JPH1197505A

JPH1197505A - 半導体ウエハと保護シートの収納・分別装置、収納方法、分別方法および収納・分別方法

Info

Publication number: JPH1197505A
Application number: JP25718097A
Authority: JP
Inventors: Sadao Iwamoto; 禎雄岩本; Masahiko Yamamoto; 正彦山本
Original assignee: HAAMO TEC KK
Current assignee: HAAMO TEC KK
Priority date: 1997-09-22
Filing date: 1997-09-22
Publication date: 1999-04-09

Abstract

(57)【要約】【課題】設置スペースの増大を最小限にしつつ、複数の
搬送容器に対する収納作業や分別作業を効率的に行う。【解決手段】二つの搬送容器３１，３２には、複数枚の
半導体ウエハＷと複数枚の保護シートＳとが交互に積層
された状態で収納可能である。搬送容器３１には、左の
ウエハマガジン２５とシート載置部３５から、ウエハＷ
と保護シートＳが収納され、逆に分配も可能である。搬
送容器３２には、右のウエハマガジン２６とシート載置
部３５から、ウエハＷと保護シートＳが収納され、逆に
分配も可能である。マガジン２５，２６に対して抜差装
置５１，５２の載置板５３，５４がウエハＷの抜取また
は差込を行う。ウエハＷおよび保護シートＳを一枚ずつ
保持および解放する保持アームユニット３８で一方の搬
送容器に対する収納または分別を行う間に、他の搬送容
器に対応するマガジンは、載置板５３または５４でウエ
ハＷの抜取または差込を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハおよ
び保護シートを搬送容器に収納したりここから分別した
りする装置、これらを収納する方法、これらを分別する
方法、およびこれらを収納および分別する方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハを例えばウエハ製造工場か
ら半導体装置組立工場に搬送する際には、複数枚の半導
体ウエハと複数枚の帯電防止用の保護シートとを交互に
積層した状態で収納する搬送容器が用いられている。こ
のような搬送容器にウエアと保護シートを交互に収納す
るには、複数枚のウエハが多段にわたって収納されたウ
エハマガジンからウエハを搬送容器に移送するととも
に、複数枚の保護シートが積層されるシート載置部から
保護シートを搬送容器に移送する。また、搬送容器から
ウエハを取り出す際には、搬送容器からウエハをウエハ
マガジンに移送するとともに、搬送容器から保護シート
をシート載置部に移送する。かかるウエハおよび保護シ
ートの収納および分別の両方が可能な装置がすでに開発
されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の収納・
分別装置は、一度に一つの搬送容器に対してしか、ウエ
ハの収納または分別作業をすることができなかった。こ
のため、複数の搬送容器に対して、収納または分別作業
を行うには時間がかかっていた。また、複数の搬送容器
に対処するために、収納・分別装置を複数設置したので
は、設置スペースが大きくなってしまう。

【０００４】本発明は上記の事情を考慮してなされたも
のであり、設置スペースの増大を最小限にしつつ、複数
の搬送容器に効率的に対処することが可能な半導体ウエ
ハおよび保護シートの収納・分別装置、収納方法、分別
方法、および収納分別方法を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明に係る半導体ウエハおよび保護シートの収納
・分別装置は、複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
複数の搬送容器が、それぞれ積載される複数の積載部
と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞ
れに収納可能な複数のウエハマガジンが、それぞれ取り
付けられる複数のマガジン取付部と、複数枚の上記保護
シートが積層される少なくとも一つのシート載置部と、
対応する上記ウエハマガジンに対して進退自在であっ
て、上記ウエハマガジンに対して上記半導体ウエハを抜
取および差込可能な複数の抜差手段と、上記半導体ウエ
ハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持および解放可能
な単一の保持手段と、上記搬送容器、上記抜差手段およ
び上記シート載置部に向けて上記保持手段を移動させる
移動手段と、上記移動手段を駆動して上記保持手段で上
記搬送容器の一つに対する上記半導体ウエハおよび上記
保護シートの収納または分別を行わせる間に、他の上記
搬送容器に対応する上記ウエハマガジンに対応する上記
抜差手段を駆動して、このウエハマガジンに対する上記
半導体ウエハの抜取または差込を行わせる制御手段とを
備えることを特徴とする。

【０００６】上記構成の装置において、搬送容器の一つ
について半導体ウエハおよび保護シートの収納または分
別を行わせる間に、他の搬送容器に対応するウエハマガ
ジンに対応する抜差手段を駆動して、このウエハマガジ
ンに対する半導体ウエハの抜取または差込を行う。例え
ば、抜差手段でウエハマガジンからウエハを抜き取った
後には、対応する搬送容器についてウエハおよび保護シ
ートの収納を行わせ、その間に、他の搬送容器に対応す
るウエハマガジンに対応する抜差手段を駆動して、この
ウエハマガジンに対する半導体ウエハの抜取または差込
を行う。抜差手段でウエハマガジンにウエハを差し込ん
だ後には、対応する搬送容器についてウエハおよび保護
シートの収納を行わせ、その間に、他の搬送容器に対応
するウエハマガジンに対応する抜差手段を駆動して、こ
のウエハマガジンに対する半導体ウエハの抜取または差
込を行う。つまり、一つの搬送容器についての収納また
は分別の間に、他の搬送容器についての収納または分別
の準備を行うことになるため、複数の搬送容器に効率的
に対処することが可能である。しかも、積載部等が複数
であるにもかかわらず、単一の保持手段を移動手段で移
動させることにより、複数箇所での収納または分別を可
能としているため、単に装置を複数並べるのに比べて設
置スペースの増大を最小限にすることが可能である。

【０００７】本発明に係る半導体ウエハおよび保護シー
トの収納方法は、複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが
多段にわたってそれぞれに収納可能な第１および第２の
ウエハマガジンが、それぞれ取り付けられる第１および
第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積
層される少なくとも一つのシート載置部と、対応する上
記第１および第２のウエハマガジンに対して進退自在で
あって、上記第１または第２のウエハマガジンに対して
上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第１および第
２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シー
トを一枚ずつ保持および解放可能な単一の保持手段とを
備える装置を用いて、上記半導体ウエハおよび上記保護
シートを各上記搬送容器に交互に積層しながら上記第１
および第２の搬送容器に収納する方法であって、(a)
上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シート載
置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護シート
の一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上記第２
の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジンから上
記第２の抜差手段で上記半導体ウエハの他の一枚を抜き
取る過程と、(b) 上記保持手段で上記第２の抜差手段
および上記シート載置部から上記半導体ウエハの一枚お
よび上記保護シートの一枚を上記第２の搬送容器に収納
する間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウ
エハマガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体ウエ
ハの他の一枚を抜き取る過程とを繰り返すことを特徴と
する。

【０００８】本発明に係る半導体ウエハおよび保護シー
トの分別方法は、複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが
多段にわたってそれぞれに収納可能な第１および第２の
ウエハマガジンが、それぞれ取り付けられる第１および
第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積
層される少なくとも一つのシート載置部と、対応する上
記第１および第２のウエハマガジンに対して進退自在で
あって、上記第１または第２のウエハマガジンに対して
上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第１および第
２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シー
トを一枚ずつ保持および解放可能な単一の保持手段とを
備える装置を用いて、上記各搬送容器から上記半導体ウ
エハを対応する上記ウエハマガジンに移送し、上記各搬
送容器から上記保護シートを上記シート載置部に移送す
る、半導体ウエハおよび保護シートの分別方法であっ
て、(a) 上記保持手段で上記第１の搬送容器から上記
半導体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれ
ぞれ上記第１の抜差手段および上記シート載置部に移送
する間に、すでに上記第２の抜差手段に位置している上
記半導体ウエハの他の一枚を上記第２の抜差手段で上記
第２のウエハマガジンに差し込む過程と、(b) 上記保
持手段で上記第２の搬送容器から上記半導体ウエハの一
枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ上記第２の抜
差手段および上記シート載置部に移送する間に、すでに
上記第１の抜差手段に位置している上記半導体ウエハの
他の一枚を上記第１の抜差手段で上記第１のウエハマガ
ジンに差し込む過程とを繰り返すことを特徴とする。

【０００９】本発明に係る半導体ウエハおよび保護シー
トの収納・分別方法は、複数枚の半導体ウエハと複数枚
の保護シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収
納可能な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載さ
れる第１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウ
エハが多段にわたってそれぞれに収納可能な第１および
第２のウエハマガジンが、それぞれ取り付けられる第１
および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シー
トが積層される少なくとも一つのシート載置部と、対応
する上記第１および第２のウエハマガジンに対して進退
自在であって、上記第１または第２のウエハマガジンに
対して上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第１お
よび第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保
護シートを一枚ずつ保持および解放可能な単一の保持手
段とを備える装置を用いて、上記第１のウエハマガジン
および上記シート載置部から上記半導体ウエハおよび上
記保護シートを交互に積層しながら上記第１の搬送容器
に収納すると同時に、上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハを対応する上記第２のウエハマガジンに移送
し、上記第２の搬送容器から上記保護シートを上記シー
ト載置部に移送する、半導体ウエハおよび保護シートの
収納・分別方法であって、(a) 上記保持手段で上記第
１の抜差手段および上記シート載置部から上記半導体ウ
エハの一枚および上記保護シートの一枚を上記第１の搬
送容器に収納する間に、すでに上記第２の抜差手段に位
置している上記半導体ウエハの他の一枚を上記第２の抜
差手段で上記第２のウエハマガジンに差し込む過程と、
(b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハ
マガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体ウエハの
他の一枚を抜き取る過程とを繰り返すことを特徴とす
る。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態について説明する。１．実施形態の構成図１は本発明の実施形態に係る半導体ウエハおよび保護
シートの収納・分別装置の主要部を示す。同図におい
て、符号２０は装置のキャビネットを示す。このキャビ
ネット２０の内部には、後述する全ての構成要素（簡略
化のためブロックで示したものも含む）が配置されてい
る。

【００１１】キャビネット２０の底部には、互いに間隔
をおいた二つのマガジン取付部２１，２２が設けられて
いる。マガジン取付部２１，２２には、多数枚の半導体
ウエハＷが収納可能なウエハマガジン２５，２６が取り
付けられている。

【００１２】より具体的には、各マガジン取付部２１，
２２は、互いに対向するように立設された支持壁２３，
２４を備えており、支持壁２３，２４の間に、ウエハマ
ガジン２５，２６が配置されている。ウエハマガジン２
５，２６は、昇降装置２７，２８により、それぞれ昇降
させられる。昇降装置２７，２８は、この装置のメイン
コントローラ２９で制御され、ウエハマガジン２５，２
６の高さが所定の時期に変更され、所定の位置で停止さ
れるようになっている。昇降装置２７，２８は、このよ
うなマガジン２５，２６の移動および停止が所定の時期
に正確かつ確実に行えるのであればよく、その形態は限
定されない。

【００１３】各ウエハマガジン２５，２６は、前後面が
開放されたほぼ直方体状の中空箱であって、その両側壁
には内側に突き出した多数の受け棚３０が設けられてい
る。左右の対になった受け棚３０には一枚ずつほぼ円板
状のウエハＷが支持され、これにより多数のウエハＷが
多段にわたって互いに等間隔に収容される。

【００１４】ウエハマガジン２５，２６の上板２５ａ，
２６ａの上には、ほぼ円筒状の搬送容器３１，３２がそ
れぞれ積載されており、搬送容器３１，３２の最下部に
形成されたフランジ３１ａ，３２ａが、対応する上板２
５ａ，２６ａに固定されている。このようにして、ウエ
ハマガジン２５，２６の上板２５ａ，２６ａは、搬送容
器３１，３２のための積載部となっており、搬送容器３
１，３２とマガジン２５，２６が垂直線に沿って同軸的
に重ねられている。従って、この装置では、設置面積を
極めて小さくすることが可能である。そして、昇降装置
２７の駆動により搬送容器３１はマガジン２５と一体的
に昇降させられ、昇降装置２８の駆動により搬送容器３
２はマガジン２６と一体的に昇降させられる。従って、
後述する収納作業や分別作業などが、効率的に行われ
る。

【００１５】搬送容器３１，３２は、上方に向けて開口
したほぼ円筒状をしており、その開口を通じて。ほぼ円
板状のウエハＷと円形の保護シートＳの出し入れが可能
である。複数枚のウエハＷと複数枚の帯電防止用の保護
シートＳは交互に積層された状態で搬送容器３１，３２
に収納される。このような状態での収納が行われた後、
図示しないカバーリングなどが搬送容器３１，３２に施
されて、搬送容器３１，３２は例えばウエハ製造工場か
ら装置組立工場へ搬送される。これに対して、ウエハマ
ガジン２５，２６には工場で製造したウエハＷが一時的
に貯蔵されたり、搬送容器３１，３２のカバーリングを
開封した後にそこから取り出したウエハＷが装置組立工
場の素材として貯蔵される。

【００１６】さて、キャビネット２０内において、マガ
ジン取付部２１，２２の間には、マガジン取付部２１，
２２とほぼ同じ高さのテーブル３３が配置されている。
このテーブル３３には、二つのシート載置部３５，３６
が配置されている。各シート載置部３５，３６は、上方
に向けて開口したほぼ円筒状の容器であり、ここには多
数枚の保護シートＳが積層された状態で収納される。

【００１７】キャビネット２０の上部には、水平なレー
ル３７が固定されている。このレール３７には、保持ア
ームユニット３８が取り付けられている。保持アームユ
ニット３８は、レール３７に沿って水平移動可能なよう
にレール３７に取り付けられた支柱３９と、支柱３９に
沿って垂直移動可能なように支柱３９に取り付けられた
垂直スライダ４０とを備える。

【００１８】図２に最もよく示されているように、垂直
スライダ４０には、前方へ向けて延び出したアーム４１
が設けられている。アーム４１には、垂直方向に延びる
４本の吸気管４２が取り付けられている（図１参照）。
搬送容器３１，３２およびシート載置部３５，３６は、
レール３７に平行な線上に直列させられており、保持ア
ームユニット３８がレール３７に沿って水平移動するこ
とにより、吸気管４２は搬送容器３１，３２およびシー
ト載置部３５，３６のいずれの真上にも位置することが
可能である。

【００１９】吸気管４２の下端は吸気口とされており、
図１に示すように、吸気管４２の上端は、可撓性を有す
る連結管４３を介して吸気装置４４に接続されている。
この構成の下、吸気装置４４の吸気により、吸気管４２
の下端に物体が吸着される。吸気装置４４はメインコン
トローラ２９で制御され、所定の時期に所定の吸着力を
発生するようになっている。これにより、４本の吸気管
４２で、薄くて軽量の保護シートＳも、比較的厚くて重
量の大なウエハＷも一枚ずつ、適切な力で吸着（保持）
され、所定の時期に解放される。

【００２０】保持アームユニット３８の支柱３９は水平
移動装置４５によりレール３７に沿って水平方向に移動
させられ、垂直スライダ４０は上下移動装置４６により
支柱３９に沿って垂直方向に移動させられる。移動装置
４５，４６は、メインコントローラ２９で制御され、ア
ーム４１の位置および高さが所定の時期に変更され、所
定の位置で停止されるようになっている。移動装置４
５，４６は、このような移動および停止が所定の時期に
正確かつ確実に行えるのであればよく、その形態は限定
されない。

【００２１】図２に示すように、ウエハマガジン２５，
２６の後方には、抜差装置５１，５２がそれぞれ配置さ
れている。抜差装置５１，５２は、水平な前後方向に延
びる載置板５３，５４と、載置板５３，５４を支持しか
つ水平面に沿って前後方向に移動させる抜差用移動装置
５５，５６を備える。

【００２２】抜差用移動装置５５，５６は、メインコン
トローラ２９で制御され、載置板５３，５４の位置が所
定の時期に変更され、所定の位置で停止されるようにな
っている。載置板５３，５４は、このような移動および
停止が所定の時期に正確かつ確実に行えるのであればよ
く、その形態は限定されない。

【００２３】載置板５３，５４は、それぞれ抜差用移動
装置５５，５６に片持梁状に支持されている。載置板５
３，５４は、前後方向に延びる中心線について線対称な
形状であって、抜差用移動装置５５，５６側にある基端
部５３ａ，５４ａと、基端部５３ａ，５４ａよりも幅が
狭く前方にある先端部５３ｂ，５４ｂとをそれぞれ有す
る。基端部５３ａ，５４ａの先端部には、円形の開口部
５３ｃ，５４ｃが形成されている。開口部５３ｃ，５４
ｃは載置板５３，５４を貫通しており、これにより片持
梁状に支持された載置板５３，５４の軽量化に寄与して
いる。開口部５３ｃ，５４ｃの周囲の部分は、基端部５
３ａ，５４ａの側縁と、先端部５３ｂ，５４ｂの側縁と
が滑らかに連なるようにテーパ状になっている。

【００２４】載置板５３，５４には、ウエハＷの中心と
開口部５３ｃ，５４ｃの中心が合致するように、ウエハ
Ｗが載置される。この構成では、載置板５３，５４の先
端部５３ｂ，５４ｂの幅が狭くされ、かつ先端部５３
ｂ，５４ｂに開口部５３ｃ，５４ｃが形成されているこ
とにより、片持梁状の載置板５３，５４が軽量化されて
おり、かつ載置板５３，５４の先端付近の歪み（変位）
も抑制されている。そればかりでなく、載置板５３，５
４におけるウエハＷとの接触面積も大きい。

【００２５】従来、ウエハを載置して移動する載置板と
しては、一様な幅のタイプが一般的であった。しかし、
一様な幅が大きい載置板の場合には、載置板の先端の重
量が大きくなって駆動装置の消費エネルギの増大を招い
たり、先端付近の歪み（変位）が大きくなってしまい、
平面状のウエハＷとの接触面積が小さくなったりした。
また一様な幅が小さい載置板の場合には、平面状のウエ
ハＷとの接触面積が小さくなる。ウエハＷとの接触面積
が小さいと、ウエハＷに発生する応力が大きくなり、そ
の品質を損ねることがある。

【００２６】さらに従来の載置板の他の例としては、先
端が二股に分岐したタイプもあるが、この場合にも載置
板の先端の重量が大きくなったり、先端付近の歪みが大
きくなったりする。本実施形態に係る載置板５３，５４
は、以上に述べた問題点を解決することができる。

【００２７】さて、ウエハマガジン２５，２６の上昇に
より、載置板５３，５４の高さにウエハマガジン２５，
２６の内部空間の高さが合致したとき、載置板５３，５
４はウエハマガジン２５，２６の内部に進退自在とな
り、ここに支持されたウエハＷを抜き出したり、ウエハ
Ｗをここに差し入れたりすることが可能である。また、
ウエハマガジン２５，２６の下降により、載置板５３，
５４の高さよりも、搬送容器３１，３２の上端が低くな
ったときには、載置板５３，５４は前進により搬送容器
３１，３２の真上に位置することができる。かかる構成
の下、吸気管４２により搬送容器３１，３２から引き上
げられたウエハＷが、一旦載置板５３，５４に一時的に
載置された後、マガジン２５，２６に移送される。逆
に、マガジン２５，２６から載置板５３，５４で抜き出
されて載置板５３，５４の上に載置されたウエハＷが、
吸気管４２により引き上げられた後、搬送容器３１，３
２に収納される。

【００２８】図２に示す載置板５３，５４の待避位置に
は、オリエンテーション装置６１，６２が設けられてい
る。オリエンテーション装置６１，６２は、メインコン
トローラ２９に制御されるオリエンテーションコントロ
ーラ６３，６４にそれぞれ制御されて作動する。搬送容
器３１，３２またはウエハマガジン２５，２６から取り
出されて載置板５３，５４に載置されたウエハＷは、載
置板５３，５４が待避位置に後退すると、ウエハＷを所
定の向きにする。オリエンテーション装置６１，６２
は、具体的には、ウエハＷの配向方向を示すオリエンテ
ーションフラットまたはノッチを検出して、その検出結
果に基づいて、ウエハＷの向きを調節する公知のオリエ
ンテーションフラット合わせ装置またはノッチ合わせ装
置である。

【００２９】２．実施形態の使用態様次に、この実施形態に係る装置の各種の使用態様を説明
する。２−１．二つの搬送容器へのウエハと保護シートの収納この装置では、二つの搬送容器３１，３２のそれぞれに
ウエハＷと保護シートＳを交互に積層しながら収納する
ことができる。まず、ウエハＷを収納したウエハマガジ
ン２５，２６をマガジン取付部２１，２２にそれぞれ取
り付けて、空の搬送容器３１，３２をウエハマガジン２
５，２６の上に固定するとともに、シート載置部３５ま
たは３６に保護シートＳを積層しておく（二つの搬送容
器３１，３２の両方に収納を行うときには、いずれのシ
ート載置部３５，３６を保護シートＳの供給源としても
よい）。

【００３０】この後、水平移動装置４５により保持アー
ムユニット３８を水平移動させ、シート載置部３５また
は３６の真上の位置で吸気管４２を停止させる。次に、
左の昇降装置２７により左のマガジン２５のみを上昇さ
せ、左の載置板５３でウエハマガジン２５内の所定のウ
エハＷを受け取りやすいように、マガジン２５の高さを
最適化する。

【００３１】さらに、抜差用移動装置５５により、すで
に上昇済みの左のマガジン２５の内部に向けて、左の載
置板５３を前進させ、載置板５３の上にウエハＷを受け
取る。この後、左のマガジン２５をわずかに上昇させ、
ウエハＷが、それまで支持されていた受け棚３０から離
れるようにするとよい。

【００３２】それから、左の抜差用移動装置５５により
ウエハＷを載置した載置板５３を待避位置まで後退さ
せ、ここでオリエンテーションコントローラ６３により
オリエンテーション装置６１を駆動して、そのウエハＷ
の向きを調節する（図２参照）。そして、昇降装置２７
により左のマガジン２５を下降させ、左の搬送容器３１
の高さをシート載置部３５，３６の高さとほぼ等しくす
る（保持アームユニット３８が搬送容器３１上にある場
合に、載置板５３が搬送容器３１と吸気管４２との間に
侵入できるように、搬送容器３１の高さを載置板５３に
対して最適化する）。

【００３３】次に、上下移動装置４６により保持アーム
ユニット３８の垂直スライダ４０を下降させて吸気管４
２をシート載置部３５または３６の内部に侵入させ、そ
の内部の保護シートＳを吸気装置４４で吸気管４２に吸
着させる。図３は、この時の状態を示す。さらに垂直ス
ライダ４０を上昇させ、保護シートＳをシート載置部３
５または３６の上端よりも高く引き上げる。

【００３４】この後、図４に示すように、保持アームユ
ニット３８を左に水平移動させ、吸気管４２に吸着され
た保護シートＳを左の搬送容器３１の真上で停止させ
る。さらに、右のウエハマガジン２６を上昇させ、右の
載置板５４でウエハマガジン２６内の所定のウエハＷを
受け取りやすいように、マガジン２６の高さを最適化す
る。

【００３５】次に、図５に示すように、右の抜差用移動
装置５６により、すでに上昇済みの右のマガジン２６の
内部に向けて、右の載置板５４を前進させ、載置板５４
の上にウエハＷを受け取る。この後、マガジン２６をわ
ずかに上昇させ、ウエハＷが、それまで支持されていた
受け棚３０から離れるようにするとよい。

【００３６】さらに、垂直スライダ４０を下降させて吸
気管４２を左の搬送容器３１の内部に侵入させ、吸気装
置４４の吸気を停止して、吸気管４２から保護シートＳ
を解放することにより、保護シートＳを左の搬送容器３
１に収納する。そして、垂直スライダ４０を上昇させて
吸気管４２を搬送容器３１の上端より高い位置まで上昇
させる。

【００３７】次に、図６に示すように、左の抜差用移動
装置５５により載置板５３を前進させ、載置板５３に載
置されているウエハＷを，吸気管４２の真下、かつ搬送
容器３１の真上まで移動させる。さらに、垂直スライダ
４０を下降させて吸気管４２でウエハＷを吸着する。こ
の後には、垂直スライダ４０を再度わずかに上昇させ、
ウエハＷが、それまで載置されていた載置板５３から離
れるようにするとよい。

【００３８】さらに、右の抜差用移動装置５６によりウ
エハＷを載置した載置板５４を待避位置まで後退させ、
ここでオリエンテーションコントローラ６４によりオリ
エンテーション装置６２を駆動して、そのウエハＷの向
きを調節する（図２参照）。

【００３９】次に、図７に示すように、昇降装置２８に
より右のマガジン２６を下降させ、右の搬送容器３２の
高さをシート載置部３５，３６の高さとほぼ等しくす
る。つまり、保持アームユニット３８が搬送容器３２上
にある場合に、載置板５４が搬送容器３２と吸気管４２
との間に侵入できるように、搬送容器３２の高さを載置
板５４に対して最適化する。

【００４０】さらに、左の抜差用移動装置５５により左
の載置板５３を後退させる。この後、垂直スライダ４０
を下降させて吸気管４２を左の搬送容器３１の内部に侵
入させ、さらに吸気装置４４の吸気を停止して、吸気管
４２から保護シートＳを解放することにより、ウエハＷ
を左の搬送容器３１に収納する。さらに、垂直スライダ
４０を上昇させて吸気管４２を搬送容器３１の上端より
高い位置まで上昇させる。

【００４１】この後、保持アームユニット３８を右に水
平移動させ、シート載置部３５または３６の真上の位置
で吸気管４２を停止させる。そして図８に示すように、
保持アームユニット３８の垂直スライダ４０を下降させ
て吸気管４２をシート載置部３５または３６の内部に侵
入させ、その内部の保護シートＳを吸気管４２に吸着さ
せる。次に、垂直スライダ４０を上昇させ保護シートＳ
をシート載置部３５または３６の上端よりも高く引き上
げる。

【００４２】さらに、左のマガジン２５を上昇させ、左
の載置板５３でウエハマガジン２５内の次の所定のウエ
ハＷを受け取りやすいように、マガジン２５の高さを最
適化する。この後、図９に示すように、保持アームユニ
ット３８を右に水平移動させ、吸気管４２に吸着された
保護シートＳを右の搬送容器３２の真上で停止させる。

【００４３】次に、図１０に示すように、左の抜差用移
動装置５５により、すでに上昇済みの左のマガジン２５
の内部に向けて、左の載置板５３を前進させ、載置板５
３の上にウエハＷを受け取る。この後、マガジン２５を
わずかに上昇させ、ウエハＷが、それまで支持されてい
た受け棚３０から離れるようにするとよい。

【００４４】さらに、垂直スライダ４０を下降させて吸
気管４２を右の搬送容器３２の内部に侵入させ、吸気装
置４４の吸気を停止して、吸気管４２から保護シートＳ
を解放することにより、保護シートＳを右の搬送容器３
２に収納する。さらに、垂直スライダ４０を上昇させて
吸気管４２を搬送容器３２の上端より高い位置まで上昇
させる。

【００４５】次に、図１１に示すように、右の抜差用移
動装置５６により載置板５４を前進させ、載置板５４に
載置されているウエハＷを，吸気管４２の真下、かつ搬
送容器３２の真上まで移動させる。さらに、垂直スライ
ダ４０を下降させて吸気管４２でウエハＷを吸着する。
この後には、垂直スライダ４０を再度わずかに上昇さ
せ、ウエハＷが、それまで載置されていた載置板５４か
ら離れるようにするとよい。

【００４６】さらに、左の抜差用移動装置５５によりウ
エハＷを載置した載置板５３を待避位置まで後退させ、
ここでオリエンテーションコントローラ６３によりオリ
エンテーション装置６１を駆動して、そのウエハＷの向
きを調節する（図２参照）。

【００４７】次に、図１２に示すように、昇降装置２８
により左のマガジン２５を下降させ、左の搬送容器３１
の高さをシート載置部３５，３６の高さとほぼ等しくす
る。

【００４８】さらに、右の抜差用移動装置５６により載
置板５４を後退させる。この後、垂直スライダ４０を下
降させて吸気管４２を右の搬送容器３２の内部に侵入さ
せ、さらに吸気装置４４の吸気を停止して、吸気管４２
から保護シートＳを解放することにより、ウエハＷを右
の搬送容器３２に収納する。さらに、垂直スライダ４０
を上昇させて吸気管４２を搬送容器３２の上端より高い
位置まで上昇させる。

【００４９】この後、保持アームユニット３８を左に水
平移動させ、シート載置部３５または３６の真上の位置
で吸気管４２を停止させる。そして図３に示すように、
保持アームユニット３８の垂直スライダ４０を下降させ
て吸気管４２をシート載置部３５または３６の内部に侵
入させ、その内部の保護シートＳを吸気管４２に吸着さ
せる。次に、垂直スライダ４０を上昇させ保護シートＳ
をシート載置部３５または３６の上端よりも高く引き上
げる。

【００５０】さらに、右のマガジン２６を上昇させ、右
の載置板５４でウエハマガジン２６内の次の所定のウエ
ハＷを受け取りやすいように、マガジン２６の高さを最
適化する。この後、図４に示すように、保持アームユニ
ット３８を左に水平移動させ、吸気管４２に吸着された
保護シートＳを左の搬送容器３１の真上で停止させる。

【００５１】以後、この装置は、図面を参照しながら上
述したような動作を繰り返す。すなわち、保持アームユ
ニット３８で左の抜差装置５１の載置板５３およびシー
ト載置部３５または３６からウエハＷの一枚および保護
シートＳの一枚を左の搬送容器３１に収納する間に、右
の搬送容器３２に対応するマガジン２６を上昇させて、
右のマガジン２６の高さを右の抜差装置５２の載置板５
４の高さに対して最適化した後、マガジン２６から載置
板５４でウエハＷの一枚を抜き取り、次にマガジン２６
を下降させて、右の搬送容器３２の高さを右の抜差装置
５２の載置板５４の高さに対して最適化する。

【００５２】そして、保持アームユニット３８で右の抜
差装置５２の載置板５４およびシート載置部３５または
３６からウエハＷの一枚および保護シートＳの一枚を右
の搬送容器３２に収納する間に、左の搬送容器３１に対
応するマガジン２５を上昇させて、左のマガジン２５の
高さを左の抜差装置５１の載置板５３の高さに対して最
適化した後、上記第１のウエハマガジンから左の載置板
５３でウエハＷの一枚を抜き取り、次にマガジン２５を
下降させて、左の搬送容器３１の高さを左の抜差装置５
１の載置板５３の高さに対して最適化する。

【００５３】従って、一方の搬送容器３１または３２に
ついてのウエハＷおよび保護シートＳの収納の間に、他
の搬送容器３１または３２についてのウエハＷの収納の
準備を行うことになるため、複数の搬送容器３１，３２
に効率的に対処することが可能である。しかも、マガジ
ン２５，２６等が複数であるにもかかわらず、単一の保
持手段である保持アームユニット３８を移動装置４５，
４６で移動させることにより、複数箇所での収納を可能
としているため、単に装置を複数並べるのに比べて設置
スペースの増大を最小限にすることが可能である。上述
した二つの搬送容器３１，３２のそれぞれにウエハＷと
保護シートＳを交互に積層しながら収納する作業は、図
１３および図１４に示すフローチャートの通りである。

【００５４】なお、この実施形態では、すでに載置板５
３，５４に載置済みのウエハＷを保護シートＳに優先し
て、搬送容器３１，３２に収納するようにしているが、
この順序は逆にすることも可能である。

【００５５】２−２．二つの搬送容器からのウエハと保
護シートの分別また、この装置では、二つの搬送容器３１，３２のそれ
ぞれの内部に交互に積層されたウエハＷと保護シートＳ
を分別して、ウエハＷをマガジン２５，２６に移送し、
保護シートＳをシート載置部３５，３６に移送すること
が可能である。まず、空のウエハマガジン２５，２６を
マガジン取付部２１，２２にそれぞれ取り付けて、ウエ
ハＷと保護シートＳを収納した搬送容器３１，３２をウ
エハマガジン２５，２６の上に固定する。なお、二つの
搬送容器３１，３２の両方について分別を行うときに
は、いずれのシート載置部３５，３６を保護シートＳの
収納先としてもよい。

【００５６】この分別作業は、図１５および図１６に示
すフローチャートの通りである。この分別作業では、保
持アームユニット３８で左の搬送容器３１からウエハＷ
の一枚および保護シートＳの一枚をそれぞれ左の抜差装
置５１の載置板５３およびシート載置部３５または３６
に移送する間に、右の搬送容器３２に対応する右のマガ
ジン２６を上昇させて、右のマガジン２６の高さを右の
抜差装置５２の載置板５４の高さに対して最適化した
後、すでに右の載置板５４に位置しているウエハＷの他
の一枚を右の載置板５４で右のマガジン２６に差し込
み、次に右のマガジン２６を下降させて、右の搬送容器
３２の高さを右の抜差装置５２の載置板５４の高さに対
して最適化する。

【００５７】そして、保持アームユニット３８で右の搬
送容器３２からウエハＷの一枚および保護シートＳの一
枚をそれぞれ右の抜差装置５２の載置板５４およびシー
ト載置部３５または３６に移送する間に、左の搬送容器
３１に対応する左のマガジン２５を上昇させて、左のマ
ガジン２５の高さを左の抜差装置５１の載置板５３の高
さに対して最適化した後、すでに左の抜差装置５１の載
置板５３に位置しているウエハＷの他の一枚を左の抜差
装置５１の載置板５３で左のマガジン２５に差し込み、
次に左のマガジン２５を下降させて、左の搬送容器３１
の高さを左の抜差装置５１の載置板５３の高さに対して
最適化する。

【００５８】従って、一方の搬送容器３１または３２に
ついての分別の間に、他の搬送容器３１または３２につ
いての分別の準備を行うことになるため、複数の搬送容
器３１，３２に効率的に対処することが可能である。

【００５９】２−３．一つの搬送容器への収納および他
の搬送容器についての分別さらにこの装置では、一つの搬送容器３１または３２に
ウエハＷと保護シートＳを交互に積層しながら収納する
と同時に、他の搬送容器３１または３２の内部に交互に
積層されたウエハＷと保護シートＳを分別して、ウエハ
Ｗをマガジン２５または２６に移送し、保護シートＳを
シート載置部３５または３６に移送することが可能であ
る。

【００６０】この収納・分別作業は、図１７および図１
８に示すフローチャートの通りである。この作業では、
シート載置部３５，３６のいずれか一方を、収納作業に
供しようとする新しい（ウエハＷとの積層がされる前
の）保護シートＳの専用のシート載置部とし、他方を分
別作業で分別される使用済みの（ウエハＷと共に積層さ
れてすでに搬送容器に収納された）保護シートＳの専用
のシート載置部とするとよい。このこのように区分けす
ると、保護シートＳの混在を防止でき、例えば新しい保
護シートの汚染を防止しつつ使用済みの保護シートを廃
棄できる。

【００６１】この収納分別作業では、保持アームユニッ
ト３８で左の抜差装置５１の載置板５３およびシート載
置部３５または３６からウエハＷの一枚および保護シー
トＳの一枚を左の搬送容器３１に収納する間に、搬送容
器３２に対応するマガジン２６を上昇させて、マガジン
２６の高さを右の抜差装置５２の載置板５４の高さに対
して最適化した後、すでに右の抜差装置５２の載置板５
４に位置しているウエハＷの他の一枚を右の抜差装置５
２の載置板５４でマガジン２６に差し込み、次にマガジ
ン２６を下降させて、搬送容器３２の高さを右の抜差装
置５２の載置板５４の高さに対して最適化する。

【００６２】そして、保持アームユニット３８で搬送容
器３２からウエハＷの一枚および保護シートＳの一枚を
それぞれ右の抜差装置５２の載置板５４およびシート載
置部３５または３６に移送する間に、左の搬送容器３１
に対応する左のマガジン２５を上昇させて、左のマガジ
ン２５の高さを左の抜差装置５１の載置板５３の高さに
対して最適化した後、左のマガジン２５から左の抜差装
置５１の載置板５３でウエハＷの一枚を抜き取り、次に
左のマガジン２５を下降させて、左の搬送容器３１の高
さを左の抜差装置５１の載置板５３の高さに対して最適
化する。

【００６３】つまり、左の搬送容器３１についての収納
の間に、右の搬送容器３２についての分別の準備を行
い、右の搬送容器３２についての分別の間に、左の搬送
容器３１についての収納の準備を行うことになるため、
複数の搬送容器３５，３６に対する収納・分別作業を効
率的にすることが可能である。

【００６４】なお、これらの図では、左の搬送容器３１
へ収納し、右の搬送容器３２から分別する作業を例示す
るが、逆の作業も可能であり、逆の作業は、図中の左右
の表示を読み替えた通りになる。

【００６５】２−４．一つの搬送容器へのウエハと保護
シートの収納この装置では、一つの搬送容器３１または３２にウエハ
Ｗと保護シートＳを交互に積層しながら収納することも
できる。この収納作業は、図１９に示すフローチャート
の通りである。なお図１９では、左の搬送容器３１への
収納作業を例示するが、右の搬送容器３２への収納作業
は、図１９中の左右の表示を読み替えた通りになる。

【００６６】２−５．一つの搬送容器からのウエハと保
護シートの分別この装置では、一つの搬送容器３１または３２内に交互
に積層されたウエハＷと保護シートＳを分別することも
できる。この分別作業は、図２０に示すフローチャート
の通りである。なお図２０では、左の搬送容器３１から
の分別作業を例示するが、右の搬送容器３２からの分別
作業は、図２０中の左右の表示を読み替えた通りにな
る。

【００６７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
設置スペースの増大を最小限にしつつ、複数の搬送容器
に対する収納作業や分別作業を効率的に行うことが可能
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る半導体ウエハおよ
び保護シートの収納・分別装置を示す正面図である。

【図２】図１に示す装置の平面図である。

【図３】図１に示す装置による収納作業の一段階を示
す斜視図である。

【図４】図３に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図５】図４に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図６】図５に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図７】図６に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図８】図７に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図９】図８に続く収納作業の一段階を示す斜視図で
ある。

【図１０】図９に続く収納作業の一段階を示す斜視図
である。

【図１１】図１０に続く収納作業の一段階を示す斜視
図である。

【図１２】図１１に続く収納作業の一段階を示す斜視
図である。

【図１３】図１に示す装置による二つの搬送容器に対
する収納作業を示すフローチャートの一部である。

【図１４】図１３を補完して上記フローチャートをな
す図である。

【図１５】図１に示す装置による二つの搬送容器に対
する分別作業を示すフローチャートの一部である。

【図１６】図１５を補完して上記フローチャートをな
す図である。

【図１７】図１に示す装置による二つの搬送容器に対
する収納・分別作業を示すフローチャートの一部であ
る。

【図１８】図１７を補完して上記フローチャートをな
す図である。

【図１９】図１に示す装置による一つの搬送容器に対
する収納作業を示すフローチャートである。

【図２０】図１に示す装置による一つの搬送容器に対
する分別作業を示すフローチャートである。

【符号の説明】

２０…キャビネット、２１，２２…マガジン取付部、２
５，２６…ウエハマガジン、２７，２８…昇降装置、２
９…メインコントローラ、３１，３２…搬送容器、３
５，３６…シート載置部、３８…保持アームユニット、
４４…吸気装置、４５…水平移動装置、４６…上下移動
装置、５１，５２…抜差装置、５３，５４…載置板、５
３ａ，５４ａ…基端部、５３ｂ，５４ｂ…先端部、５３
ｃ，５４ｃ…開口部、５５，５６…抜差用移動装置、Ｓ
…保護シート、Ｗ…半導体ウエハ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
複数の搬送容器が、それぞれ積載される複数の積載部
と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な複数のウエハマガジンが、それぞれ取り付け
られる複数のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、対応する上記ウエハマガジンに対して進退自在であっ
て、上記ウエハマガジンに対して上記半導体ウエハを抜
取および差込可能な複数の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段と、上記搬送容器、上記抜差手段および上記シート載置部に
向けて上記保持手段を移動させる移動手段と、上記移動手段を駆動して上記保持手段で上記搬送容器の
一つに対する上記半導体ウエハおよび上記保護シートの
収納または分別を行わせる間に、他の上記搬送容器に対
応する上記ウエハマガジンに対応する上記抜差手段を駆
動して、このウエハマガジンに対する上記半導体ウエハ
の抜取または差込を行わせる制御手段とを備えることを
特徴とする半導体ウエハと保護シートの収納・分別装
置。
【請求項２】上記シート載置部が二つ以上、設けられ
ていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】上記ウエハマガジンをそれぞれ昇降させ
る複数の昇降手段をさらに備え、上記昇降手段により高さが調節された上記ウエハマガジ
ンに対して、上記抜差手段は水平に移動しながら上記半
導体ウエハを抜取および差込するようにされており、上記移動手段を駆動して上記保持手段で上記搬送容器の
一つに対する上記半導体ウエハおよび上記保護シートの
収納または分別を行わせる間に、他の上記搬送容器に対
応する上記ウエハマガジンに対応する上記昇降手段を、
上記制御装置が駆動して、このウエハマガジンの高さ
を、対応する上記抜差手段の高さに対して最適化するこ
とを特徴とする請求項１または２に記載の装置。
【請求項４】上記積載部が上記ウエハマガジンの上方
にそれぞれ配置されており、上記積載部が上記ウエハマ
ガジンに垂直方向に重ねられているとともに、対応する
上記昇降手段により上記積載部が上記ウエハマガジンと
ともに昇降可能にされていることを特徴とする請求項３
に記載の装置。
【請求項５】上記抜差手段は、上記半導体ウエハが載
置されるほぼ水平な平面状の載置部と、上記載置部を支
持してこれをほぼ水平に移動させる抜差用移動手段とを
備えており、上記載置部は、上記抜差用移動手段側にあ
る基端部と、上記基端部より幅が狭く上記ウエハマガジ
ン側にある先端部とを有しており、上記基端部には開口
部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし４
のいずれかに記載の装置。
【請求項６】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第１
および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、対応する上記第１および第２のウエハマガジンに対して
進退自在であって、上記第１または第２のウエハマガジ
ンに対して上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第
１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを各上記搬
送容器に交互に積層しながら上記第１および第２の搬送
容器に収納する方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上
記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジン
から上記第２の抜差手段で上記半導体ウエハの他の一枚
を抜き取る過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第２の搬送容器に収納する間に、上
記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハマガジン
から上記第１の抜差手段で上記半導体ウエハの他の一枚
を抜き取る過程とを繰り返すことを特徴とする半導体ウ
エハおよび保護シートの収納方法。
【請求項７】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第１
および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上記第１および第２
のウエハマガジンに対して進退自在であって、上記第１
または第２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハ
を抜取および差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを各上記搬
送容器に交互に積層しながら上記第１および第２の搬送
容器に収納する方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上
記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジン
を昇降させて、上記第２のウエハマガジンの高さを上記
第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、上記第２
のウエハマガジンから上記第２の抜差手段で上記半導体
ウエハの他の一枚を抜き取る過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第２の搬送容器に収納する間に、上
記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハマガジン
を昇降させて、上記第１のウエハマガジンの高さを上記
第１の抜差手段の高さに対して最適化した後、上記第１
のウエハマガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体
ウエハの他の一枚を抜き取る過程とを繰り返すことを特
徴とする半導体ウエハおよび保護シートの収納方法。
【請求項８】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第１
および第２の積載部と、上記第１および第２の積載部のそれぞれの下方に配置さ
れて、対応する上記第１または第２の積載部に垂直方向
に重なっており、対応する上記第１または第２の積載部
と一体的に垂直方向に移動可能にされており、複数枚の
上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに収納可能
な第１および第２のウエハマガジンが、それぞれ取り付
けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上記第１および第２
のウエハマガジンに対して進退自在であって、上記第１
または第２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハ
を抜取および差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを各上記搬
送容器に交互に積層しながら上記第１および第２の搬送
容器に収納する方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上
記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジン
を上昇させて、上記第２のウエハマガジンの高さを上記
第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、上記第２
のウエハマガジンから上記第２の抜差手段で上記半導体
ウエハの一枚を抜き取り、次に上記第２のウエハマガジ
ンを下降させて、上記第２の搬送容器の高さを上記第２
の抜差手段の高さに対して最適化する過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第２の搬送容器に収納する間に、上
記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハマガジン
を上昇させて、上記第１のウエハマガジンの高さを上記
第１の抜差手段の高さに対して最適化した後、上記第１
のウエハマガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体
ウエハの一枚を抜き取り、次に上記第１のウエハマガジ
ンを下降させて、上記第１の搬送容器の高さを上記第１
の抜差手段の高さに対して最適化する過程とを繰り返す
ことを特徴とする半導体ウエハおよび保護シートの収納
方法。
【請求項９】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護シ
ートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能な
第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第１
および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、対応する上記第１および第２のウエハ
マガジンに対して進退自在であって、上記第１または第
２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハを抜取お
よび差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記各搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上
記ウエハマガジンに移送し、上記各搬送容器から上記保
護シートを上記シート載置部に移送する、半導体ウエハ
および保護シートの分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第１の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、すでに上記第２の抜差手段に位置している上記半
導体ウエハの他の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２
のウエハマガジンに差し込む過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、すでに上記第１の抜差手段に位置している上記半
導体ウエハの他の一枚を上記第１の抜差手段で上記第１
のウエハマガジンに差し込む過程とを繰り返すことを特
徴とする半導体ウエハおよび保護シートの分別方法。
【請求項１０】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上記第１および第２
のウエハマガジンに対して進退自在であって、上記第１
または第２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハ
を抜取および差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記各搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上
記ウエハマガジンに移送し、上記各搬送容器から上記保
護シートを上記シート載置部に移送する、半導体ウエハ
および保護シートの分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第１の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハ
マガジンを昇降させて、上記第２のウエハマガジンの高
さを上記第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、
すでに上記第２の抜差手段に位置している上記半導体ウ
エハの他の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２のウエ
ハマガジンに差し込む過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハ
マガジンを昇降させて、上記第１のウエハマガジンの高
さを上記第１の抜差手段の高さに対して最適化した後、
すでに上記第１の抜差手段に位置している上記半導体ウ
エハの他の一枚を上記第１の抜差手段で上記第１のウエ
ハマガジンに差し込む過程とを繰り返すことを特徴とす
る半導体ウエハおよび保護シートの分別方法。
【請求項１１】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、上記第１および第２の積載部のそれぞれの下方に配置さ
れて、対応する上記第１または第２の積載部に垂直方向
に重なっており、対応する上記第１または第２の積載部
と一体的に垂直方向に移動可能にされており、複数枚の
上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに収納可能
な第１および第２のウエハマガジンが、それぞれ取り付
けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上記第１および第２
のウエハマガジンに対して進退自在であって、上記第１
または第２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハ
を抜取および差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記各搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上
記ウエハマガジンに移送し、上記各搬送容器から上記保
護シートを上記シート載置部に移送する、半導体ウエハ
および保護シートの分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第１の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハ
マガジンを上昇させて、上記第２のウエハマガジンの高
さを上記第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、
すでに上記第２の抜差手段に位置している上記半導体ウ
エハの他の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２のウエ
ハマガジンに差し込み、次に上記第２のウエハマガジン
を下降させて、上記第２の搬送容器の高さを上記第２の
抜差手段の高さに対して最適化する過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハ
マガジンを上昇させて、上記第１のウエハマガジンの高
さを上記第１の抜差手段の高さに対して最適化した後、
すでに上記第１の抜差手段に位置している上記半導体ウ
エハの他の一枚を上記第１の抜差手段で上記第１のウエ
ハマガジンに差し込み、次に上記第１のウエハマガジン
を下降させて、上記第１の搬送容器の高さを上記第１の
抜差手段の高さに対して最適化する過程とを繰り返すこ
とを特徴とする半導体ウエハおよび保護シートの分別方
法。
【請求項１２】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、対応する上記第１および第２のウエハマガジンに対して
進退自在であって、上記第１または第２のウエハマガジ
ンに対して上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第
１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記第１のウエハマガジンおよび上記シート載置部
から上記半導体ウエハおよび上記保護シートを交互に積
層しながら上記第１の搬送容器に収納すると同時に、上
記第２の搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上記
第２のウエハマガジンに移送し、上記第２の搬送容器か
ら上記保護シートを上記シート載置部に移送する、半導
体ウエハおよび保護シートの収納・分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、す
でに上記第２の抜差手段に位置している上記半導体ウエ
ハの他の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２のウエハ
マガジンに差し込む過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハ
マガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体ウエハの
他の一枚を抜き取る過程とを繰り返すことを特徴とする
半導体ウエハおよび保護シートの収納・分別方法。
【請求項１３】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、複数枚の上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに
収納可能な第１および第２のウエハマガジンが、それぞ
れ取り付けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上
記第１および第２のウエハマガジンに対して進退自在で
あって、上記第１または第２のウエハマガジンに対して
上記半導体ウエハを抜取および差込可能な第１および第
２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記第１のウエハマガジンおよび上記シート載置部
から上記半導体ウエハおよび上記保護シートを交互に積
層しながら上記第１の搬送容器に収納すると同時に、上
記第２の搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上記
第２のウエハマガジンに移送し、上記第２の搬送容器か
ら上記保護シートを上記シート載置部に移送する、半導
体ウエハおよび保護シートの収納・分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上
記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジン
を昇降させて、上記第２のウエハマガジンの高さを上記
第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、すでに上
記第２の抜差手段に位置している上記半導体ウエハの他
の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２のウエハマガジ
ンに差し込む過程と、 (b) 上記保持手段で上記第２の搬送容器から上記半導
体ウエハの一枚および上記保護シートの一枚をそれぞれ
上記第２の抜差手段および上記シート載置部に移送する
間に、上記第１の搬送容器に対応する上記第１のウエハ
マガジンを昇降させて、上記第１のウエハマガジンの高
さを上記第１の抜差手段の高さに対して最適化した後、
上記第１のウエハマガジンから上記第１の抜差手段で上
記半導体ウエハの他の一枚を抜き取る過程とを繰り返す
ことを特徴とする半導体ウエハおよび保護シートの収納
・分別方法。
【請求項１４】複数枚の半導体ウエハと複数枚の保護
シートとが交互に積層された状態でそれぞれに収納可能
な第１および第２の搬送容器が、それぞれ積載される第
１および第２の積載部と、上記第１および第２の積載部のそれぞれの下方に配置さ
れて、対応する上記第１または第２の積載部に垂直方向
に重なっており、対応する上記第１または第２の積載部
と一体的に垂直方向に移動可能にされており、複数枚の
上記半導体ウエハが多段にわたってそれぞれに収納可能
な第１および第２のウエハマガジンが、それぞれ取り付
けられる第１および第２のマガジン取付部と、複数枚の上記保護シートが積層される少なくとも一つの
シート載置部と、水平に移動することにより対応する上記第１および第２
のウエハマガジンに対して進退自在であって、上記第１
または第２のウエハマガジンに対して上記半導体ウエハ
を抜取および差込可能な第１および第２の抜差手段と、上記半導体ウエハおよび上記保護シートを一枚ずつ保持
および解放可能な単一の保持手段とを備える装置を用い
て、上記第１のウエハマガジンおよび上記シート載置部
から上記半導体ウエハおよび上記保護シートを交互に積
層しながら上記第１の搬送容器に収納すると同時に、上
記第２の搬送容器から上記半導体ウエハを対応する上記
第２のウエハマガジンに移送し、上記第２の搬送容器か
ら上記保護シートを上記シート載置部に移送する、半導
体ウエハおよび保護シートの収納・分別方法であって、 (a) 上記保持手段で上記第１の抜差手段および上記シ
ート載置部から上記半導体ウエハの一枚および上記保護
シートの一枚を上記第１の搬送容器に収納する間に、上
記第２の搬送容器に対応する上記第２のウエハマガジン
を上昇させて、上記第２のウエハマガジンの高さを上記
第２の抜差手段の高さに対して最適化した後、すでに上
記第２の抜差手段に位置している上記半導体ウエハの他
の一枚を上記第２の抜差手段で上記第２のウエハマガジ
ンに差し込み、次に上記第２のウエハマガジンを下降さ
せて、上記第２の搬送容器の高さを上記第２の抜差手段
の高さに対して最適化する過程と、(b) 上記保持手段
で上記第２の搬送容器から上記半導体ウエハの一枚およ
び上記保護シートの一枚をそれぞれ上記第２の抜差手段
および上記シート載置部に移送する間に、上記第１の搬
送容器に対応する上記第１のウエハマガジンを上昇させ
て、上記第１のウエハマガジンの高さを上記第１の抜差
手段の高さに対して最適化した後、上記第１のウエハマ
ガジンから上記第１の抜差手段で上記半導体ウエハの一
枚を抜き取り、次に上記第１のウエハマガジンを下降さ
せて、上記第１の搬送容器の高さを上記第１の抜差手段
の高さに対して最適化する過程とを繰り返すことを特徴
とする半導体ウエハおよび保護シートの収納・分別方
法。