JP4648964B2 - マーク認識システム、マーク認識方法および表面実装機 - Google Patents
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Description
11…基台
3…基板
31…基板搬送経路
4…実装制御ユニット(制御手段)
42…メモリ(記憶手段)
6…ヘッドユニット(ユニット)
7…ヘッド駆動機構(駆動機構)
751…ボールねじ軸
761…ボールねじ軸
762…ボールナット
91…メインカメラ
92…サブカメラ
BM1、BM2、BM3…ベースマーク
FM1、FM2…フィデューシャルマーク
Z…鉛直方向
Cx…X軸方向カメラ間距離(カメラの相対位置情報)
Cy…Y軸方向カメラ間距離(カメラの相対位置情報)
Claims (8)
- 複数の較正用マークを有する基台と、
前記基台の鉛直方向上側で複数のカメラを保持するユニットと、
前記鉛直方向に直交する方向に前記ユニットを駆動する駆動機構と、
前記駆動機構による前記ユニットの駆動を制御して前記複数のカメラの相対位置関係を保持したまま前記カメラを移動させる制御手段と、
前記複数のカメラの相対位置関係に関する相対位置情報を記憶する記憶手段と
を備え、
前記制御手段は、前記複数のカメラのうちの一のカメラを前記各較正用マークの認識可能位置に移動させることで得られる前記複数の較正用マークの認識結果を用いて前記駆動機構の熱変形に関する熱変形情報を求め、
前記熱変形情報に基づき前記ユニットの駆動を較正することによって前記基台上の基板に付された基板上マークを認識可能な位置に前記一のカメラを移動させて前記基板上マークを認識し、
前記相対位置情報と前記熱変形情報とに基づき前記ユニットの駆動を較正することによって前記基板上マークを認識可能な位置に前記一のカメラ以外のカメラを移動させて前記基板上マークを認識することを特徴とするマーク認識システム。 - 前記駆動機構は、前記鉛直方向に直交する第1軸方向に前記ユニットを駆動する第1軸駆動部と、前記鉛直方向および前記第1軸方向に直交する第2軸方向に前記第1軸駆動部を駆動する第2軸駆動部とで構成された請求項1記載のマーク認識システム。
- 前記第1軸駆動部は、前記第1軸方向に延びる第1ねじ軸と、前記第1ねじ軸に螺合するとともに前記ユニットに取り付けられたナットとを有し、前記第2軸駆動部は、前記第2軸方向に伸びる第2ねじ軸と、前記第2ねじ軸に螺合するとともに前記第1軸駆動部に取り付けられたナットとを有する請求項2記載のマーク認識システム。
- 前記複数の較正用マークのうち少なくとも2つの較正用マークそれぞれの位置は、前記第1軸方向と前記第2軸方向のいずれにおいても互いに異なる請求項2または3に記載のマーク認識システム。
- 3個以上の前記較正用マークが設けられている請求項2ないし4のいずれか一項に記載のマーク認識システム。
- 前記基板上マークはフィデューシャルマークである請求項1ないし5のいずれか一項に記載のマーク認識システム。
- 請求項1ないし6のいずれか一項に記載のマーク認識システムを備えた表面実装機であって、前記基台上に搬送された前記基板に対して部品を実装することを特徴とする表面実装機。
- 基台の鉛直方向上側で複数のカメラを保持するユニットを駆動機構により前記鉛直方向に直交する方向に駆動することで、前記基板に付された基板上マークを認識可能な位置に前記複数のカメラの相対位置関係を保持したまま前記カメラを移動させて、前記基板上マークを前記カメラにより認識するマーク認識方法であって、
前記複数のカメラのうちの一のカメラを、前記基台に設けられた複数の較正用マークそれぞれの認識可能位置に移動させることで得られる前記複数の較正用マークの認識結果を用いて前記駆動機構の熱変形に関する熱変形情報を求め、
前記熱変形情報に基づき前記ユニットの駆動を較正することによって前記基台上の基板に付された基板上マークを認識可能な位置に前記一のカメラを移動させて前記基板上マークを認識し、
前記複数のカメラの相対位置関係に関する相対位置情報と前記熱変形情報とに基づき前記ユニットの駆動を較正することによって前記基板上マークを認識可能な位置に前記一のカメラ以外のカメラを移動させて前記基板上マークを認識することを特徴とするマーク認識方法。
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