JP2003124282A - 基板搬入出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 センサによる基板の検出精度の向上、装置の
小型軽量化を図る。 【解決手段】 複数枚の基板を上下方向に間隔をあけて
水平に収容する容器と、基板を処理する基板処理装置と
の間で基板を受け渡すための基板搬入出装置１であっ
て、容器を載置する載置台８と、載置台側Ａと基板処理
装置側Ｂとを区画する隔壁Ｃを貫通する通過口４と、通
過口４を開閉する遮蔽板５と、遮蔽板５を上下方向に移
動させる遮蔽板昇降機構６と、通過口４に対して上下方
向に移動させられて、載置台８に載置された容器内部に
収容されている基板９の有無を検出する基板検出部１０
と、基板検出部１０を上下方向に移動させる検出部昇降
機構１１とを備え、検出部昇降機構１１が、遮蔽板昇降
機構６とは別個に設けられている基板搬入出装置１を提
供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば、半導体
ウエハ等の基板を受け渡しするためのロードポートと呼
ばれる基板搬入出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスの処理工程においては、
回路誤動作の原因となる微粒子（パーティクル）がウエ
ハ表面に付着することを防止する必要があるため、従来
より、内部を高い清浄度に維持したクリーンルームを使
用して、半導体デバイスの処理が行われている。

【０００３】また、大型のクリーンルームでは、クリー
ンルーム全体の清浄度を低く保持することが困難である
とともに、その建設コストや稼働コストが高くつくた
め、ウエハの存在する必要最小限の空間内部のみを局所
的に高い清浄度に保持するミニエンバイロメント方式が
採用される。このミニエンバイロメント方式では、処理
装置内部を高い清浄度に保持するとともに、処理装置間
の搬送中にウエハの周囲を高い清浄度に保持する密閉式
の容器が利用される。この密閉式の容器は、一側面に開
口する開口部と、該開口部を気密状態に閉塞する蓋とを
有し、ＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)カセット
と呼ばれている。そして、ＦＯＵＰカセットの蓋はロッ
ク機構によってロックされ、搬送中に開かないようにな
っている。

【０００４】ＦＯＵＰカセットの内部の両側壁には、開
口部から奥部に向かって水平方向に延びる溝が、鉛直方
向に等間隔をおいて複数設けられている。両側壁の溝
は、水平方向に対向する位置に配置されていて、円板状
のウエハの直径方向の両端縁を該溝内に配置することに
より、各ウエハを水平状態に保持するとともに、ウエハ
相互間に平行な間隔を形成するようになっている。

【０００５】また、ＦＯＵＰカセットから各処理装置へ
のウエハの受け渡しは、高い清浄度に維持された処理装
置側の空間と、それよりも低い清浄度の搬送装置側の空
間とを区画する壁に設けられたロードポートと呼ばれる
基板搬入出装置を介して行われる。基板搬入出装置は、
例えば、特開２００１−７７１７７号公報に開示されて
いるように、搬送装置からＦＯＵＰカセットを受け取る
載置台と、該載置台に載せられたＦＯＵＰカセット内部
からウエハを取り出して処理室内に搬入するための通過
口と、該貫通孔を開閉するシャッターと、該シャッター
に備えられ、ＦＯＵＰカセットのロック機構を解除して
蓋を開閉する開閉装置とを有している。

【０００６】ウエハを収容したＦＯＵＰカセットが載置
台に搭載されると、該載置台がシャッター側に移動して
シャッターに密着させられる。このとき、開閉装置の有
する鍵が、ＦＯＵＰカセットの蓋に設けられた鍵穴内に
挿入され、開閉装置が作動させられることにより、ロッ
ク機構が解除されるようになっている。そして、シャッ
ターに密着させられたＦＯＵＰカセットの蓋が、シャッ
ターとともに処理装置内の下方に移動させられることに
よって開かれることになる。

【０００７】この状態で、ＦＯＵＰカセット内部は、搬
送装置側の空間に対して密封され、かつ、処理装置側の
空間に対して開かれるようになっている。これにより、
処理装置側からＦＯＵＰカセット内部のウエハを取り出
すことができる。ＦＯＵＰカセットから取り出されたウ
エハは、処理装置内において所定の処理を施された後
に、再び、ＦＯＵＰカセット内に収容される。そして、
全てのウエハに対して処理が施された後に、ＦＯＵＰカ
セットが再度密封されて搬送装置により次工程へ搬送さ
れる。

【０００８】ここで、ＦＯＵＰカセット内からのウエハ
の取り出し、および、ＦＯＵＰカセット内の空いた溝へ
のウエハの収納のいずれの場合においても、処理装置側
に配置されたマニピュレータは、ＦＯＵＰカセット内の
どの溝にウエハが存在しているのかについての情報を正
確に把握している必要がある。

【０００９】従来、ＦＯＵＰカセット内の各位置におけ
るウエハの収納状態を把握するために、例えば、特開平
１１−１４５２４４号公報および米国特許第６１８８３
２３号明細書に開示されているような方法が採用されて
いる。この方法は、昇降させられるシャッターの上端に
センサを取り付けておき、該センサをＦＯＵＰカセット
の蓋を開くときに作動させるものである。これにより、
蓋とともにシャッターを下降させるにつれて、シャッタ
ーの位置情報とセンサからの検出信号とから、ＦＯＵＰ
カセット内部のウエハの収納状態が上から順に検出され
ていくようになっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の方法では、以下の不都合がある。第１に、従来
の方法では、シャッターの下降動作を利用して、センサ
によるウエハの検出作業を行うことにしているため、例
えば、検出エラー等の不具合が発生して再度の検出作業
を行わなければならない場合においても、常にシャッタ
ーとともにセンサを移動させなければならないという不
都合がある。

【００１１】上述したように、シャッターにはＦＯＵＰ
カセットの開口部を密封するための蓋が結合されている
とともに、該蓋のロック機構をロックしまたは解除する
ための開閉装置が備えられている。したがって、軽量の
センサを移動させるだけのために、シャッター、蓋、ロ
ック機構、開閉装置等の重量物を昇降させなければなら
ない。このため、大きな駆動力を発生する大型のサーボ
モータを使用しなければならないという不都合があっ
た。大型のサーボモータの使用は、装置を大型化させ、
製品コストを増大させてしまう他、消費電力の増大、発
熱の増大等、種々の不利益を伴うことになる。

【００１２】元来、シャッターは、センサを搭載してい
ないのであれば、ＦＯＵＰカセットを連結する閉鎖状態
において精度よく位置決めされていれば足り、シャッタ
ーの開閉移動中の全ての位置において正確な位置制御を
行うサーボモータや、正確な位置検出を行うエンコーダ
は不要である。また、重量物を移動させる場合には、そ
の慣性のために急な加減速が困難となり、該重量物とと
もに移動させられるセンサの迅速かつ正確な位置検出が
困難になるという不都合がある。

【００１３】第２に、従来の方法では、シャッターの昇
降ストロークが長くなるという不都合がある。すなわ
ち、シャッターの上にセンサを搭載する従来の方法で
は、センサによるウエハの検出は、シャッターとともに
蓋が下降させられて、センサが最上位のウエハに達した
ときに開始され、最下位のウエハに達したときに終了す
る。したがって、シャッターは、ＦＯＵＰカセットの蓋
に連結される閉鎖位置から、搬入出装置の開口部が完全
に開かれる開放位置まで移動されただけでは足りず、さ
らに、センサが最下位のウエハに到達するまで下降させ
られなければならない。すなわち、センサを搭載したた
めに、シャッターの昇降ストロークが長くなってしま
う。

【００１４】シャッターの昇降ストロークが長くなる
と、シャッターを昇降させるためのボールネジやリニア
ガイド等の長さを長くしなければならないとともに、装
置全体の長さを長くしなければならないという不都合が
ある。

【００１５】この発明は上述した事情に鑑みてなされた
ものであって、センサによる基板の検出精度の向上、装
置の小型軽量化を図ることができる基板搬入出装置を提
供することを目的としている。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は、以下の手段を提案している。請求項１
に係る発明は、複数枚の基板を上下方向に間隔をあけて
水平に収容する容器と、基板を処理する基板処理装置と
の間で基板を受け渡すための基板搬入出装置であって、
容器を載置する載置台と、該載置台側と前記基板処理装
置側とを区画する隔壁を貫通する通過口と、該通過口を
開閉する遮蔽板と、該遮蔽板を上下方向に移動させる遮
蔽板昇降機構と、通過口に対して上下方向に移動させら
れて、載置台に載置された容器内部に収容されている基
板の有無を検出する基板検出部と、該基板検出部を上下
方向に移動させる検出部昇降機構を備え、該検出部昇降
機構が、前記遮蔽板昇降機構とは別個に設けられている
基板搬入出装置を提案している。

【００１７】この発明によれば、載置台に容器が載置さ
れると遮蔽板昇降機構が作動させられて遮蔽板が移動さ
せられ、通過口を開放する。これにより、基板処理装置
側の空間から容器内部へのアクセスが可能となる。ま
た、検出部昇降機構を作動させることにより、基板検出
部を昇降させ、開放された通過口を通して、容器内部に
収容されている基板の収容状態が検出される。

【００１８】この場合において、この発明では、遮蔽板
昇降機構と検出部昇降機構とを別個に設けているので、
基板検出部による容器内部の基板の検出を、遮蔽板の昇
降とは切り離して行うことができる。その結果、基板検
出部を慣性による影響を殆ど受けることなく、迅速かつ
高い精度で移動させることが可能となる。また、検出エ
ラーの発生による再検出の際においても、遮蔽板を昇降
することなく基板検出部のみを昇降させることができ
る。その結果、軽量の基板検出部のみを移動させれば足
りる。

【００１９】その一方で、重量の重い遮蔽板をその昇降
ストロークの全長にわたって高い精度で移動させる必要
がなくなったので、より簡易な駆動源を使用することが
可能となり、動力の低減、製品コストの低減等を図るこ
とができる。また、遮蔽板は、隔壁の通過口を開閉する
ために必要最小限の昇降ストロークだけ昇降すれば足り
るので、従来よりも昇降ストロークを低減して、装置の
コンパクト化を図ることが可能となる。

【００２０】請求項２に係る発明は、請求項１記載の発
明において、前記遮蔽板昇降機構が、シリンダにより駆
動される基板搬入出装置を提案している。この発明によ
れば、遮蔽板はシリンダにより昇降され、そのストロー
クエンドにおいて精度よく位置決めされる。すなわち、
シリンダはそのストロークの中途においては、遮蔽板を
精度よく位置決めすることはできないが、ストロークエ
ンドにおいては、簡易かつ高精度に位置決めすることが
可能である。そして、検出部昇降機構を遮蔽板昇降機構
から切り離したことにより、遮蔽板は、隔壁の通過口を
開閉するだけでよいので、中途位置における精度は要求
されない。したがって、大型のサーボモータを使用する
必要がなくなり、コスト削減、装置のコンパクト化を図
ることが可能となる。

【００２１】請求項３に係る発明は、請求項１または請
求項２記載の発明において、前記検出部昇降機構が、ス
テッピングモータにより駆動される基板搬入出装置を提
案している。この発明によれば、検出部昇降機構を遮蔽
板昇降機構から切り離したので、検出部昇降機構が大重
量の遮蔽板等を昇降させる必要がなくなる。そこで、比
較的軽量の検出部のみを昇降させる比較的小さいトルク
を発生するステッピングモータを検出部昇降機構として
使用することにより、装置の小型軽量化、製品コスト、
運転コストの低減を図ることが可能となる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態に係る
基板搬入出装置について、図１〜図６を参照して説明す
る。本実施形態に係る基板搬入出装置１は、図１〜図３
に示されているように、搬送装置側Ａと処理装置側Ｂと
を区画する隔壁Ｃに形成された貫通孔２を閉塞するよう
に取り付けられる装置本体プレート３と、該装置本体プ
レート３に形成された搬送装置側Ａと処理装置側Ｂとを
連絡する通過口４を開閉するためのシャッター（遮蔽
板）５、該シャッター５を昇降させるシャッター昇降機
構（遮蔽板昇降機構）６と、装置本体プレート３の搬送
装置側Ａに配置され搬送されてきたＦＯＵＰカセット７
（容器：図４参照）を載置する載置台８と、ＦＯＵＰカ
セット７内部のウエハ９（基板：図６参照）の収納状態
を検出するウエハ検出部１０と、該ウエハ検出部１０を
昇降させる検出部昇降機構１１とを備えている。

【００２３】前記シャッター５には、図３に示されるよ
うに、従来と同様にＦＯＵＰカセット７の蓋１２に備え
られたロック機構（図示略）の状態を切り換える開閉装
置１３と、ＦＯＵＰカセット７の蓋１２を吸着する吸着
パッド１４とが備えられている。また、前記シャッター
５は、図１に示されるように、前記装置本体プレート３
の処理装置側Ｂの表面に沿って昇降させられるブラケッ
ト１５上に水平移動機構１６によって支持されている。

【００２４】水平移動機構１６は、例えば、装置本体プ
レート３に対して近接、離間する方向に配されるリニア
ガイド１７と、該リニアガイド１７に沿って水平移動可
能に支持された第１のスライダ１８と、該第１のスライ
ダ１８を水平方向に移動させる駆動手段１９とから構成
されている。該駆動手段１９は、例えば、モータ２０と
所定のカム機構（図示略）とを備えたものである。後述
するシャッター昇降機構６の作動により、シャッター５
が通過口４に一致する上下方向位置に位置決めされた状
態で、水平移動機構１６を作動させることにより、シャ
ッター５を通過口４に嵌合させて該通過口４を閉鎖する
ことができるようになっている。

【００２５】前記シャッター昇降機構６は、図１および
図２に示されているように、前記装置本体プレート３の
処理装置側Ｂに配置されたシリンダ２１と、搬送装置側
Ａに配置されたリニアガイド２２とを備えている。該シ
リンダ２１は、前記ブラケット１５と前記装置本体プレ
ート３との間に配置され、上下方向にロッド２１ａ，２
１ｂを伸縮させるようになっている。前記リニアガイド
２２は、装置本体プレート３の搬送装置側Ａの表面に上
下方向に沿って配置されており、該リニアガイド２２に
沿って上下方向に移動可能な第２のスライダ２３を備え
ている。

【００２６】前記装置本体プレート３には、幅方向の略
中央部を厚さ方向に貫通する第１のスリット２４が上下
方向に沿って設けられ、前記処理装置側Ｂに配置されて
いるブラケット１５が、図２に示す貫通部１５ａによっ
て、前記第１のスリット２４を貫通して搬送装置側Ａに
延びている。第１のスリット２４を貫通して搬送装置側
Ａに突出したブラケット１５の貫通部１５ａは、前記第
２のスライダ２３に固定されている。これにより、シャ
ッター５はリニアガイド２２によって昇降動作を支持さ
れるようになっている。

【００２７】前記シリンダ２１は、例えば、図１および
図５に示されるように、直動式の２つのエアシリンダ２
５，２６を重ね、一方のシリンダ２６のロッド２１ｂを
装置本体プレート３に固定し、他方のシリンダ２５のロ
ッド２１ａをブラケット１５に固定したものである。シ
リンダ２６は装置本体プレート３に取り付けられたリニ
アガイド２７によって上下方向に移動するように支持さ
れている。このように構成することで、シリンダ２１の
設置スペースと、ブラケット１５のストローク長さとを
確保している。

【００２８】前記載置台８は、図示しない搬送装置によ
り搬送されてきたＦＯＵＰカセット７を載せる第３のス
ライダ２８を備えている。該第３のスライダ２８上に
は、図３に示すように、ＦＯＵＰカセット７との間の位
置決めを行う位置決めピン２９が設けられている。ま
た、第３のスライダ２８は、図示しない水平移動機構に
よって、シャッター４に向かって（図３の矢印Ｙ方向
に）前後進させられるようになっている。

【００２９】前記ウエハ検出部１０は、例えば、図６に
示されるように、後述するブラケット３０の上端部に取
り付けられており、発光部と受光部とからなる一対のセ
ンサ３１，３２と、これらのセンサ３１，３２をＦＯＵ
Ｐカセット７内のウエハ９の端縁近傍に配置するセンサ
配置手段３３とを備えている。センサ配置手段３３は、
２本の鉛直軸回りに揺動可能に支持された２本のアーム
３６，３７と、これらのアームを揺動させる駆動手段
（図示略）とを備えている。前記アーム３６，３７の先
端には、前記センサ３１，３２がそれぞれ固定されてい
る。

【００３０】センサ３１，３２を作動させないときに
は、駆動手段の作動により、２本のアーム３６，３７
が、図６に鎖線で示すように、ブラケット３０の上端に
収納状態に配置されるようになっている。また、センサ
３１，３２の作動に際して駆動手段を作動させると、ア
ーム３６，３７が揺動させられるようになっている。

【００３１】揺動させられたアーム３６，３７は、相互
に所定角度をあけた、図６に実線で示す位置に配置さ
れ、この状態で、アーム３６，３７の先端に取り付けら
れているセンサ３１，３２が相互に対向して配置される
とともに、両センサ３１，３２の間に、ＦＯＵＰカセッ
ト７内に収容されているウエハ９の端縁が配置される位
置まで突出させられるようになっている。

【００３２】前記検出部昇降機構１１は、前記シャッタ
ー５を挟んで通過口４とは反対側に配置され、前記ウエ
ハ検出部１０を搭載するブラケット３０と、前記装置本
体プレート３の搬送装置側Ａに、上下方向に沿って配置
されるボールネジ４１と、該ボールネジ４１を軸線回り
に回転させるステッピングモータ４２と、前記シャッタ
ー昇降機構６を構成するリニアガイド２２に沿って上下
方向にスライド可能に取り付けられた第４のスライダ４
３とを備えている。

【００３３】前記装置本体プレート３には、厚さ方向に
貫通する２本のスリット４４が、その幅方向の両端近傍
に上下方向に沿って設けられている。このスリット４４
には、前記ブラケット３０の一部が貫通させられてお
り、貫通させられたブラケット３０は前記第４のスライ
ダ４３に固定されている。これにより、ブラケット３０
に搭載されたウエハ検出部１０がリニアガイド２２によ
って上下方向に沿う方向に精度よく案内されて移動させ
られるようになっている。

【００３４】前記第４のスライダ４３は、前記第２のス
ライダ２３よりも上方に、共通のリニアガイド２２に沿
って移動するように配置されており、少なくともシャッ
ター５の下降が開始された後でなければ、ウエハ検出部
１０を下降させることができないようになっている。前
記ステッピングモータ４２は、その回転角度に応じた数
のパルス信号を払い出すようになっており、そのパルス
をカウントすることにより、ウエハ検出部１０の上下方
向位置を正確に割り出すことができるようになってい
る。

【００３５】このように構成された本実施形態に係る基
板搬入出装置１の作用について、以下に説明する。ＦＯ
ＵＰカセット７が載置台８に載置されていない状態で、
搬送装置側Ａと処理装置側Ｂとを区画する隔壁Ｃに取り
付けられている装置本体プレート３の通過口４は、シャ
ッター５により閉鎖されている。

【００３６】図示しない無人搬送車等の搬送装置によっ
て搬送されてきたＦＯＵＰカセット７が、載置台８上に
載置されると、ＦＯＵＰカセット７は、載置台８上に備
えられている第３のスライダ２８に、位置決めピン２９
によって位置決めされる。そして、第３のスライダ２８
の水平移動機構が作動させられることにより、ＦＯＵＰ
カセット７はシャッター５に近接する方向に水平移動さ
せられる。

【００３７】ＦＯＵＰカセット７が、装置本体プレート
３に当接すると、ＦＯＵＰカセット７のフランジ７ａが
通過口４の周縁に密着させられるとともに、ＦＯＵＰカ
セット７の蓋１２に設けられている鍵穴４５に、シャッ
ター５に設けられている開閉装置１３の鍵４６が挿入さ
れる。また、シャッター５に設けられた吸着パッド１４
がＦＯＵＰカセット７の蓋１２に密着させられた状態で
作動させられることにより、ＦＯＵＰカセット７の蓋１
２がシャッター５に一体的に吸着状態に保持される。

【００３８】ＦＯＵＰカセット７は、そのフランジ７ａ
が装置本体プレート３の通過口４周縁に密着させられる
ことにより、その開口部４７を搬送装置側Ａの空間に対
して密封され、この状態で蓋１２を開かれたとしても、
ＦＯＵＰカセット７内部が搬送装置側Ａの比較的パーテ
ィクルの多い空気に晒されることが防止される。

【００３９】この状態で、シャッター５に設けた開閉装
置１３を作動させて、鍵４６を鍵穴４５内で回転させる
ことにより、シャッター５のロック機構が解除される。
そして、シャッター昇降機構６のブラケット１５に設け
られている水平移動機構１６の駆動手段１９を作動さ
せ、第１のスライダ１８を通過口４から離れる方向に水
平移動させることにより、ＦＯＵＰカセット７の蓋１２
が開かれる。

【００４０】ＦＯＵＰカセット７の蓋１２は、ＦＯＵＰ
カセット７に対して所定距離だけ後退させられることに
より、ＦＯＵＰカセット７との嵌合状態から切り離され
るので、その後、シャッター昇降機構６を作動させるこ
とにより、シャッター５とともに下降させられ、ＦＯＵ
Ｐカセット７内部の空間が、処理装置側Ｂの空間に対し
て開かれることになる。この際、シャッター昇降機構６
は、リニアガイド２２に沿って第２のスライダ２３を昇
降させることができるシリンダ２１を備えているので、
シリンダ２１のロッド２１ａ，２１ｂを引っ込めること
により、シャッター５を迅速に下降させて、通過口４を
迅速に開放することができる。

【００４１】一方、検出部昇降機構１１は、センサ３
１，３２を最上位位置まで上昇させて、ＦＯＵＰカセッ
ト７内の最上位のウエハ９に対向する位置またはそれよ
りも若干高い位置に配置されている。そして、該センサ
３１，３２とそれに対向するウエハ９との間に配されて
いるシャッター５がＦＯＵＰカセット７の蓋１２ととも
に下降させられると、センサ配置手段３３が作動させら
れて、アーム３６，３７が所定の相対角度をなす位置ま
で揺動させられ、アーム３６，３７の先端が通過口４に
挿入される。アーム３６，３７の先端にはセンサ３１，
３２が取り付けられているので、アーム３６，３７の停
止位置において、センサ３１，３２が相互に対向させら
れるとともに、両センサ３１，３２の間に形成される光
軸Ｌがウエハ９の一部を横切るようにウエハ９の周縁近
傍に配置されることになる。

【００４２】その後、検出部昇降機構１１のステッピン
グモータ４２が作動させられることにより、リニアガイ
ド２２に沿って、第４のスライダ４３が下降させられ、
該第４のスライダ４３に搭載されているブラケット３０
およびウエハ検出部１０が下降させられることになる。
ウエハ検出部１０は、両センサ３１，３２間をウエハ９
が通過することにより光軸Ｌが遮られると、ウエハ９の
検出信号を出力する。また、ステッピングモータ４２
は、ウエハ検出部１０の移動距離に応じた数のパルスを
出力する。したがって、ウエハ検出部１０が最上位に配
されている状態を原点として、そこからの移動距離に応
じた払い出しパルス数と、センサ３１，３２からのウエ
ハ９の検出信号とから、ウエハ９の収納状態、すなわ
ち、所定の収納箇所におけるウエハ９の有無と、ウエハ
９の収納されている場所の位置とを割り出すことができ
る。

【００４３】この場合において、本実施形態に係る基板
搬入出装置１によれば、シャッター５を昇降させるシャ
ッター昇降機構６と、センサ３１，３２を昇降させる検
出部昇降機構１１とを別個に設けているので、センサ３
１，３２によるウエハ９の収納状態の割り出しをシャッ
ター５の開閉作業と切り離して行うことができる。

【００４４】その結果、通過口４の全面を覆う比較的大
重量のシャッター５、蓋１２のロック機構を開閉する比
較的大重量の開閉装置１３、および、シャッター５に吸
着した比較的大重量のＦＯＵＰカセット７の蓋１２等を
合わせた重量物をセンサ３１，３２とともに昇降させる
必要がなくなった。また、これらの重量物は、ストロー
クエンドにおける蓋１２の開閉時を除き、昇降動作に高
い精度が必要とされるものではないので、比較的安価か
つ迅速に作動するシリンダ２１をアクチュエータとして
使用することができる。したがって、高価な大出力のサ
ーボモータを排除することができる。

【００４５】一方、重量物から切り離して単独で昇降さ
せられるようになったセンサ３１，３２は、その収納位
置を割り出すために精度よく昇降させる必要があるが、
小重量であるために小型のステッピングモータ４３をア
クチュエータとして利用することができる。そして、ス
テッピングモータ４３を使用することにより、その払い
出しパルスによってセンサ３１，３２の位置を把握する
ことが可能となり、高価なサーボモータおよびエンコー
ダが不要となるので、製品のコストを削減することがで
きる。

【００４６】さらに、大重量のシャッター５等とは別個
にセンサ３１，３２を昇降させることができるようにし
たから、仮に、シャッター５の下降と同時にセンサ３
１，３２を下降させながら行われた最初の収納状態の検
出作業において何らかのエラーが発生して、収納状態の
割り出しに失敗した場合であっても、大重量のシャッタ
ー５等を再度昇降させることなく、軽量のウエハ検出部
１０のみを再度昇降させて高い精度でウエハ９の収納状
態の割り出しを行うことができる。

【００４７】また、従来の技術におけるようにシャッタ
ー５の上部にセンサを搭載した場合には、センサおよび
シャッター５のストロークとしては、シャッター５の開
閉に必要なストロークに加えて、シャッター５が完全に
開かれた後からセンサが最下位のウエハ９を検出可能な
位置に配される迄の余分なストロークが必要である。こ
れに対して、本実施形態に係る基板搬入出装置１によれ
ば、シャッター５およびセンサ３１，３２は、それぞ
れ、通過口４の開閉または全てのウエハ９の収納状態検
出に必要な最小限のストロークを有していれば足りる。
したがって、本実施形態の基板搬入出装置１によれば、
無駄なストロークを排除して、ボールネジ４１等の短縮
を図ることができる。

【００４８】さらに、本実施形態では、シャッター５の
昇降用のアクチュエータとして使用したシリンダ２１
が、２つのシリンダ２５，２６を合わせて上下方向双方
にロッド２１ａ，２１ｂを突出させる方式を採用してい
るので、ロッド２１ａ，２１ｂの収縮時におけるシリン
ダ２１の占有スペースを抑えて、装置の小型化を図るこ
とができる。

【００４９】なお、上記第１の実施形態においては、ウ
エハ検出部１０として、発光部と受光部とを構成する透
過型の２つのセンサ３１，３２を採用しているが、これ
に限定されるものではなく、反射型センサ、カメラ等の
任意のセンサを採用することができる。また、センサ３
１，３２をウエハ９の端縁近傍に配置するセンサ配置手
段３３を設けているが、これに代えて、反射型センサや
カメラ等のセンサをブラケット３０に固定することにし
てもよい。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、この発明に係る基
板搬入出装置によれば、以下の効果を奏する。請求項１
に係る基板搬入出装置によれば、位置精度の必要な検出
部と、位置精度の不要な遮蔽板とを別個の昇降機構によ
り昇降させることができる。その結果、検出部昇降機構
により昇降させられる検出部については、遮蔽板からの
切り離しにより軽量化を図り、動力の小さい駆動源によ
っても高い精度で位置決めすることができるという効果
を奏する。また、遮蔽板昇降機構により昇降させられる
遮蔽板については、検出部からの切り離しにより、位置
精度を抑えて高速化を図ることができるという効果を奏
する。いずれの場合においても、駆動源のコストを抑え
ることができるとともに、装置のコンパクト化を図るこ
とができるという効果もある。

【００５１】請求項２に係る基板搬入出装置によれば、
遮蔽板昇降機構をシリンダにより駆動することにより、
装置のコスト低減、高速化、コンパクト化を図ることが
できるという効果を奏する。また、請求項３に係る基板
搬入出装置によれば、検出部昇降機構をステッピングモ
ータにより駆動することにより、さらなる装置コストの
低減、基板の収納状態検出の高精度化およびコンパクト
化を図ることができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明に係る基板搬入出装置の一実施形
態を示す側面図である。

【図２】 図１の基板搬入出装置を示す処理装置側か
ら見た正面図である。

【図３】 図１の基板搬入出装置を示す斜視図であ
る。

【図４】 図１の基板搬入出装置に使用されるＦＯＵ
Ｐカセットを示す斜視図である。

【図５】 図１の基板搬入出装置のシャッター昇降機
構を駆動するシリンダを示す側面図である。

【図６】 図１の基板搬入出装置のウエハ検出部を示
す平面図である。

【符号の説明】

１ 基板搬入出装置 ４ 通過口 ５ シャッター（遮蔽板） ６ シャッター昇降機構（遮蔽板昇降機構） ７ ＦＯＵＰカセット（容器） ８ 載置台 ９ ウエハ（基板） １０ ウエハ検出部（基板検出部） １１ 検出部昇降機構 ２１，２５，２６ シリンダー ４２ ステッピングモータ Ａ 搬入装置側（載置台側） Ｂ 処理装置側（基板処理装置側） Ｃ 隔壁

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数枚の基板を上下方向に間隔をあけ
   て水平に収容する容器と、基板を処理する基板処理装置
   との間で基板を受け渡すための基板搬入出装置であっ
   て、 前記容器を載置する載置台と、 該載置台側と前記基板処理装置側とを区画する隔壁を貫
   通する通過口と、 該通過口を開閉する遮蔽板と、 該遮蔽板を上下方向に移動させる遮蔽板昇降機構と、 前記通過口に対して上下方向に移動し、前記載置台に載
   置された前記容器内部に収容されている基板の有無を検
   出する基板検出部と、 該基板検出部を上下方向に移動させる検出部昇降機構と
   を備え、 該検出部昇降機構が、前記遮蔽板昇降機構とは別個に設
   けられている基板搬入出装置。
2. 【請求項２】 前記遮蔽板昇降機構が、シリンダによ
   り駆動される請求項１記載の基板搬入出装置。
3. 【請求項３】 前記検出部昇降機構が、ステッピング
   モータにより駆動される請求項１または請求項２記載の
   基板搬入出装置。