KR101926787B1 - 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법 - Google Patents

패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101926787B1
KR101926787B1 KR1020170087837A KR20170087837A KR101926787B1 KR 101926787 B1 KR101926787 B1 KR 101926787B1 KR 1020170087837 A KR1020170087837 A KR 1020170087837A KR 20170087837 A KR20170087837 A KR 20170087837A KR 101926787 B1 KR101926787 B1 KR 101926787B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
unit
sensor
light
detection sensor
Prior art date
Application number
KR1020170087837A
Other languages
English (en)
Inventor
오진호
장기남
Original Assignee
주식회사 라온테크
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 라온테크 filed Critical 주식회사 라온테크
Priority to KR1020170087837A priority Critical patent/KR101926787B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101926787B1 publication Critical patent/KR101926787B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/905—Control arrangements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0266—Control or detection relating to the load carrier(s)
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors
    • B65G2203/044—Optical

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

패널을 정밀하게 이송하는 장치와 이를 이용한 패널 이송 방법이 제공된다. 패널 이송 장치는 사각형 패널 형태의 작업대상을 장치 상에서 정해진 배치상태로 파지하고 이송할 수 있다. 패널 이송 장치는 투수광형 센서로 형성된 센서를 구비한다. 또한 패널 이송 장치는 패널 이송 중에 패널의 유무를 감지하는 센서를 추가로 구비한다. 제공된 패널 이송 장치에 의하여 종래에 비하여 패널의 정밀한 이송이 가능하다.

Description

패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법{Apparatus for precisely delivering panel and method for delivering panel using the same}
본 발명은 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법에 관한 것으로서, 더 구체적으로는, 사각형 패널 형태의 작업대상을 장치 상에서 정해진 배치상태로 파지하고 이송할 수 있는 장치 및 이를 이용한 패널의 이송 방법에 관한 것이다.
종래에 패널 형태를 갖는 작업대상을 이송하기 위한 다양한 장치가 제공되어 왔다. 예를 들어 디스플레이 패널을 제조하는 공정에서 사각형 패널을 이송하기 위한 장치들이 제공되었다. 최근에는, 패널 레벨 패키징 (panel level packaging) 공정이 개발되면서, 종래에 비하여 더 정밀한 수준으로 사각형 패널을 이송하는 장치가 요구되고 있다.
도 1에는 패널 레벨 패키징에서 이용되는 패널 이송 장치의 일 예가 도시되어 있다. 패널 이송 장치는 패널 파지부(2)를 구비하고, 패널 파지부(2)의 양측에는 센서부(3)가 마련된다. 센서부(3)는 패널 파지부(2)가 패널(1)에 접근할 때 패널(1)의 전방 가장자리를 감지하고, 또한 패널(1)의 측부 가장자리를 감지하도록 구성된다. 센서부(3)는 한정반사형 센서가 이용된다. 그러나 한정반사형 센서는 광의 퍼짐과 높이 관계로 인한 오차가 발생할 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 대상물의 좌우 높이 편차에 의하여 감지가 안 될 수 있다. 또한, 반사 거리에 따라 대상물이 아닌 FOUP 바닥부 혹은 상부가 감지되거나, 검출대상물이 아닌 바로 아래의 대상물이 감지되어 오작동 될 수 있고, 검출대상물의 색상에 따라 빛의 반사 광량이 달라 검정색 계열은 대상물 검출 에러 가능성이 높으며, 센서 광량 및 감도 조절이 어려운 등의 단점이 있다. 이에 따라, 패널 레벨 패키징 공정에서 요구되는 수준의 정밀도로 패널을 이송하기 어렵다는 문제가 있다.
또한, 한정반사형 센서를 이용하는 패널 이송 장치에서는 이러한 단점에서 비롯되는 문제를 방지하기 위하여, 패널의 가장자리에 대응되는 위치에 센서가 도달하더라도 거기서 이동을 중지하지 않고 소정의 거리를 더 이동함으로써 발생할 수 있는 오차를 방지한다. 이에 따라, 패널 이송 작업에 소요되는 시간이 증가하고, 전체 공정의 생산성이 저하되는 문제가 있다.
또한, 한정반사형 센서를 도시된 예에서와 같이 위쪽을 향하도록 배치하는 경우 이물질 등으로 인해 센서가 오염되어 오작동할 우려가 있다.
KR 2016-0066741 A
본 발명은 전술한 종래의 패널 이송 장치의 문제를 해결하기 위한 것으로서, 패널 레벨 패키징 공정에서 요구되는 정밀한 이송이 가능한 패널 이송 장치 및 이송 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 정밀도가 높은 센서를 이용하여 패널 이송 공정에 소요되는 시간을 줄임으로써, 공정의 생산성을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
전술한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 형태에 따라, 패널을 이송하는 장치로서, 패널 파지부; 상기 패널 파지부가 패널에 정해진 방향에서 접근하는지 여부를 감지하기 위한 접근 감지 센서부; 패널의 측부 가장자리를 감지하기 위한 측부 감지 센서부; 상기 패널 파지부를, 패널에 대하여 전후방향 및 좌우방향로 이동시키고, 또한 패널에 대하여 회전하도록 작동시키는 구동부; 및, 상기 접근 감지 센서부 또는 상기 측부 감지 센서부에서 감지된 결과에 기초하여, 상기 구동부를 제어하여 상기 패널 파지부의 작동을 조정하는 제어부를 포함하는 패널 이송 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 형태에 따라, 전술한 패널 이송 장치를 이용하여 패널을 이송하는 방법으로서, (a) 상기 패널 파지부를 패널 방향으로 전진시키는 단계; (b) 상기 접근 감지 센서부에 의하여 상기 패널 파지부가 정해진 방향에서 패널에 접근하는지 여부를 감지하는 단계; (c) 상기 측부 감지 센서에 의하여 패널의 일측 가장자리가 감지되는 단계; (d) 상기 측부 감지 센서에 의하여 패널의 타측 가장자리가 감지되는 단계; (e) 상기 패널 파지부의 중앙선이 상기 패널의 중앙선과 정렬되는 위치로 상기 패널 파지부를 이동시키는 단계; (f) 상기 접근 감지 센서 및 상기 측부 감지 센서 중의 적어도 하나를 간섭이 일어나지 않도록 배치시키는 단계; (g) 상기 패널 파지부가 패널을 파지하도록 하는 단계; 및, (h) 상기 패널 파지부를 후퇴시키는 단계를 포함하는 패널 이송 방법이 제공된다.
본 발명에 따라, 패널 레벨 패키징 공정에서 요구되는 정밀한 이송이 가능한 패널 이송 장치 및 이송 방법이 제공된다.
또한, 본 발명에 따른 패널 이송 장치는 정밀도가 높은 센서를 이용하여 패널 이송 공정에 소요되는 시간을 줄임으로써, 공정의 생산성을 향상시킨다.
도 1은 종래의 패널 레벨 패키징 공정에서 이용되는 패널 이송 장치의 패널 파지부를 도시하는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 장치에서 사용되는 한정반사형 센서의 단점을 설명하기 위한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따르는 패널 이송 장치의 사시도.
도 4는 도 3에 도시된 장치의 핸드부를 도시하는 도면.
도 5는 도 4의 영역 B를 확대하여 도시하는 도면.
도 6은 도 3에 도시된 패널 이송 장치의 동작 흐름을 도시하는 흐름도.
도 7은 도 3에 도시된 패널 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 도면.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따르는 패널 이송 장치의 사시도.
도 9는 도 8에 도시된 장치의 핸드부를 도시하는 도면.
도 10은 도 9에 도시된 패널 파지부의 다른쪽 면을 도시하는 도면.
도 11은 도 9의 영역 C를 확대하여 도시하는 도면.
도 12는 도 8에 도시된 패널 이송 장치의 동작을 설명하기 위한 도면.
아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 이하의 설명에서는 구체적인 사항들이 나타나 있는데 이는 본 발명의 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐 이러한 사항들이 본 발명의 범위 내에서 소정의 변형이나 혹은 변경이 이루어질 수 있음은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에 그 상세한 설명을 생략한다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호들은 원칙적으로 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 3에는 본 발명의 일 실시예에 따르는 패널 이송 장치가 도시되어 있다. 패널 이송 장치(10)는 본체부(100), 아암부(200) 및 센서부(300)를 포함한다.
본체부(100)는 아암부(200)를 지지하며, 내부에 아암부(200)를 구동하기 위한 기구물을 수용한다. 아암부(200)를 구동하기 위한 기구물에는 모터, 감속기어 등이 포함된다.
아암부(200)는 본체부(100) 위에 배치되며 패널 이송을 위하여 필요한 작동을 제공한다. 아암부(200)는 본체부와 작동가능하게 연결되는 제1 아암(210), 제1 아암(210)과 작동가능하게 연결되는 제2 아암(220), 제2 아암과 작동가능하게 연결되는 핸드부(230), 핸드부(230)의 작동을 제어하기 위한 구동부와 제어부를 수용하는 제어박스(240)를 포함한다. 도시된 실시예에서 핸드부(230)는 좌측 핸드(231)와 우측 핸드(232)를 포함하며, 각 핸드에는 진공을 이용하여 패널을 흡착하기 위한 흡착부(233)가 마련된다. 핸드부(230)는 패널을 그 위에 올려 흡착부(233)를 이용하여 파지한 상태로 지지할 수 있다.
아암부(200)는 본체부(100)에 대하여 작동가능하게 연결되고, 핸드부(230)는 아암부(200)에 대하여 작동가능하게 연결되므로, 결과적으로 핸드부(230)는 본체부(100)에 대하여 수평방향 및 수직방향 이동은 물론 정해진 회전축에 대한 회전운동이 가능하다. 핸드부(230)가 요구되는 작동을 제공할 수 있도록 본체부(100)와 아암부(200), 아암부(200)와 핸드부(230)를 작동가능하게 연결하는 방법은 다양하며 이미 알려져 있는 기술이므로 보다 상세한 설명을 생략한다.
센서부(300)는 좌우 핸드(231, 232)에 각각 하나씩 마련되고 패널의 가장자리를 감지하여 핸드부(230)의 동작을 제어할 수 있도록 하기 위한 가장자리 감지용 센서부(310, 320)와 핸드부(230)에 패널이 파지된 상태인지 여부를 감지하기 위한 패널 유무 감지 센서(330)를 포함한다. 센서부(300)에 대한 보다 구체적인 사항은 후술한다.
도 4에는 도 3에 도시된 패널 이송 장치의 핸드부의 평면도와 우측면도가 도시되어 있으며, 도 5에는 도 4의 영역 B의 확대도가 나타나 있다.
도시된 실시예에서, 가장자리 감지용 센서부(310, 320)는 각 핸드(231, 232)에 설치되며, 패널 유무 감지 센서(330)는 좌측 핸드(232)에 설치된다. 가장자리 감지용 센서부(310, 320)는 대칭인 구조를 갖는 점을 제외하고 동일한 구성과 작용을 제공한다. 따라서, 이하에서는 우측 핸드(231)에 설치된 가장자리 감지용 센서부(310)를 기준으로 설명한다.
가장자리 감지용 센서부(310)는, 핸드부(230)가 패널에 접근할 때 패널의 전방 가장자리를 감지하기 위한 접근감지센서(312) 및 패널의 측부 가장자리를 감지하기 위한 측부감지센서(314)를 포함한다. 도시된 실시예에서, 측부감지센서는 각각의 가장자리 감지용 센서부(310, 320)에서 접근감지센서에 대해 바깥쪽, 즉, 핸드부에서 멀어지는 쪽에 배치된다. 접근감지센서(312)와 측부감지센서(314)는 투수광형 센서로 형성된다. 이에 따라, 각 센서는 투광부와 수광부를 구비한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 예를 들어 측부감지센서(314)는 투광부(314a)와 수광부(314b)를 구비한다. 투수광부 센서는 투광부에서 발생된 광(310')을 수광부에서 감지하는 방식으로서, 투광부와 수광부 사이에 검출대상물이 존재하는 경우 광이 수광부로 전달되는 양이 달라지고 수광부의 출력상태가 변화됨으로써 검출대상물의 유무를 감지한다. 도시된 바와 같이, 수광부(314b)는 아래쪽을 향하도록 배치되는 것이 좋다. 수광부가 위쪽을 향하도록 배치되면 먼지 또는 이물질에 의한 오작동과 외란광에 의한 오작동 소지가 있기 때문이다. 본 실시예에서, 핸드부(230)가 검출대상물인 패널(1)로 접근하면 패널(1)의 가장자리가 투광부(314a)와 수광부(314b) 사이에 배치되고 수광부(314b)의 출력상태가 변화하여 패널(1)을 감지할 수 있다. 도 5에서는 측부감지센서(314)에 기초하여 설명하였으나, 접근감지센서(312)도 동일한 방식으로 형성되고 작동한다.
가장자리 감지용 센서부(310, 320)는 핸드부(230)에서 장치에 가까운 쪽에 배치된다. 이로써, 핸드부(230)가 패널(1)의 하부로 충분히 진행한 후에 접근감지센서(312)에 의하여 감지가 이루어지게 된다. 여기서 '충분'하다는 표현은 핸드부(230)가 패널(1)을 파지하여 이송할 수 있는 위치에 도달한 것을 의미한다. 또한, 접근감지센서는 우측 핸드(231) 및 좌측 핸드(232)에 서로 소정의 거리를 두고 배치되어 있기 때문에, 평면도에서 보았을 때 패널(1)의 전방 가장자리가 핸드부(230)에 대하여 기울어져 있는 경우 우측 접근감지센서와 좌측 접근감지센서에서 패널의 전방 가장자리를 감지하는 시점에 차이가 발생한다. 즉, 서로 거리를 두고 배치된 2개의 접근감지센서를 이용하여, 핸드부(230)가 패널(1)의 전방 가장자리에 대해 직교하는 방향으로 접근하고 있는지 여부를 파악할 수 있다. 우측 접근감지센서와 좌측 접근감지센서의 감지 시점의 차이 및 핸드부(230)의 이동속도를 알면 핸드부(230)에 대해 패널(1)의 전방 가장자리가 얼마나 기울어져 있는지 여부를 파악할 수 있다. 이는 후술하는 패널 이송 장치의 제어 방법에서 이용된다.
핸드부(230)가 패널(1) 쪽으로 진행하는 방향이 아니라 이와 직교하는 패널(1)의 측부 방향으로 이동하는 경우, 측부감지센서(314)는 패널(1)의 측부 가장자리의 위치를 파악할 수 있다. 즉, 핸드부(230)가 패널의 측부 방향으로 이동하는 중, 측부감지센서(314)의 투광부(134a)로부터 수광부(314b)로 향하는 광이 증가하면, 측부감지센서(314)가 패널(1)의 측부 가장자리를 통과했음을 알 수 있다. 마찬가지로, 이는 후술하는 패널 이송 장치의 제어 방법에서 이용된다.
접근감지센서와 측부감지센서로서 투수광형 센서를 이용함으로써, 핸드부(230)에 대한 패널의 정확한 위치 및 배치상태를 한정반사형 센서과 대비하여 정밀한 수준으로 파악할 수 있다.
도시된 실시예에서, 패널 유무 감지 센서(330)는 좌측 핸드(232)에 설치된다. 패널 유무 감지 센서(330)로서 한정반사형 센서가 이용될 수 있다. 패널 유무 감지 센서(330)는 핸드부(230) 상에 패널(1)이 파지된 상태인지 여부를 파악하기 위하여 이용된다. 접근감지센서(310)와 측부감지센서(320)는 핸드부(230)에 대한 패널(1)의 위치를 정밀하게 파악하기 위하여 투수광형 센서를 이용하였지만, 패널 유무 감지 센서(330)는 패널 이송 장치의 정밀한 이송과는 무관한 센서이며 핸드부(230)에 의하여 패널(1)이 파지되어 있는지 여부만을 파악하면 되므로, 상대적으로 정밀도가 떨어지는 한정반사형 센서를 이용하여도 충분하다.
도 6에는 전술한 실시예에 따른 패널 이송 장치(10)에 의하여 패널(1)이 이송되는 과정이 흐름도로서 도시되어 있다.
패널 이송 장치(10)가 새로운 패널을 이송하라는 명령을 받으면, 핸드부(230)가 이송대상인 패널(1)을 향하여 접근한다. 예를 들어, 패널 레벨 패키징 공정에서는 복수개의 패널이 수직 방향으로 소정의 간격을 두고 FOUP 등의 용기 내에 적재되어 있다. 따라서, 이송대상이 아닌 다른 패널과 간섭을 일으키지 않도록 핸드부(230)를 배치한 후에 이송대상 패널 쪽으로 전진시킨다(S100).
핸드부(230)가 이송대상인 패널로 접근하면 좌우 핸드(231, 232)는 패널의 아래쪽 공간으로 진입한다. 가장자리 감지용 센서부(310, 320)는 각 핸드의 뒤쪽, 즉, 장비에 가까운 쪽에 설치되어 있으므로, 좌우 핸드가 패널의 아래쪽 공간에서 패널을 파지할 수 있는 위치까지 진입하기 전에는 패널의 가장자리를 감지하지 않는다. 좌우 핸드가 충분히 진입하면 좌우의 접근감지센서는 각각 패널의 전방 가장자리를 감지한다(S110).
다음으로, 좌우의 접근감지센서에 의하여 패널의 전방 가장자리를 감지할 때 감지된 시점에 차이가 존재하는지 여부를 파악한다(S120). 좌우의 접근감지센서에 의하여 감지된 시점에 차이가 존재하면 패널(1)에 대한 핸드부(230)의 위치를 보정한다. 전술한 바와 같이, 핸드부(230)의 접근 속도와 감지된 시점의 차이에 대한 정보에 기초하면, 패널과 핸드부 사이의 상대적 회전각도를 파악할 수 있다.
핸드부(230)는 파악된 회전각도에 기초하여 회전된다(S130). 핸드부(230)의 회전은 핸드부만 독립적으로 이루어질 수도 있고, 2개의 아암과 협력하여 이루어질 수도 있다.
단계 S120에서 패널이 핸드부에 대하여 회전된 상태가 아니라고 파악되었거나, 단계 S130를 통하여 핸드부와 패널이 요구되는 상태로 정렬된 후에, 핸드부(230)를 전진 방향과 직교하는 패널의 측부 방향으로 이동시킨다. 예를 들어, 핸드부(230)는 우측 방향으로 이동할 수 있다. 우측 핸드(231)에 설치된 측부감지센서(314)에 의하여 패널이 감지되지 않는 지점까지 핸드부(230)를 이동시킨다(S150). 측부감지센서에 의하여 패널이 감지되지 않는 지점까지 이동시킨다는 것을 다르게 표현하면, 패널의 측부의 위치를 감지하였다는 것을 의미한다.
다음으로, 핸드부(230)를 반대 방향으로 이동시킨다. 이러한 이동은 좌측 핸드(232)에 설치된 측부감지센서에 의해 패널이 감지되지 않는 지점까지 이루어진다(S160).
단계 S150과 단계 S160에서 각각 패널의 일측 측부의 위치와 타측 측부의 위치가 파악되었으므로, 이러한 정보에 기초하여 패널의 폭 및 패널의 중심선의 위치를 파악할 수 있다. 이에 따라, 핸드부(230)의 중심선이 패널의 중심선과 일치하는 위치로 핸드부(230)를 이동시킨다(S180).
핸드부(230)와 패널(1)의 정렬이 완료되면, 핸드부(230)를 후진시켜 패널 캐리어(30)와 가장자리 감지용 센서부(310, 320)가 간섭하지 않도록 한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 패널(1)은 패널 캐리어(30) 상에 놓여있는 상태로 적재된다. 만약 핸드부(230)가 후퇴하지 않고 패널(1)을 파지하기 위하여 위쪽으로 상승하는 경우, 패널 캐리어(30)와 가장자리 감지용 센서부(310)의 수광부(314b)가 서로 간섭하게 된다. 따라서, 도 7에 도시된 바와 같이, 패널을 파지하기 전에 먼저 핸드부(230)를 화살표 방향으로 후퇴시킨다(S190). 이 때, 패널 유무 감지 센서(330)는 패널의 유무를 감지할 수 있는 위치를 유지한다.
다음으로, 핸드부(230)가 상승하여 패널(1)의 하부와 접촉하여 지지한다. 패널 캐리어(30)는 상승하는 핸드부(230)와 간섭되지 않도록 형성된다. 패널이 핸드부(230)에 의하여 지지된 후, 흡착부(233)에 의하여 패널을 흡착 파지한다. 흡착 파지된 패널은 지정된 위치로 이송된다.
패널을 이송하는 중, 패널 유무 감지 센서(330)는 패널이 핸드부(230)에 의하여 파지된 상태인 것을 지속적으로 감지한다. 이에 따라, 패널 이송 장치(10)는 외부로부터 패널의 파지 여부에 대한 질의를 수신하면, 패널 유무 감지 센서의 감지 상태를 파악하여 파지 여부를 보고할 수 있다.
도시된 실시예에서, 핸드부(230)가 패널을 파지한 상태에서는 가장자리 감지용 센서부(310, 320)에 의하여 패널이 감지되지 않도록 센서들이 설치된다. 이에 따라, 패널을 파지하고 이송하는 도중에 가장자리 감지용 센서부(310, 320)에 의하여 패널이 감지되는 것은 패널의 핸드부(230)에 대한 배치에 변경이 발생했다는 것을 의미한다. 일반적으로 패널을 이송하는 중에 패널의 배치가 변경되는 것은 오류가 발생한 것일 가능성이 크므로, 이를 이용하면 패널의 이송이 정상적으로 이루어지고 있는지 여부를 파악할 수 있다.
도 8에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 패널 이송 장치가 도시되어 있다. 도 3에 도시된 패널 이송 장치는 핸드부(230)가 패널의 아래쪽에서 패널을 지지하는 반면, 도 8에 도시된 장치에서는 핸드부(230a)가 패널 위쪽에서 패널을 파지하는 점에 차이가 있다. 이에 따라, 도 8에 도시된 실시예에서는 좌우 핸드(231a, 232a) 외에 패널 파지 프레임(234)이 추가로 마련된다. 패널 파지 프레임(234)의 패널을 향한 쪽에는 흡착부(233)가 마련된다(도 10 참조). 도 8에 도시된 패널 이송 장치에서 도 3에 도시된 장치와 동일한 구성과 작용을 하는 부분에 대해서는 설명을 생략한다.
도 9에는 도 8에 도시된 패널 이송 장치의 핸드부(230a)의 평면도와 우측면도가 도시되어 있으며, 도 10에는 핸드부(230a)의 배면도가 도시되어 있고, 도 11에는 도 9의 영역 C의 확대도가 도시되어 있다.
가장자리 감지용 센서부(310a, 320a)는 전술한 실시예와 마찬가지로 투수광형 센서로 형성된다. 따라서, 도 11에 도시된 바와 같이, 가장자리 감지용 센서(310a)의 측부감지센서는 투광부(314a')와 수광부(314b')를 구비한다. 접근감지센서와 측부감지센서의 설치와 작동은 후술하는 점을 제외하고 전술한 실시예와 동일하다.
본 실시예에 따른 가장자리 감지용 센서부는 투광부를 패널 캐리어와 간섭이 일어나지 않는 회피 위치와 패널 감지를 위한 감지 위치 사이에서 이동시키는 회피 엑추에이터(316)를 추가로 구비한다. 도 12를 참조하면, 측부감지센서의 투광부(314a')가 점선으로 표시된 감지 위치에서 실선으로 표시된 간섭 회피 위치로 이동하는 것이 화살표로 표시되어 있다. 측부감지센서의 수광부와 접근감지센서의 수광부는 하나의 프레임 상에 배치되어 있으므로, 두 센서의 투광부는 함께 이동한다. 투광부가 이동한 후 핸드부(230a)는 패널(1)을 파지한 상태로 위로 상승하고, 센서의 수광부가 패널 캐리어(30)와 간섭하지 않고 패널의 이송이 일어날 수 있다.
도 6에 도시된 패널 이송 방법 중에서 단계 S190은 캐리어의 간섭을 방지하기 위하여 패널 이송 장치가 작동되는 단계를 설명하고 있는데, 전술한 실시예에서는 핸드부(230) 전체가 후퇴하는 거동을 나타냈으나, 본 실시예에서는 핸드부(230a)는 그대로 정지한 상태에서 투광부만이 후퇴하여 간섭을 방지한다는 점에서 차이가 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 캐리어와의 간섭을 방지하기 위한 작동으로서, 도 7에 도시된 실시예에서는 핸드부 전체가 후퇴하고, 도 12에 도시된 실시예에서는 투광부만이 후퇴하였으나. 도 7에 도시된 실시예에서도 투광부만이 후퇴하도록 형성될 수 있다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
1, 1a, 1b, 1c: 패널
2, 231, 232: 핸드
3, 310, 320: 가장자리 감지용 센서
3', 310': 센서 광
10, 10a: 패널 이송 장치
30: 패널 캐리어
100: 본체부
200: 아암부
210, 220: 아암
233: 흡착부
234: 패널 파지 프레임
300: 센서부
312: 접근감지센서
314: 측부감지센서
330: 패널 유무 감지 센서

Claims (7)

  1. 패널을 이송하는 장치로서,
    패널 파지부;
    상기 패널 파지부가 패널에 정해진 방향에서 접근하는지 여부를 감지하기 위한 접근 감지 센서부;
    패널의 측부 가장자리를 감지하기 위한 측부 감지 센서부;
    상기 패널 파지부를, 패널에 대하여 전후방향 및 좌우방향로 이동시키고, 또한 패널에 대하여 회전하도록 작동시키는 구동부; 및,
    상기 접근 감지 센서부 또는 상기 측부 감지 센서부에서 감지된 결과에 기초하여, 상기 구동부를 제어하여 상기 패널 파지부의 작동을 조정하는 제어부
    를 포함하되,
    상기 접근 감지 센서부 및 상기 측부 감지 센서부는 투광부와 수광부를 구비하는 투수광형 센서를 구비하고 상기 투광부와 상기 수광부 사이에 패널이 배치되는지 여부를 감지하고,
    상기 접근 감지 센서부 및 상기 측부 감지 센서부 중의 적어도 하나는, 상기 패널 파지부가 패널을 파지하기 위하여 패널에 접근할 때 발생할 수 있는 간섭을 회피하기 위하여 상기 투광부 또는 상기 수광부 중의 어느 하나를 간섭이 일어나지 않는 위치로 후퇴시키는 간섭 회피 액추에이터를 구비하는
    패널 이송 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 패널 파지부 상에 패널이 파지된 상태인지 여부를 감지하기 위한 패널 감지 센서부를 더 포함하는 것
    을 특징으로 하는 패널 이송 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1 또는 2에 기재된 패널 이송 장치를 이용하여 패널을 이송하는 방법으로서,
    (a) 상기 패널 파지부를 패널 방향으로 전진시키는 단계;
    (b) 상기 접근 감지 센서부에 의하여 상기 패널 파지부가 정해진 방향에서 패널에 접근하는지 여부를 감지하는 단계;
    (c) 상기 측부 감지 센서에 의하여 패널의 일측 가장자리가 감지되는 단계;
    (d) 상기 측부 감지 센서에 의하여 패널의 타측 가장자리가 감지되는 단계;
    (e) 상기 패널 파지부의 중앙선이 상기 패널의 중앙선과 정렬되는 위치로 상기 패널 파지부를 이동시키는 단계;
    (f) 상기 접근 감지 센서 및 상기 측부 감지 센서 중의 적어도 하나를 간섭이 일어나지 않도록 배치시키는 단계;
    (g) 상기 패널 파지부가 패널을 파지하도록 하는 단계; 및,
    (h) 상기 패널 파지부를 후퇴시키는 단계
    를 포함하는 패널 이송 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 단계 (b)와 상기 단계 (c) 사이에,
    상기 단계 (b)에서 상기 패널 파지부가 정해진 방향에서 접근하지 않은 것으로 판단된 경우 상기 패널 파지부를 정해진 방향에 맞게 회전시키는 단계
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 이송 방법.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 단계 (f)는, 상기 접근 감지 센서부 및 상기 측부 감지 센서부 중의 적어도 하나를 간섭이 일어나지 않는 배치로 전환시키는 단계를 포함하는 것
    을 특징으로 하는 패널 이송 방법.
KR1020170087837A 2017-07-11 2017-07-11 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법 KR101926787B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170087837A KR101926787B1 (ko) 2017-07-11 2017-07-11 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170087837A KR101926787B1 (ko) 2017-07-11 2017-07-11 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101926787B1 true KR101926787B1 (ko) 2018-12-07

Family

ID=64669358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170087837A KR101926787B1 (ko) 2017-07-11 2017-07-11 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101926787B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111204583A (zh) * 2020-03-09 2020-05-29 广州市泰立机电设备有限公司 一种用于取板装置的板件定位机构及定位方法
KR20230088076A (ko) 2021-12-10 2023-06-19 효성티앤에스 주식회사 로봇 핸드 파지물 검지 장치 및 검지 방법

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006351884A (ja) * 2005-06-16 2006-12-28 Tokyo Electron Ltd 基板搬送機構及び処理システム
KR101548920B1 (ko) * 2014-11-19 2015-09-01 주식회사 톱텍 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법
JP6302275B2 (ja) 2014-02-12 2018-03-28 株式会社ダイヘン 搬送ロボット、および、ティーチングシステム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006351884A (ja) * 2005-06-16 2006-12-28 Tokyo Electron Ltd 基板搬送機構及び処理システム
JP6302275B2 (ja) 2014-02-12 2018-03-28 株式会社ダイヘン 搬送ロボット、および、ティーチングシステム
KR101548920B1 (ko) * 2014-11-19 2015-09-01 주식회사 톱텍 이송로봇의 티칭시스템 및 이를 이용한 이송로봇의 티칭방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111204583A (zh) * 2020-03-09 2020-05-29 广州市泰立机电设备有限公司 一种用于取板装置的板件定位机构及定位方法
KR20230088076A (ko) 2021-12-10 2023-06-19 효성티앤에스 주식회사 로봇 핸드 파지물 검지 장치 및 검지 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102050149B1 (ko) 기판 반송 로봇 및 그것의 운전 방법
CN100573818C (zh) 立式热处理装置及立式热处理装置中移载机构的控制方法
KR101817395B1 (ko) 기판 반송 기구의 위치 검출 방법, 기억 매체 및 기판 반송 기구의 위치 검출 장치
CN108780770B (zh) 基板搬送装置及基板搬送机器人的示教方法
US20190148201A1 (en) Wafer positioning and loading system
CN107534009B (zh) 衬底搬送机器人及衬底检测方法
TW201533551A (zh) 搬送系統
JP2018006518A (ja) 搬送システム
CN113056406B (zh) 桥式吊车、桥式吊车系统、以及障碍物的检测方法
JP6522325B2 (ja) 産業用ロボットおよび産業用ロボットの教示方法
KR101926787B1 (ko) 패널을 정밀하게 이송하는 장치 및 이를 이용한 패널 이송 방법
JP2010208816A (ja) 移載装置
KR100606526B1 (ko) 기판검출방법 및 그 장치
WO2014201699A1 (zh) 玻璃面板堆垛系统及堆垛方法
JP2568272B2 (ja) ガラス基板の搬送装置
KR102698070B1 (ko) 기판 매핑 장치, 그 매핑 방법 및 매핑 교시 방법
CN210778540U (zh) 一种用于传送晶片的机器人以及手臂
JPH10335420A (ja) ワークのアライメント装置
CN218769452U (zh) 一种用于晶圆存取的取片机
JPH10277986A (ja) 薄型基板のアライメント装置
JP2011066368A (ja) ローダ
CN212123351U (zh) 可供调整承接位置的机械手臂
JP4976811B2 (ja) 基板処理システム、基板搬送装置、基板搬送方法、および記録媒体
JP2011003695A (ja) 基板搬送装置
KR20030041805A (ko) 기판용 카세트의 슬롯검출장치

Legal Events

Date Code Title Description
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant