JP2006173510A - ロードポート装置、及びそのマッピング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ロードポート装置Pを構成するロードポートフレーム1の正面部に、蓋体着脱装置Aと、該蓋体着脱装置Aを昇降させるための第1昇降装置U1 と、マッピング装置Bを片持ち状態で支持したマッピングフレーム43とを配設すると共に、前記ロードポートフレーム1の背面部に、前記マッピング装置Bを昇降させるための第2昇降装置U2 を配設して、両装置A,Bが第1及び第2の各昇降装置U1,U2 によりそれぞれ独立して昇降されるように構成し、前記蓋体着脱装置Aをエアシリンダ9,11で昇降させると共に、前記マッピング装置Bをステッピングモータ38で昇降させる。
【選択図】図2
Description
B:マッピング装置
F:処理装置
K,K’:キャリアカセット
P:ロードポート装置
T:カセットテーブル
U1 :第1昇降装置(蓋体着脱装置の昇降機構)
U2 :第2昇降装置(マッピング装置の昇降機構)
W:基板
9,11:エアシリンダ(シリンダ)
38:ステッピングモータ(制御モータ)
43:マッピングフレーム(支持部材)
47:エアシリンダ(アームの駆動源)
48,49:アーム
51:発光素子(基板検出センサ)
52:受光素子(基板検出センサ)
71,71’:蓋体
72:開口
Claims (4)
- キャリアカセットを載置するために、基板の処理装置のフレームの外側に水平に設けられたカセットテーブルと、
前記カセットテーブルに載置されたキャリアカセットの開口に対して蓋体を着脱するために、前記処理装置のフレームの内側に昇降可能に配設された蓋体着脱装置と、
キャリアカセットの開口に臨む基板群に対して退避可能に配置された基板検出センサが、前記蓋体着脱装置の昇降機構と別体にして設けられた昇降機構により昇降して、前記キャリアカセットの各段における基板の存否等を検出するためのマッピング装置とを備えたロードポート装置であって、
前記蓋体着脱装置は、シリンダを含む簡略な昇降機構によって昇降されると共に、前記マッピング装置は、制御モータを含む昇降機構によって高精度で昇降されることを特徴とするロードポート装置。 - 前記マッピング装置は、支持部材に対して片持ち状態で支持されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置のマッピング装置。
- 前記マッピング装置は、先端部に各基板検出センサが取付けられた一対のアームが、それらの基端部を中心として水平面内で互いに反対方向に回動される構成であって、
基板の存否等の検出時には、前記各基板検出センサのみがキャリアカセット内に進入されるように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート装置のマッピング装置。 - 前記一対のアームは、単一の駆動源により、同時に回動されるように構成されていることを特徴とする請求項3に記載のロードポート装置のマッピング装置。
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