JP6302275B2 - 搬送ロボット、および、ティーチングシステム - Google Patents
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Description
位置情報を取得する前に、カセット200へ基板Wの出し入れを行う際のハンド101の直進方向(X方向)を、カセット200の奥行き方向と一致させる必要がある。本実施形態のティーチング処理では、まずは、ハンド101の直進方向(X方向)がカセット200の奥行き方向に一致するように調整する直進方向調整処理が行われる(S1)。
X方向がカセット200の奥行き方向と一致していても、カセット200へ基板Wの出し入れを行う際のハンド101の経路が、カセット200の横幅方向(Y方向)の中心を通らない場合がある。本実施形態のティーチング処理では、直進方向調整処理(S1)の後に、ハンド101の直進方向(X方向)の軸がカセット200の横幅方向の中心を通るように調整する直進方向軸調整処理が行われる(S2)。
本実施形態のティーチング処理では、直進方向調整処理(S1)および直進方向軸調整処理(S2)が完了した後、治具WのX方向位置を取得するための直進方向位置計測処理が行われる(S3)。
本実施形態のティーチング処理では、直進方向位置計測処理(S3)の次に、治具Wの上下方向(Z方向)位置を取得するための上下方向位置計測処理が行われる(S4)。
ハンド101が直進方向(X方向)の正の方向に移動された場合、ハンド101自体の重みにより、ハンド101の上下方向(Z方向)の位置が、下方向(Z方向の負の向き)に変化する。この変化量を以下では、「ダレ」とする。また、搬送ロボット100やカセット200の配置時のずれにより、ハンド101が直進方向(X方向)の正の方向に移動された場合に、ハンド101の上下方向(Z方向)の位置がずれる場合がある。「ダレ」には、この上下方向(Z方向)の位置のずれ量も含まれる。ダレが大きい場合、ダレを考慮して教示しないと、ハンド101が基板Wやカセット200に接触してしまう場合がある。本実施形態のティーチング処理では、上下方向位置計測処理(S4)の後に、ダレによる変化分を補正するための情報を取得するダレ計測処理が行われる(S5)。
最後に、上記各処理によって記憶された情報に基づいて、教示点を算出するための教示点算出処理が行われる(S6)。本実施形態においては、教示点として、図2に示す取出スタート位置RB、ボトム位置EB、収納スタート位置RTおよびトップ位置ETがそれぞれ算出される。
101 ハンド
101a 支持部
101b 保持部
101c 物体検出センサ
102 X方向駆動機構
102a,102b アーム
103 Y方向駆動機構
103a ベース盤
103b Y方向駆動部
104 Z方向駆動機構
104a 支持体
104b Z軸
105 ガイドレール
106 移動制御装置
106a 制御部
106b 教示情報記憶部
107 サーボコントローラ
108 マニピュレータ
109 ティーチペンダント
200 カセット
201 スロット
RB 取出スタート位置
EB ボトム位置
ET トップ位置
RT 収納スタート位置
W 基板
D 治具
D1,D2 切り欠き部
D3,D4,D3’,D4’,D5 突出部
Claims (9)
- 薄板状のワークを搬送する搬送ロボットであって、
物体検出センサが設けられたハンドと、
前記ハンドを移動させながら、薄板状で突出部が設けられた治具を前記物体検出センサで検出し、この検出結果を用いてティーチングのための教示点を算出する制御部と、
を備えており、
前記制御部は、前記物体検出センサによって前記治具の突出部が検出されている時間を測定し、当該時間が所定の時間になるように前記ハンドの移動方向を変化させることで、当該移動方向を調整する、
ことを特徴とする搬送ロボット。 - 前記制御部は、
調整された前記移動方向を変化させて、変化後の移動方向に前記ハンドを移動させながら、前記物体検出センサによって前記治具の突出部が検出されるまでの時間を測定し、当該時間に基づいて、
前記調整された移動方向に前記ハンドが移動するときの経路の、前記調整された移動方向に直交する方向の位置を調整する、
請求項1に記載の搬送ロボット。 - 前記制御部は、
調整された前記移動方向を異なる2つの方向に変化させて、ぞれぞれの場合の突出部が検出されるまでの時間の比較結果に基づいて、前記直交する方向の位置を調整する、
請求項2に記載の搬送ロボット。 - 薄板状のワークを搬送する搬送ロボットであって、
物体検出センサが設けられたハンドと、
前記ハンドを移動させながら、薄板状で突出部が設けられた治具を前記物体検出センサで検出し、この検出結果を用いてティーチングのための教示点を算出する制御部と、
を備えており、
前記制御部は、
前記ハンドを鉛直方向に移動させながら前記治具を前記物体検出センサで検出し、この検出結果を用いて前記治具の鉛直方向の位置を算出し、
前記ハンドを鉛直以外の方向に移動させた後に、前記ハンドを鉛直方向に移動させながら前記治具を前記物体検出センサで検出し、この検出結果を用いて前記治具の鉛直方向の位置を算出し、
算出された2つの前記鉛直方向の位置に基づいて、ダレの特性を算出する、
ことを特徴とする搬送ロボット。 - 前記治具の突出部は、2つの円柱形状の部材からなる、
請求項1ないし4のいずれかに記載の搬送ロボット。 - 前記治具の突出部は、直方体形状の部材からなる、
請求項1ないし4のいずれかに記載の搬送ロボット。 - 前記制御部は、前記ハンドを移動させながら前記治具を前記物体検出センサで検出し、この検出結果を用いて、前記教示点の、前記ハンドの移動方向の位置を算出する、
請求項1ないし6のいずれかに記載の搬送ロボット。 - 前記制御部は、前記治具の突出部を前記物体検出センサで検出する、
請求項7に記載の搬送ロボット。 - 請求項1ないし8のいずれかに記載の搬送ロボットと、前記治具と、
を備えていることを特徴とするティーチングシステム。
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