JP2008166410A - 位置決め較正方法及びそれを適用した実装装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】実装テーブルの真直度を精度よく較正することができる実装テーブルの位置決め較正方法及び、それを適用することにより半導体チップの実装精度を向上させることができる実装装置を提供する。
【解決手段】略L字状に較正マークMが付された較正基板10bを実装テーブル上にセットし、実装テーブルをX軸方向及びY軸方向に移動させて較正マークMを順次撮像手段により認識し、X軸方向に移動させて得られた較正マークMの実測位置を第1較正関数として取得し、Y軸方向に移動させて得られ較正マークMの実測位置を第2較正関数として取得する。そして、予め設定された半導体チップを実装する実装位置を第1較正関数と第2較正関数とに基づいて演算し、算出された実装位置を較正された実装位置として設定する。
【選択図】図4
【解決手段】略L字状に較正マークMが付された較正基板10bを実装テーブル上にセットし、実装テーブルをX軸方向及びY軸方向に移動させて較正マークMを順次撮像手段により認識し、X軸方向に移動させて得られた較正マークMの実測位置を第1較正関数として取得し、Y軸方向に移動させて得られ較正マークMの実測位置を第2較正関数として取得する。そして、予め設定された半導体チップを実装する実装位置を第1較正関数と第2較正関数とに基づいて演算し、算出された実装位置を較正された実装位置として設定する。
【選択図】図4
Description
本発明は、実装装置における位置決め装置、例えば実装テーブル等の真直度の較正方法及び、半導体チップを基板に実装する前に実装テーブル等の真直度を調節して実装を行う実装装置に関するものである。
一般に、半導体チップを基板に実装する実装装置は、半導体チップを保持するヘッドと、基板を保持するXYテーブルとが備えられており、このXYテーブルをX軸方向及びY軸方向に移動させることにより、半導体チップ(以下単にチップという)が基板上の所定の実装位置となるようにアライメントして実装される。
このような実装装置では、装置の組付け精度等の問題からXYテーブルの各軸の真直精度が十分でないことにより、チップが実装されるべき基板上の位置(実装位置)と、XYテーブルにおいて実際に実装位置にアライメントされた位置(実装アライメント位置)とにずれが生じ、チップの実装精度に影響を与える虞がある。
このような問題を解決するために、例えば下記特許文献1に示される部品装着装置では、XYテーブルの動作補正が行われる。具体的には、平坦状の補正用基板をXYテーブルに保持させるとともに、電子部品を保持するヘッドに先鋭治具を取り付ける。そして、前記補正用基板に先鋭治具を当接させた状態でXYテーブルを移動させることにより、補正用基板上に格子状のラインを形成する。そして、格子を形成するすべての交点を画像処理にて検出する。すなわち、与えられた動作指令による各交点座標の位置において交点座標を撮像し、得られた画像から実際の交点座標を計測し、動作指令による座標とそれに対応する計測位置とのずれ量を記憶しておく。そして、実際に電子部品を実装する場合には、動作指令による実装位置に最も近い4つの交点座標とずれ量とから、実装位置に最も近い4つの計測位置を算出し、これらの4点と動作指令による実装位置との内分比率から近似的に算出される点を実際に到達するであろう実装位置として補正される。これにより、XYテーブルの真直精度を考慮して実装できることが記載されている。
近年では、基板への実装精度の向上が求められており、特にベアチップを基板に実装する精度については数μmレベルの精度が要求されている。しかし、上記特許文献1に記載された部品装着装置では、この要求精度を満たすのは困難である。
すなわち、上記特許文献1では、較正基板に先鋭治具を接触させることにより格子を形成しているため、較正基板上の格子の形成精度が要求される実装精度に対して十分でないという問題がある。
また、上記特許文献1では、実装位置に最も近い4つの交点座標と実装位置との内分比率から近似的に実装位置を算出しているため、内分比率による近似がベアチップの実装精度に与える影響が大きく適切でないという問題がある。
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、実装装置における位置決めを精度よく較正することができる位置決め較正方法及びそれを適用することによりチップの実装精度を向上させることができる実装装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するために、本発明に係る実装テーブルの較正方法は、実装対象物を保持するヘッドと、実装テーブル上に保持された基板とが、互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動可能に構成された実装装置の位置決め較正方法であって、一方向とこれと直交する方向とに配列された状態で複数の較正マークが付された較正基板を前記較正マークの配列方向がX軸方向及びY軸方向に沿うように前記実装テーブル上に保持させる較正基板保持工程と、前記実装テーブル上に保持された較正基板をX軸方向に相対的に移動させることにより前記較正マークを順次撮像手段により認識し、これらの較正マークの実測位置を第1較正関数として取得する第1較正関数取得工程と、前記実装テーブル上に保持された較正基板をY軸方向に相対的に移動させることにより前記較正マークを順次撮像手段により認識し、この較正マークの実測位置を第2較正関数として取得する第2較正関数取得工程と、予め設定された実装位置を前記第1較正関数と第2較正関数とに基づいて演算し、算出された実装位置を較正された実装位置として設定する較正位置設定工程と、を含むことを特徴としている。
上記位置決め較正方法によれば、予め高精度に較正マークが付された補正基板を用いて非接触で較正するため、従来のように治具を接触させて較正基板の格子を作成するものに比べて、精度よく較正することができる。
また、実装位置を第1較正関数と第2較正関数とに基づく演算により算出されるため、従来のように4つの交点座標からさらに内分比率による近似演算を行って実装位置を算出する場合に比べて、すべての実装位置について精度よく較正された実装位置を算出することができる。
また、前記較正基板に付された較正マークは、前記撮像手段の撮像領域から外れる領域に亘って付されていることが好ましい。
この構成によれば、前記較正マークが撮像手段の撮像領域に入るように前記補正基板を相対的に移動させて較正マークを認識するため、当該補正基板の移動量を大きくして較正することができる。すなわち、較正マークの位置の検出に画像処理による検出誤差が生じる場合であっても、補正基板の移動量が大きくなることにより、画像処理による検出誤差の影響を小さくすることができる。したがって、従来のように、実装位置に最も近い4つの交点座標を用いて較正する場合に比べて較正精度を向上させることができる。
また、前記較正基板に付された較正マークは、その配列方向に複数箇所付されていることが好ましい。
この構成によれば、複数箇所付された較正マークに基づいて第1及び第2補正関数が算出されることにより、X軸方向、Y軸方向の特定区間において真直度が変化する場合であっても、このような真直度の変化の影響を抑えることができる。
また、前記較正基板に付された隣り合う較正マーク同士は、その一方の較正マークを前記撮像手段の撮像領域内において認識する際に、他方の較正マークがその撮像領域から外れる領域に付されている構成とすることもできる。
この構成によれば、較正マーク同士が互いに所定距離離れているため、これらの較正マークを検出するために必要な補正基板の移動量が大きくなる。したがって、画像処理による検出誤差の影響を抑えることができ、較正精度を向上させることができる。
また、上記課題を解決するために、本発明に係る実装装置は、供給されたチップを保持するヘッドと、前記チップを実装する基板を保持する実装テーブルと、前記実装テーブル上の基板を撮像する撮像装置と、前記ヘッドと実装テーブルとを、互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動させる駆動装置と、前記駆動装置を駆動制御する制御装置と、を備えた実装装置において、前記制御装置は、一方向とこれと直交する方向とに配列された状態で複数の較正マークが付された較正基板を前記較正マークの配列方向がX軸方向及びY軸方向に沿うように前記実装テーブル上に保持した状態で、この較正基板をX軸方向に相対的に移動させることにより前記複数の較正マークを順次撮像手段により認識して、これらの較正マークの実測位置を第1較正関数として取得するとともに、前記校正基板をY軸方向に相対的に移動させることにより前記複数の較正マークを順次撮像手段により認識して、これらの較正マークの実測位置を第2較正関数として取得し、前記第1及び第2較正関数に基づいて算出された実装位置に前記駆動装置を駆動制御することを特徴としている。
上記実装装置によれば、ヘッドと実装テーブルとがX軸方向、Y軸方向に相対的に移動する際の真直度が精度よく較正されるため、チップを基板の所定の実装位置に精度よく実装することができる。すなわち、前記制御装置により、前記較正基板をX軸方向に相対的に移動させた際の実装テーブルの軌跡を第1補正関数として取得し、較正基板をY軸方向に相対的に移動させた際の実装テーブルの軌跡を第2補正関数として取得する。そして、実装する半導体チップの実装位置を前記第1補正関数と第2補正関数とに基づいて較正された実装位置が演算され、この較正された実装位置に基づいてヘッド、実装テーブルの移動が駆動制御される。したがって、取得された第1及び第2補正関数により実装テーブルの真直度が精度よく較正されるとともに、これらの関数により較正された実装位置に基づいてチップが実装されるため、チップを所定の実装位置に精度よく実装することができる。
また、前記実装テーブルが一方向に移動可能であるとともに、前記ヘッドが前記実装テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能であって、前記制御装置が前記駆動装置を駆動制御することにより、前記実装テーブルと実装ヘッドとが互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動可能に構成されているものであってもよい。
本発明の位置決め較正方法及びそれを適用した実装装置によれば、実装装置における位置決め精度を向上させることができ、ひいてはチップの実装精度を向上させることができる。
本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
図1は、本実施形態に係る実装装置を概略的にした図、図2は実装ユニットを示す図である。
図1、図2に示す本実施例に係る実装装置は、装置基台1上に基板供給ユニット2と、実装ユニット3と、チップ供給ユニット4とを備えており、前記基板供給ユニット2から実装ユニット3に基板10が供給されるとともに、チップ供給ユニット4から実装ユニット3にチップ20が供給されることにより、実装ユニット3において、供給されたチップ20が基板10に実装されるようになっている。
なお、以下の説明では、チップ20がチップ供給ユニット4から実装ユニット3に供給される方向をX軸方向、基板10が基板供給ユニット2から実装ユニット3に供給される方向をY軸方向、X軸およびY軸方向の双方に直交する方向をZ軸方向とし、特にY軸方向において、基板供給ユニット2側が前側、実装ユニット3側が奥側として説明を進める。
基板供給ユニット2は、所定の基板10を実装ユニット3に供給するためのものであり、箱状のケーシング21とそのケーシング21内部に基板10を載置する載置テーブル22とを有している。
前記ケーシング21は、上部に上下に開閉揺動可能な開閉扉21aを備えており、この開閉扉21aを開放させて、前記載置テーブル22に所定の基板10を1枚ずつ載置できるようになっている。
ここで、基板10には、図3及び図4に示すように、特定チップ20a(実装の対象となるチップ20)を実装するワーク基板10aと、後述する実装ユニット3の実装ステージ31(本発明の実装テーブル)の真直度を較正するための較正基板10bとがある。前記ワーク基板10aは、図3に示すように、平板形状を有しており、その表面に複数の位置決め用のアライメントマーク11が付されている。このアライメントマーク11を基準にすることにより、特定チップ20aが所定の実装位置に精度よく位置決めされるようになっている。すなわち、特定チップ20aにはアライメントマーク12が付されており、この特定チップ20aに付されたアライメントマーク12とワーク基板10aに付されたアライメントマーク11との相対位置関係に基づいて精度よく位置決めされるようになっている。
また、前記較正基板10bは、図4に示すように、平板形状であって、その表面には複数の較正マークMが付されている。具体的には、較正マークMは、一方向とこれに直交する方向とに所定間隔有するように配列されており、前記較正基板10b表面に略L字状を形成するように付されている。すなわち、較正マークM5を共通として較正マークM1〜M5が一方向に配列され、これと直交する方向に較正マークM5〜M9が配列されている。また、本実施形態では、較正マークM同士が後述の2視野カメラ81の撮像領域に対して1つの較正マークMのみが撮像できるように付されている。すなわち、1つの較正マークMを撮像中心に配置させた場合には、それと隣り合う較正マークMは、その撮像領域から外れる領域に存在している。
前記載置テーブル22は、基板10を所定の位置に載置し保持するものである。具体的には、載置テーブル22の表面には、複数の位置決めピンが所定間隔で立設されており、この位置決めピンの先端部分で前記基板10が位置決めされつつ保持されるようになっている。
また、基板供給ユニット2と実装ユニット3と間には搬送機構5が設けられており、この搬送機構5は、基板供給ユニット2によって供給された基板10を実装ユニット3に搬送するためのものである。この搬送機構5は、基板10を保持する吸着板51を有しており、この吸着板51が載置テーブル22の上方と後述する実装ユニット3の実装ステージ31の上方とのY軸方向に往復移動するとともに、それぞれの位置において昇降動作可能に構成されている。また、吸着板51の表面には真空ポンプ9(図5参照)と連通接続された複数の吸着孔が形成されており、真空ポンプを作動させて吸着孔に負圧を発生させることにより基板10を吸着保持できるようになっている。
チップ供給ユニット4は、複数のチップ20が配列された状態で載置されたチップトレイ7から特定チップ20aを取り出して、チップ搬送装置41に供給するものであり、昇降動作可能な移載ヘッド42を備えている。この移載ヘッド42は、可動フレーム43にX軸方向に移動可能に取り付けられており、この可動フレーム43がY軸方向に延びるレール44にスライド自在に取り付けられている。これにより、移載ヘッド42はチップトレイ7上を自由に移動できるようになっている。また、移載ヘッド42には、真空ポンプ9に連通した吸引孔が形成されており、この真空ポンプ9を作動させて吸引孔に負圧を発生させることにより、特定チップ20aを吸着保持できるようになっている。すなわち、移載ヘッド42は、チップトレイ7上から特定チップ20aを吸着保持した状態でチップ搬送装置41まで移動し、チップ搬送装置41に特定チップ20aを供給できるようになっている。
チップ搬送装置41は、チップ供給ユニット4から供給された特定チップ20aを実装ユニット3に搬送するものであり、X軸方向及びY軸方向に移動可能に構成されている。これにより、移載ヘッド42から供給された特定チップ20aを載置した状態で、後述する実装ユニット3のヘッド32aが特定チップ20aを吸着できる位置まで搬送できるようになっている。
実装ユニット3は、図1および図2に示すように、搬送機構5によって搬送された基板10を保持する実装ステージ31と、特定チップ20aを吸着保持して基板10に実装する圧着ユニット32と、基板10と特定チップ20aに予め設けられているアライメントマーク11を認識するに認識部8とから構成されている。
実装ステージ31は、基板10を吸着保持するものである。具体的には、実装ステージ31表面上には真空ポンプ9と連通された吸引孔が設けられており、真空ポンプ9を作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより基板10を実装ステージ31上に吸着保持できるようになっている。ここで、この実装ステージ31上に較正基板10bがセットされた状態では、図4における較正マークM1〜M5の配列方向がX軸方向、較正マークM5〜M9までの配列方向がY軸方向に沿うようになっている。
また、実装ステージ31は、位置決め機構が設けられており、実装ステージ31表面をX軸方向、Y軸方向及びZ軸回りに回転可能に構成されている。具体的には、基台1上には、水平面内においてY軸方向に沿ってレール33が配設されるとともに、このレール33にY軸テーブル34がY軸方向にスライド自在に取り付けられている。そして、Y軸テーブル34には、サーボモータ34aにより駆動されるボールねじ機構(本実施形態における駆動装置)が取り付けられており、このサーボモータ34aを駆動制御することによってY軸テーブル34が基台1に対しY軸方向に移動するよう構成されている。
Y軸テーブル34の上にはX軸方向に沿ってレール(不図示)が配設されるとともに、このレールにX軸テーブル35がX軸方向にスライド自在に取り付けられる。そして、X軸テーブル35には、サーボモータ35aにより駆動されるボールねじ機構(本実施形態における駆動装置)が取り付けられており、このサーボモータ35aを駆動制御することによってX軸テーブル35がY軸テーブル34に対しX軸方向に移動するよう構成されている。
X軸テーブル35には回転ユニットを介して鉛直線(Z軸方向)の軸線回りに回転自在に動作するR軸テーブル36が設けられている。このR軸テーブル36は、図示しない回転駆動手段36aによってZ軸回りに回転駆動するよう構成されている。
したがって、これらサーボモータ34a、35a及び回転駆動手段36aを駆動制御することにより、実装ヘッド32aに保持された特定チップ20aに応じて、基板10上の実装位置に精度よくアライメントできるようになっている。
圧着ユニット32は、特定チップ20aを吸着保持するヘッド32aを有している。このヘッド32aは、真空ポンプ9と連通された吸引孔が設けられており、真空ポンプ9を作動させて吸引孔に吸引力を発生させることにより特定チップ20aをヘッド32aに吸着保持できるようになっている。また、ヘッド32aは昇降動作可能に構成されており、吸着保持した特定チップ20aが実装位置にアライメントされると、下降動作を行うことにより特定チップ20aを基板10上の実装位置に実装できるようになっている。
認識部8は、特定チップ20aをアライメントするために、特定チップ20aと基板10とを撮像するものである。本実施形態における認識部8は、上向きカメラと下向きカメラとを有する2視野カメラ81になっており、上側の画像と下側の画像とを1台のカメラで得ることができるようになっている。そして、2視野カメラ81は、ヘッド32aと実装ステージ31との間に進出するように構成されており、これにより、特定チップ20aが実装される前の状態では、上向きカメラでヘッド32aに吸着された特定チップ20aが撮像され、下向きカメラで基板10が撮像されるようになっている。なお、本実施形態では、この撮像装置8の下向きカメラにより、較正基板10bの較正マークMを撮像できるようになっている。
図5は、この実装装置に設けられた制御装置90の制御系を示すブロック図である。図5に示すように、この実装装置は、上述した各種ユニットの駆動を制御する制御装置90が設けられている。この制御装置90は、制御本体部91、駆動制御部92、画像処理部93、外部装置制御部94、入力部95とを有している。
制御本体部91は、論理演算を実行する周知のCPU、そのCPUを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するROM、装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するRAM、種々のプログラムやOS、さらに生産プログラム等の各種データを記憶するHDD等を備えている。そして、制御本体部91は、主制御部91a、較正部91b、記憶部91cとを有している。
主制御部91aは、予め記憶されたプログラムに従って一連の実装動作を実行すべく、駆動制御部92を介して各種ユニットの駆動装置、サーボモータ34a、35a等を駆動制御するとともにこの実装動作において必要な各種演算を行うものである。具体的には、後述する較正部91bで算出された結果に基づいて各駆動装置、サーボモータ34a、35a等を駆動制御するものである。
較正部91bは、実装ステージ31の真直度、すなわち、X軸方向及びY軸方向に動作した際の真直度を較正するためのものである。この較正部91bは、図5に示すように、較正マーク検出部100、較正関数演算部101、アライメント位置設定部102を有している。
較正マーク検出部100は、較正基板10bの較正マークMを検出するものである。本実施形態では、2視野カメラ81の下向きカメラにより、較正基板10bの較正マークMを画像処理によって検出する。すなわち、後述する記憶部91cには、較正基板10bが実装ステージ31にセットされた状態における較正マークMの中心位置(設定マーク位置)が記憶されており、この設定マーク位置を動作指令によってアライメントする位置(アライメント位置)として実装ステージ31を駆動制御する。
ここで、実装ステージ31の真直度が完全なものであれば、設定マーク位置が撮像中心に一致するようになっているが、組付け精度等の問題により真直度が十分でない場合には実際にアライメントされる位置と設定マーク位置とが異なるため、ずれが生じることとなる。
したがって、その実際にアライメントされた位置において得られた画像から、較正マークMを画像処理によって検出し、検出された較正マークMの中心位置(実測マーク位置)を算出する。本実施形態では、実装ステージ31をX軸方向に移動させることにより、図4における右端の較正マークM1から較正マークM5を順次検出し、これらの較正マークM1〜M5の中心位置(実測マーク位置)を算出する。また、実装ステージ31をY軸方向に移動させることにより、図4における左端の較正マークM5から較正マークM9を順次検出し、これらの較正マークM5〜M9の中心位置(実測マーク位置)を算出する。そして、それぞれの設定マーク位置に対する実測マーク位置を記憶部91cに記憶させる。
較正関数演算部101は、動作指令によるアライメント位置と、実際に動作指令によるアライメントされる位置との関係を示す較正関数を演算するものである。この較正関数により、アライメント位置から実際にアライメントされる位置を計算により算出することができる。
この較正関数は、較正マーク検出部100で検出されたそれぞれの実測マーク位置から算出する。具体的には、較正マークM1から較正マークM5までの実測マーク位置から、それぞれの実測マーク位置を通る曲線を第1較正関数f(x,y)として演算する。本実施形態では、例えば最小自乗法により第1較正関数f(x,y)を演算している。これにより、実装ステージ31をX軸方向に移動させた場合における真直度の状態(実測位置の変化)が第1較正関数f(x,y)として表される。同様にして、較正マークM5から較正マークM9までの実測位置から、第2較正関数g(x,y)を演算する。これにより、実装ステージ31をY軸方向に移動させた場合における真直度の状態(実測位置の変化)が第2較正関数g(x,y)として表される。これにより、実装ステージ31をX軸方向及びY軸方向に動作させた場合に、実際にアライメントされる位置が(fx(x,y)+gx(x,y),fy(x,y)+gy(x,y))により算出される。なお、fx(x,y)及びfy(x,y)は、それぞれf(x,y)のX軸方向成分及びY軸方向成分を表しており、gx(x,y)及びgy(x,y)それぞれg(x,y)のX軸方向成分及びY軸方向成分を表している。
較正アライメント位置設定部102は、動作指令によって特定チップ20aがアライメントされる位置が、X軸及びY軸テーブル34のボールねじ機構の真直度を加味した真のアライメント位置となるように設定するものである。具体的には、基板10のアライメントマーク11位置を基準とした特定チップ20aのアライメント位置、すなわち設定アライメント位置P(X,Y)が記憶部91cに記憶されている。そして、上述の第1及び第2較正関数f(x,y)、g(x,y)により算出される実際にアライメントされる位置(fx(x,y)+gx(x,y),fy(x,y)+gy(x,y))が、設定アライメント位置P(X,Y)となるようなアライメント位置を算出する。そして、このアライメント位置を動作指令として与えるべき較正アライメント位置P’として設定する。
記憶部91cは、様々な各種データが格納されているとともに、演算結果等を一時的に格納するためのものである。具体的には、較正基板10bが実装ステージ31にセットされた状態における設定マーク位置、設定アライメント位置Pに関するデータ等が格納されている。また、実測マーク位置データ、較正関数f(x,y)、g(x,y)、較正アライメント位置P’データ等が一時的に格納される。
駆動制御部92は、制御部本体からの制御信号に基づいて、チップ供給ユニット4、基板供給ユニット2、実装ユニット3等の各ユニットの駆動装置、サーボモータ34a、35a等を駆動制御するものである。
画像処理部93は、認識部8の2視野カメラ81から出力される画像信号に所定の処理を施すことにより画像認識に適した画像データを生成して制御本体部91に出力するものである。
外部装置制御部94は、真空ポンプ9等の外部装置の駆動を制御するものである。
入力部95は、キーボード71やタッチパネル72を用いて各種設定及びデータ入力を制御本体部91に行うものである。具体的には、実装モード及び較正モードの切替が行えるようになっており、較正基板10bにおける較正マークMの設定マーク位置データを直接入力できるようになっている。
次に、この実装装置における動作について、図6〜図8に示すフローチャートを参照しながら説明する。
まず、ワーク基板10aに特定チップ20aを実装する前に、実装ステージ31の真直度における較正処理が行われる(ステップS1)。この較正処理は、図7におけるフローチャートに従って処理が行われる。
まず、較正基板10bを実装ステージ31の所定位置にセットする(ステップS11)。具体的には、オペレーターよってタッチパネル72から較正モードに切り替えられ、基板供給ユニット2の載置テーブル22に較正基板10bが載置されると、搬送機構5の吸着板51が較正基板10bの上方位置に停止する。その位置から吸着板51を下降させて較正基板10bに当接させた状態で真空ポンプ9を作動させることにより、吸着板51に較正基板10bを吸着保持させる。そして、吸着板51が実装ユニット3側に移動し、実装ステージ31上に較正基板10bを載置する。このとき、較正基板10bの較正マークMの配列方向がX軸方向、Y軸方向に沿うように載置される。具体的には、図4における較正マークM1〜M5の配列方向がX軸方向に沿うとともに、較正マークM5〜M9の配列方向がY軸方向に沿うように載置される。そして、真空ポンプ9を作動させることにより、実装ステージ31の吸引孔に吸引力を発生させて較正基板10bが実装ステージ31の所定位置に吸着保持される(較正基板保持工程)。
次に、較正マークMの検出が行われる(ステップS12)。すなわち、較正基板10bに付された較正マークM1〜M9の実測マーク位置を検出する。具体的には、サーボモータ34a、35aを駆動させることにより、予め記憶部91cに記憶された較正マークM(本実施形態では較正マークM1)の設定マーク位置に実装ステージ31を駆動制御する。そして、X軸テーブル35のサーボモータ34a、35aを駆動させることにより、実装ステージ31のX軸テーブル35をX軸方向に移動させて、較正基板10bの較正マークM1〜M5を順次撮像し、それぞれの実測マーク位置を算出する。較正マークM5の撮像が終了すると、Y軸テーブル34のサーボモータ34a、35aを駆動させることにより、Y軸テーブル34をY軸方向に移動させて較正マークM5〜M9を順次撮像し、それぞれの実測マーク位置を算出する。
次に、算出された実測マーク位置から較正関数f(x,y)、g(x,y)を取得する(ステップS13)。具体的には、較正マークM1〜M5の実測マーク位置から較正関数f(x,y)を算出し(第1較正関数取得工程)、較正マークM5〜M9の実測マーク位置から較正関数g(x,y)を算出する。そして、算出された較正関数f(x,y)、g(x,y)が記憶部91cに記憶される(第2較正関数取得工程)。
較正処理が終了すると、較正基板10bが排出され、実装ユニット3にワーク基板10aが供給される(ステップS2)。具体的には、基板供給ユニット2の載置テーブル22にワーク基板10aが載置されると、搬送機構5の吸着板51がワーク基板10aの上方位置に停止する。その位置から吸着板51を下降させてワーク基板10aに当接させた状態で真空ポンプ9を作動させることにより、吸着板51にワーク基板10aを吸着保持させる。そして、吸着板51が実装ユニット3側に移動し、実装ステージ31上にワーク基板10aが載置される。
ワーク基板10aが実装ユニット3に供給されると、チップ供給ユニット4から実装ユニット3に特定チップ20aが供給される(ステップS3)。具体的には、チップトレイ7から実装すべき特定チップ20aが移載ヘッド42に吸着保持され、チップ搬送装置41に載置される。そして、このチップ搬送装置41により特定チップ20aが実装ユニット3まで搬送され、実装ユニット3のヘッド32aが吸着できる所定位置で停止する。
次に、ワーク基板10aに特定チップ20aを実装する実装処理が行われる(ステップS4)。この実装処理は、図8に示すフローチャートに従って行われる。
まず、チップ搬送装置41に載置された特定チップ20aが実装ユニット3のヘッド32aによって吸着保持される(ステップS21)。具体的には、チップ搬送装置41が停止している所定位置に圧着ユニット32が移動し、その位置においてヘッド32aを下降させるとともに真空ポンプ9を作動させることにより、ヘッド32aに特定チップ20aを吸着保持させる。
次に、ワーク基板10aのアライメントマーク11及びチップ20のアライメントマーク12が認識される(ステップS22)。具体的には、2視野カメラ81がワーク基板10aと特定チップ20aとの間に進出し、上向きカメラで特定チップ20aを撮像し、下向きカメラでワーク基板10aを撮像する。そして、ワーク基板10aのアライメントマーク11及び特定チップ20aのアライメントマーク12を画像処理にて検出し、それぞれのアライメントマーク位置を算出する。
次に、特定チップ20aを所定の実装位置に実装するために、設定アライメント位置を較正し、設定アライメント位置の設定が行われる(ステップS23)。制御装置90の記憶部91cには、ワーク基板10aのアライメントマーク11を基準とした特定チップ20aの実装位置情報、すなわち、設定アライメント位置Pの情報が記憶されている。この設定アライメント位置Pから、較正アライメント位置P’を算出する。具体的には、制御装置90において、第1及び第2較正関数f(x,y)、g(x,y)により算出される実際にアライメントされる位置(fx(x,y)+gx(x,y),fy(x,y)+gy(x,y))が、設定アライメント位置P(X,Y)となるような位置を演算し、その位置を較正アライメント位置P’を算出する。これにより、実装ステージ31の真直度が加味されたアライメントマーク位置(較正アライメント位置P’)が設定される(較正位置設定工程)。
次に、ワーク基板10a上の実装位置に特定チップ20aを実装する。具体的には、実装ステージ31が較正アライメント位置P’となるようにサーボモータ34a、35aを駆動制御する。これにより、ヘッド32aに保持された特定チップ20aが、実装位置の上方に位置するように精度よくアライメントされる。この状態において、ヘッド32aが下降して真空ポンプ9を解放することにより、ヘッド32aに吸着された特定チップ20aが解放され、ワーク基板10aの所定の実装位置に特定チップ20aが実装される。
上記実施形態に係る実装装置によれば、実装ステージ31がX軸方向、Y軸方向に動作する際の真直度が実装ステージ31の組付け誤差等により精度を欠いている場合であっても、第1補正関数と第2補正関数とに基づいて精度よく較正アライメント位置を算出することにより、特定チップ20aを真の実装位置に精度よく実装することができる。
また、上記実施形態における較正基板10bには、較正マークMが撮像手段の撮像領域を超える領域に亘って付されているため、実装ステージ31をX軸方向又はY軸方向に大きく移動させて較正を行うことができる。したがって、撮像領域内の較正マークMによって較正する場合に比べて、較正精度が読み取り誤差によって受ける影響を小さくすることができる。
また、上記実施形態では、較正処理を行う際に、実装ステージ31をX軸方向及びY軸方向に一度動作させるだけで較正を行うことができる。したがって、従来のように格子の交点座標すべてを読み取る必要がないため、較正に要する時間を短縮することができる。
上記実施形態では、ヘッド32aに対して、実装ステージ31がX軸方向及びY軸方向に移動する例について説明したが、ヘッド32aが実装ステージ31の移動方向と直交する方向に移動することにより、実装ステージ31が、ヘッド32aに対して相対的にX軸方向及びY軸方向に移動するものであってもよい。
具体的には、図9に示すように、圧着ユニット32は、ヘッド32aと、このヘッド32aをX軸方向に移動させるヘッド移動部32bとを有しており、このヘッド移動部32bは、基台1に設置された門型の支持体37に取り付けられている。そして、支持体37には、X軸方向に沿って延びるレール38aが配設されており、このレール38aにヘッド移動部32bがX軸方向にスライド自在に取り付けられている。また、ヘッド移動部32bには、サーボモータ(不図示)により駆動されるボールねじ機構(本実施形態における駆動装置)が取り付けられており、このサーボモータを駆動制御することによってヘッド移動部32bが実装ステージ31に対しX軸方向に移動するようになっている。
したがって、ヘッド移動部32b及び実装ステージ31のY軸テーブルにより、実装ステージ32は、ヘッド32a(特定チップ20a)に対して、相対的にX軸方向及びY軸方向に移動できるようになっている。これにより、実装ステージ31がX軸及びY軸方向に移動する場合に比べて、実装ステージ31にX軸方向に移動させる機構を省くことができる。すなわち、チップトレイ7から特定チップ20aを取り出すためのX軸方向への移動機構を、実装ステージ31のX軸方向への移動のために共用できる点で好ましい。
また、上記実施形態では、較正基板10bの較正マークMが略L字状に付された例について説明したが、マトリックス状に付されたものであってもよい。この場合であっても、第1及び第2較正関数の算出には、マトリックス状に付された複数の較正マークMから選択された較正マークMに対して、実装ステージ31をX軸方向及びY軸方向に一度動作させるだけで較正を行うことができる。
また、上記実施形態では、較正マークMが一方向につき5つ付された例について説明したが、一方向に少なくとも2つ付されたものであればよい。仮に、一方向につき5つ以上較正マークを付したものである場合には、それぞれの較正マークMの実測位置に基づいて行われるため、第1及び第2較正関数が精度よく算出されるため、実装ステージの真直精度を向上させることができる。
10a ワーク基板
10b 較正基板
20a 特定チップ
31 実装ステージ
32a ヘッド
34 Y軸テーブル
35 X軸テーブル
81 2視野カメラ
M 較正マーク
10b 較正基板
20a 特定チップ
31 実装ステージ
32a ヘッド
34 Y軸テーブル
35 X軸テーブル
81 2視野カメラ
M 較正マーク
Claims (6)
- 実装対象物を保持するヘッドと、実装テーブル上に保持された基板とが、互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動可能に構成された実装装置の位置決め較正方法であって、
一方向とこれと直交する方向とに配列された状態で複数の較正マークが付された較正基板を前記較正マークの配列方向がX軸方向及びY軸方向に沿うように前記実装テーブル上に保持させる較正基板保持工程と、
前記実装テーブル上に保持された較正基板をX軸方向に相対的に移動させることにより前記較正マークを順次撮像手段により認識し、これらの較正マークの実測位置を第1較正関数として取得する第1較正関数取得工程と、
前記実装テーブル上に保持された較正基板をY軸方向に相対的に移動させることにより前記較正マークを順次撮像手段により認識し、この較正マークの実測位置を第2較正関数として取得する第2較正関数取得工程と、
予め設定された実装位置を前記第1較正関数と第2較正関数とに基づいて演算し、算出された実装位置を較正された実装位置として設定する較正位置設定工程と、
を含むことを特徴とする位置決め較正方法。 - 前記較正基板に付された較正マークは、前記撮像手段の撮像領域から外れる領域に亘って付されていることを特徴とする請求項1に記載の位置決め較正方法。
- 前記較正基板に付された較正マークは、その配列方向に複数箇所付されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の位置決め較正方法。
- 前記較正基板に付された隣り合う較正マーク同士は、その一方の較正マークを前記撮像手段の撮像領域内において認識する際に、他方の較正マークがその撮像領域から外れる領域に付されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の位置決め較正方法。
- 供給されたチップを保持するヘッドと、
前記チップを実装する基板を保持する実装テーブルと、
前記実装テーブル上の基板を撮像する撮像装置と、
前記ヘッドと実装テーブルとを、互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動させる駆動装置と、
前記駆動装置を駆動制御する制御装置と、
を備えた実装装置において、
前記制御装置は、一方向とこれと直交する方向とに配列された状態で複数の較正マークが付された較正基板を前記較正マークの配列方向がX軸方向及びY軸方向に沿うように前記実装テーブル上に保持した状態で、この較正基板をX軸方向に相対的に移動させることにより前記複数の較正マークを順次撮像手段により認識して、これらの較正マークの実測位置を第1較正関数として取得するとともに、前記校正基板をY軸方向に相対的に移動させることにより前記複数の較正マークを順次撮像手段により認識して、これらの較正マークの実測位置を第2較正関数として取得し、前記第1及び第2較正関数に基づいて算出された実装位置に前記駆動装置を駆動制御することを特徴とする実装装置。 - 前記実装テーブルが一方向に移動可能であるとともに、前記ヘッドが前記実装テーブルの移動方向と直交する方向に移動可能であって、前記制御装置が前記駆動装置を駆動制御することにより、前記実装テーブルと実装ヘッドとが互いに直交するX軸方向及びY軸方向に相対的に移動可能に構成されていることを特徴とする実装装置。
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