 자체 하중에 의하여 중력 방향으로 휘는 것을 방지하기 위해 기판(G)의 중앙부분을 지지하는 부재로서, 본 실시예에서는 바(bar)의 형태로 이루어지는 것으로 설명하였으나, 기판(G)의 단부가 삽입 지지되는 슬롯의 형태로 이루어지는 것도 가능할 것이다.
지금부터는 상술한 기판 적재용 카세트의 제1실시예의 조립구조에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 5는 본 발명 기판 적재용 카세트의 측단면도이고, 도 6은 도 5의 "A"부분 확대단면도이고, 도 7은 본 발명 기판 적재용 카세트의 정면도이고, 도 8은 본 발명 기판 적재용 카세트의 평단면도이다.
상기 도면들에서 도시하는 바와 같이 카세트본체(110)는 상,하로 대향하도록 배치되는 상부프레임(111)과 하부프레임(112)의 양측이 수직배치되는 다수의 사이드프레임(113)들로 연결 지지되어 전방과 후방이 개구된 사각박스형태를 이루고, 카세트본체(110) 내부로 수납되는 기판(G)의 양단부가 상기 사이드프레임(113)의 내측에 돌출 형성된 다수의 지지바(113a)들에 지지되면서 수납된다.
이때, 상기 카세트본체(110)의 후방 중앙부분에 설치되는 센터프레임(120)의 서포트바(121)가 기판(G)의 후단측 중앙부분을 지지하면서 기판(G)의 휨이 방지되는데, 이러한 센터프레임(120)은 센터프레임(120)과 카세트본체(110) 사이에 마련되는 연결부재(130)에 의해 상기 카세트본체(110)로부터 탈착 가능하게 조립되어 카세트본체(110)의 전방과 후방 중 어느 하나에 선택적으로 설치할 수 있게 된다.
즉, 상기 카세트본체(110)의 전방과 후방에는 회동축(131a)이 형성된 제1고정부(131)가 각각 고정되고, 상기 센터프레임(120)에는 삽입공(132a)이 형성된 제2고정부(132)가 고정되어 상기 제1고정부(131)의 회동축(131a)이 제2고정부(132)의 삽입공(132a)으로 삽입되면서 착탈가능하게 조립되는데, 이러한 연결부재(130)의 제1고정부(131)가 카세트본체(110)의 전방과 후방에 각각 설치되어 있으므로, 센터프레임(120)을 카세트본체(110)의 전방 또는 후방에 선택적으로 설치하는 것이 가능하게 된다.
특히, 제1고정부(131)의 회동축(131a)으로 제2고정부(132)의 삽입공(132a)이 조립되는 구성으로 이루어져, 상기 카세트본체(110)로부터 센터프레임(120)이 회동가능한 상태가 되며, 카세트본체(110)와 센터프레임(120)의 상단부와 하단부에 연결부재(130)가 각각 설치되어 카세트본체(110)에 연결되므로 센터프레임(120)이 안정적으로 회동할 수 있게 된다.
한편, 상기 연결부재(130)와 센터프레임(120)의 사이에는 센터프레임(120)의 수직방향으로의 이동을 안내하는 승강부재(140)가 마련되어 센터프레임(120)의 착탈과정에서 서포트바(121)가 기판(G)의 저면으로부터 이격된 상태로 착탈되도록 함으로써 기판(G)의 훼손을 방지한다.
즉, 수직방향으로 배치되는 지지프레임(141)의 상단부와 하단부에 상기 연결부재(130)의 제2고정부(132)가 각각 고정설치되고, 상기 지지프레임(141)의 내측면에는 센터프레임(120)이 설치되는데, 상기 지지프레임(141)과 센터프레임(120)의 사이에 가이드부재(143)가 마련되어 센터프레임(120)의 승강을 안내한다.
또한, 상기 지지프레임(141)의 외측에는 상기 센터프레임(120)을 수직방향으로 이동시키기 위한 조작부(142)가 마련된다.
상기 조작부(142)를 구성하는 레버(142a)는 소정의 축을 중심으로 회동하면서 레버(142a)의 하부에 배치된 작용축(142b)을 승강시키는데, 상기 작용축(142b)의 하단부에 고정된 고정블럭(142c)은 연결브라켓(142d)을 통해 센터프레임(120)과 연결되어 있으므로, 상기 레버(142a)의 회동방향에 따라 상기 센터프레임(120)이 승강하게 된다.
이하에서는 상기와 같이 조립된 본 발명 기판 적재용 카세트의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
첨부도면 중 도 9 내지 도 13은 본 발명 기판 적재용 카세트의 카세트본체로부터 센터프레임을 분리하는 과정을 나타내는 작용도이다.
카세트본체(110)의 후방측에 설치되어있는 센터프레임(120)을 분리하는 경우, 도 9에서 도시하는 바와 같이 지지프레임(141)을 관통하여 카세트본체(110)에 고정되어있는 제1스토퍼(144)를 고정해제시키면, 지지프레임(141)의 고정이 해제되어 지지프레임(141)이 연결부재(130)의 회동축(131a)을 중심으로 회동가능한 상태가 된다.
또한, 도 10과 같이 상측방향으로 회동한 상태에 있는 레버(142a)의 위치를 고정하는 제2스토퍼(145)를 고정해제방향으로 이동시키면, 레버(142a)의 잠금이 해제되어 하측방향으로 회동가능한 상태가 된다.
상기와 같이 레버(142a)의 잠금이 해제된 상태에서, 도 11과 같이 레버(142a)를 하측방향으로 회동하면, 레버(142a)와 연결된 작용축(142b)과 작용축(142b)에 고정된 고정블럭(142c)이 수직방향으로 하강한다. 이때, 가이드부재(143)를 사이에 두고 지지프레임(141)에 고정된 수직프레임은 연결브라켓(142d)에 의해 상기 고정블럭(142c)과 연결되어 있으므로, 상기 작용축(142b)의 하강과 연동하여 하강하게 된다. 상기와 같이 레버(142a)를 하측방향으로 회동하면, 작용축(142b)이 하강하게 되는데, 이러한 작용축(142b)과 연결된 센터프레임(120)이 함께 하강하면서 센터프레임(120)의 서포트바(121)가 기판(G)의 저면으로부터 소정간격 이격된다.
상기와 같이 서포트바(121)가 기판(G)의 저면으로부터 이격된 상태에서, 연결부재(130)에 의해 카세트본체(110)로부터 회동가능한 상태에 있는 지지프레임(141)을 도 12에 도시된 바와 같이 시계방향으로 회동시키면, 센터프레임(120)의 서포트바(121)가 카세트본체(110)의 외부영역으로 이탈하게 된다. 이때, 상기 연결부재(130)가 지지프레임(141)의 상단부와 하단부에 각각 설치되어 있으므로, 지지프레임(141)이 안정된 상태로 회동하게 되며, 회동하는 과정에서 센터프레임(120)의 서포트바(121)가 기판(G)으로부터 이격된 상태에서 수평방향으로 회동하게 되므로, 서포트바(121)의 이탈과정에서 기판(G)에 접촉하는 것이 방지된다.
이어서, 도 13과 같이 지지프레임(141)을 상측방향으로 들어올리면, 지지프레임(141)에 고정된 제2고정부(132)의 삽입공(132a)이 카세트본체(110)에 고정된 제1고정부(131)의 회동축(131a)으로부터 이탈하게 되면서 지지프레임(141)이 카세트본체(110)로부터 분리된다.
앞서 살펴본 바와 같이 센터프레임(120)을 카세트본체(110)로부터 분리시킨 뒤에는 카세트본체(110)의 대향측 단부에 마련된 연결부재(130)의 제1고정부(131)에 다시 결합할 수 있다.
첨부도면 중 도 14는 본 발명 기판 적재용 카세트가 공정라인에 설치된 상태를 나타내는 구성도로서, 도 14의 (a)와 같이 전 공정의 이송라인으로부터 이송되는 기판(G)을 이재로봇을 통해 카세트의 전방 개구를 통해 카세트의 내측으로 수납한 다음, (b)와 같이 기판(G)의 수납이 완료된 상태에서 카세트본체(110)의 후방측(110b) 연결부재(130)에 조립된 센터프레임(120)을 상술한 바와 같은 과정을 통해 분리하고, 분리된 센터프레임(120)을 전방측(110a)에 마련된 연결부재(130)에 결합하여 분리의 역순으로 조립한다. 이어서, 후공정 이송라인과 카세트 사이에 배치된 이재로봇을 통해 카세트의 후방 개구를 통해 카세트에 보관된 기판(G)을 인출하여 후공정 이송라인으로 전달한다.
상기와 같이 기판(G)의 전방측(110a)으로 기판(G)을 삽입한 다음, 기판(G)의 후방측(110b)으로 기판(G)을 인출하면, 종래와 같이 기판(G)의 전후방향이 바뀌는 일이 없으므로, 공정흐름이 단순해지는 이점이 있다.
본 실시예에서는 카세트본체의 내측으로 디스플레이용 글라스 기판이 수납되는 것으로 설명하였으나, 반도체 공정의 웨이퍼 등이 수납 적층되는 것도 가능할 것이다. 아울러, 연결부재를 통한 탈착과정이 수동으로 이루어지는 것으로 설명하였으나, 카세트본체의 전방과 후방에 센터프레임을 각각 배치하고, 카세트본체의 외부로 빠져나온 센터프레임을 별도의 구동수단을 이용하여 수직방향으로 이동시켜 카세트본체의 전방 또는 후방을 개구함으로써 공정의 자동화를 구현하는 것도 가능할 것이다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110:카세트본체, 111:상부프레임, 112:하부프레임, 113:사이드프레임,
113a:지지바, 120:센터프레임, 121:서포트바, 130:연결부재, 131:제1고정부,
131a:회동축, 132:제2고정부, 132b:삽입공, 140:승강부재, 141:지지프레임,
142:조작부, 142a:레버, 142b:작용축, 142c:고정블럭, 142d:연결브라켓,
143:가이드부재, 143a:가이드레일, 143b:슬라이더, 144:제1스토퍼,
145:제2스토퍼

Claims (10)

  1. 상하로 이격 배치되는 상부프레임과 하부프레임 및, 내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되어 상기 상부프레임과 하부프레임의 양측에 수직방향으로 배치되는 사이드프레임과, 기판을 인입 또는 인출할 수 있는 개구부가 전방과 후방에 각각 형성된 사각박스 형태로 이루어져 내부공간에 기판을 수용하는 카세트본체;
    내측에 기판을 지지하는 다수의 지지바가 형성되고, 상기 지지바가 반대편 개구부를 향하도록 상기 카세트본체의 전방과 후방 개구부 중 어느 하나의 개구부의 상부프레임과 하부프레임 사이에 수직방향으로 고정되어 기판의 인입/인출방향을 조절하는 센터프레임; 및,
    상기 센터프레임과 카세트본체 사이에 마련되어 상기 센터프레임을 카세트본체에 탈착 가능하게 연결하는 연결부재;를 포함하는 기판 적재용 카세트.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 연결부재는 카세트본체에 고정되는 제1고정부와, 센터프레임측에 고정되어 상기 제1고정부에 착탈가능하게 조립되는 제2고정부로 이루어지며, 상기 제1고정부는 카세트본체의 전방 개구부와 후방 개구부에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 제1고정부와 제2고정부는 회동축과 회동축 삽입공이 각각 형성되어 상호 회동가능하게 조립되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  4. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센터프레임과 연결부재 사이에 마련되어 상기 센터프레임이 수직방향으로 승강되도록 하는 승강부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 승강부재는 상부프레임과 하부프레임의 사이에 수직방향으로 배치되는 지지프레임과, 상기 지지프레임에 마련되어 상기 센터프레임의 승강구동을 제어하는 조작부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 승강부재는 상기 지지프레임 상에서 센터프레임의 수직방향 이동을 안내하는 가이드부재가 상기 지지프레임과 센터프레임 사이에 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 조작부는 상기 지지프레임에 회동가능하게 설치되는 레버와, 상기 레버의 회동에 의해 수직방향으로 승강하는 작용축과, 상기 작용축과 센터프레임을 연결하는 연결브라켓으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 레버는 토글 클램프로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 지지프레임은 레버의 잠금위치를 지지프레임 측에 고정하는 제1스토퍼를 마련하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 연결부재에 의해 카세트본체에 회동가능하게 연결되는 지지프레임은, 지지프레임과 카세트본체를 고정하여 지지프레임의 임의회동을 방지하는 제2스토퍼를 마련하는 것을 특징으로 하는 기판 적재용 카세트.
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