JP5350350B2 - X線位置計測装置、x線位置計測装置の位置計測方法、及びx線位置計測装置の位置計測用プログラム - Google Patents
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Description
このようなX線位置計測装置では、X線放射器の放射中心とX線カメラとの光軸とが合致していることが一対の位置決めマークの形状を正確に測定するために必要となる。
このため、X線放射器及びX線カメラが位置決めのために動いた距離をリニアスケールでFB(フィードバック)をかけるなどの複雑な処理、高精度な送り機構、高強度な機械筐体が必要となり、X線位置計測装置が非常に高価になってしまう。
X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動手段と、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶手段と、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動手段と、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第1位置計測手段と、を備える、
ことを特徴とする。
前記制御部は、前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更手段と、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶手段と、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更手段と、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測手段と、をさらに備える、
ことが好ましい。
X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備えたX線位置計測装置で使用される位置計測方法であって、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動ステップと、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶ステップと、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動ステップと、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測ステップと、を備える、
ことを特徴とする。
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更ステップと、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶ステップと、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更ステップと、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測ステップと、をさらに備える、
ことが好ましい。
X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備えたX線位置計測装置の前記制御部に設けられるコンピュータを、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動手段、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶手段、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動手段、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測手段、として機能させる、
ことを特徴とする。
前記コンピュータを、前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更手段、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶手段、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更手段、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測手段、としてさらに機能させる、
ことが好ましい。
そして、Z方向移動体15は、第1X方向移動体13に配置されたZモータ(第3移動部)43によって、一対の第1軌道レール51で案内されながら第1X方向移動体13に対してワーク載置テーブル面(多層プリント基板の表面)と垂直な方向(上下方向)に移動可能とされている。この一対の第1軌道レール51は、第1X方向移動体13の+Y側の側面の略中央部にZ方向に延びるように配置されている。
このように、X線カメラ10bがX線放射器10aに対してワーク載置テーブルと垂直な方向に移動することで、X線カメラ10bの受光面に投影される、測定対象物を透過したX線投影像を拡大及び縮小させ、その拡大倍率を変更することが可能となる。
なお、図12(a)に示す多層プリント基板70は、上方から銅箔74、プリプレグ71、銅箔75、プリプレグ72、銅箔76、プリプレグ73、銅箔77が積層されたものであり、銅箔75、銅箔76に、それぞれ、位置計測用のマークとして、大径の円マーク70a、小径の円マーク70bが配置(印刷)されている。
そして、第1X方向移動体13は、立設プレート10eに配置された第1Xモータ(第1移動部)11によって、第2軌道レール52で案内されながら立設プレート10eに沿ってX方向に移動可能とされている。
さらに、X線カメラ10bは、Z方向移動体15上に配置された第3Xモータ31及び第3Yモータ32によって、Z方向移動体15に対してX方向及びY方向に微小な範囲で移動可能とされている。
そして、第2X方向移動体14(X線放射器10a)は、基台10dに配置された第2Xモータ(第2移動部)21によって、第3軌道レール53で案内されながら基台10dに対してX方向に移動可能とされている。一対の第3軌道レール53及び第2Xモータ21は、基台10dの中央部にX方向に延びるように形成された溝部10fの底面に配置されている(図1参照)。
さらに、X線放射器10aは、第2X方向移動体14上に配置された第2Yモータ22によって、第2X方向移動体14に対してY方向に微小な範囲で移動可能とされている。
そして、ワーク載置テーブル10cは、基台10d上に配置された第4Yモータ42によって、第3軌道レール54で案内されながら基台10dに対してY方向に移動可能とされている。このように、ワーク載置テーブル10cは、X線放射器10a及びX線カメラ10bとは独立してY方向に移動可能となっている。このため、X線放射器10a及びX線カメラ10bが、基台10dに対する所定位置に固定されている状態で、測定対象物である多層プリント基板70に対してY方向に移動可能になっている。
記憶部47は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、半導体メモリ等の不揮発性メモリを含む。記憶部47には、コントローラ81が実行するプログラム、プログラムの実行に必要な各種パラメータ、上記サーボモータ群44を駆動し、X線放射器10a及びX線カメラ10bを移動させるための各種情報が格納される。
X線位置計測装置10を用いて実際に多層プリント基板の位置計測を行う前に、X線放射器10a及びX線カメラ10bのX方向移動時の補正量を取得する。ここでは、ワーク載置テーブル10c上に多層プリント基板が載置されていない状態とする。また、X線カメラ10bの拡大倍率は、所定の倍率(ここでは、×1)で一定としておく。この補正量の取得は、1枚の多層プリント基板の位置計測を行う都度に行うことが好ましい。しかしこれに限られず、複数枚の多層プリント基板の位置計測を行う都度に行っても良い。また、位置計測を行う多層プリント基板の枚数とは無関係に、時期を決めておいて行うことも可能である。
具体的には、X線放射器10a及びX線カメラ10bを、図5に示すXY座標において、(2、1)〜(n−1、1);(m、2)〜(n−1、m);(2、1)〜(m−1、1);(n、2)〜(n、m−1)の各座標位置に設けた位置決めマーク70mに順次移動させる。具体的には、X方向についてはX線放射器10a及びX線カメラ10bを、第1Xモータ11、第2Xモータ12を用いて移動させ、Y方向については、多層プリント基板70が載置されているワーク載置テーブル10cを、第4Xモータ42を用いて移動させる。
具体的には、図7を参照して、記憶部47に記憶した、図5に示す原点位置(機械原点)における位置補正用治具61の微小孔65の中心位置(第2X線投影像102の中心点O´)のXY座標を画像表示部45の表示画面の中心位置Oとする。そして、この中心位置Oと、X線放射器10a及びX線カメラ10bがX方向に移動した先の座標位置での画像表示部45の表示画面における第2X線投影像102の中心点O´(微小孔65の中心位置)のXY座標とを比較して、補正量としての位置ずれ量(ΔX1、ΔY1)を測定する。そして、コントローラ81は、X線カメラ10bの拡大倍率(X線カメラ10bのZ方向位置)、位置決めマーク70mの各座標位置に対応づけて、その座標位置における補正量を記憶部47に順次記憶する。全ての位置決めマーク70mの各座標位置における補正量を記憶した後、位置補正用治具61から円盤治具63を取り外す。
次に、コントローラ81は、多層プリント基板の各位置決めマーク70mで位置計測を行うため、第1Xモータ11、第2Xモータ21、第4Yモータ42を制御し、X線放射器10a及びX線カメラ10bを上述した位置決めマーク70mの各座標位置に移動させる(ステップS4)。
X線位置計測装置10を用いて実際にX線カメラ10bの拡大倍率の変更を行う前に、X線カメラ10bの拡大倍率変更時の補正量を取得する。ここでは、ワーク載置テーブル10c上に多層プリント基板が載置されていない状態とする。また、X線カメラ10bの初期の拡大倍率は、所定の倍率(ここでは、×1)としておく。この補正量の取得は、1枚の多層プリント基板の位置計測を行う都度に行うことが好ましい。しかしこれに限られず、複数枚の多層プリント基板の位置計測を行う都度に行っても良い。また、位置計測を行う多層プリント基板の枚数とは無関係に、時期を決めておいて行うことも可能である。
次に、固定用プレート62を用いて、位置補正用治具61を、X線カメラ10bの下方側で第1X方向移動体13の所定位置に固定しておく(図3(a)、図3(b)参照)。
具体的には、図11を参照して、記憶部47に記憶した、図5に示す原点位置(機械原点)における位置補正用治具61の微小孔65の中心位置(第2X線投影像102の中心点O´)のXY座標を画像表示部45の表示画面の中心位置Oとする。そして、この中心位置Oと、X線カメラ10bがZ方向に移動した先の座標位置での画像表示部45の表示画面における第2X線投影像102の中心点O´(微小孔65の中心位置)のXY座標とを比較して、補正量としての位置ずれ量(ΔX2、ΔY2)を測定する。そして、コントローラ81は、X線カメラ10bの拡大倍率(X線カメラ10bのZ方向位置)に対応づけて、そのZ方向位置における補正量を記憶部47に順次記憶する。全ての拡大倍率における補正量を記憶した後、位置補正用治具61から円盤治具63を取り外す。
次に、コントローラ81は、多層プリント基板の所定の位置決めマーク70mで位置計測を行うため、第1Xモータ11、第2Xモータ21、第4Yモータ42を制御し、X線放射器10a及びX線カメラ10bを上述した位置決めマーク70mのいずれかの座標位置に移動させる(ステップS14)。
10a X線放射器
10b X線カメラ
10c ワーク載置テーブル
10d 基台
10e 立設プレート
10f 溝部
11 第1Xモータ
13 第1X方向移動体
14 第2X方向移動体
15 Z方向移動体
21 第2Xモータ
22 第2Yモータ
31 第3Xモータ
32 第3Yモータ
42 第4Yモータ
43 Zモータ
44 サーボモータ群
45 画像表示部
46 X線放射器駆動部
47 記憶部
48 入力部
51 第1軌道レール
52 第2軌道レール
53 第3軌道レール
54 第4軌道レール
61 位置補正用治具
62 固定用プレート
63 円盤治具
64 保持用開口
65 微小孔
70 多層プリント基板
70m 位置決めマーク
70a 大径の円マーク
70b 小径の円マーク
71 表側プリント基板
72 裏側プリント基板
81 マイクロコンピュータ
100 受光面
101 第1X線投影像
102 第2X線投影像
L 光軸
O 画像表示部45の表示画面の中心位置
O´ 第2X線投影像の真の中心点
O´´ 第2X線投影像の見かけの中心点
Claims (7)
- X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備え、
前記制御部は、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動手段と、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶手段と、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動手段と、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第1位置計測手段と、を備える、
ことを特徴とするX線位置計測装置。 - 前記X線放射器及び前記X線カメラの内の一方を前記ワーク載置テーブルと垂直な方向に移動させることで、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第3移動部をさらに備え、
前記制御部は、前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更手段と、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶手段と、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更手段と、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測手段と、をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載のX線位置計測装置。 - 前記測定対象物が、位置計測を行う位置に位置決めマークが付されている多層プリント配線板であることを特徴とする請求項1又は2に記載のX線位置計測装置。
- X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備えたX線位置計測装置で使用される位置計測方法であって、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動ステップと、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶ステップと、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動ステップと、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第1位置計測ステップと、を備える、
ことを特徴とするX線位置計測装置の位置計測方法。 - 前記X線位置計測装置は、前記X線放射器及び前記X線カメラの内の一方を前記ワーク載置テーブルと垂直な方向に移動させることで、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第3移動部をさらに備え、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更ステップと、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶ステップと、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更ステップと、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測ステップと、をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載のX線位置計測装置の位置計測方法。 - X線放射器及びX線カメラと、
測定対象物を載置するワーク載置テーブルと、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線放射器を当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第1移動部と、
前記ワーク載置テーブル上の測定対象物に対して、前記X線カメラを当該ワーク載置テーブル面に沿って移動させる第2移動部と、
前記X線放射器から放射され、前記測定対象物を透過したX線が第1X線投影像として投影される画像表示部と、
前記X線放射器及び前記X線カメラの間に介在配置され、前記X線放射器から放射されるX線を前記画像表示部に位置把握の可能な第2X線投影像として投影させるための位置補正用治具と、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラをそれぞれ独立して前記ワーク載置テーブルに対して移動させる制御部と、
少なくとも前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を補正量として記憶する記憶部と、を備えたX線位置計測装置の前記制御部に設けられるコンピュータを、
前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記測定対象物で位置計測を行う位置に移動させる第1移動手段、
前記位置計測を行う位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該位置計測を行う位置に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第1測定記憶手段、
前記第1移動部及び第2移動部を制御し、前記X線放射器及び前記X線カメラを前記位置計測を行う位置に移動させる第2移動手段、
前記位置計測を行う位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第1位置計測手段、として機能させる、
ことを特徴とするX線位置計測装置の位置計測用プログラム。 - 前記X線位置計測装置は、前記X線放射器及び前記X線カメラの内の一方を前記ワーク載置テーブルと垂直な方向に移動させることで、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第3移動部をさらに備え、
前記コンピュータを、前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第1拡大倍率変更手段、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記画像表示部における基準位置と前記第2X線投影像の位置との位置ずれ量を測定するとともに、前記位置ずれ量を当該拡大倍率に対応する補正量として前記記憶部に記憶する第2測定記憶手段、
前記第3移動部を制御し、前記X線カメラの拡大倍率を変更する第2拡大倍率変更手段、
所定の拡大倍率が実現される前記X線カメラの位置において、前記補正量に基づいて前記第1移動部及び前記第2移動部を制御し、前記X線放射器の放射中心及び前記X線カメラの光軸を合致させるとともに、前記測定対象物の位置計測を行う第2位置計測手段、としてさらに機能させる、ことを特徴とする請求項6に記載のX線位置計測装置の位置計測用プログラム。
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