JP2009212251A - 部品移載装置 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動機構の熱膨張などにより移動撮像部に位置ずれが生じた場合にも、部品の搭載精度の低下を抑制することが可能な部品移載装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機１００（部品移載装置）は、部品１２０を吸着させながら移動して所定の位置に載置するヘッドユニット２０と、ヘッドユニット２０に設けられた基準マーク２５および２６と、ヘッドユニット２０に対して移動しながら基準マーク２５および２６と部品１２０とを撮像する移動撮像部５０と、ヘッドユニット２０および移動撮像部５０を制御する制御部６１とを備え、制御部６１は、移動撮像部５０により予め撮像された基準マーク２５および２６の画像と、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像される基準マーク２５および２６の画像とに基づいて、撮像された部品１２０の画像に対して移動撮像部５０の位置ずれを補正する。
【選択図】図２

Description

この発明は、部品移載装置に関し、特に、移動撮像部を備えた部品移載装置に関する。

従来、移動撮像部を備えた部品移載装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、部品を吸着する複数のノズルを有するヘッドユニットと、ヘッドユニットに移動可能に取り付けられ、複数のノズルに吸着された部品を撮像するラインスキャンカメラ（移動撮像部）と、ラインスキャンカメラに撮像された部品を認識するとともに、装置の駆動を制御する制御部とを備えた部品搭載装置が開示されている。このラインスキャンカメラは、ヘッドユニットに設けられたボールネジおよび駆動モータにより、複数のノズルの配列方向に沿って移動するように構成されている。この特許文献１による部品搭載装置では、制御部は、ラインスキャンカメラによって撮像された部品の吸着位置などを認識し、搭載順序を決定するとともに、所定の搭載位置に部品が搭載されるようにヘッドユニットを駆動させるように構成されている。

特開２００４−６３８６７号公報

しかしながら、特許文献１の部品搭載装置では、部品搭載時に、ヘッドユニットに設けられたボールねじの熱膨張や、ボールねじに駆動力を伝える駆動モータの駆動誤差などにより、ラインスキャンカメラに位置ずれが生じるという不具合がある。このため、制御部がスキャンカメラによって撮像された部品の画像から位置および姿勢を認識した場合に、認識結果に位置ずれが発生することにより、部品搭載精度が低下するという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、駆動機構の熱膨張などにより移動撮像部に位置ずれが生じた場合にも、部品の搭載精度の低下を抑制することが可能な部品移載装置を提供することである。

課題を解決するための手段および発明の効果

この発明の一の局面による部品移載装置は、部品を吸着する複数の吸着ノズルを含み、部品を吸着ノズルに吸着させながら移動して部品を所定の位置に載置するヘッドユニットと、ヘッドユニットに設けられた第１基準マークおよび第２基準マークと、ヘッドユニットに設けられた所定の移動機構に沿って移動可能に取り付けられ、ヘッドユニットに対して移動しながら第１基準マークと第２基準マークと吸着ノズルに吸着された部品とを撮像する移動撮像部と、ヘッドユニットおよび移動撮像部の駆動を制御する制御部とを備え、
制御部は、移動撮像部により予め撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの画像と、部品の移動時に移動撮像部により撮像される第１基準マークおよび第２基準マークの画像とに基づいて、撮像された部品の画像から認識される部品の位置に対して移動撮像部の位置ずれを補正するように構成されている。

この一の局面による部品移載装置では、上記のように、移動撮像部により予め撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの画像と、部品の移動時に移動撮像部により撮像される第１基準マークおよび第２基準マークの画像とに基づいて、撮像された部品の画像から認識される部品の位置に対して移動撮像部の位置ずれを補正するように構成することによって、駆動機構の熱膨張などにより移動撮像部の位置ずれが生じた場合にも、位置ずれの発生した移動撮像部により撮像された画像に基づいて認識される部品の位置を適正な位置に補正することができる。このため、駆動機構の熱膨張などにより移動撮像部に位置ずれが生じた場合にも、部品の搭載精度が低下するのを抑制することができる。

また、上記一の局面による部品移載装置において、好ましくは、部品移載装置は、移動撮像部により予め撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの画像情報を記憶する記憶部をさらに備え、制御部は、部品の移動時に移動撮像部により撮像される画像から認識した第１基準マークおよび第２基準マークの各々と吸着された部品との距離の比と、移動撮像部により予め撮像されるとともに記憶部に記憶された画像から取得した第１基準マークおよび第２基準マークの基準位置とに基づいて、移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置を算出することによって、撮像された部品の認識位置に対して移動撮像部の位置ずれを補正するように構成されている。このように構成すれば、部品の移動時に撮像された基準マークと部品との距離の比を用いて移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置を求めることができるので、部品の認識位置を容易に補正することができる。

また、上記一の局面による部品移載装置において、好ましくは、制御部は、第１基準マークの基準位置と移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置との間の距離と、第２基準マークの基準位置と移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置との間の距離との比が、部品の移動時に移動撮像部により撮像された第１基準マークの認識位置と部品の認識位置との間の距離と、第２基準マークの認識位置と部品の認識位置との間の距離との比に等しい関係を有することに基づいて、移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置を算出するように構成されている。このように構成すれば、単純な比の関係に基づいて移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置を求めることができるので、移動撮像部に位置ずれが生じた場合にも各吸着ノズルに吸着された部品の正確な位置を容易に算出することができる。

また、上記一の局面による部品移載装置において、好ましくは、移動撮像部は、直線状に移動するように設けられており、第１基準マークおよび第２基準マークは、移動撮像部の移動経路に沿ってヘッドユニットの複数の吸着ノズルとともに直線状に配列されている。このように構成すれば、移動撮像部の移動経路に沿って直線状に複数の吸着ノズルと第１基準マークと第２基準マークとが配列されることにより、第１基準マークおよび第２基準マークの位置を基準として吸着ノズルに吸着された部品の位置を正確に認識することができるので、部品の認識位置を正確に補正することができる。

また、上記一の局面による部品移載装置において、好ましくは、制御部は、移動撮像部の移動経路に直交する方向における移動撮像部の位置ずれを、移動撮像部の移動経路に直交する方向への移動撮像部の移動機構の平行移動として近似することにより、第１基準マークおよび第２基準マークの基準位置と、部品の移動時に撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの認識位置との差に基づいて、部品の移動時に撮像された認識位置から移動撮像部の位置ずれがない状態の部品の位置を算出するように構成されている。このように、移動撮像部の移動方向における移動撮像部の位置ずれに対してずれ量が小さくて、ずれ量に起因する影響の小さい移動方向と直交する方向の移動撮像部の位置ずれに関しては、移動撮像部の移動経路に直交する方向へ移動撮像部の移動機構が平行に移動したものと近似することにより、第１基準マークおよび第２基準マークの基準位置と部品の移動時に撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの認識位置との差に基づいて簡単に部品の認識位置の補正を行うことができる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の一実施形態による表面実装機の全体構成を示す斜視図である。図２〜図１１は、図１に示した表面実装機の構造を説明するための図である。以下、図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態による表面実装機１００の構造について説明する。なお、この第１実施形態では、本発明の部品移載装置を表面実装機に適用した場合の例について説明する。

図１〜図５に示すように、第１実施形態による表面実装機１００は、プリント基板１１０に部品１２０を実装する装置である。図１に示すように、表面実装機１００は、Ｘ方向に延びる一対の基板搬送コンベア１０と、一対の基板搬送コンベア１０の上方をＸＹ方向に移動可能なヘッドユニット２０とを備えている。一対の基板搬送コンベア１０の両側には、部品１２０を供給するための複数のテープフィーダ１２１が配置されている。ヘッドユニット２０は、テープフィーダ１２１から部品１２０を取得するとともに、基板搬送コンベア１０上のプリント基板１１０に部品１２０を実装する機能を有する。基板搬送コンベア１０およびヘッドユニット２０は、基台１上に設置されている。以下、表面実装機１００の具体的な構造を説明する。

一対の基板搬送コンベア１０は、プリント基板１１０をＸ方向に搬送するとともに、所定の実装作業位置でプリント基板１１０を停止させ、保持させることが可能なように構成されている。

テープフィーダ１２１は、複数の部品１２０を所定の間隔を隔てて保持したテープが巻き回されたリールを保持している。このテープフィーダ１２１は、リールを回転させることにより部品１２０を保持するテープを送り出すことによって、テープフィーダ１２１の先端から部品１２０を供給するように構成されている。なお、部品１２０は、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサなどの小型の電子部品である。

また、ヘッドユニット２０は、Ｘ方向に延びるヘッドユニット支持部３０に沿ってＸ方向に移動可能に構成されている。具体的には、ヘッドユニット支持部３０は、ボールネジ軸３１とボールネジ軸３１を回転させるサーボモータ３２とＸ方向のガイドレール（図示せず）とを有しているとともに、ヘッドユニット２０は、ボールネジ軸３１が螺合されるボールナット２１（図２参照）を有している。ヘッドユニット２０は、サーボモータ３２によりボールネジ軸３１が回転されることにより、ヘッドユニット支持部３０に対してＸ方向に移動するように構成されている。また、ヘッドユニット支持部３０は、基台１上に設けられたＹ方向に延びる一対の固定レール部４０に沿ってＹ方向に移動可能に構成されている。具体的には、固定レール部４０は、ヘッドユニット支持部３０の両端部をＹ方向に移動可能に支持するガイドレール４１と、Ｙ方向に延びるボールネジ軸４２（図４参照）と、ボールネジ軸４２を回転させるサーボモータ４３（図４参照）とを有しているとともに、ヘッドユニット支持部３０には、ボールネジ軸４２が螺合されるボールナット３３（図４参照）が設けられている。ヘッドユニット支持部３０は、サーボモータ４３によりボールネジ軸４２が回転されることによって、ガイドレール４１に沿ってＹ方向に移動するように構成されている。このような構成により、ヘッドユニット２０は、基台１上をＸＹ方向に移動することが可能なように構成されている。

また、図３および図４に示すように、ヘッドユニット２０には、Ｘ方向に配列された４本の吸着ノズル２２と、２つの基準マーク２５および２６とが下方に突出するように設けられている。また、基準マーク２５および基準マーク２６は、配列された４本の吸着ノズル２２の外側にそれぞれ設けられている。また、各々の吸着ノズル２２は、負圧発生機（図示せず）によってその先端に負圧状態を発生させることが可能に構成されている。吸着ノズル２２は、この負圧によって、テープフィーダ１２１から供給される部品１２０を先端に吸着および保持することが可能である。なお、基準マーク２５および基準マーク２６は、それぞれ本発明の「第１基準マ−ク」および「第２基準マーク」の一例である。

また、各々の吸着ノズル２２は、図示しない機構（サーボモータなど）によって、ヘッドユニット２０に対して上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。表面実装機１００は、吸着ノズル２２が上昇位置に位置した状態で部品１２０の搬送などを行うとともに、吸着ノズル２２が下降位置に位置した状態で部品１２０のテープフィーダ１２１からの吸着およびプリント基板１１０への実装を行うように構成されている。また、吸着ノズル２２は、吸着ノズル２２自体がその軸を中心として回転可能に構成されている。これにより、表面実装機１００では、部品１２０を搬送する途中に吸着ノズル２２を回転させることにより、ノズルの先端に保持された部品１２０の姿勢（水平面内の向き）を調整することが可能である。

また、本実施形態では、基準マーク２５および基準マーク２６は、後述する移動撮像部５０によって底面を撮像されることにより、表面実装機１００の実装時に発生する移動撮像部５０の位置ずれによる部品１２０の認識位置への影響を補正するために設けられている。また、基準マーク２５および基準マーク２６は、底面が正方形の四角柱形状を有する。ここで、本実施形態では、基準マーク２５および２６は、移動撮像部５０の移動経路（Ｘ方向）に沿って４本の吸着ノズル２２とともに直線状に配列されている。

また、本実施形態では、ヘッドユニット２０には、吸着ノズル２２に吸着された複数の部品１２０と基準マーク２５および２６とを撮像するための移動撮像部５０が取り付けられている。この移動撮像部５０は、図２に示すように、ヘッドユニット２０に対してＸ方向に移動可能に取り付けられている。具体的には、ヘッドユニット２０には、Ｘ方向に延びるボールネジ軸２３と、ボールネジ軸２３を回転させるサーボモータ２４とが設けられているとともに、移動撮像部５０には、ボールネジ軸２３が螺合されるボールナット５１が設けられている。移動撮像部５０は、サーボモータ２４によりボールネジ軸２３が回転されることにより、ヘッドユニット２０に対してＸ方向に移動されるように構成されている。したがって、移動撮像部５０の移動経路と吸着ノズル２２および基準マーク２５、２６の配列方向とが、実質的に同一方向（Ｘ方向）となるように構成されている。これにより、移動撮像部５０は、ヘッドユニット２０にＸ方向に並んで配置された４本の吸着ノズル２２に保持された部品１２０と吸着ノズル２２の外側に配置された基準マーク２５および２６とを順次撮像することが可能になる。また、ヘッドユニット２０に移動撮像部５０が取り付けられることによって、部品１２０を吸着ノズル２２により保持した状態でヘッドユニット２０を実装位置に移動させながら、移動撮像部５０をヘッドユニット２０に対して相対移動させて部品１２０の姿勢（吸着ノズル２２への吸着状態）と基準マーク２５および２６とを撮像することが可能である。なお、ボールネジ軸２３およびサーボモータ２４は、それぞれ本発明の「移動機構」の一例である。

移動撮像部５０は、図２〜図７に示すように、１つの部品認識用カメラ５２と、吸着ノズル２２に吸着された部品１２０と基準マーク２５および２６とに対して下方および側方からそれぞれ照明光を照射する下方照明部５３および側方照明部５４と、部品１２０の撮像光を部品認識用カメラ５２に導くためのプリズム５５〜５７とを含んでいる。また、部品認識用カメラ５２には、後述するように、６つのラインセンサ５２１〜５２６（図１０参照）からなるイメージセンサ５２ａが内蔵されている。

また、図６に示すように、部品１２０および基準マーク２５、２６の下方には、撮像時にＺ方向の撮像光をＸ方向に沿った方向に反射させるための反射面５５ａを有するプリズム５５が配置されるように構成されている。また、プリズム５５の側方には、プリズム５５によりＸ方向に反射された撮像光を部品認識用カメラ５２側に反射させるための反射面５６ａを有するプリズム５６が配置されている。これにより、部品１２０および基準マーク２５、２６の下面が、プリズム５５の反射面５５ａとプリズム５６の反射面５６ａとにより反射されて部品認識用カメラ５２のイメージセンサ５２ａによって撮像されるように構成されている。

図８および図９に示すように、上記したプリズム５６の側方には、反射面５７ａおよび５７ｂを有するプリズム５７が配置されている。反射面５７ａは、部品１２０からのＹ方向の撮像光を反射面５７ｂに向かってＺ方向に反射させるように構成されており、反射面５７ｂは、入射した撮像光をプリズム５６の反射面５６ａに向かってＸ方向に反射させるように構成されている。これにより、部品１２０は、プリズム５７の反射面５７ａおよび５７ｂと、プリズム５６の反射面５６ａとを介して部品認識用カメラ５２のイメージセンサ５２ａにより撮像されるように構成されている。この移動撮像部５０では、部品１２０の下方から見た画像と部品１２０の側方から見た画像とを１つの部品認識用カメラ５２により撮像することが可能である。これにより、部品１２０の側方から見た画像によって部品１２０の姿勢を認識するとともに、部品１２０および基準マーク２５、２６の下方から見た画像によって部品１２０の位置および基準マーク２５、２６のそれぞれの位置を認識することが可能なように構成されている。

また、図１０に示すように、部品認識用カメラ５２のイメージセンサ５２ａは、いわゆるＴＤＩセンサ（Ｔｉｍｅ Ｄｅｌａｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ Ｓｅｎｓｏｒ）であり、Ａ方向に画素が連なるように延びる複数（本実施形態では、６個）のラインセンサ５２１〜５２６がＢ方向に配置されることにより構成されている。ＴＤＩセンサからなるイメージセンサ５２ａを用いることにより、移動撮像部５０を部品１２０に対して高速で移動させながら撮像を行う場合にも、鮮明な画像を得ることが可能である。このＴＤＩセンサからなるイメージセンサ５２ａは、以下のようにして部品１２０の撮像を行うように構成されている。

すなわち、移動撮像部５０（部品認識用カメラ５２）を移動させながらＴＤＩセンサからなるイメージセンサ５２ａによって部品１２０を撮像する場合、部品１２０が部品認識用カメラ５２に対して相対的に移動する方向（Ｂ方向）に沿って６つのラインセンサ５２１〜５２６が所定のピッチ（間隔）で並べられている。つまり、部品１２０は所定の速度で６つのラインセンサ５２１〜５２６を横切るように移動する。ここで、６つのラインセンサ５２１〜５２６は、各ラインセンサ５２１〜５２６間のピッチを部品１２０が移動するのに要する時間（以下、撮像ピッチ時間）毎に撮像を行うように制御される。これにより、１段目のラインセンサ５２１により撮像した部品１２０のある部分が、撮像ピッチ時間後に２段目のラインセンサ５２２により撮像される。さらに撮像ピッチ時間後には、３段目のラインセンサ５２３により同一部分の撮像が行われる。同様にして、部品１２０の同一部分が６つのラインセンサ５２１〜５２６により６回撮像される。また、各々のラインセンサ５２１〜５２６により撮像された同一部分の画像に対応する電荷は全て加算されるように制御される。これにより、６個のラインセンサからなるＴＤＩセンサでは、一度の撮像で部品１２０のある部分に対して１つのラインセンサが得る電荷の６倍の電荷を得ることが可能である。このように制御することによって、移動撮像部５０の移動速度を速くすることに起因して１つのラインセンサだけでは十分な電荷を得ることが困難な場合にも、鮮明な画像を得ることが可能である。

また、表面実装機１００の動作は、図１１に示す制御装置６０によって制御されている。制御装置６０は、制御部６１、記憶部６２、モータ制御部６３、画像処理部６４を含んでいる。

制御部６１は、論理演算を実行するＣＰＵなどから構成されている。制御部６１は、記憶部６２に記憶されているプログラムに従って、モータ制御部６３、および画像処理部６４を介して、イメージセンサ５２ａ、下方照明部５３、側方照明部５４および各サーボモータなどを制御するように構成されている。

また、本実施形態では、制御部６１は、移動撮像部５０により予め撮像された基準マーク２５、２６の画像と、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像される基準マーク２５および２６の画像とに基づいて、撮像された部品１２０の画像に対して移動撮像部５０の位置ずれを補正するように構成されている。具体的には、制御部６１は、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像される画像から認識した基準マーク２５および２６の各々と吸着された部品１２０との距離の比と、記憶部６２に記憶された移動撮像部５０により予め撮像された画像から取得した基準マーク２５および２６の基準位置とに基づいて、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置を算出する。これにより、制御部６１は、撮像された部品１２０の認識位置に対して移動撮像部５０の位置ずれを補正するように構成されている。

また、制御部６１は、記憶部６２に保存された初期調整時の吸着ノズル２２の位置情報を読み出し、吸着された部品１２０の補正後の位置と吸着ノズル２２の位置情報とに基づいて吸着ノズル２２からの吸着ずれ量（吸着ノズル２２から部品１２０の中心位置までの距離）を算出するように構成されている。制御部６１は、吸着された部品１２０の吸着ずれ量に基づいて、部品１２０の搭載位置を補正するように構成されている。

記憶部６２は、ＣＰＵを制御するプログラムを記憶するＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）および撮像された画像や、撮像された画像から算出された吸着ノズル２２と基準マーク２５および２６との位置情報などを書き換え可能に記憶するＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）で構成されている。記憶部６２は、初期調整時に、予め部品１２０を吸着しない状態で撮像された吸着ノズル２２および基準マーク２５、２６の画像から算出された吸着ノズル２２および基準マーク２５、２６の位置情報を記憶するように構成されている。そして、部品１２０の実装時に、吸着された部品１２０および基準マーク２５、２６が移動撮像部５０によって撮像されるたびに制御部６１によって基準位置の情報が読み込まれ、この基準位置の情報に基づいて制御部６１が補正後の部品１２０の位置を算出できるように構成されている。

モータ制御部６３は、制御部６１から出力される制御信号に基づいて、表面実装機１００の各サーボモータ（ヘッドユニット支持部３０をＹ方向に移動するためのサーボモータ４３（図４参照）、ヘッドユニット２０をＸ方向に移動するためのサーボモータ３２（図４参照）、吸着ノズル２２を上下方向に移動させるためのサーボモータ（図示せず）、および、移動撮像部５０をＸ方向に移動させるためのサーボモータ２４（図４参照））などの駆動を制御するように構成されている。モータ制御部６３は、実装時には、制御部６１からの出力信号により予め設定された部品１２０の搭載位置にヘッドユニット２０を移動させる。そして、ヘッドユニット２０の移動中に移動撮像部５０により撮像された画像に基づいて補正後の搭載位置が算出されると、モータ制御部６３は、制御部６１からの出力信号に基づいて補正後の搭載位置にヘッドユニット２０を移動させるように構成されている。

画像処理部６４は、制御部６１から出力される制御信号に基づいて、イメージセンサ５２ａから所定のタイミングで撮像信号の読み出しを行うように構成されている。また、画像処理部６４は、読み出した撮像信号に所定の画像処理を行うことにより、部品１２０を認識するのに適した画像データを生成するように構成されている。また、画像処理部６４は、生成した画像データを制御部６１に出力するように構成されている。

図１２〜図１４は、移動撮像部によって下方から撮像される基準マークの画像と、吸着された部品の画像とを示す平面図である。次に、図１２〜図１４を参照して、本発明の一実施形態による表面実装機１００の制御部６１による部品１２０の搭載位置の補正について詳細に説明する。

まず、図２に示すように、表面実装機１００の初期調整時に、移動撮像部５０をＸ方向に移動させながら撮像させることにより、基準マーク２５および２６を撮像する。そして、図１２および図１３に示すように、撮像された基準マーク２５および２６の画像から、制御部６１が基準マーク２５の位置座標（Ｘａ１，Ｙａ１）（図１２参照）および基準マーク２６の位置座標（Ｘａ２，Ｙａ２）（図１３参照）とを認識する。この場合には、移動撮像部５０はボールネジ軸２３の熱膨張などが発生しておらず、位置ずれのない状態で撮像されると考えてよい。したがって、初期調整時に認識された基準マーク２５および２６の位置座標は、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の正確な位置で認識される。

ここで、制御部６１は、認識された初期調整時の基準マーク２５の位置座標（Ｘａ１，Ｙａ１）および基準マーク２６の位置座標（Ｘａ２，Ｙａ２）を、基準位置として記憶部６２に保存する。

そして、部品１２０の実装時には、４本の吸着ノズル２２が所定の部品１２０をそれぞれ吸着した状態で、移動撮像部５０を図２のＸ方向に移動させながら撮像させる。これにより、吸着された部品１２０と基準マーク２５および２６とを撮像する。そして、撮像された部品１２０と、基準マーク２５および２６との画像から、制御部６１が基準マーク２５の位置座標（Ｘｂ１，Ｙｂ１）（図１２参照）と基準マーク２６（Ｘｂ２，Ｙｂ２）（図１３参照）の位置座標と、吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の位置座標（Ｘｂ，Ｙｂ）（図１４参照）とを認識する。

このとき、実装時に制御部６１により認識された基準マーク２５および２６のそれぞれの位置座標は、ボールネジ軸２３の熱膨張などにより移動撮像部５０に位置ずれが生じることから、基準位置からずれた位置に認識される。すなわち、図１２に示すように、初期調整時に基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）で認識された基準マーク２５は、実装時には移動撮像部５０の位置ずれにより認識位置（Ｘｂ１，Ｙｂ１）の位置で認識されることとなる。同様に、図１３に示すように、初期調整時に基準位置（Ｘａ２，Ｙａ２）で認識された基準マーク２６は、実装時には移動撮像部５０の位置ずれにより認識位置（Ｘｂ２，Ｙｂ２）の位置で認識されることとなる。このため、図１４に示すように、吸着された部品１２０の位置座標（Ｘｂ，Ｙｂ）も移動撮像部５０の位置ずれにより実際の位置よりずれて認識される。

このため、制御部６１は、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０（図１４の二点鎖線参照）の位置座標を（Ｘａ，Ｙａ）とした場合の、ＸａおよびＹａをそれぞれ求めることにより、部品１２０の位置を補正するように構成されている。

まず、Ｘ方向に関して、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置座標Ｘａを求める。移動撮像部５０の位置ずれがない状態の基準マーク２５および２６の位置座標は、初期調整時の基準位置Ｘａ１およびＸａ２である。このとき、各基準マーク２５および２６の基準位置Ｘａ１およびＸａ２と移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｘａとの距離は、それぞれ、（Ｘａ−Ｘａ１）および（Ｘａ２−Ｘａ）で表される。

次に、部品１２０の実装時に撮像された、移動撮像部５０の位置ずれが発生している状態で認識された基準マーク２５、２６および吸着された部品１２０の認識位置はそれぞれ、Ｘｂ１、Ｘｂ２およびＸｂである。このとき、各基準マーク２５および２６の認識位置Ｘｂ１およびＸｂ２と吸着された部品１２０の認識位置Ｘｂとの距離は、それぞれ（Ｘｂ−Ｘｂ１）および（Ｘｂ２―Ｘｂ）で表される。

ここで、ボールネジ軸２３の熱膨張などにより移動撮像部５０の位置ずれが発生した場合には、移動撮像部５０により撮像された画像は位置ずれによってずれた位置で撮像される一方、基準マーク２５と基準マーク２６との間の距離自体は変化しない。このため、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置と各基準マーク２５、２６の基準位置とのそれぞれの距離の比（Ｘａ−Ｘａ１）：（Ｘａ２−Ｘａ）は、移動撮像部５０の位置ずれが発生している状態で認識された基準マーク２５、２６の認識位置と吸着された部品１２０の認識位置との距離の比（Ｘｂ−Ｘｂ１）：（Ｘｂ２―Ｘｂ）と等しい。すなわち、以下の式（１）が成り立つ。
（Ｘａ−Ｘａ１）：（Ｘａ２−Ｘａ）＝（Ｘｂ−Ｘｂ１）：（Ｘｂ２―Ｘｂ）…（１）

したがって、上記式（１）より、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｘａは、以下の式（２）により求められる。
Ｘａ＝（Ｘａ２−Ｘａ１）Ｘｂ／（Ｘｂ２−Ｘｂ１）−（Ｘａ１Ｘｂ２−Ｘａ２Ｘｂ１）／（Ｘｂ２−Ｘｂ１）…（２）

次に、Ｙ方向に関して、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｙａを求める。ここで、Ｙ方向は移動撮像部５０を移動可能に支持するボールネジ軸２３の延びる方向（移動撮像部５０の移動方向）と直交する方向である。ボールネジ軸２３の熱膨張などによる変形を考えた場合、ボールネジ軸２３は、主としてボールネジ軸２３の延びる方向（Ｘ方向）へ変形する。したがって、ボールネジ軸２３の延びる方向（移動撮像部５０の移動方向、Ｘ方向）における移動撮像部５０の位置ずれと比較して、ボールネジ軸２３の延びる方向（移動撮像部５０の移動方向）と直交する方向（Ｙ方向）への移動撮像部５０の位置ずれは微小である。このため、移動撮像部５０の位置ずれに起因する影響の小さいＹ方向に関する移動撮像部５０の位置ずれは、移動撮像部５０のボールネジ軸２３がＹ方向に平行移動したものとして近似することが可能である。

移動撮像部５０の位置ずれがない状態の基準マーク２５および２６の位置は、初期調整時の基準位置Ｙａ１およびＹａ２である。また、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置はＹａである。また、表面実装機１００の実装時に撮像された、移動撮像部５０の位置ずれが発生している状態で認識された基準マーク２５、２６および吸着された部品１２０の認識位置はそれぞれ、Ｙｂ１、Ｙｂ２およびＹｂである。ここで、Ｙ方向の移動撮像部５０の位置ずれは、Ｙ方向への移動撮像部５０のボールネジ軸２３の平行移動と近似されるので、基準マーク２５、２６および部品１２０のそれぞれの認識位置と初期調整時のそれぞれの位置との差は等しい。このため、以下の式（３）が成り立つ。
Ｙｂ−Ｙａ＝Ｙｂ１−Ｙａ１＝Ｙｂ２−Ｙａ２…（３）

したがって、上記式（３）より、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｙａは、以下の式（４）により求められる。
Ｙａ＝Ｙｂ＋Ｙａ１−Ｙｂ１＝Ｙｂ＋Ｙａ２−Ｙｂ２…（４）

以上のように、制御部６１は、移動撮像部５０の移動経路に沿う方向（Ｘ方向）に関して、移動撮像部５０により初期調整時に予め撮像された基準マーク２５の基準位置（Ｘａ１）と移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ）との間の距離と、基準マーク２６の基準位置（Ｘａ２）と移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ）との間の距離との比が、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像された基準マーク２５の認識位置（Ｘｂ１）と部品１２０の認識位置（Ｘｂ）との間の距離と、基準マーク２６の認識位置（Ｘｂ２）と部品１２０の認識位置（Ｘｂ）との間の距離との比に等しい関係を有するという上記式（１）に基づいて、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｘａを上記式（２）により算出する。

また、制御部６１は、移動撮像部５０の移動経路に直交する方向（Ｙ方向）に関しては、移動撮像部５０の移動経路と直交する方向（Ｙ方向）に移動撮像部５０のボールネジ軸２３が平行に移動したものと近似することにより、基準マーク２５および基準マーク２６のそれぞれの基準位置（Ｙａ１およびＹａ２）と、部品１２０の移動時に撮像された基準マーク２５および基準マーク２６のそれぞれの認識位置（Ｙｂ１およびＹｂ２）との差が等しいという上記式（３）に基づいて移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｙａを上記式（４）を算出する。これにより、移動撮像部５０の位置ずれによってずれた位置に認識される部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）を正確な位置（Ｘａ，Ｙａ）に補正することができる。

図１５および図１６は、本発明の一実施形態による表面実装機が部品を搭載する際の制御を説明するためのフローチャートである。次に、図１、図２、図１５および図１６を参照して、本実施形態の表面実装機が部品を搭載する際の制御動作について説明する。

まず、図１５に示すように、初期調整時では、ステップＳ１において、４本の吸着ノズル２２が部品１２０を吸着しない状態で移動撮像部５０がヘッドユニット２０に対してＸ方向（図２参照）に移動しながら撮像を行う。これにより、移動撮像部５０のボールネジ軸２３の熱膨張などによる位置ずれのない状態において、基準マーク２５および２６と、４本の吸着ノズル２２とが撮像される。撮像された各吸着ノズル２２および基準マーク２５、２６のそれぞれの画像は、画像処理部６４が所定の画像処理を行うことにより、認識するのに適した画像データを生成する。この画像データは、制御部６１に送られる。

次に、ステップＳ２において、ステップＳ１で撮像されたそれぞれの画像から制御部６１が基準マーク２５および２６の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）および（Ｘａ２，Ｙａ２）を取得する。また、それぞれの吸着ノズル２２の位置を取得する。そして、ステップＳ３において、制御部６１が取得した基準マーク２５および２６の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）および（Ｘａ２，Ｙａ２）と、吸着ノズル２２のそれぞれの位置情報を記憶部６２に記憶する。

上記Ｓ１〜Ｓ３のステップが終了し、初期調整が終了すると、図１６に示すように、実際に部品１２０の搭載を行う実装時のフローチャートへと移行する。

実装時には、まず、図１に示すように、プリント基板１１０が一対の基板搬送コンベア１０を介して基台１上に搬入されるとともに、基台１の中央の装着作業位置まで搬送される。

そして、プリント基板１１０の搬入動作と並行して、図１６に示すように、ステップＳ１１において、制御部６１により、実装対象の部品１２０が選択されるとともに、選択された複数の部品１２０を吸着ノズル２２で吸着させるためにヘッドユニット２０が実装対象の部品１２０を保持するテープフィーダ１２１の上方へ向けて移動を開始する。

そして、ステップＳ１２において、ヘッドユニット２０が実装対象の部品１２０を保持するテープフィーダ１２１の上方まで移動されることにより、実装対象の部品１２０の上方に吸着ノズル２２が配置される。その後、吸着ノズル２２を下降させるとともに、所定のタイミングで吸着ノズル２２の先端に負圧が供給される。これにより、テープフィーダ１２１上の部品１２０が吸着ノズル２２により吸着および保持される。

そして、ステップＳ１３において、実装対象の部品１２０の吸着が、４本の吸着ノズル２２の全てについて完了したかが判断される。実装対象の未吸着部品１２０が存在する場合には、ステップＳ１１に戻り、再度ヘッドユニット２０を移動させ、実装対象の部品１２０の吸着動作が行われる。一方、実装対象の部品１２０が所定の吸着ノズル２２に全て吸着されたと判断された場合には、ステップＳ１４に移行される。

そして、ステップＳ１４において、所定の吸着ノズル２２に吸着された実装対象の部品１２０をプリント基板１１０上の所定の位置に搭載するため、ヘッドユニット２０が吸着された部品１２０を保持しながら所定の搭載位置へ向けて移動を開始する。この時点では、まだ搭載位置の補正はされていないので、移動撮像部５０の位置ずれの有無に関わらず所定の搭載位置に移動を開始する。

そして、ステップＳ１５において、図２に示すように、ヘッドユニット２０の移動中に、移動撮像部５０が、ヘッドユニット２０に対してＸ方向に移動しながら４本の吸着ノズル２２に吸着された部品１２０および基準マーク２５、２６を撮像する。撮像された各部品１２０および基準マーク２５、２６のそれぞれの画像は、画像処理部６４が所定の画像処理を行うことにより、部品１２０を認識するのに適した画像データを生成する。この画像データは、制御部６１に送られ、各部品１２０の位置および姿勢と、基準マーク２５および２６の位置とが認識される。

そして、ステップＳ１６において、制御部６１が記憶部６２から初期調整時における基準マーク２５、２６の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）、（Ｘａ２，Ｙａ２）および４本の吸着ノズル２２のそれぞれの位置情報を読み込む。ここで、制御部６１が、ステップＳ１５において認識された、部品移動時の基準マーク２５、２６の認識位置（Ｘｂ１，Ｙｂ１）、（Ｘｂ２，Ｙｂ２）と、記憶部６２から読み込んだ初期調整時の基準マーク２５、２６の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）、（Ｘａ２，Ｙａ２）とに基づいて上記の補正を行う。これにより、吸着された部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）を移動撮像部５０の位置ずれのない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）に補正する。

また、制御部６１は、補正後の移動撮像部５０の位置ずれのない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）と、記憶部６２から読み込んだ初期調整時の吸着ノズル２２の位置情報とに基づいて、吸着ノズル２２からの部品１２０の吸着ずれ量を算出する。そして、制御部６１は、吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の吸着ずれ量に基づいて、ヘッドユニット２０の移動位置の補正を行う。

そして、ステップＳ１７において、制御部６１はモータ制御部６３を介し、移動を行っていたヘッドユニット２０の目標位置を補正後の搭載位置へと修正する。これにより、ヘッドユニット２０の搭載位置への移動を中断することなく、移動撮像部５０の位置ずれによる影響を補正した正確な位置へとヘッドユニット２０を移動させることができる。

補正後の搭載位置へとヘッドユニット２０が移動されると、ステップＳ１８に移行し、実装対象の部品１２０を吸着した吸着ノズル２２が下降されて、実装対象の部品１２０がプリント基板１１０の所定の実装位置に搭載される。そして、ステップＳ１９において、４本の吸着ノズル２２が吸着していた部品１２０の全てが搭載されたか否かが判断される。ここで、未搭載の部品１２０が存在する場合には、ステップＳ１７に戻り、その部品１２０の補正後の搭載位置までヘッドユニット２０が移動される。一方、未搭載の部品１２０が存在せず、吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の搭載が終了した場合には、ステップＳ２０に移行する。

そして、ステップＳ２０において、搭載が予定されている全ての部品１２０が搭載されたか否かが判断され、搭載すべき部品１２０が存在する場合には、再度ステップＳ１１に移行し、新たな実装対象の部品１２０が選択されるとともに、ヘッドユニット２０が実装対象の部品１２０を保持するテープフィーダ１２１に向けて移動する。また、搭載すべき部品１２０が存在せず、全ての部品１２０が搭載された場合には、実装が終了するとともに、部品１２０を搭載する際の制御動作も終了する。

本実施形態では、上記のように、移動撮像部５０により予め撮像された基準マーク２５および基準マーク２６の画像と、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像される基準マーク２５および基準マーク２６の画像とに基づいて、撮像された部品１２０の画像から認識される部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）に対して移動撮像部５０の位置ずれを補正するように構成することによって、ボールネジ軸２３の熱膨張などにより移動撮像部５０の位置ずれが生じた場合にも、位置ずれの発生した移動撮像部５０により撮像された画像に基づいて認識される部品１２０の位置を適正な位置に補正することができる。このため、ボールネジ軸２３の熱膨張などにより移動撮像部５０に位置ずれが生じた場合にも、部品１２０の搭載精度が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、制御部６１は、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像される画像から認識した基準マーク２５および基準マーク２６の各々と吸着された部品１２０との距離の比と、移動撮像部５０により予め撮像されるとともに記憶部６２に記憶された画像から取得した基準マーク２５および基準マーク２６の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）、（Ｘａ２，Ｙａ２）とに基づいて、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）を算出することによって撮像された部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）に対して移動撮像部５０の位置ずれを補正するように構成されることによって、部品１２０の移動時に撮像された基準マーク２５、２６と部品１２０との距離の比を用いて移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）を求めることができるので、各吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）を容易に補正することができる。

また、本実施形態では、上記のように、制御部６１は、基準マーク２５の基準位置（Ｘａ１，Ｙａ１）と移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）との間の距離と、基準マーク２６の基準位置（Ｘａ２，Ｙａ２）と移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）との間の距離との比が、部品１２０の移動時に移動撮像部５０により撮像された基準マーク２５の認識位置（Ｘｂ１，Ｙｂ１）と部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）との間の距離と、基準マーク２６の認識位置（Ｘｂ２，Ｙｂ２）と部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）との間の距離との比に等しい関係を有することに基づいて、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）を算出するように構成されることによって、単純な比の関係に基づいて移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置（Ｘａ，Ｙａ）を求めることができるので、移動撮像部５０に位置ずれが生じた場合にも各吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の正確な位置を容易に算出することができる。

また、本実施形態では、上記のように、移動撮像部５０は、直線状に移動するように設けられており、基準マーク２５および基準マーク２６は、移動撮像部５０の移動経路（Ｘ方向）に沿ってヘッドユニット２０の複数の吸着ノズル２２とともに直線状に配列されていることによって、移動撮像部５０の移動経路（Ｘ方向）に沿って直線状に複数の吸着ノズル２２と基準マーク２５と基準マーク２６とが配列されることにより、基準マーク２５および２６の位置（Ｘｂ１，Ｙｂ１）および（Ｘｂ２，Ｙｂ２）を基準として吸着ノズル２２に吸着された部品１２０の位置（Ｘｂ、Ｙｂ）を正確に認識することができるので、部品１２０の認識位置（Ｘｂ，Ｙｂ）を正確に補正することができる。

また、本実施形態では、上記のように、制御部６１は、移動撮像部５０の移動経路に直交する方向（Ｙ方向）における移動撮像部５０の位置ずれを、移動撮像部５０の移動経路に直交する方向（Ｙ方向）への移動撮像部５０のボールネジ軸２３の平行移動として近似することにより、基準マーク２５および基準マーク２６の基準位置Ｙａ１、Ｙａ２と、部品１２０の移動時に撮像された基準マーク２５および基準マーク２６の認識位置Ｙｂ１、Ｙｂ２との差に基づいて、部品１２０の移動時に撮像された認識位置Ｙｂから移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置Ｙａを算出するように構成されている。このように、移動撮像部５０の移動方向（Ｘ方向）における移動撮像部５０の位置ずれに対してずれ量が小さくて、ずれ量に起因する影響の小さい移動方向と直交する方向（Ｙ方向）の移動撮像部５０の位置ずれに関しては、移動撮像部５０の移動経路に直交する方向（Ｙ方向）へ移動撮像部５０のボールネジ軸２３が平行に移動したものと近似することにより、基準マーク２５および基準マーク２６の基準位置（Ｙａ１およびＹａ２）と部品１２０の移動時に撮像された基準マーク２５および基準マーク２６の認識位置（Ｙｂ１およびＹｂ２）との差に基づいて簡単に部品１２０の認識位置（Ｙｂ）の補正を行うことができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、部品移載装置の一例としての表面実装機に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限らず、ＩＣハンドラー（部品試験装置）など、表面実装機以外の部品移載装置にも広く適用可能である。すなわち、ヘッドユニットに設けられた移動機構に沿って移動可能に取り付けられる移動撮像部を有する部品移載装置であれば本発明を適用することができる。

また、上記実施形態では、移動撮像部５０は、ボールネジ軸２３に移動可能に取り付けられ、サーボモータ２４によって駆動されるように構成された例を示したが、本発明はこれに限らず、移動撮像部は、リニアモータ型のアクチュエータなど、ボールネジ以外の移動機構によって移動されてもよい。

また、上記実施形態では、制御部６１は、補正後の部品１２０のＸ方向の位置座標Ｘａを、移動撮像部５０の位置ずれがない状態の部品１２０の位置と各基準マーク２５、２６とのそれぞれの距離の比（Ｘａ−Ｘａ１）：（Ｘａ２−Ｘａ）と、移動撮像部５０の位置ずれが発生している状態で認識された基準マーク２５、２６と吸着された部品１２０との距離の比（Ｘｂ−Ｘｂ１）：（Ｘｂ２―Ｘｂ）との関係から算出するように構成された例を示したが、本発明はこれに限らず、制御部は、補正後の部品のＸ方向の位置座標を異なる計算方法により算出するように構成されてもよい。そのための計算方法には種々のものが考えられるが、予め撮像された第１基準マークおよび第２基準マークの画像と、部品の移動時に撮像される第１基準マークおよび第２基準マークの画像とに基づいて、撮像された部品の画像に対して移動撮像部の位置ずれを補正するように構成されていればよく、必要な精度に応じた補正を行えばよい。

また、上記実施形態では、制御部６１は、Ｙ方向に関する移動撮像部５０の位置ずれを単純な平行移動として近似して、補正後の部品１２０のＹ方向の位置座標Ｙａを、初期調整時の基準位置Ｙａ１およびＹａ２と、移動撮像部５０の位置ずれが発生している状態で認識されたそれぞれの位置座標Ｙｂ１、Ｙｂ２、Ｙｂとの差から算出した例を示したが、本発明はこれに限らず、制御部は、Ｘ方向の場合と同様、補正後の部品１２０のＹ方向の位置座標を各基準マークと部品との間の距離の比によって求めてもよい。

また、上記実施形態では、基準マーク２５および２６は、底面が正方形形状を有する四角柱形状に形成されている例を示したが、本発明はこれに限らず、たとえば、底面が円形形状を有する円柱形状や、底面が実装の対象となる部品と同じ形状に形成するなど、四角柱形状以外の形状に形成されていてもよい。基準マークの底面の画像から位置を認識する際に、認識しやすい形状に形成すればよい。

また、上記実施形態では、イメージセンサとして６つのラインセンサからなるＴＤＩセンサを用いた例を示したが、本発明はこれに限らず、１つのラインセンサを用いてもよい。

また、上記実施形態では、２つの基準マーク２５および基準マーク２６が、配列された４本の吸着ノズル２２の外側にそれぞれ設けられている例を示したが、本発明はこれに限らず、たとえば３つの基準マークが、配列された吸着ノズルの外側と中央とに設けられていてもよい。また、４つ以上の基準マークを設けてもよい。

本発明の一実施形態による表面実装機を示す斜視図である。 図１に示した一実施形態による表面実装機のヘッドユニットおよび移動撮像部の周辺部分を示す斜視図である。 図１に示した一実施形態による表面実装機の正面図である。 図１に示した表面実装機の平面図である。 図２に示した移動撮像部の側面図である。 図２に示した移動撮像部により部品の下面を撮像する場合の光路を示す斜視図である。 図６に対応する平面図である。 図２に示した移動撮像部により部品の側面を撮像する場合の光路を示す斜視図である。 図８に対応する平面図である。 本発明の一実施形態による表面実装機の移動撮像部に用いるＴＤＩセンサの機能を説明するための概念図である。 図１に示した一実施形態による表面実装機の制御的な構成を示すブロック図である。 図２に示した移動撮像部により撮像された基準マークの初期調整時および実装時の画像を示す平面図である。 図２に示した移動撮像部により撮像された基準マークの初期調整時および実装時の画像を示す平面図である。 図２に示した移動撮像部により撮像された部品の実装時および位置ずれがない状態の画像を示す平面図である。 本発明の一実施形態による表面実装機の初期調整時の動作を示すフローチャートである。 本発明の一実施形態による表面実装機の実装時の動作を示すフローチャートである。

符号の説明

２０ ヘッドユニット
２２ 吸着ノズル
２３ ボールネジ軸（移動機構）
２４ サーボモータ（移動機構）
２５ 基準マーク（第１基準マーク）
２６ 基準マーク（第２基準マーク）
５０ 移動撮像部
６１ 制御部
６２ 記憶部
１００ 表面実装機
１２０ 部品

Claims (5)

1. 部品を吸着する複数の吸着ノズルを含み、前記部品を前記吸着ノズルに吸着させながら移動して前記部品を所定の位置に載置するヘッドユニットと、
   前記ヘッドユニットに設けられた第１基準マークおよび第２基準マークと、
   前記ヘッドユニットに設けられた所定の移動機構に沿って移動可能に取り付けられ、前記ヘッドユニットに対して移動しながら前記第１基準マークと前記第２基準マークと前記吸着ノズルに吸着された前記部品とを撮像する移動撮像部と、
   前記ヘッドユニットおよび前記移動撮像部の駆動を制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記移動撮像部により予め撮像された前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの画像と、前記部品の移動時に前記移動撮像部により撮像される前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの画像とに基づいて、撮像された前記部品の画像から認識される前記部品の位置に対して前記移動撮像部の位置ずれを補正するように構成されている、部品移載装置。
2. 前記移動撮像部により予め撮像された前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの画像情報を記憶する記憶部をさらに備え、
   前記制御部は、前記部品の移動時に前記移動撮像部により撮像される画像から認識した前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの各々と吸着された前記部品との距離の比と、前記移動撮像部により予め撮像されるとともに前記記憶部に記憶された画像から取得した前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの基準位置とに基づいて、前記移動撮像部の位置ずれがない状態の前記部品の位置を算出することによって、撮像された前記部品の認識位置に対して前記移動撮像部の位置ずれを補正するように構成されている、請求項１に記載の部品移載装置。
3. 前記制御部は、前記第１基準マークの基準位置と前記移動撮像部の位置ずれがない状態の前記部品の位置との間の距離と、前記第２基準マークの基準位置と前記移動撮像部の位置ずれがない状態の前記部品の位置との間の距離との比が、前記部品の移動時に前記移動撮像部により撮像された前記第１基準マークの認識位置と前記部品の認識位置との間の距離と、前記第２基準マークの認識位置と前記部品の認識位置との間の距離との比に等しい関係を有することに基づいて、前記移動撮像部の位置ずれがない状態の前記部品の位置を算出するように構成されている、請求項１または２に記載の部品移載装置。
4. 前記移動撮像部は、直線状に移動するように設けられており、
   前記第１基準マークおよび前記第２基準マークは、前記移動撮像部の移動経路に沿って前記ヘッドユニットの複数の前記吸着ノズルとともに直線状に配列されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の部品移載装置。
5. 前記制御部は、前記移動撮像部の移動経路に直交する方向における前記移動撮像部の位置ずれを、前記移動撮像部の移動経路に直交する方向への前記移動撮像部の前記移動機構の平行移動として近似することにより、前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの基準位置と、前記部品の移動時に撮像された前記第１基準マークおよび前記第２基準マークの認識位置との差に基づいて、前記部品の移動時に撮像された認識位置から前記移動撮像部の位置ずれがない状態の前記部品の位置を算出するように構成されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載の部品移載装置。

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