KR101673034B1 - 로드 포트 장치, 매핑 장치, 및 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 제어 방법 - Google Patents

로드 포트 장치, 매핑 장치, 및 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 제어 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 과제는, 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 간섭을 회피하여, 각 장치의 작동 시간을 가능한 한 오버랩시켜, 총 작동 시간의 단축을 도모하는 것이다.
로드 포트 장치(P)를 구성하는 덮개체 착탈 장치(A) 및 매핑 장치(M)에는, 덮개체 흡착판(5)이 매핑 센서(S1)를 장착한 주 아암(23)보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 상기 덮개체 흡착판(5)과 간섭하는 일 없이 상기 주 아암(23)의 회전을 가능하게 하는 간섭 회피 센서 장치(B)를 구비하고, 상기 간섭 회피 센서 장치(B)에 의해 상기 설정치가 검출된 직후에, 상기 주 아암(23)을 매핑 위치까지 회전시켜, 매핑을 개시시킨다.

Description

로드 포트 장치, 매핑 장치, 및 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 제어 방법{LOAD PORT APPARATUS, MAPPING APPARATUS, AND METHOD FOR CONTROLLING EACH LIFTING/LOWERING DEVICE OF MAPPING APPARATUS AND COVER ATTACHING/DETACHING APPARATUS CONSTITUTING LOAD PORT APPARATUS}
본 발명은, 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 작동 시간의 대부분을 오버랩시켜, 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 상기 매핑에 필요로 하는 총 시간의 단축을 가능하게 한 로드 포트 장치 및 상기 각 승강 기구의 제어 방법에 관한 것이다.
로드 포트 장치는, 특허 문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 캐리어 카세트를 적재하기 위해, 수직 배치된 로드 포트 프레임에 대해 수평으로 배치되는 카세트 테이블과, 상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 개구에 대해 덮개체를 착탈하기 위해, 덮개체의 로크ㆍ언로크 기구와 흡반을 구비한 덮개체 흡착판이 상기 로드 포트 프레임에 승강 가능하게 장착된 덮개체 착탈 장치와, 상기 캐리어 카세트의 개구에 면하는 기판군에 대해 검출 위치로부터 퇴피 가능하게 배치된 기판 검출 센서가, 상기 덮개체 착탈 장치의 제1 승강 기구와는 별도의 제2 승강 기구에 의해 승강하여, 상기 캐리어 카세트의 각 단의 기판의 존재 여부 등의 검출인 매핑을 행하기 위한 매핑 장치를 구비하고, 기판 처리 장치의 내측으로부터 상기 캐리어 카세트에 대해 기판을 출입시키기 위해, 당해 기판 처리 장치의 외측에 착탈 가능하게 장착된다.
여기서, 본 발명의 대상인 로드 포트 장치는, 전방측(전방면측)만 개구가 설치된 FOUP 카세트라 칭해지는 캐리어 카세트가 사용된다. 이로 인해, 캐리어 카세트는, 그 개구가 기판 처리 장치의 측을 향해 배치되어, 덮개체 착탈 장치에 의해 덮개체가 제거된 후에, 매핑 장치에 의해 각 단의 기판의 매핑을 행한 후에, 1매씩 취출되어 기판 처리 장치 내에서 처리된다. 그리고 처리 완료된 기판은, 당해 캐리어 카세트의 개구로부터 각 단에 순차 적재된 후에, 매핑 장치에 의해 각 단의 기판의 매핑을 행한 후에, 덮개체 착탈 장치에 의해 캐리어 카세트의 개구가 덮개체에 의해 폐색되어, 캐리어 카세트 전체가 다음 처리 공정으로 반송된다.
덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치에, 각각 독립된 승강 기구를 갖는 로드 포트 장치에 있어서는, 각 장치를 동시에 승강시키면, 장치의 특정 부분에 있어서 간섭을 발생하는 경우가 있으므로, 각 장치의 승강 기구를 시간적으로 따로따로 작동시켜, 상기 간섭을 회피하고 있다. 각 장치의 승강 기구를 따로따로 작동시킨 경우에는, 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 당해 캐리어 카세트 내의 웨이퍼의 매핑의 동작에 필요로 하는 총 시간은, 각 장치의 승강에 필요로 하는 시간의 합이 되어, 길어진다.
기판의 처리에 있어서는, 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 기판의 매핑은, 기판의 처리에 본래적으로 필요한 작업이 아니라, 본래의 처리 작업을 행하기 위해 불가피하게 발생하는 보조적, 또는 확인적인 작업이므로, 그 시간은 최대한 짧게 하는 것이 요구된다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 출원 공개 제2006-173510호 공보
본 발명은, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 각 승강 기구가 독립적으로 설치되어 있는 로드 포트 장치에 있어서, 2개의 각 장치의 간섭을 회피하여, 각 장치의 작동 시간을 가능한 한 오버랩시켜, 총 작동 시간의 단축을 도모하는 것을 과제로 하고 있다.
상기한 과제를 해결하기 위한 청구항 1의 발명은, 캐리어 카세트를 적재하기 위해, 수직 배치된 로드 포트 프레임에 대해 수평으로 배치되는 카세트 테이블과, 상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 개구에 대해 덮개체를 착탈하기 위해, 당해 덮개체의 로크ㆍ언로크 기구와 흡반을 구비한 덮개체 흡착판이 제1 승강 기구에 의해 상기 로드 포트 프레임에 승강 가능하게 장착된 덮개체 착탈 장치와, L자형의 아암의 수평부에 한 쌍의 광 센서가 캐리어 카세트의 측으로 돌출되어 장착되고, 상기 아암은 당해 아암의 수직부의 하단부 부근에 상기 수평부와 평행하게 설치된 수평 회전 축심을 중심으로 약간 회전하여, 캐리어 카세트 내의 기판군에 대해 매핑 가능하게 배치되어, 제2 승강 기구에 의해 승강되는 매핑 장치를 구비하고, 기판 처리 장치의 내측으로부터 상기 캐리어 카세트에 대해 기판을 출입시키기 위해, 당해 기판 처리 장치의 외측에 착탈 가능하게 장착되는 로드 포트 장치이며, 상기 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치에는, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 상기 아암의 회전을 가능하게 하는 간섭 회피 센서 장치를 구비하고, 상기 간섭 회피 센서 장치에 의해 상기 설정치가 검출된 직후에, 상기 아암을 매핑 위치까지 회전시켜, 매핑을 개시시킴으로써, 상기 각 장치의 작동 시간의 대부분을 오버랩시켜, 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 상기 매핑에 필요로 하는 총 시간의 단축을 도모하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 1의 발명에 따르면, 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치에는, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 상기 아암의 회전을 가능하게 하는 간섭 회피 센서 장치를 구비하고 있으므로, 당해 간섭 회피 센서 장치가 오프(OFF)가 되어, 덮개체 흡착판과 아암이 간섭하지 않게 된 시점에서, 한 쌍의 매핑 센서가 장착된 정지 중인 아암을, 비매핑 위치로부터 매핑 위치로 회전시킨 후에, 제2 승강 기구에 의해 당해 아암을 하강시켜, 캐리어 카세트 내의 각 기판의 매핑을 행한다.
이로 인해, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 각 작동 시간의 대부분을 오버랩시켜, 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 당해 캐리어 카세트의 각 단의 기판의 매핑을 행할 수 있으므로, 독립된 승강 기구에 의해 승강되는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 총 작동 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명에 있어서, 상기 간섭 회피 센서 장치는, 상하 방향을 따라 소정 길이를 갖고 있고, 상기 매핑 장치, 또는 덮개체 착탈 장치 중 어느 한쪽의 승강부에 일체로 장착된 차광판과, 상기 각 장치의 다른 쪽의 승강부에, 상기 차광판을 끼우도록 배치된 한 쌍의 광 센서로 구성되는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 2의 발명에 따르면, 간섭 회피 센서 장치를 구성하는 차광판의 길이는, 덮개체 흡착판과 아암의 간섭을 회피하기 위해, 상하 방향으로 어긋나게 하여 배치시키는 최소한의 길이이며, 당해 간섭 회피 센서 장치에 의해, 덮개체 흡착판과 매핑 장치의 아암의 간섭을 용이하게 회피하여, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 각 작동 시간의 대부분을 오버랩시킬 수 있다.
또한, 청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명에 있어서, 상기 덮개체 착탈 장치의 제1 승강 기구는 에어 실린더로 구성되는 동시에, 상기 매핑 장치의 제2 승강 기구는 볼 나사 기구로 구성되는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 3의 발명에 따르면, 덮개체 착탈 장치는, 상승 단부에 있어서 캐리어 카세트에 대해 접근ㆍ이격하는 덮개체 흡착판을 상하 이동시켜, 당해 상승 단부와 하강 단부의 각 위치에 있어서 각각 정지시킬 뿐이며, 중간 위치에 있어서 정지시킬 필요는 없으므로, 에어 실린더는 적합한 구동 수단인 동시에, 매핑 장치를 구성하는 매핑 센서를 장착하고 있는 아암은, 당해 매핑 센서가 캐리어 카세트 내의 최상단의 기판보다도 약간 상방에 배치된 위치에서 일단 정지시켜, 캐리어 카세트에 대해 접근ㆍ이격시킬 필요가 있으므로, 일단 정지 위치를 정확하게 검출할 수 있는 것이 불가결하며, 볼 나사 기구는 당해 기능을 발휘시키기 위해서는 적합한 기구이다.
또한, 청구항 4의 발명은, 청구항 1에 기재된 로드 포트 장치를 사용하여, 당해 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 작동 시간의 대부분을 오버랩시켜, 캐리어 카세트의 덮개체의 착탈 및 상기 매핑에 필요로 하는 총 시간의 단축을 도모하기 위해, 상기 제1 및 제2 각 승강 기구를 제어하는 방법이며, 상기 덮개체 흡착판 및 아암의 하강시에는, 당해 덮개체 흡착판의 하강 속도는, 아암의 하강 속도에 대해 동일하거나 또는 약간 빠르게 설정되고, 상기 덮개체 흡착판은, 제1 승강 기구에 의해 정속도로 연속하여 하강하고, 상기 한 쌍의 매핑 센서가, 캐리어 카세트 내의 최상단에 지지된 기판의 약간 상방의 위치에 배치되어, 아암이 일단 정지되어 있는 상태에서, 상기 간섭 회피 센서 장치에 의해, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 당해 아암을 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 매핑 위치까지 회전시킨 후에, 제2 승강 기구에 의해 당해 아암의 하강을 개시시켜 기판의 매핑을 행하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 4의 발명은, 청구항 1의 발명을, 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치를 승강시키는 제1 및 제2 각 승강 기구의 제어의 관점으로부터 파악한 것이다.
또한, 청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명에 있어서, 상기 덮개체 흡착판 및 아암의 상승시에는, 당해 덮개체 흡착판의 상승 속도는, 아암의 상승 속도보다도 느리게 설정되는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 5의 발명에 따르면, 매핑 장치의 아암이 상승하면서, 캐리어 카세트 내의 각 기판의 매핑을 행하는 경우에 있어서, 상기 아암과, 덮개체 착탈 장치의 덮개체 흡착판의 간섭을 피할 수 있다.
또한, 청구항 6의 발명은, 청구항 4의 발명에 있어서, 상기 덮개체 흡착판과 아암은, 동일 속도로 동시에 하강을 개시하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 6의 발명에 따르면, 덮개체 흡착판과 아암이 동일 속도로 동시에 하강을 개시해도, 아암은 일단 정지 위치에 도달한 후에, 간섭 회피 센서 장치에 의해 덮개체 흡착판이 당해 아암과의 간섭을 회피할 수 있는 위치로 하강한 시점에서, 한 쌍의 매핑 센서가 매핑 위치에 배치되도록 회전을 개시하면 된다. 이로 인해, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 총 작동 시간은, 작동 시간이 긴 매핑 장치의 작동 시간이 되어, 가장 짧게 할 수 있다. 또한, 덮개체 흡착판의 하강 속도는, 가장 느린 속도를 선택하고 있으므로, 진동 등의 발생이 최소가 되어, 매핑의 정밀도가 높아진다.
또한, 청구항 7의 발명은, 청구항 5의 발명에 있어서, 상기 덮개체 흡착판과 아암은, 동시에 상승을 개시하는 것을 특징으로 하고 있다.
청구항 7의 발명에 따르면, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치의 총 작동 시간은, 작동 시간이 긴 덮개체 착탈 장치의 작동 시간이 되어, 가장 짧게 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 덮개체 착탈 장치와 매핑 장치에 각각 설치된 간섭 회피 센서 장치에 의해, 매핑 장치의 아암의 일단 정지 중에 있어서, 당해 아암을 매핑 위치까지 회전시키는 경우에, 아암의 일단 정지 시간도 최단으로 할 수 있어, 각 장치의 작동 시간의 대부분을 오버랩시킬 수 있다. 이 결과, 캐리어 카세트의 덮개체를 제거하여, 당해 캐리어 카세트의 각 단의 미처리 기판의 매핑을 행하거나, 혹은 처리 완료된 기판을 캐리어 카세트의 각 단에 수납하여, 당해 각 단의 기판의 매핑을 행한 후에, 캐리어 카세트의 개구를 덮개체로 폐색하는 각 작업에 필요로 하는 총 시간을 단축할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 로드 포트 장치(P)의 정면도.
도 2는 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 배면도.
도 3은 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 덮개체(E)의 착탈을 주체로 도시하는 좌측면도.
도 4는 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 매핑을 주체로 도시하는 좌측면도.
도 5는 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 평면 단면도.
도 6은 매핑 장치(M)를 주체로 도시하는 사시도.
도 7은 매핑을 주체로 도시하는 개략 평면도.
도 8은 간섭 회피 센서 장치(B)를 측면으로부터 본 모식도.
도 9의 (a) 내지 (e)는, 본 발명의 작용 설명도.
도 10은 덮개체 착탈 장치(A) 및 매핑 장치(M)의 하강시 및 상승시에 있어서의 시간에 대한 Z 방향(상하 방향)의 위치 관계를 나타내는 그래프.
도 11은 동 실시 형태의 제어를 담당하는 제어 장치(컨트롤러)를 도시하는 도면.
이하, 최량의 실시예를 들어, 본 발명에 대해 더욱 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명에 관한 로드 포트 장치(P)의 정면도이고, 도 2는 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 배면도이고, 도 3은 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 덮개체(E)의 착탈을 주체로 도시하는 좌측면도이고, 도 4는 본 발명에 관한 로드 포트 장치의 매핑을 주체로 도시하는 좌측면도이고, 도 5본 발명에 관한 로드 포트 장치의 평면 단면도이고, 도 6은 매핑 장치(M)를 주체로 도시하는 사시도이고, 도 7은 매핑을 주체로 도시하는 개략 평면도이고, 도 8은 간섭 회피 센서 장치(B)를 측면으로부터 본 모식도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 카세트 테이블(J) 상에 있어서 캐리어 베이스(D)가 이동하는 방향을 X 방향으로 정하는 동시에, 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5) 및 매핑 센서(S1)를 장착한 주 아암(23)이 이동하는 방향을 Z 방향으로 정하고, X, Z의 양방향에 대해 직교하는 방향을 Y 방향으로 정한다. 로드 포트 장치(P)는, 기판(W)의 처리 장치(F)의 외벽부(1)에 착탈 가능하게 장착된다. 즉, 로드 포트 장치(P)의 로드 포트 프레임(2)은, 복수개의 볼트(도시하지 않음)를 통해 상기 외벽부(1)에 장착된다. 로드 포트 장치(P)는, 캐리어 카세트(K)를 적재하기 위해, 상기 로드 포트 프레임(2)에 대해 외팔보 형상으로 되어 수평으로 장착되는 카세트 테이블(J)과, 당해 카세트 테이블(J)에 적재된 캐리어 카세트(K)의 개구에 대해 덮개체(E)를 착탈하기 위해, 당해 덮개체(E)를 캐리어 카세트(K)에 대해 로크ㆍ언로크를 행하는 한 쌍의 로크ㆍ언로크 기구(3)와 복수의 흡반(4)을 구비한 덮개체 흡착판(5)이 상기 로드 포트 프레임(2)에 승강 가능하게 장착된 덮개체 착탈 장치(A)와, 상기 캐리어 카세트(K)의 개구에 면하는 기판(W)군에 대해 매핑 위치로부터 퇴피 가능하게 배치된 매핑 센서(S1)가, 상기 덮개체 착탈 장치(A)의 제1 승강 기구(U1)와는 별도의 제2 승강 기구(U2)에 의해 승강하여, 상기 캐리어 카세트(K)의 각 단의 기판(W)의 존재 여부 등의 검출인 매핑을 행하기 위한 매핑 장치(M)를 구비하고 있다.
상기 로드 포트 프레임(2)에 있어서의 카세트 테이블(J)보다 상방의 부분에는, 당해 테이블(J) 상에 배치된 캐리어 카세트(K)의 개구에 대해 덮개체(E)를 착탈할 때에, 당해 덮개체(E)를 통과시켜 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 배치 가능하게 하는 사각 형상의 개구(6)가 형성되어 있다. 또한, 카세트 테이블(J)의 상면에는, 캐리어 카세트(K)를 위치 결정하여 세트하기 위한 캐리어 베이스(D)가 X 방향으로 이동 가능하게 배치되어 있다. 캐리어 베이스(D)의 상면에는, 적재되는 캐리어 카세트(K)를 위치 결정하기 위한 복수의 위치 결정 핀(10)이 설치되어 있다.
우선, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 덮개체 착탈 장치(A)에 대해 설명한다. 덮개체 착탈 장치(A)의 수용부는, 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 배치되는 동시에, 덮개체 흡착판(5)을 승강시키는 제1 승강 기구(U1)는, 로드 포트 프레임(2)의 전방면측에 배치되어, 카세트 테이블(J) 상에 적재된 캐리어 카세트(K)의 덮개체(E)를 착탈하는 덮개체 흡착판(5)을 승강(Z 방향으로의 이동)시키는 장치이다. 로드 포트 프레임(2)의 전방면에 있어서의 카세트 테이블(J)보다도 하방의 부분에는, Y 방향으로 소정 간격을 두고 한 쌍의 가이드 레일(7)이 Z 방향을 따라 장착되고, 당해 한 쌍의 가이드 레일(7)에는 승강체(8)가 승강 가능하게 장착되고, 한쪽의 가이드 레일(7)의 측방에 로드리스 에어 실린더(9)가 Z 방향으로 배치되어, 당해 에어 실린더(9)의 안내체(9a)의 외측에 슬라이드체(9b)가 끼워 넣어져, 당해 슬라이드체(9b)와 상기 승강체(8)가 연결되어 있다. 이로 인해, 에어 실린더(9)의 작동에 의해 슬라이드체(9b)가 승강하면, 상기 승강체(8)는 일체로 되어 승강한다. 또한, 덮개체 흡착판(5)을 승강시키는 제1 승강 기구(U1)인 로드리스 에어 실린더(9)는, 안내체(9a) 내에 수용된 자석체(도시하지 않음)를 공기압에 의해 당해 안내체(9a)를 따라 정역(正逆) 방향으로 이동시킴으로써, 자기 흡인력에 의해 슬라이드체(9b)를 이동시키는 구성이다. 덮개체 흡착판(5)의 상승 단부 및 하강 단부의 각 위치는, 로드리스 에어 실린더(9)의 안내체(9a) 내의 상기 자석체의 상승 단부 및 하강 단부의 각 위치에 의해 정해진다. 상기 승강체(8)의 상면에는, 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 있어서 한 쌍의 지지 로드(11)를 통해 덮개체 흡착판(5)을 지지하는 덮개체 흡착판 지지체(12)가 X 방향으로 이동 가능하게 장착되어 있다. 덮개체 흡착판 지지체(12)는, Y 방향으로 소정 간격을 두고 한 쌍의 지지체 단일 부재(12a)로 구성되고, 각 지지체 단일 부재(12a)는, 로드 포트 프레임(2)에 Z 방향으로 형성된 한 쌍의 삽입 관통 긴 구멍(13)에 삽입 관통되어, 당해 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 도달하고 있다. 따라서, 승강체(8) 내에 수납된 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 덮개체 흡착판 지지체(12)를 X 방향으로 이동시키면, 도 3에 도시되는 바와 같이, 덮개체 흡착판(5)은 로드 포트 프레임(2)의 배면에 대해 이격된 대기 위치와, 당해 로드 포트 프레임(2)의 개구(6)에 일부가 들어간 착탈 위치의 사이를 진퇴하여, 캐리어 카세트(K)의 개구를 폐색하고 있는 덮개체(E)의 착탈을 행한다. 또한, 카세트 테이블(J) 상에 배치되어, 캐리어 카세트(K)를 세트하고 있는 캐리어 베이스(D)는, 당해 카세트 테이블(J) 내에 수납된 구동 기구(도시하지 않음)에 의해 X 방향으로 진퇴하여, 로드 포트 프레임(2)에 대해 가장 근접한 위치에 있어서, 덮개체(E)의 착탈이 행해진다.
다음에, 도 1 내지 도 6을 참조하여, 덮개체(E)가 제거된 캐리어 카세트(K)의 각 단에 수납되어 있는 기판(W)의 존재 여부 등의 검출인 매핑을 행하기 위한 매핑 장치(M)에 대해 설명한다. 매핑 장치(M)는, 로드 포트 프레임(2)의 표면에 Z 방향으로 배치된 가이드 레일(21) 및 제2 승강 기구(U2)에 의해 당해 Z 방향으로 왕복 이동(승강)하는 승강체(22)와, Y 방향으로 설치된 회전 축심(C)을 중심으로 소정 각도 내에서 왕복 회전 가능하도록 상기 승강체(22)에 지지되어, Y 방향으로 배치되는 수평부(23a)에 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 장착된 대략 L자 형상의 주 아암(23)과, 대략 X 방향으로 배치되어, 상기 주 아암(23)의 기단부에 일체로 장착된 관통부(23b)에 있어서의 로드 포트 프레임(2)의 표면측에 배치되는 부분에, 당해 관통부(23b)에 대해 비스듬히 하방으로 경사져 장착되는 작동 아암(24)과, 상기 승강체(22)에 일체로 장착되고, 로드(25a)가 상기 작동 아암(24)의 선단부에 연결되어, 상기 주 아암(23)을 회전 축심(C)을 중심으로 하여 회전시키기 위한 에어 실린더(25)를 구비하고 있다.
주 아암(23)은, Y 방향으로 배치되는 수평부(23a)와, 대략 X 방향으로 배치되는 관통부(23b)와, 상기 수평부(23a)와 상기 관통부(23b)를 연결하여, 대략 Z 방향으로 배치되는 수직부(23c)의 3개의 부분으로 구성되고, 상기 관통부(23b)는 로드 포트 프레임(2)에 Z 방향으로 형성된 삽입 관통 긴 구멍(20)에 관통 상태로 삽입 관통되어, 수평부(23a) 및 수직부(23c)는, 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 배치된다. 로드 포트 프레임(2)의 배면측에 배치되는 수평부(23a)에는, Y 방향으로 소정 간격을 두고 한 쌍의 돌출부(23d)가 캐리어 카세트(K)의 측으로 돌출되어 수평으로 배치되고, 각 돌출부(23d)의 선단부의 대향 내측면에는, 광 센서로 이루어지는 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 대향하여 장착되어 있다. 따라서, 도 4 및 도 7에 나타내어지는 바와 같이, 캐리어 카세트(K)가 기판(W)의 출입 위치에 위치하고 있는 상태에 있어서, 에어 실린더(25)의 로드(25a)가 인입된 상태에서는, 주 아암(23)의 수평부(23b)의 각 돌출부(23d)에 장착된 한 쌍의 매핑 센서(S1)는, 캐리어 카세트(K)에 대해 외부에 배치되어 있고, 이 상태에서 에어 실린더(25)의 로드(25a)를 돌출시키면, 주 아암(23)의 전체가 회전 축심(C)을 중심으로 하여 회전하여, 도 7에서 실선으로 나타내어지는 바와 같이, 주 아암(23)의 수직부(23c)가 약간 전방으로 기울어진 자세가 되어, 상기 한 쌍의 매핑 센서(S1)는 캐리어 카세트(K)의 개구로부터 내부에 침입하여, 당해 캐리어 카세트(K)의 각 단에 지지되어 있는 기판(W)의 존재 여부 등의 검출, 즉 매핑이 가능해진다.
또한, 승강체(22)를 승강시키는 제2 승강 기구(U2)는, 볼 나사 기구로 구성된다. 제2 승강 기구(U2)를 구성하는 볼 나사(26)의 하단부는, 로드 포트 프레임(2)에 고정된 지지 블록체(27)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 당해 볼 나사(26)의 중간부는, 가이드 레일(21)에 안내되어 승강하는 승강체(22)에 볼 너트(도시하지 않음)를 통해 지지되고, 당해 볼 나사(26)의 상단부는 지지되어 있지 않다. 당해 볼 나사(26)는, 상기 지지 블록체(27)의 하방에 배치된 스테핑 모터(28)에 의해 회전수가 제어되어 회전한다. 주 아암(23)의 수평부(23a)의 각 돌출부(23d)에 장착된 한 쌍의 매핑 센서(S1)의 상승 단부 및 하강 단부의 각 위치, 환언하면 승강체(22)의 상승 단부 및 하강 단부의 각 위치는, 도 7에 도시되는 바와 같이, 로드 포트 프레임(2)의 표면에 있어서의 승강체(22)의 상승 단부 및 하강 단부의 각 위치에 대응하는 위치에 각각 장착된 각 센서(S11, S12)와, 상기 승강체(22)에 일체로 장착되어, 당해 각 센서(S11, S12) 사이를 통과 가능한 차광판(29)으로 구성되는 센서 장치에 의해 검출되어, 당해 검출 신호에 의해 스테핑 모터(28)를 정지시켜 행한다.
또한, 수평부(23a)의 각 돌출부(23d)에 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 장착된 주 아암(23)은, 하강, 또는 상승의 도중에 있어서, 한 쌍의 매핑 센서(S1)가, 캐리어 카세트(K)의 최상단에 지지된 기판(W)의 약간 상방의 위치에 도달한 시점에서, 일단 정지시켜, 당해 주 아암(23)을 약간 전방으로 기울어진 자세의 매핑 위치에 배치시키거나, 혹은 비매핑 위치로 복귀시킬 필요가 있다. 상기한 주 아암(23)의 일단 정지 위치(Q)는, 주 아암(23)의 상승 단부, 혹은 하강 단부의 각 위치로부터 계산하기 시작하여 미리 판명되어 있는 위치이므로, 스테핑 모터(28)의 회전수(적산 펄스수)를 검출함으로써, 주 아암(23)의 상기 일단 정지 위치(Q)의 제어는 가능하다.
또한, 캐리어 카세트(K)가 로드 포트 프레임(2)에 대해 가장 근접한 상태에서, 상승 단부 위치에 배치되어 있는 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5)을 캐리어 카세트(K)에 대해 전진시켜, 로크ㆍ언로크 기구(3)에 의해 덮개체(E)의 로크를 해제하여, 당해 덮개체(E)를 복수의 흡반(4)으로 흡착한 상태에서, 덮개체 흡착판(5)을 원 위치까지 후퇴시킨다[도 9의 (a)]. 그 후에, 덮개체 착탈 장치(A)와 매핑 장치(M)를 모두 일단 정지 위치(Q)까지 하강시켜, 당해 덮개체 착탈 장치(A)는 그대로 하강시키는 동시에, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)을 약간 전방으로 기울어진 자세가 되도록 회전시키면, 당해 주 아암(23)의 수평부(23a)와 덮개체 흡착판(5)의 상단부가 간섭하여, 당해 주 아암(23)을 매핑 가능한 전진 위치까지 회전시킬 수 없다.
따라서, 본 발명에서는, 상기 간섭을 회피하기 위해, 매핑 장치(M)에 대해 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5)이 상기 간섭을 회피할 수 있는 위치까지 상대적으로 하강한 것을 검출하여, 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 장착된 주 아암(23)을 약간 회전시켜, 당해 한 쌍의 매핑 센서(S1)를 매핑 위치에 배치하여, 캐리어 카세트(K) 내의 각 기판(W)의 매핑을 개시시킴으로써, 덮개체 착탈 장치(A) 및 매핑 장치(M)의 각 작동 시간이 오버랩 시간을 가능한 한 길게 하여, 2개의 각 장치(A, M)의 총 작동 시간을 짧게 하는 고안을 하고 있다. 즉, 도 1, 도 5 및 도 8에 도시되는 바와 같이, 덮개체 착탈 장치(A)의 승강체(8)의 매핑 장치(A)측의 단부에는, 브래킷(31)을 통해 광 센서로 이루어지는 한 쌍의 간섭 회피 센서(S2)가 장착되고, 당해 한 쌍의 간섭 회피 센서(S2) 사이의 홈부에 삽입되어 차광을 행하는 차광판(32)이 매핑 장치(M)의 승강체(22)에 장착되고, 한 쌍의 간섭 회피 센서(S2)와 차광판(32)으로 간섭 회피 센서 장치(B)가 구성된다. 즉, 상기 브래킷(31)에는, 오목부를 전방면측을 향해 센서 장착 블록(33)이 일체로 장착되고, 당해 센서 장착 블록(33)의 오목부를 형성하는 각 대향 벽면에 한 쌍의 간섭 회피 센서(S2)가 대향하여 장착되어 있다(도 5 참조). 차광판(32)은, 로드 포트 프레임(2)에 대해 수직으로 배치되고, 당해 차광판(32)의 길이(L)는, 정지 중인 매핑 장치(M)에 대해 덮개체 착탈 장치(A)가 하강함으로써, 매핑 장치(M)에 대해 덮개체 착탈 장치(A)가 상대적으로 하방에 배치됨으로써, 즉, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)의 수평부(23a)에 대해 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5)이 상대적으로 하방에 배치되어, 상기 간섭을 회피할 수 있는 길이로 정해져 있다.
또한, 도 11에 예시하는 것은, 덮개체 착탈 장치(A)나 매핑 장치(M)의 각 승강 기구의 제어 등을 담당하는 제어 장치(컨트롤러)(100)이다. 이 제어 장치(100)에는, 매핑 센서(S1), 간섭 회피 센서(S2), 각 센서(S11, S12) 등으로부터 신호가 입력되고, 덮개체 착탈 장치(A)의 에어 실린더(9), 매핑 장치(M)의 에어 실린더(25), 볼 나사 기구의 스테핑 모터(28) 외에, 덮개체 흡착판 지지체(12)의 X 방향으로의 구동부, 캐리어 베이스(D)의 X 방향으로의 구동부, 그 밖에 필요한 부위에 대해 소요의 타이밍으로 제어 신호를 출력하기 위해 필요한 프로그램이 기입되어 있다.
다음에, 도 9 및 도 10을 참조하여, 카세트 테이블(J) 상에 적재된 캐리어 카세트(K)의 덮개체(E)를 제거하여, 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5) 및 매핑 장치(M)의 주 아암(23)을 하강시키면서, 당해 매핑 장치(M)에 의해 당해 캐리어 카세트(K) 내의 각 단에서 지지되어 있는 기판(W)의 매핑을 행하는 경우에 대해 설명한다. 덮개체 착탈 장치(A)의 덮개체 흡착판(5) 및 매핑 장치(M)의 주 아암(23)의 하강시에는, 당해 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1)는, 매핑 센서(S1)를 장착한 주 아암(23)의 하강 속도(V2)에 대해 동일하거나 또는 약간 빠르게 설정하는 것이 필요하다. 실시예에서는, 설명 및 도시를 용이하게 하기 위해, 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1)와 주 아암(23)의 하강 속도(V2)는 동일하게 한다. 도 9의 (a)는, 캐리어 베이스(D)의 전진에 의해, 캐리어 카세트(K)가 로드 포트 프레임(2)에 가장 근접하고 있어, 덮개체 흡착판(5) 및 주 아암(23)의 양쪽이 상승 단부에 위치하고 있는 상태이다. 이 상태에서, 덮개체 흡착판(5)을 전진시켜, 각 흡반(4)을 덮개체(E)의 전방면에 밀착시키는 동시에, 로크ㆍ언로크 기구(3)에 의해 캐리어 카세트(K)에 대한 덮개체(E)의 로크를 해제하고, 그 후에, 덮개체(E)를 흡착한 덮개체 흡착판(5)을 후퇴시킨다. 그 후에, 제1 승강 기구(U1)인 에어 실린더(9)의 작동에 의해, 덮개체(E)를 흡착한 덮개체 흡착판(5)은 하강 속도(V1)로 하강을 개시하는 동시에, 제2 승강 기구(U2)인 볼 나사 기구에 의해, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)도 동일한 하강 속도(V2)(＝V1)로 하강을 개시하고, 덮개체 흡착판(5)은, 그대로 하강 단부까지 계속해서 하강하지만, 주 아암(23)은 캐리어 카세트(K) 내의 최상단의 기판(W)보다도 약간 상방의 일단 정지 위치(Q)에서 일단 정지한다[도 9의 (b)]. 상기 일단 정지 위치(Q)는, 볼 나사 기구를 구성하는 스테핑 모터(28)의 적산 펄스수에 의해 검출 가능한 것은, 상기한 바와 같다.
그리고 일단 정지 위치(Q)에서 정지 중인 주 아암(23)에 대해 덮개체 흡착판(5)은 계속해서 하강하고 있고, 간섭 회피 센서 장치(B)를 구성하는 덮개체 착탈 장치(A)측의 간섭 회피 센서(S2)가 매핑 장치(M)측의 차광판(32)의 하단부를 통과하여, 간섭 회피 센서 장치(B)가「오프」로 되면, 즉, 주 아암(23)에 대해 덮개체 흡착판(5)이 설정치만큼 상대적으로 하방에 배치되어, 주 아암(23)의 전방 기울어짐 동작에 대해 덮개체 흡착판(5)이 간섭하지 않는 위치에 도달한 시점에서, 매핑 장치(M)의 에어 실린더(25)의 로드(25a)가 돌출되어, 주 아암(23)이 약간 전방으로 기울어진 자세로 되어 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 캐리어 카세트(K) 내의 매핑 위치까지 들어가, 당해 한 쌍의 매핑 센서(S1)에 의한 기판(W)의 매핑이 가능한 상태로 된다[도 9의 (c)]. 이 상태에서, 다시 스테핑 모터(28)의 기동에 의해 주 아암(23)이 하강을 개시하여, 캐리어 카세트(K) 내의 각 단의 기판(W)의 매핑을 행하여, 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 최하단의 기판(W)의 약간 하방에 도달한 시점에서, 스테핑 모터(28)가 정지하여, 주 아암(23)의 하강이 정지한다[도 9의 (d)]. 또한, 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 최하단의 기판(W)의 약간 하방에 도달한 위치가, 매핑 장치(M)의 하강 단부 위치이고, 주 아암(23)의 수평부(23a)에 장착된 한 쌍의 매핑 센서(S1)에 의해 기판(W)의 매핑을 행하고 있는 도중에 있어서, 덮개체 흡착판(5)은 하강 단부에 도달한다. 마지막으로, 에어 실린더(25)의 로드(25a)를 인입하여, 주 아암(23)을 원 위치(비매핑 위치)로 복귀시킨다[도 9의 (e)]. 또한, 덮개체 착탈 장치(A) 및 매핑 장치(M)의 하강 단부 위치에 있어서의 Z 방향(상하 방향)의 상대적인 배치 관계는, 상승 단부 위치와 동일하므로, 매핑 장치(M)의 승강체(22)의 하강 도중에 있어서, 간섭 회피 센서 장치(B)의 차광판(32)에 의해, 이미 하강 단부 위치에서 정지되어 있는 덮개체 착탈 장치(A)의 승강체(8)에 장착된 간섭 회피 센서(S2)가 차광되지만, 캐리어 카세트(K)로부터 덮개체(E)가 제거됨으로써 간섭 회피 센서 장치(B)는 무효로 되도록 설정되어 있으므로, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)은, 하강 단부 위치까지 지장 없이 하강한다.
이로 인해, 도 10에 도시되는 바와 같이, 덮개체 착탈 장치(A)와 매핑 장치(M)는, 동일한 하강 속도로 동시에 하강을 개시하고 있으므로, 양 장치(A, M)의 총 작동 시간은, 매핑 장치(M)의 작동 시간(T1)이다. 또한, 매핑 장치(M)의 일단 정지 위치(Q)에 있어서의 정지 시간(T0)은, 정지 종료 시각, 즉 주 아암(23)의 회전을 개시하는 시각에 있어서의 매핑 장치(M)와의 높이의 차(L)가, 간섭 회피 센서 장치(B)를 구성하는 차광판(32)의 길이(L)와 동일해지는 시간이다. 또한, 상기 실시예에서는, 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1)와 주 아암(23)의 하강 속도(V2)를 동일하게 하고 있으므로, 환언하면 양 장치(A, M)의 총 작동 시간을 일정하게 한 상태에서, 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1)를 최소로 하고 있으므로, 당해 덮개체 흡착판(5)의 하강에 의해 발생하는 진동 등을 최소로 억제할 수 있어, 매핑 정밀도가 높아지는 이점이 있다.
그리고 캐리어 카세트(K) 내의 각 기판(W)의 매핑을 종료한 후에, 당해 각 기판(W)은 당해 캐리어 카세트(K)로부터 취출된 후에, 기판 처리 장치(F) 내에 취입되어 소정의 처리가 실시되는 동시에, 비어 있는 당해 캐리어 카세트(K) 내에 처리 완료된 별도의 기판(W)이 수납된다.
한편, 덮개체 흡착판(5) 및 주 아암(23)의 상승시에는, 당해 덮개체 흡착판(5)의 상승 속도(V3)는, 주 아암(23)과 덮개체 흡착판(5)의 간섭을 회피시키기 위해, 주 아암(23)의 상승 속도(V2＝V1)보다도 느리게 설정된다(V2＞V3). 우선, 매핑 장치(M)의 하강 단부 위치에 있어서, 에어 실린더(25)의 로드(25a)를 돌출시켜, 주 아암(23)을 약간 전방으로 기울어진 자세로 하여, 한 쌍의 매핑 센서(S1)를, 캐리어 카세트(K) 내의 각 기판(W)의 매핑 위치에 배치한다. 그 후에, 스테핑 모터(28)를 하강시와 역방향으로 회전시켜 주 아암(23)을 상승시킴으로써 각 기판(W)의 매핑을 행하여, 한 쌍의 매핑 센서(S1)가 최상단의 기판(W)의 약간 상방의 일단 정지 위치(Q)에 도달하면, 스테핑 모터(28)가 정지하고, 그 직후에 에어 실린더(25)의 로드(25a)가 인입되어, 주 아암(23)은 비매핑 위치로 복귀된다. 그 후에, 스테핑 모터(28)가 재기동하여, 주 아암(23)은 상승 단부 위치까지 도달한다. 덮개체 착탈 장치(A)의 에어 실린더(9)는, 매핑 장치(M)에 의한 매핑의 개시와 동시에 작동시킨다. 즉, 덮개체 흡착판(5)은, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)과 동시에 상승을 개시하지만, 상기한 속도차로 인해, 주 아암(23)과 덮개체 흡착판(5)의 높이 방향의 변위차는 시간의 경과와 함께 커지고, 그 변위차의 축적에 의해, 일단 정지 위치(Q)에 있어서 주 아암(23)이 약간 정지하여, 비매핑 위치로 복귀된 후에, 상승 단부 위치를 향한 상승을 개시해도, 당해 상승 단부 위치에는 주 아암(23)이 덮개체 흡착판(5)보다도 먼저 도달한다. 상승 단부 위치에 있어서, 덮개체(E)를 흡착하고 있는 덮개체 흡착판(5)은, 캐리어 카세트(K)에 대해 전진하여, 그 개구가 덮개체(E)에 의해 폐색된다.
또한, 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1) 및 그 상승 속도(V3)는, 매핑 장치(M)의 주 아암(23)의 하강 속도(V2) 및 상승 속도(V2)의 관계에서, 상기한 조건을 충족시키는 한, 임의의 속도를 선택할 수 있지만, 주 아암(23)의 하강 속도(V2)와 동일하거나, 또는 이보다 빠른 것이 조건인 덮개체 흡착판(5)의 하강 속도(V1)는, 진동 발생 방지의 관점으로부터, 주 아암(23)의 하강 속도(V2)에 가까운 것이 바람직하다. 한편, 덮개체 흡착판(5)의 상승 속도(V3)는, 주 아암(23)의 상승 속도(V2)보다도 느린 것이 조건이지만, 덮개체 착탈 장치(A) 및 매핑 장치(M)의 총 작동 시간을 짧게 하기 위해서는, 주 아암(23)의 상승 속도(V2)에 가까운 것이 바람직하다.
A : 덮개체 착탈 장치
B : 간섭 회피 센서 장치
E : 덮개체
F : 기판 처리 장치
J : 카세트 테이블
K : 캐리어 카세트
M : 매핑 장치
P : 로드 포트 장치
Q : 주 아암의 일단 정지 위치
S1 : 매핑 센서
S2 : 간섭 회피 센서(간섭 회피 센서 장치)
V1 : 덮개체 흡착판의 하강 속도
V2 : 주 아암의 하강 속도(상승 속도)
V3 : 덮개체 흡착판의 상승 속도
2 : 로드 포트 프레임
3 : 로크ㆍ언로크 기구
4 : 흡반
5 : 덮개체 흡착판
9 : 로드리스 에어 실린더(제1 승강 기구)
23 : 주 아암(아암)
26 : 볼 나사(제2 승강 기구)
28 : 스테핑 모터(제2 승강 기구)
32 : 차광판(간섭 회피 센서 장치)
100 : 제어 장치(컨트롤러)

Claims (7)

  1. 캐리어 카세트를 적재하기 위해, 수직 배치된 로드 포트 프레임에 대해 수평으로 배치되는 카세트 테이블과,
    상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 개구에 대해 덮개체를 착탈하기 위해, 당해 덮개체의 로크ㆍ언로크 기구와 흡반을 구비한 덮개체 흡착판이 제1 승강 기구에 의해 상기 로드 포트 프레임에 승강 가능하게 장착된 덮개체 착탈 장치와,
    아암의 수평부에 한 쌍의 광 센서가 캐리어 카세트의 측으로 돌출되어 장착되고, 상기 아암은 당해 아암의 수직부의 하단부 부근에 상기 수평부와 평행하며 상기 로드 포트 프레임의 개구보다도 낮은 위치에 설치된 수평 회전 축심을 중심으로 회전하여, 캐리어 카세트 내의 기판군에 대해 매핑 가능하게 배치되어, 제2 승강 기구에 의해 승강되는 매핑 장치를 구비하고,
    기판 처리 장치의 내측으로부터 상기 캐리어 카세트에 대해 기판을 출입시키기 위해, 당해 기판 처리 장치의 외측에 착탈 가능하게 장착되는 로드 포트 장치이며,
    상기 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치에는, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 상기 아암의 회전을 가능하게 하는 간섭 회피 센서 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 로드 포트 장치.
  2. 캐리어 카세트를 적재하기 위해, 수직 배치된 로드 포트 프레임에 대해 수평으로 배치되는 카세트 테이블과,
    상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 개구에 대해 덮개체를 착탈하기 위해, 당해 덮개체의 로크ㆍ언로크 기구와 흡반을 구비한 덮개체 흡착판이 제1 승강 기구에 의해 상기 로드 포트 프레임에 승강 가능하게 장착된 덮개체 착탈 장치와,
    아암의 수평부에 한 쌍의 광 센서가 캐리어 카세트의 측으로 돌출되어 장착되고, 상기 아암은 당해 아암의 수직부의 하단부 부근에 상기 수평부와 평행하게 설치된 수평 회전 축심을 중심으로 회전하여, 캐리어 카세트 내의 기판군에 대해 매핑 가능하게 배치되어, 제2 승강 기구에 의해 승강되는 매핑 장치를 구비하고,
    기판 처리 장치의 내측으로부터 상기 캐리어 카세트에 대해 기판을 출입시키기 위해, 당해 기판 처리 장치의 외측에 착탈 가능하게 장착되는 로드 포트 장치이며,
    상기 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치에는, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 상기 아암의 회전을 가능하게 하는 간섭 회피 센서 장치를 구비하고,
    상기 간섭 회피 센서 장치는, 상하 방향을 따라 소정 길이를 갖고, 상기 매핑 장치, 또는 덮개체 착탈 장치 중 어느 한쪽의 승강부에 일체로 장착된 차광판과, 상기 각 장치의 다른 쪽의 승강부에, 상기 차광판을 끼우도록 배치된 한 쌍의 광 센서로 구성되는 것을 특징으로 하는, 로드 포트 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 덮개체 착탈 장치의 제1 승강 기구는, 에어 실린더로 구성되는 동시에, 상기 매핑 장치의 제2 승강 기구는, 볼 나사 기구로 구성되는 것을 특징으로 하는, 로드 포트 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 매핑 장치의 L자형의 아암의 수직부는, 상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 측으로 굴곡됨으로써, 매핑 시에는 전방으로 기울어지게 되는 동시에, 비매핑 시에는 수직 자세로 되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 로드 포트 장치.
  5. 제1항에 기재된 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 제어 방법이며,
    상기 덮개체 흡착판 및 아암의 하강시에는, 당해 덮개체 흡착판의 하강 속도는, 아암의 하강 속도에 대해 동일하거나 또는 빠르게 설정되고,
    상기 덮개체 흡착판은, 제1 승강 기구에 의해 정속도로 연속하여 하강하고,
    상기 한 쌍의 매핑 센서가, 캐리어 카세트 내의 최상단에 지지된 기판의 상방의 위치에 배치되어, 아암이 일단 정지되어 있는 상태에서, 상기 간섭 회피 센서 장치에 의해, 덮개체 흡착판이 매핑 센서를 장착한 아암보다도 설정치를 초과하는 값만큼 낮은 위치에 배치된 것을 검출하여, 당해 아암을 상기 덮개체 흡착판과 간섭하는 일 없이 매핑 위치까지 회전시킨 후에, 제2 승강 기구에 의해 당해 아암의 하강을 개시시켜 기판의 매핑을 행하는 것을 특징으로 하는, 로드 포트 장치를 구성하는 덮개체 착탈 장치 및 매핑 장치의 각 승강 기구의 제어 방법.
  6. 캐리어 카세트를 적재하기 위해, 수직 배치된 로드 포트 프레임에 대해 수평으로 배치되는 카세트 테이블과,
    상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 개구에 대해 덮개체를 착탈하기 위해, 당해 덮개체의 로크ㆍ언로크 기구와 흡반을 구비한 덮개체 흡착판을 구비하고,
    기판 처리 장치의 내측으로부터 상기 캐리어 카세트에 대해 기판을 출입시키기 위해, 당해 기판 처리 장치의 외측에 착탈 가능하게 장착되는 로드 포트 장치에 장착되는 매핑 장치이며,
    상기 매핑 장치는,
    아암의 수평부에 한 쌍의 광 센서가 캐리어 카세트의 측으로 돌출되어 장착되고, 상기 아암은 당해 아암의 수직부의 하단부 부근에 상기 수평부와 평행하며 상기 로드 포트 프레임의 개구보다도 낮은 위치에 설치된 수평 회전 축심을 중심으로 회전하여, 캐리어 카세트 내의 기판군에 대해 매핑 가능하게 배치되어, 승강 기구에 의해 승강되는 동시에,
    상기 매핑 장치의 L자형의 아암의 수직부는, 상기 카세트 테이블에 적재된 캐리어 카세트의 측으로 굴곡됨으로써, 매핑 시에는 전방으로 기울어지게 되는 동시에, 비매핑 시에는 수직 자세로 되도록 구성되는 것을 특징으로 하는, 매핑 장치.
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100028111A1 (en) * 2008-07-31 2010-02-04 Asyst Technologies, Inc. Variable-Size Load Port and Method for Operating the Same
JP5736686B2 (ja) 2010-08-07 2015-06-17 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート
TWI470723B (zh) * 2012-11-20 2015-01-21 Hiwin Tech Corp Wafer handling robot
CN105103349A (zh) * 2013-03-27 2015-11-25 Jsr株式会社 蓄电设备用粘结剂组合物
JP6260109B2 (ja) * 2013-05-16 2018-01-17 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート装置
US10278501B2 (en) * 2014-04-25 2019-05-07 Applied Materials, Inc. Load lock door assembly, load lock apparatus, electronic device processing systems, and methods
JP6375186B2 (ja) * 2014-09-05 2018-08-15 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板収納容器、ロードポート装置および基板処理装置
ES2774394T3 (es) * 2016-10-25 2020-07-20 Siemens Ag Procedimiento para optimizar perfiles de movimiento, procedimiento para proporcionar perfiles de movimiento, dispositivo de control, instalación y producto de programa informático
US11664256B2 (en) * 2021-12-06 2023-05-30 Shanghai GoNa Semiconductor Technology Co., Ltd. Placement system for door of wafer pod
TWI831162B (zh) * 2022-03-24 2024-02-01 上銀科技股份有限公司 裝載埠及其映射裝置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003124282A (ja) * 2001-10-16 2003-04-25 Shinko Electric Co Ltd 基板搬入出装置
JP2004343148A (ja) * 2004-08-30 2004-12-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬入・搬出装置及びこれを用いた基板処理装置
JP2006173510A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置、及びそのマッピング装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6609877B1 (en) * 2000-10-04 2003-08-26 The Boc Group, Inc. Vacuum chamber load lock structure and article transport mechanism
JP3920720B2 (ja) * 2002-03-29 2007-05-30 株式会社荏原製作所 基板受渡し方法、基板受渡し機構及び基板研磨装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003124282A (ja) * 2001-10-16 2003-04-25 Shinko Electric Co Ltd 基板搬入出装置
JP2004343148A (ja) * 2004-08-30 2004-12-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板搬入・搬出装置及びこれを用いた基板処理装置
JP2006173510A (ja) * 2004-12-20 2006-06-29 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置、及びそのマッピング装置

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