TWI539550B - A control method of each lifting mechanism of a loading port device and a cover disassembling device and a mapping device - Google Patents

Description

裝載埠裝置與其蓋體拆裝裝置及映射裝置之各昇降機構的控制方法

本發明，是關於可使裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置和映射裝置之各昇降機構的動作時間大部份重疊，能夠縮短運載匣盒之蓋體的拆裝及上述映射所需之總時間的裝載埠裝置及上述各昇降機構的控制方法。

裝載埠裝置，如專利文獻1所示，具備：為了載置運載匣盒，對垂直配置的裝載埠框架成水平配置的匣盒平台；為了對上述匣盒平台所載置的運載匣盒的開口拆裝蓋體，利用第1昇降機構使具備有蓋體上鎖暨開鎖機構和吸盤的蓋體吸附板能夠昇降地安裝在上述裝載埠框架的蓋體拆裝裝置；及可使針對面臨上述運載匣盒之開口的基板群配置成可從檢測位置退縮的基板檢測感測器，利用與上述蓋體拆裝裝置的第1昇降機構不同的第2昇降機構昇降，對上述運載匣盒各段的基板有無等進行檢測即映射的映射裝置，為了從基板處理裝置的內側對上述運載匣盒出入基板，裝載埠裝置是可拆裝地安裝在該基板處理裝置的外側。

於此，本發明對象的裝載埠裝置，是使用只在跟前側(前面側)設有開口被稱為FOUP匣盒的運載匣盒。因此，運載匣盒，是配置成其開口朝向基板處理裝置側，在利用蓋體拆裝裝置拆下蓋體後，利用映射裝置進行各段基板的映射之後，一片一片地取出基板在基板處理裝置內進行處理。接著，處理完畢的基板，是從該運載匣盒的開口依順序載置在各段之後，利用映射裝置對各段基板進行映射，然後利用蓋體拆裝裝置使運載匣盒的開口由蓋體閉塞著，將運載匣盒全體搬運至下一個處理步驟。

在蓋體拆裝裝置及映射裝置分別具有獨立昇降機構的裝載埠裝置中，當同時昇降各裝置時，於裝置的特定部份是會產生干涉，因此是在不同的時間使各裝置的昇降機構動作，藉此避免產生上述干涉。各裝置的昇降機構若為分別動作時，運載匣盒蓋體的拆裝動作及該運載匣盒內晶圓的映射動作所需的總時間，就是各裝置的昇降所需時間的和，導致作業時間變長。

基板的處理作業中，運載匣盒蓋體的拆裝及基板的映射，並不是基板處理原本必要的作業，而是為了進行原本的處理作業不可避免產生的輔助性或確認性的作業，因此就需要縮短該作業時間。

[先行技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2006-173510號公報

本發明，是針對蓋體拆裝裝置和映射裝置的各昇降機構為獨立設置的裝載埠裝置，課題為避免2個裝置的彼此干涉，盡可能使各裝置的動作時間重疊，藉此縮短總動作時間。

用以解決上述課題之申請專利範圍第1項的發明，裝載埠裝置，具備：為了載置運載匣盒，對垂直配置的裝載埠框架成水平配置的匣盒平台；為了對上述匣盒平台所載置的運載匣盒的開口拆裝蓋體，利用第1昇降機構使具備有該蓋體上鎖暨開鎖機構和吸盤的蓋體吸附板能夠昇降地安裝在上述裝載埠框架的蓋體拆裝裝置；及在L字形臂的水平部安裝有突出運載匣盒側的一對光感測器，上述臂以設置在該臂垂直部下端部附近設置成和上述水平部平行的水平轉動軸為中心稍微轉動，針對運載匣盒內的基板群配置成能夠映射，利用第2昇降機構昇降的映射裝置，該裝載埠裝置為了從基板處理裝置的內側對上述運載匣盒出入基板，可拆裝地安裝在該基板處理裝置的外側，其特徵為，上述蓋體拆裝裝置及映射裝置，具備有可檢測出蓋體吸附板配置在比安裝有映射感測器的臂只低超過設定值之值的位置，可使上述臂的轉動不會干涉到上述蓋體吸附板的干涉迴避感測裝置，在上述干涉迴避感測裝置檢測出上述設定值之後，即刻使上述主臂轉動至映射位置，開始執行映射作業，藉此使上述各裝置的動作時間大部分重疊，能夠縮短運載匣盒的蓋體拆裝及上述映射所需的總時間。

根據申請專利範圍第1項的發明時，由於蓋體拆裝裝置及映射裝置，具備有可檢測出蓋體吸附板配置在比安裝有映射感測器的臂只低超過設定值之值的位置，可使上述臂的轉動不會干涉到上述蓋體吸附板的干涉迴避感測裝置，所以在該干涉迴避感測裝置為OFF，蓋體吸附板和臂彼此不干涉的時間點，將安裝有一對映射感測器之動作停止中的臂從非映射位置轉動至映射位置之後，利用第2昇降機構降下該臂，進行運載匣盒內各基板的映射。

因此，在蓋體拆裝裝置和映射裝置的各動作時間大部份重疊的情況下，進行匣盒平台上所載置的運載匣盒的蓋體拆裝及該運載匣盒各段基板的映射，所以就能夠縮短利用獨立昇降機構昇降之蓋體拆裝裝置及映射裝置的總動作時間。

此外，申請專利範圍第2項的發明是於申請專利範圍第1項的發明中，其特徵為，上述干涉迴避感測裝置，是由：沿著上下方向具有指定長度，一體安裝在上述映射裝置或蓋體拆裝裝置其中一方昇降部的遮光板；及夾著上述遮光板配置在上述各裝置另一方昇降部的一對光感測器所構成。

根據申請專利範圍第2項的發明時，干涉迴避感測裝置構成用的遮光板長度，為了避免蓋體吸附板和臂產生干涉，形成為能夠上下方向錯開配置之最小限度的長度，利用該干涉迴避感測裝置，能夠容易避免蓋體吸附板和映射裝置的臂產生干涉，能夠使蓋體拆裝裝置和映射裝置的各動作時間大部份重疊。

另外，申請專利範圍第3項的發明是於申請專利範圍第1項或第2項的發明中，其特徵為，上述蓋體拆裝裝置的第1昇降機構是由氣缸構成，並且上述映射裝置的第2昇降機構是由滾珠螺桿機構所構成。

根據申請專利範圍第3項的發明時，蓋體拆裝裝置，需要使在上昇端對運載匣盒接近或離開的蓋體吸附板上下移動，分別只停止在該上昇端和下降端的各位置，並不需要停止在中間位置，因此氣缸是最佳驅動手段，並且安裝有映射裝置構成用之映射感測器的臂，需要一旦停止在該映射感測器比運載匣盒內最上段基板還配置在稍微上方的位置，對運載匣盒接近或離開，因此必須能夠正確檢測出一旦停止位置，滾珠螺桿機構是能夠達到該功能的最佳機構。

此外，申請專利範圍第4項的發明是使用申請專利範圍第1項所記載的裝載埠裝置，使該裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置的動作時間大部份重疊，能夠縮短運載匣盒的蓋體拆裝及上述映射所需的總時間，對上述第1及第2的各昇降機構進行控制的方法，其特徵為，在上述蓋體吸附板及臂下降時，將該蓋體吸附板的下降速度設定成和臂的下降速度相同或稍微快，上述蓋體吸附板是利用第1昇降機構以定速度連續下降，使上述一對映射感測器配置在運載匣盒內最上段所支撐之基板稍微上方的位置，在臂一旦停止的狀態下，利用上述干涉迴避感測裝置，檢測出蓋體吸附板配置在比安裝有映射感測器之臂只低超過設定值之值的位置，使該臂以不干涉上述蓋體吸附板的狀態轉動至映射位置為止之後，利用第2昇降機構開始下降該臂進行基板映射。

申請專利範圍第4項的發明是從蓋體拆裝裝置及映射裝置昇降用的第1及第2的各昇降機構的控制觀點掌握申請專利範圍第1項的發明。

另外，申請專利範圍第5項的發明是於申請專利範圍第4項的發明中，其特徵為，在上述蓋體吸附板及臂上昇時，將該蓋體吸附板的上昇速度設定成比臂的上昇速度還慢。

根據申請專利範圍第5項的發明時，一邊上昇映射裝置的臂，一邊進行運載匣盒內的各基板映射時，可避免上述臂和蓋體拆裝裝置之蓋體吸附板的干涉。

此外，申請專利範圍第6項的發明是於申請專利範圍第4項的發明中，其特徵為，上述蓋體吸附板和臂是以同一速度同時開始下降。

根據申請專利範圍第6項的發明時，即使蓋體吸附板和臂以同一速度同時開始下降，但只要在臂一旦到達停止位置之後，於利用干涉迴避感測裝置使蓋體吸附板下降至能夠避免和該臂干涉的位置之時間點，開始轉動一對映射感測器配置在映射位置即可。因此蓋體拆裝裝置和映射裝置的總動作時間，就會是動作時間較長之映射裝置的動作時間，能夠使作業時間為最短。此外，蓋體吸附板的下降速度是選擇最慢的速度，因此能夠使振動等的產生為最少，能夠提高映射精度。

另外，申請專利範圍第7項的發明是於申請專利範圍第5項的發明中，其特徵為，上述蓋體吸附板和臂是同時開始上昇。

根據申請專利範圍第7項的發明時，蓋體拆裝裝置和映射裝置的總動作時間是動作時間較長之蓋體拆裝裝置的動作時間，因此能夠使作業時間為最短。

根據本發明時，當利用分別設置在蓋體拆裝裝置和映射裝置的干涉迴避感測裝置，於映射裝置的臂一旦停止中，使該臂轉動至映射位置時，是能夠使臂的一旦停止時間為最短，能夠使各裝置的動作時間大部份重疊。其結果，是能夠在拆下運載匣盒的蓋體，進行該運載匣盒各段之末處理基板映射之後，或是在將處理完畢的基板收納在運載匣盒的各段，進行該各段基板映射之後，縮短蓋體要閉塞在運載匣盒開口時各作業所需的總時間。

[發明之最佳實施形態]

以下，是例舉最佳的實施例，針對本發明進行更詳細的說明。第1圖，是本發明相關的裝載埠裝置P正面圖，第2圖，是其背面圖，第3圖，是表示其以蓋體E拆裝為主體的左側面圖，第4圖，是表示其以映射為主體的左側面圖，第5圖，是其平面剖面圖，第6圖，是表示以映射裝置M為主體的透視圖，第7圖，是表示以映射為主體的概略平面圖，第8圖，是干涉迴避感測裝置B從側面看的模式圖。另，以下說明中，是將匣盒平台J上運載底座D的移動方向定為X方向，將蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5及安裝有映射感測器S1的主臂23的移動方向定為Z方向，將正交於X、Z兩方成的方向定為Y方向。裝載埠裝置P，是可拆裝地安裝在基板W的處理裝置F的外壁部1。即，裝載埠裝置P的裝載埠框架2，是透過複數支螺栓(未圖示)安裝在上述外壁部1。裝載埠裝置P，具備：為了載置運載匣盒K，對上述裝載埠框架2成懸臂狀安裝成水平的匣盒平台J；為了對載置在該匣盒平台J的運載匣盒K拆裝蓋體E，具備有可對運載匣盒K執行蓋體E上鎖暨開鎖的一對上鎖暨開鎖機構3和複數吸盤4之蓋體吸附板5為可昇降地安裝在上述裝載埠框架2的蓋體拆裝裝置A；及可使針對面臨上述運載匣盒K開口的基板W群配置成能夠從映射位置退讓的映射感測器S1，利用與上述蓋體拆裝裝置A的第1昇降機構U1不同的第2昇降機構U2昇降，執行上述運載匣盒K各段基板W存否等檢測之映射的應射裝置M。

在上述裝載埠框架2比匣盒平台J還上方的部份，是形成有要對配置在該平台J上的運載匣盒K開口拆裝蓋體E時，可讓蓋體E通過配置在裝載埠框架2背面側的方形狀開口6。此外，匣盒平台J上面，是配置有可朝X方向移動要定位配置運載匣盒K用的運載底座D。運載底座D上面，是設有要定位所載置之運載匣盒K用的複數定位銷10。

最初，是參照第1圖至第4圖對蓋體拆裝裝置A進行說明。蓋體拆裝裝置A的收容部，是配置在裝載埠框架2背面側的同時，蓋體吸附板5昇降用的第1昇降機構U1，是配置在裝載埠框架2的前面側，構成為可使要拆裝匣盒平台J上所載置之運載匣盒K的蓋體E之蓋體吸附板5昇降(朝Z方向的移動)的裝置。在裝載埠框架2的前面比匣盒平台J還下方的部份，是沿著Z方向安裝有朝Y方向隔著指定間隔的一對導軌7，該一對導軌7是安裝有能夠昇降的昇降體8，一方導軌7的側方是在Z方向配置有無桿氣缸9，該氣缸9的引導體9a的外側是嵌入有滑動體9b，該滑動體9b和上述昇降體8為連結著。因此，利用氣缸9的動作使滑動體9b昇降時，上述昇降體8會一起昇降。另，做為可使蓋體吸附板5昇降之第1昇降機構U1的無桿氣缸9，是構成為利用空氣壓使收容在引導體9a內的磁鐵體(未圖示)沿著該引導體9a朝正反方向移動，藉此利用磁氣吸引力使滑動體9b移動。蓋體吸附板5的上昇端及下降端的各位置，是由無桿氣缸9之引導體9a內的上述磁鐵體上昇端及下降端的各位置決定。在上述昇降體8的上面，是安裝有可朝X方向移動，於裝載埠框架2的背面側透過一對支撐桿11支撐蓋體吸附板5的蓋體吸附板支撐體12。蓋體吸附板支撐體12，是由Y方向隔著指定間隔的一對支撐體單體12a構成，各支撐體單體12a，是插通在裝載埠框架2上形成在Z方向的一對插通長孔13，插通至該裝載埠框架2的背面側。基於此，當利用收納在昇降體8內的驅動機構(未圖示)使蓋體吸附板支撐體12朝X方向移動時，如第3圖所示，蓋體吸附板5，是會進退在已經離開裝載埠框架2背面的待機位置和一部份已經進入該裝載埠框架2之開口6的拆裝位置，執行運載匣盒K開口閉塞用之蓋體E的拆裝。另，配置在匣盒平台J上，對運載匣盒K進行配置的運載底座D，是利用收納在該匣盒平台J內的驅動機構(未圖示)朝X方向進退，在最接近裝載埠框架2的位置執行蓋體E的拆裝。

其次，是參照第1圖至第6圖對蓋體E拆下後的運載匣盒K各段是否收納有基板W等檢測即映射執行用的映射裝置M進行說明。映射裝置M，具備：利用配置在裝載埠框架2表面之Z方向的導軌21及第2昇降機構U2朝該Z方向往復移動(昇降)的昇降體22；由上述昇降體22支撐成能夠以設置在Y方向的轉動軸心C為中心往復轉動在指定角度內，於配置在Y方向的水平部23a安裝有一對映射感測器s1呈大致L字形的主臂23；於配置在大致X方向一體安裝在上述主臂23基端部之貫通部23b的配置在裝載埠框架2表面側的部份，安裝成對該貫通部23b朝斜下方傾斜的動作臂24；及一體安裝在上述昇降體22。桿25a連結在上述動作臂24前端部，可使上述主臂23以轉動軸心C為中心轉動的氣缸25。

主臂23，是由三個部份，即，配置在Y方向的水平部23a；配置在大致X方向的貫通部23b；及連結上述水平部23a和上述貫通部23b，配置在大致Z方向的垂直部23c構成，上述貫通部23b，是以貫通狀態插通在裝載埠框架2上設置在Z方向的插通長孔20，此外，水平部23a及垂直部23c，是配置在裝載埠框架2的背面側。於配置在裝載埠框架2背面側的水平部23a，是水平配置有Y方向隔著指定間隔朝運載匣盒K側突出的一對突出部23d，於各突出部23d前端部的相向內側面，是相向安裝有由光感測器形成的一對映射感測器S1。基於此，如第4圖及第7圖所示，於運載匣盒K位於基板W出入位置的狀態，在氣缸25的桿25a為縮入的狀態下，安裝在主臂23之水平部23a之各突出部23d的一對映射感測器S1，是對運載匣盒K成配置在外部，於該狀態下，使氣缸25的桿25a突出時，主臂23的全體會以轉動軸心C為中心轉動，如第7圖實線所示，主臂23的垂直部23c會成為稍微前傾姿勢，上述一對映射感測器S1，是會從運載匣盒K的開口侵入內部，能夠檢測即映射該運載匣盒K各段所支撐的基板W存否等。

此外，昇降體22昇降用的第2昇降機構U2，是由滾珠螺桿機構所構成。第2昇降機構U2構成用的滾珠螺桿26的下端部，是可旋轉地支撐在裝載埠框架2上所固定的支撐塊體27，該滾珠螺桿26的中間部，是透過滾珠螺帽(未圖示)支撐在由導軌21引導昇降的昇降體22，該滾珠螺桿26的上端部是沒有支撐。該滾珠螺桿26，是由配置在上述支撐塊體27下方的步進馬達28控制旋轉數驅動旋轉。安裝在主臂23之水平部23a之各突出部24d的一對映射感測器S1的上昇端及下降端的各位置，換句話說昇降體22的上昇端及 下降端的各位置，如第7圖所示，是由分別安裝在裝載埠框架2表面之昇降體22之上昇端及下降端之各位置所對應位置的各感測器S11、S12；及一體安裝在上述昇降體22，可通過該各感測器S11、S12之間的遮光板29所構成的感測裝置檢測，根據該檢測訊號執行步進馬達28的停止。

另外，在水平部23a的各突出部23d安裝有一對映射感測器S1的主臂23，是於下降或上昇的途中，在一對映射感測器S1到達運載匣盒K最上段所支撐之基板W稍微上方位置的時間點，是需要一旦停止，使該主臂23配置在稍微前傾姿勢的映射位置，或返回非映射位置。上述主臂23的一旦停止位置Q，是從主臂23之上昇端或下降端的各位置起算可事先辨別的位置，因此藉由檢測步進馬達28的旋轉數(累計脈衝數)就能夠控制主臂23的上述一旦停止位置Q。

此外，是在運載匣盒K最接近裝載埠框架2的狀態，使配置在上昇端位置的蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5對運載匣盒K前進，利用上鎖暨開鎖機構3解除蓋體E的上鎖，以複數吸盤4吸附著該蓋體E的狀態，使蓋體吸附板5後退至原位置[第9(a)圖]。然後，使蓋體拆裝裝置A和映射裝置M都下降至一旦停止位置Q，若該蓋體拆裝裝置A持續下降的同時，使映射裝置M的主臂23轉動成稍微前傾姿勢時，則該主臂23的水平部23a和蓋體吸附板5的上端部會彼此干涉，以致無法使主臂23轉動至能夠映射的前進位置。

於是，本發明為了避免上述干涉，是對蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5針對映射裝置M相對性下降至能夠避免上述干涉的位置進行檢測，使安裝有一對映射感測器S1的主臂23稍微轉動，將該一對映射感測器S1配置在映射位置，開始執行運載匣盒K內各基板W的映射，藉此使蓋體拆裝裝置A及映射裝置M各動作時間的重疊時間盡可能加長，達到能夠縮短二個各裝置A、M的總動作時間。即，如第1圖、第5圖及第8圖所示，蓋體拆裝裝置A之昇降體8的映射裝置M側的端部，是透過托座31安裝有由光感測器形成的一對干涉迴避感測器S2，插入在該一對干涉迴避感測器S2之間的溝槽部執行遮光的遮光板32是安裝在映射裝置M的昇降體22，由一對干涉迴避感測器S2和遮光板32構成干涉迴避感測裝置B。即，上述托座31，是一體安裝有凹部朝向前面側的感測器安裝塊33，在形成該感測器安裝塊33凹部的各相向壁面是相向安裝有一對干涉迴避感測器S2(參照第5圖)。遮光板32是對裝載埠框架2成垂直配置，該遮光板32的長度(L)，是基於蓋體拆裝裝置A對停止中的映射裝置M成下降，以致針對映射裝置M相對性蓋體拆裝裝置A為配置在下方，即，針對映射裝置M的主臂23的水平部23a相對性蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5為配置在下方，因此是設定成能夠避免上述干涉的長度。

另，第11圖中所例示的是執行蓋體拆裝裝置A或映射裝置M之各昇降機構控制等的控制裝置(控制器)100。該控制裝置100，是下載有當輸入有來自於映射感測器S1、干涉迴避感測器S2、各感測器S11、S12等的訊號時，能夠對蓋體拆裝裝置A的氣缸9、映射裝置M的氣缸25、滾珠螺桿機構的步進馬達28，以及對蓋體吸附板支撐體12朝X方向驅動用的驅動部、運載底座D朝X方向驅動用的驅動部、其他必要的部位在所需時機輸出控制訊號的程式。

其次，是參照第9圖及第10圖，說明拆下匣盒平台J上所載置之運載匣盒K的蓋體E，使蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5及映射裝置M的主臂23下降的同時，利用該映射裝置M進行該運載匣盒K內各段所支撐之基板映射的狀況。在蓋體拆裝裝置A的蓋體吸附板5及映射裝置M的主臂23下降時，該蓋體吸附板5的下降速度V1，是需設定和安裝有映射感測器S1之主臂23的下降速度V2相同或稍微快。實施例中，為了要容易說明及圖示，是將蓋體吸附板5的下降速度V1和主臂23的下降速度V2設定成相同。第9(a)圖，是運載底座D的前進，使運載匣盒K最接近裝載埠框架2，使蓋體吸附板5及主臂23雙方位於上昇端的狀態。於該狀態，使蓋體吸附板5前進，將各吸盤4緊貼於蓋體E前面的同時，利用上鎖暨開鎖機構3解除蓋體E對運載匣盒K的上鎖，然後，使吸附著蓋體E的蓋體吸附板5後退。然後，利用第1昇降機構U1即氣缸9的動作，使吸附著蓋體E的蓋體吸附板5以下降速度V1開始下降的同時，利用第2昇降機構U2即滾珠螺桿機構，使映射裝置M的主臂23也以相同的下降速度V2(=V1)開始下降，該蓋體吸附板5，是直接持續下降至下降端，但主臂23是一旦停止在運載匣盒K內最上段的基板W還稍微上方的一旦停止位置Q[第9(b)圖]。上述一旦停止位置Q，如以上所述，是可利用滾珠螺桿機構構成用之步進馬達28的累計脈衝數檢測出位置。

接著，相對於一旦停止位置Q停止中的主臂23，蓋體吸附板5是持續下降，當干涉迴避感測裝置B構成用的蓋體拆裝裝置A側的干涉迴避感測器S2通過映射裝置M側的遮光板32的下端，使干涉迴避感測裝置B成為「OFF」時，即，相對於主臂23使蓋體吸附板5只以設定值相對性配置在下方，在蓋體吸附板5到達不干涉主臂23前傾動作之位置的時間點，突出映射裝置M的氣缸25的桿25a，使主臂23成為稍微前傾姿勢將一對映射感測器S1進入至運載匣盒K內的映射位置，形成為該一對映射感測器S1能夠執行基板W映射的狀態[第9(c)圖]。於該狀態，再度，利用步進馬達28的啟動使主臂23開始下降，執行運載匣盒K內各段基板W的映射，在一對映射感測器S1到達最下段基板W稍微下方的時間點，就停止步進馬達28，停止主臂23的下降[第9(d)圖]。另，一對映射感測器S1到達最下段基板W稍微下方的位置，是映射裝置M的下降端位置，於利用安裝在主臂23之水平部23a的一對映射感測器S1執行基板W映射的途中，蓋體吸附板5是到達下降端。最後，是使氣缸25的桿25a縮入，將主臂23返回原位置(非映射位置)[第9(e)圖]。另，蓋體拆裝裝置A及映射裝置M之下降端位置的Z方向(上下方向)相對性配置關係，是和上昇端位置相同，因此於映射裝置M的昇降體22的下降途中，利用干涉迴避感測裝置B的遮光板32是能夠使已經停止在下降端位置之蓋體拆裝裝置A的昇降體8上所安裝的干涉迴避感測器S2遮光，但從運載匣盒K拆下蓋體E，是會讓干涉迴避感測裝置B設定成無效，所以映射裝置M的主臂23就能夠毫無障礙下降至下降端位置。

因此，如第10圖所示，蓋體拆裝裝置A和映射裝置M，因是以相同的下降速度同時開始下降，所以兩裝置A、M的總動作時間，是映射裝置M的動作時間(T1)。此外，映射裝置M之一旦停止位置Q的停止時間(T0)，是停止結束時間，即，主臂23轉動開始時刻之映射裝置M的高度差(L)，和，干涉迴避感測裝置B構成用的遮光板32的長度(L)成為相同的時間。此外，上述實施例中，蓋體吸附板5的下降速度V1和主臂23的下降速度V2是相同，換句話說，是將兩裝置A、M的總動作時間是維持成一定，將而蓋體吸附板5的下降速度V1為最少，因此就能夠使該蓋體吸附板5下降產生的振動等抑制成最少，具有能夠提高映射精度的優點。

接著，在運載匣盒K內的各基板W映射結束後，該各基板W，是從該運載匣盒K取出後，送入至基板處理裝置F內施以指定處理的同時，在空的該運載匣盒K內收納處理完畢的其他基板W。

另一方面，蓋體吸附板5及主臂23的上昇時，該蓋體吸附板5的上昇速度V3，為了避免主臂23和蓋體吸附板5的干涉，是設定成比主臂23的上昇速度V2=V1還慢(V2>V3)。首先，是於映射裝置M的下降端位置，使一對氣缸25的桿25a突出，使主臂23成為稍微前傾姿勢，將一對映射感測器S1配置在運載挾盒K內的各基板W映射位置。然後，使步進馬達28旋轉成和其下降時相反方向，使主臂23上昇，藉此進行各基板W的映射，當一對映射感測器S1到達最上段基板W稍微上方的一旦停止位置Q時，步進馬達28會停止，之後即刻氣缸25的桿25a會縮入，主臂23會返回非映射位置。然後，步進馬達28會再度啟動，使主臂23到達上昇端位置。蓋體拆裝裝置A的氣缸9，是和映射裝置M的映射開始同時動作。即，蓋體吸附板5，是和映射裝置M的主臂23同時，開始上昇，但因為上述的速度差，所以主臂23和蓋體吸附板5的高度方向位移的差，是會隨著時間經過而變大，該位移差的累積，是會導致即使主臂23於一旦停止位置Q稍微停止，在返回非映射位置之後，才開始朝上昇端位置上昇，但主臂23還是會比蓋體吸附板5先到達該上昇端位置。於上昇端位置，吸附著蓋體E的蓋體吸附板5，是對運載匣盒K成前進，使運載匣盒K的開口由蓋體E閉塞著。

此外，蓋體吸附板5的下降速度V1及其上昇速度V3，是和映射裝置M的主臂23的下降速度V2及上昇速度V2有關，只要能夠滿足上述條件，是可選擇任意的速度，但條件為要和主臂23的下降速度V2相同或較快之蓋體吸附板5的下降速度V1，從防止振動產生的觀點來看，最好是以接近主臂23的下降速度V2為佳。另一方面，蓋體吸附板5的上昇速度V3，條件雖然是要比主臂23的上昇速度V2還慢，但為了縮短蓋體拆裝裝置A及映射裝置M的總動作時間，最好是以接近主臂23的上昇速度V2為佳。

A．．．蓋體拆裝裝置

B．．．干涉迴避感測裝置

E．．．蓋體

F．．．基板處理裝置

J．．．匣盒平台

K．．．運載匣盒

M．．．映射裝置

P．．．裝載埠裝置

Q．．．主臂的一旦停止位置

S1．．．映射感測器

S2．．．干涉迴避感測器(干涉迴避感測裝置)

V1．．．蓋體吸附板的下降速度

V2．．．主臂的下降速度(上昇速度)

V3．．．蓋體吸附板的上昇速度

2．．．裝載埠框架

3．．．上鎖暨開鎖機構

4．．．吸盤

5．．．蓋體吸附板

9．．．無桿氣缸(第1昇降機構)

23．．．主臂(臂)

26．．．滾珠螺桿(第2昇降機構)

28．．．步進馬達(第2昇降機構)

32．．．遮光板(干涉迴避感測裝置)

100．．．控制裝置(控制器)

第1圖為本發明相關的裝載埠裝置P正面圖。

第2圖為本發明相關的裝載埠裝置P背面圖。

第3圖為表示本發明相關的裝載埠裝置P以蓋體E拆裝為主體的左側面圖。

第4圖為表示本發明相關的裝載埠裝置P以映射為主體的左側面圖。

第5圖為本發明相關的裝載埠裝置P以映射為主體的平面剖面圖。

第6圖為表示以映射裝置M為主體的透視圖。

第7圖為表示以映射為主體的概略平面圖。

第8圖為干涉迴避感測裝置B從側面看的模式圖。

第9(a)～(e)圖為本發明的作用說明圖。

第10圖為表示蓋體拆裝裝置A及映射裝置M下降時及上昇時之時間相對Z方向(上下方向)的位置關係圖。

第11圖為表示執行本發明相關的裝載埠裝置P實施形態控制的控制裝置(控制器)圖。

E．．．蓋體

J．．．匣盒平台

K．．．運載匣盒

5．．．蓋體吸附板

23．．．主臂

23c．．．垂直部

Claims (7)

1. 一種裝載埠裝置，具備：為了載置運載匣盒，對垂直配置的裝載埠框架成水平配置的匣盒平台；為了對上述匣盒平台所載置的運載匣盒的開口拆裝蓋體，利用第1昇降機構使具備有蓋體上鎖暨開鎖機構和吸盤的蓋體吸附板能夠昇降地安裝在上述裝載埠框架的蓋體拆裝裝置；及在L字形臂的水平部安裝有突出運載匣盒側的一對光感測器，上述臂以設置在該臂垂直部下端部附近設置成和上述水平部平行的水平轉動軸為中心稍微轉動，針對運載匣盒內的基板群配置成能夠映射，利用第2昇降機構昇降的映射裝置，該裝載埠裝置為了從基板處理裝置的內側對上述運載匣盒出入基板，可拆裝地安裝在該基板處理裝置的外側，其特徵為：上述蓋體拆裝裝置及映射裝置，具備有檢測出蓋體吸附板配置在比安裝有映射感測器的臂只低超過設定值之值的位置，可使上述臂的轉動不會干涉到上述蓋體吸附板的干涉迴避感測裝置，在上述干涉迴避感測裝置檢測出上述設定值之後，即刻使上述臂轉動至映射位置為止，開始執行映射作業，藉此使上述各裝置的動作時間大部分重疊，能夠縮短運載匣盒的蓋體拆裝及上述映射所需的總時間。
2. 如申請專利範圍第1項所記載的裝載埠裝置，其中，上述干涉迴避感測裝置，是由：沿著上下方向具有指定長度，一體安裝在上述映射裝置或蓋體拆裝裝置其中一方昇降部的遮光板；及夾著上述遮光板配置在上述各裝置另一方昇降部的一對光感測器所構成。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所記載的裝載埠裝置，其中，上述蓋體拆裝裝置的第1昇降機構是由氣缸構成，並且上述映射裝置的第2昇降機構是由滾珠螺桿機構所構成。
4. 一種裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置之各昇降機構的控制方法，係使用如申請專利範圍第1項所記載的裝載埠裝置，使該裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置的動作時間大部份重疊，能夠縮短運載匣盒的蓋體拆裝及上述映射所需的總時間，對上述第1及第2的各昇降機構進行控制的方法，其特徵為：在上述蓋體吸附板及臂下降時，將該蓋體吸附板的下降速度設定成和臂的下降速度相同或稍微快，上述蓋體吸附板是利用第1昇降機構以定速度連續下降，使上述一對映射感測器配置在運載匣盒內最上段所支撐之基板稍微上方的位置，在臂一旦停止的狀態下，利用上述干涉迴避感測裝置，檢測出蓋體吸附板配置在比安裝有映射感測器之臂只低超過設定值之值的位置，使該臂以不干涉上述蓋體吸附板的狀態轉動至映射位置為止之後，利用第2昇降機構開始下降該臂進行基板映射。
5. 如申請專利範圍第4項所記載的裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置之各昇降機構的控制方法，其中，在上述蓋體吸附板及臂上昇時，將該蓋體吸附板的上昇速度設定成比臂的上昇速度還慢。
6. 如申請專利範圍第4項所記載的裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置之各昇降機構的控制方法，其中，上述蓋體吸附板和臂是以同一速度同時開始下降。
7. 如申請專利範圍第5項所記載的裝載埠裝置構成用的蓋體拆裝裝置及映射裝置之各昇降機構的控制方法，其中，上述蓋體吸附板和臂是同時開始上昇。