JP2001353680A - 電子部品実装装置 - Google Patents
電子部品実装装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 軽量コンパクトで簡単な機構の移載ヘッドの
駆動機構を備えた電子部品実装装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 移載ヘッド６により電子部品を基板に実
装する電子部品実装装置において、移載ヘッド６に、２
つの原動節であるリンク部材２６，２７と結合され、吸
着ノズルユニット３３をヒンジ３２において回転自在に
保持する２つのリンク部材２８，２９を設け、リンク部
材２６，２７をモータ２１，２２によって回動させるこ
とにより、吸着ノズルユニット３３をＸＹ方向に移動さ
せ、モータ２３によって歯付ベルト４１を介して吸着ノ
ズルユニット３３をθ回転させる。これにより、簡単な
機構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動機構を実現す
ることができる。
駆動機構を備えた電子部品実装装置を提供することを目
的とする。 【解決手段】 移載ヘッド６により電子部品を基板に実
装する電子部品実装装置において、移載ヘッド６に、２
つの原動節であるリンク部材２６，２７と結合され、吸
着ノズルユニット３３をヒンジ３２において回転自在に
保持する２つのリンク部材２８，２９を設け、リンク部
材２６，２７をモータ２１，２２によって回動させるこ
とにより、吸着ノズルユニット３３をＸＹ方向に移動さ
せ、モータ２３によって歯付ベルト４１を介して吸着ノ
ズルユニット３３をθ回転させる。これにより、簡単な
機構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動機構を実現す
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を基板に
実装する電子部品実装装置に関するものである。
実装する電子部品実装装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子部品を基板に実装する電子部品実装
装置では、部品供給部から移載ヘッドに備えられた吸着
ノズルにより電子部品をピックアップして基板上へ移送
し、位置あわせして搭載する実装動作が行われる。この
ため、移載ヘッドは一般に水平面内で移動する移動手段
と共に、吸着ノズルに保持された電子部品のθ方向の回
転位置あわせを行うための回転移動手段を備えている。
従来より、この移載ヘッドの移動手段としては、ＸＹ２
方向の直動機構を組み合わせた水平移動手段に吸着ノズ
ルをθ方向に回転させるθ回転機構を組み込んだタイプ
が多用されていた。
装置では、部品供給部から移載ヘッドに備えられた吸着
ノズルにより電子部品をピックアップして基板上へ移送
し、位置あわせして搭載する実装動作が行われる。この
ため、移載ヘッドは一般に水平面内で移動する移動手段
と共に、吸着ノズルに保持された電子部品のθ方向の回
転位置あわせを行うための回転移動手段を備えている。
従来より、この移載ヘッドの移動手段としては、ＸＹ２
方向の直動機構を組み合わせた水平移動手段に吸着ノズ
ルをθ方向に回転させるθ回転機構を組み込んだタイプ
が多用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述の直
動機構を組み合わせる従来の方法では、モータやボール
ねじなどの駆動機構と共に直動ガイド機構が複数組必要
とされ、安価・コンパクトな機構の実現が阻害されると
ともに、重量が増加し駆動負荷を低減することが困難で
あるという問題点があった。
動機構を組み合わせる従来の方法では、モータやボール
ねじなどの駆動機構と共に直動ガイド機構が複数組必要
とされ、安価・コンパクトな機構の実現が阻害されると
ともに、重量が増加し駆動負荷を低減することが困難で
あるという問題点があった。
【０００４】そこで本発明は、軽量コンパクトで簡単な
機構の移載ヘッドの駆動機構を備えた電子部品実装装置
を提供することを目的とする。
機構の移載ヘッドの駆動機構を備えた電子部品実装装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の電子部品
実装装置は、移載ヘッドを移動させて部品供給部から電
子部品を取り出し基板に実装する電子部品実装装置であ
って、前記移載ヘッドは、１つの固定節とこの固定節と
回転対偶を形成し固定節の両端に一端がピン結合された
２つの原動節とこれらの原動節の他端にピン結合され回
転対偶を形成する２つの従動節より構成される５節のリ
ンク機構と、前記２つの従動節によってθ方向に回転自
在に保持された吸着ノズルと、前記２つの原動節を水平
面内で回動させることにより前記吸着ノズルをＸＹ方向
に移動させるＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構
に沿って調帯された巻き掛け伝動手段を介して前記吸着
ノズルをθ方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備
えた。
実装装置は、移載ヘッドを移動させて部品供給部から電
子部品を取り出し基板に実装する電子部品実装装置であ
って、前記移載ヘッドは、１つの固定節とこの固定節と
回転対偶を形成し固定節の両端に一端がピン結合された
２つの原動節とこれらの原動節の他端にピン結合され回
転対偶を形成する２つの従動節より構成される５節のリ
ンク機構と、前記２つの従動節によってθ方向に回転自
在に保持された吸着ノズルと、前記２つの原動節を水平
面内で回動させることにより前記吸着ノズルをＸＹ方向
に移動させるＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構
に沿って調帯された巻き掛け伝動手段を介して前記吸着
ノズルをθ方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備
えた。
【０００６】本発明によれば、吸着ノズルを移動させる
５節のリンク機構において、２つの原動節を水平面内で
回動させることにより吸着ノズルをＸＹ方向に移動させ
るＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構に沿って調
帯された巻き掛け伝動手段を介して前記吸着ノズルをθ
方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備えることに
より、簡単な機構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動
機構を実現することができる。
５節のリンク機構において、２つの原動節を水平面内で
回動させることにより吸着ノズルをＸＹ方向に移動させ
るＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構に沿って調
帯された巻き掛け伝動手段を介して前記吸着ノズルをθ
方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備えることに
より、簡単な機構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動
機構を実現することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に本発明の実施の形態を図面を
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態の
電子部品実装装置の移載ヘッドの斜視図、図３（ａ）は
本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載ヘッド
のリンク機構の説明図、図３（ｂ）は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置の移載ヘッドのリンク機構の平
面図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置
の部分側面図である。
参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子
部品実装装置の斜視図、図２は本発明の一実施の形態の
電子部品実装装置の移載ヘッドの斜視図、図３（ａ）は
本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載ヘッド
のリンク機構の説明図、図３（ｂ）は本発明の一実施の
形態の電子部品実装装置の移載ヘッドのリンク機構の平
面図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置
の部分側面図である。
【０００８】まず図１、図２を参照して電子部品実装装
置の構造を説明する。図１において、移動テーブル１上
には基板保持部２が装着されており、基板保持部２には
電子部品であるチップ４が実装される基板３が保持され
ている。移動テーブル１の右側部分はチップ４の実装位
置となっており、移動テーブル１の移動方向（Ｘ方向）
と直交する方向に移載ヘッド移動テーブル５が配設され
ている。移載ヘッド移動テーブル５には、チップ４を吸
着する吸着ノズル７を備えた移載ヘッド６が装着されて
いる。６ａは、移載ヘッド６のカバーである。
置の構造を説明する。図１において、移動テーブル１上
には基板保持部２が装着されており、基板保持部２には
電子部品であるチップ４が実装される基板３が保持され
ている。移動テーブル１の右側部分はチップ４の実装位
置となっており、移動テーブル１の移動方向（Ｘ方向）
と直交する方向に移載ヘッド移動テーブル５が配設され
ている。移載ヘッド移動テーブル５には、チップ４を吸
着する吸着ノズル７を備えた移載ヘッド６が装着されて
いる。６ａは、移載ヘッド６のカバーである。
【０００９】移載ヘッド移動テーブル５の上方には、カ
メラ移動テーブル８が配設されており、カメラ移動テー
ブル８には基板認識用のカメラ９が装着されている。カ
メラ９は基板保持部２に保持された基板３を認識する。
メラ移動テーブル８が配設されており、カメラ移動テー
ブル８には基板認識用のカメラ９が装着されている。カ
メラ９は基板保持部２に保持された基板３を認識する。
【００１０】移動テーブル１の側方（図１において手前
側）にはチップ４を供給する部品供給部１０が配設され
ている。部品供給部１０はウエハ保持テーブル１１を備
えており、ウエハ保持テーブル１１には多数のチップ４
が貼着されたウエハシート１２が保持されている。部品
供給部１０の上方には、取り出しヘッド１４が取り出し
ヘッド移動テーブル１３によってＸ方向に水平移動可能
に配設されている。
側）にはチップ４を供給する部品供給部１０が配設され
ている。部品供給部１０はウエハ保持テーブル１１を備
えており、ウエハ保持テーブル１１には多数のチップ４
が貼着されたウエハシート１２が保持されている。部品
供給部１０の上方には、取り出しヘッド１４が取り出し
ヘッド移動テーブル１３によってＸ方向に水平移動可能
に配設されている。
【００１１】取り出しヘッド１４は、ウエハシート１２
からチップ４をピックアップし、Ｘ方向に水平移動して
チップ受け渡し位置へ至る経路上で上下反転し、チップ
４を上向きに保持した状態で待機する。そしてこの受け
渡し位置において移載ヘッド６にチップ４を渡す。
からチップ４をピックアップし、Ｘ方向に水平移動して
チップ受け渡し位置へ至る経路上で上下反転し、チップ
４を上向きに保持した状態で待機する。そしてこの受け
渡し位置において移載ヘッド６にチップ４を渡す。
【００１２】移載ヘッド６の移動経路の下方には、チッ
プ認識用のカメラ１５が配設されており、カメラ１５は
移載ヘッド６に保持された状態のチップ４を下方から撮
像する。これにより、チップ４の位置が認識される。そ
してカメラ９による基板３の認識結果と、カメラ１５に
よるチップ４の認識結果に基づいてチップ４と基板３と
の相対的位置ずれを検出し、この位置ずれを補正してチ
ップ４を基板３に実装する。
プ認識用のカメラ１５が配設されており、カメラ１５は
移載ヘッド６に保持された状態のチップ４を下方から撮
像する。これにより、チップ４の位置が認識される。そ
してカメラ９による基板３の認識結果と、カメラ１５に
よるチップ４の認識結果に基づいてチップ４と基板３と
の相対的位置ずれを検出し、この位置ずれを補正してチ
ップ４を基板３に実装する。
【００１３】次に図２、図３、図４を参照して移載ヘッ
ド６の構造を説明する。図２に示すように移載ヘッド６
を構成するリンク機構は、４つのリンク部材２６，２
７，２８，２９を３つのヒンジ３０，３１，３２によっ
て連結し、両端のリンク部材２６，２７を位置が固定さ
れた固定ヒンジ２４，２５によって保持させた構造とな
っている。中央に位置するヒンジ３２には、吸着ノズル
ユニット３３がヒンジ３２と同軸的に装着されている。
吸着ノズルユニット３３は、下端部がチップ４を吸着し
て保持する吸着ノズル７となっており、ヒンジ３２に対
して回転および上下方向の摺動が自在となっている。
ド６の構造を説明する。図２に示すように移載ヘッド６
を構成するリンク機構は、４つのリンク部材２６，２
７，２８，２９を３つのヒンジ３０，３１，３２によっ
て連結し、両端のリンク部材２６，２７を位置が固定さ
れた固定ヒンジ２４，２５によって保持させた構造とな
っている。中央に位置するヒンジ３２には、吸着ノズル
ユニット３３がヒンジ３２と同軸的に装着されている。
吸着ノズルユニット３３は、下端部がチップ４を吸着し
て保持する吸着ノズル７となっており、ヒンジ３２に対
して回転および上下方向の摺動が自在となっている。
【００１４】このリンク機構は、図３（ａ）に示すスケ
ルトンによって表すことができる。すなわちこのリンク
機構は、２つの固定ヒンジ２４，２５を固定保持する部
材に相当する仮想のリンクａを固定節とした５節のリン
ク機構である。そしてリンクａの両端Ａ，Ｅ（固定ヒン
ジ２５，２４に相当）には、リンクａと回転対偶を形成
するリンクｂ，ｅ（図２において、リンク部材２７，２
６に相当する）の１端がピン結合されている。さらにリ
ンクｂ，ｅの他端Ｂ，Ｄ（ヒンジ３１，３０に相当）に
はそれぞれリンクｃ，ｄ（リンク部材２９，２８に相当
する）が結合されており、リンクｃ，ｄはＣ（ヒンジ３
２に相当）において相互に回転対偶を形成している。
ルトンによって表すことができる。すなわちこのリンク
機構は、２つの固定ヒンジ２４，２５を固定保持する部
材に相当する仮想のリンクａを固定節とした５節のリン
ク機構である。そしてリンクａの両端Ａ，Ｅ（固定ヒン
ジ２５，２４に相当）には、リンクａと回転対偶を形成
するリンクｂ，ｅ（図２において、リンク部材２７，２
６に相当する）の１端がピン結合されている。さらにリ
ンクｂ，ｅの他端Ｂ，Ｄ（ヒンジ３１，３０に相当）に
はそれぞれリンクｃ，ｄ（リンク部材２９，２８に相当
する）が結合されており、リンクｃ，ｄはＣ（ヒンジ３
２に相当）において相互に回転対偶を形成している。
【００１５】本来このような５節リンク機構は、１つの
リンクの運動によって他の全てのリンクの運動が限定さ
れない不限定連鎖であるが、本実施の形態に示す例で
は、リンクｂ，ｅをそれぞれ独立して駆動される原動節
とし、リンクｃ，ｄをこれらの原動節に従属して運動す
る従動節とすることにより、限定連鎖と同様の機能を持
たせることができるようになっている。すなわち、リン
クｂ，ｅの位置を定めることによって各リンクの位置を
一意的に定め、したがってリンクｃ，ｄに保持される吸
着ノズルユニット３３の位置を一意的に定めることがで
きるようになっている。
リンクの運動によって他の全てのリンクの運動が限定さ
れない不限定連鎖であるが、本実施の形態に示す例で
は、リンクｂ，ｅをそれぞれ独立して駆動される原動節
とし、リンクｃ，ｄをこれらの原動節に従属して運動す
る従動節とすることにより、限定連鎖と同様の機能を持
たせることができるようになっている。すなわち、リン
クｂ，ｅの位置を定めることによって各リンクの位置を
一意的に定め、したがってリンクｃ，ｄに保持される吸
着ノズルユニット３３の位置を一意的に定めることがで
きるようになっている。
【００１６】図２において、移載ヘッド６は水平なベー
ス部材２０上に垂直に配設された３つのモータ２１，２
２，２３を備えている。両端のモータ２１，２２の回転
軸は、リンク部材２６，２７を水平面内で回転させる固
定ヒンジ２４，２５の回転軸と結合されており、モータ
２１，２２を回転駆動することにより、リンク部材２
６，２７は固定ヒンジ２４，２５の回転軸を中心とした
回動を行う。
ス部材２０上に垂直に配設された３つのモータ２１，２
２，２３を備えている。両端のモータ２１，２２の回転
軸は、リンク部材２６，２７を水平面内で回転させる固
定ヒンジ２４，２５の回転軸と結合されており、モータ
２１，２２を回転駆動することにより、リンク部材２
６，２７は固定ヒンジ２４，２５の回転軸を中心とした
回動を行う。
【００１７】この回動により、図３（ｂ）に示すように
リンク部材２８，２９が水平面内でそれぞれ矢印ｇ，ｆ
方向に移動し、この結果ヒンジ３２は矢印ｈで示す軌跡
で移動する。このとき、ヒンジ３２の移動先位置は、リ
ンク部材２６，２７の回動後の位置によって一意的に決
定される。
リンク部材２８，２９が水平面内でそれぞれ矢印ｇ，ｆ
方向に移動し、この結果ヒンジ３２は矢印ｈで示す軌跡
で移動する。このとき、ヒンジ３２の移動先位置は、リ
ンク部材２６，２７の回動後の位置によって一意的に決
定される。
【００１８】したがって、リンク部材２６，２７を回動
させるモータ２１，２２の回転駆動を制御してリンク部
材２６，２７の方位角α，βを制御することにより、ヒ
ンジ３２に装着された吸着ノズルユニット３３の水平面
内での位置座標（Ｘ，Ｙ）を所定範囲内で任意に制御す
ることができる。すなわち、モータ２１，２２は吸着ノ
ズルユニット３３を水平面内でＸＹ方向に移動させるＸ
Ｙモータ（ＸＹ方向回転駆動手段）となっている。
させるモータ２１，２２の回転駆動を制御してリンク部
材２６，２７の方位角α，βを制御することにより、ヒ
ンジ３２に装着された吸着ノズルユニット３３の水平面
内での位置座標（Ｘ，Ｙ）を所定範囲内で任意に制御す
ることができる。すなわち、モータ２１，２２は吸着ノ
ズルユニット３３を水平面内でＸＹ方向に移動させるＸ
Ｙモータ（ＸＹ方向回転駆動手段）となっている。
【００１９】次に、吸着ノズルユニット３３をθ方向に
回転させるθ方向回転駆動機構について説明する。吸着
ノズルユニット３３には、ヒンジ３２の下方に歯付プー
リ４０がノズル７と一体的に回転自在となるように結合
されている。また、ベース部材２０の中央部に配設され
たモータ２３の回転軸にも同様に歯付プーリ３６が結合
されており、２つの歯付プーリ４０，３６は、巻き掛け
伝動手段である歯付ベルト４１によって連結されてい
る。
回転させるθ方向回転駆動機構について説明する。吸着
ノズルユニット３３には、ヒンジ３２の下方に歯付プー
リ４０がノズル７と一体的に回転自在となるように結合
されている。また、ベース部材２０の中央部に配設され
たモータ２３の回転軸にも同様に歯付プーリ３６が結合
されており、２つの歯付プーリ４０，３６は、巻き掛け
伝動手段である歯付ベルト４１によって連結されてい
る。
【００２０】歯付ベルト４１はガイドローラ３７および
固定ヒンジ２４，２５の下端部に設けられたガイドプー
リ３８、ヒンジ３０，３１に設けられたガイドプーリ３
９を周回する形で調帯されている。ガイドプーリ３８，
３９は固定ヒンジ２４，２５の軸に対して回転自在に取
り付けられており、ガイドプーリ３９もヒンジ３０，３
１の軸に対して回転自在に取り付けられている。この状
態でモータ２３を駆動することにより、歯付ベルト４
１、歯付プーリ４０を介して吸着ノズルユニット３３を
θ方向に回転させることができる。したがってモータ２
３は、歯付きベルト４１を介して吸着ノズル７をθ方向
に回転させるθ方向回転駆動手段となっている。
固定ヒンジ２４，２５の下端部に設けられたガイドプー
リ３８、ヒンジ３０，３１に設けられたガイドプーリ３
９を周回する形で調帯されている。ガイドプーリ３８，
３９は固定ヒンジ２４，２５の軸に対して回転自在に取
り付けられており、ガイドプーリ３９もヒンジ３０，３
１の軸に対して回転自在に取り付けられている。この状
態でモータ２３を駆動することにより、歯付ベルト４
１、歯付プーリ４０を介して吸着ノズルユニット３３を
θ方向に回転させることができる。したがってモータ２
３は、歯付きベルト４１を介して吸着ノズル７をθ方向
に回転させるθ方向回転駆動手段となっている。
【００２１】このθ方向回転伝達において、歯付きベル
ト４１は４つのリンク部材２６，２７，２８，２９より
なるリンク機構に沿って調帯されているので、ヒンジ３
２がどの位置にあってもベルト長が変化することがな
く、水平面内で任意位置に移動する吸着ノズルユニット
３３をθ方向に回転駆動することが可能となっている。
ト４１は４つのリンク部材２６，２７，２８，２９より
なるリンク機構に沿って調帯されているので、ヒンジ３
２がどの位置にあってもベルト長が変化することがな
く、水平面内で任意位置に移動する吸着ノズルユニット
３３をθ方向に回転駆動することが可能となっている。
【００２２】図２、図４に示すように、吸着ノズルユニ
ット３３の上端部には、カギ状のＺ軸駆動部材３５が延
出して設けられている。移載ヘッド６の上方には、板状
の連動部材４２が配置されている。連動部材４２は、Ｚ
軸駆動機構４３によって上下動し、その下面でＺ軸駆動
部材３５の上面を押し下げて吸着ノズル７を下降させ
る。
ット３３の上端部には、カギ状のＺ軸駆動部材３５が延
出して設けられている。移載ヘッド６の上方には、板状
の連動部材４２が配置されている。連動部材４２は、Ｚ
軸駆動機構４３によって上下動し、その下面でＺ軸駆動
部材３５の上面を押し下げて吸着ノズル７を下降させ
る。
【００２３】吸着ノズル７を上昇させる方法としては、
移載ヘッド６の内部に上方向に付勢力を発生するばね機
構を設ける方法や、連動部材４２とＺ軸駆動部材３５と
を接離させる接離機構を設ける方法などを用いることが
できる。また、吸着ノズルユニット３３を単独で上下動
させずに、移載ヘッド６全体を昇降させる機構を採用し
てもよい。
移載ヘッド６の内部に上方向に付勢力を発生するばね機
構を設ける方法や、連動部材４２とＺ軸駆動部材３５と
を接離させる接離機構を設ける方法などを用いることが
できる。また、吸着ノズルユニット３３を単独で上下動
させずに、移載ヘッド６全体を昇降させる機構を採用し
てもよい。
【００２４】このように、移載ヘッド６の移動機構にリ
ンク機構を採用することにより、従来の直動機構を組み
合わせた移動機構と比較して、高剛性のガイド部材や送
りねじなどの機構部品を用いる必要がないことから、軽
量・コンパクトで安価な移載ヘッドの移動機構が実現さ
れる。これにより、例えば図４に示すように移載ヘッド
６の上方に位置する基板認識用のカメラ９を低い位置に
配置することが可能となり、このため基板認識カメラと
して高価な高倍率のカメラを用いる必要がないなど、優
れた付随効果が得られる。
ンク機構を採用することにより、従来の直動機構を組み
合わせた移動機構と比較して、高剛性のガイド部材や送
りねじなどの機構部品を用いる必要がないことから、軽
量・コンパクトで安価な移載ヘッドの移動機構が実現さ
れる。これにより、例えば図４に示すように移載ヘッド
６の上方に位置する基板認識用のカメラ９を低い位置に
配置することが可能となり、このため基板認識カメラと
して高価な高倍率のカメラを用いる必要がないなど、優
れた付随効果が得られる。
【００２５】さらに、移載ヘッド６自体がＸＹ平面内で
の位置決め機能を有することから、移載ヘッド移動テー
ブル５や基板３を保持して移動させるための移動テーブ
ル１には高精度の位置決め機能は必要とされず、ピッチ
送り機構など単に移動させるためのみの簡略な機構を用
いることが可能となる。
の位置決め機能を有することから、移載ヘッド移動テー
ブル５や基板３を保持して移動させるための移動テーブ
ル１には高精度の位置決め機能は必要とされず、ピッチ
送り機構など単に移動させるためのみの簡略な機構を用
いることが可能となる。
【００２６】なお、本実施の形態では、θ回転の巻き掛
け伝動手段として歯付ベルトを用いる例を示したが、こ
れ以外にもチェーンなどベルトと同様に屈曲自在に調帯
可能なものを使用してもよい。
け伝動手段として歯付ベルトを用いる例を示したが、こ
れ以外にもチェーンなどベルトと同様に屈曲自在に調帯
可能なものを使用してもよい。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、吸着ノズルを移動させ
る５節のリンク機構において、２つの原動節を水平面内
で回動させることにより吸着ノズルをＸＹ方向に移動さ
せるＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構に沿って
調帯された巻き掛け伝動手段を介して前記移載ヘッドを
θ方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備えたの
で、リンク機構による正確な位置決めが行え、簡単な機
構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動機構を実現する
ことができる。
る５節のリンク機構において、２つの原動節を水平面内
で回動させることにより吸着ノズルをＸＹ方向に移動さ
せるＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構に沿って
調帯された巻き掛け伝動手段を介して前記移載ヘッドを
θ方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備えたの
で、リンク機構による正確な位置決めが行え、簡単な機
構で軽量コンパクトな移載ヘッドの移動機構を実現する
ことができる。
【図１】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜
視図
視図
【図２】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移
載ヘッドの斜視図
載ヘッドの斜視図
【図３】（ａ）本発明の一実施の形態の電子部品実装装
置の移載ヘッドのリンク機構の説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載
ヘッドのリンク機構の平面図
置の移載ヘッドのリンク機構の説明図 （ｂ）本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の移載
ヘッドのリンク機構の平面図
【図４】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の部
分側面図
分側面図
３ 基板 ４ チップ ５ 移載ヘッド移動テーブル ６ 移載ヘッド ７ 吸着ノズル １０ 部品供給部 ２１，２２，２３ モータ ２４，２５ 固定ヒンジ ２６，２７，２８，２９ リンク部材 ３０，３１，３２ ヒンジ ３３ 吸着ノズルユニット
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/60 ３１１ Ｈ０１Ｌ 21/60 ３１１Ｓ
Claims (1)
- 【請求項１】移載ヘッドを移動させて部品供給部から電
子部品を取り出し基板に実装する電子部品実装装置であ
って、前記移載ヘッドは、１つの固定節とこの固定節と
回転対偶を形成し固定節の両端に一端がピン結合された
２つの原動節とこれらの原動節の他端にピン結合され回
転対偶を形成する２つの従動節より構成される５節のリ
ンク機構と、前記２つの従動節によってθ方向に回転自
在に保持された吸着ノズルと、前記２つの原動節を水平
面内で回動させることにより前記吸着ノズルをＸＹ方向
に移動させるＸＹ方向回転駆動手段と、前記リンク機構
に沿って調帯された巻き掛け伝動手段を介して前記吸着
ノズルをθ方向に回転させるθ方向回転駆動手段とを備
えたことを特徴とする電子部品実装装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000175435A JP2001353680A (ja) | 2000-06-12 | 2000-06-12 | 電子部品実装装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000175435A JP2001353680A (ja) | 2000-06-12 | 2000-06-12 | 電子部品実装装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001353680A true JP2001353680A (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=18677321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000175435A Pending JP2001353680A (ja) | 2000-06-12 | 2000-06-12 | 電子部品実装装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001353680A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008166410A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Toray Eng Co Ltd | 位置決め較正方法及びそれを適用した実装装置 |
| CN103481283A (zh) * | 2013-09-17 | 2014-01-01 | 江南大学 | 一种3轴五杆并联机械手 |
| CN104626113A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-20 | 安徽工业大学 | 一种连杆-同步带联合传动的四自由度机器人 |
-
2000
- 2000-06-12 JP JP2000175435A patent/JP2001353680A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008166410A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Toray Eng Co Ltd | 位置決め較正方法及びそれを適用した実装装置 |
| CN103481283A (zh) * | 2013-09-17 | 2014-01-01 | 江南大学 | 一种3轴五杆并联机械手 |
| CN104626113A (zh) * | 2015-01-21 | 2015-05-20 | 安徽工业大学 | 一种连杆-同步带联合传动的四自由度机器人 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050324 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050405 |
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| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050630 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051206 |